JP4327345B2 - 液供給装置及び液供給方法 - Google Patents
液供給装置及び液供給方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4327345B2 JP4327345B2 JP2000331316A JP2000331316A JP4327345B2 JP 4327345 B2 JP4327345 B2 JP 4327345B2 JP 2000331316 A JP2000331316 A JP 2000331316A JP 2000331316 A JP2000331316 A JP 2000331316A JP 4327345 B2 JP4327345 B2 JP 4327345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- supply
- nozzle
- liquid supply
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイ(Liquid Crystal Display:LCD)等に使用されるガラス基板上にレジスト液を供給する液供給装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
LCDの製造工程においては、被処理体であるLCD用のガラス基板上にITO(Indium Tin Oxide)の薄膜や電極パターンを形成するために、半導体デバイスの製造に用いられるものと同様のフォトリソグラフィ技術が利用される。フォトリソグラフィ技術では、フォトレジストをガラス基板に塗布し、これを露光し、さらに現像する。
【0003】
レジスト供給工程においては、ガラス基板上中心にレジストを供給した後基板を回転させ、その遠心力によりレジストを基板上で伸展させて塗布する方法、あるいはレジストを吐出するノズルをガラス基板の縦横方向に設けられた搬送レールに沿って長辺及び短辺にそれぞれ平行(縦横方向)に走査させてレジストを基板全面に塗布する方法(スキャン塗布)がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところでレジストを吐出させるノズルには液供給源からレジスト液を供給するために配管が接続されているが、上記スキャン塗布の場合にあっては、レジスト液吐出の際には、ノズルはガラス基板の縦横方向に移動するため、ノズルに接続された配管はノズルとともに縦横方向に振られ屈曲する。この屈曲により配管内のレジスト液の圧力が変動し、これによってノズルから吐出される際の吐出圧力にばらつきが発生してしまう。従ってこのような場合には、基板上の走査位置によって供給量が異なり、すなわち供給ムラが発生するため基板全面に均一な量のレジスト液の供給を行うことはできない。
【0005】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ノズルから供給される供給圧力にばらつきが発生することのない液供給装置及び液供給方法を提供することを目的とする。
【0006】
上記目的を達成するため、本発明は、基板上に液を吐出するノズルと、前記ノズルに供給管を介して液を供給する供給タンクと、前記ノズルと前記供給タンクとを一体的に基板上を走査させる駆動部と、を具備し、前記供給タンクは前記ノズルへの供給圧力を制御し、前記供給タンクに供給される液量は、基板1枚分に供給される量である。
【0007】
本発明は、液供給源と基板上に液を吐出するノズルとの間に設けられた供給タンクに前記液供給源から基板1枚分に供給される量の液を一時的に貯留する工程と、前記供給タンクから供給管を介して前記ノズルへ前記貯留した液を前記供給タンクにより供給圧力を制御して供給する工程と、前記供給タンクと前記ノズルとを一体的に基板上を走査させながら前記ノズルから液を吐出させる工程と、を具備する。
【0008】
このような構成によれば、ノズルが基板上を走査しながら液の供給を行う際、ノズルと供給タンクを一体的に走査させることにより、供給タンクからノズルへの液の供給配管が屈曲することはなく、液の供給圧力の変動を防止でき、供給ムラを発生させることなく所定の供給量で液を供給することができる。
【0009】
本発明の更なる特徴と利点は、添付した図面及び発明の実施の形態の説明を参酌することによりより一層明らかになる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【0011】
図1は、本発明の液供給装置及び液供給方法が適用されるLCD基板の塗布・現像処理システム100を示す平面図である。
【0012】
この塗布・現像処理システム100は、複数の基板Gを収容するカセットCを載置するカセットステーション1と、基板Gにレジスト塗布および現像を含む一連の処理を施すための複数の処理ユニットを備えた処理部2と、露光装置(図示せず)との間で基板Gの受け渡しを行うためのインターフェイス部3とを備えており、処理部2の両端にそれぞれカセットステーション1およびインターフェイス部3が配置されている。
【0013】
カセットステーション1は、カセットCと処理部2との間でLCD基板の搬送を行うための搬送機構10を備えている。そして、カセットステーション1においてカセットCの搬入出が行われる。また、搬送機構10はカセットの配列方向に沿って設けられた搬送路10a上を移動可能な搬送アーム11を備え、この搬送アーム11によりカセットCと処理部2との間で基板Gの搬送が行われる。
【0014】
処理部2は、前段部2aと中段部2bと後段部2cとに分かれており、それぞれ中央に搬送路12、13、14を有し、これら搬送路の両側に各処理ユニットが配設されている。そして、これらの間には中継部15、16が設けられている。
【0015】
前段部2aは、搬送路12に沿って移動可能な主搬送装置17を備えており、搬送路12の一方側には、2つの洗浄装置(SCR)21a、21bが配置されており、搬送路12の他方側には紫外線照射装置(UV)および冷却装置(COL)が上下に重ねられてなる紫外線照射/冷却ユニット25、2つの加熱処理装置(HP)が上下に重ねられてなる加熱処理ユニット26、および2つの冷却装置(COL)が上下に重ねられてなる冷却ユニット27が配置されている。
【0016】
また、中段部2bは、搬送路13に沿って移動可能な主搬送装置18を備えており、搬送路13の一方側には、本発明に係る液供給装置としてレジスト塗布装置(CT)22、減圧乾燥装置(VD)40および基板Gの周縁部のレジストを除去するエッジリムーバ(ER)23が一体的に設けられて配置され、塗布系処理ユニット群50を構成している。この塗布系処理ユニット群50では、レジスト塗布装置(CT)22で基板Gにレジストが塗布された後、基板Gが減圧乾燥装置(VD)40に搬送されて乾燥処理され、その後、エッジリムーバ(ER)23により周縁部レジスト除去処理が行われるようになっている。搬送路13の他方側には、2つの加熱装置(HP)が上下に重ねられてなる加熱処理ユニット28、加熱処理装置(HP)と冷却処理装置(COL)が上下に重ねられてなる加熱処理/冷却ユニット29、及び基板表面の疎水化処理を行うアドヒージョン処理装置(AD)と冷却装置(COL)とが上下に積層されてなるアドヒージョン処理/冷却ユニット30が配置されている。
【0017】
さらに、後段部2cは、搬送路14に沿って移動可能な主搬送装置19を備えており、搬送路14の一方側には、3つの現像処理装置(DEV)24a、24b、24cが配置されており、搬送路14の他方側には2つの加熱処理装置(HP)が上下に重ねられてなる加熱処理ユニット31、および加熱処理装置(HP)と冷却装置(COL)が上下に積層されてなる2つの加熱処理/冷却ユニット32、33が配置されている。
【0018】
上記主搬送装置17,18,19は、それぞれ水平面内の2方向のX軸駆動機構、Y軸駆動機構、および垂直方向のZ軸駆動機構を備えており、さらにZ軸を中心に回転する回転駆動機構を備えており、それぞれ基板Gを支持するアーム17a,18a,19aを有している。
【0019】
なお、処理部2は、搬送路を挟んで一方の側に、洗浄装置(SCR)21a、21b、レジスト塗布装置(CT)22、及び現像処理装置24a、24b、24cのような液供給系ユニットを配置しており、他方の側に加熱処理ユニットや冷却処理ユニット等の熱系処理ユニットのみを配置する構造となっている。
【0020】
また、中継部15、16の液供給系配置側の部分には、薬液供給部34が配置されており、さらにメンテナンスが可能なスペース35が設けられている。
【0021】
インターフェイス部3は、処理部2との間で基板を受け渡しする際に一時的に基板を保持するエクステンション36と、さらにその両側に設けられた、バッファカセットを配置する2つのバッファステージ37と、これらと露光装置(図示せず)との間の基板Gの搬入出を行う搬送機構38とを備えている。搬送機構38はエクステンション36及びバッファステージ37の配列方向に沿って設けられた搬送路38a上を移動可能な搬送アーム39を備え、この搬送アーム39により処理部2と露光装置との間で基板Gの搬送が行われる。
【0022】
図2および図3は、塗布系処理ユニット群50を示す概略平面図および概略側面図である。これらレジスト塗布装置(CT)22、減圧乾燥装置(VD)40、およびエッジリムーバ(ER)23は、図示するように同一のステージに一体的に並列されている。
【0023】
減圧乾燥装置(VD)40は、下部チャンバ61と、その上を覆うように設けられ、その内部の処理空間を気密に維持する上部チャンバ62とを有している。下部チャンバ61には、基板Gを載置するためのステージ63が設けられ、下部チャンバ61の各コーナー部には、4個の排気口64が設けられ、この排気口64に連通された排気管65がターボ分子排気ポンプ等の排気ポンプ(図示略)に接続されている。そして、下部チャンバ61と上部チャンバ62とが密着した状態でその中の処理空間を排気することにより、所定の真空度に減圧されるように構成されている。
【0024】
またエッジリムーバ(ER)23は、ガラス基板Gを載置させるためのステージ91が設けられ、ガラス基板Gの四辺には、それぞれ、ガラス基板Gの四辺のエッジから余分なレジストを除去するための四個のリムーバヘッド93が設けられている。各リムーバヘッド93は、内部からシンナを吐出するように断面略U字状を有し、基板Gの四辺に沿って挟み込むかたちで移動機構(図示略)によって移動されるようになっている。これにより、各リムーバヘッド93は、基板Gの各辺に沿って移動してシンナを吐出しながら、基板Gの四辺のエッジに付着した余分なレジストを取り除くことができる。
【0025】
次に本発明に係るレジスト塗布装置(CT)22について説明する。図4はレジスト塗布装置(CT)22の概略構成を示す一部断面図、図5はその平面図である。
【0026】
これらの図に示すように、レジスト塗布装置(CT)22のほぼ中央には、有底円筒状のカップ71aが配置され、カップ71a内にはガラス基板Gを固定保持するための保持部材である基板吸着テーブル58が配置されている。カップ71aの上部には、ガラス基板Gを出し入れするための開口部71cが設けられている。開口部71cには、上蓋79が被せられるようになっている。上蓋79は開閉機構(図示を省略)によって移動可能に支持されている。
【0027】
また、基板吸着テーブル58の外周側下面には、シール部材77が取り付けられており、基板吸着テーブル58を下降させて、シール部材77をカップ71aの底部に当接させると、気密な処理スペース78が形成されるようになっている。
【0028】
基板吸着テーブル58には、ガラス基板Gを真空吸着保持するための真空吸着装置72が接続されている。また、この基板吸着テーブル58は、ロッド75を介して昇降シリンダ73によって上下方向に昇降可能になっている。なお、この昇降シリンダ73は、制御部74によって、その動作が制御される。具体的には、ロッド75の下部側が図示しない筒体内に配設されており、この筒体内においてロッド75はバキュームシール部76を介して昇降シリンダ73の駆動によって上下方向に移動し得るようになっている。
【0029】
カップ71aの両側には、搬送レール66、66が配置されており、搬送レール66、66間には、スキャン機構が設けられている。このスキャン機構は、搬送レール66、66間に掛け渡され、この搬送レール66、66に沿ってY方向に移動する第1のスライダ67と、この第1のスライダ67に付設され、第1のスライダ67の長手方向に沿ってX方向に移動可能な第2のスライダ43とを有して構成される。搬送レール66の一方の走行端付近には、制御部74の指令により、該搬送レール66に沿って第1のスライダ67を移動させると共に、第2のスライダ43を第1のスライダ67に沿って移動させる駆動部48が設けられている。
【0030】
図6は上記第2のスライダ43の部分の拡大斜視図、図7は本発明に係るレジスト液の供給機構の構成図である。
【0031】
図6において第2のスライダ43には、レジスト液を吐出するノズル46が取付部材55によって取り付けられており、図7に示すレジスト供給源57からレジストを一時的に貯留し、ノズル46へレジストを供給する供給タンク53が固設されている。この供給タンク53とレジスト供給源57との間、及び供給タンク53とノズル46との間にはそれぞれレジスト液の供給管56a及び56bが設けられており、供給管56bには供給タンク53からノズルへのレジスト液の連通と遮断を切り換える第1のバルブ52が接続され、また、供給管56aにはレジスト供給源57から供給タンク53へのレジスト液の連通と遮断を切り換える第2のバルブ54が接続されている。なお、レジスト供給源57は図1に示す薬液供給部34に配備されている。
【0032】
供給タンク53内部には、リニアアクチュエータ51により作動量が制御されるベローズポンプ59が設けられており、このベローズポンプ59の作動によりノズル46へレジスト液が供給されるようになっている。リニアアクチュエータ51は例えばソレノイド機構を使用したものであり、このリニアアクチュエータ51の作動は制御部60によって制御される。またこの制御部60は上記各バルブ54及び52の液連通をも制御する。
【0033】
次に、以上説明した塗布・現像システム100の一連の処理工程を説明する。
【0034】
図1を参照して、カセットC内の基板Gが処理部2に搬送され、処理部2では、まず、前段部2aの紫外線照射/冷却ユニット25の紫外線照射装置(UV)で表面改質・洗浄処理が行われ、その後そのユニットの冷却装置(COL)で冷却された後、洗浄ユニット(SCR)21a,21bでスクラバー洗浄が施され、前段部2aに配置された加熱処理装置(HP)の一つで加熱乾燥された後、冷却ユニット27のいずれかの冷却装置(COL)で冷却される。
【0035】
続いてガラス基板Gは中段部2bに搬送され、レジストの定着性を高めるために、ユニット30の上段のアドヒージョン処理装置(AD)にて疎水化処理(HMDS処理)され、下段の冷却装置(COL)で冷却後、塗布系処理ユニット群50に搬入される。
【0036】
そしてこの塗布系処理ユニット群50では、まず、レジスト塗布装置(CT)22において、基板吸着テーブル58がカップ71aの開口部71cより上方に上昇している状態で、主搬送装置18によりこの基板吸着テーブル58上にガラス基板Gが移載され、真空吸着保持される。次に、昇降シリンダ73の駆動により基板吸着テーブル58が下降され、ガラス基板Gが開口部71cを通過してカップ71a内に搬入される。
【0037】
ガラス基板Gがカップ71a内に搬入されている間に、図7に示す制御部60の命令によって第2のバルブ54が開いて第1のバルブ52が閉じ、続いてリニアアクチュエータ51が駆動してレジスト供給源57から所定量のレジスト液が供給タンク53に供給され、一時的にこの供給タンク53にレジスト液が貯留される状態となる。ここで所定量のレジスト液とは、例えばガラス基板1枚分の供給量、すなわち後述するようにスキャン塗布におけるワンショット分の供給量である。
【0038】
続いて図8(a)に示すようにスキャン機構によりノズル46がガラス基板G角の外側の所定位置に移動する。この間に第2のバルブ54を閉じ第1のバルブ52を開いて、ノズル46は、例えば基板Gの一長辺G2に沿ってレジスト液を吐出しながら辺G3に向かって移動する。辺G3の外側まで達するとノズル46は辺G4に向かって僅かにY方向に移動してすぐに向きを変え辺G1に向かってX方向に移動しながら図8(b)に示すようにレジスト液を吐出していく。このような動作を繰り返す塗布方法(スキャン塗布)によりレジスト液をガラス基板G上全面に供給する。
【0039】
このようなスキャン塗布の際、ノズル46はXY方向に移動し揺さ振られるわけであるが、レジスト液が供給タンク53に一旦貯留され、この貯留された供給タンク53とノズル46が第2のスライダ43により一体的に移動するため、従来のような供給配管が屈曲して配管内の圧力が変動するという不具合は生じず、常に所望の圧力でレジスト液を供給することができる。従って、基板上の位置によって供給量がばらつくことはなく供給ムラを防止することができる。
【0040】
また、上述したように供給タンク53に一時的に貯留されるレジスト液の供給量はワンショット分とすることで、供給タンク53の許容量を少なくして、その重量を軽減させることにより、第2のスライダ43の動作、すなわちノズル46の移動動作のレスポンスを向上させることができる。
【0041】
このレジスト塗布装置(CT)22によるレジスト塗布が終了すると、基板Gは、減圧乾燥装置(VD)40により基板上のレジストを乾燥し、次いでエッジリムーバ(ER)23において基板Gの四辺のエッジに付着した余分なレジストを取り除く。
【0042】
その後、中段部2bに配置された加熱処理装置(HP)の一つでプリベーク処理され、ユニット29または30の下段の冷却装置(COL)で冷却され、中継部16から主搬送装置19によりインターフェイス部3を介して図示しない露光装置に搬送されてそこで所定のパターンが露光される。そして、基板Gは再びインターフェイス部3を介して搬入され、必要に応じて後段部2cのいずれかの加熱処理装置(HP)でポストエクスポージャベーク処理を行った後、現像処理ユニット(DEV)24a,24b,24cのいずれかで現像処理される。
【0043】
現像処理ユニット(DEV)24a,24b,24cのいずれかで現像処理が行われた後、処理された基板Gは、後段部2cのいずれかの加熱処理装置(HP)にてポストベーク処理が施された後、冷却装置(COL)にて冷却され、主搬送装置19,18,17及び搬送機構10によってカセットステーション1上の所定のカセットに収容される。
【0044】
図9は本発明の他の実施形態によるレジスト液供給装置の構成図である。なお、本実施形態において、上記第1の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付すものとし、その説明を省略する。
【0045】
本実施形態では、供給タンク80には平地面に対して図示のように斜めに配設されたベローズポンプ59が設けられており、このベローズポンプ59には真空吸引により、ポンプ内のエアを除去するエア除去装置81が接続されている。このようにベローズポンプ59を斜めに配設することによりエアの収集を容易にしている。またこのようなエア除去装置81によって基板に対するレジスト液供給時以外の時に、ベローズポンプ59内に発生したエアを適宜除去し、ポンプ59による基盤に対するレジスト液の供給効率を向上させている。
【0046】
また、本実施形態ではノズル83はレジスト液を吐出する吐出孔が複数、例えば1列に20個形成された複数孔ノズルを使用している。このノズル83は第2のスライダ43に固定されている。更にこのノズル83のすぐ上流側には、供給管56b内のレジスト液圧、すなわちノズル83から供給されるレジスト液の供給圧力を計測するセンサ82が設けられており、制御部60は、このセンサ82による計測結果に基づいてベローズポンプ59に接続されたリニアアクチュエータ51の駆動量をフィードバック方式で制御するようになっている。このようなセンサ82を用いた制御により供給圧力を所定の圧力にでき、更に高精度な圧力管理が行える。
【0047】
次に本実施形態によるレジスト供給装置の作用について説明する。
【0048】
本実施形態では、上記第1の実施形態と同様に図5に示すカップ71a内にガラス基板Gが搬入されている間に、図7に示す制御部60の命令によって第2のバルブ54が開いて第1のバルブ52が閉じ、続いてリニアアクチュエータ51が駆動してレジスト供給源57から所定量のレジスト液が供給タンク53に供給され、一時的にこの供給タンク80にレジスト液が貯留される状態となる。ここで所定量のレジスト液とは、例えばガラス基板1枚分の供給量、すなわちスキャン塗布におけるワンショット分の供給量である。
【0049】
続いて図10(a)に示すようにスキャン機構によりノズル83がガラス基板G角の外側の所定位置に移動する。この間に第2のバルブ54を閉じ第1のバルブ52を開いて、ノズル83は、例えば基板Gの一長辺G2に沿って、複数の吐出孔からレジスト液を吐出しながら辺G3に向かって移動する。辺G3の外側まで達するとノズル46は辺G4に向かって僅かにY方向に移動してすぐに向きを変え、辺G1に向かってX方向に移動しながら図10(b)に示すようにレジスト液を吐出していく。このようなスキャン塗布により基板全面にレジスト液を供給する。このような複数孔のノズル83を使用したスキャン塗布による基板1枚分の塗布時間は、上記第1の実施形態における基板1枚分の塗布時間よりも短く、従ってタクトを短縮することができる。
【0050】
また、ノズル83と供給タンク80とが一体的に移動するので、常に所望の圧力でレジスト液を供給することができ、従って、基板上の位置によって供給量がばらつくことはなく供給ムラを防止することができる。
【0051】
なお、本発明は以上説明した実施形態には限定されない。
【0052】
上記各実施形態では、基板G上全面に所定の一定の圧力でレジスト液を供給したが、例えば表面張力によるガラス基板周縁におけるレジスト膜の盛り上がりを防止するために、基板上の領域に応じてノズルからの供給圧力を変化させて、例えば基板周縁におけるレジストの供給量を他の領域に比べて少なくなるように制御してもよい。
【0053】
また、上記各実施形態における供給タンク53又は80に貯留されるレジスト液の容量をワンショット分としたが、これに代えて、ツーショットあるいはそれ以上、すなわちガラス基板2枚分以上の容量としてもよい。
【0054】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ノズルから供給される液の供給圧力が変動することなく、所定の圧力で液を供給でき、供給ムラを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用されるLCD基板の塗布・現像処理システムを示す平面図である。
【図2】図1に示すレジスト塗布装置(CT)、減圧乾燥装置(VD)、及びエッジリムーバ(ER)からなる塗布系処理ユニット群の概略平面図である。
【図3】図2に示す塗布系処理ユニット群の側面図である。
【図4】図3に示す本発明の一実施形態であるレジスト塗布装置(CT)の構成を示す一部断面図である。
【図5】図4に示すレジスト塗布装置(CT)の平面図である。
【図6】図5における第2のスライダの部分を示す拡大斜視図である。
【図7】本発明の一実施形態であるレジスト液の供給機構を示す図である。
【図8】本発明の一実施形態による基板に対するレジスト液の供給工程を示す平面図である。
【図9】本発明の他の実施形態によるレジスト液の供給機構を示す図である。
【図10】本発明の他の実施形態による基板に対するレジスト液の供給工程を示す平面図である。
【符号の説明】
G…ガラス基板
22…レジスト塗布装置(CT)
43…第2のスライダ
46…ノズル
48…駆動部
51…リニアアクチュエータ
52…第1のバルブ
53…供給タンク
54…第2のバルブ
56a…供給管
56b…供給管
57…レジスト供給源
59…ベローズポンプ
60…制御部
66…搬送レール
67…第1のスライダ
74…制御部
80…供給タンク
81…エア除去装置
82…センサ
83…ノズル
100…塗布・現像処理システム
Claims (13)
- 基板上に液を吐出するノズルと、
前記ノズルに供給管を介して液を供給する供給タンクと、
前記ノズルと前記供給タンクとを一体的に基板上を走査させる駆動部と、
を具備し、
前記供給タンクは前記ノズルへの供給圧力を制御し、
前記供給タンクに供給される液量は、基板1枚分に供給される量であることを特徴とする液供給装置。 - 請求項1に記載の液供給装置において、
前記ノズル及び前記供給タンクと一体的に設けられ、前記ノズルへの液の連通/遮断を切換える第1の切換え手段を更に具備することを特徴とする液供給装置。 - 請求項2に記載の液供給装置において、
前記駆動部は前記ノズルを基板の縦横方向に走査させることを特徴とする液供給装置。 - 請求項2又は請求項3に記載の液供給装置において、
前記供給タンクに液を供給する液供給源を更に具備することを特徴とする液供給装置。 - 請求項4に記載の液供給装置において、
前記供給タンクと前記液供給源との間に設けられ、前記供給タンクへの液の連通/遮断を切換える第2の切換え手段を更に具備し、前記第1の切換え手段が遮断したときに、前記第2の切換え手段を連通させ、前記第1の切換え手段が連通したときに、前記第2の切換え手段を遮断させることを特徴とする液供給装置。 - 請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の液供給装置において、
前記ノズルと前記供給タンクとの間に設けられ、前記ノズルへの供給圧力を計測するセンサを更に具備することを特徴とする液供給装置。 - 請求項6に記載の液供給装置において、
前記センサによる計測結果に基づいて前記供給タンクの供給圧力を制御する制御部を更に具備することを特徴とする液供給装置。 - 請求項6又は請求項7に記載の液供給装置において、
前記供給タンクはソレノイドを使用したリニアアクチュエータの駆動により供給圧力を制御することを特徴とする液供給装置。 - 請求項1から請求項8のうちいずれか1項に記載の液供給装置において、
前記供給タンク内のエアを除去する手段を更に具備することを特徴とする液供給装置。 - 請求項9に記載の液供給装置において、
前記供給タンクを斜めに配設し、前記エアの除去を容易に行えるようにしたことを特徴とする液供給装置。 - 請求項1から請求項10のうちいずれか1項に記載の液供給装置において、
基板表面の領域に応じて前記供給圧力を制御する手段を更に具備することを特徴とする液供給装置。 - 液供給源と基板上に液を吐出するノズルとの間に設けられた供給タンクに前記液供給源から基板1枚分に供給される量の液を一時的に貯留する工程と、
前記供給タンクから供給管を介して前記ノズルへ前記貯留した液を前記供給タンクにより供給圧力を制御して供給する工程と、
前記供給タンクと前記ノズルとを一体的に基板上を走査させながら前記ノズルから液を吐出させる工程と、
を具備することを特徴とする液供給方法。 - 請求項12に記載の液供給方法において、
前記供給タンクから前記ノズルへ液を供給する工程は、
前記ノズルと前記供給タンクとの間に設けられた液の圧力を計測するセンサの計測結果に基づいて、前記供給圧力を制御する工程を含むことを特徴とする液供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000331316A JP4327345B2 (ja) | 2000-10-30 | 2000-10-30 | 液供給装置及び液供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000331316A JP4327345B2 (ja) | 2000-10-30 | 2000-10-30 | 液供給装置及び液供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002141260A JP2002141260A (ja) | 2002-05-17 |
JP4327345B2 true JP4327345B2 (ja) | 2009-09-09 |
Family
ID=18807679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000331316A Expired - Fee Related JP4327345B2 (ja) | 2000-10-30 | 2000-10-30 | 液供給装置及び液供給方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4327345B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4392269B2 (ja) * | 2004-03-05 | 2009-12-24 | シーケーディ株式会社 | 液体吐出装置 |
JP5198241B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2013-05-15 | 株式会社ヒラノテクシード | 塗工装置における間欠給液方法及び装置 |
JP5255660B2 (ja) * | 2011-01-18 | 2013-08-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 薬液供給方法及び薬液供給システム |
CN114260123A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-01 | 朱照红 | 汽车智能补漆系统 |
-
2000
- 2000-10-30 JP JP2000331316A patent/JP4327345B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002141260A (ja) | 2002-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4554397B2 (ja) | ステージ装置および塗布処理装置 | |
TWI294639B (en) | Stage equipment and coating processing equipment | |
JP3808741B2 (ja) | 処理装置 | |
JP4372182B2 (ja) | 基板支持機構及び減圧乾燥装置及び基板処理装置 | |
TWI388031B (zh) | 處理系統 | |
JP2006253373A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法及び基板処理プログラム | |
KR20090031271A (ko) | 상압 건조 장치 및 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
TWI311633B (en) | Decompression drier | |
KR100837849B1 (ko) | 처리액 공급방법 및 처리액 공급장치 | |
JP5503057B2 (ja) | 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 | |
JP5208093B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法及び減圧乾燥装置 | |
KR101558596B1 (ko) | 감압 건조 장치 및 감압 건조 방법 | |
JP4450825B2 (ja) | 基板処理方法及びレジスト表面処理装置及び基板処理装置 | |
JP3581292B2 (ja) | 処理装置および処理方法 | |
KR101568050B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP4327345B2 (ja) | 液供給装置及び液供給方法 | |
KR20110066864A (ko) | 기판처리장치, 기판처리방법 및 이 기판처리방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록매체 | |
JP3959634B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP4539938B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP2004179513A (ja) | 基板保持装置及び基板処理装置 | |
JP2006253515A (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
JP4589986B2 (ja) | 基板加熱装置 | |
JP2002353125A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2001351845A (ja) | 塗布装置 | |
JP5010019B2 (ja) | ステージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090317 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090609 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090611 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150619 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |