JP4395429B2 - コンタクトユニットおよびコンタクトユニットを用いた検査システム - Google Patents

Description

本発明は、所定の検査対象に形成された端子と前記検査対象に対して入出力する電気信号を生成する信号生成装置との間を電気的に接続するコンタクトユニットおよびコンタクトユニットを用いた検査システムに関するものである。

従来から、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等の検査対象の電気的な特性を検査するための検査システムが知られている。ＬＣＤ等の検査対象上に形成される端子は微小かつ狭い間隔で多数配列された構造を有するため、検査システムは、検査対象上に形成された多数の端子に対応して導電性接触子が配置されたコンタクトユニットを介して検査対象と電気的に接続する構成を採用する（例えば、特許文献１参照。）。

図６は、従来の検査システムに備わるコンタクトユニットの構成を示す模式図である。図６に示すように、従来のコンタクトユニットは、検査対象に形成された端子と物理的に接触するための導電性接触子１０１と、導電性接触子１０１を保持するための保持基板１０２と、信号生成等を行う電子回路と導電性接触子１０１とを電気的に接続するための配線構造１０３およびブロック部材１０４を備えたコンタクトブロック１０５と、コンタクトブロック１０５を保持基板１０２に対して固定するための固定部材１０６と、固定部材１０６を保持基板１０２に対して固定するネジ部材１０７とを備える。かかる構成のコンタクトユニットを用いることによって、信号処理装置によって精製された電気信号は、配線構造１０３および導電性接触子１０１を経由して検査対象の端子に入力され、検査対象からの応答信号についても導電性接触子１０１および配線構造１０３を経由して信号処理装置に入力されることとなる。

特許第３４４２１３７号公報

しかしながら、従来の検査システムでは、コンタクトユニットに備わる導電性接触子と検査対象に形成された端子との位置あわせが困難であるという課題が存在する。以下、かかる課題について説明する。

図７は、従来の検査システムを用いた検査の態様を示す模式図である。ＬＣＤ等の検査対象上には、多数の端子１１０が形成されるのが通常であるため、実際の検査においては電気信号の入出力に先立ってかかる多数の端子１１０と対応する導電性接触子１０１との間の位置あわせを正確に行う必要がある。

位置あわせを行うにあたっては、検査対象上に形成された端子１１０と導電性接触子１０１との間の位置関係を直接または所定のカメラを介した目視によって行うことが最も確実である。具体的には、保持基板１０２と検査対象１０９との間の隙間部分を目視することによって位置あわせが行われ、必要に応じてコンタクトユニットの位置を移動した後に電気信号の入出力が行われることとなる。

しかしながら、従来の検査システムは、図７にも示すようにコンタクトユニットにおいてネジ部材１０７によるネジ止め領域を確保するため、保持基板１０２が検査対象側に延伸した構造を有する。従って、従来の検査システムでは、保持基板１０２の延伸部分が位置あわせのための目視を妨げる要因となっており、迅速な位置あわせを行うことが困難であるという問題が生じていた。

ここで、保持基板１０２上におけるネジ部材１０７の位置を導電性接触子１０１が保持される領域に対して図７における紙面垂直方向の位置とすることが考えられる。しかしながら、かかる構成とした場合には、検査対象に形成された端子に対応してコンタクトブロック１０５を配置することが困難となるという課題が新たに生じる。すなわち、近年における検査対象の端子の増加に対応して、コンタクトユニットは、複数のコンタクトブロック１０５を図７における紙面垂直方向に複数配置した構成を有する。従って、上述の構成とした場合には、隣接するコンタクトブロック１０５間にネジ部材１０７が位置することとなり、コンタクトブロック１０５間の間隔が増加し、検査対象の端子に対応して配線構造１０３を配置することが困難となる。

また、ネジ部材１０７を導電性接触子１０１が保持される領域に対して保持基板１０２の中央側（図７における左方向）に配置する構成も好ましくない。図７にも示すように、配線構造１０３は、保持基板１０２の表面から図７における左方向に延伸するため、ネジ部材１０７をかかる位置に配置した場合には、ネジ部材１０７と配線構造１０３との電気的な絶縁性を保持するための工夫が新たに必要となるためである。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、検査対象に形成された端子と導電性接触子との間の位置あわせを容易に行うことが可能なコンタクトユニットおよびかかるコンタクトユニットを備えた検査システムを実現することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかるコンタクトユニットは、所定の検査対象に形成された端子と前記検査対象に対して入出力する電気信号を生成する信号生成装置との間を電気的に接続するコンタクトユニットであって、前記端子と接触する導電性接触子と、端部近傍領域で厚み方向に貫通する貫通孔を有し、該貫通孔へ前記導電性接触子を貫通させて保持する保持基板と、所定の配線構造を備え、該配線構造が前記導電性接触子と電気的に接続するよう前記保持基板上に配置されたコンタクトブロックと、前記導電性接触子が保持される領域よりも保持基板中央側にて前記保持基板に対して固定され、前記保持基板との間で前記コンタクトブロックを挟み込み、前記コンタクトブロックに対して前記保持基板の厚み方向であって前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加することによって前記コンタクトブロックを前記保持基板上に固定するブロック固定部材と、を備え、前記ブロック固定部材は、前記保持基板に対する固定箇所から前記導電性接触子が配置される側と反対側の端部に向かって所定距離に渡って前記保持基板表面と接触する部分を有することを特徴とする。

本発明によれば、導電性接触子と電気的に接続するコンタクトブロックは、導電性接触子よりも保持基板中央側にて保持基板に対して固定された固定部材によって保持基板上に固定される構成としたため、コンタクトブロックを固定するための領域を確保するために保持基板の端部を延伸する必要が無く、検査対象の端子と導電性接触子との間の位置あわせの際に端子と導電性接触子との間の位置関係を容易に目視することが可能である。

また、本発明にかかるコンタクトユニットは、上記の発明において、前記コンタクトブロックは、前記配線構造の一端が前記保持基板と接触する面上に前記導電性接触子に対応して配置された直方体形状のブロック部材を備え、前記ブロック固定部材は、前記ブロック部材において前記配線構造が配置された面と対向する面に対して前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加することを特徴とする。

また、本発明にかかるコンタクトユニットは、上記の発明において、前記ブロック固定部材は、前記配線構造の他端を外部に延伸させるための開口部が形成されたことを特徴とする。

また、本発明にかかる検査システムは、所定の検査対象の電気的特性を検査する検査システムであって、前記端子と接触する導電性接触子と、端部近傍領域で厚み方向に貫通する貫通孔を有し、該貫通孔へ前記導電性接触子を貫通させて保持する保持基板と、所定の配線構造を備え、該配線構造が前記導電性接触子と電気的に接続するよう前記保持基板上に配置されたコンタクトブロックと、前記導電性接触子が保持される領域よりも保持基板中央側にて前記保持基板に対して固定され、前記保持基板との間で前記コンタクトブロックを挟み込み、前記コンタクトブロックに対して前記保持基板の厚み方向であって前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加することによって前記コンタクトブロックを前記保持基板上に固定するブロック固定部材とを備えたコンタクトユニットと、前記配線構造と電気的に接続され、前記配線構造および前記導電性接触子を介して前記検査対象に対して電気信号の入出力を行う信号処理装置と、を備え、前記ブロック固定部材は、前記保持基板に対する固定箇所から前記導電性接触子が配置される側と反対側の端部に向かって所定距離に渡って前記保持基板表面と接触する部分を有することを特徴とする。

本発明にかかるコンタクトユニットおよび検査システムは、導電性接触子と電気的に接続するコンタクトブロックは、導電性接触子よりも保持基板中央側にて保持基板に対して固定された固定部材によって保持基板上に固定される構成としたため、コンタクトブロックを固定するための領域を確保するために保持基板の端部を延伸する必要が無く、検査対象の端子と導電性接触子との間の位置あわせの際に端子と導電性接触子との間の位置関係を容易に目視することが可能であり、容易に位置あわせを行うことが可能であるという効果を奏する。

以下に、本発明にかかるコンタクトユニットおよび検査システムを実施するための最良の形態（以下、「実施の形態」と称する）を、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。

図１は、本実施の形態にかかる検査システムの全体構成を示す模式図である。図１に示すように、本実施の形態にかかる検査システムは、所定の電気信号の生成・処理を行う信号処理装置１と、信号処理装置１と検査対象との間を電気的に接続するコンタクトユニット２とを備えた構成を有する。

信号処理装置１は、所定の電気信号の入出力および信号処理を行うためのものである。具体的には、信号処理装置１は、検査対象の検査の際に使用される検査用の電気信号を生成すると共に、検査対象からの電気信号を入力・処理する機能を有する。

コンタクトユニット２は、検査対象に形成された信号入出力用の端子に対応した配列パターンで配置された導電性接触子３と、導電性接触子３を保持する保持基板４と、保持基板４上であって導電性接触子３の保持領域に対応した領域に配置されたコンタクトブロック５と、コンタクトブロック５を保持基板４上に固定する固定部材６とを備える。また、コンタクトユニット２は、検査対象に対する導電性接触子３の高さを調整する調整機構８と、調整機構８を保持するフレーム基板９とを備える。

図２は、コンタクトユニット２の上面図である。図２に示すように、コンタクトユニット２は、単一のフレーム基板９に対して複数の調整機構８および調整機構８に対応した固定部材６、コンタクトブロック５、保持基板４（図２にて図示省略）および導電性接触子３（図示省略）が配置された構造を有する。本実施の形態にかかる検査システムは、かかる構造を採用することによって検査対象上に形成された多数の端子に対する電気的接続を実現するが、もちろん単一の保持基板４、コンタクトブロック５および固定部材６によってコンタクトユニット２を構成することとしても良い。

導電性接触子３は、検査対象上に形成された端子と物理的に接触するためのものである。具体的には、導電性接触子３は、例えばバネ部材を備え、伸縮自在の針状の形状の導電性部材によって形成される。導電性接触子３は、保持基板４を貫通するよう保持され、下端部において検査対象上の端子と物理的に接触し、上端部において配線構造１２（後述）と電気的に接続するよう形成される。

保持基板４は、導電性接触子３を保持するためのものである。具体的には、保持基板４は、端部近傍に検査対象の端子の配列に対応して貫通孔１０が多数形成され、かかる貫通孔１０中に導電性接触子３を保持する構造を有する。

コンタクトブロック５は、導電性接触子３と電気的に接続するためのものである。具体的には、コンタクトブロック５は、絶縁材料によって形成され、直方体形状を有するブロック部材１１と、ブロック部材１１の表面上に一端が固定された配線構造１２とを備えた構造を有する。

配線構造１２は、導電性接触子３と信号処理装置１との間を電気的に接続するためのものである。具体的には、配線構造１２は、ブロック部材１１の表面のうち、保持基板４と対向する面上に一端が固定されており、ブロック部材１１が保持基板４の所定の位置に配置されることによって、一端が導電性接触子３の上端部と接触するよう構成されている。また、配線構造１２そのものの構造としては、多数の導電性接触子３に対応した多数本の導電性ワイヤ等によって形成することとしても良いが、本実施の形態では、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）等によって多数の導電性接触子３のそれぞれと信号処理装置１とを電気的に接続する構成を有することとする。

固定部材６は、コンタクトブロック５を保持基板４上に固定するためのものである。具体的には、固定部材６は、導電性接触子３が保持される領域（すなわち、貫通孔１０が形成される領域）よりも保持基板中央側（図１における左側）にて保持基板４に固定された構成を有すると共に、保持基板４に対して固定された場合にブロック部材１１の上面と接触する押圧面１１ａが形成された構造を有する。より具体的には、固定部材６は、図１に示すように導電性接触子３が保持される領域よりも保持基板中央側にてネジ部材１３によってネジ止めされることによって保持基板４に対して固定され、かかる固定態様により押圧面１１ａを介してブロック部材１１に対して保持基板４に近接する方向に押圧力を印加し、コンタクトブロック５を固定することとしている。

また、固定部材６は、押圧面１１ａが形成された領域と保持基板４に対して固定された領域（すなわち、ネジ部材１３が配置された領域）との間に開口部１６が形成された構造を有する。開口部１６は、コンタクトブロック５に備わる配線構造１２を外部に延伸させるためのものであって、かかる開口部１６を経由して配線構造１２はコンタクトユニット２の外部に延伸し、信号処理装置１と電気的に接続されることとなる。

調整機構８は、導電性接触子３の鉛直方向の位置を調整するためのものである。具体的には、調整機構８は、フレーム基板９に対して固定された第１部材１４と、固定部材６に対して固定された第２部材１５とを備え、第１部材１４と第２部材１５との間の鉛直方向の位置関係を調整する機構（図示省略）によって、フレーム基板９に対する固定部材６（および固定部材６に対して固定される保持基板４、さらには導電性接触子３）の鉛直方向の位置を調整する機能を有する。かかる位置調整機能により、図２に示すように異なる保持基板４に保持された導電性接触子３間の高さをあらかじめ揃えておくことが可能である。

次に、本実施の形態にかかる検査システムを用いた検査について説明する。図３は、本実施の形態にかかる検査システムを用いた検査対象の検査態様について示す模式図であり、以下、図３を適宜参照しつつ検査の内容について説明する。

まず、導電性接触子３の位置あわせが行われる。具体的には、検査対象１８上に形成された端子１９に対して、対応する導電性接触子３が鉛直上方に位置するよう、水平方向（図３における横方向および紙面に垂直な方向）に導電性接触子３の位置を調整する。具体的には、図３にも示すように、導電性接触子３と端子１９とが接触する部分を基点として視野角θの範囲で検査対象１８側の斜め上方向より目視することによって導電性接触子３と端子１９との水平方向に関する位置関係を確認しつつ位置調整を行う。なお、具体的な位置調整の態様としては、例えばフレーム基板９の位置を水平方向に微調整する機構を用いることとしても良いし、調整機構８に水平方向の位置調整機能を持たせることとしても良い。

そして、水平方向の位置あわせが完了した後に、導電性接触子３と検査対象１８との間の鉛直方向の位置関係を調整することによって、導電性接触子３と端子１９とを物理的に接触させる。具体的には、例えば検査対象１８を鉛直上方に移動することによって、検査対象１８上に形成された端子１９と導電性接触子３とを物理的に接触させる。なお、かかる物理的な接触の態様としては、一方から他方に対して所定の押圧力が印加される程度に互いに接触することが好ましい。導電性接触子３が端子１９に対して押圧力を印加した状態で接触することにより、導電性接触子３と端子１９との間における電気的な接触抵抗を低減することが可能となるためである。

その後、信号処理装置１から検査対象１８に対して検査用の電気信号が出力される。具体的には、信号処理装置１から出力された電気信号は、配線構造１２、導電性接触子３および導電性接触子３と物理的に接触した端子１９を介して検査対象１８に入力される。かかる電気信号に対して検査対象１８内に形成された電子回路等による処理が行われ、検査対象１８から信号処理装置１に対して応答信号が出力され、かかる信号に基づき信号処理装置１は、検査対象１８が所望の特性を備えているか否かの判定処理等を行う。

次に、本実施の形態にかかる検査システムの利点について説明する。まず、本実施の形態にかかる検査システムは、端子１９に対する導電性接触子３の位置あわせを容易かつ迅速に行うことが可能である。以下、かかる利点について詳細に説明する。

図１等において示したように、本実施の形態にかかる検査システムでは、固定部材６が保持基板４に対して導電性接触子３が保持される領域よりも保持基板中央側にて固定された構造を有する。このため、本実施の形態では、固定部材６を固定するための領域を保持基板４の端部近傍に形成する必要が無く、導電性接触子３を保持基板４の端部近傍にて保持することが可能となる。

従って、本実施の形態にかかる検査システムでは、保持基板４が、導電性接触子３を保持する領域よりも検査対象側（図１、図３における右側）に延伸した構成とはならず、保持基板４が位置あわせの際の目視の妨げとなることを抑制することが可能である。すなわち、本実施の形態にかかる検査システムは、検査対象１８に対する検査を行う際に導電性接触子３と端子１９とが接触する部分を目視可能な視野範囲が従来よりも拡大することによって、迅速かつ容易な位置あわせを行うことが可能であるという利点を有する。なお、導電性接触子３と端子１９とが接触する部分を目視可能な視野範囲が従来よりも拡大することは、図３と図７とを比較すれば明らかであって、図３に示す本実施の形態の視野角θは、図７に示す従来の視野角θ₀よりも広い角度となっている。

なお、本実施の形態にかかる検査システムは、導電性接触子３と端子１９とが接触する部分を目視可能な視野範囲を拡大することによって生じうる不具合も効果的に防止している。すなわち、図２にも示したように、本実施の形態では、導電性接触子３の配列方向（図１、図３における紙面に垂直な方向）の端部近傍に関してはバネ部材が配置されることもなく従来と何ら変わらない構成を有する。従って、ネジ部材の位置を保持基板の端部近傍とは異なる位置に配置したにもかかわらず、複数のコンタクトブロック間の間隔が広がり、微小な端子に対応して導電性接触子を配置することが困難となるといった問題が新たに生じることはない。

また、図１等にも示すように固定部材６は、ブロック部材１１が配置された領域よりも保持基板中央側にて保持基板４に対して固定された構成を有する。従って、ブロック部材１１の下面から延伸する配線構造１２と、固定部材６の固定に用いられるネジ部材１３とが接触することはなく、ネジ部材１３を保持基板４の端部近傍と異なる位置に配置する構成としたにも関わらず、配線構造１２の機能を妨げることもない。特に、本実施の形態では固定部材６に開口部１６を形成した構造を採用するため、配線構造１２は、ブロック部材１１の下面から開口部１６を経由して外部に延伸することが可能であり、かかる観点からも固定部材６の存在により配線構造１２の機能が妨げられることはない。

さらに、本実施の形態にかかる検査システムは、導電性接触子の先端部における摩耗を抑制できるという利点を有する。図４は、かかる利点を説明するための模式図であり、以下では図４を参照しつつ説明を行う。

既に説明したように、検査対象１８に対して検査を行う際には、位置あわせを行った後に検査対象１８を鉛直上方に移動させることによって導電性接触子３の先端が端子１９と物理的に接触する。そして、かかる時点において、導電性接触子３と端子１９との間の電気的な接触抵抗を低減する観点から、本実施の形態では導電性接触子３と端子１９との間で一方から他方に対して鉛直方向（図３、図４における縦方向）にある程度の押圧力を印加するよう接触される。かかる押圧力の反作用として導電性接触子３に対しては、端子１９から鉛直上方に押圧力を受けることとなり、この結果、導電性接触子３を保持する保持基板４は、端部近傍にて鉛直上方に圧力を受けることとなり、従来構造の検査システム等においては、保持基板４が反り、保持基板４に保持された導電性接触子３の先端部は、端子１９に接触した状態を維持しつつ位置が変動する。従って、検査を複数回繰り返した場合等には、導電性接触子３の先端部が徐々に摩耗することとなり、検査システムの性能に悪影響を及ぼすという問題があった。

これに対して、本実施の形態では、固定部材６が導電性接触子３よりも保持基板中央側にて保持基板４に対して固定されると共に、コンタクトブロック５を保持基板４との間で挟み込む構成を有する。このため、固定部材６は、保持基板４に対して、コンタクトブロック５を介して導電性接触子３を保持する領域において鉛直下向に押圧力を印加することとなり、かかる押圧力が端子１９より与えられる鉛直上方の押圧力を相殺する補強部材として機能することが可能である。すなわち、本実施の形態にかかる検査システムでは、固定部材６が保持基板４の反りを防ぐための補強部材として機能することによって、保持基板４の反りが抑制され、結果として導電性接触子３の先端部の位置変動の発生を抑制することとなり、先端部の摩耗を防止することが可能となる。

なお、固定部材６が保持基板４の補強部材としても機能することにより、本実施の形態では保持基板４を形成する材料の選択自由度が向上するという利点も有する。すなわち、保持基板４は、保持する導電性接触子３の長さに合わせて厚みを薄くした基板によって形成する必要があるため、従来構造において反り等の形状変化をある程度抑制するためには保持基板４を形成する材料として剛性に富んだものを用いる必要があった。しかしながら本実施の形態にかかる検査システムでは固定部材６が補強部材として機能することによって保持基板４の剛性が強化されることとなるため、保持基板４の剛性に関して考慮する必要性が乏しくなる。従って、保持基板４を構成する材料の選択の自由度が向上することとなり、製造コストや剛性以外の特性を重視した保持基板４を用いることが可能となる。なお、固定部材６に関しては、導電性接触子３の長さ等による厚みの制限は特にないことから、固定部材６を形成する材料を剛性に富んだものとしても良いし、固定部材６の厚みを大きくすることによって固定部材６全体として所望の剛性を持たせることとしても良い。

なお、本実施の形態１では、さらに確実に保持基板４の反りの発生を抑制するために、固定部材６の構造に工夫を施している。すなわち、図４にも示すように、固定部材６は、導電性接触子３が保持される領域よりも保持基板中央側にてネジ部材１３によって保持基板４に対して固定されるが、本実施の形態では、固定部材６をかかる固定箇所（すなわち、ネジ部材１３が配置される領域）よりも保持基板中央側、さらには導電性接触子３が保持される端部と対向する基板端部側にまで延伸した構成を採用している。かかる構成を採用することによって、固定部材６は、保持基板４に対する固定箇所よりもさらに保持基板中央側に位置する領域においても補強部材として機能することとなり、保持基板４の反りをより効果的に抑制することが可能である。

さらに、本実施の形態にかかる検査システムは、コンタクトブロック５の交換が容易であるという利点を有する。図５は、かかる利点を説明するための模式図であり、以下図５を参照しつつ説明を行う。

従来の検査システムは、図６にも示したように、固定のためのネジ部材が補強部材のみならずコンタクトブロックをも貫通する形で配置されていたため、コンタクトブロックを交換するためにはネジ部材を一旦取り外す必要があった。これに対して、上述したように本実施の形態におけるコンタクトブロック５は、保持基板４上の所定の位置に配置され、コンタクトブロック５を形成するブロック部材１１の上面に対して固定部材６が保持基板に近接する方向に押圧力を印加することにより固定されている。従って、コンタクトブロック５は、固定部材６によって保持基板４上に固定された状態であっても水平方向（図５における横方向および紙面に垂直な方向）には比較的自由に移動することが可能である。すなわち、本実施の形態では、コンタクトブロック５を交換する際には、固定部材６がネジ部材１３によって保持基板４に対して固定された状態を維持したままコンタクトブロック５のみを保持基板４から取り外すことが可能であり、容易にコンタクトブロック５を交換することが可能である。

なお、他の構成としては、コンタクトブロック５を形成するブロック部材１１の上面および／または下面を微小な凹凸を有する面とすることとしても良い。かかる構成とした場合には、固定部材６が保持基板４に対して固定された状態においては、保持基板４の表面等との間に摩擦力を生じることとなるため、コンタクトブロック５が水平方向に移動することは困難となる。一方で、ネジ部材１３をゆるめた場合には固定部材６によって印加される押圧力が減少するために摩擦力が低下し、コンタクトブロック５の水平方向に対する移動が比較的容易なものとなる。このため、ネジ部材１３によるネジ止めの程度を調整することによってコンタクトブロック５の固定の程度を調整することが可能となり、例えば検査システムを用いた検査の最中にコンタクトブロック５が水平方向に位置ずれすることを防止できる一方で、交換時にはコンタクトブロック５を容易に移動することが可能となる。この他に、ノックピンを用いることによって、ブロック部材１１が保持基板４および固定部材６に対して位置決めされる構成とすることも好ましい。

以上、本発明に関して実施の形態を用いて説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定して解釈するべきではなく、当業者であれば容易に実施例、変形例等に想到することが可能である。例えば、上述した実施の形態においては検査対象１８についてＬＣＤを例として説明したが、当然のことながら検査対象に関しては任意の回路構造とすることが可能であり、例えば本発明を半導体素子・ウェハに対する検査システムに適用することが可能である。

また、具体的な構造としては図１等に示したものに限定されるものではない。すなわち、所定の保持基板の端部近傍に導電性接触子が配置され、かかる導電性接触子と電気的に接続する配線構造を備えたコンタクトブロックを固定するための固定部材が導電性接触子が配置された領域よりも保持基板中央側にて保持基板に対して固定された構造を有していれば、検査対象の端子と導電性接触子との間の位置関係を目視することが容易となり、両者の間の位置あわせを容易に行うことができるという本発明の利点を享受することが可能である。さらに、固定部材６の保持基板４に対する固定態様に関しても、ネジ部材１３以外の構成を用いることとしても良い。また、配線構造１２と導電性接触子３との間の電気的接続は、両者が物理的に接触することによって実現しても良いが、たとえばブロック部材１１の下面に導電性接触子３に対応した端子が形成され、かかる端子を介して配線構造１２と導電性接触子３との間を電気的に接続することとしても良い。

実施の形態にかかる検査システムの全体構成を示す模式図である。 実施の形態にかかる検査システムを構成するコンタクトユニットの上面図である。 実施の形態にかかる検査システムの使用態様について説明するための模式図である。 実施の形態にかかる検査システムの利点を説明するための模式図である。 実施の形態にかかる検査システムの利点を説明するための模式図である。 従来の検査システムに備わるコンタクトユニットの構成を示す模式図である。 従来の検査システムの課題を説明するための模式図である。

符号の説明

１ 信号処理装置
２ コンタクトユニット
３ 導電性接触子
４ 保持基板
５ コンタクトブロック
６ 固定部材
８ 調整機構
９ フレーム基板
１０ 貫通孔
１１ ブロック部材
１１ａ 押圧面
１２ 配線構造
１３ ネジ部材
１４ 第１部材
１５ 第２部材
１６ 開口部
１７ 保持領域
１８ 検査対象
１９ 端子
１０１ 導電性接触子
１０２ 保持基板
１０３ 配線構造
１０４ ブロック部材
１０５ コンタクトブロック
１０６ 固定部材
１０７ ネジ部材
１０９ 検査対象
１１０ 端子

Claims (4)

1. 所定の検査対象に形成された端子と前記検査対象に対して入出力する電気信号を生成する信号生成装置との間を電気的に接続するコンタクトユニットであって、
   前記端子と接触する導電性接触子と、
   端部近傍領域で厚み方向に貫通する貫通孔を有し、該貫通孔へ前記導電性接触子を貫通させて保持する保持基板と、
   所定の配線構造を備え、該配線構造が前記導電性接触子と電気的に接続するよう前記保持基板上に配置されたコンタクトブロックと、
   前記導電性接触子が保持される領域よりも保持基板中央側にて前記保持基板に対して固定され、前記保持基板との間で前記コンタクトブロックを挟み込み、前記コンタクトブロックに対して前記保持基板の厚み方向であって前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加することによって前記コンタクトブロックを前記保持基板上に固定するブロック固定部材と、
   を備え、
   前記ブロック固定部材は、前記保持基板に対する固定箇所から前記導電性接触子が配置される側と反対側の端部に向かって所定距離に渡って前記保持基板表面と接触する部分を有することを特徴とするコンタクトユニット。
2. 前記コンタクトブロックは、前記配線構造の一端が前記保持基板と接触する面上に前記導電性接触子に対応して配置された直方体形状のブロック部材を備え、
   前記ブロック固定部材は、前記ブロック部材において前記配線構造が配置された面と対向する面に対して前記保持基板の厚み方向であって前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加することを特徴とする請求項１に記載のコンタクトユニット。
3. 前記ブロック固定部材は、前記配線構造の他端を外部に延伸させるための開口部が形成されたことを特徴とする請求項１または２に記載のコンタクトユニット。
4. 所定の検査対象の電気的特性を検査する検査システムであって、
   前記端子と接触する導電性接触子と、端部近傍領域で厚み方向に貫通する貫通孔を有し、該貫通孔へ前記導電性接触子を貫通させて保持する保持基板と、所定の配線構造を備え、該配線構造が前記導電性接触子と電気的に接続するよう前記保持基板上に配置されたコンタクトブロックと、前記導電性接触子が保持される領域よりも保持基板中央側にて前記保持基板に対して固定され、前記保持基板との間で前記コンタクトブロックを挟み込み、前記コンタクトブロックに対して前記保持基板の厚み方向であって前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加することによって前記コンタクトブロックを前記保持基板上に固定するブロック固定部材とを備えたコンタクトユニットと、
   前記配線構造と電気的に接続され、前記配線構造および前記導電性接触子を介して前記検査対象に対して電気信号の入出力を行う信号処理装置と、
   を備え、
   前記ブロック固定部材は、前記保持基板に対する固定箇所から前記導電性接触子が配置される側と反対側の端部に向かって所定距離に渡って前記保持基板表面と接触する部分を有することを特徴とする検査システム。

Images