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JP4600880B2 - Sealing cap for organic EL element and method for producing the same - Google Patents

Sealing cap for organic EL element and method for producing the same Download PDF

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JP4600880B2 JP2004262970A JP2004262970A JP4600880B2 JP 4600880 B2 JP4600880 B2 JP 4600880B2 JP 2004262970 A JP2004262970 A JP 2004262970A JP 2004262970 A JP2004262970 A JP 2004262970A JP 4600880 B2 JP4600880 B2 JP 4600880B2
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Description

本発明は、有機EL素子の封止キャップに係り、特に、複合吸湿機能を備えた有機EL素子の封止キャップとその製法に関するものである。   The present invention relates to a sealing cap for an organic EL element, and particularly relates to a sealing cap for an organic EL element having a composite moisture absorption function and a method for manufacturing the same.

有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、略して「有機EL素子」という。)は、近年の薄膜形成技術の進歩により、厚さnmクラスの高純度、良質の積層膜が形成できるようになり、5V程度の低電圧動作が可能となった。
このようにして有機EL素子は、低消費電力、高品質で、薄型で、さらには曲面表示も可能な、次世代表示システム用の素子として注目されている。
Organic electroluminescence elements (hereinafter referred to as “organic EL elements” for short) have become possible to form high-purity, high-quality laminated films with a thickness of nm class due to recent advances in thin film formation technology, and have a thickness of about 5V. Low voltage operation is possible.
In this way, organic EL elements are attracting attention as elements for next-generation display systems that have low power consumption, high quality, are thin, and can display curved surfaces.

有機EL素子では、所定の有機分子成分からなる複数の膜を上下に順次積層して有機EL層とし、その上下両側に各々電極層を付着してOLED(有機発光ダイオード)を形成し、両電極を通じて所定の電圧又は電流を印加して電子とホールを有機EL層に注入し、電子とホールが再結合する際に発光する現象を利用する。
従って、上記の発光を外部に導いて表示機能を果たさせるためには、上下に備えた電極の内、少なくとも一方の電極は透明でなければならない。
In an organic EL element, a plurality of films composed of predetermined organic molecular components are sequentially stacked to form an organic EL layer, and electrode layers are attached to both the upper and lower sides to form an OLED (organic light emitting diode). A predetermined voltage or current is applied to inject electrons and holes into the organic EL layer, and the phenomenon of light emission when electrons and holes recombine is utilized.
Therefore, in order to perform the display function by guiding the light emission to the outside, at least one of the upper and lower electrodes must be transparent.

この透明電極膜としては、電気伝導度と透明度の両立を図ることができる材質としてITO(酸化インジウム錫)が普及しているが、一般にはITOの電気抵抗を下げるためアニールが必要であり、且つ、ITOの表面の平滑度を上げるため(粗度を下げるため)研磨が必要である。   As this transparent electrode film, ITO (Indium Tin Oxide) is widely used as a material capable of achieving both electrical conductivity and transparency, but in general, annealing is required to reduce the electrical resistance of ITO, and Polishing is necessary to increase the smoothness of the ITO surface (to reduce the roughness).

有機EL層はITOのアニールの際に高温になると変質してしまうので、有機EL層は、ITOより後に形成する必要があった。
即ち、積層順が[基板−第1電極(ITO)−有機EL層−第2電極(不透明電極でもよい)]となり、基板側から発光させる(ボトムエミッション)構造が採用され、基板も透明でなければならない。
Since the organic EL layer deteriorates when the ITO is annealed at a high temperature, the organic EL layer has to be formed after the ITO.
That is, the stacking order is [substrate-first electrode (ITO) -organic EL layer-second electrode (may be an opaque electrode)], a structure that emits light from the substrate side (bottom emission) is adopted, and the substrate must also be transparent. I must.

さらにこの透明基板としては、外部からの物理的化学的刺激に対して有機EL層などを保護できるように、ある程度丈夫で気密性があることが求められるので、通常ガラス基板を用いている。
また、有機EL層などを第2電極側から保護するために封止キャップが必要であるが、同様の理由から通常、ガラスキャップが用いられ、透明基板(ガラス基板)に封止し、基板と封止キャップでケースを形成する。
Further, as this transparent substrate, a glass substrate is usually used because it is required to be somewhat strong and airtight so that the organic EL layer and the like can be protected against physical and chemical stimulation from the outside.
Further, a sealing cap is necessary to protect the organic EL layer and the like from the second electrode side. For the same reason, a glass cap is usually used, and the substrate is sealed with a transparent substrate (glass substrate). A case is formed with a sealing cap.

特に有機EL層は微量の酸素又は水分があっても変質して発光能力が低下するので、上記のように透明基板(ガラス基板)とガラスキャップにより封止して外部からの酸素及び水分を遮断するだけではなく、OLEDの各層、あるいはOLEDに伴う隔壁、絶縁層や駆動ユニットから発出されてケース内部に残存する水分を除去しなければならない。
そのため、ケース内に吸湿材を挿入することが従来から行われている。
In particular, the organic EL layer is altered even if there is a small amount of oxygen or moisture, and the light emitting ability is reduced. As described above, the organic EL layer is sealed with a transparent substrate (glass substrate) and a glass cap to block oxygen and moisture from the outside. In addition, it is necessary to remove moisture remaining inside the case that is emitted from each layer of the OLED, or a partition, an insulating layer, and a driving unit associated with the OLED.
Therefore, a hygroscopic material has been conventionally inserted into the case.

例えば特許文献1には、カラー変換方式の有機EL素子に関して、その構造の細部にわたり、吸湿材層を備えさせる技術が開示されている。
吸湿材料としては、酸化カルシウム、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、硫酸カルシウム、五酸化二リン、ゼオライト、シリカゲル、又は酸化アルミニウムなどが列挙されている。
For example, Patent Document 1 discloses a technique for providing a hygroscopic material layer over the details of the structure of a color conversion type organic EL element.
Examples of the hygroscopic material include calcium oxide, calcium chloride, magnesium chloride, calcium sulfate, diphosphorus pentoxide, zeolite, silica gel, and aluminum oxide.

また特許文献2には、通気性シートとキャップの内面に囲まれた空間に粘着性支持シートを設け、そこに粉体の吸湿材を備えさせる技術が開示されている。
吸湿材料としては、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化リン、ゼオライト、シリカゲル、活性炭などが列挙されている。
Patent Document 2 discloses a technique in which an adhesive support sheet is provided in a space surrounded by an air permeable sheet and an inner surface of a cap, and a powder moisture absorbent is provided therein.
Examples of the hygroscopic material include calcium oxide, barium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, phosphorus oxide, zeolite, silica gel, activated carbon and the like.

しかしながらこれらの方法によると、ケース内の吸湿能力はすべて挿入した吸湿材に依存しており、これらの吸湿材を設置する別途の工程が必要であり、かつ吸湿材が設置されて後、封止までの工程中で吸湿材が吸湿して劣化してしまわないよう工程に制限が加えられるので、コスト高になるだけでなく、吸湿材の量を増やし吸湿材のミクロ形状を改善しても十分な吸湿能力を得ることが困難な場合がある。
特開2003−257666号公報 特開2002−313557号公報
However, according to these methods, the moisture absorption capacity inside the case depends on the inserted moisture absorbent material, and a separate process for installing these moisture absorbent materials is required, and sealing is performed after the moisture absorbent material is installed. Since the process is limited so that the hygroscopic material does not deteriorate due to moisture absorption during the previous process, not only the cost is increased, but it is sufficient to increase the amount of the hygroscopic material and improve the micro shape of the hygroscopic material It may be difficult to obtain a proper moisture absorption capacity.
JP 2003-257666 A JP 2002-31557 A

本発明は、有機EL素子の抱える上記の問題を解決するために、簡明な構造で、有機EL素子の製造中に別途の工程を要しないで、通常の封止工程だけで、十分な吸湿能力を得ることができる複合吸湿機能を備えた、有機EL素子の封止キャップとその製法を提供することを目的とする。   In order to solve the above-mentioned problems of the organic EL element, the present invention has a simple structure and does not require a separate process during the production of the organic EL element, and sufficient moisture absorption capability only by a normal sealing process. An object of the present invention is to provide a sealing cap for an organic EL device having a composite moisture absorption function capable of obtaining the above and a method for producing the same.

請求項1に記載のとおり、上記目的を達成するために本発明による有機EL素子の封止キャップは、少なくとも透明電極膜、有機EL層、陰極用電極からなる複数個の有機発光ダイオード(OLED)のアレイを搭載した透明基板に対応するサイズを備え、縁辺部に脚部を有し前記脚部の先端が前記透明基板の縁辺部に気密接着される有機EL素子の封止キャップであって、前記OLEDのアレイに面する内表面が吸湿性を有し、さらに前記内表面に通水性を有する吸湿材が設置され、前記内表面がマグネシウム合金からなり、外表面及び前記脚部の表面が酸化されたマグネシウム合金からなることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a sealing cap for an organic EL device according to the present invention comprises a plurality of organic light emitting diodes (OLEDs) comprising at least a transparent electrode film, an organic EL layer, and a cathode electrode. A sealing cap for an organic EL element having a size corresponding to the transparent substrate on which the array is mounted, having a leg portion on an edge portion, and a tip of the leg portion being hermetically bonded to the edge portion of the transparent substrate, The inner surface facing the OLED array has a hygroscopic property, and further, a moisture absorbing material having water permeability is installed on the inner surface, the inner surface is made of a magnesium alloy, and the outer surface and the surface of the leg portion are oxidized. It is characterized by comprising a magnesium alloy .

また、請求項2、4に記載のとおり、前記吸湿材はゼオライトからなることを特徴とする。 In addition, as described in claims 2 and 4 , the hygroscopic material is made of zeolite.

また、請求項3に記載のとおり、上記目的を達成するために本発明による有機EL素子の封止キャップの製法は、
少なくとも透明電極膜、有機EL層、陰極用電極からなる複数個の有機発光ダイオード(OLED)のアレイを搭載した透明基板に対して、対応するサイズの、マグネシウム合金からなる金属板を用意するステップ1と、
前記金属板の片面の所定の箇所をレジストにより選択的にマスクするステップ2と、
前記金属板を、所定の溶液に浸漬して、前記金属板の全表面のうち前記レジストに被覆されていない部分に水酸化マグネシウムMg(OH)の層を形成するステップ3と、
前記金属板の片面から前記レジストを除去するステップ4と、
前記金属板の片面の所定の箇所に、ペースト状の吸湿材をスクリーン印刷する、もしくは吸湿材の懸濁液をディスペンサで選択的に塗布して吸湿材の膜を形成する、ステップ5と、
前記吸湿材が選択的に付着された金属板を、所定の温度でベークすることにより、前記吸湿材を焼成すると共に、前記金属板の表面のうち水酸化マグネシウムMg(OH)の層を酸化マグネシウムMgOの層に化学変化させるステップ6と、
前記金属板をプレス加工して、蓋部と、蓋部の周縁の脚部からなる、有機EL素子の封止キャップを形成するステップ7と、
を含むことを特徴とする。
Further, as described in claim 3 , in order to achieve the above object, a method for producing a sealing cap of an organic EL element according to the present invention includes:
Step 1 of preparing a metal plate made of a magnesium alloy of a corresponding size for a transparent substrate on which an array of a plurality of organic light emitting diodes (OLEDs) comprising at least a transparent electrode film, an organic EL layer, and a cathode electrode is mounted. When,
Step 2 of selectively masking a predetermined portion of one side of the metal plate with a resist;
Step 3 of immersing the metal plate in a predetermined solution to form a magnesium hydroxide Mg (OH) 2 layer on the entire surface of the metal plate not covered with the resist;
Removing the resist from one side of the metal plate; and
Screen printing a paste-like hygroscopic material at a predetermined location on one side of the metal plate, or selectively applying a hygroscopic material suspension with a dispenser to form a hygroscopic material film, step 5;
The metal plate to which the hygroscopic material is selectively attached is baked at a predetermined temperature, thereby firing the hygroscopic material and oxidizing the magnesium hydroxide Mg (OH) 2 layer on the surface of the metal plate. Step 6 of chemically changing to a layer of magnesium MgO;
Step 7 of pressing the metal plate to form a sealing cap for the organic EL element comprising a lid portion and a leg portion at the periphery of the lid portion;
It is characterized by including.

本発明による有機EL素子の封止キャップによれば、気密ケース内で、有機EL層を含むOLEDないしはその画素駆動ユニットなどから発出される水分は、吸湿材だけではなく、封止キャップの内表面により複合的に吸着されるので、吸湿作用が効果的に行われ、有機EL層などの水分による変質が最小限に抑えられる。   According to the sealing cap of the organic EL element according to the present invention, the moisture emitted from the OLED including the organic EL layer or the pixel driving unit thereof in the airtight case is not only the hygroscopic material but also the inner surface of the sealing cap. Therefore, the moisture absorption effect is effectively performed, and the alteration of the organic EL layer due to moisture is minimized.

有機EL素子の封止キャップは有機EL素子のケースの気密性を確保するために元来必要なものであるので、本発明による有機EL素子の封止キャップによれば、複合的な吸湿効果が簡明で経済的に得られる。   Since the sealing cap of the organic EL element is originally necessary to ensure the airtightness of the case of the organic EL element, the organic EL element sealing cap according to the present invention has a combined moisture absorption effect. Simple and economical.

以下、本発明に係る実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。
図1は、本実施例における有機EL素子の封止キャップと、これと用いて有機EL基板を封止して形成した有機EL素子を示す断面模式図、図2は、本実施例における有機EL素子の封止キャップの製法を示す断面模式図、図3は、本実施例における有機EL素子の封止キャップの製法、及び、これを用いて有機EL基板を封止する手順を示すフローチャート、図4は、本実施例における、吸湿材として設置されたゼオライトの例を示す立体構造模式図である。
Embodiments according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a sealing cap of an organic EL element in this embodiment and an organic EL element formed by sealing an organic EL substrate using the same, and FIG. 2 is an organic EL element in this embodiment. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a method for producing an element sealing cap, FIG. 3 is a flowchart showing a method for producing an organic EL element sealing cap in this embodiment, and a procedure for sealing an organic EL substrate using the same. 4 is a three-dimensional structural schematic diagram showing an example of zeolite installed as a hygroscopic material in this example.

図1を参照すると、本発明による有機EL素子の封止キャップを用いた、ボトムエミッション型の有機EL素子は次の手順で形成される。   Referring to FIG. 1, a bottom emission type organic EL device using a sealing cap of an organic EL device according to the present invention is formed by the following procedure.

図1(B)は、ボトムエミッション型の有機EL素子の基板であり、第1に、透明基板(ガラス基板)10の上面に例えばITO(酸化インディウム錫)からなる透明電極膜20が形成される。
透明基板10は、現在は通常、ガラス基板であるが、物理的、化学的に必要な強度を備えた、透明なプラスチックなどの基板であってもよい。
透明電極膜20は、パッシブマトリクス駆動型の場合、複数のストリップからなり、図の奥行き方向に平行して左右に走るように配置される。
FIG. 1B shows a substrate of a bottom emission type organic EL element. First, a transparent electrode film 20 made of, for example, ITO (indium tin oxide) is formed on the upper surface of a transparent substrate (glass substrate) 10. The
The transparent substrate 10 is usually a glass substrate at present, but it may be a substrate made of transparent plastic or the like having a physically and chemically required strength.
In the case of a passive matrix drive type, the transparent electrode film 20 is composed of a plurality of strips and is arranged so as to run to the left and right in parallel with the depth direction of the figure.

第2に、透明電極膜20の上表面に、3原色R、G、Bに対応する有機EL層30R、30G、30Bの組からなる画素が複数個形成され、さらにその上表面に陰極用電極40が形成される。
陰極用電極40は、通常Mg−Ag合金からなり、図の左右方向に平行して奥行き方向に走るように配置される。
有機EL層30R、30G、30Bは、透明電極膜20と陰極用電極40の両ストリップの各交点に配置されてOLED(有機発光ダイオード)を形成する。
Second, a plurality of pixels composed of a set of organic EL layers 30R, 30G, and 30B corresponding to the three primary colors R, G, and B are formed on the upper surface of the transparent electrode film 20, and a cathode electrode is further formed on the upper surface. 40 is formed.
The cathode electrode 40 is usually made of an Mg—Ag alloy, and is arranged so as to run in the depth direction in parallel with the left-right direction of the drawing.
The organic EL layers 30R, 30G, and 30B are arranged at each intersection of both strips of the transparent electrode film 20 and the cathode electrode 40 to form an OLED (organic light emitting diode).

図1(A)は、本発明による、ボトムエミッション型の有機EL素子の封止キャップであり、蓋部51とその縁辺に脚部52を備えた金属母体を含む。
金属母体の材質としては、加工性、熱伝導性が高く、表面の水分吸着効率が高く、経済的に入手できることが望ましいので、マグネシウム(Mg)、アルミニウム(Al)もしくはそれらを含む合金が好適であり、特に、リチウム(Li)を含むMg合金が好適である。
FIG. 1A shows a sealing cap of a bottom emission type organic EL element according to the present invention, which includes a lid 51 and a metal matrix provided with legs 52 on the edge thereof.
As the material of the metal matrix, it is desirable that magnesium (Mg), aluminum (Al), or an alloy containing them is preferable because it has high workability and heat conductivity, high surface moisture adsorption efficiency, and is desirably economically available. In particular, an Mg alloy containing lithium (Li) is suitable.

封止キャップの表面は、蓋部51の外表面、脚部52の内外表面及び蓋部の内表面の一部に至るまで絶縁層50c、50bで覆われ、蓋部の内表面の大部分は水分吸着効率の高い、金属母体露出面50aである。
なお、金属母体露出面50aは、表面積を増加して後述の吸湿効率、即ち水分吸着効率を上げるため、粗面にしておいてもよい。
The surface of the sealing cap is covered with insulating layers 50c and 50b until it reaches the outer surface of the lid 51, the inner and outer surfaces of the leg 52 and a part of the inner surface of the lid, and most of the inner surface of the lid is This is a metal base exposed surface 50a with high moisture adsorption efficiency.
The metal matrix exposed surface 50a may be roughened in order to increase the surface area and increase the moisture absorption efficiency described later, that is, the moisture adsorption efficiency.

次に、金属母体露出面50aに接するように、多結晶膜にした、又は粉体を集めてシート状にした吸湿材60が設置されて、有機ELの封止キャップが完成する。
吸湿材60は、印刷又は塗布により接着されるか、接着剤(図示せず)により接着されるか、脚部の内側面に設けたフック(図示せず)により係合されるか、いずれかの手段で金属母体露出面50aに接して配置され、OLEDなどに直接接触してOLEDなどを傷つけないようにしてある。
図1(A)では、吸湿材60は金属母体露出面50aを丁度覆っているが、吸湿材が金属母体露出面より大きく覆う場合も、逆に小さく覆う場合もあってよい。
Next, a hygroscopic material 60 made of a polycrystalline film or collected in a sheet form so as to be in contact with the exposed surface of the metal base 50a is installed to complete an organic EL sealing cap.
The hygroscopic material 60 is either adhered by printing or application, adhered by an adhesive (not shown), or engaged by a hook (not shown) provided on the inner surface of the leg portion. In this way, the metal base exposed surface 50a is arranged so as to be in direct contact with the OLED or the like so as not to damage the OLED or the like.
In FIG. 1A, the hygroscopic material 60 just covers the metal base exposed surface 50a. However, the hygroscopic material may cover the metal base exposed surface larger than the metal base exposed surface or conversely.

最後に図1(C)に示すように、吸湿材60を備えた封止キャップ(図1(A))の脚部52の先端と、OLEDなどを搭載したボトムエミッション型の有機EL素子基板(図1(B))の透明基板10の縁辺部が、接着部70を介して気密接着され、有機EL素子が完成する。   Finally, as shown in FIG. 1C, the bottom emission type organic EL element substrate (OLED etc.) on which the tip of the leg portion 52 of the sealing cap (FIG. 1A) provided with the hygroscopic material 60 is mounted. The edge part of the transparent substrate 10 of FIG. 1 (B) is airtightly bonded through the bonding part 70 to complete the organic EL element.

ここで、吸湿材60はマクロ的には図示したように金属母体露出面50aを被覆しているが、ミクロ的には、吸湿材60を構成する、粉末の隙間、多結晶の粒界、又は結晶内の複数の原子あるいは分子で構成される孔を通じて、OLEDなどから金属母体露出面50aに達する通水性がある。   Here, the hygroscopic material 60 macroscopically covers the metal base exposed surface 50a as shown in the figure, but microscopically, the moisture absorption material 60, the gap between the powder, the polycrystalline grain boundary, or the There is water permeability that reaches the metal matrix exposed surface 50a from an OLED or the like through holes composed of a plurality of atoms or molecules in the crystal.

完成した有機EL素子は気密封止されているので、外部からの水分の侵入は無いが、内部のOLEDなどからの特に水分の放散があり、放置しておくと、有機EL層の劣化を招いてしまう。
本実施例では、吸湿材60による物理的吸着と、金属母体露出面50aによる化学的吸着の2種類の吸着機能が働くので、従来のように吸湿材のみに頼る場合よりも、放散された水分を効率的に吸収できる。
Since the completed organic EL device is hermetically sealed, there is no ingress of moisture from the outside, but there is particularly moisture diffusion from the internal OLED, etc., and if left unattended, the organic EL layer will be deteriorated. I will.
In this embodiment, since two types of adsorption functions of physical adsorption by the hygroscopic material 60 and chemical adsorption by the metal base exposed surface 50a work, the moisture that has been dissipated is more than in the case of relying solely on the hygroscopic material as in the prior art. Can be absorbed efficiently.

次に、本発明の実施例による、有機EL素子の封止キャップの具体的な製法について、封止キャップの金属母体の材質としてLiを含むMg合金を、そして吸湿材としてゼオライトを用いた場合に特に好適な製法を、封止キャップと有機EL素子の基板との封止手順を含めて、図2(封止キャップの製法を示す断面模式図)と図3(封止キャップの製法、及び、これを用いて有機EL素子基板を封止する手順を示すフローチャート)を用いて説明する。   Next, regarding a specific method for manufacturing a sealing cap of an organic EL element according to an embodiment of the present invention, when an Mg alloy containing Li is used as the material of the metal base of the sealing cap, and zeolite is used as the hygroscopic material Particularly suitable manufacturing methods, including the sealing procedure between the sealing cap and the substrate of the organic EL element, are shown in FIG. 2 (sectional schematic diagram showing the manufacturing method of the sealing cap) and FIG. 3 (the manufacturing method of the sealing cap, and This will be described with reference to a flowchart showing a procedure for sealing an organic EL element substrate using this.

ステップ1(図3(S1))では、図2(A)を参照すると、少なくとも透明電極膜、有機EL層、陰極用電極からなる複数個の有機発光ダイオード(OLED)のアレイを搭載した透明基板に対応するサイズの、所定量のLiを含むMg合金からなる金属板50を用意する。   In step 1 (FIG. 3 (S1)), referring to FIG. 2 (A), a transparent substrate on which an array of a plurality of organic light emitting diodes (OLEDs) comprising at least a transparent electrode film, an organic EL layer, and a cathode electrode is mounted. A metal plate 50 made of an Mg alloy containing a predetermined amount of Li having a size corresponding to 1 is prepared.

ステップ2(図3(S2))では、図2(A)を参照すると、金属板50の片面の金属母体露出面50aとなるべき所定の箇所を耐アルカリ性のレジスト110により選択的にマスクする。   In step 2 (FIG. 3 (S2)), referring to FIG. 2 (A), a predetermined portion to be the metal base exposed surface 50a on one side of the metal plate 50 is selectively masked by the alkali resistant resist 110.

ステップ3(図3(S3))では、図2(B)を参照すると、上記の金属板50を、NaOHとNaClを所定の比率で混合し溶解させた溶液に浸漬して、金属板の全表面のうち上記レジストに被覆されている金属母体露出面50a以外の部分に水酸化マグネシウム(Mg(OH))層51b、51cを形成する。 In step 3 (FIG. 3 (S3)), referring to FIG. 2 (B), the metal plate 50 is immersed in a solution in which NaOH and NaCl are mixed and dissolved at a predetermined ratio, and the entire metal plate is immersed. Magnesium hydroxide (Mg (OH) 2 ) layers 51b and 51c are formed on portions of the surface other than the metal base exposed surface 50a covered with the resist.

ステップ4(図3(S4))では、図2(B)において、金属板50の片面からレジスト110を除去する。   In step 4 (FIG. 3 (S4)), the resist 110 is removed from one surface of the metal plate 50 in FIG.

ステップ5(図3(S5))では、図2(C)を参照すると、金属板50の片面の内、所定の箇所である金属母体露出面50a以外の部分にスクリーンマスク120をかけ、ペースト状のゼオライトを金属母体露出面50a上にスクリーン印刷して吸湿材60をなすゼオライト膜を形成する。
もしくはゼオライトの懸濁液をディスペンサで所定の箇所50aに選択的に塗布してゼオライト膜を形成してもよい。
In step 5 (FIG. 3 (S5)), referring to FIG. 2 (C), a screen mask 120 is applied to a portion of one side of the metal plate 50 other than the metal base exposed surface 50a, which is a predetermined location, and pasted. The zeolite film forming the hygroscopic material 60 is formed by screen printing on the metal matrix exposed surface 50a.
Alternatively, a zeolite membrane may be formed by selectively applying a suspension of zeolite to the predetermined portion 50a with a dispenser.

ステップ6(図3(S6))では、図2(C)において、スクリーンマスク120を取り外し、ゼオライト膜が選択的に形成された金属板50を、390℃以上410℃以下の温度でベークする。
このベークにより、図2(D)を参照すると、吸湿材60をなすゼオライト膜を焼成すると共に、金属板50の表面のうち水酸化マグネシウム(Mg(OH))層51b、51cを化学変化させて酸化マグネシウム(MgO)層からなる絶縁層50b、50cとする。
In step 6 (FIG. 3 (S6)), in FIG. 2C, the screen mask 120 is removed, and the metal plate 50 on which the zeolite film is selectively formed is baked at a temperature of 390 ° C. or higher and 410 ° C. or lower.
With reference to FIG. 2 (D), this baking baked the zeolite film forming the moisture absorbent 60 and chemically changed the magnesium hydroxide (Mg (OH) 2 ) layers 51b and 51c in the surface of the metal plate 50. Insulating layers 50b and 50c made of magnesium oxide (MgO) layers.

ステップ7(図3(S7))では、図2(E)を参照すると、上記金属板50をプレス型130、135を用いてプレス加工して、蓋部51と、その周縁の脚部52からなり、蓋部の内面にゼオライト膜からなる吸湿剤60が付着された、Liを含むMg合金からなる金属母体露出面50aを備え、金属母体露出面以外の部分が酸化Mgで覆われた、本発明による有機EL素子の封止キャップが得られる。   In step 7 (FIG. 3 (S7)), referring to FIG. 2 (E), the metal plate 50 is pressed using the press dies 130 and 135, and the lid 51 and the peripheral leg 52 are removed. A metal base exposed surface 50a made of an Mg alloy containing Li, with a moisture absorbent 60 made of a zeolite film attached to the inner surface of the lid, and a portion other than the metal base exposed surface covered with Mg oxide The sealing cap of the organic EL element by invention is obtained.

なおプレス型135のストッパ136は、プレス加工の際にプレス型130に当接して、プレス型135がそれ以上押し込まれて吸湿材60などを痛めるのを防止する。   The stopper 136 of the press die 135 abuts on the press die 130 during the press working, and prevents the press die 135 from being pushed further and damages the moisture absorbent 60 and the like.

ステップ8(図3(S8))では、完成した有機EL素子の封止キャップが一旦、乾燥保存される。   In step 8 (FIG. 3 (S8)), the sealing cap of the completed organic EL element is once dried and stored.

ステップ9(図3(S9))では、使用直前に有機EL素子の封止キャップが再ベークされる。
即ち、390℃以上410℃以下の温度で加熱、乾燥される。
In step 9 (FIG. 3 (S9)), the sealing cap of the organic EL element is baked immediately before use.
That is, it is heated and dried at a temperature of 390 ° C. or higher and 410 ° C. or lower.

ステップ10(図3(S10))では、有機EL素子の封止キャップ高純度窒素ガスで満たされたグローブボックス内に搬入される。   In step 10 (FIG. 3 (S10)), the sealing cap of the organic EL element is carried into a glove box filled with high-purity nitrogen gas.

ステップ11(図3(S11))では、再び図1(C)を参照すると、有機EL素子の封止キャップの脚部52の先端と有機EL素子基板の透明基板10の縁辺部が、接着部70を介して気密接着され、有機EL素子が完成する。   In step 11 (FIG. 3 (S11)), referring to FIG. 1C again, the tip of the leg portion 52 of the sealing cap of the organic EL element and the edge of the transparent substrate 10 of the organic EL element substrate are bonded to each other. The organic EL element is completed by being hermetically bonded via 70.

このようにして、有機EL素子の内部の吸湿材と封止キャップの金属母体露出面は、共に脱水され、乾燥しているので、封止完成後に有機EL素子内部から発生する水分を効率よく吸収できる。   In this way, the moisture absorbing material inside the organic EL element and the exposed surface of the metal base of the sealing cap are both dehydrated and dried, so that moisture generated from the inside of the organic EL element can be efficiently absorbed after the sealing is completed. it can.

本実施例では、吸湿材60は模式的に封止キャップの金属母体露出面50aにのみ接するように配置されているが、これに加えて吸湿材を透明基板10の縁辺部など他の場所に配置してもよい。
例えば、吸湿材をOLEDの間に直接、又は適切な絶縁性保護層を介して分散配置してもよい。
In the present embodiment, the hygroscopic material 60 is typically arranged so as to contact only the metal base exposed surface 50a of the sealing cap, but in addition to this, the hygroscopic material is placed in other places such as the edge of the transparent substrate 10. You may arrange.
For example, the hygroscopic material may be distributed between the OLEDs directly or via a suitable insulating protective layer.

またOLEDに付随して実際には、例えば、カラー変換用などの場合にはフィルタが追加して設けられ、アクティブマトリクス駆動型の場合にはTFTトランジスタなどからなる画素駆動ユニットが追加して設けられるが、それらの形成の際、吸湿材を必要な箇所に分散配置してもよい。   In addition, in addition to the OLED, in actuality, for example, a filter is additionally provided in the case of color conversion or the like, and in the case of the active matrix drive type, a pixel drive unit including a TFT transistor is additionally provided. However, in forming them, the hygroscopic material may be distributed and disposed in necessary places.

また、封止キャップの金属母体露出面50aの一部が吸湿材60に被覆されず、露出していてもよく、その場合、封止キャップの金属母体露出面は当然、水分を直接吸着できる。   Further, a part of the metal base exposed surface 50a of the sealing cap may be exposed without being covered with the hygroscopic material 60. In that case, the metal base exposed surface of the sealing cap can naturally adsorb moisture directly.

次に、本実施例(実施例2)において、封止キャップの金属母体の材質としてLiを含むMg合金を、そして吸湿材としてゼオライトを各々選んで用いた理由をさらに詳しく説明する。   Next, in the present example (Example 2), the reason why Mg alloy containing Li is selected as the material of the metal base of the sealing cap and zeolite is selected as the hygroscopic material will be described in more detail.

封止キャップの金属母体の材質として、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)等の合金を選ぶと、金属母体露出面は、好適な水分吸着材として機能するだけでなく、それ以外の表面に必要な絶縁層は、金属母体の酸化によって形成することができる。   When an alloy such as aluminum (Al) or magnesium (Mg) is selected as the material of the metal base of the sealing cap, the exposed surface of the metal base not only functions as a suitable moisture adsorbent, but is required for other surfaces. Such an insulating layer can be formed by oxidation of a metal matrix.

その際、Alの場合は、アルミナを形成するためには陽極酸化、即ち電気化成を要するのに対し、Mgの場合は、例えば2塩化マグネシウムMgClの2〜5%溶液にディップ(浸す)し、焼成するだけでよく、安価、簡明に製造できる。
形成された酸化Mgの膜厚は50〜100nmと薄いが安定であり、有機EL素子に要求される耐圧15Vを十分クリアできる。
At that time, in the case of Al, anodization, that is, electrical conversion, is required to form alumina, whereas in the case of Mg, for example, it is dipped in a 2 to 5% solution of magnesium dichloride MgCl 2. It only needs to be fired, and can be manufactured inexpensively and simply.
The film thickness of the formed Mg oxide is as thin as 50 to 100 nm, but is stable and sufficiently clears the withstand voltage of 15 V required for the organic EL element.

MgCl液浸の場合、表面にムラ、アレを生ずる場合があるが、この問題は、適切な濃度のNaOH+NaClにディップ(浸漬)し焼成することにより解決できることが報告されている。
(A.Yamamoto and H.Tsubakino,Materials Trans.,44−4(2003),pp511−517,Jpn.Inst.Metals)
In the case of MgCl 2 immersion, unevenness and bleed may occur on the surface, but it has been reported that this problem can be solved by dipping (immersing) in appropriate concentration NaOH + NaCl and baking.
(A. Yamamoto and H. Tsubakino, Materials Trans., 44-4 (2003), pp511-517, Jpn. Inst. Metals)

また、金属母体として、Mgに適量のリチウム(Li)を混ぜて合金とすると、さらに優れた吸湿性能が安価、簡明に得られる。   Further, when an appropriate amount of lithium (Li) is mixed with Mg as an alloy as an alloy, an even better moisture absorption performance can be obtained easily and inexpensively.

吸湿材の材質としては、従来挙げられている多種多様な例が可能であるが、本実施例によれば、ゼオライトが好適である。
それは最近の技術の進歩により、安定、高純度、均質で、有機EL層に有害な物質を排出せず、水分を効率よく吸着できるようコントロールされたミクロ構造を有するゼオライトが安価に製造できるようになって来ているという知見に基づく。
As the material of the hygroscopic material, there can be a wide variety of examples which have been conventionally mentioned. According to this embodiment, zeolite is suitable.
Due to recent technological advancements, it is possible to produce zeolites with a stable, high purity, homogeneous, controlled microstructure so that moisture can be adsorbed efficiently without emitting harmful substances to the organic EL layer at low cost. Based on the knowledge that it has become.

図4を参照すると、ゼオライトの立体構造の一例を示す模式図である。
周知のように、ゼオライトでは、頂点にAl又はSiが配され、頂点間の稜は酸素原子Oを介した結合を示す。
通常3稜、4稜の集まる頂点には各々、Al、Siが配されるが、4稜の頂点にSiではなく、例えばAlNaが配される場合があり、その場合は、Naイオンはある程度自由に移動できるといわれる。
Referring to FIG. 4, it is a schematic diagram showing an example of the three-dimensional structure of zeolite.
As is well known, in zeolite, Al or Si is arranged at the vertices, and the ridges between the vertices indicate bonds through oxygen atoms O.
Usually, Al and Si are arranged at the vertices where the three ridges and the four ridges gather, respectively, but there are cases where, for example, Al Na + is arranged at the four ridge vertices instead of Si. In this case, Na + It is said that ions can move freely to some extent.

ここで特徴的なのは、図の中央前面に示された8角形を通り、図で後方向(奥行き方向)に延びる比較的大きい孔と、図の前方右端に示された2つの4角形を通り、図で各々左方向に延びる比較的小さい孔であって、両者は、各々が上下、前後及び左右方向に延びる、互いに隔離された空間を形成する。
両孔のサイズは各々数オングストロームであるが、その差、形状の差、さらには、上記のAlイオンの配置位置の差により、水分子の選択的吸着と、水分子の吸入方向が決まると言われる。
What is characteristic here is that it passes through an octagon shown in the center front of the figure, a relatively large hole extending in the rear direction (depth direction) in the figure, and two squares shown in the front right end of the figure, These are relatively small holes each extending in the left direction in the figure, and both form an isolated space extending in the vertical direction, the front-rear direction, and the horizontal direction.
The size of both pores is several angstroms each. However, the selective adsorption of water molecules and the inhalation direction of water molecules are determined by the difference, the difference in shape, and the difference in the arrangement position of the Al - ion. Said.

従って、図1(C)において、適切な構造のゼオライトの、例えば多結晶粉末を選ぶと、OLEDなどから発出された水分子は、ゼオライト60に物理的に吸着されるだけでなく、ゼオライト60を構成する、粉末の隙間、多結晶の粒界、又は結晶内の複数の原子で構成される前記大きい孔又は小さい孔を通じて、封止キャップの金属母体露出面50aに到達し、そこで化学的に吸着される。   Accordingly, in FIG. 1C, when a zeolite having an appropriate structure, such as polycrystalline powder, is selected, water molecules emitted from an OLED or the like are not only physically adsorbed by the zeolite 60 but also the zeolite 60 It reaches the metal base exposed surface 50a of the sealing cap through the large pores or small pores composed of a plurality of atoms in the powder gap, polycrystalline grain boundary, or crystal, and chemically adsorbs there. Is done.

本実施例における有機EL素子の封止キャップと、これと用いて有機EL基板を封止して形成した有機EL素子を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the sealing cap of the organic EL element in a present Example, and the organic EL element formed by sealing an organic EL board | substrate using this. 本実施例における有機EL素子の封止キャップの製法を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the manufacturing method of the sealing cap of the organic EL element in a present Example. 本実施例における有機EL素子の封止キャップの製法、及び、これを用いて有機EL基板を封止する手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the sealing cap of the organic EL element in a present Example, and the procedure which seals an organic EL board | substrate using this. 本実施例における、吸湿材として設置されたゼオライトの例を示す立体構造模式図である。It is a three-dimensional structure schematic diagram which shows the example of the zeolite installed as a hygroscopic material in a present Example.

符号の説明Explanation of symbols

10 透明基板(ガラス基板)
20 透明電極膜
30R、30G、30B 有機EL層
40 陰極用電極
50 金属板
50a 金属母体露出面
50b、50c 絶縁層
51 蓋部
51b、51c 水酸化マグネシウム層
52 脚部
60 吸湿材
70 接着部
110 レジスト
120 スクリーンマスク
130、135 プレス型
136 ストッパ
10 Transparent substrate (glass substrate)
20 Transparent electrode film 30R, 30G, 30B Organic EL layer 40 Cathode electrode 50 Metal plate 50a Metal base exposed surface 50b, 50c Insulating layer 51 Lid 51b, 51c Magnesium hydroxide layer 52 Leg 60 Hygroscopic material 70 Adhesive 110 Resist 120 Screen mask 130, 135 Press die 136 Stopper

Claims (4)

少なくとも透明電極膜、有機EL層、陰極用電極からなる複数個の有機発光ダイオード(OLED)のアレイを搭載した透明基板に対応するサイズを備え、縁辺部に脚部を有し前記脚部の先端が前記透明基板の縁辺部に気密接着される有機EL素子の封止キャップであって、前記OLEDのアレイに面する内表面が吸湿性を有し、さらに前記内表面に通水性を有する吸湿材が設置され
前記内表面がマグネシウム合金からなり、外表面及び前記脚部の表面が酸化されたマグネシウム合金からなることを特徴とする有機EL素子の封止キャップ。
It has a size corresponding to a transparent substrate on which an array of a plurality of organic light emitting diodes (OLEDs) consisting of at least a transparent electrode film, an organic EL layer, and a cathode electrode is mounted, and has a leg portion at an edge portion and a tip of the leg portion Is an organic EL element sealing cap that is hermetically bonded to the edge of the transparent substrate, wherein the inner surface facing the OLED array is hygroscopic, and the hygroscopic material has water permeability on the inner surface Is installed ,
A sealing cap for an organic EL element, wherein the inner surface is made of a magnesium alloy, and the outer surface and the surfaces of the legs are made of an oxidized magnesium alloy .
前記吸湿材はゼオライトからなることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の封止キャップ。   The said hygroscopic material consists of zeolite, The sealing cap of the organic EL element of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 少なくとも透明電極膜、有機EL層、陰極用電極からなる複数個の有機発光ダイオード(OLED)のアレイを搭載した透明基板に対して、対応するサイズの、マグネシウム合金からなる金属板を用意するステップ1と、
前記金属板の片面の所定の箇所をレジストにより選択的にマスクするステップ2と、
前記金属板を、所定の溶液に浸漬して、前記金属板の全表面のうち前記レジストに被覆されていない部分に水酸化マグネシウムMg(OH)の層を形成するステップ3と、
前記金属板の片面から前記レジストを除去するステップ4と、
前記金属板の片面の所定の箇所に、ペースト状の吸湿材をスクリーン印刷する、もしくは吸湿材の懸濁液をディスペンサで選択的に塗布して吸湿材の膜を形成する、ステップ5と、
前記吸湿材が選択的に付着された金属板を、所定の温度でベークすることにより、前記吸湿材を焼成すると共に、前記金属板の表面のうち水酸化マグネシウムMg(OH)の層を酸化マグネシウムMgOの層に化学変化させるステップ6と、
前記金属板をプレス加工して、蓋部と、蓋部の周縁の脚部からなる、有機EL素子の封止キャップを形成するステップ7と、
を含むことを特徴とする有機EL素子の封止キャップの製法。
Step 1 of preparing a metal plate made of a magnesium alloy of a corresponding size for a transparent substrate on which an array of a plurality of organic light emitting diodes (OLEDs) comprising at least a transparent electrode film, an organic EL layer, and a cathode electrode is mounted. When,
Step 2 of selectively masking a predetermined portion of one side of the metal plate with a resist;
Step 3 of immersing the metal plate in a predetermined solution to form a magnesium hydroxide Mg (OH) 2 layer on the entire surface of the metal plate not covered with the resist;
Removing the resist from one side of the metal plate; and
Screen printing a paste-like hygroscopic material at a predetermined location on one side of the metal plate, or selectively applying a hygroscopic material suspension with a dispenser to form a hygroscopic material film, step 5;
The metal plate to which the hygroscopic material is selectively attached is baked at a predetermined temperature, thereby firing the hygroscopic material and oxidizing the magnesium hydroxide Mg (OH) 2 layer on the surface of the metal plate. Step 6 of chemically changing to a layer of magnesium MgO;
Step 7 of pressing the metal plate to form a sealing cap for the organic EL element comprising a lid portion and a leg portion at the periphery of the lid portion;
The manufacturing method of the sealing cap of the organic EL element characterized by including.
前記吸湿材はゼオライトからなることを特徴とする請求項3に記載の有機EL素子の封止キャップの製法。
The method for producing a sealing cap for an organic EL element according to claim 3 , wherein the hygroscopic material is made of zeolite.
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