JP4690646B2 - Optical apparatus and laser module having temperature controller - Google Patents
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Description
本発明は光通信分野に用いられる光送信器、特にペルチェ素子を用いた温度調節器を有する半導体レーザ装置に関する。 The present invention relates to an optical transmitter used in the field of optical communication, and more particularly to a semiconductor laser device having a temperature controller using a Peltier element.
光通信分野においては長距離化、伝送量の増大に伴い、より動作の安定した半導体レーザ装置が求められており、そのような半導体レーザ装置としてペルチェ素子を利用した温度調節器を搭載したレーザモジュールがある。このような温度調節器を有するレーザモジュールは例えば図5に示すように、レーザ素子10と、レーザ素子10からの発光出力をモニタする受光素子20とがベース55に搭載され、光ファイバ40を備えたパッケージ100内に収納されている。
温度調節器を有するレーザモジュールは高機能性が求められるものが多く、波長モニタ機能や光変調器など多くの光学部品を集積化したレーザモジュールの開発が行われており、温度調節器上には多くの光学部品が密集して搭載されるようになっている。また、温度調節器で維持する温度を広範囲に変えることにより、レーザ素子の温度を変えてレーザ波長を可変とするレーザモジュールも開発されている。
In the field of optical communication, as the distance increases and the amount of transmission increases, a more stable semiconductor laser device is required. As such a semiconductor laser device, a laser module equipped with a temperature controller using a Peltier element. There is. For example, as shown in FIG. 5, the laser module having such a temperature controller includes a
Laser modules with temperature controllers are often required to have high functionality, and laser modules that integrate many optical components such as wavelength monitor functions and optical modulators are being developed. Many optical components are densely mounted. Also, a laser module has been developed in which the temperature of the laser element can be varied by changing the temperature of the laser element by changing the temperature maintained by the temperature controller over a wide range.
このような温度調節器を有するレーザモジュールでは温度調節器の上面全体に基板(以下、ベースと言う)が積層され、光学部品(レーザ素子、レンズ、光量検出用のフォトダイオード、あるいは波長フィルタなど)を個々に搭載したホルダーもしくは基板などの架台が前記ベース上に固定されている。
一般に、ベースの材料には例えば、銅タングステン合金など、熱伝導性の良い材料が使用される。一方、個々の光学部品を設置する架台では搭載する光学部品に適した材料(例えば、鉄ニッケル合金である50アロイなど)が適宜使用される。光学部品用の架台を構成する材料にベースの構成材料と異なる材料が選択された場合には、ベースと光学部品用架台の間で異なる材料が接合され固定される。
In a laser module having such a temperature controller, a substrate (hereinafter referred to as a base) is laminated on the entire upper surface of the temperature controller, and optical components (laser element, lens, photodiode for detecting light quantity, wavelength filter, etc.) A base such as a holder or a substrate on which each is mounted is fixed on the base.
In general, a material having good thermal conductivity such as a copper tungsten alloy is used as the base material. On the other hand, a material suitable for the optical component to be mounted (for example, 50 alloy which is an iron-nickel alloy) is appropriately used for the mount on which the individual optical components are installed. When a material different from the constituent material of the base is selected as the material constituting the optical component base, the different material is bonded and fixed between the base and the optical part base.
光学部品を搭載する架台が熱膨張係数や熱伝導率などの物性が異なる材料で構成されている場合、材料間での膨張もしくは収縮の差から応力を生じる。光学部品用架台では、種々の光学部品の光軸を調整し設置してあるため、架台の変形は架台上に搭載されている光学部品の光学系の軸がずれるという問題を生ずる。特に金属材料では、セラミックなどの無機材料に比べ熱膨張率が大きく弾性率が大きいため、変形を生じやすい。例えば、図に示すように金属A上に熱膨張係数が金属Aよりも大きい金属Bが貼り合わされた架台の温度が上昇した場合、金属Bが金属Aに貼り合わされた部分全体が金属B側に凸状に変形する。金属基板B上に2個の光学部品が設置され光学調芯されていた場合、基板Bの変形によって両者の光軸がずれを生じる。このような接合面で発生する応力は伝播し面積に応じて応力が蓄積するため、接合面積が大きいほど全体としての応力量が大きくなり、変形量も大きくなる。 When the mount on which the optical component is mounted is made of a material having different physical properties such as a thermal expansion coefficient and a thermal conductivity, stress is generated due to a difference in expansion or contraction between the materials. In the optical component mount, since the optical axes of various optical components are adjusted and installed, the deformation of the mount causes a problem that the axis of the optical system of the optical component mounted on the mount is shifted. In particular, a metal material is likely to be deformed because it has a larger coefficient of thermal expansion and a larger elastic modulus than an inorganic material such as ceramic. For example, as shown in the figure, when the temperature of the gantry in which the metal B having a larger thermal expansion coefficient than the metal A is bonded to the metal A rises, the entire portion where the metal B is bonded to the metal A is on the metal B side. Deforms into a convex shape. When two optical components are installed on the metal substrate B and optically aligned, the optical axes of the two are shifted due to the deformation of the substrate B. Since the stress generated at such a joint surface propagates and accumulates according to the area, the larger the joint area, the larger the amount of stress and the greater the deformation amount.
上記課題を解決するために本発明は次のような構成としたものである。
第1の発明は、
温度調節器と、
温度調節器上に設置された第1の材料で構成された第1の基板と、
第1の基板上に接合された第2の材料で構成された第2の基板と、
前記第2の基板上に設置された光学部品とを有し、
前記第2の材料の熱膨張係数よりも前記第1の材料の熱膨張係数が大きく、
前記第1の基板は、両端部が張り出したコの字形状であり、
前記第2の基板は、前記第1の基板の張り出した両端部にそれぞれ設けられ、
前記第2の基板が、前記第1の基板および前記光学部品との接合面以外では他の部材と接触しないように配置されていることを特徴とする光学装置に係る発明である。
In order to solve the above problems, the present invention is configured as follows.
The first invention is
A temperature controller;
A first substrate composed of a first material placed on a temperature controller;
A second substrate composed of a second material bonded onto the first substrate;
An optical component installed on the second substrate,
The coefficient of thermal expansion of the first material is greater than the coefficient of thermal expansion of the second material,
The first substrate has a U-shape with both ends protruding.
The second substrate is provided at both ends of the first substrate,
The optical device according to the present invention is characterized in that the second substrate is disposed so as not to come into contact with other members other than a joint surface between the first substrate and the optical component.
第2の発明は第1の発明に加え、
前記光学部品は、前記温度調節器上から張り出した部分に設けられることを特徴とする光学装置に係るものである。
The second invention is in addition to the first invention,
The optical component is provided in a portion protruding from the temperature controller, and is related to an optical device.
第3の発明は、
レーザ素子と、
温度調節器と、
温度調節器上に設置された第1の材料で構成された第1の基板と、
第1の基板上に接合された第2の材料で構成された第2の基板と、
前記第2の基板上に設置された光学部品と、
前記レーザ素子、前記温度調節器、前記第1の基板、前記第2の基板および前記光学部品とを収納するパッケージとを有し、
前記第2の材料の熱膨張係数よりも前記第1の材料の熱膨張係数が大きく、
前記第1の基板は、両端部が張り出したコの字形状であり、
前記第2の基板は、前記第1の基板の張り出した両端部にそれぞれ設けられ、
前記第2の基板が、前記第1の基板および前記光学部品との接合面以外では他の部材と接触しないように配置されていることを特徴とするレーザモジュールに係る発明である。
The third invention is
A laser element;
A temperature controller;
A first substrate composed of a first material placed on a temperature controller;
A second substrate composed of a second material bonded onto the first substrate;
An optical component installed on the second substrate;
It has the laser element, the temperature controller, the first substrate, and a front Symbol package housing the second substrate and the optical component,
The coefficient of thermal expansion of the first material is greater than the coefficient of thermal expansion of the second material,
The first substrate has a U-shape with both ends protruding.
The second substrate is provided at both ends of the first substrate,
In the invention according to the laser module, the second substrate is disposed so as not to come into contact with other members other than a joint surface between the first substrate and the optical component.
第4の発明は第3の発明に加え、
前記光学部品は、前記温度調節器上から張り出した部分に設けられることを特徴とするレーザモジュールに係る発明である。
The fourth invention, in addition to the third invention,
The optical component is an invention according to a laser module, wherein the optical component is provided in a portion protruding from the temperature controller.
本発明にかかる光学装置では、温度調整器上で温度制御され、かつ、熱膨張等による光軸ずれの少ない光学装置を提供することができる。 With the optical device according to the present invention, it is possible to provide an optical device that is temperature-controlled on a temperature regulator and has little optical axis deviation due to thermal expansion or the like.
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、各図は本発明を理解できる程度に各構成要素およびその機能を概略的に示したもので、本発明を限定するものではない。
ペルチェ素子をもちいた温度調節器上に第1の基板である金属基板Aが搭載され、金属基板A上に金属基板Bからなる第2基板および第3基板が、各々金属基板Aに接合されている。温度調節器によって温度が変化した場合、金属基板Aと金属基板Bでは、熱膨張係数もしくは熱伝導率等が異なり温度変化による膨張もしくは収縮の量が異なるため、接合面で応力が発生する。例えば、金属Aの熱膨張が金属Bの熱膨張よりも大きい時に、温度が上昇すると、応力によって図1に示すように変形する。
しかしながら、第2基板である金属基板Bを複数の部材に分割して第1基板である金属基板Aに接合し、かつ、第2基板側面の周囲に空隙を設けて直接他の部品や基板と接触することがないように配置することによって、それぞれの接合面で発生する応力は分散し、第2基板が一体で構成されている場合、もしくは接触している場合に比べ、各々の変形量は小さくなる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Each figure schematically shows each component and its function to the extent that the present invention can be understood, and does not limit the present invention.
A metal substrate A which is a first substrate is mounted on a temperature controller using a Peltier element, and a second substrate and a third substrate made of a metal substrate B are bonded to the metal substrate A on the metal substrate A, respectively. Yes. When the temperature is changed by the temperature controller, the metal substrate A and the metal substrate B have different thermal expansion coefficients or thermal conductivities and the like, and have different amounts of expansion or contraction due to temperature changes. For example, when the temperature rises when the thermal expansion of the metal A is larger than that of the metal B, the metal A deforms as shown in FIG.
However, the metal substrate B, which is the second substrate, is divided into a plurality of members and bonded to the metal substrate A, which is the first substrate, and a gap is provided around the side surface of the second substrate to directly connect with other components and substrates. By arranging them so that they do not contact each other, the stress generated at each joint surface is dispersed, and the amount of deformation of each is smaller than when the second substrate is integrally formed or in contact with each other. Get smaller.
第1の実施形態
図2は第1の実施形態を示すレーザモジュール平面模式図であり、図3はレーザモジュールパッケージ内に収納されている温度調節器上に設置された光学装置の斜視図である。レーザ素子10の前方端面から出力されるレーザ光はレンズ30で光ファイバ40に結合しパッケージ100の外部に搬送され、レーザ素子10の後方端面から出力されるレーザ光は受光素子(PD)20で受光され、レーザ素子10からの出力光量がモニタされている。レーザ素子10およびに受光素子20はそれぞれレーザキャリア11およびPDキャリア25に取り付けられ、ペルチェ素子からなる温度調節器50上に設置されたベース51(第1の基板)上に搭載されている。ベース51およびPDキャリア21は銅タングステン合金で構成され、レーザキャリア11は窒化アルミニウムで構成されている。
レンズ30は部材31−a(第2の基板)、31−b(第2の基板)、31−c(第3の基板)からなるレンズホルダ31に取り付けられてベース51上に設置されている。レンズホルダ31はベース51等に比べ、熱伝導性の小さい材料である鉄ニッケル合金50アロイなどで構成されており、レンズホルダ部材31−a、31−bはハンダ等によって銅タングステン合金からなるベース51に接合されている。レンズホルダ部材31−a、31−bはベース51との接合面および上部に搭載されるレンズホルダ部材31−cとの接合面以外では他の構成部材に接触しないように配置されている。このように、レンズホルダ31を31−a、31−bの分割された部材によって、例えばベース51のような他の構成部材と接合することで、他の構成部材との接合面において、温度変化によって生ずる応力を分散し、各々の部材の変形を低減することができる。
First embodiment Fig. 2 is a schematic plan view of a laser module showing the first embodiment, and Fig. 3 shows an optical device installed on a temperature controller housed in a laser module package. It is a perspective view. Laser light output from the front end face of the
The
第2の実施形態
第2の実施形態は図2に示される第1の実施形態と同様の構成を有するレーザモジュールであるが、温度調節器50に搭載されるベース51(第1の基板)の形状が異なるものである。図4は第2の実施形態のレーザモジュールにおいて温度調節器上に設置された光学装置を示す斜視図である。
本実施形態では、ベース51がコの字形状をしており、レンズホルダ31−a、31−bはベース51の張り出した両端部分に搭載されている。レンズホルダ31に加えて、ベース51も分割された形状とすることで、レンズホルダ部材31−a、31−bの接合面で発生する応力がベース51を通じて相互に伝播することをより確実に防ぎ、変形量を抑制することができる。
また、温度調節器上に搭載されたベース51の温度調節器上から張り出した部分にレンズホルダ31を搭載する構成としているので、レンズ30およびレンズホルダ31は温度調節器50の影響を受けにくい構造となっている。従って、温度調節器が制御のために急激な温度変化をした場合にも、温度変動が小さく変形を生じにくい構造となっている。
さらには、温度調節器50上に搭載されている場合の、ベース51およびレンズホルダ部材31−a、31−bの厚さは、パッケージ100のサイズやレーザ素子10および光ファイバ40の光軸調整のために制限されるが、第2の実施形態のような構成とした場合、ベース51およびレンズホルダ部材31−a、31−bの基板を厚くしてもよい。貼り合わされる金属基板の厚さを厚くすることで、変形量を小さくすることができる。
Second Embodiment The second embodiment is a laser module having the same configuration as that of the first embodiment shown in FIG. 2 except that a base 51 (first substrate) mounted on the
In the present embodiment, the
In addition, since the
Furthermore, the thickness of the
第3の実施形態
図5は第3の実施形態を示すレーザモジュールの平面模式図であり、図6は側面模式図である。
第3の実施形態に示されるレーザモジュールはレーザ素子10の温度を変化させることによってレーザ光の波長を可変とする波長可変レーザモジュールである。
レーザ素子10の前方端面から出力されるレーザ光はレンズ30で平行光にされ、アイソレータ41を透過後、光分岐器42で分岐される。一方の分岐光は受光素子21に受光され、もう一方の分岐光は、さらに光分岐器43で分岐され、一方の分岐光は光波長フィルタ44を透過後、受光素子22で受光される。もう一方の分岐光は光ファイバ40へと導かれる。
レンズ30、アイソレータ41、光分岐器42、43、光波長フィルタ44および受光素子20、21は第2の基板53に設置され温度調節器50上に設置されたベース51上に接合されている。レーザ素子10はレーザキャリア11に取り付けられて小型温度調節器52上に搭載されて、ベース51上に接合されたベース51と同じ材料である銅タングステン合金からなる基板54上に設置されている。レーザ素子10は小型温度調節器52によって他の光学部品とは異なる温度制御をされ、発光波長を制御されている。温度調節器50と小型温度調節器52に挟まれた基板53は、ベース51もしくは第2の基板とは異なった温度環境に置かれ、異なる膨張もしくは収縮の挙動を示す。基板53と基板54は、その応力が相互に影響しないように、空隙を有するように配置され、他の部品と接触していないので、変形を抑えることができる。
本実施形態では基板54とベース51は異なる部材を接合するという構成であるが、同じ材料で構成されているので、一体型で形成された部材を用いても基板53と空隙を有して配置することにより同様の効果が得られる。
Third Embodiment FIG. 5 is a schematic plan view of a laser module showing a third embodiment, and FIG. 6 is a schematic side view.
The laser module shown in the third embodiment is a wavelength tunable laser module that makes the wavelength of the laser light variable by changing the temperature of the
Laser light output from the front end face of the
The
In the present embodiment, the
第4の実施形態
第4の実施形態は第3の実施形態とほぼ同様の構成を有するレーザモジュールであるが、温度調節器50に搭載されるベース51(第1の基板)の形状が異なるものである。
図7は第4の実施形態のレーザモジュールにおいて温度調節器上に設置されるベース51の斜視図である。
本実施形態ではレーザ光がレーザ素子から光ファイバに伝播されるまでの光軸方向と平行方向の肉厚部分55をベース51の両側部分に設けていることである。
本実施形態のように多くの光学部品が温度調節器上に搭載されるレーザモジュールでは、予め複数の光学部品を1つの基板上に設置した後、温度調節器上に搭載することによって製造工程が容易となる。しかしながら、複数の光学部品が配置された基板では周囲基板からの応力の影響を排除してもそれ自体の応力による変形が無視できないものとなってしまう場合がある。本実施形態は、光学部品を搭載せず、ベース51の厚さをパッケージ100に収納できる範囲で自由に設計できる部分を肉厚とし、ベース51の剛性を高めることによって変形をさらに抑制するものである。肉厚部分はどの部分に設けても効果を奏するが、中央部分に光学部品を搭載し、その両側に設けることが望ましい。特に光軸方向での変形を抑制することが光軸のずれを抑えるのに有効であるので、肉厚部分をレーザ光がレーザ素子から光ファイバに伝播されるまでの光軸方向と平行方向に設けることが望ましい。
図7では、ベース51の両端の肉厚部分を上に盛り上がる形状としたが、ベース51が温度調節器50から張り出した部分がある場合にはその部分を下側に厚くしてもよい。また、肉厚部分は同じ材料で構成された部材を接合することによって形成してもよい。
Fourth embodiment The fourth embodiment is a laser module having substantially the same configuration as that of the third embodiment, except that the base 51 (first substrate) mounted on the
FIG. 7 is a perspective view of the base 51 installed on the temperature controller in the laser module of the fourth embodiment.
In the present embodiment, the thick portions 55 in the direction parallel to the optical axis direction until the laser light is propagated from the laser element to the optical fiber are provided on both side portions of the
In a laser module in which many optical components are mounted on a temperature controller as in this embodiment, a plurality of optical components are installed on one substrate in advance, and then the manufacturing process is performed by mounting on the temperature controller. It becomes easy. However, in a substrate on which a plurality of optical components are arranged, there is a case where deformation due to its own stress cannot be ignored even if the influence of stress from the surrounding substrate is eliminated. In this embodiment, an optical component is not mounted, and a portion that can be freely designed within a range in which the thickness of the base 51 can be accommodated in the
In FIG. 7, the thick portions at both ends of the base 51 are formed so as to rise upward. However, if there is a portion where the base 51 protrudes from the
以上のように本発明にかかる温度調節器を有する光学装置およびレーザモジュールでは、
温度調節器上で異種材料を組み合わせた架台の変形を抑制することができる。
As described above, in the optical device and the laser module having the temperature controller according to the present invention,
Deformation of the gantry combining different materials on the temperature controller can be suppressed.
10:レーザ素子
11:レーザキャリア
20:受光素子
21:受光素子
22:受光素子
25;PDキャリア
30:レンズ
31:レンズホルダ
40:光ファイバ
41:アイソレータ
42:光分岐器
43:光分岐器
44:光波長フィルタ
50:温度制御器
51:ベース
52:小型温度調節器
53:第1の基板
54:第2の基板
55:ベース肉厚部分
100:パッケージ
10: Laser element 11: Laser carrier 20: Light receiving element 21: Light receiving element 22:
Claims (4)
温度調節器上に設置された第1の材料で構成された第1の基板と、
第1の基板上に接合された第2の材料で構成された第2の基板と、
前記第2の基板上に設置された光学部品とを有し、
前記第2の材料の熱膨張係数よりも前記第1の材料の熱膨張係数が大きく、
前記第1の基板は、両端部が張り出したコの字形状であり、
前記第2の基板は、前記第1の基板の張り出した両端部にそれぞれ設けられ、
前記第2の基板が、前記第1の基板および前記光学部品との接合面以外では他の部材と接触しないように配置されていることを特徴とする光学装置。 A temperature controller and a first substrate composed of a first material installed on the temperature controller;
A second substrate composed of a second material bonded onto the first substrate;
An optical component installed on the second substrate,
The coefficient of thermal expansion of the first material is greater than the coefficient of thermal expansion of the second material,
The first substrate has a U-shape with both ends protruding.
The second substrate is provided at both ends of the first substrate,
The optical device, wherein the second substrate is disposed so as not to contact other members except for a joint surface between the first substrate and the optical component.
温度調節器と、
温度調節器上に設置された第1の材料で構成された第1の基板と、
第1の基板上に接合された第2の材料で構成された第2の基板と、
前記第2の基板上に設置された光学部品と、
前記レーザ素子、前記温度調節器、前記第1の基板、前記第2の基板および前記光学部品とを収納するパッケージとを有し、
前記第2の材料の熱膨張係数よりも前記第1の材料の熱膨張係数が大きく、
前記第1の基板は、両端部が張り出したコの字形状であり、
前記第2の基板は、前記第1の基板の張り出した両端部にそれぞれ設けられ、
前記第2の基板が、前記第1の基板および前記光学部品との接合面以外では他の部材と接触しないように配置されていることを特徴とするレーザモジュール。 A laser element;
A temperature controller;
A first substrate composed of a first material placed on a temperature controller;
A second substrate composed of a second material bonded onto the first substrate;
An optical component installed on the second substrate;
It has the laser element, the temperature controller, the first substrate, and a front Symbol package housing the second substrate and the optical component,
The coefficient of thermal expansion of the first material is greater than the coefficient of thermal expansion of the second material,
The first substrate has a U-shape with both ends protruding.
The second substrate is provided at both ends of the first substrate,
The laser module, wherein the second substrate is disposed so as not to come into contact with other members other than a joint surface between the first substrate and the optical component.
The laser module according to claim 3, wherein the optical component is provided in a portion protruding from the temperature controller.
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