JP4496447B2

JP4496447B2 - 基板移載装置

Info

Publication number: JP4496447B2
Application number: JP2000205354A
Authority: JP
Inventors: 孝久鈴木; 弘記村上; 浩鈴岡; 佳均冨波
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2000-07-06
Filing date: 2000-07-06
Publication date: 2010-07-07
Anticipated expiration: 2020-07-06
Also published as: JP2002019959A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイ用基板又はガラス基板を移載する基板移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造プロセスでは、プラズマディスプレイ用基板の洗浄、印刷、焼成工程を経て、リブの形成や電極の形成が完了する。これらの工程の装置は、ほとんどが１枚ずつの枚葉毎に加工される。一方、各工程への基板の搬送は、搬送時間の関係から複数枚をまとめてカセットによる搬送が行われる。従って、各工程への投入及び完了後は図４に示すカセットステーションが設置され、カセットから基板を取り出し、カセットに基板を格納する基板移載機が使用される。
【０００３】
カセットは、図５に模式的に示すように、取出し側を除く外縁部で基板１を水平に支持し、上下方向に間隔を隔てて複数（例えば１５〜２０枚）を収納するようになっている。基板１の表面はドーピングその他の処理を行うため、異物との接触を完全に回避する必要がある。そのため、従来は、図６に示すような関節アームロボットを基板移載装置として用い、薄いハンド６を基板１の間に水平に挿入し、裏面から支持して基板を僅かに持ち上げてカセットから取り出し、自動移載していた。
【０００４】
しかし、上述した従来の基板移載装置には、以下の問題点があった。
（１）近年のプラズマディスプレイの製造では、従来の液晶ディスプレイに比べ、基板寸法も大型化（例えば１０００ｍｍ×１４００ｍｍ）し、その重量も倍加している。そのため、従来の液晶ディスプレイの製造で使用されていた関節アームロボットでは、この大型基板のハンドリングは出来ない。また、従来の関節アームロボットを大型化した場合でも、アームが長くなり、アームの揺動等に要するスペースが大きくなり、クリーンルームを大型化する必要が生じ、設備費及び運転費が大幅に増大する。
（２）また、関節アームロボットで基板を移載する場合には、アーム先端部のハンドで基板を抜き出し、ハンドを水平に旋回又は反転させて所望の位置まで移動させる必要がある。そのため、アームの作動が複雑化するばかりでなく、アーム等の重量が大きいため高速作動が困難となり、動作速度が遅くなりかつ位置決め精度が低下する。また、これを無理に高速化・高精度化しようとすると、装置動力が大幅に増大する。
【０００５】
これらの問題点を解決するために、本発明の発明者等は先に、図７に示す基板移載装置を創案し出願した（特開平１１−２２７９４３号）。この基板移載装置は、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる搬入ハンド４と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる搬出ハンド５とを備え、この搬入ハンド及び搬出ハンドが、搬入位置の基板の取出方向Ｘにそれぞれ水平移動可能かつ上下動可能であり、かつ中間位置で互いに上下に交叉可能であり、更にその一方が下降している際に、他方が上昇してＸ方向に水平移動可能に構成されたものである。なお、この図で、６は水平移動装置、７は上下動装置である。
【０００６】
この構成により、可動部分が小さくシンプルな構造で大型の基板を高速で移載でき、必要設置スペースが小さく、移載距離が大きい場合でも高精度で移載でき、かつ必要動力が小さい基板移載装置とすることが可能となった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開平１１−２２７９４３号の基板移載装置には、以下の問題点があった。
（１）搬入ハンド４と搬出ハンド５の相互の干渉を避けるために、中間位置で互いに上下に交叉可能なフィンガー部４ａ，５ａをＸ方向外方端部で片持ち支持する支持部４ｂ，５ｂを必要とし、その分余分なデッドスペースが必要となる。
（２）また、大きな基板１の外側に基板を取り回すための支持部４ｂ，５ｂや水平移動装置６等を必要とする。
これらの理由から、必要設置スペースを更に小さくすることが困難であり、装置全体の占めるスペースが大きく、これを収納するクリーンルームが大型化しそのコストが過大となる問題点があった。
（３）更に、基板１の搬出位置（受取り側）に、フィンガー部４ａ，５ａとの干渉を避けるために、プッシュアップ機構などの特殊装置を必要とし、通常のローラコンベアの使用ができない問題点があった。
（４）また、搬入位置から基板を取り出し、中間位置で乗せ替え、搬出位置に移載するまで、次の基板の取り出しを開始できず、移載のハンドリング時間が長く、サイクルタイムが長い問題点があった。
【０００８】
これらの問題点を解決するために、本発明の発明者等は、先に、中間基板受けの無いものと有るものの２種の基板移載装置を創案し出願した（特願２０００-１２２０３４号、未公開）。
【０００９】
中間基板受けの無い基板移載装置は、図８に模式的に示すように、移載ハンド８と中間水平コンベア９を備え、（Ａ）移載ハンド８をコンベアの下でカセット２の最下段の基板１の下に挿入し、（Ｂ）基板１を移載ハンド８の上に載せてコンベアの上で移載ハンド８を抜き出し、（Ｃ）コンベア９の間を縫って移載ハンド８を下降し、基板１をコンベア９の上に載せ替えるものである。（Ｄ）次いで、コンベア９の上の基板１を搬送ラインのコンベア装置１０に移載しながら、並行して移載ハンド８をコンベアの下でカセット２の次の最下段の基板１の下に挿入する。このステップの繰替えしにより、基板１を順次、カセット２から取り出し、搬送ラインのコンベア装置１０に移載することができる。
【００１０】
この基板移載装置は、作動がシンプルである特徴を有するが、移載ハンド８と中間水平コンベア９の干渉を避けるため、移載ハンド８を中間水平コンベア９と同レベルで水平移動させることができない。そのため、カセット２内の最下段基板１とカセット底板までのクリアランスが大きくなり、カセット２内のデッドスペースが大きい問題点がある。
また、この基板移載装置で、カセット内の最後の基板１を（Ｃ）のステップまで移載した後、（Ｄ）のステップに移ると、空のカセット内に移載ハンドを挿入することになり、次の新しいカセットへの交換作業を妨害することになる。そのため、カセットの交換作業の間、（Ｃ）のステップで移載ハンドを停止させておく必要が生じ、その分待ち時間が長くなり、タクトタイムが長くなる。
【００１１】
一方、中間基板受けを有する基板移載装置は、図９に模式的に示すように、移載ハンド８と中間水平コンベア９の他に中間基板受け１１を備え、（Ａ）ハンド８がコンベア９の上を通ってカセット２の基板１を取り出し、（Ｂ）ハンド８の下降と基板受け１１の上昇で基板１を基板受け１１に載せ替え、（Ｃ）ハンド８をコンベア９と干渉しない位置でコンベアの下まで下降し、（Ｄ）基板受け１１を下降して基板１をコンベア９に載せ替え、（Ｅ）コンベア９により基板１をコンベア装置１０に移載し、その後、基板受け１１を上昇し、ハンド８を上昇して、次の基板の取り出し動作に移行する。このステップの繰替えしにより、同様に基板１を順次、カセット２から取り出し、搬送ラインのコンベア装置１０に移載することができる。
【００１２】
この基板移載装置は、カセット内の最後の基板１を（Ｄ）のステップまで移載した後、（Ｅ）のステップの間に空のカセットを次の新しいカセットへ交換できる。従って、カセット入替え時にも基板搬送ができる。しかし、全高が高く、ハンドの上昇ストロークを大きくする必要がある問題点がある。
【００１３】
本発明はかかる問題点を解決するために創案されたものである。すなわち本発明の主目的は、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能である基板移載装置を提供することにある。また、本発明の別の目的は、カセット内の最下段基板とカセット底板までのクリアランスを小さくでき、かつカセット入替え時にも基板搬送ができる基板移載装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる中間水平コンベア（９）と、中間位置で中間水平コンベアの上下まで昇降可能な中間基板受け（１１）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上部で昇降可能であり、中間基板受けは移載ハンド及び中間水平コンベアと、上下に交叉可能に構成され、
移載ハンド（８）を前記コンベア（９）の上を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ替え、移載ハンドを中間位置まで水平移動し、移載ハンドの下降と基板受けの上昇で基板を基板受けの上に載せ替え、移載ハンドを基板受けとコンベアの間を通して次の基板を取り出しのため搬入位置に移動し、基板受けを下降し基板をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載する、ことを特徴とする基板移載装置が提供される。
【００１６】
この第１発明によれば、移載ハンド（８）はコンベアの上部のみで昇降するので、そのストロークを短くでき、かつコンベアとの干渉が避けられるので、ハンド形状を自由に設定することができる。また、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能である。
【００１７】
第２の発明によれば、水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア（９）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されており、前記中間水平コンベアは、中間位置で上下に昇降可能に構成され、
移載ハンド（８）を前記コンベア（９）の下を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ替え、コンベアを下降させコンベアの上を通して移載ハンドを中間位置まで水平移動し、移載ハンドを下降させかつコンベアを上昇させて基板をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載する、ことを特徴とする基板移載装置が提供される。
【００１９】
この第２発明によれば、カセット内の最下段基板とカセット底板までのクリアランスを小さくでき、かつカセット入替え時にも基板搬送ができる。また、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能である。
【００２０】
第３の発明によれば、水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア（９）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されており、前記中間水平コンベアは、中間位置で幅方向に退避可能に構成され、
移載ハンド（８）を前記コンベア（９）の下を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ替え、コンベアを幅方向に退避させコンベアの上を通して移載ハンドを中間位置まで水平移動し、コンベアを搬送位置に復帰させ、移載ハンドを下降させて基板をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載する。
【００２２】
この第３発明によっても、カセット内の最下段基板とカセット底板までのクリアランスを小さくでき、かつカセット入替え時にも基板搬送ができる。また、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能である。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。
【００２４】
図１は、本発明の第１実施形態の基板移載装置の作動説明図である。本発明の基板移載装置は、水平に支持された平板状の基板１を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置である。
【００２５】
また、図１（Ａ）に示すように、本発明の基板移載装置は、移載ハンド８、中間水平コンベア９及び中間基板受け１１を備える。
移載ハンド８は、搬入位置の基板１の取出方向Ｘに水平移動でき、かつ中間水平コンベア９の上部で昇降できるように構成されている。従って、この移載ハンド８により、搬入位置の基板１を支持して中間位置まで移動させることができる。
中間水平コンベア９は、移載ハンド８の下方に固定された複数の水平ローラからなり、各ローラを回転駆動することにより、中間位置で基板１を支持して搬出位置のコンベア装置１０まで水平に移動させるようになっている。
中間基板受け１１は、中間位置に位置し、移載ハンド８及び中間水平コンベア９と、上下に交叉可能に構成され、かつ中間位置で中間水平コンベア９の上下まで昇降できるようになっている。
【００２６】
図１（Ａ）に示した基板移載装置は、図１（Ａ）〜（Ｆ）に示すように作動して、搬入位置から搬出位置まで、基板を移載する。すなわち、（Ａ）移載ハンド８をコンベア９の上を通して、（Ｂ）搬入位置にあるカセット２の最下段の基板１の下に挿入し、移載ハンド８を上昇させてハンド上に基板を載せ替え、（Ｃ）移載ハンド８を中間位置まで水平移動し、移載ハンド８の下降と基板受け１１の上昇で基板１を基板受け１１の上に載せ替え、（Ｄ）移載ハンド８を基板受けとコンベアの間を通して次の基板１を取り出しのため搬入位置に移動し、（Ｅ）基板受け１１を下降し基板１をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載する。（Ｆ）次いで、次の基板１を移載ハンド８を中間位置まで水平移動し、移載ハンドの下降と基板受けの上昇で次の基板を基板受けの上に載せ替える。
【００２７】
図１の各ステップにおいて、（Ｅ）（Ｆ）はそれぞれ、（Ｂ）（Ｃ）と同一ステップである。すなわち、図１の（Ａ）〜（Ｄ）を順次繰り返すことにより、搬入位置から搬出位置まで基板を順に移載することができる。
【００２８】
上述した第１実施形態の基板移載装置は、移載ハンド８がコンベア９の上部のみで昇降するので、そのストロークを短くできる。また移載ハンド８とコンベア９との干渉が作動高さの相違により確実に避けられるので、ハンド形状を自由に設定することができる。更に、図１の（Ａ）〜（Ｄ）の４ステップの繰り返しのみで、大型基板１であっても高速（短いサイクルタイム）で移載できる。また、中間位置のみを必要とするので必要設置スペースを小さくできる。更に、移載ハンド８とコンベア９以外には上下動する基板受け１１のみを必要とするので特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベア１０に基板１を移載できる。更に、図１の構成から、可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能である。
【００２９】
図２は、本発明の第２実施形態の基板移載装置の作動説明図である。また、図２（Ａ）に示すように、本発明の基板移載装置は、第１実施形態における基板受け１１はなく、移載ハンド８と中間水平コンベア９のみを備えている。
【００３０】
移載ハンド８は、搬入位置の基板１の取出方向Ｘに水平移動でき、かつ中間水平コンベア９の上下まで昇降できるように構成されている。従って、この移載ハンド８により、搬入位置の基板１を支持して中間位置まで移動させることができる。また、この実施形態において、移載ハンド８は、中間位置で中間水平コンベア９と上下に交叉可能に構成されている。
【００３１】
中間水平コンベア９は、複数の水平ローラからなり、各ローラを回転駆動することにより、中間位置で基板１を支持して搬出位置のコンベア装置１０まで水平に移動させるようになっている。また、この実施形態において、中間水平コンベア９は、中間位置で上下に昇降可能に構成されている。
【００３２】
図２（Ａ）に示した基板移載装置は、図２（Ａ）〜（Ｄ）に示すように作動して、搬入位置から搬出位置まで、基板を移載する。すなわち、（Ａ）移載ハンド８をコンベア９の下を通して、搬入位置にあるカセット２の最下段の基板１の下に挿入し、（Ｂ）移載ハンド８を上昇させてハンド上に基板１を載せ替え、並行してコンベアを下降させ、（Ｃ）コンベア９の上を通して移載ハンド８を中間位置まで水平移動し、移載ハンド８を下降させかつコンベア９を上昇させて基板１をコンベア上に載せ替え、（Ｄ）中間水平コンベア９により搬出位置のコンベア装置１０まで水平に基板１を移動する。
【００３３】
なお、図２の各ステップにおいて、（Ｄ）は（Ｂ）と同一ステップである。すなわち、図１の（Ａ）〜（Ｃ）を順次繰り返すことにより、搬入位置から搬出位置まで基板を順に移載することができる。
【００３４】
上述した第２実施形態の基板移載装置は、ステップ（Ａ）で移載ハンド８がコンベア９の下を通して、搬入位置にあるカセット２の最下段の基板１の下に挿入されるので、カセット２内の最下段基板１とカセット底板までのクリアランスを小さくできる。また、ステップ（Ｃ）において、カセットが空の場合には新しいカセットに交換できるので、カセット入替え時にも基板搬送ができる。また、第１実施形態と同様に、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能である。
【００３５】
図３は、本発明の第３実施形態の基板移載装置の作動説明図である。また、図３（Ａ）に示すように、本発明の基板移載装置も、第２実施形態と同様に基板受けはなく、移載ハンド８と中間水平コンベア９のみを備えている。
【００３６】
移載ハンド８は、搬入位置の基板１の取出方向Ｘに水平移動でき、かつ中間水平コンベア９の上下まで昇降できるように構成されている。従って、この移載ハンド８により、搬入位置の基板１を支持して中間位置まで移動させることができる。また、この実施形態において、移載ハンド８は、中間位置で中間水平コンベア９と上下に交叉可能に構成されている。
【００３７】
中間水平コンベア９は、複数の水平ローラからなり、各ローラを回転駆動することにより、中間位置で基板１を支持して搬出位置のコンベア装置１０まで水平に移動させるようになっている。また、この実施形態において、中間水平コンベア９は、中間位置で幅方向に退避可能に構成されている。
【００３８】
図３（Ａ）に示した基板移載装置は、図３（Ａ）〜（Ｄ）に示すように作動して、搬入位置から搬出位置まで、基板を移載する。すなわち、（Ａ）移載ハンド８をコンベア９の下を通して、搬入位置にあるカセット２の最下段の基板１の下に挿入し、（Ｂ）移載ハンド８を上昇させてハンド上に基板１を載せ替え、並行してコンベア９を幅方向に退避させ（破線で示す）、（Ｃ）コンベア９の上を通して移載ハンド８を中間位置まで水平移動し、コンベアを搬送位置に復帰させ、移載ハンド８を下降させて基板１をコンベア上に載せ替え、（Ｄ）中間水平コンベア９により搬出位置のコンベア装置１０まで水平に基板１を移動する。
【００３９】
なお、図２の各ステップにおいて、（Ｄ）は（Ｂ）と同一ステップである。すなわち、図１の（Ａ）〜（Ｃ）を順次繰り返すことにより、搬入位置から搬出位置まで基板を順に移載することができる。
【００４０】
上述した第３実施形態の基板移載装置も、第２実施形態と同様に、ステップ（Ａ）で移載ハンド８がコンベア９の下を通して、搬入位置にあるカセット２の最下段の基板１の下に挿入されるので、カセット２内の最下段基板１とカセット底板までのクリアランスを小さくできる。また、ステップ（Ｃ）において、カセットが空の場合には新しいカセットに交換できるので、カセット入替え時にも基板搬送ができる。また、第１実施形態と同様に、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能である。
【００４１】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できることは勿論である。
【００４２】
【発明の効果】
上述したように、本発明の基板移載装置は、以下の特徴を有する。
（１）移載ハンドの水平直線動作と昇降動作の組合せで、カセットから基板を受け、コンベアに直接渡しができる。
（２）受けコンベアが搬送中に、次段の基板にアクセスができる。
（３）カセットへの基板搬送は、逆行程で実現できる。
（４）基板持ち替えがないため、防塵性能が高く、基板ダメージ（基板姿勢変化がない）が小さい。
（５）摺動部を装置下部に集中でき、防塵性能が高い。
（６）カセット内の最下段基板とカセット底板までのクリアランスを小さくできる。
（７）カセット入替え時にも基板搬送ができる。
【００４３】
従って、本発明の基板移載装置は、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能であり、カセット内の最下段基板とカセット底板までのクリアランスを小さくでき、カセット入替え時にも基板搬送ができる、等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の基板移載装置の作動説明図である。
【図２】本発明の第２実施形態の基板移載装置の作動説明図である。
【図３】本発明の第３実施形態の基板移載装置の作動説明図である。
【図４】従来の基板移載装置の全体構成図である。
【図５】基板を収容するカセットの模式図である。
【図６】従来の基板移載装置の模式図である。
【図７】先行出願にかかる基板移載装置の構成図である。
【図８】先行出願にかかる別の基板移載装置の構成図である。
【図９】先行出願にかかる更に別の基板移載装置の構成図である。
【符号の説明】
１基板（ガラス基板）、２カセット、３ハンド、
４搬入ハンド、５搬出ハンド、６水平移動装置、
７上下動装置、８移載ハンド、９中間水平コンベア、
１０コンベア装置、１１中間基板受け

Claims

水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる中間水平コンベア（９）と、中間位置で中間水平コンベアの上下まで昇降可能な中間基板受け（１１）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上部で昇降可能であり、中間基板受けは移載ハンド及び中間水平コンベアと、上下に交叉可能に構成され、
移載ハンド（８）を前記コンベア（９）の上を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ替え、移載ハンドを中間位置まで水平移動し、移載ハンドの下降と基板受けの上昇で基板を基板受けの上に載せ替え、移載ハンドを基板受けとコンベアの間を通して次の基板を取り出しのため搬入位置に移動し、基板受けを下降し基板をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載する、ことを特徴とする基板移載装置。
水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア（９）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されており、前記中間水平コンベアは、中間位置で上下に昇降可能に構成され、
移載ハンド（８）を前記コンベア（９）の下を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ替え、コンベアを下降させコンベアの上を通して移載ハンドを中間位置まで水平移動し、移載ハンドを下降させかつコンベアを上昇させて基板をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載する、ことを特徴とする基板移載装置。
水平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア（９）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に構成されており、前記中間水平コンベアは、中間位置で幅方向に退避可能に構成され、
移載ハンド（８）を前記コンベア（９）の下を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ替え、コンベアを幅方向に退避させコンベアの上を通して移載ハンドを中間位置まで水平移動し、コンベアを搬送位置に復帰させ、移載ハンドを下降させて基板をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載する、ことを特徴とする基板移載装置。