JP4398320B2 - Gas detector - Google Patents
Gas detector Download PDFInfo
- Publication number
- JP4398320B2 JP4398320B2 JP2004216542A JP2004216542A JP4398320B2 JP 4398320 B2 JP4398320 B2 JP 4398320B2 JP 2004216542 A JP2004216542 A JP 2004216542A JP 2004216542 A JP2004216542 A JP 2004216542A JP 4398320 B2 JP4398320 B2 JP 4398320B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sampling tube
- mass spectrometer
- hydrogen
- membrane filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
本発明はガス検出装置に関するものである。 The present invention relates to a gas detection device.
近年、燃料電池の開発に伴い、水素を扱う水素ステーション(水素スタンド)と呼ばれる施設が建てられている。水素は爆発の危険性があることから、水素ステーションなどの施設において、水素ガスの漏洩を早期に検出できる防災システムの確立が望まれている。しかし、水素ガスは、空気より軽く、分子が小さいためため、配管などから漏洩すると、空気中に拡散してしまい、水素ガスの検知は非常に困難である。また爆発に備えて防爆用のガス検知器を使用した場合、ガスの検知により時間がかかってしまうという問題があった。 In recent years, with the development of fuel cells, facilities called hydrogen stations (hydrogen stations) that handle hydrogen have been built. Since hydrogen has a risk of explosion, establishment of a disaster prevention system capable of early detection of hydrogen gas leakage in facilities such as hydrogen stations is desired. However, since hydrogen gas is lighter than air and has small molecules, if it leaks from a pipe or the like, it diffuses into the air, and it is very difficult to detect hydrogen gas. In addition, when an explosion-proof gas detector is used in preparation for an explosion, there is a problem that it takes time to detect the gas.
ガスを検知する手段としては、半導体式や接触燃焼式といった汎用のガスセンサの他に、質量分析計がある。質量分析計は、検知対象であるガスを一分子から100%までの範囲で検出できる優れた機器であるが、主に室内で使用する精密な分析用の機器であるため、屋外でのガスの漏洩の検出には適していない。特許文献1には、この質量分析計を使用して、機器類の気密性をテストする質量分析型ガス漏れ検知器が開示されている。
しかし、このガス漏れ検知器には、屋外におけるガスの検出にあたって、ノイズを除去する手段が講じられていなかった。つまり、屋外でガスをサンプリングすると、対象となるガスだけでなく、空気中の水分をも検出することになる。質量分析計は、その非常に高感度の特性のため、わずかな水分をも検出してしまうと、得られるマススペクトルのピークがぼやけ、何のガスを検出したか識別できなくなってしまうという問題があった。そこで、本発明は、質量分析計を使用して、監視区域の水素ガスを早期に検知することを目的とする。 However, this gas leak detector has not been provided with means for removing noise when detecting gas outdoors. That is, when gas is sampled outdoors, not only the target gas but also moisture in the air is detected. Due to its extremely high sensitivity, mass spectrometers have the problem that if even a small amount of water is detected, the resulting mass spectrum peak will be blurred, making it impossible to identify what gas was detected. there were. Therefore, an object of the present invention is to detect hydrogen gas in a monitoring area at an early stage using a mass spectrometer.
本発明は以上の課題を解決するためになされたもので、監視区域から空気をサンプリングするサンプリング管と、該サンプリング管の基端側に設けられ、サンプリングされた空気をイオン化して質量分析する質量分析計と、該サンプリング管の先端部又は途中に設けられたメンブレンフィルタとを備えたガス検出装置において、前記サンプリング管の内径および前記メンブレンフィルタの孔径を、水素ガスの消炎距離よりも小さく形成して、前記質量分析計により、前記空気中の水素ガスを検知することを特徴とするものである。 The present invention has been made to solve the above-described problems. A sampling tube that samples air from a monitoring area, and a mass that is provided on the proximal end side of the sampling tube and ionizes the sampled air to perform mass analysis. In a gas detection apparatus comprising an analyzer and a membrane filter provided at the tip or in the middle of the sampling tube, the inner diameter of the sampling tube and the pore diameter of the membrane filter are formed smaller than the extinguishing distance of hydrogen gas. Thus, the mass spectrometer detects hydrogen gas in the air.
また、前記メンブレンフィルタは、酸素分子をカットして、水素分子だけを選択して透過させるフィルタであることを特徴とするものである。更に、前記質量分析計の圧力を高い真空状態に保ち、前記サンプリング管内を大気圧状態に保ち、該質量分析計と前記サンプリング管をガス導入管を介して接続し、該ガス導入管をヒータで加熱することを特徴とするものである。 Further, the membrane filter is a filter that cuts oxygen molecules and selectively transmits only hydrogen molecules . Further, keeping the pressure of the mass spectrometer high vacuum, keeping the sampling tube to atmospheric pressure, a and the mass spectrometer the sampling tube is connected via a gas inlet tube, the gas inlet tube with a heater It is characterized by heating .
質量分析計により、空気中に漏洩した水素ガスを検知するようにしたので、通常のガスセンサに比べ、著しく早くガスを検知でき、ガスを低濃度から高濃度まで検知することが可能となる。またサンプリング管を使用することで、監視区域において漏洩したガスを質量分析計に導入することができる。 Since the mass spectrometer detects the hydrogen gas leaked into the air, the gas can be detected significantly faster than a normal gas sensor, and the gas can be detected from a low concentration to a high concentration. Further, by using the sampling tube, the gas leaked in the monitoring area can be introduced into the mass spectrometer.
また、サンプリング管の先端部に、メンブレンフィルタを設けたので、防滴効果が向上し、サンプリング管内に水が浸入するのを防止できる。また、サンプリング管に、水素ガスの消炎距離よりも小さい孔径のメンブレンフィルタを設けたので、サンプリング管の途中で爆発が生じることを防ぐことができる。 In addition, since the membrane filter is provided at the tip of the sampling tube, the drip-proof effect is improved and water can be prevented from entering the sampling tube. In addition, since a membrane filter having a pore diameter smaller than the extinguishing distance of hydrogen gas is provided in the sampling tube, it is possible to prevent an explosion from occurring in the middle of the sampling tube.
また、質量分析計をヒータで加熱するようにしたので、質量分析計内のガス用の配管内に水滴が付着したりした際、水滴の凍結を防止することができる。 In addition, since the mass spectrometer is heated by the heater, the water droplet can be prevented from freezing when the water droplet adheres to the gas pipe in the mass spectrometer.
図1は本発明のガス検出装置Gを説明するためのシステムブロック図である。本発明のガス検出装置Gは、質量分析計MSと、サンプリング管10とドライポンプなどを備えたサンプリング部分とから構成される。 FIG. 1 is a system block diagram for explaining a gas detector G of the present invention. The gas detection device G according to the present invention includes a mass spectrometer MS and a sampling portion including a sampling tube 10 and a dry pump.
図において、MSは質量分析計である。質量分析計MSは、イオン化部2,質量分離部4(分析部ともいう),検出部6とで構成されており、サンプリング管10の基端側に設けられ、サンプリングされた空気をイオン化して質量分析する。
In the figure, MS is a mass spectrometer. The mass spectrometer MS includes an
質量分析計MSのイオン化部2としては、最も一般的な電子衝撃イオン化(EI)法が一例として使用される。これは、加速した電子を試料(中性)分子に衝突させ、イオン化させる方法である。
As the
質量分離部4については、例えば、最も普及している、四重極型を使用している。四重極型は4本のポール状電極の対角線各2本に同一極性の同一電圧をかけ、この極性を高速で切り換えるときにポール内を通過できるイオンの質量数がポールにかけた電圧に比例することを利用して、特定の質量電荷比(m/z)をもつイオン(本実施形態の場合は水素イオン)のみを通過させ分離を行うものである。なお、mは分子量、zは電荷数である。
検出部6は光電子増倍管などを備え、分離された1つのイオンを検出する。検出部6は、外部のデータ解析処理装置8と接続され、検出信号をデータ解析処理装置へ送るように構成されている。そして、イオンを質量ごとに分離して検出することにより、横軸(イオンの質量数)/縦軸(イオンの検出強度)からなるMSスペクトルを得るように構成されている。データ解析処理装置8は、質量分析計MSからのスペクトルデータを処理して必要なピーク値のみ選択してデータ解析する。
For the
The detection unit 6 includes a photomultiplier tube and the like, and detects one separated ion. The detection unit 6 is connected to an external data analysis processing device 8 and is configured to send a detection signal to the data analysis processing device. The MS is configured to obtain an MS spectrum having a horizontal axis (ion mass number) / vertical axis (ion detection intensity) by separating and detecting ions for each mass. The data analysis processing device 8 processes the spectrum data from the mass spectrometer MS, selects only necessary peak values, and analyzes the data.
質量分析計MSを構成するイオン化部2,質量分離部4,及び検出部6は、ガス分析するにあたって、高い真空度を必要とするので、真空ポンプとしてのターボ分子ポンプTMPとドライポンプ9を2台直結して、質量分析計MSの室内の圧力を10↑−5Torr程度の圧力にしている。この圧力は、10↑−4〜10↑−6Torrの範囲で調整され、その中で好ましい値が、10↑−5Torrである。なお、ポンプの台数を増やして、イオン化部2、質量分離部4,検出部6の室内の圧力を、順次低下させるような差動排気系のシステムを構成するようにしてもよい。
Since the
以上で説明した質量分析計MSに関する部分は、既に知られている他の質量分析計MSに置き換えることが可能である。例えば、イオン化や質量分離の原理の異なる、ソフトイオン化法や、イオントラップ式や、磁場型、TOF式などの他の質量分析計を使用してもよい。 The part related to the mass spectrometer MS described above can be replaced with another already known mass spectrometer MS. For example, other mass spectrometers such as a soft ionization method, an ion trap type, a magnetic field type, and a TOF type, which have different ionization and mass separation principles, may be used.
続いて、サンプリング部分について説明する。10はサンプリング管で、その先端は監視区域に設置され、基端にはドライポンプ12が接続されて、監視区域から空気をサンプリングしている。ここで監視区域は、例えば水素ステーションなどの水素を貯蔵した施設などである。 Next, the sampling part will be described. Reference numeral 10 denotes a sampling pipe, the tip of which is installed in the monitoring area, and the dry pump 12 is connected to the base end to sample air from the monitoring area. Here, the monitoring area is, for example, a facility storing hydrogen such as a hydrogen station.
本実施形態では、真空ポンプとして、油動作液を使用する「ウェットポンプ」を使用せずに、油動作液を使用しない「ドライポンプ」を使用している。これは、「ウェットポンプ」を使用すると、排気動作を行わせるのに必要な動作液である油が原因となって、質量分析計MS内で油汚染となって、スペクトルに油成分による干渉ピークが生じるからである。また油中にサンプルガスが溶存して、いつまでも残存ピークとしてサンプルピークが消滅しないといった問題も生じる。 In this embodiment, the “dry pump” that does not use the oil working liquid is used as the vacuum pump, without using the “wet pump” that uses the oil working liquid. This is because when the “wet pump” is used, oil, which is the working fluid necessary to perform the exhaust operation, causes oil contamination in the mass spectrometer MS, causing interference peaks due to oil components in the spectrum. This is because. There is also a problem that the sample gas is dissolved in the oil and the sample peak does not disappear as a residual peak indefinitely.
サンプリング管10の内径は、流速が低下しないように、できるだけ細くすることが望ましい。この内径は、監視区域からドライポンプ12までの距離によって調整され、例えばその距離が1m程度なら、内径が0.3mm程度以下のサンプリング管が使用される。また、その距離が10m程度なら、サンプリング管の内径を0.52mm程度に調整して、所定時間内に一定流量の空気をサンプリングできるように管径は調整される。 It is desirable to make the inner diameter of the sampling tube 10 as thin as possible so that the flow rate does not decrease. The inner diameter is adjusted according to the distance from the monitoring area to the dry pump 12. For example, if the distance is about 1 m, a sampling tube having an inner diameter of about 0.3 mm or less is used. If the distance is about 10 m, the inner diameter of the sampling tube is adjusted to about 0.52 mm, and the tube diameter is adjusted so that a constant flow rate of air can be sampled within a predetermined time.
サンプリング管10の先端部には、第1のメンブレンフィルタ13が設けられ、また、サンプリング管10の途中には、第2のメンブレンフィルタ15が設けられる。メンブレンフィルタとしては、ゴム等の高分子膜、セラミック多孔体、金属焼結体、液膜などが使用される。第1のメンブレンフィルタ13は例えば、高分子膜から形成され、孔径が0.01〜1μmのものが使用され、好ましくは0.05μmのものが使用される。また第2ののメンブレンフィルタ15の孔径は1μm〜0.3mmのものが使用され、好ましくは、0.5μm程度のものが使用される。この第2のメンブレンフィルタ15としては、特に金属焼結体又は金網が使用される。
A first membrane filter 13 is provided at the tip of the sampling tube 10, and a
メンブレンフィルタ13,15には、その孔径によって、「防滴」、「水素の選択性」、「消炎(水素ガスによる爆発を防止)」という3つの機能(効果)がある。孔径が0.6mm未満であれば、消炎の効果があり、50μm以下であれば防滴の効果がある。そして、孔径が10μm以下であれば、酸素分子などをカットして、分子径の小さい水素分子だけを効率よく選択して透過させる膜(フィルタ)となる。 The membrane filters 13 and 15 have three functions (effects) depending on the pore diameters: “drip-proof”, “hydrogen selectivity”, and “extinguishing (preventing explosion by hydrogen gas)”. If the hole diameter is less than 0.6 mm, there is an effect of extinguishing the flame, and if it is 50 μm or less, there is an effect of drip-proofing. When the pore size is 10 μm or less, a membrane (filter) that cuts oxygen molecules and efficiently selects and transmits only hydrogen molecules having a small molecular diameter.
サンプリング管10において、ドライポンプ12の一次側と質量分析計MSは、細い管径のガス導入管20によって接続されている。そして、ガス導入管20の途中には、流量制御用のニードルバルブ22が設けられ、ガス導入管20の流路を絞っている。なお、ニードルバルブ22に変えてオリフィスを使用してもよい。ここで、サンプリング管10のドライポンプ側12の圧力は、760torr(およそ10↑3torr)で、質量分析計MSの圧力は、10↑−5torrで、高い真空状態にあり、両者の圧力差は大きい。このため、サンプリング管10と質量分析計MSとを、ガス導入管20を介して接続し、ニードルバルブ22によってその流路を絞ってある。こうすることで、質量分析計MSの真空状態を保ち、かつガス成分も通過できるようにすることが可能となり、いわゆる差動排気系が構成されている。このような差動排気系のシステムを介して質量分析計MSにサンプリングした空気を導入するので、質量分析計MSに不純物が入りにくく、長期のモニタリングが可能となる。
In the sampling tube 10, the primary side of the dry pump 12 and the mass spectrometer MS are connected by a gas introduction tube 20 having a thin tube diameter. A
なお、図において、30は加熱手段としてのヒータである。ヒータ30は100℃で質量分析計MS全体とガス導入管20を加熱するものである。これは、質量分析計MS内部では圧力が低いことから、質量分析計MS内のガス用の配管(キャピラリ)内に水滴が付着したりすると、大気圧下に比べ凍結しやすいからで、この凍結を防止するためである。特に、ガス導入管20におけるニードルバルブ22で絞られ、細くなった部分は凍結の可能性が高いので、ヒータ30による加熱が望まれる。
In the figure, reference numeral 30 denotes a heater as a heating means. The heater 30 heats the entire mass spectrometer MS and the gas introduction tube 20 at 100 ° C. This is because the pressure inside the mass spectrometer MS is low, and if water drops adhere to the gas pipe (capillary) in the mass spectrometer MS, it is more likely to freeze than under atmospheric pressure. It is for preventing. In particular, since the portion narrowed and narrowed by the
次に、屋外の監視区域にある図示しない水素ステーションなどの施設において、配管などの亀裂箇所から、水素が漏洩する場合について説明する。水素ガスは空気中へと拡散されるが、その一部は、サンプリング管10の先端部にあるメンブレンフィルタを通って、サンプリングされる。 Next, a case where hydrogen leaks from a cracked part such as a pipe in a facility such as a hydrogen station (not shown) in an outdoor monitoring area will be described. Although hydrogen gas is diffused into the air, a part of the hydrogen gas is sampled through a membrane filter at the tip of the sampling tube 10.
この時、サンプリング管10の先端部にはメンブレンフィルタ13が設けてあるので、雨粒がサンプリング管10に入ることはなく、サンプリング管10内部へは気体のみを通過させて、空気中の水分(液体)の浸入を阻止する事が可能となる。つまり、雨粒などの水滴の大きさは、20〜50μmの粒径でメンブレンフィルタ13より大きいので、メンブレンフィルタ13を設けることで防滴効果が向上し、屋外にガス検出装置Gを設置しても支障がない。 At this time, since the membrane filter 13 is provided at the tip of the sampling tube 10, raindrops do not enter the sampling tube 10, and only gas is allowed to pass into the sampling tube 10, so that moisture in the air (liquid ) Can be prevented from entering. In other words, the size of water droplets such as raindrops is 20-50 μm larger than the membrane filter 13, so that the drip-proof effect is improved by providing the membrane filter 13, and even if the gas detection device G is installed outdoors. There is no hindrance.
またメンブレンフィルタ13に0.05μmという孔径の小さいものを使用することで、検知対象である分子径の小さい水素分子のみを透過させて酸素分子がサンプリング管10に流入するのを防止できる。このように水素分子だけを選択することで、サンプリング管10に入る水素ガスを濃縮することができる。 Further, by using a membrane filter 13 having a small pore diameter of 0.05 μm, it is possible to prevent only oxygen molecules having a small molecular diameter to be detected from permeating and flowing oxygen molecules into the sampling tube 10. By selecting only hydrogen molecules in this way, the hydrogen gas entering the sampling tube 10 can be concentrated.
サンプリング管10によって吸い込まれた水素ガスは、大部分がドライポンプ12側へ導かれて、排気され大気中に放出されるが、その一部は、ガス導入管20及びニードルバルブ22を通って、質量分析計MSに導入される。
Most of the hydrogen gas sucked in by the sampling pipe 10 is led to the dry pump 12 side, exhausted and released into the atmosphere, and part of the hydrogen gas passes through the gas introduction pipe 20 and the
ところで、「サンプリング管10の内径は、流速が低下しないように、できるだけ細くするとことが望ましい」と前述した。これは、一つは流速を低下させないことで、ガスの漏洩時は、早期にガスを検出するためであるが、もう一つ理由がある。それは、太い径の管を使用すると、水素ガスをサンプリングしている際に爆発を起こす危険があるからである。 By the way, “the inner diameter of the sampling tube 10 is desirably as thin as possible so that the flow velocity does not decrease”. One reason is that the flow rate is not reduced, and at the time of gas leakage, the gas is detected at an early stage, but there is another reason. This is because the use of a large diameter tube may cause an explosion when sampling hydrogen gas.
水素ガスの消炎距離、即ち、爆発によって炎が生じるのに必要な最低限の距離は、0.6mmである。つまり、サンプリング管10の内径を0.6mm未満にしておけば、サンプリング管10の距離を伸ばしても、その途中で爆発が生じることを防ぐことができる。本実施形態では、0.6mm未満の内径のサンプリング管10を使用しているので、特に爆発の問題は生じることはないが、水素ガスの消炎距離よりも小さい孔径の第2のメンブレンフィルタ(金属製フィルタ)15を設けることで、吸引した水素ガスによる爆発をより確実に防止することが可能となる。 The flame extinguishing distance of hydrogen gas, that is, the minimum distance necessary for generating a flame by explosion is 0.6 mm. That is, if the inner diameter of the sampling tube 10 is less than 0.6 mm, it is possible to prevent an explosion from occurring in the middle of the sampling tube 10 even if the distance of the sampling tube 10 is increased. In this embodiment, since the sampling tube 10 having an inner diameter of less than 0.6 mm is used, there is no particular problem of explosion, but the second membrane filter (metal) having a pore diameter smaller than the flame extinguishing distance of hydrogen gas. By providing the (manufactured filter) 15, it becomes possible to more reliably prevent explosion due to the sucked hydrogen gas.
また管径が小さく、管内がより低い圧力下では、そのサンプリング管10を流れる気体分子の流れは、粘性流から分子流となり、分子が互いに衝突しない平均自由工程が大きくなるので、結果として水素ガスが濃縮された状態となる。 When the tube diameter is small and the pressure in the tube is lower, the flow of gas molecules flowing through the sampling tube 10 changes from a viscous flow to a molecular flow, and the mean free path in which molecules do not collide with each other increases. Becomes a concentrated state.
サンプリングした水素ガスを含んだ空気が、質量分析計MSに導入されると、イオン化部2でイオン化され、質量分離部4で、特定の質量電荷比をもつ水素イオンのみを通過させ分離を行い、検出部6が、その分離されたイオンを検出する。そして、検出部6は、検出信号をデータ解析処理装置8へ送る。ここで、質量電荷比2にピークを有するマススペクトルが得られることから、そのピークを水素分子と認識して検出する。このようにして、質量分析計MSにより、屋外(監視区域)において空気中に漏洩した水素ガスを検知する。なお、データ解析処理装置8は、水素ガス(水素分子)を検知した際、火災が発生したと判断し、図示しない火災警報部を動作させるようにしてもよい。
When the air containing the sampled hydrogen gas is introduced into the mass spectrometer MS, it is ionized by the
2 イオン化部、 4 質量分離部、 6 検出部、
8 データ解析処理装置、 10 サンプリング管、 12 ドライポンプ、13 メンブレンフィルタ、 15 メンブレンフィルタ、 20 ガス導入管、
22 ニードルバルブ、 30 ヒータ、
MS 質量分析計、 TMP ターボ分子ポンプ、
2 ionization section, 4 mass separation section, 6 detection section,
8 data analysis processing equipment, 10 sampling pipe, 12 dry pump, 13 membrane filter, 15 membrane filter, 20 gas introduction pipe,
22 needle valve, 30 heater,
MS mass spectrometer, TMP turbo molecular pump,
Claims (3)
前記サンプリング管の内径および前記メンブレンフィルタの孔径を、水素ガスの消炎距離よりも小さく形成して、前記質量分析計により、前記空気中の水素ガスを検知することを特徴とするガス検出装置。 A sampling tube that samples air from a monitoring area, a mass spectrometer that is provided on the base end side of the sampling tube and ionizes the sampled air to perform mass analysis , and is provided at the distal end or in the middle of the sampling tube In a gas detection device equipped with a membrane filter ,
The gas detector according to claim 1, wherein an inner diameter of the sampling tube and a pore diameter of the membrane filter are formed to be smaller than a quenching distance of hydrogen gas, and the hydrogen gas in the air is detected by the mass spectrometer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004216542A JP4398320B2 (en) | 2004-07-23 | 2004-07-23 | Gas detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004216542A JP4398320B2 (en) | 2004-07-23 | 2004-07-23 | Gas detector |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006038537A JP2006038537A (en) | 2006-02-09 |
JP4398320B2 true JP4398320B2 (en) | 2010-01-13 |
Family
ID=35903695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004216542A Expired - Fee Related JP4398320B2 (en) | 2004-07-23 | 2004-07-23 | Gas detector |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4398320B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008021521A (en) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Ricoh Co Ltd | Fuel cell reaction analyzer and fuel cell operation state monitor |
JP4865532B2 (en) * | 2006-12-22 | 2012-02-01 | 株式会社アルバック | Mass spectrometry unit and method of using mass spectrometry unit |
CN114858562B (en) * | 2022-07-11 | 2022-09-09 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | High-temperature hydrolysis and sampling integrated equipment for detecting halogen element and sulfur element |
-
2004
- 2004-07-23 JP JP2004216542A patent/JP4398320B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006038537A (en) | 2006-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8648293B2 (en) | Calibration of mass spectrometry systems | |
EP2273530B1 (en) | GC-MS analysis apparatus and method for manufacturing it | |
JP3757820B2 (en) | Ion source and mass spectrometer using the same | |
US20180166268A1 (en) | Ionization and ion introduction device for mass spectrometer | |
US20180073955A1 (en) | Leak detector and method for detecting leaks | |
CN108695135A (en) | Ion source and method for generating element ion from aerosol particle | |
CN113295758A (en) | Mass spectrometer for on-line detection of chemical components in aerosol particles of cigarette smoke | |
JP6028874B2 (en) | Gaseous sample analyzer | |
JP2006322899A (en) | Gas-monitoring apparatus | |
JP4398320B2 (en) | Gas detector | |
JP4809100B2 (en) | Fire detection equipment | |
JP4804931B2 (en) | Gas detector | |
US10006891B2 (en) | Analytical instrumentation, analytical instrument assemblies, and analytical methods | |
JP2001351569A (en) | On-line monitor for measuring gas | |
JP7047936B2 (en) | Mass spectrometer | |
CN110085504B (en) | Ion source system based on small-hole in-situ sampling interface and miniaturized mass spectrometer | |
US6518581B1 (en) | Apparatus for control of gas flow into a mass spectrometer using a series of small orifices | |
JP2006118999A (en) | Gas detection device | |
Yamamoto et al. | Membrane introduction system for trace analysis of volatile organic compounds using a single photon ionization time-of-flight mass spectrometer | |
CN109841482A (en) | The Concentration Sampling and ionization device of volatile organic matter in a kind of fluid sample | |
JP4906319B2 (en) | Gas detector | |
Sun et al. | Real-time monitoring of trace-level VOCs by an ultrasensitive compact lamp-based VUV photoionization mass spectrometer | |
CN113808906A (en) | Ultrahigh pressure-resistant deep sea film sample introduction structure and mass spectrum system | |
RU2305282C2 (en) | Desorbing device for ion detector | |
JPH08329881A (en) | Specimen introducing device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090714 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091006 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091022 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121030 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121030 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131030 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |