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JP4665616B2 - Epoxy resin composition and semiconductor device - Google Patents

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JP4665616B2 JP2005166569A JP2005166569A JP4665616B2 JP 4665616 B2 JP4665616 B2 JP 4665616B2 JP 2005166569 A JP2005166569 A JP 2005166569A JP 2005166569 A JP2005166569 A JP 2005166569A JP 4665616 B2 JP4665616 B2 JP 4665616B2
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は、エポキシ樹脂組成物および半導体装置に関するものである。   The present invention relates to an epoxy resin composition and a semiconductor device.

IC、LSI等の半導体素子を封止して半導体装置を得る方法としては、エポキシ樹脂組成物のトランスファー成形が低コスト、大量生産に適しているという点で広く用いられている。また、エポキシ樹脂や、硬化剤であるフェノール樹脂の改良により、半導体装置の特性、信頼性の向上が図られている。   As a method for obtaining a semiconductor device by sealing semiconductor elements such as IC and LSI, transfer molding of an epoxy resin composition is widely used in that it is suitable for mass production at low cost. In addition, improvement of the characteristics and reliability of the semiconductor device has been achieved by improving the epoxy resin and the phenol resin which is a curing agent.

しかしながら、昨今の電子機器の小型化、軽量化、高性能化の市場動向において、半導体の高集積化も年々進んでおり、また、半導体装置の表面実装化も促進されている。これに伴い、半導体素子の封止に用いられるエポキシ樹脂組成物への要求は、益々厳しいものとなってきている。このため、従来からのエポキシ樹脂組成物では、解決できない(対応できない)問題も生じている。   However, in recent market trends of downsizing, weight reduction, and high performance of electronic devices, higher integration of semiconductors has been progressing year by year, and surface mounting of semiconductor devices has been promoted. Along with this, the demand for epoxy resin compositions used for sealing semiconductor elements has become increasingly severe. For this reason, the conventional epoxy resin composition also has a problem that cannot be solved (cannot be handled).

近年、半導体素子の封止に用いられる材料には、生産効率の向上を目的とした速硬化性の向上と、半導体を封止した際の、耐熱性や信頼性の向上のため、無機質の充填材を高充填しても損なわれることのない高流動性が求められるようになってきている。   In recent years, materials used for sealing semiconductor elements have been filled with inorganic materials to improve fast curing for the purpose of improving production efficiency and to improve heat resistance and reliability when sealing semiconductors. High fluidity that is not impaired even when the material is highly filled has been demanded.

電気・電子材料分野向けのエポキシ樹脂組成物には、硬化時における樹脂の硬化反応を促進する目的で、速硬化性に優れる第三ホスフィンとキノン類との付加反応物が硬化促進剤として添加される(例えば、特許文献1参照。)。   Epoxy resin compositions for the electrical and electronic materials field contain an addition reaction product of tertiary phosphine and quinones, which are excellent in rapid curing, for the purpose of promoting the curing reaction of the resin during curing. (For example, see Patent Document 1).

ところで、かかる硬化促進剤は、硬化促進効果を示す温度領域が比較的低温にまで及ぶ。このため、硬化反応の初期において、その反応がわずかずつであるが促進してしまい、この反応が原因となって、樹脂組成物が高分子量化する。かかる高分子量化は、樹脂粘度の向上を引き起こし、結果として、信頼性向上のために充填材を高充填した樹脂組成物においては、流動性の不足により成型不良などの問題を引き起こす。   By the way, in such a curing accelerator, a temperature range showing a curing acceleration effect extends to a relatively low temperature. For this reason, in the initial stage of the curing reaction, the reaction is promoted little by little, and this reaction causes the resin composition to have a high molecular weight. Such high molecular weight causes an increase in resin viscosity. As a result, in a resin composition that is highly filled with a filler for improving reliability, problems such as poor molding due to insufficient fluidity are caused.

また、流動性を向上させるべく、硬化性を抑制する成分を用いて、反応性の基質を保護する試みも、さまざまなものが取り組まれてきた。例えば、硬化促進剤の活性点をイオン対により保護することで、潜伏性を発現する研究がなされており、種々の有機酸とホスホニウムイオンとの塩構造を有する潜伏性触媒が知られている(例えば、特許文献2〜3参照。)。しかし、このような通常の塩類では、硬化反応の初期から終期まで、常に抑制成分が存在するために、流動性を得ることができる反面、硬化性は十分に得られない、両立ができないものであった。
特開平10−25335号公報(第2頁) 特開2001−98053号公報(第5頁) 米国特許第4171420号明細書(第2−4頁)
In order to improve fluidity, various attempts have been made to protect reactive substrates using components that suppress curability. For example, studies have been made to develop latency by protecting the active sites of curing accelerators with ion pairs, and latent catalysts having salt structures of various organic acids and phosphonium ions are known ( For example, see Patent Documents 2 to 3.) However, in such normal salts, since there are always inhibiting components from the initial stage to the final stage of the curing reaction, fluidity can be obtained, but sufficient curability cannot be obtained, and both cannot be achieved. there were.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-25335 (page 2) JP 2001-98053 A (page 5) U.S. Pat. No. 4,171,420 (pages 2-4)

本発明の目的は、硬化性、流動性および保存性が良好なエポキシ樹脂組成物ならびに耐半田クラック性や耐湿信頼性に優れる半導体装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an epoxy resin composition having good curability, fluidity and storage stability, and a semiconductor device excellent in solder crack resistance and moisture resistance reliability.

このような目的は、下記(1)〜(10)の本発明により達成される。
(1) 1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)と、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(B)と、エポキシ樹脂の硬化反応を促進し得るカチオン部と、前記硬化反応を促進する活性を抑制するシリケートアニオン部を有する潜伏性触媒(C)と、脂環構造、芳香環構造または複素環構造を構成する2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物(D)と、を含むことを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
(2) 前記潜伏性触媒(C)のカチオン部は窒素カチオンまたは燐カチオンを含むものである上記(1)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(3) 前記潜伏性触媒(C)は、下記一般式(1)で表されるものである上記(2)に記載のエポキシ樹脂組成物。
Such an object is achieved by the present inventions (1) to (10) below.
(1) a compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule, a compound (B) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, and a cation moiety capable of promoting the curing reaction of the epoxy resin; , A latent catalyst (C) having a silicate anion part that suppresses the activity of promoting the curing reaction, and two or more adjacent carbon atoms constituting an alicyclic structure, aromatic ring structure or heterocyclic structure each have a hydroxyl group An epoxy resin composition comprising a bonded compound (D).
(2) The epoxy resin composition according to the above (1), wherein the cation part of the latent catalyst (C) contains a nitrogen cation or a phosphorus cation.
(3) The epoxy resin composition according to (2), wherein the latent catalyst (C) is represented by the following general formula (1).

[式中、Aは窒素原子または燐原子を表す。式中、R、R、RおよびRは、それぞれ、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。式中Xは、置換基YおよびYと結合する有機基である。式中Xは、置換基YおよびYと結合する有機基である。YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基Y、およびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。X、およびXは互いに同一でも異なっていてもよく、Y、Y、Y、およびYは互いに同一であっても異なっていてもよい。Zは置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表す。] [Wherein, A 1 represents a nitrogen atom or a phosphorus atom. In the formula, each of R 1 , R 2 , R 3 and R 4 represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group, and is the same as each other May be different. In the formula, X 1 is an organic group bonded to the substituents Y 1 and Y 2 . In the formula, X 2 is an organic group bonded to the substituents Y 3 and Y 4 . Y 1 and Y 2 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and the substituents Y 1 and Y 2 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. Y 3 and Y 4 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and the substituents Y 3 and Y 4 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. X 1 and X 2 may be the same or different from each other, and Y 1 , Y 2 , Y 3 , and Y 4 may be the same or different from each other. Z 1 represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group. ]

(4) 前記潜伏性触媒(C)は、一般式(1)におけるR、R、RおよびRの少なくとも1つが置換もしくは無置換の芳香環を有する有機基である上記(3)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(5) 前記潜伏性触媒(C)は、下記一般式(2)で表されるものである上記(4)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(4) The latent catalyst (C) is the above (3), wherein at least one of R 1 , R 2 , R 3 and R 4 in the general formula (1) is an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring. The epoxy resin composition described in 1.
(5) The epoxy resin composition according to (4), wherein the latent catalyst (C) is represented by the following general formula (2).

[式中、R、RおよびRは、それぞれ、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。Arは置換もしくは無置換の芳香族基を表す。式中Xは、置換基YおよびYと結合する有機基である。式中Xは、置換基YおよびYと結合する有機基である。YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基Y、およびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。X、およびXは互いに同一でも異なっていてもよく、Y、Y、Y、およびYは互いに同一であっても異なっていてもよい。Zは置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表す。] [Wherein R 5 , R 6 and R 7 each represents a substituted or unsubstituted aromatic group or heterocyclic organic group, or a substituted or unsubstituted aliphatic group, and may be the same or different from each other. It may be. Ar represents a substituted or unsubstituted aromatic group. In the formula, X 3 is an organic group bonded to the substituents Y 5 and Y 6 . In the formula, X 4 is an organic group bonded to the substituents Y 7 and Y 8 . Y 5 and Y 6 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and substituents Y 5 and Y 6 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. Y 7 and Y 8 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and the substituents Y 7 and Y 8 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. X 3 and X 4 may be the same or different, and Y 5 , Y 6 , Y 7 and Y 8 may be the same or different from each other. Z 2 represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group. ]

(6) 前記潜伏性触媒(C)は、下記一般式(3)で表されるものである上記(5)に記載のエポキシ樹脂組成物。 (6) The epoxy resin composition according to (5), wherein the latent catalyst (C) is represented by the following general formula (3).

[式中、R、RおよびR10は、それぞれ、水素原子、メチル基、メトキシ基および水酸基から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。式中Xは、置換基YおよびY10と結合する有機基である。YおよびY10はプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、それらは互いに同一であっても異なっていてもよく、同一分子内の置換基Y、およびY10が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。Zは置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表す。] [Wherein R 8 , R 9 and R 10 each represent one selected from a hydrogen atom, a methyl group, a methoxy group and a hydroxyl group, and may be the same or different from each other. In the formula, X 5 is an organic group bonded to the substituents Y 9 and Y 10 . Y 9 and Y 10 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, which may be the same or different from each other, and the substituents Y 9 and Y 10 in the same molecule are silicon It combines with atoms to form a chelate structure. Z 3 represents an organic group or a substituted or unsubstituted aliphatic group, having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring. ]

(7) 無機充填材を含む上記(6)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(8) 前記無機充填材の含有量は、前記1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物と、前記1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物との合計量100重量部あたり、200〜2400重量部である上記(7)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(9) 上記(8)に記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物により電子部品を封止してなることを特徴とする半導体装置。
(7) The epoxy resin composition according to the above (6), which contains an inorganic filler.
(8) The content of the inorganic filler is about 100 parts by weight in total of the compound having two or more epoxy groups in one molecule and the compound having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule. The epoxy resin composition according to (7), which is 200 to 2400 parts by weight.
(9) A semiconductor device comprising an electronic component sealed with a cured product of the epoxy resin composition according to (8).

本発明のエポキシ樹脂組成物は、硬化性、保存性、流動性、密着性に優れる。
また、本発明の半導体装置は、高温に曝された場合であっても、クラックや剥離等の欠陥が生じ難く、また、吸湿に伴う経時劣化も発生し難い。
The epoxy resin composition of the present invention is excellent in curability, storage stability, fluidity, and adhesion.
In addition, even when the semiconductor device of the present invention is exposed to a high temperature, defects such as cracks and peeling hardly occur, and deterioration with time due to moisture absorption hardly occurs.

以下、本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体装置の好適実施形態について説明する。
[本発明のエポキシ樹脂組成物]
本発明のエポキシ樹脂組成物は、1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)と、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(B)と、エポキシ樹脂の硬化反応を促進し得るカチオン部と、前記硬化反応を促進する活性を抑制するシリケートアニオン部を有する潜伏性触媒(C)と、脂環構造、芳香環構造または複素環構造を構成する2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物(D)と、任意に、無機充填材(E)と、を含むものである。かかるエポキシ樹脂組成物は、硬化性、流動性および保存性に優れたものである。
Hereinafter, preferred embodiments of the epoxy resin composition and the semiconductor device of the present invention will be described.
[Epoxy resin composition of the present invention]
The epoxy resin composition of the present invention comprises a compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule, a compound (B) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, and a curing reaction of the epoxy resin. A latent catalyst (C) having a cation moiety that can be promoted, a silicate anion moiety that suppresses the activity of promoting the curing reaction, and two or more adjacent ones constituting an alicyclic structure, aromatic ring structure, or heterocyclic structure It includes a compound (D) in which a hydroxyl group is bonded to each carbon atom, and optionally an inorganic filler (E). Such an epoxy resin composition is excellent in curability, fluidity and storage stability.

以下、本発明のエポキシ樹脂組成物に用いる各成分について、順次説明する。
[1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)]
本発明に用いる1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)としては、1分子内にエポキシ基を2個以上有するものであれば、何ら制限はない。
前記化合物(A)としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂および臭素化ビスフェノール型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂;、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂など;、さらには、フェノール類やフェノール樹脂やナフトール類などの水酸基にエピクロロヒドリンを反応させて製造するエポキシ化合物、オレフィンを過酸により酸化させエポキシ化したエポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂およびグリシジルアミン型エポキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Hereinafter, each component used for the epoxy resin composition of this invention is demonstrated one by one.
[Compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule]
The compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule used in the present invention is not particularly limited as long as it has two or more epoxy groups in one molecule.
Examples of the compound (A) include bisphenol type epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins and brominated bisphenol type epoxy resins; biphenyl type epoxy resins, biphenyl aralkyl type epoxy resins, and stilbene type epoxies. Resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, dihydroxybenzene type epoxy resin, etc .; and further, epithelial hydroxyl groups such as phenols, phenol resins and naphthols. Epoxy compounds produced by reacting chlorohydrin, epoxy resins obtained by oxidizing olefins with peracids and epoxidized, glycidyl ester type epoxy resins and glycidyl amides Type epoxy resins and the like may be used singly or in combination of two or more of them.

[1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(B)]
本発明に用いる1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(B)は、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するものであり、前記化合物(A)の硬化剤として作用(機能)するものである。
前記化合物(B)としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ビフェニルアラルキル樹脂、トリスフェノール樹脂、キシリレン変性ノボラック樹脂、テルペン変性ノボラック樹脂およびジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
[Compound (B) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule]
The compound (B) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule used in the present invention has two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule and acts as a curing agent for the compound (A) (function). )
Examples of the compound (B) include phenol novolak resins, cresol novolak resins, bisphenol resins, phenol aralkyl resins, biphenyl aralkyl resins, trisphenol resins, xylylene-modified novolak resins, terpene-modified novolak resins and dicyclopentadiene-modified phenol resins. 1 type or 2 types or more of these can be used in combination.

[潜伏性触媒(C)]
本発明に用いる潜伏性触媒は、エポキシ樹脂の硬化反応を促進し得るカチオン部と、該カチオン部における硬化反応を促進する活性を抑制する効果のあるシリケートアニオン部とを有するものであり、所望の反応温度、例えば、エポキシ樹脂組成物の成形温度、よりも低温領域で前記シリケートアニオンは解離することがなく、前記カチオン部における硬化反応の促進を抑制させることが可能となるものである。
[Latent catalyst (C)]
The latent catalyst used in the present invention has a cation part that can promote the curing reaction of the epoxy resin, and a silicate anion part that has an effect of suppressing the activity of promoting the curing reaction in the cation part, and is desired. The silicate anion does not dissociate at a temperature lower than the reaction temperature, for example, the molding temperature of the epoxy resin composition, and the promotion of the curing reaction in the cation portion can be suppressed.

本発明に用いる潜伏性触媒において、極めて求核性の低いシリケートアニオン構造は、前記低温領域では容易に硬化反応を開始、促進しないため、流動性や保存安定性に優れた特性を同時に付与することができる。従来技術である第三ホスフィンとp−ベンゾキノンとの付加物や通常のオニウムフェノキシド塩のように、オニウムカチオンとフェノキシドアニオンの分子内塩または分子外塩では、フェノキシドアニオンのより高い求核性により、硬化促進反応がより起きやすく、流動性はより低いものとなる。   In the latent catalyst used in the present invention, the silicate anion structure having extremely low nucleophilicity does not easily initiate and accelerate the curing reaction in the low temperature region, and thus simultaneously imparts excellent properties in fluidity and storage stability. Can do. Like the conventional adduct of tertiary phosphine and p-benzoquinone and the usual onium phenoxide salt, the inner or outer salt of onium cation and phenoxide anion has higher nucleophilicity of phenoxide anion. The curing acceleration reaction is more likely to occur and the fluidity is lower.

また、極めて求核性の低いシリケートアニオン構造は、硬化反応の途中で、例えば、加熱により、該構造中のキレート結合を切断して解離し、シリケート部位は樹脂中に取り込まれて、カチオン部の硬化促進活性を抑制する機能を失い、遊離したカチオン部が硬化反応を促進するため、優れた流動性と硬化性を同時に付与する。従来技術である通常のオニウムボレート塩のように、オニウムカチオンとボレートアニオンの分子内塩または分子外塩では、極めて低い求核性を有するボレートアニオンが、硬化過程において存在し続け、硬化性が抑制される。   In addition, a silicate anion structure having extremely low nucleophilicity is dissociated by cleaving the chelate bond in the structure during the curing reaction, for example, by heating, and the silicate site is incorporated into the resin, and the cation moiety Since it loses the function of suppressing the curing accelerating activity and the liberated cation moiety promotes the curing reaction, it imparts excellent fluidity and curability at the same time. Like conventional onium borate salts, which are conventional technologies, borate anions with extremely low nucleophilicity continue to exist in the curing process in the inner or outer salt of an onium cation and borate anion, and curability is suppressed. Is done.

本発明に用いる潜伏性触媒の構造(形態)としては、アニオン部とカチオン部が、1:1の比率でイオン結合を形成した単純塩の他に、余剰なアニオン部またはカチオン部が配位することにより形成される錯体、錯塩や、分子化合物などの非共有性結合で形成された公知の化合物なども、エポキシ樹脂の硬化反応を促進し得るカチオン部と前記硬化反応を促進する活性を抑制するアニオン部から構成されるものであれば、何ら問題はない。   As a structure (form) of the latent catalyst used in the present invention, an anion portion and a cation portion are coordinated with an excess anion portion or cation portion in addition to a simple salt in which an ionic bond is formed at a ratio of 1: 1. Complexes, complex salts, and known compounds formed by noncovalent bonds such as molecular compounds also suppress the cation moiety that can accelerate the curing reaction of the epoxy resin and the activity that accelerates the curing reaction. There is no problem as long as it is composed of an anion moiety.

本発明に用いる潜伏性触媒において、前記カチオン部としては、例えば、窒素原子、燐原子、硫黄原子またはヨウ素原子などを含むものが挙げられ、反応活性の点から、窒素原子または燐原子を含むものが好ましい。これらのカチオン部としては、エポキシ樹脂の硬化促進剤として用いられる、ホスフィン、第三級アミンおよびオニウム塩などを用いることができるが、これらの中でも、オニウム塩であることが好ましい。   In the latent catalyst used in the present invention, examples of the cation moiety include those containing a nitrogen atom, phosphorus atom, sulfur atom or iodine atom, and those containing a nitrogen atom or phosphorus atom from the viewpoint of reaction activity. Is preferred. As these cation parts, phosphine, tertiary amines, onium salts and the like used as curing accelerators for epoxy resins can be used, and among these, onium salts are preferable.

本発明の潜伏性触媒において、好ましいカチオン部として窒素原子または燐原子を含むオニウム塩と、シリケートアニオンとからなるオニウムシリケートとしては、前記一般式(1)で表されるものを挙げることができる。例えば、スルホニウムシリケート、アンモニウムシリケート、ピリジニウムシリケート、ホスホニウムシリケート、ヨードニウムシリケートおよびセレニウムシリケートが挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   In the latent catalyst of the present invention, examples of the onium silicate comprising an onium salt containing a nitrogen atom or a phosphorus atom as a preferred cation moiety and a silicate anion include those represented by the general formula (1). Examples thereof include sulfonium silicate, ammonium silicate, pyridinium silicate, phosphonium silicate, iodonium silicate and selenium silicate, and one or more of these can be used in combination.

ここで、前記一般式(1)において、原子Aは燐原子または窒素原子であり、原子Aに結合する置換基R、R、RおよびRは、それぞれ、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を示し、これらは、互いに同一でも異なっていてもよい。
これらの置換基R〜Rとしては、例えば、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ナフチル基、ヒドロキシナフチル基、ベンジル基、メチル基、エチル基、n−ブチル基、n−オクチル基およびシクロヘキシル基等が挙げられ、反応活性や安定性の点から、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基などの置換もしくは無置換の芳香族基がより好ましい。
Here, in the general formula (1), the atom A 1 is a phosphorus atom or a nitrogen atom, and the substituents R 1 , R 2 , R 3 and R 4 bonded to the atom A 1 are substituted or unsubstituted, respectively. Or an organic group having an aromatic ring or a heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group, which may be the same as or different from each other.
Examples of these substituents R 1 to R 4 include phenyl group, methylphenyl group, methoxyphenyl group, hydroxyphenyl group, naphthyl group, hydroxynaphthyl group, benzyl group, methyl group, ethyl group, n-butyl group, n-octyl group, cyclohexyl group, and the like. From the viewpoint of reaction activity and stability, substituted or unsubstituted aromatic groups such as phenyl group, methylphenyl group, methoxyphenyl group, hydroxyphenyl group, and hydroxynaphthyl group may be used. More preferred.

また、前記一般式(1)において、置換基Xは、置換基YおよびYと結合する有機基である。同様に、置換基Xは、置換基YおよびYと結合する有機基である。置換基YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、それらは互いに同一であっても異なっていてもよく、同一分子内の置換基Y、およびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。同様に置換基Y、およびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。置換基X、およびXは互いに同一でも異なっていてもよく、置換基Y、Y、Y、およびYは互いに同一であっても異なっていてもよい。
このような一般式(1)中のY、およびYで示される基は、2価以上のプロトン供与体が、プロトンを2個放出してなる基で構成されるものであり、2価以上のプロトン供与体としては、例えば、カテコール、ピロガロール、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,2’−ビフェノール、2,2’−ビナフトール、サリチル酸、1−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、3−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、クロラニル酸、タンニン酸、2−ヒドロキシベンジルアルコール、1,2−シクロヘキサンジオール、1,2−プロパンジオールおよびグリセリン等を挙げられるが、これらの中でも、カテコール、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレンが、保存安定性や耐湿信頼性の面から、より好ましい。
Further, in the general formula (1), the substituent X 1 is an organic group bonding to the substituent Y 1 and Y 2. Similarly, the substituent X 2 is an organic group bonded to the substituents Y 3 and Y 4 . Substituents Y 1 and Y 2 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and they may be the same or different from each other. Substituents Y 1 and Y 2 in the same molecule Is bonded to a silicon atom to form a chelate structure. Similarly, the substituents Y 3 and Y 4 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and the substituents Y 3 and Y 4 in the same molecule bind to a silicon atom to form a chelate structure. Is. The substituents X 1 and X 2 may be the same or different from each other, and the substituents Y 1 , Y 2 , Y 3 , and Y 4 may be the same or different from each other.
Such a group represented by Y 1 X 1 Y 2 and Y 3 X 2 Y 4 in the general formula (1) is composed of a group formed by releasing two protons from a bivalent or higher proton donor. Examples of divalent or higher proton donors include catechol, pyrogallol, 1,2-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,2′-biphenol, 2,2′-binaphthol, Examples include salicylic acid, 1-hydroxy-2-naphthoic acid, 3-hydroxy-2-naphthoic acid, chloranilic acid, tannic acid, 2-hydroxybenzyl alcohol, 1,2-cyclohexanediol, 1,2-propanediol, and glycerin. Among these, catechol, 1,2-dihydroxynaphthalene, and 2,3-dihydroxynaphthalene are storage stable. From the viewpoint of reliability and moisture resistance reliability.

また、一般式(1)中のZは、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表し、これらの具体的な例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基およびオクチル基等の脂肪族炭化水素基や、フェニル基、ベンジル基、ナフチル基およびビフェニル基等の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシプロピル基、メルカプトプロピル基、アミノプロピル基およびビニル基等の反応性置換基などが挙げられるが、これらの中でも、メチル基、フェニル基、ナフチル基およびビフェニル基が熱安定性の面から、より好ましい。 Z 1 in the general formula (1) represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group. Specific examples thereof include a methyl group Aliphatic hydrocarbon groups such as ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group and octyl group, aromatic hydrocarbon groups such as phenyl group, benzyl group, naphthyl group and biphenyl group, glycidyloxypropyl group, mercaptopropyl Examples thereof include reactive substituents such as a group, aminopropyl group and vinyl group, and among these, a methyl group, a phenyl group, a naphthyl group and a biphenyl group are more preferable from the viewpoint of thermal stability.

このようなオニウムシリケート、すなわち、本発明に用いる好ましい潜伏性触媒は、従来の硬化促進剤と比較し、硬化促進剤としての特性、特に硬化性、流動性および保存性が極めて優れるものである。   Such an onium silicate, that is, a preferred latent catalyst used in the present invention, is extremely excellent in properties as a curing accelerator, particularly curability, fluidity and storage stability, as compared with conventional curing accelerators.

また、これらのオニウムシリケートのうち、より好ましい潜伏性触媒としては、前記一般式(2)で表される、ホスホニウムカチオンを有するものを挙げることができる。   Among these onium silicates, more preferable latent catalysts include those having a phosphonium cation represented by the general formula (2).

ここで、前記一般式(2)において、燐原子に結合する置換基R、R、およびRは、それぞれ、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を示し、これらは、互いに同一でも異なっていてもよい。
これらの置換基R〜Rとしては、例えば、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ナフチル基、ヒドロキシナフチル基、ベンジル基、メチル基、エチル基、n−ブチル基、n−オクチル基およびシクロヘキシル基等が挙げられ、反応活性や安定性の点から、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基およびヒドロキシナフチル基などの置換もしくは無置換の芳香族基がより好ましい。
Here, in the general formula (2), the substituents R 5 , R 6 , and R 7 bonded to the phosphorus atom are each an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted group. And these may be the same as or different from each other.
Examples of these substituents R 5 to R 7 include phenyl group, methylphenyl group, methoxyphenyl group, hydroxyphenyl group, naphthyl group, hydroxynaphthyl group, benzyl group, methyl group, ethyl group, n-butyl group, n-octyl group, cyclohexyl group and the like. From the viewpoint of reaction activity and stability, substituted or unsubstituted aromatic groups such as phenyl group, methylphenyl group, methoxyphenyl group, hydroxyphenyl group and hydroxynaphthyl group are present. More preferred.

また、前記一般式(2)において、置換基Arは、置換もしくは無置換の芳香族基を示す。置換基Arとしては、例えば、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ナフチル基およびヒドロキシナフチル基等が挙げられ、反応活性や安定性の点から、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基およびヒドロキシナフチル基などの置換もしくは無置換の芳香族基がより好ましい。   In the general formula (2), the substituent Ar represents a substituted or unsubstituted aromatic group. Examples of the substituent Ar include a phenyl group, a methylphenyl group, a methoxyphenyl group, a hydroxyphenyl group, a naphthyl group, and a hydroxynaphthyl group. From the viewpoint of reaction activity and stability, a phenyl group, a methylphenyl group, A substituted or unsubstituted aromatic group such as a methoxyphenyl group, a hydroxyphenyl group and a hydroxynaphthyl group is more preferable.

また、前記一般式(2)において、置換基Xは、置換基YおよびYと結合する有機基である。同様に、置換基Xは、置換基YおよびYと結合する有機基である。置換基YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基Y、およびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。同様に置換基Y、およびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。置換基X、およびXは互いに同一でも異なっていてもよく、置換基Y、Y、Y、およびYは互いに同一であっても異なっていてもよい。
このような一般式(2)中のY、およびYで示される基は、2価以上のプロトン供与体が、プロトンを2個放出してなる基で構成されるものであり、2価以上のプロトン供与体としては、例えば、カテコール、ピロガロール、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,2’−ビフェノール、2,2’−ビナフトール、サリチル酸、1−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、3−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、クロラニル酸、タンニン酸、2−ヒドロキシベンジルアルコール、1,2−シクロヘキサンジオール、1,2−プロパンジオールおよびグリセリン等を挙げられるが、これらの中でも、カテコール、1,2−ジヒドロキシナフタレンおよび2,3−ジヒドロキシナフタレンが、保存安定性や耐湿信頼性の面から、より好ましい。
In the general formula (2), the substituent X 3 is an organic group bonded to the substituents Y 5 and Y 6 . Similarly, the substituent X 4 is an organic group bonded to the substituents Y 7 and Y 8 . Substituent Y 5 and Y 6 is a group proton donating substituent group releases a proton, those substituents Y 5 in the same molecule, and the Y 6 are linked with the silicon atom to form a chelate structure is there. Similarly, the substituents Y 7 and Y 8 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and the substituents Y 7 and Y 8 in the same molecule bind to a silicon atom to form a chelate structure. Is. The substituents X 3 and X 4 may be the same or different from each other, and the substituents Y 5 , Y 6 , Y 7 , and Y 8 may be the same or different from each other.
Such a group represented by Y 5 X 3 Y 6 and Y 7 X 4 Y 8 in the general formula (2) is composed of a group formed by releasing two protons from a bivalent or higher proton donor. Examples of divalent or higher proton donors include catechol, pyrogallol, 1,2-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,2′-biphenol, 2,2′-binaphthol, Examples include salicylic acid, 1-hydroxy-2-naphthoic acid, 3-hydroxy-2-naphthoic acid, chloranilic acid, tannic acid, 2-hydroxybenzyl alcohol, 1,2-cyclohexanediol, 1,2-propanediol, and glycerin. Among these, catechol, 1,2-dihydroxynaphthalene and 2,3-dihydroxynaphthalene are preserved. It is more preferable from the viewpoint of stability and moisture resistance reliability.

また、一般式(2)中のZは、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表し、これらの具体的な例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基およびオクチル基等の脂肪族炭化水素基や、フェニル基、ベンジル基、ナフチル基およびビフェニル基等の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシプロピル基、メルカプトプロピル基、アミノプロピル基およびビニル基等の反応性置換基などが挙げられるが、これらの中でも、メチル基、フェニル基、ナフチル基およびビフェニル基が熱安定性の面から、より好ましい。 Z 2 in the general formula (2) represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or a heterocyclic ring or a substituted or unsubstituted aliphatic group. Specific examples thereof include a methyl group Aliphatic hydrocarbon groups such as ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group and octyl group, aromatic hydrocarbon groups such as phenyl group, benzyl group, naphthyl group and biphenyl group, glycidyloxypropyl group, mercaptopropyl Examples thereof include reactive substituents such as a group, aminopropyl group and vinyl group, and among these, a methyl group, a phenyl group, a naphthyl group and a biphenyl group are more preferable from the viewpoint of thermal stability.

また、これらのオニウムシリケートのうち、さらにより好ましい潜伏性触媒としては、前記一般式(3)で表される、燐原子に結合する有機基が、置換もしくは無置換のフェニル基であるホスホニウムカチオンを有するものを挙げることができる。   Among these onium silicates, an even more preferred latent catalyst is a phosphonium cation represented by the general formula (3), wherein the organic group bonded to the phosphorus atom is a substituted or unsubstituted phenyl group. The thing which has can be mentioned.

ここで、前記一般式(3)において、フェニル基上の置換基R、R、およびR10は、それぞれ、水素原子、メチル基、メトキシ基、および水酸基から選択される1種を示し、これらは、互いに同一でも異なっていてもよい。 Here, in the general formula (3), the substituents R 8 , R 9 , and R 10 on the phenyl group each represent one selected from a hydrogen atom, a methyl group, a methoxy group, and a hydroxyl group, These may be the same as or different from each other.

また、前記一般式(3)において、置換基Xは、置換基YおよびY10と結合する有機基である。置換基YおよびY10はプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、それらは互いに同一であっても異なっていてもよく、同一分子内の置換基Y、およびY10が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。
このような一般式(3)中のY10で示される基は、2価以上のプロトン供与体が、プロトンを2個放出してなる基で構成されるものであり、2価以上のプロトン供与体としては、例えば、カテコール、ピロガロール、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,2’−ビフェノール、2,2’−ビナフトール、サリチル酸、1−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、3−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、クロラニル酸、タンニン酸、2−ヒドロキシベンジルアルコール、1,2−シクロヘキサンジオール、1,2−プロパンジオールおよびグリセリン等を挙げられるが、これらの中でも、カテコール、1,2−ジヒドロキシナフタレンおよび2,3−ジヒドロキシナフタレンが、保存安定性や耐湿信頼性の面から、より好ましい。
Further, in the general formula (3), the substituent X 5 is an organic group bonding to the substituent Y 9 and Y 10. Substituents Y 9 and Y 10 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and they may be the same as or different from each other, and substituents Y 9 and Y 10 in the same molecule may be the same. Is bonded to a silicon atom to form a chelate structure.
The group represented by Y 9 X 5 Y 10 in the general formula (3) is composed of a group in which a divalent or higher proton donor releases two protons. Examples of the proton donor include catechol, pyrogallol, 1,2-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,2′-biphenol, 2,2′-binaphthol, salicylic acid, 1-hydroxy-2- Examples include naphthoic acid, 3-hydroxy-2-naphthoic acid, chloranilic acid, tannic acid, 2-hydroxybenzyl alcohol, 1,2-cyclohexanediol, 1,2-propanediol, and glycerin. Among these, catechol 1,2-dihydroxynaphthalene and 2,3-dihydroxynaphthalene are excellent in storage stability and moisture resistance reliability. To more preferable.

また、一般式(3)中のZは、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、置換もしくは無置換の脂肪族基を表し、これらの具体的な例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基およびオクチル基等の脂肪族炭化水素基や、フェニル基、ベンジル基、ナフチル基およびビフェニル基等の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシプロピル基、メルカプトプロピル基、アミノプロピル基およびビニル基等の反応性置換基などが挙げられるが、これらの中でも、メチル基、フェニル基、ナフチル基およびビフェニル基が熱安定性の面から、より好ましい。 Z 3 in the general formula (3) represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group. Specific examples thereof include a methyl group Aliphatic hydrocarbon groups such as ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group and octyl group, aromatic hydrocarbon groups such as phenyl group, benzyl group, naphthyl group and biphenyl group, glycidyloxypropyl group, mercaptopropyl Examples thereof include reactive substituents such as a group, aminopropyl group and vinyl group, and among these, a methyl group, a phenyl group, a naphthyl group and a biphenyl group are more preferable from the viewpoint of thermal stability.

このような、一般式(3)で示されるホスホニウムシリケートは、キレートを構成する2つのプロトン供与性置換基が同一であるため、特に合成においてその合成簡便度が優れるという特徴を有するため、好ましい。   Such a phosphonium silicate represented by the general formula (3) is preferable because the two proton-donating substituents constituting the chelate are the same, and thus the synthesis is particularly easy to synthesize.

ここで、本発明に用いる潜伏性触媒の内、オニウムシリケートとして、前記一般式(1)で表される潜伏性触媒の合成方法について説明するが、これらに何ら限定されるものではない。   Here, the method for synthesizing the latent catalyst represented by the general formula (1) as the onium silicate among the latent catalysts used in the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.

本発明に用いる該潜伏性触媒の合成方法としては、例えば、オニウムハライド化合物と、シリケートのアルカリ金属塩とを接触させる合成ルートによる方法を挙げることがでる。前記シリケートのアルカリ金属塩は、トリアルコキシシラン類および珪素原子とキレート結合を形成可能な前記プロトン供与体を、水酸化ナトリウム等のアルカリ水酸化物で中和して得ることができるものである。これらの合成工程は、下記反応式のように表される。かかる合成法により、容易かつ高収率で合成することが可能である。   Examples of the method for synthesizing the latent catalyst used in the present invention include a method using a synthetic route in which an onium halide compound and an alkali metal salt of silicate are brought into contact with each other. The alkali metal salt of the silicate can be obtained by neutralizing the trialkoxysilanes and the proton donor capable of forming a chelate bond with a silicon atom with an alkali hydroxide such as sodium hydroxide. These synthesis steps are represented by the following reaction formula. By such a synthesis method, it is possible to synthesize easily and with high yield.

ここで、前記トリアルコキシシラン類としては、例えば、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシランおよびヘキシルトリエトキシシラン等が挙げられる。   Here, the trialkoxysilanes include, for example, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, and hexyltrimethoxysilane. An ethoxysilane etc. are mentioned.

前記オニウムハライド化合物としては、置換を有していても良い芳香環または複素環を有する有機基あるいは脂肪族基を有するオニウムハライド化合物が挙げられ、例えば、置換基を有していても良いトリフェニルスルホニウムブロミド、メチルトリオクチルアンモニウムブロミド、テトラフェニルアンモニウムブロミド、テトラブチルホスホニウムブロミド、テトラフェニルホスホニウムブロミド、トリフェニル(2−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミド、トリフェニル(3−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミド、トリフェニル(6−ヒドロキシ−2−ナフタレン)ホスホニウムブロミド、トリス(4−メチルフェニル)(2−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミドおよびトリス(4−メトキシフェニル)(2−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミドなどが挙げられる。   Examples of the onium halide compound include an onium halide compound having an organic group or an aliphatic group having an aromatic ring or a heterocyclic ring which may have a substituent. For example, triphenyl which may have a substituent Sulfonium bromide, methyltrioctylammonium bromide, tetraphenylammonium bromide, tetrabutylphosphonium bromide, tetraphenylphosphonium bromide, triphenyl (2-hydroxyphenyl) phosphonium bromide, triphenyl (3-hydroxyphenyl) phosphonium bromide, triphenyl (6 -Hydroxy-2-naphthalene) phosphonium bromide, tris (4-methylphenyl) (2-hydroxyphenyl) phosphonium bromide and tris (4-methoxyphenyl) (2- Rokishifeniru) such as bromide, and the like.

[式中、Aは、燐原子または窒素原子を表す。Rは、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表す。Xは1価の陰イオンを表す。R’は脂肪族基を表し、YおよびZはプロトン供与性置換基がプロトンを1個放出してなる基を表す。R’’はプロトン供与性置換基であるYHおよびZHと結合する有機基を表す。R’’’は置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基または脂肪族基を表す。] [Wherein, A represents a phosphorus atom or a nitrogen atom. R represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group. X represents a monovalent anion. R ′ represents an aliphatic group, and Y and Z represent a group formed by releasing one proton from a proton-donating substituent. R ″ represents an organic group bonded to proton-donating substituents YH and ZH. R ′ ″ represents an organic group or aliphatic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring. ]

上記の反応では、オニウムハライド化合物の溶液を、トリアルコキシシラン類とプロトン供与体の溶液とを水酸化ナトリウム等のアルカリで中和して生成するシリケートの溶液中に、室温で滴下することにより、オニウムシリケートを容易に得ることができる。
ここで用いる溶媒としては、例えば、メタノール、エタノールおよびプロパノール等のアルコール系溶媒が好ましく、収率を向上させる目的で、適宜、水等の再沈殿溶媒と混合させることもできる。
In the above reaction, a solution of an onium halide compound is dropped at room temperature into a silicate solution produced by neutralizing a trialkoxysilane and a proton donor solution with an alkali such as sodium hydroxide at room temperature. Onium silicate can be easily obtained.
As the solvent used here, for example, alcohol solvents such as methanol, ethanol and propanol are preferable, and for the purpose of improving the yield, it can be appropriately mixed with a reprecipitation solvent such as water.

[化合物(D)]
本発明に用いる脂環構造、芳香環構造または複素環構造を構成する2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物(D)(以下化合物Dと称する)は、かかる潜伏性触媒による硬化反応の促進を抑制させることができる。従って、所望の反応温度よりも低温領域での反応を抑えることができ、より優れた流動性および保存安定性を付与することができる。
[Compound (D)]
The compound (D) (hereinafter referred to as compound D) in which a hydroxyl group is bonded to each of two or more adjacent carbon atoms constituting the alicyclic structure, aromatic ring structure or heterocyclic structure used in the present invention is based on such a latent catalyst. The acceleration of the curing reaction can be suppressed. Therefore, the reaction in a lower temperature region than the desired reaction temperature can be suppressed, and more excellent fluidity and storage stability can be imparted.

また、本発明に用いる脂環構造、芳香環構造または複素環構造を構成する2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物(D)(以下化合物Dと称する)は、水酸基以外の置換基を有していてもよい。単環式化合物の具体例としては、1,2−シクロヘキサンジオール、カテコール、ピロガロール、没食子酸、没食子酸エステルまたはこれらの誘導体が挙げられ、多環式化合物の具体例として、例えば、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,2’−ビフェノール、2,2’−ビナフトール、サリチル酸、1−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、3−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、クロラニル酸、タンニン酸およびこれらの誘導体が挙げられる。そのうち流動性と硬化性の制御のしやすさから、芳香環を構成する2個の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合し化合物が好ましい。また、熱安定性を考慮した場合、母核は低揮発性で安定性の高いナフタレン環である化合物とすることがより好ましい。この場合、化合物(D)を、具体的には、例えば、2,3−ジヒドロキシナフタレンおよびその誘導体等のナフタレン環を有する化合物とすることができる。これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Further, the compound (D) (hereinafter referred to as Compound D) in which a hydroxyl group is bonded to two or more adjacent carbon atoms constituting the alicyclic structure, aromatic ring structure or heterocyclic structure used in the present invention is a compound other than a hydroxyl group. It may have a substituent. Specific examples of monocyclic compounds include 1,2-cyclohexanediol, catechol, pyrogallol, gallic acid, gallic acid esters or derivatives thereof. Specific examples of polycyclic compounds include, for example, 1,2- Dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,2′-biphenol, 2,2′-binaphthol, salicylic acid, 1-hydroxy-2-naphthoic acid, 3-hydroxy-2-naphthoic acid, chloranilic acid, tannic acid and These derivatives are mentioned. Of these, from the viewpoint of easy control of fluidity and curability, a compound in which a hydroxyl group is bonded to each of two adjacent carbon atoms constituting an aromatic ring is preferred. In view of thermal stability, the mother nucleus is more preferably a compound having a low volatility and a highly stable naphthalene ring. In this case, specifically, the compound (D) can be a compound having a naphthalene ring such as 2,3-dihydroxynaphthalene and a derivative thereof. One or more of these can be used in combination.

[無機充填材(E)]
無機充填材(E)としては、得られる半導体装置の耐半田性向上を目的として、エポキシ樹脂組成物中に配合(混合)されるものであり、その種類については、特に制限はなく、一般に封止材料に用いられているものを使用することができる。
[Inorganic filler (E)]
The inorganic filler (E) is blended (mixed) in the epoxy resin composition for the purpose of improving the solder resistance of the resulting semiconductor device. The type of the inorganic filler (E) is not particularly limited and is generally sealed. What is used for a stop material can be used.

この無機充填材(E)としては、例えば、溶融破砕シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、2次凝集シリカ、アルミナ、チタンホワイト、水酸化アルミニウム、タルク、クレーおよびガラス繊維等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the inorganic filler (E) include fused crushed silica, fused silica, crystalline silica, secondary agglomerated silica, alumina, titanium white, aluminum hydroxide, talc, clay, and glass fiber. These can be used alone or in combination of two or more.

本発明のエポキシ樹脂組成物において、前記1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)と、前記1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(B)との配合比率も、特に限定されないが、前記化合物(A)のエポキシ基1モルに対し、前記化合物(B)のフェノール性水酸基が0.5〜2モル程度となるように用いるのが好ましく、0.7〜1.5モル程度となるように用いるのが、より好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の諸特性のバランスを好適なものに維持しつつ、諸特性が、より向上する。   In the epoxy resin composition of the present invention, the compounding ratio of the compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule and the compound (B) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule is also as follows. Although not particularly limited, it is preferably used such that the phenolic hydroxyl group of the compound (B) is about 0.5 to 2 moles relative to 1 mole of the epoxy group of the compound (A). It is more preferable to use so that it may become about 5 mol. Thereby, various characteristics improve more, maintaining the balance of the various characteristics of an epoxy resin composition to a suitable thing.

また、潜伏性触媒(C)の含有量(配合量)は、特に限定されないが、樹脂成分に対して0.01〜10重量%程度であるのが好ましく、0.1〜5重量%程度であるのが、より好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の硬化性、流動性、保存性、および硬化物特性がバランスよく発現する。   Further, the content (blending amount) of the latent catalyst (C) is not particularly limited, but is preferably about 0.01 to 10% by weight, preferably about 0.1 to 5% by weight with respect to the resin component. More preferably. Thereby, the sclerosis | hardenability, fluidity | liquidity, preservability, and hardened | cured material characteristic of an epoxy resin composition are expressed with sufficient balance.

また、化合物(D)の含有量(配合量)は、特に限定されないが、樹脂成分に対して0.01重量%以上10重量%程度であるのが好ましく、0.1重量%以上5重量%程度であるのがより好ましい。下限値未満だと期待するような粘度特性および流動特性が得られない。上限値を越えるとエポキシ樹脂組成物の硬化が阻害され、また硬化物の物性が劣り、半導体封止樹脂としての性能が低下する。   Further, the content (blending amount) of the compound (D) is not particularly limited, but is preferably about 0.01% by weight or more and 10% by weight, or more preferably 0.1% by weight or more and 5% by weight with respect to the resin component. More preferred is the degree. Viscosity and flow characteristics that are expected to be less than the lower limit cannot be obtained. When the upper limit is exceeded, the curing of the epoxy resin composition is inhibited, the physical properties of the cured product are inferior, and the performance as a semiconductor encapsulating resin is lowered.

また、無機充填材(E)の含有量(配合量)は、特に限定されないが、前記化合物(A)と前記化合物(B)との合計量100重量部あたり、200〜2400重量部程度であるのが好ましく、400〜1400重量部程度であるのが、より好ましい。無機充填材(E)の含有量が前記下限値未満の場合、無機充填材(E)による補強効果が充分に発現しないおそれがあり、一方、無機充填材(E)の含有量が前記上限値を超えた場合、エポキシ樹脂組成物の流動性が低下し、エポキシ樹脂組成物の成形時(例えば半導体装置の製造時等)に、充填不良等が生じるおそれがある。   The content (blending amount) of the inorganic filler (E) is not particularly limited, but is about 200 to 2400 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of the compound (A) and the compound (B). It is preferable that the amount is about 400 to 1400 parts by weight. When the content of the inorganic filler (E) is less than the lower limit, the reinforcing effect by the inorganic filler (E) may not be sufficiently exhibited, while the content of the inorganic filler (E) is the upper limit. In the case of exceeding the above, the fluidity of the epoxy resin composition is lowered, and there is a possibility that poor filling or the like may occur when the epoxy resin composition is molded (for example, during manufacturing of a semiconductor device).

なお、無機充填材(E)の含有量(配合量)が、前記化合物(A)と前記化合物(B)との合計量100重量部あたり、400〜1400重量部であれば、エポキシ樹脂組成物の硬化物の吸湿率が低くなり、半田クラックの発生を防止することができる。かかるエポキシ樹脂組成物は、加熱溶融時の流動性も良好であるため、半導体装置内部の金線変形を引き起こすことが好適に防止される。   In addition, if content (blending amount) of an inorganic filler (E) is 400-1400 weight part per 100 weight part of total amounts of the said compound (A) and the said compound (B), an epoxy resin composition The moisture absorption rate of the cured product becomes low, and the occurrence of solder cracks can be prevented. Since such an epoxy resin composition also has good fluidity when heated and melted, it is suitably prevented from causing deformation of the gold wire inside the semiconductor device.

また、無機充填材(E)の含有量(配合量)は、前記化合物(A)、前記化合物(B)や無機充填材(E)自体の比重を、それぞれ考慮し、重量部を体積%に換算して取り扱うようにしてもよい。   In addition, the content (blending amount) of the inorganic filler (E) is based on the specific gravity of the compound (A), the compound (B), and the inorganic filler (E) itself, and the parts by weight are volume%. You may make it handle by converting.

また、本発明のエポキシ樹脂組成物中には、前記(A)〜(E)の化合物(成分)の他に、必要に応じて、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のカップリング剤、カーボンブラック等の着色剤、臭素化エポキシ樹脂、酸化アンチモン、リン化合物等の難燃剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力成分、天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸またはその金属塩類、パラフィン等の離型剤、酸化防止剤等の各種添加剤を配合(混合)するようにしてもよい。   Further, in the epoxy resin composition of the present invention, in addition to the compounds (components) (A) to (E), if necessary, for example, coupling of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane or the like Agents, colorants such as carbon black, flame retardants such as brominated epoxy resins, antimony oxide and phosphorus compounds, low stress components such as silicone oil and silicone rubber, natural wax, synthetic wax, higher fatty acids or their metal salts, paraffin, etc. Various additives such as mold release agents and antioxidants may be blended (mixed).

また、本発明において硬化促進剤として機能する潜伏性触媒(C)の特性を損なわない範囲で、エポキシ樹脂組成物中には、例えば、トリフェニルホスフィン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウンデセン、2−メチルイミダゾール等の他の公知の触媒を配合(混合)するようにしても、何ら問題はない。   In the present invention, the epoxy resin composition contains, for example, triphenylphosphine, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) as long as the properties of the latent catalyst (C) that functions as a curing accelerator are not impaired. ) There is no problem even if other known catalysts such as -7-undecene and 2-methylimidazole are blended (mixed).

本発明のエポキシ樹脂組成物は、前記(A)〜(D)の化合物(成分)と、任意に(E)成分、および、必要に応じて、その他の添加剤等を、ミキサーを用いて常温混合し、熱ロール、加熱ニーダー等を用いて加熱混練し、冷却、粉砕することにより得られる。   The epoxy resin composition of the present invention comprises the above-mentioned compounds (A) to (D) (component), optionally (E) component, and optionally other additives, etc. at room temperature using a mixer. It is obtained by mixing, heating and kneading using a hot roll, a heating kneader, etc., cooling and pulverizing.

また、予め、潜伏性触媒(C)と化合物(D)を溶融混合した後、前記(A)、(B)、(E)、その他の添加剤等と混合しても何ら問題はない。   Moreover, there is no problem even if the latent catalyst (C) and the compound (D) are previously melt-mixed and then mixed with the (A), (B), (E), and other additives.

得られたエポキシ樹脂組成物をモールド樹脂として用いて、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の成形方法で硬化成形することにより、半導体素子等の電子部品を封止する。これにより、本発明の半導体装置が得られる。   The obtained epoxy resin composition is used as a mold resin, and is cured and molded by a molding method such as transfer molding, compression molding, injection molding, and the like, thereby sealing electronic components such as semiconductor elements. Thereby, the semiconductor device of the present invention is obtained.

本発明の半導体装置の形態としては、特に限定されないが、例えば、SIP(Single Inline Package)、HSIP(SIP with Heatsink)、ZIP(Zig-zag Inline Package)、DIP(Dual Inline Package)、SDIP(Shrink Dual Inline Package)、SOP(Small Outline Package)、SSOP(Shrink Small Outline Package)、TSOP(Thin Small Outline Package)、SOJ(Small Outline J-leaded Package)、QFP(Quad Flat Package)、QFP(FP)(QFP Fine Pitch)、TQFP(Thin Quad Flat Package)、QFJ(PLCC)(Quad Flat J-leaded Package)、BGA(Ball Grid Array)等が挙げられる。   The form of the semiconductor device of the present invention is not particularly limited. For example, SIP (Single Inline Package), HSIP (SIP with Heatsink), ZIP (Zig-zag Inline Package), DIP (Dual Inline Package), SDIP (Shrink) Dual Inline Package), SOP (Small Outline Package), SSOP (Shrink Small Outline Package), TSOP (Thin Small Outline Package), SOJ (Small Outline J-leaded Package), QFP (Quad Flat Package), QFP (FP) ( QFP Fine Pitch), TQFP (Thin Quad Flat Package), QFJ (PLCC) (Quad Flat J-leaded Package), BGA (Ball Grid Array), and the like.

このようにして得られた本発明の半導体装置は、耐半田クラック性および耐湿信頼性に優れる。   The semiconductor device of the present invention thus obtained is excellent in solder crack resistance and moisture resistance reliability.

また、本実施形態では、本発明のエポキシ樹脂組成物を、半導体装置の封止材料として用いる場合について説明したが、本発明のエポキシ樹脂組成物の用途としては、これに限定されるものではない。また、エポキシ樹脂組成物の用途等に応じて、本発明のエポキシ樹脂組成物では、無機充填材の混合(配合)を省略することもできる。   In the present embodiment, the case where the epoxy resin composition of the present invention is used as a sealing material for a semiconductor device has been described. However, the use of the epoxy resin composition of the present invention is not limited thereto. . Further, in the epoxy resin composition of the present invention, mixing (compounding) of the inorganic filler can be omitted depending on the use of the epoxy resin composition.

以上、本発明の潜伏性触媒、エポキシ樹脂組成物および半導体装置の好適実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。   The preferred embodiments of the latent catalyst, the epoxy resin composition, and the semiconductor device of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to this.

次に、本発明の具体的実施例について説明する。   Next, specific examples of the present invention will be described.

まず、潜伏性触媒として使用する化合物C1〜C7およびトリフェニルホスフィンを用意した。   First, compounds C1 to C7 and triphenylphosphine used as a latent catalyst were prepared.

(化合物C1の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、フェニルトリメトキシシラン7.92g(0.040mol)、カテコール8.81g(0.080mol)、予め水酸化ナトリウム1.60g(0.04mol)を10mLのメタノールに溶解した水酸化ナトリウム溶液、およびメタノール50mLを仕込み攪拌し均一に溶解させた。トリフェニルスルホニウムブロミド13.7g(0.040mol)を予め50mLのメタノールで溶解した溶液を、フラスコ内に徐々に滴下すると結晶が析出した。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥し、淡白茶色結晶19.2gを得た。
この化合物をC1とした。化合物C1を、H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(5)で表される目的のスルホニウムシリケートであることが確認された。得られた化合物C1の収率は、82%であった。
(Synthesis of Compound C1)
In a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirrer, 7.92 g (0.040 mol) of phenyltrimethoxysilane, 8.81 g (0.080 mol) of catechol, and 1.60 g of sodium hydroxide (0. (04 mol) was dissolved in 10 mL of methanol and a sodium hydroxide solution and 50 mL of methanol were stirred and dissolved uniformly. When a solution in which 13.7 g (0.040 mol) of triphenylsulfonium bromide was previously dissolved in 50 mL of methanol was gradually dropped into the flask, crystals were deposited. The precipitated crystals were filtered, washed with water, and vacuum-dried to obtain 19.2 g of pale white brown crystals.
This compound was designated C1. As a result of analyzing the compound C1 by 1 H-NMR, mass spectrum, and elemental analysis, it was confirmed that it was the target sulfonium silicate represented by the following formula (5). The yield of the obtained compound C1 was 82%.

(化合物C2の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、フェニルトリメトキシシラン7.92g(0.040mol)、カテコール8.81g(0.080mol)、予め水酸化ナトリウム1.60g(0.040mol)を10mLのメタノールに溶解した水酸化ナトリウム溶液、およびメタノール50mLを仕込み攪拌し均一に溶解させた。トリメチルフェニルアンモニウムブロミド8.65g(0.040mol)を予め25mLのメタノールで溶解した溶液を、フラスコ内に徐々に滴下すると結晶が析出した。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥し、白色結晶13.7gを得た。
この化合物をC2とした。化合物C2を、H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(6)で表される目的のアンモニウムシリケートであることが確認された。得られた化合物C2の収率は、75%であった。
(Synthesis of Compound C2)
In a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirrer, 7.92 g (0.040 mol) of phenyltrimethoxysilane, 8.81 g (0.080 mol) of catechol, and 1.60 g of sodium hydroxide (0. (040 mol) was dissolved in 10 mL of methanol, and 50 mL of methanol was charged and stirred to dissolve uniformly. When a solution prepared by previously dissolving 8.65 g (0.040 mol) of trimethylphenylammonium bromide in 25 mL of methanol was gradually dropped into the flask, crystals were deposited. The precipitated crystals were filtered, washed with water, and dried under vacuum to obtain 13.7 g of white crystals.
This compound was designated C2. Compound C2 was analyzed by 1 H-NMR, mass spectrum, and elemental analysis, and as a result, it was confirmed to be the target ammonium silicate represented by the following formula (6). The yield of the obtained compound C2 was 75%.

(化合物C3の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、メチルトリメトキシシラン5.45g(0.040mol)、2,3−ジヒドロキシナフタレン12.82g(0.080mol)、予め水酸化ナトリウム1.60g(0.040mol)を10mLのメタノールに溶解した水酸化ナトリウム溶液、およびメタノール50mLを仕込み攪拌し均一に溶解させた。テトラフェニルホスホニウムブロミド16.8g(0.040mol)を予め25mLのメタノールで溶解した溶液を、フラスコ内に徐々に滴下すると結晶が析出した。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥し、淡白赤色結晶21.8gを得た。
この化合物をC3とした。化合物C3を、H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(7)で表される目的のホスホニウムシリケートであることが確認された。得られた化合物C3の収率は、78%であった。
(Synthesis of Compound C3)
In a separable flask (capacity: 200 mL) with a condenser and a stirrer, 5.45 g (0.040 mol) of methyltrimethoxysilane, 12.82 g (0.080 mol) of 2,3-dihydroxynaphthalene, sodium hydroxide 1 A sodium hydroxide solution in which 60 g (0.040 mol) was dissolved in 10 mL of methanol and 50 mL of methanol were charged and stirred to dissolve uniformly. When a solution prepared by previously dissolving 16.8 g (0.040 mol) of tetraphenylphosphonium bromide in 25 mL of methanol was gradually dropped into the flask, crystals were deposited. The precipitated crystals were filtered, washed with water, and vacuum-dried to obtain 21.8 g of pale white red crystals.
This compound was designated as C3. Compound C3 was analyzed by 1 H-NMR, mass spectrum, and elemental analysis, and as a result, it was confirmed to be the target phosphonium silicate represented by the following formula (7). The yield of the obtained compound C3 was 78%.

(化合物C4の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、2−ブロモフェノール10.4g(0.060mol)、トリフェニルホスフィン17.3g(0.066mol)、塩化ニッケル0.65g(5mmol)、およびエチレングリコール40mL仕込み、攪拌下160℃で加熱反応した。反応液を冷却後、純水40mLを滴下し、析出した結晶をトルエンで洗浄後、濾過・乾燥し、トリフェニル(2−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミドを得た。
次に、冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、フェニルトリメトキシシラン3.96g(0.020mol)、2,3−ジヒドロキシナフタレン6.40g(0.040mol)、予め水酸化ナトリウム0.80g(0.02mol)を10mLのメタノールに溶解した水酸化ナトリウム溶液、およびメタノール50mLを仕込み攪拌し均一に溶解させた。上記で得たトリフェニル(2−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミド17.4g(0.040mol)を予め25mLのメタノールで溶解した溶液を、フラスコ内に徐々に滴下すると結晶が析出した。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥し、淡黄白色結晶16.7gを得た。
この化合物をC4とした。化合物C4を、H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(8)で表される目的のホスホニウムシリケート分子化合物であることが確認された。得られた化合物C4の収率は、81%であった。
(Synthesis of Compound C4)
In a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirrer, 10.4 g (0.060 mol) of 2-bromophenol, 17.3 g (0.066 mol) of triphenylphosphine, 0.65 g (5 mmol) of nickel chloride , And 40 mL of ethylene glycol were charged and reacted with heating at 160 ° C. with stirring. After cooling the reaction solution, 40 mL of pure water was added dropwise, and the precipitated crystals were washed with toluene, filtered and dried to obtain triphenyl (2-hydroxyphenyl) phosphonium bromide.
Next, 3.96 g (0.020 mol) of phenyltrimethoxysilane, 6.40 g (0.040 mol) of 2,3-dihydroxynaphthalene, water in advance in a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirrer. A sodium hydroxide solution in which 0.80 g (0.02 mol) of sodium oxide was dissolved in 10 mL of methanol and 50 mL of methanol were charged and stirred to dissolve uniformly. When a solution prepared by previously dissolving 17.4 g (0.040 mol) of triphenyl (2-hydroxyphenyl) phosphonium bromide in 25 mL of methanol was gradually dropped into the flask, crystals were deposited. The precipitated crystals were filtered, washed with water, and vacuum dried to obtain 16.7 g of pale yellowish white crystals.
This compound was designated as C4. Compound C4 was analyzed by 1 H-NMR, mass spectrum, and elemental analysis, and as a result, it was confirmed to be the target phosphonium silicate molecular compound represented by the following formula (8). The yield of the obtained compound C4 was 81%.

(化合物C5の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、3−ブロモフェノール10.4g(0.060mol)、トリフェニルホスフィン17.3g(0.066mol)、塩化ニッケル0.65g(5mmol)、およびエチレングリコール40mLを仕込み、攪拌下160℃で加熱反応した。反応液を冷却後、純水40mLを滴下し、析出した結晶をトルエンで洗浄後、濾過・乾燥し、トリフェニル(3−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミドを得た。
次に、冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、フェニルトリメトキシシラン7.92g(0.040mol)、2,3−ジヒドロキシナフタレン6.40g(0.040mol)、予め水酸化ナトリウム1.60g(0.04mol)を10mLのメタノールに溶解した水酸化ナトリウム溶液、およびメタノール50mLを仕込み攪拌し均一に溶解させた。上記で得たトリフェニル(3−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミド17.4g(0.040mol)を予め25mLのメタノールで溶解した溶液を、フラスコ内に徐々に滴下すると結晶が析出した。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥し、淡赤白色結晶20.3gを得た。
この化合物をC5とした。化合物C5を、H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(9)で表される目的のホスホニウムシリケートであることが確認された。得られた化合物C5の収率は、75%であった。
(Synthesis of Compound C5)
In a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirrer, 10.4 g (0.060 mol) of 3-bromophenol, 17.3 g (0.066 mol) of triphenylphosphine, 0.65 g (5 mmol) of nickel chloride , And 40 mL of ethylene glycol were added, and the mixture was heated and reacted at 160 ° C. with stirring. After cooling the reaction solution, 40 mL of pure water was added dropwise, and the precipitated crystals were washed with toluene, filtered and dried to obtain triphenyl (3-hydroxyphenyl) phosphonium bromide.
Next, 7.92 g (0.040 mol) of phenyltrimethoxysilane, 6.40 g (0.040 mol) of 2,3-dihydroxynaphthalene, water in advance in a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirrer. A sodium hydroxide solution in which 1.60 g (0.04 mol) of sodium oxide was dissolved in 10 mL of methanol and 50 mL of methanol were charged and stirred to dissolve uniformly. When a solution prepared by previously dissolving 17.4 g (0.040 mol) of triphenyl (3-hydroxyphenyl) phosphonium bromide in 25 mL of methanol was dripped slowly into the flask, crystals were deposited. The precipitated crystals were filtered, washed with water, and vacuum-dried to obtain 20.3 g of pale red white crystals.
This compound was designated as C5. Compound C5 was analyzed by 1 H-NMR, mass spectrum, and elemental analysis, and as a result, it was confirmed to be the target phosphonium silicate represented by the following formula (9). The yield of the obtained compound C5 was 75%.

(化合物C6の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、2−ブロモフェノール10.4g(0.060mol)、トリス(4−メトキシフェニル)ホスフィン23.20g(0.066mol)、塩化ニッケル0.65g(5mmol)、およびエチレングリコール40mL仕込み、攪拌下160℃で加熱反応した。反応液を冷却後、純水40mLを滴下し、析出した結晶をトルエンで洗浄後、濾過・乾燥し、トリス(4−メトキシフェニル)(2−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミドを得た。
次に、冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、フェニルトリメトキシシラン7.93g(0.040mol)、3−ヒドロキシー2−ナフトエ酸15.1g(0.080mol)、予め水酸化ナトリウム1.60g(0.04mol)を10mLのメタノールに溶解した水酸化ナトリウム溶液、およびメタノール50mLを仕込み攪拌し均一に溶解させた。上記で得たトリス(4−メトキシフェニル)(2−ヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロミド19.1g(0.040mol)を予め25mLのメタノールで溶解した溶液を、フラスコ内に徐々に滴下すると結晶が析出した。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥し、淡黄白色結晶24.1gを得た。
この化合物をC6とした。化合物C6を、H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(10)で表される目的のホスホニウムシリケートであることが確認された。得られた化合物C6の収率は、70%であった。
(Synthesis of Compound C6)
In a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirrer, 10.4 g (0.060 mol) of 2-bromophenol, 23.20 g (0.066 mol) of tris (4-methoxyphenyl) phosphine, nickel chloride 0 .65 g (5 mmol) and ethylene glycol 40 mL were charged, and the mixture was heated and reacted at 160 ° C. with stirring. After cooling the reaction solution, 40 mL of pure water was added dropwise, and the precipitated crystals were washed with toluene, filtered and dried to obtain tris (4-methoxyphenyl) (2-hydroxyphenyl) phosphonium bromide.
Next, 7.93 g (0.040 mol) of phenyltrimethoxysilane, 15.1 g (0.080 mol) of 3-hydroxy-2-naphthoic acid, preliminarily placed in a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirring device. A sodium hydroxide solution in which 1.60 g (0.04 mol) of sodium hydroxide was dissolved in 10 mL of methanol and 50 mL of methanol were charged and stirred to dissolve uniformly. When a solution prepared by previously dissolving 19.1 g (0.040 mol) of tris (4-methoxyphenyl) (2-hydroxyphenyl) phosphonium bromide in 25 mL of methanol was gradually dropped into the flask, crystals were deposited. The precipitated crystals were filtered, washed with water, and vacuum-dried to obtain 24.1 g of pale yellowish white crystals.
This compound was designated as C6. Compound C6 was analyzed by 1 H-NMR, mass spectrum, and elemental analysis, and as a result, it was confirmed to be the target phosphonium silicate represented by the following formula (10). The yield of the obtained compound C6 was 70%.

(化合物C7の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:200mL)に、フェニルトリメトキシシラン7.92g(0.040mol)、2,3−ジヒドロキシナフタレン12.82g(0.080mol)、予め水酸化ナトリウム1.60g(0.040mol)を10mLのメタノールに溶解した水酸化ナトリウム溶液、およびメタノール50mLを仕込み攪拌し均一に溶解させた。テトラフェニルホスホニウムブロミド16.8g(0.040mol)を予め25mLのメタノールで溶解した溶液を、フラスコ内に徐々に滴下すると結晶が析出した。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥し、淡白結晶28.9gを得た。
この化合物をC7とした。化合物C3を、H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(11)で表される目的のホスホニウムシリケートであることが確認された。得られた化合物C7の収率は、95%であった。
(Synthesis of Compound C7)
In a separable flask (volume: 200 mL) equipped with a condenser and a stirrer, 7.92 g (0.040 mol) of phenyltrimethoxysilane, 12.82 g (0.080 mol) of 2,3-dihydroxynaphthalene, sodium hydroxide 1 A sodium hydroxide solution in which 60 g (0.040 mol) was dissolved in 10 mL of methanol and 50 mL of methanol were charged and stirred to dissolve uniformly. When a solution prepared by previously dissolving 16.8 g (0.040 mol) of tetraphenylphosphonium bromide in 25 mL of methanol was gradually dropped into the flask, crystals were deposited. The precipitated crystals were filtered, washed with water, and vacuum-dried to obtain 28.9 g of pale white crystals.
This compound was designated as C7. Compound C3 was analyzed by 1 H-NMR, mass spectrum, and elemental analysis, and as a result, it was confirmed that it was the target phosphonium silicate represented by the following formula (11). The yield of the obtained compound C7 was 95%.

[エポキシ樹脂組成物の調製および半導体装置の製造]
以下のようにして、前記化合物C1〜C7およびトリフェニルホスフィンを、それぞれ含むエポキシ樹脂組成物を調製し、半導体装置を製造した。
[Preparation of epoxy resin composition and manufacture of semiconductor device]
In the following manner, an epoxy resin composition containing each of the compounds C1 to C7 and triphenylphosphine was prepared to manufacture a semiconductor device.

(実施例1)
まず、化合物(A)として下記式(12)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製YX−4000HK)、化合物(B)として下記式(13)で表されるフェノールアラルキル樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。三井化学(株)製XLC−LL)、潜伏性触媒(C)として化合物C1、化合物Dとして2,3−ジヒドロキシナフタレン、無機充填材(E)として溶融球状シリカ(平均粒径15μm)、その他の添加剤としてカーボンブラック、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂およびカルナバワックスを、それぞれ用意した。
Example 1
First, a biphenyl type epoxy resin (YX-4000HK manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) represented by the following formula (12) as the compound (A), and a phenol aralkyl resin represented by the following formula (13) as the compound (B). (However, the number of repeating units: 3 indicates an average value. XLC-LL manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) Compound C1 as the latent catalyst (C), 2,3-dihydroxynaphthalene as the compound D, inorganic filler ( E) fused spherical silica (average particle size 15 μm) was prepared, and carbon black, brominated bisphenol A type epoxy resin and carnauba wax were prepared as other additives.

<式(12)で表される化合物の物性>
融点 :105℃
エポキシ当量 :193
150℃のICI溶融粘度:0.15poise
<Physical Properties of Compound Represented by Formula (12)>
Melting point: 105 ° C
Epoxy equivalent: 193
ICI melt viscosity at 150 ° C .: 0.15 poise

<式(13)で表される化合物の物性>
軟化点 :77℃
水酸基当量 :172
150℃のICI溶融粘度:3.6poise
<Physical Properties of Compound Represented by Formula (13)>
Softening point: 77 ° C
Hydroxyl equivalent: 172
ICI melt viscosity at 150 ° C .: 3.6 poise

次に、前記ビフェニル型エポキシ樹脂:52重量部、前記フェノールアラルキル樹脂:48重量部、化合物C1:2.82重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレン:1.50重量部、溶融球状シリカ:730重量部、カーボンブラック:2重量部、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂:2重量部、カルナバワックス:2重量部を、まず室温で混合し、次いで熱ロールを用いて95℃で8分間混練した後、冷却粉砕して、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。   Next, the biphenyl type epoxy resin: 52 parts by weight, the phenol aralkyl resin: 48 parts by weight, compound C1: 2.82 parts by weight, 2,3-dihydroxynaphthalene: 1.50 parts by weight, fused spherical silica: 730 parts by weight Part, carbon black: 2 parts by weight, brominated bisphenol A type epoxy resin: 2 parts by weight, carnauba wax: 2 parts by weight, first kneaded at room temperature and then kneaded at 95 ° C. for 8 minutes using a hot roll, The mixture was cooled and pulverized to obtain an epoxy resin composition (thermosetting resin composition).

次に、このエポキシ樹脂組成物をモールド樹脂として用い、100ピンTQFPのパッケージ(半導体装置)を8個、および、16ピンDIPのパッケージ(半導体装置)を15個、それぞれ製造した。   Next, using this epoxy resin composition as a mold resin, 8 100-pin TQFP packages (semiconductor devices) and 15 16-pin DIP packages (semiconductor devices) were produced, respectively.

100ピンTQFPは、金型温度175℃、注入圧力7.4MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。   The 100-pin TQFP was manufactured by transfer molding at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 7.4 MPa and a curing time of 2 minutes, and post-cured at 175 ° C. for 8 hours.

なお、この100ピンTQFPのパッケージサイズは、14×14mm、厚み1.4mm、シリコンチップ(半導体素子)サイズは、8.0×8.0mm、リードフレームは、42アロイ製とした。   The package size of the 100-pin TQFP was 14 × 14 mm, the thickness was 1.4 mm, the silicon chip (semiconductor element) size was 8.0 × 8.0 mm, and the lead frame was 42 alloy.

また、16ピンDIPは、金型温度175℃、注入圧力6.8MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。   The 16-pin DIP was manufactured by transfer molding at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.8 MPa and a curing time of 2 minutes, and post-cured at 175 ° C. for 8 hours.

なお、この16ピンDIPのパッケージサイズは、6.4×19.8mm、厚み3.5mm、シリコンチップ(半導体素子)サイズは、3.5×3.5mm、リードフレームは、42アロイ製とした。   The package size of the 16-pin DIP is 6.4 × 19.8 mm, the thickness is 3.5 mm, the silicon chip (semiconductor element) size is 3.5 × 3.5 mm, and the lead frame is made of 42 alloy. .

(実施例2)
まず、化合物(A)として下記式(14)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。日本化薬(株)製NC−3000P)、化合物(B)として下記式(15)で表されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。明和化成(株)製MEH−7851SS)、潜伏性触媒(C)として化合物C1、化合物Dとして2,3−ジヒドロキシナフタレン、無機充填材(E)として溶融球状シリカ(平均粒径15μm)、その他の添加剤としてカーボンブラック、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂およびカルナバワックスを、それぞれ用意した。
(Example 2)
First, as a compound (A), a biphenyl aralkyl type epoxy resin represented by the following formula (14) (however, the number of repeating units: 3 shows an average value. NC-3000P manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), a compound ( B) as a biphenyl aralkyl type phenol resin represented by the following formula (15) (however, the number of repeating units: 3 represents an average value. MEH-7851SS manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.) and the latent catalyst (C) Compound C1, 2,3-dihydroxynaphthalene as compound D, fused spherical silica (average particle size 15 μm) as inorganic filler (E), carbon black, brominated bisphenol A type epoxy resin and carnauba wax as other additives, Each prepared.

<式(14)で表される化合物の物性>
軟化点 :60℃
エポキシ当量 :272
150℃のICI溶融粘度:1.3poise
<Physical Properties of Compound Represented by Formula (14)>
Softening point: 60 ° C
Epoxy equivalent: 272
ICI melt viscosity at 150 ° C .: 1.3 poise

<式(15)で表される化合物の物性>
軟化点 :68℃
水酸基当量 :199
150℃のICI溶融粘度:0.9poise
<Physical properties of the compound represented by the formula (15)>
Softening point: 68 ° C
Hydroxyl equivalent: 199
ICI melt viscosity at 150 ° C .: 0.9 poise

次に、前記ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂:57重量部、前記ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂:43重量部、化合物C1:2.82重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレン:1.50重量部、溶融球状シリカ:650重量部、カーボンブラック:2重量部、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂:2重量部、カルナバワックス:2重量部を、まず室温で混合し、次いで熱ロールを用いて105℃で8分間混練した後、冷却粉砕して、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。   Next, said biphenyl aralkyl type epoxy resin: 57 parts by weight, said biphenyl aralkyl type phenol resin: 43 parts by weight, compound C1: 2.82 parts by weight, 2,3-dihydroxynaphthalene: 1.50 parts by weight, fused spherical silica : 650 parts by weight, carbon black: 2 parts by weight, brominated bisphenol A type epoxy resin: 2 parts by weight, carnauba wax: 2 parts by weight are first mixed at room temperature and then kneaded at 105 ° C. for 8 minutes using a hot roll. Then, it was cooled and pulverized to obtain an epoxy resin composition (thermosetting resin composition).

次に、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。   Next, using this epoxy resin composition, a package (semiconductor device) was manufactured in the same manner as in Example 1.

(実施例3)
化合物C1に代わり、化合物C2:2.05重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレンに代わり、カテコール:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 3)
In the same manner as in Example 1 except that compound C2: 2.05 parts by weight instead of compound C1 and catechol: 1.00 parts by weight instead of 2,3-dihydroxynaphthalene were used, an epoxy resin composition ( A thermosetting resin composition) was obtained, and a package (semiconductor device) was manufactured in the same manner as in Example 1 using this epoxy resin composition.

(実施例4)
化合物C1に代わり、化合物C2:2.05重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレンに代わり、カテコール:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
Example 4
In the same manner as in Example 2 except that compound C2: 2.05 parts by weight instead of compound C1, and catechol: 1.00 parts by weight was used instead of 2,3-dihydroxynaphthalene, an epoxy resin composition ( A thermosetting resin composition) was obtained, and a package (semiconductor device) was manufactured in the same manner as in Example 2 using this epoxy resin composition.

(実施例5)
化合物C1に代わり、化合物C3:3.13重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 5)
An epoxy resin composition (thermosetting resin composition) was obtained in the same manner as in Example 1 except that 3.13 parts by weight of compound C3 was used instead of compound C1, and this epoxy resin composition was used. In the same manner as in Example 1, a package (semiconductor device) was manufactured.

(実施例6)
化合物C1に代わり、化合物C3:3.13重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 6)
An epoxy resin composition (thermosetting resin composition) was obtained in the same manner as in Example 2 except that 3.13 parts by weight of compound C3 was used instead of compound C1, and this epoxy resin composition was used. In the same manner as in Example 2, a package (semiconductor device) was manufactured.

(実施例7)
化合物C1に代わり、化合物C4:2.31重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレンに代わり、カテコール:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 7)
In the same manner as in Example 1 except that compound C4: 2.31 parts by weight instead of compound C1, and catechol: 1.00 parts by weight was used instead of 2,3-dihydroxynaphthalene, an epoxy resin composition ( A thermosetting resin composition) was obtained, and a package (semiconductor device) was manufactured in the same manner as in Example 1 using this epoxy resin composition.

(実施例8)
化合物C1に代わり、化合物C4:2.31重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレンに代わり、カテコール:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 8)
In the same manner as in Example 2 except that compound C4: 2.31 parts by weight instead of compound C1 and catechol: 1.00 parts by weight instead of 2,3-dihydroxynaphthalene were used, an epoxy resin composition ( A thermosetting resin composition) was obtained, and a package (semiconductor device) was manufactured in the same manner as in Example 2 using this epoxy resin composition.

(実施例9)
化合物C1に代わり、化合物C5:3.27重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
Example 9
An epoxy resin composition (thermosetting resin composition) was obtained in the same manner as in Example 1, except that 3.27 parts by weight of compound C5 was used instead of compound C1, and this epoxy resin composition was used. In the same manner as in Example 1, a package (semiconductor device) was manufactured.

(実施例10)
化合物C1に代わり、化合物C5:3.27重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 10)
An epoxy resin composition (thermosetting resin composition) was obtained in the same manner as in Example 2, except that 3.27 parts by weight of compound C5 was used instead of compound C1, and this epoxy resin composition was used. In the same manner as in Example 2, a package (semiconductor device) was manufactured.

(実施例11)
化合物C1に代わり、化合物C6:3.83重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレン:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 11)
An epoxy resin composition (thermosetting resin) was prepared in the same manner as in Example 1 except that compound C6: 3.83 parts by weight and 2,3-dihydroxynaphthalene: 1.00 parts by weight were used instead of compound C1. And a package (semiconductor device) was produced in the same manner as in Example 1 using this epoxy resin composition.

(実施例12)
化合物C1に代わり、化合物C6:3.83重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレン:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 12)
An epoxy resin composition (thermosetting resin) was prepared in the same manner as in Example 2 except that compound C6: 3.83 parts by weight and 2,3-dihydroxynaphthalene: 1.00 parts by weight were used instead of compound C1. Composition) was obtained, and a package (semiconductor device) was produced in the same manner as in Example 2 using this epoxy resin composition.

(実施例13)
化合物C1に代わり、化合物C7:3.80重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレン:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 13)
An epoxy resin composition (thermosetting resin) was prepared in the same manner as in Example 1 except that compound C7: 3.80 parts by weight and 2,3-dihydroxynaphthalene: 1.00 parts by weight were used instead of compound C1. And a package (semiconductor device) was produced in the same manner as in Example 1 using this epoxy resin composition.

(実施例14)
化合物C1に代わり、化合物C7:3.80重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレン:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Example 14)
An epoxy resin composition (thermosetting resin) was prepared in the same manner as in Example 2 except that compound C7: 3.80 parts by weight and 2,3-dihydroxynaphthalene: 1.00 parts by weight were used instead of compound C1. Composition) was obtained, and a package (semiconductor device) was produced in the same manner as in Example 2 using this epoxy resin composition.

(比較例1)
化合物C1に代わり、トリフェニルホスフィン−ベンゾキノン付加物:1.67重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Comparative Example 1)
An epoxy resin composition (thermosetting resin composition) was obtained in the same manner as in Example 1 except that 1.67 parts by weight of triphenylphosphine-benzoquinone adduct was used instead of compound C1, and this epoxy was obtained. A package (semiconductor device) was manufactured using the resin composition in the same manner as in Example 1.

(比較例2)
化合物C1に代わり、トリフェニルホスフィン−ベンゾキノン付加物:1.67重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Comparative Example 2)
An epoxy resin composition (thermosetting resin composition) was obtained in the same manner as in Example 2 except that 1.67 parts by weight of triphenylphosphine-benzoquinone adduct was used instead of compound C1, and this epoxy was obtained. A package (semiconductor device) was manufactured using the resin composition in the same manner as in Example 2.

(比較例3)
化合物C1に代わり、トリフェニルホスフィン:0.90重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレンに代わり、カテコール:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Comparative Example 3)
An epoxy resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that triphenylphosphine: 0.90 parts by weight and catechol: 1.00 parts by weight instead of compound C1 were used instead of 2,3-dihydroxynaphthalene. (Thermosetting resin composition) was obtained, and using this epoxy resin composition, a package (semiconductor device) was produced in the same manner as in Example 1.

(比較例4)
化合物C1に代わり、トリフェニルホスフィン:0.90重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレンに代わり、カテコール:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Comparative Example 4)
Epoxy resin composition in the same manner as in Example 2 except that triphenylphosphine: 0.90 parts by weight and catechol: 1.00 parts by weight instead of compound C1 was used instead of 2,3-dihydroxynaphthalene. (Thermosetting resin composition) was obtained, and using this epoxy resin composition, a package (semiconductor device) was produced in the same manner as in Example 2.

(比較例7)
化合物C1に代わり、下記式(17)で表されるC9:2.96重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレンに代わり、カテコール:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Comparative Example 7)
As in Example 1 except that C9: 2.96 parts by weight represented by the following formula (17) was used instead of compound C1, and catechol: 1.00 parts by weight was used instead of 2,3-dihydroxynaphthalene. Thus, an epoxy resin composition (thermosetting resin composition) was obtained, and a package (semiconductor device) was manufactured in the same manner as in Example 1 using this epoxy resin composition.

(比較例8)
化合物C1に代わり、C9:2.96重量部、2,3−ジヒドロキシナフタレンに代わり、カテコール:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
(Comparative Example 8)
In the same manner as in Example 2 except that C9: 2.96 parts by weight instead of compound C1 and catechol: 1.00 parts by weight instead of 2,3-dihydroxynaphthalene were used, the epoxy resin composition (heat A curable resin composition) was obtained, and a package (semiconductor device) was produced using this epoxy resin composition in the same manner as in Example 2.

[特性評価]
各実施例および各比較例で得られたエポキシ樹脂組成物の特性評価(1)〜(3)、および、各実施例および各比較例で得られた半導体装置の特性評価(4)および(5)を、それぞれ、以下のようにして行った。
[Characteristic evaluation]
Characteristic evaluation (1) to (3) of the epoxy resin composition obtained in each example and each comparative example, and characteristic evaluation (4) and (5) of the semiconductor device obtained in each example and each comparative example ) Was performed as follows.

(1):スパイラルフロー
EMMI−I−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型を用い、金型温度175℃、注入圧力6.8MPa、硬化時間2分で測定した。
(1): Spiral flow Using a mold for spiral flow measurement according to EMMI-I-66, measurement was performed at a mold temperature of 175 ° C, an injection pressure of 6.8 MPa, and a curing time of 2 minutes.

このスパイラルフローは、流動性のパラメータであり、数値が大きい程、流動性が良好であることを示す。   This spiral flow is a parameter of fluidity, and the larger the value, the better the fluidity.

(2):硬化トルク
キュラストメーター(オリエンテック(株)製、JSRキュラストメーターIV PS型)を用い、175℃、45秒後のトルクを測定した。
この硬化トルクは、数値が大きい程、硬化性が良好であることを示す。
(2): Curing torque Using a curast meter (Orientec Co., Ltd., JSR curast meter IV PS type), the torque after 175 ° C. and 45 seconds was measured.
This hardening torque shows that curability is so favorable that a numerical value is large.

(3):フロー残存率
得られたエポキシ樹脂組成物を、大気中30℃で1週間保存した後、前記(1)と同様にしてスパイラルフローを測定し、調製直後のスパイラルフローに対する百分率(%)を求めた。
このフロー残存率は、数値が大きい程、保存性が良好であることを示す。
(3): Flow residual ratio After the obtained epoxy resin composition was stored in the atmosphere at 30 ° C for 1 week, the spiral flow was measured in the same manner as in (1) above, and the percentage (% )
This flow residual ratio indicates that the larger the numerical value, the better the storage stability.

(4):耐半田クラック性
100ピンTQFPを85℃、相対湿度85%の環境下で168時間放置し、その後、260℃の半田槽に10秒間浸漬した。
その後、顕微鏡下に、外部クラックの発生の有無を観察し、クラック発生率=(クラックが発生したパッケージ数)/(全パッケージ数)×100として、百分率(%)で表示した。
また、シリコンチップとエポキシ樹脂組成物の硬化物との剥離面積の割合を、超音波探傷装置を用いて測定し、剥離率=(剥離面積)/(シリコンチップの面積)×100として、8個のパッケージの平均値を求め、百分率(%)で表示した。
これらのクラック発生率および剥離率は、それぞれ、数値が小さい程、耐半田クラック性が良好であることを示す。
(4): Solder crack resistance 100 pin TQFP was left in an environment of 85 ° C. and relative humidity 85% for 168 hours, and then immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds.
Then, the presence or absence of the occurrence of external cracks was observed under a microscope, and displayed as a percentage (%) as crack generation rate = (number of packages in which cracks occurred) / (total number of packages) × 100.
Further, the ratio of the peeled area between the silicon chip and the cured epoxy resin composition was measured using an ultrasonic flaw detector, and the peel rate = (peeled area) / (silicon chip area) × 100. The average value of the package was obtained and expressed as a percentage (%).
These crack occurrence rate and peeling rate indicate that the smaller the numerical value, the better the solder crack resistance.

(5):耐湿信頼性
16ピンDIPに、125℃、相対湿度100%の水蒸気中で、20Vの電圧を印加し、断線不良を調べた。15個のパッケージのうち8個以上に不良が出るまでの時間を不良時間とした。
なお、測定時間は、最長で500時間とし、その時点で不良パッケージ数が8個未満であったものは、不良時間を500時間超(>500)と示す。
この不良時間は、数値が大きい程、耐湿信頼性に優れることを示す。
各特性評価(1)〜(5)の結果を、表1および表2に示す。
(5): Moisture resistance reliability A voltage of 20 V was applied to a 16-pin DIP in water vapor at 125 ° C. and a relative humidity of 100%, and disconnection defects were examined. The time until a defect appears in 8 or more of the 15 packages was defined as a defect time.
Note that the measurement time is 500 hours at the longest, and when the number of defective packages is less than 8 at that time, the defective time is indicated as over 500 hours (> 500).
This failure time indicates that the larger the numerical value, the better the moisture resistance reliability.
Tables 1 and 2 show the results of the characteristic evaluations (1) to (5).

表1および表2に示すように、実施例1〜14で得られたエポキシ樹脂組成物(本発明のエポキシ樹脂組成物)は、いずれも、硬化性および流動性が良好であり、さらに、この硬化物で封止された各実施例のパッケージ(本発明の半導体装置)は、いずれも、耐半田クラック性、耐湿信頼性が良好なものであった。   As shown in Table 1 and Table 2, the epoxy resin compositions (epoxy resin compositions of the present invention) obtained in Examples 1 to 14 have good curability and fluidity. Each package (semiconductor device of the present invention) sealed with a cured product had good solder crack resistance and moisture resistance reliability.

これに対し、比較例1および比較例2で得られたエポキシ樹脂組成物は、いずれも、流動性に劣り、これらの比較例で得られたパッケージは、いずれも、耐半田クラック性に劣るとともに、耐湿信頼性が極めて低いものであった。また、比較例3および比較例4で得られたエポキシ樹脂組成物は、いずれも、流動性に劣る。また、比較例7および比較例8で得られたエポキシ樹脂組成物は、いずれも、硬化性に劣り、また、耐クラック性や、信頼性も十分得られていない。
On the other hand, the epoxy resin compositions obtained in Comparative Example 1 and Comparative Example 2 are both inferior in fluidity, and the packages obtained in these comparative examples are both inferior in solder crack resistance. The moisture resistance reliability was extremely low. Moreover, the epoxy resin compositions obtained in Comparative Example 3 and Comparative Example 4 are both inferior in fluidity. The epoxy resin composition obtained by the ratio Comparative Examples 7 and Comparative Example 8 are all inferior in curing property and cracking resistance and also not obtained sufficiently reliable.

(実施例15〜22、比較例9〜12)
化合物(A)として、前記式(12)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂:26重量
部、前記式(14)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂:28.5重量部、
および、化合物(B)として、前記式(13)で表されるフェノールアラルキル樹脂:4
5.5重量部を配合した以外は、それぞれ、前記実施例1、3、5、7、9、11、13
、比較例1、3、及び7と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を
得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、パッケージ(半導体装置)を製造した。
(Examples 15-22, Comparative Examples 9-12)
As the compound (A), the biphenyl type epoxy resin represented by the formula (12): 26 parts by weight, the biphenyl aralkyl type epoxy resin represented by the formula (14): 28.5 parts by weight,
And as a compound (B), the phenol aralkyl resin represented by the said Formula (13): 4
Except for blending 5.5 parts by weight, Examples 1, 3, 5, 7, 9, 11, and 13 were used respectively.
, Comparative Examples 1 and 3, in the same manner as beauty 7, to obtain an epoxy resin composition (thermosetting resin composition), by using the epoxy resin composition was prepared a package (semiconductor device).

各実施例15〜22、比較例9〜12で得られたエポキシ樹脂組成物およびパッケージの特性評価を、前記と同様にして行ったところ、前記表1のそれぞれに対応する結果とほぼ同様の結果が得られた。   When the characteristics of the epoxy resin compositions and packages obtained in Examples 15 to 22 and Comparative Examples 9 to 12 were evaluated in the same manner as described above, the results were almost the same as the results corresponding to each of Table 1 above. was gotten.

(実施例23〜30、比較例13〜16)
化合物(A)として、前記前記式(12)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂:54.5重量部、化合物(B)として、前記式(13)で表されるフェノールアラルキル樹脂:24重量部、および、前記式(14)で表されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂:21.5重量部を配合した以外は、それぞれ、前記実施例1、3、5、7、9、11、13、比較例1、3、及び7と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、パッケージ(半導体装置)を製造した。
(Examples 23-30, Comparative Examples 13-16)
As compound (A), biphenyl type epoxy resin represented by the above formula (12): 54.5 parts by weight, as compound (B), phenol aralkyl resin represented by the above formula (13): 24 parts by weight, And the biphenyl aralkyl type phenol resin represented by said Formula (14): Except having mix | blended 21.5 weight part, the said Example 1, 3, 5, 7, 9, 11, 13, and the comparative example 1, respectively. , 3, in the same manner as beauty 7, to obtain an epoxy resin composition (thermosetting resin composition), by using the epoxy resin composition was prepared a package (semiconductor device).

各実施例23〜30、比較例13〜16で得られたエポキシ樹脂組成物およびパッケージの特性評価を、前記と同様にして行ったところ、前記表1のそれぞれに対応する結果とほぼ同様の結果が得られた。   When the properties of the epoxy resin compositions and packages obtained in Examples 23 to 30 and Comparative Examples 13 to 16 were evaluated in the same manner as described above, the results were almost the same as the results corresponding to Table 1 above. was gotten.

本発明によれば、硬化性、流動性および保存性が良好なエポキシ樹脂組成物を得ることができることから、エポキシ樹脂と同様にホスフィンやホスホニウム塩などを硬化促進剤とする熱硬化性樹脂組成物にも好適である。また、これらの樹脂組成物は、電気・電子材料分野に好適に使用することができる。   According to the present invention, since an epoxy resin composition having good curability, fluidity and storage stability can be obtained, a thermosetting resin composition using a phosphine or a phosphonium salt as a curing accelerator in the same manner as the epoxy resin. Also suitable. Moreover, these resin compositions can be suitably used in the electric / electronic material field.

Claims (7)

1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)と、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(B)と、エポキシ樹脂の硬化反応を促進し得るカチオン部と、前記硬化反応を促進する活性を抑制するシリケートアニオン部を有する潜伏性触媒(C)と、脂環構造、芳香環構造または複素環構造を構成する2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物(D)と、を含むことを特徴とするエポキシ樹脂組成物であって、前記潜伏性触媒(C)は、下記一般式(1)で表されるものであり、さらに前記化合物(A)のエポキシ基1モルに対し、前記化合物(B)のフェノール性水酸基が0.5〜2モル、前記潜伏性触媒(C)の含有量が、樹脂成分に対して0.01〜10重量%、化合物(D)の含有量が、樹脂成分に対して0.01重量%以上10重量%であることを特徴とするエポキシ樹脂組成物
[式中、Aは窒素原子または燐原子を表す。式中、R、R、RおよびRは、それぞれ、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。式中 、およびY で示される基は、2価以上のプロトン供与体が、プロトンを2個放出してなる基である。YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基Y、およびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。X、およびXは互いに同一でも異なっていてもよく、Y、Y、Y、およびYは互いに同一であっても異なっていてもよい。Zは置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表す。]
A compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule, a compound (B) having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, a cation moiety capable of promoting the curing reaction of the epoxy resin, and the curing A latent catalyst (C) having a silicate anion moiety that suppresses the activity of promoting the reaction, and a compound in which a hydroxyl group is bonded to each of two or more adjacent carbon atoms constituting an alicyclic structure, aromatic ring structure or heterocyclic structure (D) , wherein the latent catalyst (C) is represented by the following general formula (1), and the compound (A): 0.5 to 2 moles of the phenolic hydroxyl group of the compound (B) with respect to 1 mole of the epoxy group, the content of the latent catalyst (C) is 0.01 to 10% by weight based on the resin component, the compound The content of (D) is Epoxy resin composition, which is a 10 wt% 0.01 wt% or more of the fat component.
[Wherein, A 1 represents a nitrogen atom or a phosphorus atom. In the formula, each of R 1 , R 2 , R 3 and R 4 represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group, and is the same as each other May be different. In the formula, groups represented by Y 1 X 1 Y 2 and Y 3 X 2 Y 4 are groups formed by releasing two protons from a bivalent or higher proton donor . Y 1 and Y 2 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and the substituents Y 1 and Y 2 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. Y 3 and Y 4 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and the substituents Y 3 and Y 4 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. X 1 and X 2 may be the same or different from each other, and Y 1 , Y 2 , Y 3 , and Y 4 may be the same or different from each other. Z 1 represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group. ]
前記潜伏性触媒(C)は、一般式(1)におけるR、R、RおよびRの少なくとも1つが置換もしくは無置換の芳香環を有する有機基である請求項に記載のエポキシ樹脂組成物。 2. The epoxy according to claim 1 , wherein the latent catalyst (C) is an organic group in which at least one of R 1 , R 2 , R 3 and R 4 in the general formula (1) has a substituted or unsubstituted aromatic ring. Resin composition. 前記潜伏性触媒(C)は、下記一般式(2)で表されるものである請求項に記載のエポキシ樹脂組成物。
[式中、R、RおよびRは、それぞれ、置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。Arは置換もしくは無置換の芳香族基を表す。式中 、およびY で示される基は、2価以上のプロトン供与体が、プロトンを2個放出してなる基である。YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基Y、およびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。YおよびYはプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の置換基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。X、およびXは互いに同一でも異なっていてもよく、Y、Y、Y、およびYは互いに同一であっても異なっていてもよい。Zは置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表す。]
The epoxy resin composition according to claim 2 , wherein the latent catalyst (C) is represented by the following general formula (2).
[Wherein R 5 , R 6 and R 7 each represents a substituted or unsubstituted aromatic group or heterocyclic organic group, or a substituted or unsubstituted aliphatic group, and may be the same or different from each other. It may be. Ar represents a substituted or unsubstituted aromatic group. In the formula, groups represented by Y 5 X 3 Y 6 and Y 7 X 4 Y 8 are groups formed by releasing two protons from a divalent or higher proton donor . Y 5 and Y 6 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and substituents Y 5 and Y 6 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. Y 7 and Y 8 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, and the substituents Y 7 and Y 8 in the same molecule are combined with a silicon atom to form a chelate structure. X 3 and X 4 may be the same or different, and Y 5 , Y 6 , Y 7 and Y 8 may be the same or different from each other. Z 2 represents an organic group having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring, or a substituted or unsubstituted aliphatic group. ]
前記潜伏性触媒(C)は、下記一般式(3)で表されるものである請求項に記載のエポキシ樹脂組成物。
[式中、R、RおよびR10は、それぞれ、水素原子、メチル基、メトキシ基および水酸基から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。式中 10 で示される基は、2価以上のプロトン供与体が、プロトンを2個放出してなる基である。YおよびY10はプロトン供与性置換基がプロトンを放出してなる基であり、それらは互いに同一であっても異なっていてもよく、同一分子内の置換基Y、およびY10が珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。Zは置換もしくは無置換の芳香環または複素環を有する有機基、あるいは置換もしくは無置換の脂肪族基を表す。]
The epoxy resin composition according to claim 3 , wherein the latent catalyst (C) is represented by the following general formula (3).
[Wherein R 8 , R 9 and R 10 each represent one selected from a hydrogen atom, a methyl group, a methoxy group and a hydroxyl group, and may be the same or different from each other. In the formula, a group represented by Y 9 X 5 Y 10 is a group formed by releasing two protons from a divalent or higher proton donor . Y 9 and Y 10 are groups formed by proton-donating substituents releasing protons, which may be the same or different from each other, and the substituents Y 9 and Y 10 in the same molecule are silicon It combines with atoms to form a chelate structure. Z 3 represents an organic group or a substituted or unsubstituted aliphatic group, having a substituted or unsubstituted aromatic ring or heterocyclic ring. ]
無機充填材を含む請求項に記載のエポキシ樹脂組成物。 The epoxy resin composition according to claim 4 , comprising an inorganic filler. 前記無機充填材の含有量は、前記1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物と、前記
1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物との合計量100重量部あたり、
200〜2400重量部である請求項に記載のエポキシ樹脂組成物。
The content of the inorganic filler is about 100 parts by weight in total of the compound having two or more epoxy groups in one molecule and the compound having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule.
The epoxy resin composition according to claim 5 , which is 200 to 2400 parts by weight.
請求項に記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物により電子部品を封止してなることを特徴とする半導体装置。 An electronic component is sealed with a cured product of the epoxy resin composition according to claim 6 .
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