JP4549664B2 - Color filter substrate manufacturing method and display manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセント（ＥＬ）ディスプレイ、もしくは液晶ディスプレイ等のディスプレイに用いるのに適したカラーフィルター基板、およびその製造方法に関するものであり、また、そのようなカラーフィルター基板およびそれを用いたディスプレイの製造方法に関するものでもある。 The present invention relates to a color filter substrate suitable for use in a display such as an organic electroluminescent (EL) display or a liquid crystal display, and a method for producing the same, and such a color filter substrate and the same. It also relates to the method of manufacturing the display used.
有機ＥＬディスプレイには、カラー化の方式の異なる幾つかのタイプのものがあり、それらの中に、白色に発光する有機ＥＬ素子と、三原色のカラーフィルターを組合せる方式のものがある。この方式の有機ＥＬディスプレイは、従来は、白色光の利用効率が低かったが、有機ＥＬ素子に用いる蛍光体の改良が進むにつれ、構造が簡素で済むことから脚光を浴びるようになってきている。 There are several types of organic EL displays having different colorization methods, and among them, there are methods of combining organic EL elements that emit white light and three primary color filters. Conventionally, the use efficiency of white light has been low in this type of organic EL display. However, as the phosphor used for the organic EL element has been improved, the structure is simple, and it has come to the spotlight. .
また、液晶ディスプレイにおいては、光源の光の強度を液晶パネルにより画素に応じて制御して得られる単色の画像を、やはり、三原色のカラーフィルターを組合せることにより、カラー画像を生成させている。 In the liquid crystal display, a single color image obtained by controlling the light intensity of the light source according to the pixel by the liquid crystal panel is combined with the three primary color filters to generate a color image.
従来のカラーフィルターにおいては、例えば、ガラス基板に、Ｃｒ、Ｎｉ等やそれらの化合物からなるブラックマトリックスを真空成膜法で形成した後、顔料分散法、染色法、もしくは印刷法等によって、赤色、緑色、および青色の各色の着色画素を形成し、このときに混入した異物による凸部の解消のため、さらに保護層を形成し、保護層の表面を研磨することにより、カラーフィルターの表面の平坦化を図ろうとしている。（例えば、特許文献１参照。）
また、近年の環境問題への対処や低コスト化を目的に、上記のようにブラックマトリックスを真空成膜法で形成する代わりに、ブラックマトリックスをカラーフィルターを構成する着色画素の形成と同様、着色した樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法により行なうことが行なわれているが、真空成膜法によるブラックマトリックスの厚みが０．２〜０．３μｍ程度であるのに対し、フォトリソグラフィー法によるブラックマトリックスの厚みは１〜３μｍ程度と厚くなるため、ブラックマトリックス上にカラーフィルターを設けようとすると、カラーフィルターを構成する各着色画素のエッジ部が厚くなり、通称「つの」と呼ばれる隆起部分が生じ、カラーフィルターの表面の凹凸が一層問題になっている。
In a conventional color filter, for example, after forming a black matrix made of Cr, Ni or the like or a compound thereof on a glass substrate by a vacuum film forming method, red, by a pigment dispersion method, a dyeing method, a printing method, or the like. The color filter surface is flattened by forming colored pixels of green and blue colors, and forming a protective layer and polishing the surface of the protective layer in order to eliminate the protrusions caused by foreign matter mixed at this time. We are trying to make it easier. (For example, refer to
For the purpose of coping with recent environmental problems and cost reduction, instead of forming the black matrix by the vacuum film formation method as described above, the black matrix is colored similarly to the formation of the colored pixels constituting the color filter. Although the thickness of the black matrix by the vacuum film forming method is about 0.2 to 0.3 μm, the black matrix by the photolithography method is used. Since the thickness of is about 1 to 3 μm, when trying to provide a color filter on the black matrix, the edge of each colored pixel constituting the color filter becomes thick, and a raised portion called a “one” is generated, The unevenness of the surface of the color filter is a further problem.
しかしながら、特許文献１記載の方法によると、下層の各色の着色画素（カラーフィルター層）の凹凸を保護層でならしたものをさらに研磨するので、一応の平坦化が図れるが、下層の段差を解消するための厚みに加え、表面の平坦化を行なう際に研磨される分も含めて、保護層を厚く形成する必要がある。また、各色の着色画素どうしの厚みのバラツキも、カラーフィルターの表面の平坦性を損なうので、根本的には、各色の着色画素の厚みを揃える必要がある。また、各色の着色画素間どうしが重複しないよう、隙間をあけて形成すると、カラーフィルター層の表面の平坦化の妨げになると共に、不要な光が紛れ込む原因ともなる。
また、ブラックマトリックスの形成を、着色した樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法により行なうときには、特許文献１記載の方法による場合以上に凹凸解消のための材料、労力を要する欠点が避けられない。
However, according to the method described in
Further, when the black matrix is formed by a photolithography method using a colored resin composition, there are inevitable disadvantages that require materials and labor for eliminating irregularities more than in the case of the method described in
本発明においては、上記のカラーフィルターを構成する各色の着色画素どうしの段差を解消すると共に、各色の着色画素間にやむを得ず生じる隙間がもたらす欠点を解消した、表面が平坦化したカラーフィルターを提供することを課題とするものである。 In the present invention, there is provided a color filter having a flattened surface, which eliminates the step between the colored pixels of the respective colors constituting the color filter and eliminates the defects caused by the gaps that are inevitably generated between the colored pixels of the respective colors. This is a problem.
発明者の検討によれば、例えば、三原色のカラーフィルター基板を製造する際に、そのうちの二色のパターンをフォトリソグラフィー法により作成し、このとき、二色のパターン間に狭い隙間を形成しておき、続いて、残る三色目のパターンを、パターン形成用組成物の全面への塗布、および研磨によって形成することにより、三色のパターンの厚みを揃えることが可能となり、しかも、先に生じていた狭い隙間内に、三色目の形成用組成物を充填してならすことも可能となって、課題を解決することができた。 According to the inventor's study, for example, when manufacturing a color filter substrate of three primary colors, a pattern of two colors is created by a photolithography method, and at this time, a narrow gap is formed between the patterns of two colors. Then, by forming the remaining third color pattern by coating the entire surface of the pattern forming composition and polishing, it becomes possible to make the thickness of the three color patterns uniform, It was also possible to fill the composition for forming the third color in a narrow gap, and the problem could be solved.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第１の形態は、透明基板上に、色相の異なる三種以上の微細カラーフィルター領域が配列されて構成されたカラーフィルター層が積層されており、前記の三種以上の微細カラーフィルター領域のうちの一種を構成する材質が、前記の一種以外の微細カラーフィルター領域どうしの間の隙間に充填されており、前記隙間を充填する材質および前記全色相の微細カラーフィルタ領域が配列されて構成されたカラーフィルター層は、全表面が研磨され、全面、同じ厚さに平坦化されていることを特徴とするカラーフィルター基板に関するものである。 In the first embodiment of the color filter substrate according to the present invention, a color filter layer constituted by arranging three or more kinds of fine color filter regions having different hues is laminated on a transparent substrate. A material constituting one type of the fine color filter region is filled in a gap between the fine color filter regions other than the one type, and the material filling the gap and the fine color filter region of all the hues are provided. The color filter layer arranged and configured relates to a color filter substrate characterized in that the entire surface is polished and the entire surface is flattened to the same thickness.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第２の形態は、第１の形態において、前記カラーフィルター層が、光の三原色の一つづつの色相を有する三種の微細カラーフィルター領域からなることを特徴とするカラーフィルター基板に関するものである。 According to a second aspect of the color filter substrate of the present invention , in the first aspect , the color filter layer includes three kinds of fine color filter regions each having a hue of each of the three primary colors of light. The present invention relates to a filter substrate.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第３の形態は、第１または第２の形態において、前記透明基板と前記カラーフィルター層との間に開孔部を有するブラックマトリックスが積層されており、前記カラーフィルター層を構成する前記各微細カラーフィルター領域は、前記ブラックマトリックスの開孔部に対応して積層されていることを特徴とするカラーフィルター基板に関するものである。 According to a third embodiment of the color filter substrate of the present invention , in the first or second embodiment , a black matrix having an aperture is laminated between the transparent substrate and the color filter layer. Each of the fine color filter regions constituting the filter layer is related to a color filter substrate characterized in that the fine color filter regions are laminated corresponding to the apertures of the black matrix.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第４の形態は、第１〜第３いずれかの形態において、前記カラーフィルター層の前記透明基板側とは反対側に、オーバーコート層、および透明電極層が積層されていることを特徴とするカラーフィルター基板に関するものである。 According to a fourth embodiment of the color filter substrate of the present invention, in any one of the first to third embodiments , an overcoat layer and a transparent electrode layer are laminated on the opposite side of the color filter layer from the transparent substrate side. In particular, the present invention relates to a color filter substrate.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第５の形態は、第１〜第４いずれかの形態において、前記オーバーコート層と前記透明電極層との間に透明バリア層が積層されていることを特徴とするカラーフィルター基板に関するものである。 Fifth embodiment of the color filter substrate according to the present invention, the feature that the first to the fourth one embodiment, transparent barrier layer between the transparent electrode layer and the overcoat layer are laminated The present invention relates to a color filter substrate.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第６の形態は、第４または第５の形態のカラーフィルター基板の前記透明電極層上に、有機ＥＬ発光層、および背面電極層が順次積層されていることを特徴とするディスプレイに関するものである。 The sixth embodiment of the color filter substrate according to the present invention is that an organic EL light emitting layer and a back electrode layer are sequentially laminated on the transparent electrode layer of the color filter substrate of the fourth or fifth embodiment. It relates to a characteristic display.
第１の発明は、透明基板上に、色相の異なる三種以上の微細カラーフィルタ領域を配列させてカラーフィルター層を形成するに際し、予め、前記の三種以上の微細カラーフィルタ領域のうちの１種を除く他の微細カラーフィルター領域をフォトリソグラフィー法により、隙間をあけて順次積層し、その後、残る微細カラーフィルター領域を形成するための組成物を塗布して、塗布後の膜厚が、前記の予め積層された全ての微細カラーフィルタ領域の厚みを全面にわたり上回るように、前記の隙間に充填すると共に全面を前記組成物の塗膜で被覆し、被覆後、前記塗膜面上から研磨を行なうことにより、前記の予め積層した微細カラーフィルター領域を露出させると共に前記の隙間内に塗膜を残留させ、前記隙間内の塗膜および前記全色相の微細カラーフィルタ領域が配列されて形成されたカラーフィルター層の、全表面を研磨した状態で、全面、同じ厚さに平坦化することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法に関するものである。 In the first invention , when forming a color filter layer by arranging three or more kinds of fine color filter regions having different hues on a transparent substrate, one of the three or more kinds of fine color filter regions is previously selected. The other fine color filter regions except the above are sequentially laminated with a gap by photolithography, and then a composition for forming the remaining fine color filter regions is applied, and the film thickness after application is the above-described film thickness. Filling the gap and covering the entire surface with the coating film of the composition so as to exceed the thickness of all the laminated fine color filter regions over the entire surface, and polishing after the coating surface To expose the pre-laminated fine color filter region and to leave a coating film in the gap so that the coating film in the gap and the fineness of all the hues are fine. Color filter regions the color filter layer formed are arranged in a state of polishing the entire surface, but the whole surface, a method for manufacturing a color filter substrate, characterized in that flattening the same thickness.
第２の発明は、第１の発明において、前記カラーフィルター層を、光の三原色の一つづつの色相を有する三種の微細カラーフィルター領域を配列させて形成することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法に関するものである。 A second invention is the manufacture of a color filter substrate according to the first invention , wherein the color filter layer is formed by arranging three kinds of fine color filter regions each having a hue of three primary colors of light. It is about the method.
第３の発明は、第１または第２の発明において、前記の残る微細カラーフィルター領域を形成するための組成物を塗布するのに先立ち、前記の残る微細カラーフィルター領域を形成しない箇所、または、前記の残る微細カラーフィルター領域を形成しない部分および前記カラーフィルター層を形成しない区域に設けられたアライメントマークの部分にマスキング層を積層することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法に関するものである。 According to a third invention, in the first or second invention , prior to applying the composition for forming the remaining fine color filter region, a portion where the remaining fine color filter region is not formed, or The present invention relates to a method for manufacturing a color filter substrate, wherein a masking layer is laminated on a portion where the remaining fine color filter region is not formed and an alignment mark portion provided in an area where the color filter layer is not formed.
第４の発明は、第３の発明において、前記カラーフィルター層を形成した後、前記マスキング層を除去することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法に関するものである。 A fourth invention is Oite to the third invention, after forming the color filter layer, a method of manufacturing a color filter substrate, and removing the masking layer.
第５の発明は、第１〜第４いずれかの発明において、前記カラーフィルター層を形成するのに先立ち、前記透明基板上にブラックマトリックスを積層することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法に関するものである。 A fifth invention relates to a method for manufacturing a color filter substrate according to any one of the first to fourth inventions , wherein a black matrix is laminated on the transparent substrate prior to forming the color filter layer. Is.
第６の発明は、第１〜第５いずれかの発明において、前記カラーフィルター層を形成した後、前記カラーフィルター層の前記透明基板側とは反対側に、オーバーコート層、および透明電極層を順次積層することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法に関するものである。 A sixth invention is the invention according to any one of the first to fifth inventions , wherein after the color filter layer is formed, an overcoat layer and a transparent electrode layer are provided on the opposite side of the color filter layer from the transparent substrate side. The present invention relates to a method for manufacturing a color filter substrate, which is sequentially laminated.
第７の発明は、第６の発明において、前記オーバーコート層を積層した後、前記透明電極層を積層するのに先立ち、透明バリア層を積層することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法に関するものである。 A seventh invention relates to the method of manufacturing a color filter substrate according to the sixth invention , wherein, after the overcoat layer is laminated, a transparent barrier layer is laminated before the transparent electrode layer is laminated. Is.
第８の発明は、第６または第７の発明に従って、前記透明電極層を積層した後、前記透明電極層上に、有機ＥＬ発光層、および背面電極層を順次積層することを特徴とするディスプレイの製造方法に関するものである。 According to an eighth invention, in accordance with the sixth or seventh invention , after the transparent electrode layer is laminated, an organic EL light emitting layer and a back electrode layer are sequentially laminated on the transparent electrode layer. It is related with the manufacturing method.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第１の形態によれば、カラーフィルター層を構成する微細カラーフィルター領域のうち１種類を除いた他の微細カラーフィルター領域どうしが隙間を有しているので、それらの微細カラーフィルター領域の配置が容易である上、隙間には、残る微細カラーフィルター領域と同じ素材が充填されるので、隙間から不要な光が紛れ込むことを抑制可能なカラーフィルター基板を提供することができる。
また、第１の形態によれば、最後に形成する微細カラーフィルター領域の形成を、そのための組成物の塗布および研磨により行なうことができ、かつ表面の平坦化を容易にする構造を有するカラーフィルター基板を提供することができる。
According to the first embodiment of the color filter substrate according to the present invention, since the other fine color filter regions except for one type among the fine color filter regions constituting the color filter layer have a gap, It is easy to arrange the fine color filter area, and the gap is filled with the same material as the remaining fine color filter area, so that it is possible to provide a color filter substrate capable of suppressing unnecessary light from flowing through the gap. Can do.
In addition, according to the first embodiment , the color filter having a structure that can form the fine color filter region to be formed last by applying and polishing the composition therefor, and facilitates the flattening of the surface. A substrate can be provided.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第２の形態によれば、第１の形態の効果に加え、三原色のカラーフィルター領域からなるカラーフィルター層を有しているので、フルカラー画像の表示用に適したカラーフィルター基板を提供することができる。 According to the second embodiment of the color filter substrate according to the present invention, in addition to the effects of the first embodiment , the color filter substrate has a color filter layer composed of three primary color filter regions, and is therefore suitable for displaying a full-color image. A color filter substrate can be provided.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第３の形態によれば、第１または第２の形態の効果に加え、ブラックマトリックスを有しているので、外光反射が防止されたカラーフィルター基板を提供することができる。 According to the third aspect of the color filter substrate of the present invention, in addition to the effects of the first or second aspect , the color filter substrate has a black matrix, and thus provides a color filter substrate in which external light reflection is prevented. be able to.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第４の形態によれば、第１〜第３いずれかの形態の効果に加え、オーバーコート層および透明電極層が積層されているので、有機ＥＬディスプレイもしくは液晶ディスプレイ等の一方の基板として使用可能なカラーフィルター基板を提供することができる。 According to the fourth embodiment of the color filter substrate according to the present invention, in addition to the effects of the first to third in any form, since the overcoat layer and the transparent electrode layer are laminated, the organic EL display or a liquid crystal display A color filter substrate that can be used as one of the substrates can be provided.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第５の形態によれば、第１〜第４いずれかの形態の効果に加え、オーバーコート層と透明バリアー層との間に透明バリアー層が積層されているので、カラーフィルター層等を構成する素材が含有する成分が、ディスプレイ画像表示のための素材の寿命に悪影響を及ぼすことを回避可能なカラーフィルター基板を提供することができる。 According to the fifth embodiment of the color filter substrate according to the present invention, in addition to the effects of the first to fourth one embodiment, since the transparent barrier layer between the overcoat layer and the transparent barrier layer is laminated It is possible to provide a color filter substrate capable of avoiding that the components contained in the material constituting the color filter layer and the like have an adverse effect on the life of the material for display image display.
本発明に関わるカラーフィルター基板の第６の形態によれば、透明電極層上に有機ＥＬ発光層および背面電極層が順次積層されているので、第４または第５の形態と同様な効果を有するディスプレイを提供することができる。 According to the sixth aspect of the color filter substrate of the present invention, since the organic EL light emitting layer and the back electrode layer are sequentially laminated on the transparent electrode layer, the same effect as in the fourth or fifth aspect is obtained. A display can be provided.
第１の発明によれば、最後に形成する微細カラーフィルター領域の形成を、そのための組成物の塗布および研磨により行なうので、カラーフィルター層の表面の平坦性を高くすることが可能である上、位置合わせを要し、塗布、パターン露光、および現像等の各段階を要するフォトリソグラフィー法にくらべ、より簡単な工程によって行なうことが可能なカラーフィルター基板の製造方法を提供することができる。 According to the first invention , since the formation of the fine color filter region to be finally formed is performed by applying and polishing the composition therefor, it is possible to increase the flatness of the surface of the color filter layer. It is possible to provide a method of manufacturing a color filter substrate that requires alignment and can be performed by a simpler process as compared with a photolithography method that requires steps such as coating, pattern exposure, and development.
第２の発明によれば、第１の発明の効果に加え、カラーフィルター層を、光の三原色の一つづつの色相を有する三種の微細カラーフィルター領域を配列して形成するので、フルカラー画像の表示用に適したものとすることが可能なカラーフィルター基板の製造方法を提供することができる。 According to the second invention, in addition to the effects of the first invention , the color filter layer is formed by arranging three kinds of fine color filter regions having one hue of each of the three primary colors of light, so that a full color image can be displayed. A method of manufacturing a color filter substrate that can be suitable for use can be provided.
第３の発明によれば、第１または第２の発明の効果に加え、最後の微細カラーフィルター領域の形成用の組成物を適用するのに先立ち、マスキング層を積層しておくので、付着してはならない部分に組成物が付着することを防止することを可能とするカラーフィルター基板の製造方法を提供することができる。 According to the third invention, in addition to the effects of the first or second invention , the masking layer is laminated prior to applying the composition for forming the final fine color filter region. It is possible to provide a method for manufacturing a color filter substrate that can prevent the composition from adhering to a portion that should not be applied.
第４の発明によれば、第３の発明の効果に加え、積層したマスキング層を除去することにより、除去した部分への加工や、除去により現われた部分の利用を可能とするカラーフィルター基板の製造方法を提供することができる。 According to the fourth aspect of the invention, in addition to the effect of the third aspect of the present invention , the layered masking layer is removed, so that processing of the removed part and use of the part that appears by removal can be performed. A manufacturing method can be provided.
第５の発明によれば、第１〜第４いずれかの発明の効果に加え、ブラックマトリックスを積層することにより、外光反射の防止性を付与することを可能とするカラーフィルター基板の製造方法を提供することができる。 According to the fifth invention, in addition to the effects of any one of the first to fourth inventions, a method for producing a color filter substrate that can impart an external light reflection preventing property by laminating a black matrix Can be provided.
第６の発明によれば、第１〜第５いずれかの発明の効果に加え、さらにオーバーコート層および透明電極層の積層を行なうことにより、有機ＥＬディスプレイもしくは液晶ディスプレイ等の一方の基板としての使用を可能とするカラーフィルター基板の製造方法を提供することができる。また、カラーフィルター層の表面の平坦性が高いものが得られるので、オーバーコート層の厚みを薄くすることが可能となり、オーバーコート層のある部分と無い部分との段差により透明電極層が断線することを回避することが可能になる。 According to the sixth invention, in addition to the effects of any one of the first to fifth inventions , by further laminating an overcoat layer and a transparent electrode layer, as one substrate of an organic EL display or a liquid crystal display, etc. A method for producing a color filter substrate that can be used can be provided. In addition, since the color filter layer having a high surface flatness can be obtained, the thickness of the overcoat layer can be reduced, and the transparent electrode layer is disconnected due to a step between the portion with and without the overcoat layer. It becomes possible to avoid that.
第７の発明によれば、第６の発明の効果に加え、透明バリアー層の積層を行なうことにより、カラーフィルター層等を構成する素材が含有する成分が、ディスプレイ画像表示のための素材の寿命に悪影響を及ぼすことの回避を可能とするカラーフィルター基板の製造方法を提供することができる。また、カラーフィルター層の表面の平坦性が高いものが得られるので、透明バリアー層が下層の凹凸で不完全な部分を生じることが抑制できる。このことは、さらに積層される有機ＥＬ発光層のスポット的な劣化を回避することを可能にする。 According to the seventh invention, in addition to the effect of the sixth invention , the component contained in the material constituting the color filter layer or the like by laminating the transparent barrier layer is used for the life of the material for display image display. It is possible to provide a method of manufacturing a color filter substrate that can avoid adversely affecting the color filter substrate. Moreover, since the thing with the high flatness of the surface of a color filter layer is obtained, it can suppress that a transparent barrier layer produces an incomplete part by the unevenness | corrugation of a lower layer. This makes it possible to avoid spot-like deterioration of the organic EL light emitting layer to be further laminated.
第８の発明によれば、透明電極層上に有機ＥＬ発光層および背面電極層を順次積層するので、第６または第７の発明により得られたのと同様な効果を付与することが可能なディスプレイの製造方法を提供することができる。 According to the eighth invention , since the organic EL light emitting layer and the back electrode layer are sequentially laminated on the transparent electrode layer, it is possible to provide the same effect as obtained by the sixth or seventh invention. A method for manufacturing a display can be provided.
図１（ｅ）に例示するように、本発明に関わるカラーフィルター基板１０は、透明基板１上に、開孔部を有するブラックマトリックス２が積層されており、ブラックマトリックス２の開孔部に対応して、赤色（図中、「Ｒ」で表示）、緑色（図中、「Ｇ」で表示）、および青色（図中、「Ｂ」で表示）の三原色の各色の微細カラーフィルター領域３Ｂ、３Ｇ、および３Ｒが配列されて構成されたカラーフィルター層３が積層されており、緑色および青色の微細カラーフィルター領域どうしの間の隙間に、赤色の微細カラーフィルター領域を構成する素材が充填されて隙間がならされることにより、カラーフィルター層３の表面（図中の上面）が平坦とされた積層構造を有するものである。
As illustrated in Fig. 1 (e), the color filter substrate 10 according to the present invention, on a
上記の例においては、赤色の微細カラーフィルター領域を構成する素材が、緑色と青色の微細カラーフィルター領域の間の隙間に充填されているが、これに限ることはない。即ち、緑色の微細カラーフィルター領域を構成する素材が、赤色と青色の微細カラーフィルター領域の間の隙間に充填されていてもよいし、あるいは、青色の微細カラーフィルター領域を構成する素材が、赤色と緑色の微細カラーフィルター領域の間の隙間に充填されていてもよい。このように隙間に充填される素材は、赤色の微細カラーフィルター領域を構成する素材に限ることなく、他の色の微細カラーフィルター領域を構成する素材であってもよい。いずれの色の素材であるにせよ、隙間には微細カラーフィルター領域を構成する素材が充填されているので、隙間から不要な光が紛れ込むことを、抑制する効果も生じる。 In the above example, the material constituting the red fine color filter region is filled in the gap between the green and blue fine color filter regions, but this is not restrictive. That is, the material constituting the green fine color filter region may be filled in the gap between the red and blue fine color filter regions, or the material constituting the blue fine color filter region may be red. And the green fine color filter region may be filled in a gap. Thus, the material filled in the gap is not limited to the material constituting the red fine color filter region, but may be the material constituting the fine color filter region of another color. Regardless of the material of any color, since the gap is filled with the material constituting the fine color filter region, an effect of suppressing unnecessary light from flowing through the gap is also produced.
また、カラーフィルター層３が、上記のような光の三原色の赤色、緑色、および青色の三色の一つづつを有する微細カラーフィルター領域から構成されていると、このようなカラーフィルター基板１０は、いわゆるフルカラー表示用として用いることができるので好ましい。もちろん、カラーフィルター層３は、必要に応じ、四色、もしくは四色以上の微細カラーフィルター領域から構成されたものであってもよい。
Further, when the
本発明に関わるカラーフィルター基板１０において、ブラックマトリックス２は、必ずしも設けなくてよいが、ブラックマトリックス２があると、観察側（図中、下面側）から眺めたときに、外光の反射を軽減し、画像や映像のコントラストを向上させ得ることや、カラーフィルター層やその他の各層を、ブラックマトリックス２の開孔部に対応させて作製する上で、形成することが好ましい。
In the color filter substrate 10 according to the present invention, the
上記のような本発明のカラーフィルター基板１０は、このまま、ディスプレイの全面に配置して、ディスプレイの表示をカラー化することができるが、ディスプレイパネルが有していてもよい種々の機能を持つ層を、上記した構造に加えて有するものであってもよい。 The color filter substrate 10 of the present invention as described above can be placed on the entire surface of the display as it is to colorize the display on the display. However, the layer having various functions that the display panel may have. May be added to the above structure.
図２は、有機ＥＬディスプレイに用いることが好ましいカラーフィルター基板１０’を例示する図であって、図１（ｅ）を引用して説明したカラーフィルター基板１０の積層構造に加えて、透明基板１上のカラーフィルター層３のある全域を覆うオーバーコート層４および透明バリアー層５が順に積層され、透明バリアー層５上には透明電極層６が、少なくとも下層のブラックマトリックス２の開孔部上に対応して積層されて、カラーフィルター基板１０’が構成されているものである。
FIG. 2 is a diagram illustrating a color filter substrate 10 ′ preferably used for an organic EL display. In addition to the laminated structure of the color filter substrate 10 described with reference to FIG. An overcoat layer 4 and a
オーバーコート層４は、下層のカラーフィルター層３を保護する目的、表面の凹凸をならす目的、および、有機ＥＬディスプレイに適用された場合に、下層と有機ＥＬ素子の有機ＥＬ発光層とを遮断し、有機ＥＬ発光層の寿命に影響のある物質が下層から有機ＥＬ発光層に移行することを防止するものであり、通常、透明樹脂で構成される。
本カラーフィルター基板においては、オーバーコート層４の下層となるカラーフィルター層の平坦性が高いので、オーバーコート層４の厚みを決める際に、下層の各色の微細カラーフィルター領域の厚みのバラツキを考慮して、層４の厚みを厚くする必要が無いので、厚みとしては、１μｍ〜２μｍ程度とすることができる。
本カラーフィルター基板におけるオーバーコート層４の厚みは、従来技術におけるオーバーコート層の厚み、３μｍ〜５μｍ程度とくらべて薄いので、オーバーコート層４のある部分と無い部分とにまたがって設けられる透明電極層６が段差部で断線しやすかった欠点が解消される効果がある。
The overcoat layer 4 blocks the lower layer and the organic EL light-emitting layer of the organic EL element when applied to an organic EL display for the purpose of protecting the lower
In this color filter substrate , since the flatness of the color filter layer that is the lower layer of the overcoat layer 4 is high, when determining the thickness of the overcoat layer 4, the variation in the thickness of the fine color filter region of each color of the lower layer is taken into consideration. And since it is not necessary to make the thickness of the layer 4 thick, as thickness, it can be set as about 1 micrometer-2 micrometers.
Since the thickness of the overcoat layer 4 in this color filter substrate is thinner than the thickness of the overcoat layer in the prior art, about 3 μm to 5 μm, the transparent electrode provided across the portion where the overcoat layer 4 is present and the portion where it is not present There is an effect that the defect that the layer 6 was easily disconnected at the stepped portion is eliminated.
透明バリアー層５は、オーバーコート層４と透明電極層６との間に、必要に応じて設けられるものである。透明バリアー層５の積層により、上層に設ける有機ＥＬ発光層への下方からの空気、特に、水蒸気が透過するのを遮断する効果を高めることができるので、カラーフィルター基板１０’を有機ＥＬディスプレイ用に用いる際には、透明バリアー層５を設けてあることが好ましい。
透明バリアー層５は、例えば、無機酸化物の薄膜で構成され、無機酸化物としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタン、もしくは窒化ケイ素等、または酸化ケイ素と窒化ケイ素の合金等が好ましい。
透明バリアー層５の厚みは、０．０３μｍ〜３μｍ程度である。
本発明に関わるカラーフィルター基板１０’においては、カラーフィルター層３の平坦性が高いので、透明バリアー層５を形成する際に、従来、カラーフィルター層３の突起により、透明バリアー層５の生成が不完全になるため、有機ＥＬ発光層のスポット的な劣化が生じていたことを解消することが可能になる。
The
The
The thickness of the
In the color filter substrate 10 ′ according to the present invention , the flatness of the
透明電極層６は、有機ＥＬ素子の一方の電極をなすもので、対極となる背面電極層との間にはさんだ有機ＥＬ発光層に電圧をかけ、所定の位置で発光を起こさせるためのものである。
透明電極層５は、例えば、幅（図の左右方向の寸法である。）がブラックマトリックス２の開孔部の幅に相当し、長さ方向が、図１もしくは図２の手前から奥に向かう方向であるストライプ状のものである。
透明電極層６は、透明性および導電性を有する金属酸化物の薄膜で構成され、例えば、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、酸化亜鉛、もしくは酸化第２錫等を素材とし、これらの素材の一様な薄膜を形成した後に、フォトリソグラフィー法により不要部を除去することにより形成されたものであることが好ましい。
本カラーフィルター基板においては、カラーフィルター層３の平坦性が高いので、オーバーコート層４の厚みを比較的薄くすることが可能であるから、透明電極層６をオーバーコート層４のある部分と無い部分とにかけて連続的に設ける際に、段差の部分で生じやすい断線の発生を少なくすることが可能である。
The transparent electrode layer 6 forms one electrode of the organic EL element, and applies a voltage to the organic EL light emitting layer sandwiched between the back electrode layer as a counter electrode to cause light emission at a predetermined position. It is.
The
The transparent electrode layer 6 is formed of a metal oxide thin film having transparency and conductivity. For example, indium tin oxide (ITO), indium oxide, zinc oxide, or stannic oxide is used as a raw material. After the uniform thin film is formed, it is preferably formed by removing unnecessary portions by photolithography.
In the present-collar filter substrate, since high flatness of the
図２を引用して説明したカラーフィルター基板１０’は、有機ＥＬディスプレイに用いることが好ましく、透明電極層６の上に、順に有機ＥＬ発光層および背面電極層を積層し、必要に応じて、さらに封止用基板を積層することにより、有機ＥＬディスプレイを構成することができる。また、液晶層および対向電極層を有する基板と組合せることにより、液晶ディスプレイを構成することもできる。 The color filter substrate 10 ′ described with reference to FIG. 2 is preferably used for an organic EL display, and an organic EL light emitting layer and a back electrode layer are sequentially laminated on the transparent electrode layer 6, and if necessary, Furthermore, an organic EL display can be constituted by laminating a sealing substrate. Further, a liquid crystal display can be formed by combining with a substrate having a liquid crystal layer and a counter electrode layer.
有機ＥＬ発光層は、原理的に言えば、有機ＥＬ発光層をはさむ両電極間に電圧をかけた際に、蛍光発光するものであればよいので、そのような発光を起こし得る有機蛍光体の層のみからなるものでよいが、後述するように、有機蛍光体に加えて、種々の物質を加えた層としたり、もしくは有機蛍光体を含む層に加えて、種々の層が積層された積層構造からなるものであってもよい。 In principle, the organic EL light emitting layer may be anything that emits fluorescence when a voltage is applied between the electrodes sandwiching the organic EL light emitting layer. It may consist of only layers, but as will be described later, it is a layer in which various substances are added in addition to an organic phosphor, or a layer in which various layers are laminated in addition to a layer containing an organic phosphor. It may consist of a structure.
図１および図２を引用して説明した、本発明に関わるカラーフィルター基板１０もしくは１０’、あるいは、それらを用いて構成された有機ＥＬディスプレイは、次に述べるような製造方法によって製造することができる。 It has been described with reference to FIGS. 1 and 2, the color filter substrate 10 or 10 according to the present invention ', or they organic EL display configured with, it can be produced by a production method as described below it can.
図１（ａ）〜図１（ｅ）は、本発明に関わるカラーフィルター基板１０を製造する過程を示す図である。 Figure 1 (a) ~ FIG 1 (e) are views showing a process of manufacturing a color filter substrate 10 according to the present invention.
図１（ａ）に示すように、まず、透明基板１を準備し、その上に、ブラックマトリックス２を形成する。
As shown in FIG. 1A, first, a
透明基板１は、大別すると、ガラスや石英ガラス等の無機質の板状透明基板、もしくはアクリル樹脂等の有機質の（＝合成樹脂製の）板状透明基板、または、合成樹脂製の透明フィルム状のものである。厚みのごく薄いガラスも透明フィルム状基材として利用することができる。透明基板１としては、色変換層等を形成する側の表面の平滑性が高い、平均粗さ（Ｒａ）が、０．５ｎｍ〜３．０ｎｍ（５μｍ□領域）であるものを用いることが好ましい。
The
透明基板１を構成する合成樹脂としては、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、メタクリル酸メチル樹脂等のアクリル樹脂、トリアセチルセルロース樹脂等のセルロース樹脂、エポキシ樹脂、または環状オレフィン樹脂もしくは環状オレフィン共重合樹脂等を挙げることができる。
Synthetic resins constituting the
透明基板１には、必要に応じて、通常は観察側に、擦傷防止のためのハードコート層、帯電防止層、汚染防止層、反射防止層、防眩層等が直接積層されるか、もしくは、それらの層が透明フィルム上に積層されたものが適用されていてもよく、あるいは、タッチパネルのような機能が付加されていてもよい。
The
ブラックマトリックス２は、各画素間の境界における外光の反射を防止し、画像、映像のコントラストを高めるためのもので、通常は、黒色の細線で構成された、観察側から見て、縦横の格子状等、もしくは一方向のみの格子状等の、開孔部を有するパターン状に形成されたものである。
The
ブラックマトリックス２を形成するには、まず、透明基板１を十分に洗浄したのち、クロム等の金属を使用して、蒸着、イオンプレーティング、もしくはスパッタリング等の各種の方法で金属薄膜を形成する。この場合、十分に遮光し得る光学濃度、耐洗浄性および加工特性等を考慮すると、クロムによる金属薄膜が最も好ましい。形成された金属薄膜から、上記のようなパターン状のブラックマトリックス２を形成するには、通常のフォトリソグラフィー法等を利用することができ、例えば、形成された金属薄膜の表面にフォトレジストを塗布し、パターンマスクで被覆して露光、現像、エッチング、および洗浄等の各工程を経て行なうことができる。また、ブラックマトリックス２は、無電界メッキ法、もしくは黒色のインキ組成物を用いた印刷法等を利用しても形成することができる。ブラックマトリックス２の厚みは、薄膜で形成する場合には、０．２μｍ〜０．４μｍ程度であり、印刷法によるときは０．５μｍ〜２μｍ程度である。
To form the
ブラックマトリックス２を形成する方法の一つとして挙げたフォトリソグラフィー法は、カラーフィルター層３の形成（ただし、隙間の充填を兼ねて形成される一層を除く。）や、透明電極層６等の形成にも利用でき、各々の層を形成するための一様均一な層を形成した後、フォトレジストを適用して、露光、現像、およびエッチングによって行なうか、もしくは、各々の層を形成するための形成用組成物として感光性樹脂組成物を用いて調製したものを適用して、露光、および現像によって行なってもよい。
The photolithography method mentioned as one of the methods for forming the
こうして、透明基板１上にブラックマトリックス２が形成された、さらにその上に、カラーフィルター層３を形成するが、図１を引用して説明するような、三原色の各色の微細カラーフィルター領域から構成されているカラーフィルター層３を形成する際には、先に、フォトリソグラフィー法により、それらのうちの二色を形成する。
In this way, the
例えば、図１（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィー法により、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂを積層する。図１においては、向かって左側から、青色、緑色、および赤色の順に繰り返して、各色の微細カラーフィルター領域を配列することを想定しているので、ブラックマトリックス２の向かって左側から１番目の開孔部の上、および向かって左側から４番目の開孔部の上に位置するよう、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂを積層する。
For example, as shown in FIG. 1B, the blue fine
次に、上記のようにして形成された青色の微細カラーフィルター領域に隣接して、同様にフォトリソグラフィー法により、緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇを積層する。図１においては、ブラックマトリックス２の向かって左側から２番目の開孔部の上、および向かって左側から５番目の開孔部の上に位置するよう、緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇを積層する。
Next, adjacent to the blue fine color filter region formed as described above, a green fine
先に設ける、これら二色、即ち、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂ、および緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇは、図１に表われるように、ブラックマトリックス２の開孔部に対応し、ただし、ブラックマトリックス２の開孔部との間に隙間を生じないよう、かつ、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂ、および緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇが互いに接触しないよう、隙間を残して配置し、形成する。この結果、図１（ｃ）に示すように、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂと緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇとの間には隙間を有し、緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇと向かって右側の青色の微細カラーフィルター領域３Ｂとの間には、残る赤色の微細カラーフィルター領域３Ｒを設けるための空いた領域を有し、以降、これらの繰り返しとなった状態が形成される。
These two colors, that is, the blue fine
この後、赤色の微細カラーフィルター領域を形成するための組成物を全面に塗布することにより適用し、図１（ｄ）に示すように、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂと緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇとの間の隙間に組成物の塗膜を充填すると共に、赤色の微細カラーフィルター領域３Ｒを設けるために空いている領域を組成物の塗膜で被覆する。このとき、適用する組成物の塗膜は、先に積層された、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂ、および緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇ上を十分に埋めるよう、即ち、赤色の微細カラーフィルター領域３Ｒを設けるために空いている領域における組成物の塗膜の厚みが、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂおよび緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇの各々の厚みを上回るように、単位面積当たりの適用量を調整する。
Thereafter, a composition for forming a red fine color filter region is applied by applying to the entire surface, and as shown in FIG. 1D, the blue fine
適用された、赤色の微細カラーフィルター領域を形成するための組成物の塗膜は、好ましくは、風乾、もしくは放置等により乾燥させ、固化させた後、上面を研磨する。研磨は、図１を引用して説明している例においては、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂの上、および緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇの上にある赤色の微細カラーフィルター領域を形成するための組成物の塗膜が、すべて除去されるまで行ない、実際には、図１（ｄ）中、破線Ｌで示すよりも上の、即ち、青色の微細カラーフィルター領域３Ｂの上部、および緑色の微細カラーフィルター領域３Ｇの上部も含めて、研磨し除去することが好ましい。
The applied coating film of the composition for forming the red fine color filter region is preferably dried by air drying or standing and solidified, and then the upper surface is polished. In the example described with reference to FIG. 1, the polishing is performed to form a red fine color filter region on the blue fine
上記の研磨により、予め積層した青色および緑色の二種類の微細カラーフィルター領域を露出させ、赤色の微細カラーフィルター領域を形成すべき領域に赤色カラーフィルター領域を形成すると共に、隣接する青色および緑色の二種類の微細カラーフィルター領域の間の隙間内に、赤色の微細カラーフィルター領域を形成するための組成物の塗膜を残留させることができ、以上の各過程を経ることにより、図１（ｅ）を引用して先に説明したカラーフィルター基板１０を製造することができる。従って、最後に形成する微細カラーフィルター領域は、フォトリソグラフィーのように、位置合わせを要し、塗布、パターン露光、および現像等の各段階を要することなく、より簡単な工程によって形成することができ、このため、効率的であり、経済性も向上する。こうして得られるカラーフィルター層３の厚みとしては、１μｍ〜２μｍ程度が適当である。また、こうして得られるカラーフィルター層３の表面（上面）は、必然的に平面性が高いものとなるが、好ましくは、カラーフィルター層３の表面の段差が０．５μｍ以下となるよう研磨することが好ましい。
By the above polishing, two kinds of fine color filter areas of blue and green that are laminated in advance are exposed, a red color filter area is formed in an area where a red fine color filter area is to be formed, and adjacent blue and green A coating film of the composition for forming the red fine color filter region can be left in the gap between the two types of fine color filter regions. Through the above processes, FIG. The color filter substrate 10 described above with reference to) can be manufactured. Therefore, the fine color filter region to be finally formed requires alignment as in photolithography, and can be formed by a simpler process without the steps of coating, pattern exposure, and development. Therefore, it is efficient and the economy is improved. The thickness of the
図１を引用して説明した上記の例においては、青色および緑色の二種類の微細カラーフィルター領域を、フォトリソグラフィー法により積層するので、通常は各々の色に着色された感光性樹脂組成物を用いて形成することが好ましい。また、赤色の微細カラーフィルター領域は、フォトリソグラフィー法ではない方法によって積層するので、感光性ではない塗料組成物等の組成物を用いて形成することが好ましい。 In the above example described with reference to FIG. 1, since two kinds of fine color filter regions of blue and green are laminated by a photolithography method, a photosensitive resin composition colored in each color is usually used. It is preferable to form by using. In addition, since the red fine color filter region is laminated by a method other than the photolithography method, it is preferably formed using a composition such as a coating composition that is not photosensitive.
いずれにせよ、各色の微細カラーフィルター領域を形成するためには、次に例示するような着色剤と樹脂成分が用いられる。 In any case, in order to form a fine color filter region of each color, a colorant and a resin component as exemplified below are used.
着色剤としては、染料もしくは顔料を用いることができるが、耐光性、もしくは耐候性の点で、微粒子状の顔料を用いることが好ましく、赤色微細カラーフィルター領域の形成のための顔料としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、もしくはイソインドリン系顔料等を、緑色微細カラーフィルター領域の形成のための顔料としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料、ハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、もしくはイソインドリノン系の顔料等を、また、青色微細カラーフィルター領域の形成のための顔料としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、もしくはジオキサジン系顔料等を用いることができる。各色の微細カラーフィルター領域の形成のためには、必要に応じ、上記した顔料の一種もしくは二種以上を選択して用いることができる。 As the colorant, a dye or a pigment can be used, but in terms of light resistance or weather resistance, it is preferable to use a fine pigment, and as a pigment for forming a red fine color filter region, for example, Perylene pigments, lake pigments, azo pigments, quinacridone pigments, anthraquinone pigments, anthracene pigments, isoindoline pigments, and the like as pigments for forming the green fine color filter region include, for example, halogen-rich pigments. Substituted phthalocyanine pigments, halogen-substituted copper phthalocyanine pigments, triphenylmethane basic dyes, isoindoline pigments, or isoindolinone pigments, etc., as pigments for the formation of blue fine color filter areas For example, copper phthalocyanine pigment, indanthrene face It can be used indophenol pigment, cyanine pigment, or dioxazine pigments. For forming the fine color filter region of each color, one or more of the above-mentioned pigments can be selected and used as necessary.
フォトリソグラフィー用の感光性樹脂組成物を調製するには、樹脂成分としては、透明な、好ましくは、可視光透過率が５０％以上である、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する電離放射線硬化性樹脂（実際には、電子線硬化性樹脂もしくは紫外線硬化性樹脂であって、後者であることが多い。）を使用することができ、「フォトレジスト」用として市販されているものを使用することもできる。このような樹脂成分中に着色剤を、形成される微細カラーフィルター領域中に５〜５０%含有されるように配合し、塗布用の感光性樹脂組成物を調製する。 To prepare a photosensitive resin composition for photolithography, the resin component is transparent, preferably visible light transmittance of 50% or more, acrylate-based, methacrylate-based, polyvinyl cinnamate-based, or An ionizing radiation curable resin having a reactive vinyl group such as a cyclized rubber (actually, an electron beam curable resin or an ultraviolet curable resin, which is often the latter) can be used. A commercially available product for "photoresist" can also be used. In such a resin component, a colorant is blended so as to be contained in an amount of 5 to 50% in the formed fine color filter region, thereby preparing a photosensitive resin composition for coating.
感光性ではない通常の塗料組成物等の組成物を調製するには、樹脂成分としては、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリビニルピロリドン樹脂、ヒドロキシエチルセルロース樹脂、カルボキシメチルセルロース樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、マレイン酸樹脂、もしくはポリアミド樹脂等の透明樹脂が使用される。これらの樹脂は、溶剤、および必要に応じて希釈剤と共に用いられ、上記と同様に着色剤を、形成される微細カラーフィルター領域中に５〜５０%含有されるように、配合し、塗布用の（非感光性の）樹脂組成物を調製する。 In order to prepare a composition such as an ordinary non-photosensitive coating composition, the resin component includes polymethyl methacrylate resin, polyacrylate resin, polycarbonate resin, polyvinyl alcohol resin, polyvinyl pyrrolidone resin, hydroxyethyl cellulose resin, carboxymethyl cellulose. Transparent resin such as resin, polyvinyl chloride resin, melamine resin, phenol resin, alkyd resin, epoxy resin, polyurethane resin, polyester resin, maleic acid resin, or polyamide resin is used. These resins are used together with a solvent and, if necessary, a diluent, and in the same manner as described above, a colorant is blended so that it is contained in a fine color filter region to be formed in an amount of 5 to 50% for application. A (non-photosensitive) resin composition is prepared.
上記の感光性もしくは非感光性の組成物は、公知の塗布方法、例えば、スピンナーコーティングのような回転塗布方法や、ロールコーティング、かけ流し、スプレイ塗装、もしくはシルクスクリーン印刷等の適宜な方法により、対象面に適用することができる。 The photosensitive or non-photosensitive composition is obtained by a known coating method, for example, a spin coating method such as spinner coating, an appropriate method such as roll coating, pouring, spray coating, or silk screen printing. It can be applied to the target surface.
本カラーフィルター基板の製造方法において、先に形成された、二種以上の微細カラーフィルター領域の間の隙間と、最後に設ける微細カラーフィルター領域を設けるための空の領域とに充填され、かつ、先に設けられた微細カラーフィルター領域上を被覆している塗膜を研摩する方法としては、適宜な砥粒をシート上に散布して接着したサンドペーパー等を用いて行なうほか、化学的研摩法、もしくは機械的研摩法、またはそれらを併用したメカノケミカルポリッシング（ＭＣＰ、またはケミカルメカニカルポリッシング（ＣＭＰ）とも言われる。）によって行うことが好ましい。
化学的研摩法は、例えば、布、不織布、もしくはポリウレタン樹脂等の発泡体からなる研摩部材に、研摩剤として、エッチング性の液体を供給して行うものであり、機械的研摩法は、例えば、布、不織布、もしくはポリウレタン樹脂等の発泡体を研摩部材とし、コロイダルシリカもしくは酸化セリウムの微粉末を研摩剤として含浸させて用いるか、またはコロイダルシリカもしくは酸化セリウムを分散させた分散液を供給して行なうものである。
In the manufacturing method of the present color filter substrate, the gap formed between the two or more fine color filter regions formed in advance and the empty region for providing the fine color filter region to be provided last are filled, and As a method of polishing the coating film covering the fine color filter area provided in advance, a chemical polishing method is used in addition to using sandpaper or the like in which appropriate abrasive grains are dispersed and adhered on the sheet. Or a mechanical polishing method, or mechanochemical polishing using them in combination (also referred to as MCP or chemical mechanical polishing (CMP)).
The chemical polishing method is performed, for example, by supplying an etching liquid as an abrasive to a polishing member made of a foam such as cloth, nonwoven fabric, or polyurethane resin. The mechanical polishing method is, for example, Use a cloth, nonwoven fabric, or foamed material such as polyurethane resin as an abrasive member, impregnate colloidal silica or fine powder of cerium oxide as an abrasive, or supply a dispersion liquid in which colloidal silica or cerium oxide is dispersed. To do.
いずれにせよ、研磨は、好ましくは、対象物を回転させる等して対象物と研磨部材とを相対的に移動させつつ、塗膜面に研摩部材を接触させ、必要に応じて研摩剤を供給しながら行ない、不要部分にある、上記の例であれば、赤色の微細カラーフィルター領域を形成するための組成物の塗膜が、すべて除去されるまで行ない、より好ましくは、先に設けられている微細カラーフィルター領域のいずれもが、それらの上面が削られるまで研磨を行なう。 In any case, the polishing is preferably performed by rotating the object and moving the object and the polishing member relative to each other while bringing the polishing member into contact with the coating surface and supplying an abrasive as necessary. In the case of the above example in the unnecessary portion, it is performed until the coating film of the composition for forming the red fine color filter region is completely removed. More preferably, it is provided in advance. Any of the fine color filter regions that are present are polished until their upper surface is shaved.
研磨の後、カラーフィルター層３上に、オーバーコート層４、透明バリアー層５、および透明電極層６を順に積層して、有機ＥＬディスプレイ用のカラーフィルター基板１０’を製造するには、次のようにして行ない、また、各々の層を構成する素材は次の通りである。
After polishing, an overcoat layer 4, a
オーバーコート層４は透明樹脂で構成され、具体的な樹脂としては、カラーフィルター層３を構成する樹脂として前記した感光性もしくは非感光性の樹脂を使用し、必要に応じ、溶剤、希釈剤、もしくはモノマー等、さらには、適宜な添加剤と共に混合して、感光性樹脂組成物とした後、この感光性樹脂組成物を、一様に塗布し、乾燥させた後、電離放射線を照射して硬化させることによるか、または、電離放射線硬化性ではない通常の塗料組成物とした後、適宜なコーティング手段により塗布を行なった後、乾燥させることによって形成することができる。
The overcoat layer 4 is composed of a transparent resin, and as a specific resin, the above-described photosensitive or non-photosensitive resin is used as the resin constituting the
透明バリアー層５は、先に上げた素材から構成され、これらの素材を用いた蒸着、スパッタリング、もしくはイオンプレーティング等の薄膜形成方法を利用してオーバーコート層４上に形成することができる。
The
透明電極層６は、既に説明したように、薄膜を形成した後に、フォトリソグラフィー法により不要部を除去することにより形成され、薄膜を形成する方法としては、透明バリアー層５を形成する方法として挙げた上記の方法を利用することができる。
As described above, the transparent electrode layer 6 is formed by removing unnecessary portions by photolithography after forming a thin film. As a method for forming the thin film, a method for forming the
さらに、透明電極層６上に、有機ＥＬ発光層および背面電極層を順に積層して有機ＥＬディスプレイを製造するには、次のようにして行ない、また、各々の層を構成する素材は次の通りである。 Furthermore, in order to manufacture an organic EL display by sequentially laminating an organic EL light emitting layer and a back electrode layer on the transparent electrode layer 6, the following is performed, and materials constituting each layer are as follows. Street.
有機ＥＬ発光層は、代表的には、（１）発光層単独からなるもの、（２）発光層の透明電極層側に正孔注入層を設けたもの、（３）発光層の背面電極層側に電子注入層を設けたもの、（４）発光層の透明電極層側に正孔注入層を設け、背面電極層側に電子注入層を設けたもの等の種々の構造のものがあり得る。 The organic EL light emitting layer typically includes (1) a single light emitting layer, (2) a hole injection layer provided on the transparent electrode layer side of the light emitting layer, and (3) a back electrode layer of the light emitting layer. There may be various structures such as those having an electron injection layer on the side, (4) a hole injection layer on the transparent electrode layer side of the light emitting layer, and an electron injection layer on the back electrode layer side. .
ここにおける有機ＥＬ発光層としては白色に発光するものを用い、単独で白色発光するものを用いることが望まれるが、実用的には、発光色が互いに補色関係にある二種類の発光材料、もしくは三原色の各々に発光する発光材料を組み合わせて、単一もしくは複数層に分けて構成したものを用いることが好ましい。 As the organic EL light emitting layer, it is desirable to use a light emitting layer that emits white light, and it is desirable to use a single layer that emits white light. However, in practice, two types of light emitting materials whose emission colors are complementary to each other, or It is preferable to use a light emitting material that emits light for each of the three primary colors and that is divided into a single layer or a plurality of layers.
上記のうち、発光色が互いに補色関係にある二種類の発光材料を組合せる例としては、青色系発光材料と、少なくとも一つのフルオランテン骨格、ペンタセン骨格、もしくはペリレン骨格を有する蛍光発光性化合物との組合せのものを挙げることができる（特開２００１−２５０６９０号公報）。 Among the above, as an example of combining two kinds of light emitting materials whose emission colors are complementary to each other, a blue light emitting material and a fluorescent compound having at least one fluoranthene skeleton, pentacene skeleton, or perylene skeleton are used. Combinations can be cited (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-250690).
同様に、発光色が互いに補色関係にある二種類の発光材料を組合せる例としては、ＺｎＢＯＸ、Ａｌｑ、ＢＡｌｑ等の発光色が青色であるホスト材料としての有機蛍光体に対して、これら有機蛍光体の発光色（青色）の補色を発光する例えば、クマリン、ネイルレッド、４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−ｐ−ジメチルアミノスチリル−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ１）、ＤＣＭ２、ＤＣＪＴ、ＤＣＪＴＢ、ルブレン等をドープしてなる色素ドープ層と、ＺｎＢＯＸ、Ａｌｑ、ＢＡｌｑ等の発光色が青色である有機蛍光体をホスト材料とし、波長変換物質として例えば４４０ｎｍ以下の波長を吸収するスチルベン系材料をドープしてなる電子輸送層、との組合せのものを挙げることができる。電子輸送層におけるスチルベン系材料としては、スチルベン誘導体もしくはジスチリルアリーレン誘導体、例えば、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）ビフェニル（略称；ＤＰＶＢｉ）を挙げることができる（特開２０００−２４３５６５号公報）。 Similarly, as an example of combining two kinds of light emitting materials whose emission colors are complementary to each other, these organic fluorescent materials are used for an organic phosphor as a host material whose emission color is blue, such as ZnBOX, Alq, and BAlq. For example, coumarin, nail red, 4-dicyanomethylene-2-methyl-6-p-dimethylaminostyryl-4H-pyran (DCM1), DCM2, DCJT, DCJTB, rubrene And the like, and a dye doped layer formed by doping, etc., and an organic phosphor whose emission color is blue, such as ZnBOX, Alq, BAlq, etc., as a host material, and a stilbene-based material that absorbs a wavelength of 440 nm or less as a wavelength conversion substance. And a combination with the electron transport layer. Examples of the stilbene-based material in the electron transport layer include a stilbene derivative or a distyrylarylene derivative such as 4,4′-bis (2,2′-diphenylvinyl) biphenyl (abbreviation: DPVBi) (Japanese Patent Laid-Open No. 2000). -243565).
また、上記のうち、三原色の各々に発光する発光材料を組み合わせる例としては、例えば、赤色に発光する材料として、テオニルトリフルオロアセトン−１，１０−フェナントロリロン−ユーロピウム錯体、ナイルレッド、もしくはＤＣＭ１（前出）、緑色に発光する材料として、クマリン−６、トリス（８−キノリノール）アルミニウム、もしくはキナクリドン、および青の発光色を有する材料として、ペリレン、１，１，４，４−テトラフェニル−１，３−ブタジエン（ＴＰＢ）、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）ジフェニル（ＤＰＶＢｉ）、ペンタフェニルシクロペンタジエン、ベンゾピレン、もしくはジベンゾナフタセン等を用いて組合せ、単一の層としたものを挙げることができる（特開２００２−２９９０５８号公報）。 Moreover, as an example which combines the luminescent material which light-emits for each of the three primary colors among the above, for example, as a material which emits red light, theonyl trifluoroacetone-1,10-phenanthrorilone-europium complex, Nile red, or DCM1 (supra), coumarin-6, tris (8-quinolinol) aluminum, or quinacridone as a material emitting green light, and perylene, 1,1,4,4-tetraphenyl as a material having blue emission color -1,3-butadiene (TPB), 4,4′-bis (2,2′-diphenylvinyl) diphenyl (DPVBi), pentaphenylcyclopentadiene, benzopyrene, dibenzonaphthacene, etc. The layer can be mentioned (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-299058). Broadcast).
以上に例示したような材料からなる、もしくは含有する有機ＥＬ発光層の厚みとしては、特に制限はないが、例えば、５ｎｍ〜１μｍ程度とすることができる。 Although there is no restriction | limiting in particular as thickness of the organic electroluminescent light emitting layer which consists of a material which was illustrated above or is contained, For example, it can be set as about 5 nm-1 micrometer.
正孔注入層を構成する材料としては、従来より非伝導材料の正孔注入材料として使用されているものや、有機ＥＬ素子の正孔注入層に使用されている公知の物の中から任意に選択して使用することができ、正孔の注入、もしくは電子の障壁性のいずれかを有するものであって、有機物、もしくは無機物のいずれであってもよい。 As a material constituting the hole injection layer, any material conventionally used as a hole injection material of a non-conductive material or a publicly known material used for a hole injection layer of an organic EL element is arbitrarily selected. It can be used selectively and has either hole injection or electron barrier properties, and may be either organic or inorganic.
具体的に正孔注入層を構成する材料としては、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、ポリシラン系、アニリン系共重合体、もしくはチオフェンオリゴマー等の導電性高分子オリゴマー等を例示することができる。さらに正孔注入層の材料としては、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、もしくはスチリルアミン化合物等を例示することができる。 Specifically, the materials constituting the hole injection layer include triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazoles. Examples thereof include conductive polymer oligomers such as derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, polysilanes, aniline copolymers, or thiophene oligomers. Furthermore, examples of the material for the hole injection layer include a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound, and a styrylamine compound.
具体的には、ポルフィリン化合物としては、ポルフィン、１，１０，１５，２０−テトラフェニル−２１Ｈ，２３Ｈ−ポルフィン銅（ＩＩ）、アルミニウムフタロシアニンクロリド、もしくは銅オクタメチルフタロシアニン等、芳香族第三級アミン化合物としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラフェニル−４，４’−ジアミノフェニル、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス−（３−メチルフェニル）−［１，１’−ビフェニル］−４，４’−ジアミン、４−（ジ−ｐ−トリルアミノ）−４’−［４（ジ−ｐ−トリルアミノ）スチリル］スチルベン、３−メトキシ−４’−Ｎ，Ｎ−ジフェニルアミノスチルベンゼン、４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル、もしくは４，４’，４”−トリス［Ｎ−（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニルアミノ］トリフェニルアミン等、を例示することができる。 Specifically, porphyrin compounds include aromatic amines such as porphine, 1,10,15,20-tetraphenyl-21H, 23H-porphine copper (II), aluminum phthalocyanine chloride, or copper octamethylphthalocyanine. Examples of the compound include N, N, N ′, N′-tetraphenyl-4,4′-diaminophenyl, N, N′-diphenyl-N, N′-bis- (3-methylphenyl)-[1,1. '-Biphenyl] -4,4'-diamine, 4- (di-p-tolylamino) -4'-[4 (di-p-tolylamino) styryl] stilbene, 3-methoxy-4'-N, N-diphenyl Aminostilbenzene, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl, or 4,4 ′, 4 ″ -tris [N- (3 Methylphenyl) -N- phenylamino] triphenylamine, can be exemplified.
以上に例示したような材料からなる正孔注入層の厚みとしては、特に制限はないが、例えば、５ｎｍ〜０．５μｍ程度とすることができる。 Although there is no restriction | limiting in particular as thickness of the positive hole injection layer which consists of material which was illustrated above, For example, it can be set as about 5 nm-0.5 micrometer.
電子注入層を構成する材料としては、ニトロ置換フルオレン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、ナフタレンペリレン等の複素環テトラカルボン酸無水物、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタンおよびアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、もしくはオキサジアゾール誘導体のオキサジアゾール環の酸素原子をイオウ原子に置換したチアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有したキノキサリン誘導体、トリス（８−キノリノール）アルミニウム等の８−キノリノール誘導体の金属錯体、フタロシアニン、金属フタロシアニン、もしくはジスチリルピラジン誘導体等を例示することができる。 Materials constituting the electron injection layer include heterocyclic tetracarboxylic anhydrides such as nitro-substituted fluorene derivatives, anthraquinodimethane derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyrandioxide derivatives, naphthaleneperylene, carbodiimides, and fluorenylidenemethane derivatives. Anthraquinodimethane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives, or thiazole derivatives in which the oxygen atom of the oxadiazole ring of the oxadiazole derivative is substituted with a sulfur atom, quinoxaline having a quinoxaline ring known as an electron-withdrawing group Derivatives, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum, phthalocyanines, metal phthalocyanines, or distyrylpyrazine derivatives can be exemplified.
以上に例示したような材料からなる電子注入層の厚みとしては、特に制限はないが、例えば、５ｎｍ〜０．５μｍ程度とすることができる。 Although there is no restriction | limiting in particular as thickness of the electron injection layer which consists of a material as illustrated above, For example, it can be set as about 5 nm-0.5 micrometer.
背面電極層は、有機ＥＬ発光層を発光させるための他方の電極をなすものである。背面電極層は、仕事関数が４ｅＶ以下程度と小さい金属、合金、もしくはそれらの混合物から構成される。具体的には、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム／銅混合物、マグネシウム／銀混合物、マグネシウム／アルミニウム混合物、マグネシウム／インジウム混合物、アルミニウム／酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）混合物、インジウム、もしくはリチウム／アルミニウム混合物、希土類金属等を例示することができ、より好ましくは、マグネシウム／銀混合物、マグネシウム／アルミニウム混合物、マグネシウム／インジウム混合物、アルミニウム／酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）混合物、もしくはリチウム／アルミニウム混合物を挙げることができる。なお、有機ＥＬディスプレイをＴＦＴ基板を用いて構成する場合には、ＴＦＴ基板が有する画素電極を上記の背面電極層として利用する。ＴＦＴ基板を用いると、画面サイズの大きな有機ＥＬディスプレイを構成することが可能になる利点がある。 The back electrode layer forms the other electrode for causing the organic EL light emitting layer to emit light. The back electrode layer is made of a metal, an alloy, or a mixture thereof having a work function as small as about 4 eV or less. Specifically, sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, indium, Or a lithium / aluminum mixture, a rare earth metal, etc. can be illustrated, More preferably, a magnesium / silver mixture, a magnesium / aluminum mixture, a magnesium / indium mixture, an aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, or a lithium / Mention may be made of aluminum mixtures. When the organic EL display is configured using a TFT substrate, the pixel electrode included in the TFT substrate is used as the back electrode layer. Use of the TFT substrate has an advantage that an organic EL display having a large screen size can be configured.
このような背面電極層は、シート抵抗が数百Ω／ｃｍ以下であることが好ましく、厚みとしては、１０ｎｍ〜１μｍ程度が好ましく、より好ましくは、５０〜２００ｎｍ程度である。 Such a back electrode layer preferably has a sheet resistance of several hundred Ω / cm or less, and preferably has a thickness of about 10 nm to 1 μm, more preferably about 50 to 200 nm.
本カラーフィルター基板の製造方法おいては、最後に形成する微細カラーフィルター領域、図１を引用して説明した例で言えば、赤色の微細カラーフィルター領域、を形成する際には、形成用の組成物をカラーフィルター層３を設けるべき全領域に適用するが、フォトリソグラフィー法による場合と異なり、カラーフィルター層を設けるべき区域の外では、適用された組成物が意図しない範囲にまで付着し、その後の研磨によって除去されずに残留するか、もしくは、付着してはならない箇所に付着し、そのまま残留する可能性がある。
In the manufacturing method of the color filter substrate , when forming the fine color filter region to be formed last, in the example described with reference to FIG. 1, the red fine color filter region is formed. The composition is applied to the entire area where the
そこで、上記の形成用の組成物を適用するのに先立って、カラーフィルター層３を形成する区域の外や、形成用組成物が付着してはならない箇所等の必要な部分に、マスキング層を積層しておくことが好ましい。形成用組成物が付着してはならない箇所の例としては、カラーフィルター層の区域外に設けられたアライメントマークの箇所を挙げることができる。
Therefore, prior to applying the above-described forming composition, a masking layer is applied to a necessary part such as a portion outside the area where the
マスキング層を積層する方法としては、塗装用のマスキングテープを貼る方法もあるが、マスキング用の樹脂を含むマスキング用組成物を、適宜な印刷法、例えば、シルクスクリーン印刷等により設けることが好ましい。あるいは、先に設ける微細カラーフィルター領域の形成時に用いる感光性組成物やレジストを、マスキング層の必要な部分に残すことで、マスキング層の積層と兼ねることもできる。積層されたマスキング層は、必要性が無くなった時点で適宜な方法により除去し、除去した箇所に加工を行なったり、除去により現われたアライメントマークを利用することが可能になる。 As a method of laminating the masking layer, there is a method of applying a masking tape for coating. However, it is preferable to provide a masking composition containing a masking resin by an appropriate printing method such as silk screen printing. Alternatively, by leaving the photosensitive composition or resist used in the formation of the fine color filter region provided in advance in a necessary portion of the masking layer, the masking layer can also be laminated. The laminated masking layer is removed by an appropriate method when the necessity disappears, and it becomes possible to process the removed part or use the alignment mark that appears by the removal.
有機ＥＬディスプレイは、以上のほか、透明電極層６上に、ブラックマトリックス２に対応して、絶縁層を有していてもよい。また、絶縁層上には、有機ＥＬ発光層および背面電極層を蒸着法等の気相法で形成する際のマスクの役割を果たす隔壁を有していてもよい。
In addition to the above, the organic EL display may have an insulating layer corresponding to the
１……透明基板
２……ブラックマトリックス（ＢＭ）
３……カラーフィルター（ＣＦ）層
４……オーバーコート層
５……透明バリアー層
６……透明電極層
１０……カラーフィルター基板
1 ...
3. Color filter (CF) layer 4.
Claims (8)
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