[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP4414659B2 - Color filter defect correcting method and defect correcting apparatus - Google Patents

Color filter defect correcting method and defect correcting apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP4414659B2
JP4414659B2 JP2003039988A JP2003039988A JP4414659B2 JP 4414659 B2 JP4414659 B2 JP 4414659B2 JP 2003039988 A JP2003039988 A JP 2003039988A JP 2003039988 A JP2003039988 A JP 2003039988A JP 4414659 B2 JP4414659 B2 JP 4414659B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
area
colored layer
ink
correction
dropped
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003039988A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2004251988A (en
Inventor
通伸 水村
朋文 村岡
定美 小山
康一 梶山
重人 杉本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
V Technology Co Ltd
Original Assignee
V Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by V Technology Co Ltd filed Critical V Technology Co Ltd
Priority to JP2003039988A priority Critical patent/JP4414659B2/en
Publication of JP2004251988A publication Critical patent/JP2004251988A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4414659B2 publication Critical patent/JP4414659B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルのカラーフィルタに生じた突起欠陥部や白黒欠陥部を修正する方法および装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のカラーフィルタの欠陥修正方法として、カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェット装置により前記加工エリアに前記着色層の色と同色の修正インクを滴下し、その後に、滴下された修正インクをインク硬化装置によって硬化、成膜させることにより欠陥部の修正を行う方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−66418号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記カラーフィルタの修正方法では、インクジェット装置のインクジェットヘッドから滴下される修正インクの塗布範囲の大きさが直径30μm程度であるので、前記欠陥部がピンホール等の小さな直径を有するものである場合には、前記欠陥部に対する修正インクの塗布量が多くなり過ぎて、インク硬化装置による熱処理で収縮するのを見込んでも修正部分の膜厚が厚くなり、欠陥部のない着色層の膜厚と整合せず、修正不良が発生するおそれがあった。また、欠陥部の面積が大きい場合、インクジェットによる修正インクの滴下回数を複数回行う際、欠陥部面積が修正インクの滴下回数の整数倍とならないこともあり、前述と同様な問題があった。
【0005】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、カラーフィルタの着色層の欠陥部を、欠陥部のない着色層の膜厚と適切に整合させた修正インクの成膜により修正して、修正不良が発生することのないカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項1に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットにより前記加工エリアに修正インクを滴下し、その後に、該滴下した修正インクを硬化、成膜させる欠陥修正方法において、前記インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求めることを特徴としている。
【0007】
また、請求項2に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットにより前記加工エリアに修正インクを滴下し、その後に、該滴下した修正インクを硬化、成膜させる欠陥修正方法において、前記インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、前記基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚と前記インクジェットによる修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求めることを特徴としている。
【0008】
また、請求項3に係るカラーフィルタの欠陥修正装置は、カラーフィルタの着色層の欠陥部を測定する測定装置と、該測定装置によって測定された欠陥部にレーザ光を照射して該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去するレーザ加工装置と、該レーザ加工装置によって着色層を除去された前記加工エリアに修正インクを滴下するインクジェット装置と、該インクジェット装置によって滴下された修正インクを硬化させるインク硬化装置と、前記インクジェット装置による修正インクの滴下量と前記レーザ加工装置により除去される着色層の加工エリアの面積とを設定すると共に、前記測定装置、レーザ加工装置およびインクジェット装置の動作を制御する制御装置とを設けた欠陥修正装置において、前記制御装置は、予め求められた、前記インクジェット装置からの修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを記憶する記憶手段と、該記記憶手段に記憶された基準データにもとづき、欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ加工装置により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求め、または前記設定膜厚と前記インクジェット装置による修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求める演算制御手段とを備えていることを特徴としている。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正装置について図1を参照して説明する。
図1において、1は本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正装置である。該カラーフィルタの欠陥修正装置1は、カラーフィルタ2をクランプ3aで移動台3に支持し、駆動モータ4の作動で前記移動台3を基台(図示せず)上でY軸方向(図1の紙面に垂直な方向)に移動させることにより、該Y軸方向に前記カラーフィルタ2を移動させる基板移動装置5と、前記カラーフィルタ2の着色層の欠陥部を測定する測定装置6と、該測定装置6によって測定された着色層の欠陥部にレーザ光を照射して、該欠陥部を含む加工エリア(加工エリア)の着色層を除去するレーザ加工装置7と、前記レーザ加工装置7で除去された着色層の前記加工エリアに、該着色層の色と同一色の修正インクfを滴下するインクジェット装置8と、インクジェット装置8によって滴下された修正インクを焼成(熱処理)して硬化、成膜させるインク硬化装置(図示せず)と、前記基板移動装置5、測定装置6、レーザ加工装置7、インクジェット装置8およびインク硬化装置の動作を制御する制御コンピュータ(制御装置)9と、カラーフィルタ2に関する基本情報情報等を記憶しているホストコンピュータ(制御装置)10とを備えている。
【0010】
前記測定装置6は、顕微鏡を通して撮像するCCDカメラ(カメラ)11と,照明器12と、照明光学系13と、一対のミラー14,14と、対物レンズ15とを備え、前記照明器12の光で照明光学系13、ミラー14,14および対物レンズ15を介して前記カラーフィルタ2の表面を照明しながら前記CCDカメラで観察し、カラーフィルタ2の着色層の欠陥部を検出、測定して該欠陥部の位置、形状、寸法等に関する測定データを前記制御コンピュータ9に送信するようになっている。
【0011】
また、前記レーザ加工装置7は、レーザ電源16と、レーザ発信器17と、レーザ光学系18とを備え、前記制御コンピュータ9からの指令により動作して、レーザ発信器17で発生されたレーザ光をレーザ光学系18、前記測定装置6と共用される一方のミラー14および前記対物レンズ15を通して前記カラーフィルタ2の着色層に照射し、その欠陥部を含む加工エリアを溶融、除去する加工を行うようになっている。前記対物レンズ15は、倍率の異なる複数のレンズを切換えて使用できるタレット式となっており、必要に応じて倍率を換えてCCDカメラ11での測定ができるようになっている。
【0012】
前記インクジェット装置8は、インクジェット制御回路19と、異なる色の修正インクを充填された複数のインクカートリッジ20と、該インクカートリッジ20に対応して設けた最小可能滴下量(インクジェットヘッド21から滴下される縮小前の修正インクの最小量であって、そのヘッド21において最小に設定できる量をいう)が異なる複数のインクジェットヘッド21とを備え、前記制御コンピュータ8からの指令で動作し、インクジェット制御回路19により吐出量(滴下量)を制御された修正インクfがインクジェットヘッド21から前記カラーフィルタ2の加工エリアに滴下されるようになっている。
なお、前記測定装置6とレーザ加工装置7とインクジェット装置8は、門型の支持部材(図示せず)に支持されて前記Y軸方向に直角なX軸方向(図1で左右方向)に移動自在の往復台(図示せず)に取り付けられており、前記制御コンピュータ9の指令でX軸駆動手段が作動されて前記往復台が移動されると、一緒にX軸方向に往復移動するようになっており、また、それぞれ、個別にXY軸に直行するZ軸方向(図1で上下方向)に移動調節可能となっている。
【0013】
なお、前記インクジェット装置8のインクジェットヘッド21による修正インクfの滴下量と、修正インクfの滴下領域(加工エリアに対応)の面積と、該滴下領域に滴下された修正インクの前記インク硬化装置による成膜後の膜厚との関係を予め実験によって求めたところ、修正インクのfの滴下量30pl〜300plの範囲で、図2に示すように、修正インクfの滴下量が多いほど成膜の膜厚が大きくなり、滴下領域が広くなるにしたがって前記膜厚が双曲線状の曲線に沿った値で薄くなる相関関係を示す実験データ(以下「基準データ」と称する)が得られた。
前記制御コンピュータ9は、前記修正インクfの滴下量と、滴下領域の面積と、成膜後の膜厚との相関関係を示す前記基準データや各装置5,6,7,8に所要の動作を実行させるシーケンスプログラム等を記憶するROM(記憶手段)と、前記測定装置6で得られた測定データ等を記憶するRAM(記憶手段)と、ROM内の前記基準データとRAM内の前記測定データを読み出して、前記カラーフィルタ2の着色層における欠陥部の加工エリアの面積や前記インクジェットヘッド21からの修正インクfの滴下量を演算する演算制御手段と、該演算制御手段の指令で前記CCDカメラ11により得られた前記欠陥部の画像や前記測定データを表示する表示器等とを備えている。
【0014】
また、前記インク硬化装置(図示せず)は、前記欠陥修正装置1内の前記インクジェット装置8の近く、もしくはその対向側のカラーフィルタ2の下面側に配置したランプ加熱手段でカラーフィルタ2の加工エリアに滴下された修正インクfを加熱、焼成するもの、または欠陥修正装置1とは別に設置された加熱炉内のヒータで、欠陥修正装置1による処理の後工程において前記加工エリアに滴下された修正インクを加熱、焼成するものとすることができる。
【0015】
次に、前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正装置1の作用と共に、本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法について、図3、図4をも参照して説明する。
前記欠陥修正装置1が作動が開始されると、制御コンピュータ9が、ホストコンピュータ10からカラーフィルタ2に関する基板情報を入力してそのRAMに記憶する(ステップS1)と共に、前記基板移動装置5の駆動モータ4と前記X軸駆動手段(図示せず)を作動させ、カラーフィルタ2をY軸方向へ、測定装置6をX軸方向へ移動させて、その顕微鏡の視野内にカラーフィルタ2の着色層の欠陥部が入るようようにする(ステップS2)。これにより、前記顕微鏡を介してCCDカメラ11で測定された画像データが前記制御コンピュータ9に送られて画像処理が行われ、顕微鏡の視野の中央に前記欠陥部が位置されるように、カラーフィルタ2と顕微鏡とがXY軸方向に相対移動される(ステップS3)。
【0016】
次に、前記対物レンズ15が高倍率のものに変換されて前記欠陥部Gの形状が自動的に認識され(ステップS4)、CCDカメラ11から得られた測定データ(画像データ)にもとづいて、前記制御コンピュータ9の演算制御手段が、前記欠陥部Gを含むX、Y軸方向の辺を有する直角四辺形の最小領域を最小の加工エリアKとして、X、Y軸方向の各辺の寸法x、yを算出する(ステップS5)(図4(a)参照)。
さらに、前記制御コンピュータ9の演算制御手段は、カラーフィルタ2に関する基板情報のうちの着色層2aの膜厚(設定膜厚)tをもとに、該膜厚tと前記加工エリアKの面積(x・y)とから、加工エリアKにおける着色層2aの体積Vd(=x・y・t)を算出し(ステップS6)、前記体積Vdが、前記インクジェット装置8のインクジェットヘッド21からの修正インクfの最小可能滴下量Vijminに、熱処理により修正インクfが縮小するのを見込んだ係数Fを乗算した最小滴下量(Vijmin×F)より大きい(Vd≧Vijmin×F)か否かを比較する(ステップS7)。
【0017】
前記体積Vdが最小滴下量(Vijmin×F)より大きい場合には、前記制御コンピュータ9からレーザ加工装置7に指令が送られて、前記ステップS5で算出された最小の加工エリアKの寸法x,yで前記着色層2aをレーザ光Lで除去する加工が行われ(ステップS8)(図4(b)参照)、次いで、前記インクジェット装置8のインクジェットヘッド21から最小可能滴下量Vijminで修正インクfを前記加工エリアKに滴下する場合には、滴下回数の演算(Vd/Vijmin)を行って、修正インクfの滴下回数を求めて、求めた滴下回数だけ前記修正インクfを加工エリアKに滴下する(ステップS9)(図4(c)参照)。この場合、滴下回数の計算値が端数になったときは、該計算値に近い正の整数(ゼロを除く)の滴下回数が選択される。また、前記インクジェットヘッド21に体積Vdに相当する量の滴下量を一度に滴下できる容量の基準データがあれば、もしくは、最小可能滴下量Vijminの正の整数倍量を滴下できる容量の基準データの複数個(前記演算で得られた滴下回数より少ない数)を加算することにより前記体積Vdに相当する滴下量を滴下できる基準データがあれば、前記インクジェット制御回路19によって滴下量を前記体積Vdに合うように制御して1回だけ、もしくは前記加算数だけを滴下するようにすると、前記欠陥部の修正処理時間を短縮できて好ましい。
【0018】
前記ステップS7において、前記体積Vdが最小滴下量(Vijmin×F)に満たない場合には、前記制御コンピュータ9の演算制御手段は、前記インクジェットヘッド21からの最小滴下量(Vijmin×F)を前記膜厚tで除算(Vijmin×F/t)して、着色層2aの除去すべき加工エリアKの面積(x’・y’=Vijmin×F/t)を演算し、x’≧x、y’≧yを条件として、加工エリアKの寸法x’、y’を逆算した後、これらの寸法x’、y’にもとづいて着色層2aの加工エリアKのレーザ加工装置7による除去加工を行う(ステップS10)。しかる後に、演算(x’・y’・t/Vijmin)を行って、ステップS9の場合と同様に、修正インクfの前記最小可能滴下量Vijminによる滴下回数を求めて、求めた滴下回数だけ前記修正インクfを加工エリアKに滴下する(ステップS11)。なお、前記演算において、滴下回数が端数になったときは、その端数分の滴下量はインクジェットヘッド21から得られないので、計算上の滴下回数に近い正の整数倍(最小可能滴下量Vijminの正の整数(ゼロを除く)倍)の滴下回数が得られるように、前記加工エリアKの面積(x’・y’)から割り出して加工エリアKの加工をし直してから修正インクを滴下するものとする。この場合も、体積(x’・y’・t)に相当する量の滴下量の基準データ、もしくは、最小可能滴下量Vijminの正の整数倍量を滴下できる容量の基準データの複数個(前記演算で得られた滴下回数より少ない数)を加算することにより前記体積Vdに相当する滴下量を滴下できる基準データがあれば、前記インクジェット制御回路19によって滴下量を前記体積(x’・y’・t)に合うように制御して1回だけ、もしくは前記加算数だけを滴下するようにすると、前記欠陥部の修正処理時間を短縮できて好ましい。
【0019】
前記カラーフィルタ2の着色層2aの加工エリアKに修正インクfが滴下されると、滴下された修正インクf1は、加工エリアKの全面に広がり着色層2aの表面より盛り上がった状態となり、その修正インクf1に対して、インク硬化装置(図示せず)によって加熱、焼成処理が行われる。これにより、前記修正インクf1が縮小されて欠陥部Gのなかった正常な着色層2aに整合された厚さに成膜され、欠陥修正装置1によるカラーフィルタ2における欠陥部Gの修正処理が完了する(図4(d)参照)。
【0020】
前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、カラーフィルタ2の着色層2aの欠陥部Gにレーザ加工装置7からのレーザ光Lを照射することにより、該欠陥部Gを含む着色層2aの加工エリアKを除去した後、インクジェット装置8のインクジェットヘッド21からのインクジェットにより前記加工エリアKに修正インクfを滴下し、その後に、該滴下した修正インクf1をインク硬化装置によって硬化、成膜させる欠陥修正方法において、前記インクジェット装置8からのインクジェットによる修正インクfの滴下量(体積)Vdと、修正インクfの滴下領域の面積(x・y)と、滴下領域に滴下された修正インクf1の成膜後の膜厚tとの相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部Gがある着色層2aの設定膜厚tとレーザ光Lの照射により除去する着色層2aの加工エリアKの面積(x・y)とから、該加工エリアKに対する修正インクfの滴下量Vdを求めるようにしたので、レーザ加工装置7からのレーザ光Lにより除止された着色層の加工エリアKの体積(x・y・t)に対し、修正インクfの滴下量Vdを適切に設定することができ、カラーフィルタ2の着色層2aの欠陥部Gを、それのなかった着色層2aの膜厚tと均等に整合させた修正インクの成膜により修正することができて、修正不良の発生を確実に防止することができる。
【0021】
また、実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、前記相関データにもとづいて、前記欠陥部Gがある着色層2aの設定膜厚tと前記インクジェットヘッド21のインクジェットによる修正インクの最小可能滴下量Vijminの整数倍とから、前記レーザ光Lの照射により除去する着色層2aの加工エリアKの面積(x’・y’)を求めるようにしたので、前記カラーフィルタ2の着色層2aの欠陥部Gがピンホールのような非常に小さな直径を有するものであっても、前記インクジェット装置8のインクジェットヘッド21による最小可能滴下量Vijmin以上の修正インクfを、これに適合させた面積を有する加工エリアKにほぼ過不足無く滴下させることができ、カラーフィルタ2における着色層2aの修正後の膜厚を、欠陥部Gのなかった着色層2aの膜厚tに対して均等に整合させることができる。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば以下の優れた効果を奏する。
請求項1に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部があるカラーフィルタの着色層の設定膜厚とレーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求めるようにしたので、レーザ光により除去された着色層の加工エリアの体積に対し、修正インクの滴下量を適切に設定することができ、カラーフィルタの着色層の欠陥部を、それのなかった着色層の膜厚と均等に整合させた修正インクの成膜により修正することができて、その修正不良の発生を確実に防止することができる。
【0023】
請求項2に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、前記基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚と前記インクジェットによる修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求めるようにしたので、前記カラーフィルタの着色層の欠陥部がピンホールのような非常に小さな直径を有するものであっても、前記インクジェットによる最小可能滴下量以上の修正インクを、これに適合させた面積を有する加工エリアに過不足無く滴下させることができ、カラーフィルタにおける着色層の修正後の膜厚を、欠陥部のなかった着色層の膜厚に対して均等に整合させることができる。
【0024】
請求項3に係るカラーフィルタの欠陥修正装置によれば、請求項1と請求項2に係るカラーフィルタの欠陥修正方法を確実に実施できる欠陥修正装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正装置を示すブロック図である。
【図2】 カラーフィルタの着色層におけるレーザ加工エリアの面積と修正インクの成膜後の膜厚と修正インクの滴下量との相関関係を示す線図である。
【図3】 本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法を示すフロー図である。
【図4】 本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法の工程を示す説明図である。
【符号の説明】
1 欠陥修正装置
2 カラーフィルタ
3 移動台
5 基板移動装置
6 測定装置
7 レーザ加工装置
8 インクジェット装置
9 制御コンピュータ(制御装置)
10 ホストコンピュータ(制御装置)
11 CCDカメラ(カメラ)
12 照明器
15 対物レンズ
17 レーザ発信器
19 インクジェット制御回路
20 インクカートリッジ
21 インクジェットヘッド
G 欠陥部
K 加工エリア
L レーザ光
f 修正インク
x 加工エリアのX軸方向の寸法
y 加工エリアのY軸方向の寸法
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and apparatus for correcting a protrusion defect portion and a black and white defect portion generated in a color filter of a liquid crystal panel.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as a method for correcting defects of this type of color filter, after the processing area of the colored layer including the defective portion is removed by irradiating the defective portion of the colored layer of the color filter with laser light, the processing is performed by an inkjet apparatus. A method is known in which a correction ink having the same color as the color of the colored layer is dropped on an area, and then the dropped correction ink is cured and formed into a film by an ink curing device to correct the defective portion (for example, , See Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-66418
[Problems to be solved by the invention]
However, in the correction method of the color filter, since the size of the application range of the correction ink dropped from the inkjet head of the inkjet apparatus is about 30 μm in diameter, the defective portion has a small diameter such as a pinhole. In this case, the amount of the correction ink applied to the defective portion becomes too large, and even if it is expected to shrink due to the heat treatment by the ink curing device, the thickness of the correction portion is increased, and the thickness of the colored layer having no defect portion is increased. There was a risk that corrections would not be made and correction defects would occur. In addition, when the area of the defect portion is large, the defect portion area may not be an integral multiple of the number of times the correction ink is dropped when the correction ink is dropped a plurality of times by inkjet, which causes the same problem as described above.
[0005]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and corrects a defective portion of a colored layer of a color filter by forming a correction ink that is appropriately matched with a thickness of the colored layer having no defective portion. An object of the present invention is to provide a defect correction method and defect correction apparatus for a color filter in which no defect occurs.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention is characterized by the following points in order to solve the above problems.
That is, in the defect correction method for a color filter according to claim 1, the defect area of the color layer of the color filter is irradiated with a laser beam to remove the processing area of the color layer including the defect area, and then the ink jet is used for the defect correction method. In the defect correction method in which the correction ink is dropped on the processing area, and then the dripped correction ink is cured and formed into a film, the amount of correction ink dropped by the inkjet, the area of the correction ink dropping area, and the dropping area Reference data indicating a correlation with the film thickness of the corrected ink dropped after film formation is obtained in advance, and based on the reference data, the set film thickness of the colored layer having the defective portion and laser light irradiation are used. From the area of the processing area of the colored layer to be removed, the amount of correction ink dripped onto the processing area is obtained.
[0007]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a color filter defect correcting method comprising: irradiating a defective portion of a colored layer of a color filter with a laser beam to remove a processing area of the colored layer including the defective portion; In the defect correction method in which the correction ink is dropped on the processing area, and then the dripped correction ink is cured and formed into a film, the amount of correction ink dropped by the inkjet, the area of the correction ink dropping area, and the dropping area Reference data indicating a correlation with the film thickness of the dropped corrected ink after film formation is obtained in advance, and based on the reference data, the set film thickness of the colored layer having the defective portion and the ink corrected ink The processing area of the colored layer to be removed by irradiation with the laser beam is obtained from an integral multiple of the minimum possible dripping amount.
[0008]
According to a third aspect of the present invention, there is provided a defect correcting device for a color filter, a measuring device for measuring a defective portion of a colored layer of a color filter, and irradiating the defective portion measured by the measuring device with a laser beam. A laser processing apparatus that removes a processing area of the colored layer, an ink jet apparatus that drops correction ink on the processing area from which the coloring layer has been removed by the laser processing apparatus, and the correction ink dropped by the ink jet apparatus is cured The ink curing device, the amount of correction ink dropped by the ink jet device, and the area of the colored layer processed area removed by the laser processing device are set, and the operations of the measuring device, laser processing device, and ink jet device are controlled. In the defect correction apparatus provided with the control device, the control device is obtained in advance, Storage means for storing reference data indicating the correlation between the amount of correction ink dropped from the ink jet device, the area of the correction ink dropping area, and the film thickness of the correction ink dropped on the dropping area after film formation; Based on the reference data stored in the storage means, the amount of correction ink dropped on the processing area from the set film thickness of the colored layer having a defect and the area of the processing area of the coloring layer to be removed by the laser processing apparatus Or a calculation control means for obtaining an area of a processing area of the colored layer to be removed by irradiation with the laser light from the set film thickness and an integral multiple of the minimum possible dripping amount of the correction ink by the ink jet apparatus. It is characterized by being.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a color filter defect correcting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a color filter defect correcting apparatus according to an embodiment of the present invention. The color filter defect correcting apparatus 1 supports a color filter 2 on a moving table 3 with a clamp 3a, and operates the driving motor 4 to move the moving table 3 on a base (not shown) in the Y-axis direction (FIG. 1). A substrate moving device 5 for moving the color filter 2 in the Y-axis direction by moving the color filter 2 in a direction perpendicular to the paper surface, a measuring device 6 for measuring a defective portion of the colored layer of the color filter 2, and A laser processing device 7 for irradiating a defective portion of the colored layer measured by the measuring device 6 with a laser beam to remove the colored layer in a processing area (processing area) including the defective portion, and removal by the laser processing device 7 In the processed area of the colored layer, the inkjet device 8 that drops the correction ink f of the same color as the color of the colored layer, and the correction ink dropped by the inkjet device 8 is baked (heat treatment) to cure and form a film. An ink curing device (not shown), a substrate moving device 5, a measuring device 6, a laser processing device 7, an ink jet device 8, and a control computer (control device) 9 for controlling the operation of the ink curing device, and the color filter 2. And a host computer (control device) 10 that stores basic information information and the like.
[0010]
The measuring device 6 includes a CCD camera (camera) 11 that takes an image through a microscope, an illuminator 12, an illumination optical system 13, a pair of mirrors 14 and 14, and an objective lens 15, and the light from the illuminator 12. And observing with the CCD camera while illuminating the surface of the color filter 2 through the illumination optical system 13, the mirrors 14 and 14 and the objective lens 15, and detecting and measuring a defective portion of the colored layer of the color filter 2 Measurement data relating to the position, shape, dimensions, etc. of the defective portion is transmitted to the control computer 9.
[0011]
The laser processing device 7 includes a laser power source 16, a laser transmitter 17, and a laser optical system 18. The laser processing device 7 operates in response to a command from the control computer 9 and generates laser light generated by the laser transmitter 17. Is irradiated to the colored layer of the color filter 2 through the laser optical system 18, one mirror 14 shared with the measuring device 6 and the objective lens 15, and the processing area including the defective portion is melted and removed. It is like that. The objective lens 15 is a turret type that can be used by switching a plurality of lenses having different magnifications, and can be measured by the CCD camera 11 by changing the magnification as necessary.
[0012]
The inkjet device 8 includes an inkjet control circuit 19, a plurality of ink cartridges 20 filled with correction inks of different colors, and a minimum possible drop amount provided corresponding to the ink cartridge 20 (dropped from the inkjet head 21. A plurality of inkjet heads 21 having different minimum ink amounts that can be set to the minimum in the head 21, and operating according to a command from the control computer 8. The inkjet control circuit 19 Thus, the correction ink f whose discharge amount (drop amount) is controlled is dropped from the inkjet head 21 onto the processing area of the color filter 2.
The measuring device 6, the laser processing device 7, and the ink jet device 8 are supported by a gate-shaped support member (not shown) and move in the X-axis direction (left-right direction in FIG. 1) perpendicular to the Y-axis direction. It is attached to a free carriage (not shown), and when the carriage is moved by the operation of the X-axis driving means in response to a command from the control computer 9, the carriage moves back and forth together in the X-axis direction. In addition, the movement can be adjusted individually in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 1) perpendicular to the XY axis.
[0013]
The amount of the correction ink f dropped by the ink jet head 21 of the ink jet apparatus 8, the area of the correction ink f dropping area (corresponding to the processing area), and the correction ink dropped on the dripping area by the ink curing apparatus. When the relationship with the film thickness after film formation was obtained in advance by experiment, as shown in FIG. 2, the film was deposited more as the correction ink f was dropped in the range of the correction ink f drop amount of 30 pl to 300 pl. Experimental data (hereinafter referred to as “reference data”) showing a correlation in which the film thickness decreases with a value along a hyperbolic curve as the film thickness increases and the dropping region increases.
The control computer 9 operates for the reference data indicating the correlation between the amount of the correction ink f to be dropped, the area of the drop region, and the film thickness after film formation, and the operations required for the devices 5, 6, 7, and 8. ROM (storage means) for storing a sequence program or the like for executing the above, RAM (storage means) for storing measurement data obtained by the measurement device 6, the reference data in the ROM, and the measurement data in the RAM , And a calculation control means for calculating the area of the processing area of the defective portion in the colored layer of the color filter 2 and the dripping amount of the correction ink f from the inkjet head 21, and the CCD camera according to a command from the calculation control means 11 and a display for displaying the image of the defective part obtained by 11 and the measurement data.
[0014]
Further, the ink curing device (not shown) processes the color filter 2 by lamp heating means arranged near the ink jet device 8 in the defect correcting device 1 or on the lower surface side of the color filter 2 on the opposite side. Heated and baked correction ink f dropped on the area, or a heater in a heating furnace installed separately from the defect correction apparatus 1, was dropped on the processing area in a subsequent process of the defect correction apparatus 1. The correction ink can be heated and baked.
[0015]
Next, together with the operation of the color filter defect correcting apparatus 1 according to the embodiment, a color filter defect correcting method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
When the operation of the defect correcting device 1 is started, the control computer 9 inputs substrate information relating to the color filter 2 from the host computer 10 and stores it in the RAM (step S1), and also drives the substrate moving device 5 The motor 4 and the X-axis driving means (not shown) are actuated to move the color filter 2 in the Y-axis direction and the measuring device 6 in the X-axis direction. The defective portion is made to enter (step S2). As a result, the image data measured by the CCD camera 11 through the microscope is sent to the control computer 9 for image processing, and the color filter is arranged so that the defective portion is located at the center of the field of view of the microscope. 2 and the microscope are relatively moved in the XY-axis direction (step S3).
[0016]
Next, the objective lens 15 is converted to a high-magnification lens so that the shape of the defective portion G is automatically recognized (step S4). Based on the measurement data (image data) obtained from the CCD camera 11, The arithmetic control means of the control computer 9 uses the minimum area of the right quadrilateral having the X and Y axis directions including the defect G as the minimum processing area K, and the dimension x of each side in the X and Y axis directions. , Y are calculated (step S5) (see FIG. 4A).
Further, the calculation control means of the control computer 9 uses the film thickness t and the area of the processing area K (based on the film thickness (set film thickness) t of the colored layer 2a in the substrate information on the color filter 2 ( x · y), the volume Vd (= x · y · t) of the colored layer 2a in the processing area K is calculated (step S6), and the volume Vd is corrected ink from the inkjet head 21 of the inkjet device 8. It is compared whether or not the minimum drop amount Vijmin of f is larger than the minimum drop amount (Vijmin × F) obtained by multiplying the minimum possible drop amount Vijmin by a coefficient F that is expected to reduce the corrected ink f by the heat treatment (Vd ≧ Vijmin × F). Step S7).
[0017]
When the volume Vd is larger than the minimum dripping amount (Vijmin × F), a command is sent from the control computer 9 to the laser processing device 7, and the dimension x, x of the minimum processing area K calculated in step S5 is sent. The process of removing the colored layer 2a with the laser beam L is performed in step y (step S8) (see FIG. 4B), and then the corrected ink f is discharged from the inkjet head 21 of the inkjet apparatus 8 with the minimum possible drop amount Vijmin. Is dropped into the processing area K, the number of times of dropping (Vd / Vijmin) is calculated to determine the number of times the correction ink f is dropped, and the correction ink f is dropped into the processing area K by the calculated number of drops. (Step S9) (see FIG. 4C). In this case, when the calculated value of the number of drops is a fraction, a positive integer (excluding zero) number of drops close to the calculated value is selected. In addition, if there is reference data of a capacity capable of dropping a drop amount corresponding to the volume Vd at a time on the inkjet head 21, or a reference data of a capacity capable of dropping a positive integer multiple of the minimum possible drop amount Vijmin. If there is reference data that can drop a drop amount corresponding to the volume Vd by adding a plurality (a number smaller than the number of drops obtained in the calculation), the inkjet control circuit 19 sets the drop amount to the volume Vd. It is preferable to perform the control so as to match only once or to drop only the added number because the defect processing time can be shortened.
[0018]
In the step S7, when the volume Vd is less than the minimum drop amount (Vijmin × F), the calculation control means of the control computer 9 uses the minimum drop amount (Vijmin × F) from the inkjet head 21 as the value. Divide by the film thickness t (Vijmin × F / t) to calculate the area (x ′ · y ′ = Vijmin × F / t) of the processing area K to be removed from the colored layer 2a, and x ′ ≧ x, y After calculating back the dimensions x ′ and y ′ of the processing area K under the condition “≧ y”, the removal processing of the processing area K of the colored layer 2a by the laser processing apparatus 7 is performed based on these dimensions x ′ and y ′. (Step S10). Thereafter, the calculation (x ′ · y ′ · t / Vijmin) is performed, and the number of times of dripping of the corrected ink f by the minimum possible dripping amount Vijmin is obtained in the same manner as in step S9. The correction ink f is dropped on the processing area K (step S11). In the above calculation, when the number of times of dropping becomes a fraction, since the amount of dropping corresponding to the fraction cannot be obtained from the inkjet head 21, it is a positive integer multiple close to the calculated number of drops (the minimum possible dropping amount Vijmin). The correction ink is dropped after calculating the area (x ′ · y ′) of the processing area K and reprocessing the processing area K so that the number of times of dropping is a positive integer (excluding zero) times. Shall. Also in this case, a plurality of reference data on the amount of dripping corresponding to the volume (x ′ · y ′ · t), or a plurality of pieces of reference data on the volume capable of dropping a positive integer multiple of the minimum possible dripping amount Vijmin (described above) If there is reference data that can drop a drop amount corresponding to the volume Vd by adding a number less than the number of drops obtained by calculation), the inkjet control circuit 19 sets the drop amount to the volume (x ′ · y ′). It is preferable that the control is performed so as to meet t) only once or only the addition number is dropped, because the correction processing time of the defective portion can be shortened.
[0019]
When the correction ink f is dropped on the processing area K of the colored layer 2a of the color filter 2, the dropped correction ink f1 spreads over the entire surface of the processing area K and rises from the surface of the coloring layer 2a. The ink f1 is heated and baked by an ink curing device (not shown). As a result, the correction ink f1 is reduced to be formed to a thickness consistent with the normal colored layer 2a without the defect portion G, and the correction processing of the defect portion G in the color filter 2 by the defect correction device 1 is completed. (See FIG. 4 (d)).
[0020]
According to the color filter defect correcting method according to the embodiment, the defect portion G of the color layer 2a of the color filter 2 is irradiated with the laser light L from the laser processing apparatus 7 to thereby color the defect portion G. After removing the processing area K of the layer 2a, the correction ink f is dropped onto the processing area K by ink jet from the ink jet head 21 of the ink jet device 8, and then the dripped correction ink f1 is cured by an ink curing device. In the defect correcting method for forming a film, the amount (volume) Vd of the correction ink f dropped by the ink jet from the ink jet apparatus 8, the area (x · y) of the dropping area of the correction ink f, and the correction dropped on the dropping area Reference data indicating a correlation with the film thickness t after the film formation of the ink f1 is obtained in advance, and based on the reference data, the previous data From the set film thickness t of the colored layer 2a having the defective portion G and the area (x · y) of the processed area K of the colored layer 2a to be removed by irradiation with the laser light L, the amount of the correction ink f dropped onto the processed area K Since Vd is obtained, the drop amount Vd of the correction ink f is appropriately set to the volume (x · y · t) of the processing area K of the colored layer removed by the laser beam L from the laser processing device 7. The defective portion G of the colored layer 2a of the color filter 2 can be set and corrected by forming a correction ink that is evenly aligned with the film thickness t of the colored layer 2a without it. The occurrence of defects can be reliably prevented.
[0021]
Further, according to the defect correction method of the color filter according to the embodiment, based on the correlation data, the set film thickness t of the colored layer 2a where the defect portion G is present and the minimum of the correction ink by the inkjet of the inkjet head 21 are corrected. Since the area (x ′ · y ′) of the processed area K of the colored layer 2a to be removed by irradiation with the laser beam L is obtained from an integral multiple of the possible dripping amount Vijmin, the colored layer 2a of the color filter 2 is obtained. Even if the defective portion G has a very small diameter such as a pinhole, the area where the corrected ink f of the ink jet head 21 of the ink jet apparatus 8 exceeds the minimum possible dripping amount Vijmin is adapted to this area. The film thickness after the correction of the colored layer 2a in the color filter 2 can be dripped almost into the processing area K having , It can be equally aligned relative to the thickness t of the colored layer 2a did defect portion G.
[0022]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the following excellent effects are obtained.
According to the defect correction method for a color filter according to claim 1, the amount of correction ink dropped by inkjet, the area of the correction ink dropping area, and the film thickness of the correction ink dropped on the dropping area after film formation Reference data indicating the correlation is obtained in advance, and based on the reference data, from the set film thickness of the colored layer of the color filter having the defective portion and the area of the processing area of the colored layer to be removed by laser light irradiation Since the amount of the correction ink dropped on the processing area is obtained, the amount of the correction ink dripping can be appropriately set with respect to the volume of the processing area of the colored layer removed by the laser beam. Defects in the colored layer can be corrected by forming a correction ink that is evenly aligned with the thickness of the colored layer without it, and the occurrence of defective correction is reliably prevented. Rukoto can.
[0023]
According to the defect correction method for a color filter according to claim 2, the amount of correction ink dropped by inkjet, the area of the correction ink dropping area, and the film thickness of the correction ink dropped on the dropping area after film formation Reference data indicating the correlation is obtained in advance, and based on the reference data, the laser beam is obtained from the set film thickness of the colored layer having the defective portion and an integral multiple of the minimum possible drop amount of the correction ink by the inkjet. Since the processing area of the colored layer to be removed by irradiation is determined, even if the defective portion of the colored layer of the color filter has a very small diameter such as a pinhole, the minimum by the inkjet Over a drip amount of corrected ink can be dripped onto a processing area with an area adapted to it without excess or deficiency. The film thickness after the correction of the colored layer can be uniformly aligned with respect to the film thickness of the colored layer was not defective portion.
[0024]
According to the color filter defect correcting apparatus of the third aspect, it is possible to provide a defect correcting apparatus that can reliably carry out the color filter defect correcting method of the first and second aspects.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a color filter defect correcting apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing the correlation between the area of the laser processing area in the colored layer of the color filter, the thickness of the correction ink after film formation, and the amount of correction ink dropped.
FIG. 3 is a flowchart showing a color filter defect correcting method according to an embodiment of the present invention;
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a process of a color filter defect correcting method according to an embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Defect correction apparatus 2 Color filter 3 Moving stand 5 Substrate moving apparatus 6 Measuring apparatus 7 Laser processing apparatus 8 Inkjet apparatus 9 Control computer (control apparatus)
10 Host computer (control device)
11 CCD camera (camera)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 Illuminator 15 Objective lens 17 Laser transmitter 19 Inkjet control circuit 20 Ink cartridge 21 Inkjet head G Defect part K Processing area L Laser light f Correction ink x Dimension of processing area in X-axis direction y Dimension of processing area in Y-axis direction

Claims (3)

カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットにより前記加工エリアに修正インクを滴下し、その後に、該滴下した修正インクを硬化、成膜させる欠陥修正方法において、
前記インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求めることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
By irradiating the defective portion of the colored layer of the color filter with laser light, the processed area of the colored layer including the defective portion is removed, and then the correction ink is dropped onto the processed area by inkjet, and then the dropped In the defect correction method for curing and film-forming the correction ink,
Reference data indicating the correlation between the amount of correction ink dropped by the inkjet, the area of the correction ink dropping region, and the thickness of the correction ink dropped on the dropping region after film formation is obtained in advance, and the reference Based on the data, the amount of the correction ink dripped onto the processed area is obtained from the set film thickness of the colored layer having the defective portion and the area of the processed area of the colored layer to be removed by laser light irradiation. Color filter defect correction method.
カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットにより前記加工エリアに修正インクを滴下し、その後に、該滴下した修正インクを硬化、成膜させる欠陥修正方法において、
前記インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、前記基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚と前記インクジェットによる修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求めることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
By irradiating the defective portion of the colored layer of the color filter with laser light, the processed area of the colored layer including the defective portion is removed, and then the correction ink is dropped onto the processed area by inkjet, and then the dropped In the defect correction method for curing and film-forming the correction ink,
Reference data indicating a correlation between the amount of the correction ink dropped by the inkjet, the area of the correction ink dropping region, and the thickness of the correction ink dropped on the dropping region after film formation is obtained in advance, and the reference Based on the data, the processing area of the colored layer to be removed by irradiation with the laser light is obtained from the set film thickness of the colored layer having the defective portion and an integral multiple of the minimum possible drop amount of the correction ink by the inkjet. The defect correction method for a color filter according to claim 1.
カラーフィルタの着色層の欠陥部を測定する測定装置と、該測定装置によって測定された欠陥部にレーザ光を照射して該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去するレーザ加工装置と、該レーザ加工装置によって着色層を除去された前記加工エリアに修正インクを滴下するインクジェット装置と、該インクジェット装置によって滴下された修正インクを硬化させるインク硬化装置と、前記インクジェット装置による修正インクの滴下量と前記レーザ加工装置により除去される着色層の加工エリアの面積とを設定すると共に、前記測定装置、レーザ加工装置およびインクジェット装置の動作を制御する制御装置とを設けた欠陥修正装置において、
前記制御装置は、予め求められた、前記インクジェット装置からの修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを記憶する記憶手段と、該記記憶手段に記憶された基準データにもとづき、欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ加工装置により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求め、または前記設定膜厚と前記インクジェット装置による修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求める演算制御手段とを備えていることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。
A measuring device for measuring a defective portion of the colored layer of the color filter, a laser processing device for irradiating the defective portion measured by the measuring device with a laser beam to remove a processing area of the colored layer including the defective portion, and An inkjet device that drops correction ink onto the processing area from which the colored layer has been removed by a laser processing device, an ink curing device that cures the correction ink dropped by the inkjet device, and an amount of correction ink dropped by the inkjet device; In the defect correction apparatus provided with a control device for controlling the operation of the measurement device, the laser processing device, and the ink jet device, while setting the area of the processing area of the colored layer to be removed by the laser processing device,
The control device correlates the predetermined amount of correction ink dropped from the ink jet device, the area of the correction ink dropping region, and the thickness of the corrected ink dropped on the dropping region after the film formation. Storage means for storing the reference data indicating, and based on the reference data stored in the storage means, the set film thickness of the colored layer having a defect and the area of the processing area of the colored layer to be removed by the laser processing apparatus The amount of the correction ink dripped onto the processing area is obtained, or the processing area of the colored layer to be removed by the laser light irradiation is determined from the set film thickness and an integral multiple of the minimum possible dripping amount of the correction ink by the inkjet apparatus. A color filter defect correcting device comprising: an arithmetic control means for obtaining an area.
JP2003039988A 2003-02-18 2003-02-18 Color filter defect correcting method and defect correcting apparatus Expired - Fee Related JP4414659B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003039988A JP4414659B2 (en) 2003-02-18 2003-02-18 Color filter defect correcting method and defect correcting apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003039988A JP4414659B2 (en) 2003-02-18 2003-02-18 Color filter defect correcting method and defect correcting apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004251988A JP2004251988A (en) 2004-09-09
JP4414659B2 true JP4414659B2 (en) 2010-02-10

Family

ID=33024005

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003039988A Expired - Fee Related JP4414659B2 (en) 2003-02-18 2003-02-18 Color filter defect correcting method and defect correcting apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4414659B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006068627A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 V Technology Co Ltd Dispenser and flaw correction method

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006113127A (en) * 2004-10-12 2006-04-27 Sharp Corp Correcting device
JP4615415B2 (en) * 2005-09-30 2011-01-19 シャープ株式会社 Display element component correcting apparatus and display element component correcting method
JP2007316162A (en) * 2006-05-23 2007-12-06 Sharp Corp Display device component correcting apparatus and display device component correcting method
JP5077887B2 (en) * 2008-03-26 2012-11-21 Ntn株式会社 Color filter defect correcting method and color filter defect correcting apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006068627A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 V Technology Co Ltd Dispenser and flaw correction method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004251988A (en) 2004-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI331687B (en) Apparatus for repairing circuit pattern and method for manufacturing display apparatus using the same
JP6549834B2 (en) Imprint apparatus and method of manufacturing article
KR101738981B1 (en) Method and Apparatus for Repairing Film
JP4464747B2 (en) Color filter defect correction method
JP4414659B2 (en) Color filter defect correcting method and defect correcting apparatus
JP4924192B2 (en) Defect correcting method for color filter substrate with transparent conductive film and color filter substrate with transparent conductive film
JP2002071939A (en) Method of correcting defect in color filter
JP2006136836A (en) Droplet application apparatus
CN113245712A (en) Laser spot position correction method and chip scale wafer level marking equipment
TW200821167A (en) Pattern correction device
JP3478813B2 (en) Method of correcting bright spot defect and method of manufacturing liquid crystal display
JP4288484B2 (en) Substrate defect correcting apparatus and method, and liquid crystal substrate
JP5077887B2 (en) Color filter defect correcting method and color filter defect correcting apparatus
KR20130028591A (en) Repairing apparatus of liquid cyrstal display device and testing apparatus for testing repair
JP2010019880A (en) Method and apparatus for correcting defect of color filter
JP2013117615A (en) Defect correction device and defect correction method
JP2017009581A (en) Shape measurement device and coating device including the same
JP5261938B2 (en) Defect correction method using laser light
JPH09230128A (en) Correcting method of defect in color filter and defect correcting device
JP2003029228A (en) Method for correcting defect, and liquid crystal display
WO2016204062A1 (en) Shape measurement device and coating device equipped with same
KR101048361B1 (en) Laser processing apparatus and method
TW201134590A (en) Laser processing method and laser processing device
JP4923787B2 (en) Defect correction method using laser light
JP2010181254A (en) Device for inspecting screen print making

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060202

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091028

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091104

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091120

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121127

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4414659

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121127

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151127

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees