[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP4402101B2 - Inkjet recording head - Google Patents

Inkjet recording head Download PDF

Info

Publication number
JP4402101B2
JP4402101B2 JP2006325948A JP2006325948A JP4402101B2 JP 4402101 B2 JP4402101 B2 JP 4402101B2 JP 2006325948 A JP2006325948 A JP 2006325948A JP 2006325948 A JP2006325948 A JP 2006325948A JP 4402101 B2 JP4402101 B2 JP 4402101B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection terminal
terminal
circuit unit
operation circuit
inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006325948A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2008137276A (en
Inventor
健 池亀
圭一郎 佃
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2006325948A priority Critical patent/JP4402101B2/en
Publication of JP2008137276A publication Critical patent/JP2008137276A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4402101B2 publication Critical patent/JP4402101B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、検査用端子を有するインクジェット記録ヘッドに関する。   The present invention relates to an ink jet recording head having inspection terminals.

特許文献1には、検査用端子を有するインクジェット記録ヘッドが記載されている。   Patent Document 1 describes an ink jet recording head having an inspection terminal.

検査用端子は、記録液であるインクを吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、エネルギー発生素子を駆動する駆動回路、および、電源と接続される電気接続端子とともに、基板上に形成されている。検査用端子は、エネルギー発生素子、駆動回路、および、電気接続端子と、電気的に接続されている。検査用端子は、エネルギー発生素子、駆動回路、および、電気接続端子のそれぞれの特性を検査するために使用される。   The inspection terminal is formed on the substrate together with an energy generation element that generates energy for ejecting ink as a recording liquid, a drive circuit that drives the energy generation element, and an electrical connection terminal that is connected to a power source. Yes. The inspection terminal is electrically connected to the energy generating element, the drive circuit, and the electrical connection terminal. The inspection terminal is used for inspecting the characteristics of the energy generating element, the drive circuit, and the electrical connection terminal.

なお、特許文献1に記載のインクジェット記録ヘッドには、ダミーの検査用端子も形成されている。   Note that dummy inspection terminals are also formed in the ink jet recording head described in Patent Document 1.

エネルギー発生素子および検査用端子等が形成された基板上には、ノズル形成部材が積層されている。ノズル形成部材には、インクを吐出するための吐出口が、エネルギー発生素子に対応する位置に設けられ、さらに、エネルギー発生素子にインクを供給する液路が設けられている。   A nozzle forming member is laminated on a substrate on which an energy generating element, an inspection terminal and the like are formed. In the nozzle forming member, an ejection port for ejecting ink is provided at a position corresponding to the energy generating element, and further, a liquid path for supplying ink to the energy generating element is provided.

図7は、検査用端子の配線を示した回路図である。   FIG. 7 is a circuit diagram showing the wiring of the inspection terminals.

図7において、プリント時には、電流が、電源用電気接続端子101から、抵抗100a、エネルギー発生素子103、駆動回路104および抵抗100bを介して、GND用電気接続端子102に流れる。エネルギー発生素子103は、電流が流れることによって発熱し、その熱によって、インクを加熱して発泡させ吐出口から吐出させる。一方、駆動回路104の抵抗値を測定する場合には、検査用端子105Aおよび105Bの間での抵抗値が測定される。以下では、検査用端子105Aおよび105Bをまとめて検査用端子105と称する。   In FIG. 7, during printing, a current flows from the power supply electrical connection terminal 101 to the GND electrical connection terminal 102 via the resistor 100a, the energy generating element 103, the drive circuit 104, and the resistor 100b. The energy generating element 103 generates heat when an electric current flows, and the heat causes the ink to be heated and foamed to be discharged from the discharge port. On the other hand, when measuring the resistance value of the drive circuit 104, the resistance value between the test terminals 105A and 105B is measured. Hereinafter, the inspection terminals 105A and 105B are collectively referred to as the inspection terminal 105.

検査用端子105にインクが付着すると、検査用端子105が腐食し、インクジェット記録ヘッドが壊れる場合がある。そのため、検査用端子105は、インクなどと接触しないように、金メッキが施され、ノズル形成部材で覆われている。
特開平7−323549号公報
If ink adheres to the inspection terminal 105, the inspection terminal 105 may corrode and the ink jet recording head may be broken. Therefore, the inspection terminal 105 is plated with gold so as not to come into contact with ink or the like and is covered with a nozzle forming member.
Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-323549

しかしながら、従来の技術では、以下のような課題がある。   However, the conventional techniques have the following problems.

ヘッド製造において行われる加熱などにより、異種材料である基板とノズル形成部材の間に応力がかかることがある。   Stress may be applied between the substrate which is a different material and the nozzle forming member due to heating performed in the head manufacturing.

図8(a)は、検査用端子105が形成された基板106と、基板106に積層されたノズル形成部材107とを示した模式図である。図8(b)は、図8(a)のA部を拡大した模式的斜視図である。図8において、ノズル形成部材107には、複数の吐出口108が設けられており、また、図7に示したものと同一のものには同一符号を付してある。   FIG. 8A is a schematic diagram showing the substrate 106 on which the inspection terminal 105 is formed and the nozzle forming member 107 laminated on the substrate 106. FIG. 8B is an enlarged schematic perspective view of a portion A in FIG. In FIG. 8, the nozzle forming member 107 is provided with a plurality of discharge ports 108, and the same components as those shown in FIG.

検査用端子105などが形成されている基板106の外周部は、応力が集中しやすい。このため、図8に示したように、基板106とノズル形成部材107とが剥離した剥離部分109が発生することがある。   Stress tends to concentrate on the outer peripheral portion of the substrate 106 on which the inspection terminals 105 and the like are formed. For this reason, as shown in FIG. 8, a peeling portion 109 where the substrate 106 and the nozzle forming member 107 are peeled off may occur.

基板106からノズル形成部材107が剥がれている場合、ヘッド完成後に、検査用端子105にインクが接触することがあった。   When the nozzle forming member 107 is peeled from the substrate 106, the ink may contact the inspection terminal 105 after the head is completed.

図9(a)は、検査用端子105にインク110が接触していない状態を示した模式図である。図9(b)は、検査用端子105にインク110が接触した状態を示した模式図である。なお、図9において、図7に示したものと同一のものには同一符号を付してある。   FIG. 9A is a schematic diagram illustrating a state where the ink 110 is not in contact with the inspection terminal 105. FIG. 9B is a schematic diagram illustrating a state where the ink 110 is in contact with the inspection terminal 105. In FIG. 9, the same components as those shown in FIG.

通常、検査用端子105は、金メッキにて被覆されているため、インク110が接触しただけでは腐食しない。   Usually, since the inspection terminal 105 is covered with gold plating, it does not corrode only by the ink 110 coming into contact therewith.

しかし、基板106からノズル形成部材107が剥がれている場合、剥離部分109と基板106間に働くメニスカス力によりインク110は浸透しやすく、図9(b)に示すように、複数の検査用端子105Aおよび105Bにまたがってインク110が存在することが多い。   However, when the nozzle forming member 107 is peeled off from the substrate 106, the ink 110 is likely to penetrate due to the meniscus force acting between the peeling portion 109 and the substrate 106, and as shown in FIG. In many cases, the ink 110 is present across the boundary 105B.

検査用端子105Aは、エネルギー発生素子103および電源用電気接続端子101と接続している。このため、電源用電気接続端子101に電圧がかけられると、検査用端子105Aにも電圧がかかる。   The inspection terminal 105 </ b> A is connected to the energy generating element 103 and the power supply electrical connection terminal 101. For this reason, when a voltage is applied to the power supply electrical connection terminal 101, a voltage is also applied to the inspection terminal 105A.

よって、図9(b)に示した状態において電源用電気接続端子101に電圧がかけられると、インク110を通じて検査用端子105Aおよび105B間に電流が流れる。それにより、検査用端子105に形成されている金メッキの電気分解が徐々におこり、金の被覆が溶解することで、検査用端子105が剥き出しになる。このため、検査用端子105に腐食が起こり、最終的には、その腐食がヘッド駆動部分にまで進行して、インクジェット記録ヘッドが動作しなくなるという問題がある。   Therefore, when a voltage is applied to the power supply electrical connection terminal 101 in the state shown in FIG. 9B, a current flows between the inspection terminals 105 </ b> A and 105 </ b> B through the ink 110. Thereby, the electrolysis of the gold plating formed on the inspection terminal 105 gradually occurs, and the inspection terminal 105 is exposed by dissolving the gold coating. For this reason, there is a problem that the inspection terminal 105 is corroded and eventually the corrosion proceeds to the head driving portion, and the ink jet recording head is not operated.

なお、この問題は、駆動用の電流がインク110を通じて検査用端子105Aおよび105B間を流れることにより生じるため、検査用端子105がノズル形成部材107に元々覆われていないインクジェット記録ヘッドでも生じる可能性がある。   This problem occurs when a driving current flows between the inspection terminals 105 </ b> A and 105 </ b> B through the ink 110, so that the inspection terminal 105 may occur even in an ink jet recording head that is not originally covered with the nozzle forming member 107. There is.

本発明の目的は、検査用端子の腐食を抑制することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することである。   An object of the present invention is to provide an ink jet recording head capable of suppressing corrosion of an inspection terminal.

上記課題を解決するため、本発明のインクジェットプリントヘッドは、記録液を吐出させるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、前記複数のエネルギー発生素子を制御する複数の駆動回路、前記エネルギー発生素子および前記駆動回路を駆動する電気信号を受け付ける電気接続端子、を含む動作回路部と、前記動作回路部を検査するためのメッキされた検査用端子と、前記複数のエネルギー発生素子のそれぞれに対応する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれに連通する複数の液路と、を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記動作回路部と前記検査用端子の間には制御素子が設けられており、前記電気接続端子に前記電気信号が入力されているときに、前記制御素子は、前記動作回路部と前記検査用端子とを電気的に切断するTo solve the above problems, an ink jet print head of the present invention includes a plurality of drive circuits for controlling a plurality of energy generating elements for generating energy for ejecting recording liquid, a plurality of energy generating elements, said energy generating element And an electric connection terminal for receiving an electric signal for driving the driving circuit, an operation circuit unit including a plated inspection terminal for inspecting the operation circuit unit, and each of the plurality of energy generating elements In the inkjet recording head having a plurality of discharge ports and a plurality of liquid paths communicating with each of the plurality of discharge ports, a control element is provided between the operation circuit unit and the inspection terminal. When the electrical signal is input to the electrical connection terminal, the control element includes the operation circuit unit and the inspection terminal. Door to electrically disconnect the.

本発明によれば、インクジェット記録ヘッドにおいて検査用端子の腐食を抑制することが可能になる。   According to the present invention, it is possible to suppress corrosion of the inspection terminal in the ink jet recording head.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、液体を噴出し飛翔液滴を形成して記録を行うものであり、液体吐出ヘッドに適用される。この液体吐出ヘッドは、被記録媒体に対し記録を行う、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置などに用いられる。被記録媒体としては、例えば、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材またはセラミックスが用いられる。   The ink jet recording head of the present embodiment performs recording by ejecting liquid and forming flying droplets, and is applied to a liquid ejection head. This liquid discharge head is a printer, a copying machine, a facsimile having a communication system, a word processor having a printer unit, etc. for recording on a recording medium, and an industrial recording device combined with various processing devices. Used for. As the recording medium, for example, paper, thread, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, or ceramic is used.

なお、「記録」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することも意味する。   Note that “recording” means not only giving an image having a meaning such as a character or a figure to a recording medium but also giving an image having no meaning such as a pattern.

(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態のインクジェット記録ヘッドが有する基板を示した模式図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a substrate included in the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention.

図1において、基板1には、複数のエネルギー発生素子2と、複数のドライバ部3と、複数のロジック回路部4と、複数の電気接続端子5と、複数の検査用端子6と、複数の制御素子7とが形成されている。   In FIG. 1, a substrate 1 includes a plurality of energy generating elements 2, a plurality of driver units 3, a plurality of logic circuit units 4, a plurality of electrical connection terminals 5, a plurality of test terminals 6, and a plurality of test terminals. A control element 7 is formed.

基板1は、シリコン半導体基板などに半導体製造技術を用いて、略矩形状に形成される。基板1の中央部には、長手方向に伸びる貫通孔であるインク供給口20が形成されている。   The substrate 1 is formed in a substantially rectangular shape using a semiconductor manufacturing technique on a silicon semiconductor substrate or the like. In the central portion of the substrate 1, an ink supply port 20 which is a through hole extending in the longitudinal direction is formed.

複数のエネルギー発生素子2は、インク供給口20の両側に沿って設けられている。エネルギー発生素子2は、記録液であるインク液滴を吐出させるためのエネルギーを発生する。   The plurality of energy generating elements 2 are provided along both sides of the ink supply port 20. The energy generating element 2 generates energy for ejecting ink droplets that are recording liquid.

ドライバ部3およびロジック回路部4は、エネルギー発生素子2の駆動を制御するための駆動回路を構成する。   The driver unit 3 and the logic circuit unit 4 constitute a drive circuit for controlling the driving of the energy generating element 2.

ドライバ部3は、それぞれのエネルギー発生素子2を駆動するためのドライバなどを含む。ドライバは、典型的にはエネルギー発生素子2ごとに設けられ、スイッチ用のトランジスタなどからなる。ドライバ部3は、インク供給口20の両側で、かつ、エネルギー発生素子2の外側に設けられている。   The driver unit 3 includes a driver for driving each energy generating element 2. The driver is typically provided for each energy generating element 2 and includes a switching transistor or the like. The driver unit 3 is provided on both sides of the ink supply port 20 and outside the energy generating element 2.

ロジック回路部4および電気接続端子5は、インク供給口20の短手端部の両側に設けられている。   The logic circuit unit 4 and the electrical connection terminal 5 are provided on both sides of the short end of the ink supply port 20.

各電気接続端子5は、ワイヤーボンディングなどの電気的接続手段を用いることにより、インクジェット記録装置と電気的に接続させる。各電気接続端子5は、駆動電圧を受け付ける電源用電気接続端子と、GNDに接続されるGND用電気接続端子と、ドライバ部3内の各トランジスタのオン/オフを制御する制御信号を受け付ける制御信号用電気接続端子とのいずれかに分類される。なお、駆動電圧は、エネルギー発生素子2および駆動回路を駆動する電気信号の一例である。   Each electrical connection terminal 5 is electrically connected to the ink jet recording apparatus by using electrical connection means such as wire bonding. Each electrical connection terminal 5 is a control signal that receives a power supply electrical connection terminal that receives a drive voltage, a GND electrical connection terminal that is connected to GND, and a control signal that controls on / off of each transistor in the driver unit 3. It is classified as one of the electrical connection terminals. The drive voltage is an example of an electrical signal that drives the energy generating element 2 and the drive circuit.

ロジック回路部4は、制御信号用電気接続端子を介してインクジェット記録装置本体側から制御信号を受け付けた際に、その制御信号に基づいてドライバ部3内の各トランジスタのオン/オフを制御する。   When the logic circuit unit 4 receives a control signal from the main body of the inkjet recording apparatus via the control signal electrical connection terminal, the logic circuit unit 4 controls on / off of each transistor in the driver unit 3 based on the control signal.

検査用端子6は、例えば、エネルギー発生素子2、ドライバ部3、ロジック回路部4および電気接続端子5の駆動の特性を検査するために用いられる。検査用端子6は、金、白金、パラジウム、イリジウム、もしくはそれらの合金で、メッキされている。   The inspection terminal 6 is used for inspecting the driving characteristics of the energy generating element 2, the driver unit 3, the logic circuit unit 4, and the electrical connection terminal 5, for example. The inspection terminal 6 is plated with gold, platinum, palladium, iridium, or an alloy thereof.

制御素子7は、電気接続端子5と検査用端子6の間を流れる電流の方向を制御する。   The control element 7 controls the direction of current flowing between the electrical connection terminal 5 and the inspection terminal 6.

基板1上には、ノズル形成部材が積層されている。本実施例では、検査用端子6は、ノズル形成部材にて覆われている。   A nozzle forming member is laminated on the substrate 1. In this embodiment, the inspection terminal 6 is covered with a nozzle forming member.

図2は、ノズル形成部材8が積層された基板1を示した模式図である。   FIG. 2 is a schematic view showing the substrate 1 on which the nozzle forming member 8 is laminated.

図2において、ノズル形成部材8には、複数の吐出口9および複数の液路10が形成されている。吐出口9および液路10は、フォトリソグラフィ工程を用いて形成されている。   In FIG. 2, a plurality of discharge ports 9 and a plurality of liquid paths 10 are formed in the nozzle forming member 8. The discharge port 9 and the liquid path 10 are formed using a photolithography process.

各吐出口9は、複数のエネルギー発生素子2のそれぞれに対応する。複数の液路10は、複数吐出口9のそれぞれに連通し、インク供給口20から供給されたインクを、各吐出口9に対応する各エネルギー発生素子2に供給する。   Each discharge port 9 corresponds to each of the plurality of energy generating elements 2. The plurality of liquid passages 10 communicate with each of the plurality of ejection ports 9, and supply the ink supplied from the ink supply ports 20 to each energy generating element 2 corresponding to each ejection port 9.

図3は、ノズル形成部材8が積層された基板1を用いたインクジェット記録ヘッドを示した模式的斜視図である。   FIG. 3 is a schematic perspective view showing an ink jet recording head using the substrate 1 on which the nozzle forming member 8 is laminated.

図3において、基板1の電気接続端子5は、電気配線部材であるTAB12と接続され、さらに、基板1が接着剤によりタンク形成部材11と接合されて、インクジェット記録ヘッドが形成されている。   In FIG. 3, the electrical connection terminal 5 of the substrate 1 is connected to a TAB 12 that is an electrical wiring member, and the substrate 1 is joined to the tank forming member 11 with an adhesive to form an ink jet recording head.

図3に示したインクジェット記録ヘッドでは、電気接続端子5を介して、基板1に信号が入力したときに、ロジック回路部4のロジック回路が、ドライバ部3のトランジスタすなわちドライバをオン/オフする。オンしたトランジスタに接続されているエネルギー発生素子2は、通電して発熱し、エネルギー発生素子2上のインクが加熱され、インク内に急速に泡が発生することにより、吐出口9からインクが飛ばされる。   In the ink jet recording head shown in FIG. 3, when a signal is input to the substrate 1 through the electrical connection terminal 5, the logic circuit of the logic circuit unit 4 turns on / off the transistor of the driver unit 3, that is, the driver. The energy generating element 2 connected to the turned-on transistor generates heat when energized, the ink on the energy generating element 2 is heated, and bubbles are rapidly generated in the ink, so that the ink is blown from the discharge port 9. It is.

図4は、エネルギー発生素子2と、電気接続端子5と、検査用端子6と、制御素子7と、駆動回路の一部(具体的には、ドライバ部3のトランジスタ)3aとを示した模式的回路図である。なお、エネルギー発生素子2と、電気接続端子5と、駆動回路3aとで、動作回路部14を構成する。図4において、制御素子7は、動作回路部14と検査用端子6の間を流れる電流の向きを制御する。   FIG. 4 is a schematic diagram showing the energy generating element 2, the electrical connection terminal 5, the inspection terminal 6, the control element 7, and a part of the drive circuit (specifically, the transistor of the driver unit 3) 3a. FIG. The energy generating element 2, the electrical connection terminal 5, and the drive circuit 3a constitute an operation circuit unit 14. In FIG. 4, the control element 7 controls the direction of the current flowing between the operation circuit unit 14 and the inspection terminal 6.

さらに、図5は、制御素子としてpMOSトランジスタを使用して、pMOSトランジスタ7aのゲートに電圧がかかっている際に、動作回路部14から検査用端子6に電流が流れない構成を示した模式的回路図である。なお、図5において、図4に示したものと同一のものには同一符号を付してある。   Further, FIG. 5 is a schematic diagram showing a configuration in which a pMOS transistor is used as a control element and no current flows from the operation circuit unit 14 to the test terminal 6 when a voltage is applied to the gate of the pMOS transistor 7a. It is a circuit diagram. In FIG. 5, the same components as those shown in FIG.

図5では、さらに、pMOSトランジスタ7aのゲートの前段にインバータ15を設置してpMOSトランジスタ7aのオン/オフの制御を行う構成としている。   Further, in FIG. 5, an inverter 15 is provided in front of the gate of the pMOS transistor 7a to control the on / off of the pMOS transistor 7a.

図5において、pMOSトランジスタ7aは、基板1のエネルギー発生素子2などを形成する際の半導体工程(不図示)中に形成される。pMOSトランジスタ7aのドレインは、動作回路部14に接続し、そのソースは検査用端子6に接続し、そのゲートには、CMOSインバータ15が形成されている。   In FIG. 5, the pMOS transistor 7a is formed during a semiconductor process (not shown) in forming the energy generating element 2 and the like of the substrate 1. The drain of the pMOS transistor 7a is connected to the operation circuit section 14, its source is connected to the inspection terminal 6, and a CMOS inverter 15 is formed at its gate.

端子Vinに電圧が入力されると、CMOSインバータ15のnMOS部15aが働き、pMOSトランジスタ7aのゲートに電圧がかからず、pMOSトランジスタ7aはオンとなる。よって、検査用端子6と動作回路部14は導通する。   When a voltage is input to the terminal Vin, the nMOS portion 15a of the CMOS inverter 15 operates, no voltage is applied to the gate of the pMOS transistor 7a, and the pMOS transistor 7a is turned on. Therefore, the inspection terminal 6 and the operation circuit unit 14 are electrically connected.

一方、端子Vinに電圧が入力されないと、CMOSインバータ15のpMOS部15bが働き、pMOSトランジスタ7aのゲートに駆動電圧Vddがかかるため、pMOSトランジスタ7aはオフとなる。よって、検査用端子6は、動作回路部14と電気的に切断され、例えば、動作回路部14から検査用端子6に向かって電流が流れなくなる。   On the other hand, when no voltage is input to the terminal Vin, the pMOS section 15b of the CMOS inverter 15 operates and the drive voltage Vdd is applied to the gate of the pMOS transistor 7a, so that the pMOS transistor 7a is turned off. Therefore, the inspection terminal 6 is electrically disconnected from the operation circuit unit 14 and, for example, no current flows from the operation circuit unit 14 toward the inspection terminal 6.

よって、検査時に検査用端子6が使用される場合には、端子Vinに電圧が入力されることで、pMOSトランジスタ7aがオンとなり、検査用端子6から動作回路部14に電流が流れる。   Therefore, when the inspection terminal 6 is used at the time of inspection, a voltage is input to the terminal Vin, whereby the pMOS transistor 7a is turned on, and a current flows from the inspection terminal 6 to the operation circuit unit 14.

一方、プリント時には、端子Vinの電圧が解除されることで、pMOSトランジスタ7aがオフとなり、動作回路部14から検査用端子6に電流が流れなくなる。   On the other hand, at the time of printing, the voltage at the terminal Vin is released, so that the pMOS transistor 7a is turned off, and no current flows from the operation circuit unit 14 to the inspection terminal 6.

検査用端子6は、図7の検査用端子105Aのように入力側として使用される端子と、図7の検査用端子105Bのように出力側として使用される端子がある。   The inspection terminal 6 includes a terminal used as an input side like the inspection terminal 105A in FIG. 7 and a terminal used as an output side like the inspection terminal 105B in FIG.

制御素子7としてpMOSトランジスタが用いられ、CMOSインバータなどでpMOSトランジスタのオン/オフが制御されると、検査用端子6が入出力のいずれであっても、同様の構成で検査用端子6に流れる電流を止めることが可能になる。このため、検査用端子6の腐食を防ぐことができる。   When a pMOS transistor is used as the control element 7 and ON / OFF of the pMOS transistor is controlled by a CMOS inverter or the like, the inspection terminal 6 flows to the inspection terminal 6 with the same configuration regardless of whether the inspection terminal 6 is input or output. It becomes possible to stop the current. For this reason, corrosion of the inspection terminal 6 can be prevented.

本出願人は、第1の実施形態のインクジェット記録ヘッドにおいて、インクを強制的に検査用端子6上に接触させ、一般消費者のもとで使用される状態を想定した加速評価にて検査用端子6部分の確認を行った。その結果、検査用端子6に電流が流れないため、検査用端子6の腐食は発生しなかった。   In the inkjet recording head according to the first embodiment, the applicant forcibly contacts the ink on the inspection terminal 6 and uses the acceleration evaluation assuming that the ink is used under the general consumer. The terminal 6 part was confirmed. As a result, since no current flows through the inspection terminal 6, the inspection terminal 6 was not corroded.

また、基板1の外周部分でノズル形成部材8が基板1から剥離しても、ノズル形成部材8が検査用端子6を覆い続けるには、検査用端子6が形成された部分の外側に、基板1とノズル形成部材8の積層部分を剥離予定部分だけ余計に設ける必要がある。そのため、構成の大型化およびコストがかかってしまうため好ましくない。   Further, in order to keep the nozzle forming member 8 covering the inspection terminal 6 even if the nozzle forming member 8 is peeled off from the substrate 1 at the outer peripheral portion of the substrate 1, the substrate is formed outside the portion where the inspection terminal 6 is formed. 1 and the nozzle forming member 8 need to be provided with an extra portion to be separated. Therefore, it is not preferable because the configuration is increased in size and cost.

本実施形態では、動作回路部14と検査用端子6との間に制御素子7を配置することで、基板1とノズル形成部材8が剥離をおこしたとしても、検査用端子6に電流が流れないため、基板1を大きくすることなく検査用端子6の腐食を防ぐことができる。また、メッキされた検査用端子6がノズル形成部材8に元々覆われていなくても、検査用端子6のメッキが電気分解され難くなるため、検査用端子6の腐食を防ぐことが可能になる。   In the present embodiment, by arranging the control element 7 between the operation circuit portion 14 and the inspection terminal 6, even if the substrate 1 and the nozzle forming member 8 are separated, a current flows through the inspection terminal 6. Therefore, corrosion of the inspection terminal 6 can be prevented without increasing the size of the substrate 1. Further, even if the plated inspection terminal 6 is not originally covered with the nozzle forming member 8, the plating of the inspection terminal 6 becomes difficult to be electrolyzed, so that corrosion of the inspection terminal 6 can be prevented. .

本実施形態によれば、制御素子7は、動作回路部14と検査用端子6の間を流れる電流の向きを制御する。よって、電気接続端子5に駆動用の電気信号が入力された場合に、電流が、動作回路部14から検査用端子6に流れないようにすることで、インクが接触した検査用端子6のメッキの電気分解を防止することが可能になる。このため、検査用端子6の腐食を防ぐことができ、ヘッドの信頼性を向上することができる。   According to the present embodiment, the control element 7 controls the direction of the current flowing between the operation circuit unit 14 and the inspection terminal 6. Therefore, when an electrical signal for driving is input to the electrical connection terminal 5, the current is prevented from flowing from the operation circuit unit 14 to the inspection terminal 6, thereby plating the inspection terminal 6 in contact with the ink. It becomes possible to prevent electrolysis of the. For this reason, corrosion of the inspection terminal 6 can be prevented, and the reliability of the head can be improved.

なお、本実施形態では、動作回路部14および検査用端子6が基板1に設けられ、吐出口9および液路10がノズル形成部材8に設けられ、検査用端子6はノズル形成部材8にて覆われている。   In the present embodiment, the operation circuit portion 14 and the inspection terminal 6 are provided on the substrate 1, the discharge port 9 and the liquid path 10 are provided on the nozzle forming member 8, and the inspection terminal 6 is formed by the nozzle forming member 8. Covered.

この場合、ノズル形成部材8が、検査用端子6が形成された基板1の箇所と剥離すると、インクは、ノズル形成部材8の剥離部分と基板1間に働くメニスカス力によって複数の検査用端子6に接触することが多くなる。しかしながら、制御素子7によって、電気接続端子5に駆動用の電気信号が入力された場合に電流が動作回路部14から検査用端子6に流れないようにすることで、インクが接触した検査用端子6のメッキの電気分解を防止することが可能になる。   In this case, when the nozzle forming member 8 is peeled off from the portion of the substrate 1 on which the inspection terminal 6 is formed, the ink is subjected to a plurality of inspection terminals 6 by a meniscus force acting between the peeling portion of the nozzle forming member 8 and the substrate 1. The more you touch. However, the control element 7 prevents the current from flowing from the operation circuit unit 14 to the inspection terminal 6 when a driving electrical signal is input to the electrical connection terminal 5, so that the inspection terminal contacted with the ink can be obtained. It is possible to prevent electrolysis of the plating 6.

また、本実施形態では、制御素子7として、MOSトランジスタ7aが用いられている。この場合、検査用端子6と動作回路部14との電気的な接続を適宜制御することが可能になる。   In the present embodiment, a MOS transistor 7 a is used as the control element 7. In this case, the electrical connection between the inspection terminal 6 and the operation circuit unit 14 can be appropriately controlled.

(第2の実施形態)
図6は、本発明の第2の実施形態を示した模式的回路図である。
(Second Embodiment)
FIG. 6 is a schematic circuit diagram showing a second embodiment of the present invention.

本実施形態において、図7の検査用端子105Aのような入力側となる検査用端子6に接続される制御素子7として、ダイオード7bが用いられている。なお、本実施形態において、他の構成は第1の実施形態と同様である。   In the present embodiment, a diode 7b is used as the control element 7 connected to the inspection terminal 6 on the input side such as the inspection terminal 105A of FIG. In this embodiment, other configurations are the same as those in the first embodiment.

ダイオード7bは、基板1のエネルギー発生素子2などを形成する際の半導体工程(不図示)中に形成され、ダイオード7bの順方向電圧の方向が検査用端子6からダイオード7bに向かう方向となるように形成されている。このため、電気接続端子5に電圧をかけても、動作回路部14から検査用端子6に電流が流れなくなる。   The diode 7b is formed during a semiconductor process (not shown) when forming the energy generating element 2 and the like of the substrate 1 so that the forward voltage direction of the diode 7b is directed from the inspection terminal 6 toward the diode 7b. Is formed. For this reason, even when a voltage is applied to the electrical connection terminal 5, no current flows from the operation circuit unit 14 to the inspection terminal 6.

本出願人は、第2の実施形態のインクジェット記録ヘッドを用いて、インクを強制的に検査用端子6上に接触させ、一般消費者のもとで使用される状態を想定した加速評価にて検査用端子6を確認した。その結果、検査用端子6に電流が流れないため、検査用端子6は腐食しなかった。   The applicant of the present invention uses the inkjet recording head of the second embodiment to force ink to contact the inspection terminal 6 and perform an accelerated evaluation assuming a state where the ink is used under ordinary consumers. Inspection terminal 6 was confirmed. As a result, current did not flow through the inspection terminal 6, and the inspection terminal 6 did not corrode.

なお、第1の実施形態において、制御素子7としてMOSトランジスタを用いたが、この場合、MOSトランジスタのオン/オフを制御する必要がある。よって、この場合、インバータなどによるMOSトランジスタに付随した制御が必要となる場合があり、基板上の回路が複雑となる。   In the first embodiment, a MOS transistor is used as the control element 7. However, in this case, it is necessary to control on / off of the MOS transistor. Therefore, in this case, control associated with the MOS transistor such as an inverter may be required, and the circuit on the substrate becomes complicated.

第2の実施形態では、制御素子7としてダイオードが使用されているので、制御素子7のオン/オフを制御する回路を不要にでき、配線が複雑になることがなく、検査用端子6の腐食を防ぐことができる。   In the second embodiment, since a diode is used as the control element 7, a circuit for controlling on / off of the control element 7 can be eliminated, wiring is not complicated, and the inspection terminal 6 is corroded. Can be prevented.

なお、インクジェット記録ヘッドの駆動に関する検査では、動作回路部14から検査用端子6に電流を流すことが必要な個所もあり、このような個所において制御素子7としてダイオードを使用することは困難である。そのため、検査用端子6の目的に応じて、制御素子7としてpMOSトランジスタ、nMOSトランジスタ、ダイオードを使い分け、基板1中に数種の制御素子7を設置してもよい。   In the inspection relating to the driving of the ink jet recording head, there are places where it is necessary to pass a current from the operation circuit section 14 to the inspection terminal 6, and it is difficult to use a diode as the control element 7 in such a place. . Therefore, depending on the purpose of the inspection terminal 6, a pMOS transistor, an nMOS transistor, and a diode may be selectively used as the control element 7, and several kinds of control elements 7 may be installed in the substrate 1.

本実施形態によれば、制御素子7として、ダイオードが用いられているため、ダイオードにかかる電圧の向きによって、動作回路部14と検査用端子6の間を流れる電流の向きが制御される。このため、MOSトランジスタを用いた場合に必要となるオン/オフ制御回路を不要にでき、構成の簡略化を図ることが可能になる。   According to the present embodiment, since a diode is used as the control element 7, the direction of the current flowing between the operation circuit unit 14 and the inspection terminal 6 is controlled by the direction of the voltage applied to the diode. For this reason, an on / off control circuit required when a MOS transistor is used can be eliminated, and the configuration can be simplified.

以上説明した各実施形態において、図示した構成は単なる一例であって、本発明はその構成に限定されるものではない。   In each embodiment described above, the illustrated configuration is merely an example, and the present invention is not limited to the configuration.

例えば、第1の実施形態において、制御素子7として、nMOSトランジスタが用いられてもよい。   For example, in the first embodiment, an nMOS transistor may be used as the control element 7.

また、第2の実施形態において、図7の検査用端子105Bのような出力側となる検査用端子6に接続される制御素子7として、ダイオードが用いられてもよい。この場合、そのダイオードは、ダイオードの順方向電圧の方向が動作回路部14からダイオードに向かう方向となるように形成される。よって、電気接続端子5に電圧をかけても、動作回路部14から検査用端子6に電流が流れなくなる。   In the second embodiment, a diode may be used as the control element 7 connected to the inspection terminal 6 on the output side such as the inspection terminal 105B of FIG. In this case, the diode is formed such that the direction of the forward voltage of the diode is the direction from the operation circuit unit 14 toward the diode. Therefore, even when a voltage is applied to the electrical connection terminal 5, no current flows from the operation circuit unit 14 to the inspection terminal 6.

本発明の第1の実施形態のインクジェット記録ヘッドが有する基板を示した模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a substrate included in the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention. ノズル形成部材8が積層された基板1を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the board | substrate 1 with which the nozzle formation member 8 was laminated | stacked. 第1の実施形態のインクジェット記録ヘッドを示した模式的斜視図である。1 is a schematic perspective view showing an ink jet recording head of a first embodiment. 第1の実施形態を示した模式的回路図である。1 is a schematic circuit diagram illustrating a first embodiment. 第1の実施形態を示した模式的回路図である。1 is a schematic circuit diagram illustrating a first embodiment. 本発明の第2の実施形態を示した模式的回路図である。It is the typical circuit diagram which showed the 2nd Embodiment of this invention. 従来の検査用端子の配線を示した回路図である。It is the circuit diagram which showed the wiring of the conventional test | inspection terminal. 従来の基板とノズル形成部材とを示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the conventional board | substrate and the nozzle formation member. 従来の検査用端子の配線を示した回路図である。It is the circuit diagram which showed the wiring of the conventional test | inspection terminal.

符号の説明Explanation of symbols

2 エネルギー発生素子
3a 駆動回路
5 電気接続端子
6 検査用端子
7 制御素子
9 吐出口
10 液路
14 動作回路部
2 Energy generating element 3a Drive circuit 5 Electrical connection terminal 6 Inspection terminal 7 Control element 9 Discharge port 10 Liquid path 14 Operation circuit section

Claims (4)

記録液を吐出させるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、前記複数のエネルギー発生素子を制御する複数の駆動回路、前記エネルギー発生素子および前記駆動回路を駆動する電気信号を受け付ける電気接続端子、を含む動作回路部と、
前記動作回路部を検査するためのメッキされた検査用端子と、
前記複数のエネルギー発生素子のそれぞれに対応する複数の吐出口と、
前記複数の吐出口のそれぞれに連通する複数の液路と、を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記動作回路部と前記検査用端子の間には制御素子が設けられており、前記電気接続端子に前記電気信号が入力されているときに、前記制御素子は、前記動作回路部と前記検査用端子とを電気的に切断することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
A plurality of energy generating elements for generating energy for ejecting recording liquid, a plurality of drive circuits for controlling said plurality of energy generating elements, and electrical connections for accepting the electrical signal for driving the energy generating element and the driving circuit An operation circuit unit including
Plated inspection terminals for inspecting the operating circuit section;
A plurality of ejection openings corresponding to each of the plurality of energy generating elements;
In an inkjet recording head having a plurality of liquid passages communicating with each of the plurality of ejection ports,
A control element is provided between the operation circuit unit and the inspection terminal, and when the electrical signal is input to the electrical connection terminal, the control element is connected to the operation circuit unit and the inspection terminal. An ink jet recording head, wherein a terminal is electrically disconnected .
前記動作回路部および前記検査用端子が設けられた基板と、前記吐出口および前記液路が設けられ前記検査用端子を覆っているノズル形成部材と、を含む、請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。   The inkjet recording according to claim 1, comprising: a substrate on which the operation circuit unit and the inspection terminal are provided; and a nozzle forming member that is provided with the discharge port and the liquid path and covers the inspection terminal. head. 前記制御素子は、入力端子を有するMOSトランジスタからな
前記入力端子に電圧を入力していないときに、前記動作回路部と前記検査用端子とを電気的に切断することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
The control element, Ri Do a MOS transistor having an input terminal,
2. The ink jet recording head according to claim 1 , wherein when no voltage is input to the input terminal, the operation circuit unit and the inspection terminal are electrically disconnected .
前記制御素子は、前記動作回路部を検査するときに、前記動作回路部と前記検査用端子とを導通することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。 4. The ink jet recording head according to claim 1 , wherein the control element conducts the operation circuit unit and the inspection terminal when inspecting the operation circuit unit . 5.
JP2006325948A 2006-12-01 2006-12-01 Inkjet recording head Expired - Fee Related JP4402101B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006325948A JP4402101B2 (en) 2006-12-01 2006-12-01 Inkjet recording head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006325948A JP4402101B2 (en) 2006-12-01 2006-12-01 Inkjet recording head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008137276A JP2008137276A (en) 2008-06-19
JP4402101B2 true JP4402101B2 (en) 2010-01-20

Family

ID=39599248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006325948A Expired - Fee Related JP4402101B2 (en) 2006-12-01 2006-12-01 Inkjet recording head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4402101B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5922918B2 (en) * 2011-12-05 2016-05-24 キヤノン株式会社 Semiconductor device for liquid discharge head, liquid discharge head, and liquid discharge device
BR112016012007B1 (en) 2013-11-27 2022-12-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P FLUID EJECTION APPARATUS AND METHOD FOR OPERATING A FLUID EJECTION APPARATUS
ES2936873T3 (en) * 2019-02-06 2023-03-22 Hewlett Packard Development Co drop devices

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008137276A (en) 2008-06-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9096059B2 (en) Substrate for inkjet head, inkjet head, and inkjet printing apparatus
US7472975B2 (en) Substrate for ink jet printing head, ink jet printing head, ink jet printing apparatus, and method of blowing fuse element of ink jet printing head
US8057000B2 (en) Element substrate, printhead, head cartridge, and printing apparatus
US8943690B2 (en) Method for manufacturing substrate for liquid ejection head and method for manufacturing liquid ejection head
JP6039411B2 (en) Inkjet head substrate, inkjet head, and inkjet head manufacturing method
JP4402101B2 (en) Inkjet recording head
JP6143455B2 (en) Inkjet head substrate, inkjet head, and inkjet recording apparatus
JP2004050637A (en) Substrate for inkjet head, inkjet head, and inkjet recorder employing inkjet head
US10434772B2 (en) Printhead and printing apparatus
JP5765924B2 (en) Liquid ejection head driving method, liquid ejection head, and liquid ejection apparatus
JP4183226B2 (en) RECORDING HEAD SUBSTRATE, RECORDING HEAD, RECORDING DEVICE, AND RECORDING HEAD SUBSTRATE INSPECTION METHOD
US20080129782A1 (en) Element substrate, printhead, head cartridge, and printing apparatus
US10994532B2 (en) Liquid discharge apparatus and control method thereof
US20130219702A1 (en) Method for manufacturing liquid ejection head
US7835127B2 (en) Driver device and liquid droplet ejection head
JP6497902B2 (en) Recording head substrate, recording head, and recording apparatus
US20080106578A1 (en) Thermal inkjet printhead
JP5043564B2 (en) Inkjet recording head substrate and inkjet recording head comprising the substrate
JP3998239B2 (en) Inkjet head substrate, inkjet head, and inkjet recording apparatus using the inkjet head
JP7577515B2 (en) Inkjet head and inkjet printer
JP5201872B2 (en) Ink jet recording head and method for storing information in ink jet recording head
JP2002355968A (en) Substrate for liquid ejection head and liquid ejection head comprising it
JP2005209757A (en) Bonding method, liquid discharge device, and semiconductor device
JP6302513B2 (en) Printhead substrate and printing apparatus
JP2009274267A (en) Liquid delivery head and recorder

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090204

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090819

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090925

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091021

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091028

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121106

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131106

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees