JP4481115B2 - Filter frame - Google Patents
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Description
本発明は、例えば半導体の製造に用いられるクリーンルームの天井や壁面にフィルタ部材を取り付けるフィルタ用フレームに関する。
The present invention relates to a filter for frame mounting the filter member on the ceiling and walls of the clean room to be used for example in semiconductor manufacturing.
例えば、半導体を製造するためのクリーンルームには、天井や壁面等に、ゴミや塵を除去するためのフィルタ部材が装着されている。このフィルタ部材は、その周辺をフィルタ用フレームで保持し(図4参照)、フィルタ用フレームごとクリーンルームの天井や壁面等に装着される。 For example, in a clean room for manufacturing semiconductors, a filter member for removing dust and dust is mounted on a ceiling, a wall surface, and the like. The periphery of the filter member is held by a filter frame (see FIG. 4), and the filter frame is attached to the ceiling or wall surface of the clean room together with the filter frame.
フィルタ用フレームは、種々の構成のものが知られているが、フィルタ部材の縦辺及び横辺に対応した2対の枠材同士をネジで連結する構成が一般的である(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
しかし、フィルタ部材は、その大きさ、即ち縦辺や横辺の長さが多様であるため、フィルタ用フレームを構成する縦辺用枠材及び横辺用枠材も、それに応じて数多くの種類を用意しなければならない。また、縦辺用枠材と横辺用枠材とを接続用のブラケット等を用いて連結する構成のフィルタ用フレームでは、部品点数が更に増加し、それとともに作業工数も増すようになる。 However, since the filter members have various sizes, that is, lengths of the vertical side and the horizontal side, there are many kinds of vertical frame members and horizontal frame members constituting the filter frame. Must be prepared. Further, in the filter frame configured to connect the vertical side frame member and the horizontal side frame member using a connection bracket or the like, the number of parts is further increased, and the work man-hour is also increased.
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、フィルタ部材毎に多種の枠材を用意する必要がなく、連結のための部材も不要で、組み立て作業も簡易であるフィルタ用フレームを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a situation, and it is not necessary to prepare various frame materials for each filter member, a member for connection is unnecessary, and a filter frame that is easy to assemble. The purpose is to provide.
上記目的を達成するために、本発明は下記のフィルタ用フレームを提供する。
(1)保持対象となるフィルタ部材の一方の辺に対応する一対の枠材と、他方の辺に対応する一対の枠材とをそれぞれ対向配置し、前記枠材同士をネジで連結して構成されるフィルタ用フレームであって、
底面部と、底面部の両端からそれぞれ同一方向に立設された左右一対の側面部と、底面部の側面部側の面に該底面部の全長にわたり設けられ、かつ、内壁にネジ溝が形成されたレール部とを一体に有するフレーム用枠材を、フィルタ部材の一方の辺の長さに対応させて切断してなる第1の枠材を一対、レール部同士が対向するように対向配置し、
前記フレーム用枠材を、フィルタ部材の他方の辺の長さに対応させて切断してなり、かつ、両端部において側面部の高さに相当する長さで両側面部及びレール部が切除され、底面部にレール部に対応してネジ孔が形成された切欠部を有する第2の枠材を一対、レール部同士が対向するように第1の枠材と直交させて対向配置するとともに、
第1の枠材の端部を第2の枠材の切欠部に係合させ、第2の枠材のネジ孔と第1の枠材のレール部とをネジで連結してなることを特徴とするフィルタ用フレーム。
(2)レール部は、その全長にわたりスリットが形成されていることを特徴とする上記(1)記載のフィルタ用フレーム。
To achieve the above object, the present invention provides the following filter frame.
(1) A pair of frame members corresponding to one side of the filter member to be held and a pair of frame members corresponding to the other side are arranged to face each other, and the frame members are connected with screws. A filter frame ,
A bottom part, a pair of left and right side parts erected in the same direction from both ends of the bottom part, and a surface on the side part side of the bottom part are provided over the entire length of the bottom part, and a screw groove is formed on the inner wall. It has been a frame for frame members that Yusuke integrally with the rail portion, so that the first frame member made by cutting in correspondence to the length of one side of the filter member pair, rail portions face each other Placed opposite to
The frame material is cut in accordance with the length of the other side of the filter member, and both side portions and rail portions are cut at a length corresponding to the height of the side surface at both ends, A pair of second frame members having a notch portion in which screw holes are formed corresponding to the rail portions on the bottom surface portion, and arranged to face each other orthogonal to the first frame material so that the rail portions face each other,
The end portion of the first frame member is engaged with the notch portion of the second frame member, and the screw hole of the second frame member and the rail portion of the first frame member are connected by screws. Filter frame .
(2) The filter frame according to (1) above, wherein the rail portion has a slit formed over its entire length.
本発明によれば、同一のフレーム用枠材を、目的とするフィルタ部材の縦辺及び横辺の長さに合わせて切断し、一方をそのまま使用し、他方に切欠部を形成すればよく、部材が共通化されるため、従来のようにフィルタ部材毎に縦辺用枠材及び横辺用枠材を用意する必要がない。また、組み立てに際して、ブラケット等の別の接続部材が不要で、組み立て作業も簡易となる。これらの効果により、コストの低減を図ることができる。 According to the present invention, the same frame frame material may be cut according to the lengths of the target filter member along the vertical and horizontal sides, using one as it is, and forming the notch in the other, Since the members are made common, it is not necessary to prepare the frame material for the vertical side and the frame material for the horizontal side for each filter member as in the prior art. Further, when assembling, another connecting member such as a bracket is unnecessary, and the assembling work is also simplified. These effects can reduce the cost.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(フレーム用枠材)
図1(A)は本発明に係るフィルタ用フレームを構成するフレーム用枠材を示す側面図、図1(B)はその正面(端面)図である。フレーム用枠材11Aは、例えばアルミニウム等により長尺の棒状部材として形成されているもので、底面部21の両側からそれぞれ同方向に略直角に、所定の高さ(H)で左右一対の側面部22が立設して断面略コ字状を呈する基部30が形成され、更に底面部21の側面部22が形成された側の面には、全長にわたり略パイプ状のレール部23が付設されている。
(Frame material for frames)
FIG. 1A is a side view showing a frame material constituting a filter frame according to the present invention, and FIG. 1B is a front (end face) view thereof. The
レール部23は、その内壁にネジ溝14が形成されている。また、周面の一部に長さ方向に沿って連続したスリット15が形成されてもよい。尚、レール部23は、図の例では2本形成されているが、基部30の幅等、構造によっては1本、あるいは3本以上でも構わない。
The
上記のフレーム用枠材11Aは、押出成形により基部30及びレール部23に相当するパイプ状物を一体に成形し、所定長さに切断した後、パイプ状物の内壁にネジ溝15を形成し、必要によりスリット15を形成することによりレール部23を形成すればよく、当業者であれば容易に作製することができる。
The above-mentioned
(フィルタ用フレーム)
本発明のフィルタ用フレームは、平面形状が四角形状のフィルタ部材を保持するものであり、保持対象のフィルタ部材の縦辺に相当する一対の縦辺用枠材と、横辺に相当する一対の横辺用枠材とをそれぞれ対向配置し、これら枠材同士をネジで連結して構成される(図4参照)。そして、図1に示したフレーム用枠材11Aを、フィルタ部材の一方の辺(ここでは縦辺)の長さに合わせて切断し、それをそのまま縦辺用枠材として使用する。
(Filter frame)
The filter frame of the present invention holds a filter member having a square planar shape, a pair of vertical side frame members corresponding to the vertical sides of the filter member to be held, and a pair of horizontal sides corresponding to the horizontal sides. The lateral frame members are arranged opposite to each other, and these frame members are connected to each other with screws (see FIG. 4). Then, the
一方、フィルタ部材の他方の辺(ここでは横辺)を保持する横辺用枠材は、図2に示す構造を有する。尚、図2(A)はその側面図、図2(B)は正面(端面)図、図2(C)は基部の内部を示す上面図である。図示されるように、横辺用枠材11Bは、図1に示したフレーム用枠材を、保持対象となるフィルタ部材の横辺の長さに合わせて切断し、更にその両端の一部を切除して切欠部31を形成したものである。
On the other hand, the lateral side frame member that holds the other side (here, the lateral side) of the filter member has a structure shown in FIG. 2A is a side view, FIG. 2B is a front (end face) view, and FIG. 2C is a top view showing the inside of the base. As shown in the figure, the
切除部分を図中一点鎖線で示すが、側面部22,22の両端22a,22a及びレール部23,23の両端23a,23aを、縦辺用枠材11Aの高さ(H)分だけ切除され、切欠部31が形成される。また、この切欠部31において、底面部21はそのまま残り、残った平板部21aには、縦辺用枠体11Aのレール部23,23に対応してネジ孔16,16が形成される。
Although the cut portion is indicated by a one-dot chain line in the drawing, both
上記の縦辺用枠材11Aと横辺用枠材11Bとを用いてフィルタ用フレームとするには、図3に部分的に拡大して示すように、縦辺用枠材11Aと横辺用枠材11Bとを直交配置し、横辺用枠材11Bの切欠部31と縦辺用枠材11Aの端部とを係合させる。これにより、切欠部31において、縦辺用枠材11Aの端面24aと横辺用枠材11Bの平板部21aとが当接し、縦辺用枠材11Aの側面部22の下面24bと横辺用枠材11Bの側面部22の切除端面25とが当接して、縦辺用枠材11Aの平板部21aが縦辺用枠材11Aの端面24aの全体を覆って閉じた状態となる。それとともに、縦辺用枠材11Aのレール部23と、横辺用枠材11Bのネジ孔16とが位置合わせてされる。そして、ネジ13を横辺用枠材11Bのネジ孔16を通じて縦辺用枠材11Aのレール部23のネジ溝14に螺合させて締め付けることにより、縦辺用枠材11Aと横辺用枠材11Bとが連結される。
In order to obtain a filter frame using the vertical
尚、横辺用枠材11Bのネジ孔16が本来の位置から外れて、即ち上記の組み付け状態において縦辺用枠材11Aのレール部23と一致しない位置に形成されることがあるが、レール部23にスリット15が形成されていると、この位置ズレを許容してネジ止めすることが可能になる。
In addition, although the
図4は、フィルタ部材10に本発明のフィルタ用フレーム11を装着した状態を示す外観図であるが、図3に示す連結は図中のA〜Dに示す4箇所で同様に行われる。尚、フィルタ部材10は、縦辺用枠材11A及び横辺用枠材11Bのそれぞれの側面部で保持される。
FIG. 4 is an external view showing a state in which the
10 フィルタ部材
11 フィルタ用フレーム
11A 縦辺用枠材
11B 横辺用枠材
13 ネジ
14 ネジ溝
16 ネジ孔
21 底面部
21a 平板部
22 側面部
22a 切除部
23 レール部
23a 切除部
31 切欠部
DESCRIPTION OF
Claims (2)
底面部と、底面部の両端からそれぞれ同一方向に立設された左右一対の側面部と、底面部の側面部側の面に該底面部の全長にわたり設けられ、かつ、内壁にネジ溝が形成されたレール部とを一体に有するフレーム用枠材を、フィルタ部材の一方の辺の長さに対応させて切断してなる第1の枠材を一対、レール部同士が対向するように対向配置し、
前記フレーム用枠材を、フィルタ部材の他方の辺の長さに対応させて切断してなり、かつ、両端部において側面部の高さに相当する長さで両側面部及びレール部が切除され、底面部にレール部に対応してネジ孔が形成された切欠部を有する第2の枠材を一対、レール部同士が対向するように第1の枠材と直交させて対向配置するとともに、
第1の枠材の端部を第2の枠材の切欠部に係合させ、第2の枠材のネジ孔と第1の枠材のレール部とをネジで連結してなることを特徴とするフィルタ用フレーム。 A filter configured by disposing a pair of frame members corresponding to one side of the filter member to be held and a pair of frame members corresponding to the other side, and connecting the frame members with screws. Frame for
A bottom part, a pair of left and right side parts erected in the same direction from both ends of the bottom part, and a surface on the side part side of the bottom part are provided over the entire length of the bottom part, and a screw groove is formed on the inner wall. It has been a frame for frame members that Yusuke integrally with the rail portion, so that the first frame member made by cutting in correspondence to the length of one side of the filter member pair, rail portions face each other Placed opposite to
The frame material is cut in accordance with the length of the other side of the filter member, and both side portions and rail portions are cut at a length corresponding to the height of the side surface at both ends, A pair of second frame members having a notch portion in which screw holes are formed corresponding to the rail portions on the bottom surface portion, and arranged to face each other orthogonal to the first frame material so that the rail portions face each other,
The end portion of the first frame member is engaged with the notch portion of the second frame member, and the screw hole of the second frame member and the rail portion of the first frame member are connected by screws. Filter frame .
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