JP4560331B2 - バルブを含んだ分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、ハイブリッドポンプ - Google Patents

Description

本発明は、特に半導体産業で使用されるチャンバ等の、プロセスチャンバ内で適切な真空を形成し、調整可能にするガスポンピングシステムに関する。

半導体およびマイクロエレクトロニクス機械システム（ＭＥＭＳ）の製造方法は、一般に、低圧雰囲気下でプロセスチャンバにおいて展開される連続ステップを含む。各方法ステップは、たとえば半導体基板に作用するプラズマまたは粒子ボンバードを維持するために調整が必要な気圧によって特徴づけられる。

方法ステップの大部分は、適切な真空の存在下で実施され、プロセスチャンバに接続される真空ポンプを備えた真空ラインにより保持される。

プロセスチャンバの真空ラインは、一般に、隔離バルブを介してチャンバの吐出部に接続される分子タイプ、ターボ分子タイプ、またはハイブリッドタイプの第二のポンプを含み、この第二のポンプは、第一のポンプの吸入部に接続された結合管路に吐出を行い、第一のポンプの吐出部は、大気圧への吐出を行う。一般に、第二のポンプの吐出部に隔離バルブを設ける。

プロセスチャンバ内の圧力制御には、真空ラインにおけるポンピング条件を修正する手段を設け、これらの条件を様々な方法の連続ステップに合わせるようにしなければならない。従来は、第二のポンプの上流で、プロセスチャンバの吐出部に直接配置される調整バルブの操作によって、プロセスチャンバ内の圧力を制御してきた。その場合、排気されるガスにより調整バルブに汚れが付着するおそれがあること、また、各種の方法の後段の最中に調整バルブからプロセスチャンバに汚れが後戻りするおそれがあることが問題である。

現在まで検討されてきた一つの解決方法は、結合管路、すなわち第二のポンプの吐出部と第一のポンプの吸入部との間に、制御弁を配置することである。国際公開第９９／０４３２５号パンフレットは、特に、速度制御されない第一のポンプの吸入部に接続された調整バルブを設けることからなり、調整バルブの上流に不活性ガスの噴射手段を設ける。

その場合、おそらく、第二のポンプの吐出部と調整バルブとの間で高圧のガス体積がいっそう大きくなるために応答時間が長くなり、それによって制御の劣化がみられる。
国際公開第９９／０４３２５号パンフレット

本発明が提案する課題は、プロセスチャンバ内の圧力制御条件を著しく劣化させずに、調整バルブに汚れが付着するおそれと、調整バルブからプロセスチャンバへ後戻りする汚染のおそれとを同時に低減することにある。特に、連続する方法ステップの中間の推移時の圧力制御手段の素早い反応を保証することが必要である。

同時に、本発明は、調整バルブ自体の存在に起因するかさばりを低減することができる。

本発明の基本的な概念は、ポンプの円筒形の周辺壁で半径方向の吐出ポートに閉鎖部材が直接作用する特別なバルブ構造を設けて、調整バルブを第二のポンプの構造自体に含む（ｉｎｔｅｇｒｅｒ）ことにある。

実際には、分子タイプ、ターボ分子タイプ、またはハイブリッドタイプの第二のポンプを吐出段に設け、この吐出段の円筒形の周辺壁に設けられた半径方向の吐出ポートに閉鎖部材が直接作用する。

そのため、第二のポンプのできるだけ近くに調整バルブを配置し、第二のポンプ自体をプロセスチャンバのできるだけ近くに配置することによって、プロセスチャンバの雰囲気内の上流の妨害に対する反応時間を短縮する。

本発明は、さらに、第二のポンプの自然な加熱を利用しており、第二のポンプが内蔵バルブを加熱するので、排気されるガスが調整バルブの様々な部分に堆積して凝結するおそれが少なくなる。

また、調整バルブ構造に十分に気密な品質を与え、下流の隔離バルブの諸機能を果たすようにすることができる。かくして、下流の追加隔離バルブは不要になる。

上記の目的ならびに他の目的に到達するために、本発明は、円筒形の周辺壁と、前記円筒形の周辺壁を貫通する半径方向の吐出ポートとを有する吐出段を含む、分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプを提供する。本発明によるポンプは、さらに、通過開口部（ｌｕｍｉｅｒｅ）を備えた同軸の環状閉鎖部材を有する調整バルブおよび／または隔離バルブを含んでおり、前記閉鎖部材が、吐出段の半径方向の吐出ポートと直接協働して閉鎖および／または調整を行っている。

第一の実施形態によれば、同軸の環状閉鎖部材が、円筒形の周辺壁の内部で環状の吐出スペースに配置され、半径方向の吐出ポートの内面で支持される。

別の実施形態によれば、同軸の環状閉鎖部材が、半径方向の吐出ポートの外面で支持され、吐出段の円筒形の周辺壁の周囲に収容される。

同軸の環状閉鎖部材は、有利には、半径方向の吐出ポートに対して通過開口部を調整可能に配置するように、モータにより軸について回転駆動（ｓｏｌｌｉｃｉｔｅ ｅｎ ｒｏｔａｔｉｏｎ）される。同軸の環状閉鎖部材の回転により、通過開口部が半径方向の吐出ポートの正面で移動し、それによって、調整バルブおよび／または隔離バルブを通るガス流をコントロールする。

実際には、同軸の環状閉鎖部材が、モータにより回転駆動される歯車に係合するラックを含むことができる。

有利には、パッキンを介してポンプの円筒形の周辺壁に半径方向にはめ込まれるハウジングに、モータを収容可能である。

好適には、バルブが、閉鎖位置で全体を気密に塞ぐ。

このため、同軸の環状閉鎖部材は、閉鎖位置で密封性を確保するように取り付けられた気密手段を含むことができる。

実用的な実施形態によれば、同軸の環状閉鎖部材は、この同軸の環状閉鎖部材に半径方向に移動できるように取り付けられて、移動手段により半径方向に移動するように付勢される全面閉鎖フラップを含むことができ、前記移動手段は、フラップが前記半径方向の吐出ポートの正面にきたときに、この半径方向の吐出ポートの周囲にフラップを押し付け、他の角位置では円筒形の周辺壁からフラップを離隔する。

調整バルブに汚れが付着するおそれをさらに低減するために、有利には、吐出段の環状吐出スペースに窒素噴射手段を設けることができる。

好適には、調整バルブの同軸の環状閉鎖部材の駆動モータを収容するハウジング内部に窒素噴射手段を設けることができ、これによって、さらに、排気されるガスによるあらゆる汚染のおそれからモータ自体が保護される。

有利には、同軸の環状閉鎖部材の通過開口部が、安定かつ有効な調整に適したコンダクタンス曲線を得るように、適切な形状を有することができる。通過開口部の形状により、同軸の環状閉鎖部材の回転角度に応じてコンダクタンスの変化が定められる。

本発明の別の特徴によれば、吐出段を備えた少なくとも一つの分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプを含み、また、排気されるガス流を制御する少なくとも一つの調整バルブおよび／または隔離バルブを含む、プロセスチャンバのガスポンピングシステムを構成する。本発明によれば、調整バルブおよび／または隔離バルブが、上記のように、吐出段に含まれる。

有利には、第二のポンプの上流で圧力調整を行うように、モータおよび制御手段によって、調整バルブおよび／または隔離バルブを制御することができる。

本発明の他の目的、特徴、および長所は、添付図面に関してなされた特定の実施形態の以下の説明から明らかになるであろう。

図１に示した実施形態では、プロセスチャンバ１の真空を制御するための真空ラインに、大気圧への吐出を行う第一のポンプ２を設けており、このポンプの吸入部は、結合管路３により第二のポンプ５の吐出部４に接続されている。第二のポンプの吸入部６は、プロセスチャンバ１に接続されている。

第二のポンプ５の吐出部４は、第二のポンプ５自体に含まれた調整バルブ７を含んでおり、調整バルブは、この調整バルブ７の制御手段８に結合されている。

後述するように、調整バルブ７は、この調整バルブ７の制御手段８を構成するモータにより機械的に移動可能な閉鎖部材を含むことができる。モータ８は、マイクロプロセッサまたはマイクロコントローラ等の制御手段９により制御可能である。プロセスチャンバ１内の圧力調整を行うために、制御手段９は、設定手段１０により生成される設定信号と、たとえばプロセスチャンバ１内の圧力センサ１１によって生成される測定信号とを受信可能である。

プロセスチャンバ１内の圧力は、モータ８の作動により、調整バルブ７を多少とも大きく開放することにより制御可能である。さらに、必要であれば、制御手段９が、第一のポンプ２の速度制御電源１２および／または第二のポンプ５の速度制御電源１３を制御するように、構成することもできる。

たとえば窒素からなる不活性ガス源１４は、有利には、モータ８を収容するハウジングに管路１５と制御バルブ１６とにより接続して不活性ガスを噴射するようにすることが可能であり、不活性ガスは、調整バルブ７を介して第二のポンプ５の吐出段の内部に広がる。

次に、本発明による第二のポンプ５の有利な実施形態を示す図２から図１１を参照する。

本発明は、分子タイプ、ターボ分子タイプ、またはハイブリッドタイプにすることができる第二のポンプに適用される。

分子ポンプ、特に、Ｈｏｌｗｅｃｋタイプの分子ポンプでは、ステータは、このステータの内側スカートの周囲に円筒形の周辺壁を含み、この周辺壁は、環状の吐出スペースによって内側スカートから分離される。半径方向の吐出ポートが円筒形の周辺壁を貫通することによって、環状の吐出スペースと外界とを連通させている。螺旋リブを備えたロータは、ステータの内側スカートにより画定される内側スペースに同軸に係合され、ポンプの軸を中心として回転駆動される。

ターボ分子タイプの第二のポンプでは、ロータおよびステータが、互いに重なり合う複数段の羽根を含む。

ハイブリッドタイプの第二のポンプでは、ポンプの吸入部を起点として、羽根を備えたターボ分子タイプの圧縮段に、少なくとも一つのＨｏｌｗｅｃｋタイプの吐出段が続いている。

図２から図１１の実施形態では、このような分子タイプまたはハイブリッドタイプの第二のポンプ５の吐出段だけを示し、この吐出段は、ターボ段等の他の段に結合可能である。

こうした分子ポンプまたはハイブリッドポンプ５の吐出段は、円筒形の周辺壁１７と、内側の螺旋リブ１９を備えたステータと同軸の内側スカート１８と、Ｈｏｌｗｅｃｋタイプのロータ（図示せず）とを含み、このロータは、ステータの内側スカート１８により画定される内側スペース２０に同軸に係合され、図示されていない主要モータによりポンプの軸を中心として回転駆動される。

図２では、第二のポンプ５を下流面から示しており、そのため、ポンプの内側部材を識別できるように下流の閉鎖壁を省略していることに留意されたい。動作時にポンプの下流面は、円筒形の周辺壁１７に固定されて下流のチャンバ２１を画定するディスク状の気密壁によって、塞がれる（特に図６参照）。排気されるガスは、Ｈｏｌｗｅｃｋロータから下流のチャンバ２１の方に吐出され、下流のチャンバ自体が、円筒形の周辺壁１７とステータの内側スカート１８との間に配置される環状の吐出スペース２２と連通する。

円筒形の周辺壁１７は、半径方向の吐出ポート２３を含み、環状の吐出スペース２２から吐出されるガスが、この吐出ポートから排出される。

本発明によれば、第二のポンプ５のＨｏｌｗｅｃｋ段の円筒形の周辺壁１７において、半径方向の吐出ポート２３に閉鎖部材が直接隣接する、特定構造の調整バルブを設ける。

このため、調整バルブは、半径方向の吐出ポート２３の面の一つで気密に支持される円筒形の同軸の環状閉鎖部材２４を含んでおり、この閉鎖部材が、その周辺の一部に通過開口部２５を含み（図５）、軸について回転駆動されて、半径方向の吐出ポート２３に対して多かれ少なかれアラインメントまたはオフセットされる角方向の配向に従って、前記通過開口部２５を調整可能に配置することにより、調整バルブのコンダクタンスを調整する。

このような同軸の環状閉鎖部材２４を、特に図５の実施形態では、斜視図で分離して示した。この図では、同軸の環状閉鎖部材２４が円筒形を有し、連続する円筒壁２４ａから構成され、上流の円形の縁２４ｂと下流の円形の縁２４ｃとが境界をなしていることが分かる。ポンプ本体で円筒形の環状閉鎖部材２４の軸方向の位置を決定するガイド手段と協働するように、壁の外壁２４ａにガイド溝２４ｄを設ける。

上流の円形の縁２４ｂは、モータにより駆動される駆動ピニオンと協働する歯付部分２４ｅを含み、ポンプ本体において同軸の環状閉鎖部材２４を軸について回転駆動する。

図５では、また、通過開口部２５が示されており、この開口部は、同軸の環状閉鎖部材２４の角方向の位置により、この開口部が、ポンプの半径方向の吐出ポート２３の正面に配置されるとき（図６）、バルブの全開位置を画定し、半径方向の吐出ポート２３からオフセットされるとき、調整バルブを多少とも閉じる。通過開口部２５は、ポンプの軸を中心とする同軸の環状閉鎖部材２４の角方向の位置制御によって安定かつ有効な調整が行える適切なコンダクタンス曲線を得るように、適切な形状にする。

図５では、また、同軸の環状閉鎖部材２４上で半径方向に移動し、後述する半径方向の移動手段により半径方向に付勢される、全面閉鎖フラップ２６が示されている。全面閉鎖フラップ２６は、閉鎖位置で全体を密閉する正面パッキン２６ａを含む。

図示された実施形態では、同軸の環状閉鎖部材２４が、環状の吐出スペース２２の内部に配置されており、図２に二重矢印２７で示したようにポンプの軸を中心とする軸方向の回転により移動可能である。

こうした軸方向の回転運動２７に対して、同軸の環状閉鎖部材２４は、図６からよく分かるように、円筒形の周辺壁１７に半径方向にはめ込まれたハウジング２８内に配置された、モータ８により駆動される。モータ８は、歯車２９を駆動し、歯車は、同軸の環状閉鎖部材２４の上流の円形縁２４ｂの歯付部分２４ｅに係合する。

ハウジング２８は、正面の環状気密パッキン３０を介して、ポンプ本体の円筒形の周辺壁１７に半径方向にはめ込まれる。半径方向に作動する第二の環状気密パッキン３１が、歯付部分２９を支持するシャフトの通過ポートの内部で円筒形の周辺壁１７に同様に設けられる。

図６では、また、モータ８を収容したハウジング２８に不活性ガスを噴射する管路１５の引き入れ口が示されている。このような不活性ガスの噴射により、モータ８を介して第二のポンプ５に向かって不活性ガス流を発生し、排気されるガスが第二のポンプ５からモータ８に循環しないようにして、モータ８が汚染されるおそれを低減するとともに、Ｈｏｌｗｅｃｋ段でガスを希釈して、汚れが堆積するおそれをさらに低減する。歯車２９を通る少なくとも一つの軸方向の較正穴を設けることにより、不活性ガスは確実に単一方向に流れる。

同軸の環状閉鎖部材２４は、環状の吐出スペース２２内部におけるその位置により、Ｈｏｌｗｅｃｋ段の吐出部での加熱を利用し、それによって、調整バルブの様々な部材にポンピングガスが堆積するおそれを少なくする。しかしながら、特に、同軸の環状閉鎖部材２４のこの位置は、調整バルブ７の上流の高圧ガス体積を最大限減少するので、調整に反応する容量が改善される。

図６では、調整バルブが全面閉鎖位置で示されている。この場合、同軸の環状閉鎖部材２４は、全面閉鎖フラップ２６が半径方向の吐出ポート２３のちょうど正面にくるような角方向の位置に正確に配置される。全面閉鎖フラップ２６は、半径方向の吐出ポート２３の全周に沿って円筒形の周辺壁１７の内面に押し付けられ、その環状パッキン２６ａが半径方向の吐出ポート２３の周囲に押し付けられて、完全な気密性を確保している。

図７では、調整バルブが全開位置にある状態で第二のポンプ５を示した。この図では、図６と同じ部材には同じ参照符号を付した。

この全開位置で、同軸の環状閉鎖部材２４は、モータ８の作動により回転し、通過開口部２５を半径方向の吐出ポート２３に対応して配置することにより、ポンプから吐出されるガスを最大限通過可能にする。このとき、全面閉鎖フラップ２６は、横方向に格納されているので図では見えない。

図８は、図６の第二のポンプ５を部分開放位置で示す直径方向の断面図であり、この位置は、また、図９で上面図として示されている。この場合、同軸の環状閉鎖部材２４は、半径方向の吐出ポート２３の正面に部分的に通過開口部２５を配置するように、モータにより角方向に回転され、この半径方向の吐出ポート２３が、全面閉鎖フラップ２６により部分的に塞がれる。バルブは、半開放位置で示されている。

同軸の環状閉鎖部材２４を自在に回転可能にするために、全面閉鎖フラップ２６は、半径方向に移動可能であり、図６に示した全面閉鎖位置を除いて、同軸の環状閉鎖部材２４の全ての角位置で円筒形の周辺壁１７から離隔される。

そのため、図１０、１１から詳しく分かるように、全面閉鎖フラップ２６は、傾斜した内面２６ｂと、それよりも薄い部分２６ｃと、厚い部分２６ｄとを含んでいる。内面２６ｂは、直径方向の断面図からよく分かるように、ローラ３２ａ、３２ｂで半径方向に支持されている。図１１に示した全体または部分開放位置で、ローラ３２ａ等のローラは、全面閉鎖フラップ２６の最も薄い部分２６ｃで支持され、全面閉鎖フラップ２６が、円筒形の周辺壁１７から離れて、ポンプの軸に向かって半径方向に後退できるようにする。それに対して、図１０に示した全面閉鎖位置の付近では、ローラ３２ａ等のローラが、全面閉鎖フラップ２６の最も厚い部分２６ｄで支持され、全面閉鎖フラップ２６を外側に押して、半径方向の吐出ポート２３の周囲に沿って円筒形の周辺壁１７にフラップを押し付けるようにし、その場合、パッキン２６ａが完全な気密性を確保する。

図３は、図１１の位置にある第二のポンプ５の斜視図である。全面閉鎖フラップ２６は、半径方向の吐出ポート２３に対してやや偏心している。

図４は、図８および図９に示した半開放位置にある第二のポンプ５を示している。全面閉鎖フラップ２６は、半径方向の吐出ポート２３の幅の半分だけオフセットされており、同様に、通過開口部２５の半分が認められる。

図示された実施形態では、全面閉鎖フラップ２６を備えた調整バルブが、同様に、隔離バルブの機能を果たすことができる。

本発明によれば、同軸の環状閉鎖部材２４が通過開口部２５だけを含み、全面閉鎖フラップ２６を備えない簡単な実施形態を構成することも可能である。この場合、バルブは、制御バルブの機能だけを果たし、バルブを完全に閉鎖しても気密にはならない。

同様に、図示された実施形態では、同軸の環状閉鎖部材２４がポンプ内部に配置されて、円筒形の周辺壁１７の内面に接して半径方向の吐出ポート２３の周囲で支持されている。

それに代わる例として、同軸の環状閉鎖部材２４を円筒形の周辺壁１７の外部に配置して、半径方向の吐出ポート２３の縁で支持してもよい。

本発明は、上記の実施形態に制限されるものではなく、当業者の理解の及ぶ様々な変形実施形態および一般実施形態を含む。

本発明の実施形態によるプロセスチャンバのガスポンピングシステムの概略図である。 本発明の実施形態による分子ポンプまたはハイブリッドポンプのＨｏｌｗｅｃｋ段の斜視図である。 ほぼ全面が閉鎖状態にあるところを示す、図２のＨｏｌｗｅｃｋ段の別の縮小図である。 部分的な開放状態にあるところを示す、図２のＨｏｌｗｅｃｋ段の別の縮小図である。 図２のポンプの同軸の環状閉鎖部材の斜視図である。 全面閉鎖状態にあるところを示す、図２のＨｏｌｗｅｃｋ段の直径方向の断面図である。 全開状態にあるところを示す、図２のＨｏｌｗｅｃｋ段の直径方向の断面図である。 部分的な開放状態にあるところを示す、図２のＨｏｌｗｅｃｋ段の直径方向の断面図である。 図８に示した部分開放状態にあるところを示す、図２のＨｏｌｗｅｃｋ段の上面図である。 全面閉鎖位置にある全面閉鎖フラップの細部を示す部分上面図である。 開放のための後退位置で全面閉鎖フラップを示す、詳細な上面図である。

符号の説明

１ チャンバ
２ 第一のポンプ
３ 結合管路
４ 第二のポンプの吐出部
５ 第二のポンプ
６ 第二のポンプの吸入部
７ 調整バルブ
８ モータ
９ モータの制御手段
１０ 設定手段
１１ 圧力センサ
１２ 第一のポンプの速度制御電源
１３ 第二のポンプの速度制御電源
１４ 不活性ガス源
１５ 管路
１６ 制御バルブ
１７ 円筒形の周辺壁
１８ ステータの内側スカート
１９ 内側螺旋リブ
２０ 内側スペース
２１ 下流チャンバ
２２ 環状の吐出スペース
２３ 環状の吐出ポート
２４ 同軸の環状閉鎖部材
２４ａ 連続円筒壁
２４ｂ 上流の円形縁
２４ｃ 下流の円形縁
２４ｄ ガイド溝
２４ｅ ラックまたは歯付部分
２５ 通過開口部
２６、２６ａ 気密手段
２６ｂ、３２ａ、３２ｂ 移動手段
２６ｃ 薄い部分
２６ｄ 厚い部分
２８ ハウジング
２９ 歯車
３０、３１ パッキン

Claims (13)

1. 分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはターボ分子ポンプタイプの圧縮段に分子ポンプタイプの吐出段が続くハイブリッドポンプ（５）であって、円筒形の周辺壁（１７）と前記円筒形の周辺壁（１７）を貫通する半径方向の吐出ポート（２３）とを有する吐出段を含み、さらに、前記周辺壁（１７）と同軸の環状閉鎖部材（２４）を有する調整バルブおよび／または隔離バルブを含んでおり、該環状閉鎖部材（２４）が、吐出ポート（２３）と重なるように設けられた通過開口部（２５）を備え、前記環状閉鎖部材が、吐出段の半径方向の吐出ポート（２３）と直接協働して閉鎖および／または調整を行うことを特徴とする、分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
2. 前記同軸の環状閉鎖部材（２４）が、円筒形の周辺壁（１７）の内部で、環状の吐出スペース（２２）に配置され、半径方向の吐出ポート（２３）の内面で支持されることを特徴とする、請求項１に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
3. 前記同軸の環状閉鎖部材（２４）が、半径方向の吐出ポート（２３）の外面で支持され、吐出段の円筒形の周辺壁（１７）の周囲に収容されることを特徴とする、請求項１に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
4. 前記同軸の環状閉鎖部材（２４）が、半径方向の吐出ポート（２３）に対して通過開口部（２５）を調整可能に配置するように、モータ（８）により軸について回転駆動されることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
5. 前記同軸の環状閉鎖部材（２４）が、前記モータ（８）により回転駆動される歯車（２９）に係合するラック（２４ｅ）を含むことを特徴とする、請求項４に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
6. 気密パッキン（３０、３１）を介してポンプの円筒形の周辺壁（１７）に半径方向にはめ込まれるハウジング（２８）に、前記モータ（８）が収容されることを特徴とする、請求項４または５に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
7. 前記バルブが、閉鎖位置で吐出ポート（２３）全体を気密に塞ぐことを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
8. 前記同軸の環状閉鎖部材（２４）が、閉鎖位置で吐出ポート（２３）の密封性を確保するように取り付けられた気密手段（２６、２６ａ）を含むことを特徴とする、請求項７に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
9. 前記同軸の環状閉鎖部材（２４）が、この同軸の環状閉鎖部材（２４）に、半径方向に移動できるように取り付けられた全面閉鎖フラップ（２６）を含んでおり、前記フラップが、移動手段（２６ｂ、３２ａ、３２ｂ）により半径方向に移動するように付勢され、前記移動手段は、前記フラップが前記半径方向の吐出ポート（２３）の正面にきたときに、この半径方向の吐出ポート（２３）の周囲にフラップを押し付け、他の角位置では前記円筒形の周辺壁（１７）からフラップを離隔することを特徴とする、請求項８に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
10. さらに、吐出段の環状吐出スペース（２２）に窒素を噴射する手段を設けることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
11. 窒素が、前記同軸の環状閉鎖部材（２４）の駆動モータ（８）を収容するハウジング（２８）の内部に噴射されることを特徴とする、請求項１０に記載の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ。
12. 吐出段を有する少なくとも一つの、請求項１から１１のいずれか一項に記載の第二の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ（５）を含み、また、排気されるガス流を制御する少なくとも一つの調整バルブおよび／または隔離バルブを含んでおり、前記調整バルブおよび／または隔離バルブが、該分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプの吐出段に含まれている、プロセスチャンバのガスポンピングシステム（１）。
13. 前記第二の分子ポンプ、ターボ分子ポンプ、またはハイブリッドポンプ（５）の吸入部（６）に接続されたプロセスチャンバ内の圧力調整を行うように、調整バルブおよび／または隔離バルブが、モータ（８）と制御手段（９）とにより制御されることを特徴とする、請求項１２に記載のガスポンピングシステム。

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