JP4664102B2 - 露光装置及び露光方法 - Google Patents

Description

本発明は、フォトレジスト塗布基板上にレーザ光により露光を行う露光装置及び露光方法に関する。特に、マスクを設けることなく露光を行う、いわゆるマスクレスの露光装置及び露光方法に関する。

液晶パネル製造工程及び半導体製造工程の一つに露光工程がある。例えば液晶パネル製造の露光工程では、フォトレジストが塗布されたガラス基板に、パターン露光、マーキング露光及び周辺露光などを行う。パターン露光では、パターン露光装置により回路パターンを露光する。マーキング露光では、識別露光装置により履歴管理や品質管理等のための基板識別コードやパネル識別コード等を露光する。周辺露光では、周辺露光装置により基板周辺部の不要レジスト部分を露光する。これらの各露光が終了した後、現像装置により現像処理する現像工程へガラス基板を搬出する。従来、マーキング露光を行う方法及び装置の発明として、本出願人は例えば特許第３５４７４１８号公報に記載された発明を提唱した。

特許第３５４７４１８号公報

上述した従来の発明では、図１１（Ａ）に示すように、Ｘ方向に走行するステージ３１上のガラス基板上にマーキング露光を行う際に、光源３２から発するレーザ光３３をビームスプリッター等の分岐手段３４により複数に分岐し、分岐されたレーザ光３３を照射装置３５を用いて露光していた。それゆえ、マーキング像３６を形成する箇所を増やすためにレーザ光３３の照射数を増やす場合には、分岐数を増やすことになり、レーザ光３３一本あたりの強度が弱くなる。このため、光源３２の出力を大きなものにしたり、光源３２の数を増やしたりする必要があり、装置コストが高くなるという問題があった。

光源３２の出力や数を増やさずに、より一層多いマーキング箇所への露光を実現する方法として、例えば図１１（Ｂ）のような方法が考えられる。すなわち、光源３２と各照射装置３５とを光ファイバケーブル４１で接続し、各照射装置３５に供給するレーザ光を切替器４２を用いて順次時系列的に切り替える方法である。

ところで、この方法を用いた場合には、各照射装置３５からレーザ光が出力されるタイミングにずれが生じるため、ステージ３１を走行させたままであると、ガラス基板上に形成されるマーキング像３６は、Ｙ方向に一列に並ぶことなく、斜めに並んでしまう。そこで、各照射装置３５からレーザ光が照射される毎にステージ３１を停止させることで、このような不都合を無くすことができるが、タクト時間が長くなるという他の問題が生じる。

また、上述の従来の発明では、レーザ光をＹ方向に走査させてドット単位でマーキング像の露光を行っていたため、露光位置にばらつきが生じ、きれいなマーキング像が形成できないことがあった。本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、良品質の露光像を短いタクト時間且つ低コストな装置構成で実現することのできる露光装置及び露光方法を提供することを課題とする。

上述の課題を解決するために、請求項１の露光装置は、図７に示すように、マーキング露光用のレーザ光を生成するマーキング露光用光源装置５と、被露光基板Ｋを載置するためのステージ３と、前記ステージ３に対して等速度で相対移動可能に設けられると共に前記ステージ３の上部に平面視が前記相対移動の方向Ｘについて段違いに斜め列となるように配置されそれぞれディジタルマイクロミラーデバイス７２により形成されるマーキング表示７２Ｍを前記レーザ光により前記被露光基板Ｋ上に照射するように構成された複数のマーキング用露光ユニット７と、互いに隣り合うマーキング用露光ユニット７Ａ，７Ｂにおける一方のマーキング用露光ユニット７Ａの露光終了位置Ｐ１から他方のマーキング用露光ユニット７Ｂの露光開始位置Ｐ２までの距離Ｄ１を前記ステージ３と前記複数のマーキング用露光ユニット７とが相対移動する毎に、前記被露光基板Ｋ上を最初に通過するマーキング用露光ユニット７Ａから前記被露光基板Ｋ上を最後に通過するマーキング用露光ユニット７Ｃへ向かう順序で、各マーキング用露光ユニット７Ａから７Ｃが前記被露光基板Ｋ上に照射するレーザ光を切り替える切替手段６５，７５とを備え、前記複数のマーキング用露光ユニット７を前記ステージ３に対して相対移動させながら、前記切替手段６５，７５によるレーザー光の切り替え、および、各マーキング用露光ユニット７Ａから７Ｃによるレーザ光の照射を行うことを特徴とする。

請求項２の露光方法は、マーキング露光用光源装置５によりマーキング露光用のレーザ光を生成し、ステージ３上に被露光基板Ｋを載置し、複数のマーキング用露光ユニット７を前記ステージ３に対して等速度で相対移動可能に設けると共に前記ステージ３の上部に平面視が前記相対移動の方向Ｘについて段違いに斜め列となるように配置し、それぞれのマーキング用露光ユニット７におけるディジタルマイクロミラーデバイス７２により形成されるマーキング表示７２Ｍを、互いに隣り合うマーキング用露光ユニット７における一方のマーキング用露光ユニット７Ａの露光終了位置Ｐ１から他方のマーキング用露光ユニット７Ｂの露光開始位置Ｐ２までの距離Ｄ１を前記ステージ３と前記複数のマーキング用露光ユニット７とが相対移動する毎に、前記被露光基板Ｋ上を最初に通過するマーキング用露光ユニット７Ａから前記被露光基板Ｋ上を最後に通過するマーキング用露光ユニット７Ｃへ向かう順序で、各マーキング用露光ユニット７が前記被露光基板Ｋ上に照射するレーザ光を切り替えることにより、前記被露光基板Ｋ上に導き、前記複数のマーキング用露光ユニット７を前記ステージ３に対して相対移動させながら、レーザー光の切り替え、および、各マーキング用露光ユニット７Ａから７Ｃによるレーザ光の照射を行う。

［発明の効果］
請求項１，２の発明によると、互いに隣り合うマーキング用露光ユニット７Ａ，７Ｂにおける一方のマーキング用露光ユニット７Ａの露光終了位置Ｐ１から他方のマーキング用露光ユニット７Ｂの露光開始位置Ｐ２までの距離Ｄ１をステージ３が走行し終えたときに、他方のマーキング用露光ユニット７Ｂからレーザ光を照射する。互いに隣り合うマーキング用露光ユニット７Ａ，７Ｂは、露光終了位置Ｐ１から露光開始位置Ｐ２までが距離Ｄ１を有するような配置とされているため、一方のマーキング用露光ユニット７Ａによって形成されるマーキング像ＭＺＡと、他方のマーキング用露光ユニット７Ｂによって形成されるマーキング像ＭＺＢとは、Ｙ方向に１列となるように形成される。各マーキング用露光ユニット７から照射されるレーザ光は時系列的に切り替えられる。従って、レーザ光の照射数を増やした場合でも、マーキング露光用光源装置５の出力を大きなものにしたり、マーキング露光用光源装置５の数を増やしたりする必要がなく装置の低コスト化を図ることができる。また、ディジタルマイクロミラーデバイス７２を用いて面単位のマーキング表示７２Ｍを露光しているので、従来のようにドット単位で露光する場合と異なり、露光位置にばらつきが生じることがなく、きれいなマーキング像を形成することができる。そして上記相対移動を停止することなく露光を行うことができる。このように、良品質の露光像を短いタクト時間且つ低コストな装置構成で実現することができる。

［発明を実施するための最良の形態］
以下、図１から図１０を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は本発明に係る露光装置１の外観を示す斜視図、図２はレーザ光切替器６の内部構造を示す平面図、図３はマーキング用露光ユニット７の内部構造を示す斜視図、図４はディジタルマイクロミラーデバイス７２の外観を示す斜視図、図５はマーキング用露光ユニット７における第１，第２露光ユニットガルバノミラー７４、７４Ｙの動作を説明するための図、図６はディジタルマイクロミラーデバイス７２の動作を説明するための図、図７はマーキング用露光ユニット７の配置を示す平面概略図である。

図１に示すように、本発明に係る露光装置１は、基台２、ステージ３、露光ユニット取付台４、マーキング露光用光源装置５、レーザ光切替器６、マーキング用露光ユニット７、周辺露光用光源装置８、周辺露光用露光ユニット９及び制御装置１０を備える。露光装置１の上流側及び下流側には、ガラス基板Ｋを搬入及び搬出する手段としての移載ロボットやコンベアが配設される。露光装置１は、上流側から搬入されステージ３上に載置されたガラス基板Ｋにマーキング露光を行うと共に周辺露光を行い下流側に搬出する。なお、上流側とは図１における手前側であり、下流側とは同図における奥側である。

基台２は、本露光装置１の各構成部を支える台座として機能し、その表面中央上にリニアモータ２１がＸ方向に沿って設けられる。

ステージ３は、最も上流側の基板受取り位置と、最も下流側の基板送出し位置との間において、リニアモータ２１の駆動により基台２上を等速度ＶでＸ方向に走行可能である。また、図示しない回転駆動機構により、垂直軸周りの回転動作も可能である。ステージ３の表面には、ガラス基板Ｋを吸着保持するための多数の吸着孔が穿設されると共に、ガラス基板Ｋの搬入及び搬出時に該ガラス基板Ｋを昇降させるためのリフトピンが出没可能に設けられる。なお、搬入されるガラス基板Ｋの表面にはフォトレジストが塗布されている。

露光ユニット取付台４は、ステージ３を跨ぐようにして設けられ、その上面にはマーキング露光用光源装置５、周辺露光用光源装置８及びレーザ光切替器６が取り付けられる。その上流側の端面には固定部材７１を介してマーキング用露光ユニット７が合計３台取り付けられる。また、下流側の端面には周辺露光用露光ユニット９が合計３台取り付けられる。

マーキング露光用光源装置５は、通電によりレーザ光を生成するレーザダイオードを備え、光ファイバケーブル５１によりレーザ光切替器６に接続される。周辺露光用光源装置８は、マーキング露光用光源装置５と同様に、通電によりレーザ光を生成するレーザダイオードを備え、光ファイバケーブル８１により各周辺露光用露光ユニット９に接続される。

レーザ光切替器６は、図２に示すように、レンズ系６１Ａから６１Ｄ、切替器用ガルバノミラー６４及び切替器用ガルバノミラー駆動モータ６５を備える。レンズ系６１Ｄは、マーキング露光用光源装置５からのレーザ光を切替器用ガルバノミラー６４に導くような配置とされる。切替器用ガルバノミラー６４は、切替器用ガルバノミラー駆動モータ６５により図中時計回り方向及び反時計回り方向に回動可能に軸支され、４つの角度位置θ_０〜θ_３に切り替えて配置可能とされる。角度位置θ_０は基準となる待機位置である。レンズ系６１Ａから６１Ｃは、各角度位置θ１からθ_３に配置された切替器用ガルバノミラー６４により偏向されるレーザ光をそれぞれ受光できるような配置とされる。

各マーキング用露光ユニット７Ａから７Ｃは、光ファイバケーブル６６Ａ〜６６Ｃによってレーザ光切替器６におけるそれぞれレンズ系６１Ａから６１Ｃと接続される。そしてＸ方向及びＹ方向のそれぞれに沿って等間隔に配置される。その平面視は、図７に示すように、Ｘ方向について段違いに斜め列を呈する。互いに隣り合うマーキング用露光ユニット７Ａ，７Ｂ及び７Ｂ，７Ｃは、露光終了位置Ｐ１から露光開始位置Ｐ２までが距離Ｄ１を有するように配置されている。また、各マーキング用露光ユニット７Ａから７Ｃは、隣合う露光ユニット同士がぶつからない範囲でＹ方向にそれぞれ独立に移動可能に設けられる。これにより、Ｙ方向についての露光位置に融通性をもたせることができる。

各マーキング用露光ユニット７は、図３に示すように、反射ミラー７１ａ、７１ｂ、ディジタルマイクロミラーデバイス（以下、単にＤＭＤと記す）７２、集光レンズ７３、第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４、７４Ｙ、第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー駆動モータ７５、７５Ｙ、及びＦθレンズ７６を備え、ＤＭＤ７２により形成されるマーキング表示７２Ｍをレーザ光によりガラス基板Ｋ上に導くように構成される。

ＤＭＤとは、図４，６に示すように、シリコンガラス基板上に格子状に多数（例えば１０２４×７６８個）配列されたそれぞれ１４μｍ×１４μｍという微小なマイクロミラー７２１を、その反射角度を電気的に制御することによって画像を表示するように構成した素子である。オン状態では該マイクロミラー７２１への入射光が反射する角度とされ、オフ状態では反射しない角度とされる。例えばマーキングすべき文字が「Ｇ」である場合には、反射面が「Ｇ」字形を呈するようにマイクロミラー７２１の角度が変更される。前段落で述べたマーキング表示７２Ｍは、このときに表示面に形成される画像のことである。

第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４、７４Ｙは、図３に示すように、レーザ光の照射によるマーキング表示７２Ｍのガラス基板Ｋへの像であるマーキング像ＭＺがＸ方向に移動可能となるように駆動可能に設けられる。また、図５に示すように、第２露光ユニット用ガルバノミラー駆動モータ７５Ｙにより第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ｙを、マーキング像ＭＺがＹ方向にも移動可能となるようにＷ_２方向に駆動可能に設けることで、マーキング用露光ユニット７一台あたりのＹ方向についての露光範囲を広くすることができる。

制御装置１０は、予め組み込まれたプログラムやオペレータによる入力操作に基づいて、図１に示す露光装置１に記載した各機器の動作制御を行う。

次に、図８から図１０も参照して、以上のように構成された露光装置１の動作について説明する。図８及び図９はマーキング露光の動作を時系列的に説明するための平面概略図、図１０は各露光ユニット７から出力されるレーザ光のオンオフ状態を示すタイムチャートである。なお、マーキング用露光ユニット７Ａから７Ｃの各構成要素については、全て同一であるため、共通の符号で表記するが、説明上他と区別した方がわかりやすい場合は、例えば「７４Ａ」「７４Ｂ」のように末尾に「Ａ」から「Ｃ」のアルファベットを付して記述する。また、他のガルバノミラーや駆動モータについても同様な方法で記載する。

図８（Ａ）において、基板受取り位置に待機したステージ３は、上流側に配置されたロボットからガラス基板Ｋを受け取り、該ガラス基板Ｋをステージ３の表面上に吸着保持する。このとき、レーザ光切替器６における切替器用ガルバノミラー６４は、待機位置である角度位置θ_０にある。その後、ガラス基板Ｋを吸着保持した状態でステージ３はＸ１方向に等速度Ｖで走行すると共に、切替器用ガルバノミラー６４は切替器用ガルバノミラー駆動モータ６５により回動駆動されて角度位置θ_０ から角度位置θ_１となる。これにより、図２に示すように、レンズ系６１Ｄを通過したマーキング露光用光源装置５からのレーザ光は、切替器用ガルバノミラー６４の表面で反射してレンズ系６１Ａに向かう。そしてレンズ系６１Ａを通過した後、光ファイバケーブル６６Ａを介してマーキング用露光ユニット７Ａに供給される。

マーキング用露光ユニット７Ａにおいて、レーザ光切替器６から供給され光ファイバーケーブル６６Ａを通じて送られてきたレーザ光は、図３に示すように、反射ミラー７１ａの反射面で反射した後、ＤＭＤ７２における表示面に照射される。該表示面では、ガラス基板Ｋにマーキングすべき所望の文字や記号に応じた反射形態を持たせるように、複数のマイクロミラー７２１がオンオフ制御されている。表示面で反射したレーザ光は、集光レンズ７３で集光された後、第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡに向かう。

露光ユニット７Ａの第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡは、図１０に示すように、レーザ光切替器６における切替器用ガルバノミラー６４が角度位置θ_１の位置となった後にオンとなる。オンとなった第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡは、図５に示すように、第１露光ユニット用ガルバノミラー駆動モータ７５によりｔ_２秒間だけＷ_１方向に等角速度で回動する。ｔ_２秒間という時間は、レーザ光を照射する時間であり、ステージ３がマーキング像ＭＺのＸ方向距離Ｄ２を移動するのに要する時間に等しい。

第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡにより進行方向が変化したレーザ光は、Ｆθレンズ７６で収束された後、図８（Ｂ）に示すように、ガラス基板Ｋの表面に向けて照射される。そしてガラス基板Ｋの表面に塗布されたレジスト膜にＤＭＤ７２で形成したマーキング表示７２Ｍの露光が行われる。第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡが図３に記載の様にＷ_１方向に等角速度で回動することにより、ガラス基板Ｋ上に導かれるマーキング像ＭＺはＸ１方向に等速度で移動する。ここで、第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡは、マーキング像ＭＺがＸ１方向に移動する速度と、ステージ３の走行速度Ｖとが等しくなるように回動する。これにより、露光ユニット７Ａからガラス基板Ｋに照射されるレーザ光はステージ３と同期する。すなわち該レーザ光とステージ３との相対速度はゼロになる。このため、ステージ３とレーザ光との相対速度のずれから生じ得るマーキング像ＭＺの伸びや滲みを防止することができる。

なお、第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡを駆動する代わりに、図６に示すように、ＤＭＤ７２に形成されるマーキング表示７２Ｍを、ガラス基板Ｋ上に導かれるマーキング像ＭＺがＸ１方向に等速度Ｖで移動するように、いわゆる「流し表示」することによっても同様な効果を得ることができる。「流し表示」とは、各マイクロミラー７２１のオンオフを所定方向に向けて等速度で順次シフトさせることにより、表示面上のマーキング表示７２Ｍを、形を変えずに送り出して表示させることである。「流し表示」することにより、ＤＭＤ７２におけるマイクロミラー７２１が１枚程度破損していても、他のマイクロミラーがこれを補うので露光状態に支障を来さない。

図８（Ｃ）に示すように、露光ユニット７Ａによるマーキング露光が終了すると、露光ユニット７Ａの第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡはオフとなり反転して元の角度位置に戻る。一方、レーザ光切替器６の切替器用ガルバノミラー６４は、マーキング用露光ユニット７Ａの第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡがオフすると同時に切替器用ガルバノミラー駆動モータ６５により角度位置θ_１からＷ_０方向に回動を開始して角度位置θ_２となる。角度位置θ_２となることにより、第１電源装置５から光ファイバケーブル５１を介して供給されたレーザ光は、レンズ系６１Ｄを通過した後、切替器用ガルバノミラー６４の表面で反射してレンズ系６１Ｂに向かう。そしてレンズ系６１Ｂを通過した後、光ファイバケーブル６６Ｂを介して露光ユニット７Ｂに供給される。

露光ユニット７Ｂの第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ｂ、７４ＹＢは、図１０に示すように、マーキング用露光ユニット７Ａの第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ａ、７４ＹＡがオフとなってからｔ_１秒後にオンとなり、第１露光ユニット用ガルバノミラー駆動モータ７５ＢによりＷ_１方向に等角速度で回動する。ここでｔ_１秒という時間は、図７や図８（Ｄ）に示すように、マーキング用露光ユニット７Ａの露光終了位置Ｐ１からマーキング用露光ユニット７Ｂの露光開始位置Ｐ２までの距離Ｄ１をステージ３が走行するのに要する時間である。つまりｔ_１＝Ｄ１／Ｖである。

図９（Ｅ）に示すように、露光ユニット７Ｂによるマーキング露光が終了すると、露光ユニット７Ｂの第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ｂ、７４ＹＢはオフとなり反転して元の角度位置に戻る。一方、レーザ光切替器６の切替器用ガルバノミラー６４は、マーキング用露光ユニット７Ｂの第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ｂ、７４ＹＢがオフすると同時に切替器用ガルバノミラー駆動モータ６５により角度位置θ_２からＷ_０方向に回動を開始して角度位置θ_３となる。角度位置θ_３となることにより、第１電源装置５から光ファイバケーブル５１を介して供給されたレーザ光は、レンズ系６１Ｄを通過した後、切替器用ガルバノミラー６４の表面で反射してレンズ系６１Ｃに向かう。そしてレンズ系６１Ｃを通過した後、光ファイバケーブル６６Ｃを介してマーキング用露光ユニット７Ｃに供給される。マーキング用露光ユニット７Ｃの第１露光ユニット用ガルバノミラー７４Ｃは、図１０に示すように、マーキング用露光ユニット７Ｂの第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４Ｂ、７４ＹＢがオフとなってからｔ_１秒後にオンとなり、第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー駆動モータ７５Ｃ、７４ＹＣによりＷ_１方向に等角速度で回動する。

このように、露光装置１では、互いに隣り合う露光ユニット７Ａ，７Ｂにおける一方の露光ユニット７Ａの露光終了位置Ｐ１から他方の露光ユニット７Ｂの露光開始位置Ｐ２までの距離Ｄ１をステージ３が走行し終えたときに、他方の露光ユニット７Ｂからレーザ光を照射する。互いに隣り合う露光ユニット７は、露光終了位置Ｐ１から露光開始位置Ｐ２までが距離Ｄ１を有するような配置とされているため、一方の露光ユニット７Ａによって形成されたマーキング像ＭＺＡと、他方の露光ユニット７Ｂによって形成されたマーキング像ＭＺＢとは、Ｙ方向に一列となる。各露光ユニットから照射されるレーザ光は時系列的に切り替えられるので、レーザ光の照射数を増やした場合でも、光源の出力を大きなものにしたり、光源の数を増やしたりする必要がなく装置の低コスト化を図ることができる。

また、ＤＭＤ７２を用いて面単位のマーキング表示７２Ｍを露光しているので、従来のようにドット単位で露光する場合と異なり、露光位置にばらつきが生じることがなく、きれいなマーキング像ＭＺを形成することができる。また、レーザ光とステージ３との相対速度がゼロになるため、ステージ３とレーザ光との相対速度のずれから生じ得るマーキング像ＭＺの伸びや滲みを防止することができ、きれいなマーキング像ＭＺを形成することができる。第１、第２露光ユニット用ガルバノミラー７４、７４Ｙは、マーキング像ＭＺがＹ方向にも移動可能となるように駆動可能に設けられるので、マーキング用露光ユニット７一台あたりのＹ方向についての露光範囲を広くすることができる。

ステージ３のＸ１方向への走行に伴い、以上の動作を複数回繰り返すことにより、図９（Ｈ）に示すように、Ｙ方向に一列となって並んだマーキング像ＭＺＡ〜ＭＺＣを２次元的に形成することができる。

更に露光装置１では、マーキング露光の動作と同時に周辺露光の動作も行う。周辺露光とは、パターン露光やマーキング露光とは別にガラス基板Ｋの周辺部を露光し、不要なレジストを除去する処理である。例えば、ガラス基板Ｋの周辺部全周を一定幅で周状に露光する全周露光や、ウエハ保持用の爪が接触する箇所のみを選択的に露光する部分露光がある。この処理の後に、現像工程を経て異物発生の原因となる不要レジストを除去する。

露光装置１において、周辺露光は例えば次のように行う。すなわちマーキング露光の動作中において、ステージ３が上流側から下流側に向けて等速度Ｖで走行を開始すると共に、周辺露光用露光ユニット９Ａ，９Ｃがオンとなり、周辺露光用光源装置８から供給されたレーザ光がガラス基板ＫにおけるＹ方向についての両端部に向けて照射される。ステージ３がＸ１方向に走行することにより、ガラス基板ＫにおけるＸ方向に平行な両周辺部に露光が行われる。このように、マーキング露光と同時に周辺露光を行うので、タクト時間の短縮化を図ることができる。

なお、該ガラス基板Ｋにおける残りの両周辺部にも露光を行いたい場合は、ステージ３を回転駆動機構により下流側で垂直軸周りに９０度回転させた後、走行方向を反転させてＸ２方向に等速度（−Ｖ）で走行させる。これにより、残りの両周辺部にも露光が行われる。

また、該ガラス基板Ｋの中央線付近も一直線状に露光したい場合は、中央の露光ユニット９Ｂからもレーザ光を照射して上と同様にして露光する。

以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上に開示した実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、更に特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。

例えば、請求項における「複数のマーキング用露光ユニット」は、上に開示した実施の形態では、各マーキング用露光ユニットが一つ一つ独立したケーシングであり、その中に種々の光学的機構要素を収納したものとしたが、必ずしもケーシングが一つ一つ独立していなくてもよい。すなわちケーシングが独立していなくても同様の機能を備える構成、例えば、上と同様な種々の光学的機構要素を一つのケーシング内に複数段収納している構成であっても、本発明の範囲内であると解釈する。

また、上に開示した実施の形態では、マーキング用露光ユニット７及び周辺露光用露光ユニット９をそれぞれ３台の配置として示したが、２台または４台以上の配置としてもよい。また、これらのマーキング用露光ユニット７，９を固定したままでステージ３を走行させる形態を示したが、ステージ３を固定しておきマーキング用露光ユニット７，９を走行させる形態、またはステージ３とマーキング用露光ユニット７，９の両方を走行させる形態としてもよい。
［図面の簡単な説明］

本発明に係る露光装置の外観を示す斜視図である。 レーザ光切替器の内部構造を示す平面図である。 マーキング用露光ユニットの内部構造を示す斜視図である。 ディジタルマイクロミラーデバイスの外観を示す斜視図である。 マーキング用露光ユニットにおける第１、第２露光ユニット用ガルバノミラーの動作を説明するための図である。 ディジタルマイクロミラーデバイスの動作を説明するための図である。 マーキング用露光ユニットの配置を示す平面概略図である。 マーキング露光の動作を時系列的に説明するための平面概略図である。 マーキング露光の動作を時系列的に説明するための平面概略図である。 各露光ユニットから出力されるレーザ光のオンオフ状態を示すタイムチャートである。 従来の露光方法を説明するための平面概略図である。

符号の説明

［符号の説明］
１ 露光装置
３ ステージ
５ マーキング露光用光源装置
７ マーキング用露光ユニット
８．周辺露光用光源装置
９ 周辺露光用露光ユニット
６４ 切替器用ガルバノミラー
６５ 切替器用ガルバノミラー駆動モータ
７２ ディジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）
７２Ｍ マーキング表示
７４ 第１露光ユニット用ガルバノミラー
７４Ｙ 第２露光ユニット用ガルバノミラー
７５ 第１露光ユニット用ガルバノミラー駆動モータ
７５Ｙ 第２露光ユニット用ガルバノミラー駆動モータ
Ｄ１ 距離
Ｋ ガラス基板（被露光基板）
ＭＺ マーキング像
Ｐ１ 露光終了位置
Ｐ２ 露光開始位置
Ｘ 方向（相対移動の方向）
Ｙ 方向（相対移動の方向と直交する方向）

Claims (2)

1. マーキング露光用のレーザ光を生成するマーキング露光用光源装置と、
   被露光基板を載置するためのステージと、
   前記ステージに対して等速度で相対移動可能に設けられると共に前記ステージの上部に平面視が前記相対移動の方向について段違いに斜め列となるように配置されそれぞれディジタルマイクロミラーデバイスにより形成されるマーキング表示を前記レーザ光により前記被露光基板上に照射するように構成された複数のマーキング用露光ユニットと、
   互いに隣り合うマーキング用露光ユニットにおける一方のマーキング用露光ユニットの露光終了位置から他方のマーキング用露光ユニットの露光開始位置までの距離を前記ステージと前記複数のマーキング用露光ユニットとが相対移動する毎に、前記被露光基板上を最初に通過するマーキング用露光ユニットから前記被露光基板上を最後に通過するマーキング用露光ユニットへ向かう順序で、各マーキング用露光ユニットが前記被露光基板上に照射するレーザ光を切り替える切替手段と
   を備え、
   前記複数のマーキング用露光ユニットを前記ステージに対して相対移動させながら、前記切替手段によるレーザー光の切り替え、および、各マーキング用露光ユニットによるレーザ光の照射を行うことを特徴とする露光装置。
2. マーキング露光用光源装置によりマーキング露光用のレーザ光を生成し、
   ステージ上に被露光基板を載置し、
   複数のマーキング用露光ユニットを前記ステージに対して等速度で相対移動可能に設けると共に
   前記ステージの上部に平面視が前記相対移動の方向について段違いに斜め列となるように配置し、
   それぞれのマーキング用露光ユニットにおけるディジタルマイクロミラーデバイスにより形成されるマーキング表示を、互いに隣り合うマーキング用露光ユニットにおける一方のマーキング用露光ユニットの露光終了位置から他方のマーキング用露光ユニットの露光開始位置までの距離を前記ステージと前記複数のマーキング用露光ユニットとが相対移動する毎に、前記被露光基板上を最初に通過するマーキング用露光ユニットから前記被露光基板上を最後に通過するマーキング用露光ユニットへ向かう順序で、各マーキング用露光ユニットが前記被露光基板上に照射するレーザ光を切り替えることにより、前記被露光基板上に導き、
   前記複数のマーキング用露光ユニットを前記ステージに対して相対移動させながら、レーザー光の切り替え、および、各マーキング用露光ユニットによるレーザ光の照射を行うことを特徴とする露光方法。

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