JP4183020B2 - Electronic component and manufacturing method thereof - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 153
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 31
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 6
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 101100063942 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) dot-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007648 laser printing Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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Description
本発明は、電子部品及びその製造方法に関し、詳しくは、抵抗要素を有する電子部品及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an electronic component and a manufacturing method thereof, and more particularly, to an electronic component having a resistance element and a manufacturing method thereof.
抵抗器等において、所望の抵抗値の抵抗膜等の抵抗要素を形成する方法として、例えば、スクリーン印刷や、インクジェット法が知られている。 As a method of forming a resistance element such as a resistance film having a desired resistance value in a resistor or the like, for example, screen printing or an ink jet method is known.
例えば、特許文献1には、スクリーン印刷を用い、基材表面に面積ならびに間隔が異なるドット状の第1の抵抗部を略帯状に形成し、その第1の抵抗部の上に第1の抵抗部と電気抵抗が異なる連続した層状の第2の抵抗部を形成することが開示されている。 For example, in Patent Document 1, dot-shaped first resistance portions having different areas and intervals are formed in a substantially band shape on the surface of a substrate using screen printing, and a first resistor is formed on the first resistance portion. It is disclosed that a continuous layer-like second resistance portion having a different electrical resistance from that of the portion is formed.
また、特許文献2には、未焼成セラミックシート上に、1種類の抵抗性インクをインクジェット法で付着させて抵抗体を形成することが開示されている。
しかし、特許文献1のように、スクリーン印刷を用いて抵抗部を形成する場合、抵抗値が変わるとスクリーン版を交換する。そのため、抵抗値ごとに多額のスクリーン版製作コストが発生し、スクリーン版の製作に長期間を要する。 However, when the resistance portion is formed by screen printing as in Patent Document 1, the screen plate is replaced when the resistance value changes. For this reason, a large amount of screen plate manufacturing cost is generated for each resistance value, and it takes a long time to manufacture the screen plate.
また、スクリーン印刷を用いて2種類以上の導電性ペーストを印刷する場合、2種類以上の導電性ペーストを同時に印刷することができず、1種類の導電性ペーストを印刷するごとに、毎回、乾燥工程、スクリーン版の変更工程が必要となる。2種類目の導電性ペーストの印刷以降は、スクリーン版をそれ以前に印刷した導電性ペーストの印刷位置に高精度に位置決めする必要がある。さらに、2種類目以降の導電性ペーストは、スクリーン印刷によって、それ以前に印刷した導電性ペーストの間の隙間にうまく入らず、空隙が形成されてしまうことがある。そのため、工程を簡便にすることが困難である。 In addition, when two or more types of conductive paste are printed using screen printing, two or more types of conductive paste cannot be printed at the same time, and each time one type of conductive paste is printed, it is dried. A process and a screen plate changing process are required. After printing the second type of conductive paste, it is necessary to position the screen plate with high accuracy at the printing position of the conductive paste printed before that. Furthermore, the second and subsequent types of conductive paste may not enter the gaps between the previously printed conductive pastes by screen printing, and voids may be formed. Therefore, it is difficult to simplify the process.
特許文献2のように1種類の抵抗性インクを用いて抵抗体を形成する場合、例えば抵抗体の寸法・形状が同じで抵抗値が異なるようにするためには、抵抗値に対応して組成の異なる抵抗性インクを予め作製しておかなければならない。そのため、多品種少量生産に対応しにくい。
When a resistor is formed using one type of resistive ink as in
本発明は、かかる実情に鑑み、種々の抵抗値の抵抗要素を効率よく作製することができる、電子部品及びその製造方法を提供しようとするものである。 In view of such circumstances, the present invention intends to provide an electronic component and a method for manufacturing the same, which can efficiently produce resistance elements having various resistance values.
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品を提供する。 In order to solve the above problems, the present invention provides an electronic component configured as follows.
電子部品は、互いに対向する一対の端子と、該一対の端子間に配置された抵抗要素とを備えたタイプのものである。前記抵抗要素は、連続して配置された少なくとも2つの抵抗部(以下、「第1抵抗部」、「第2抵抗部」という。)を含む。前記第1抵抗部は、互いに重なり合って配置された複数の第1のドットを含む。前記第2抵抗部は、互いに重なり合って配置された前記第1のドットとは電気抵抗が異なる複数の第2のドットを含む。 The electronic component is of a type including a pair of terminals facing each other and a resistance element disposed between the pair of terminals. The resistance element includes at least two resistance parts (hereinafter referred to as “first resistance part” and “second resistance part”) arranged in succession. The first resistance unit includes a plurality of first dots arranged to overlap each other. The second resistance portion includes a plurality of second dots having different electric resistances from the first dots arranged to overlap each other.
上記構成において、第1のドットと第2のドットとは、例えば、インクジェット法を用い、組成の異なる抵抗インクの微細な粒子を噴射して基材に付着させることにより形成する。レーザープリント法を用い、組成の異なる抵抗トナーの微細な粒子を基材に付着させて形成することも可能である。抵抗要素は、少なくとも2つの第1抵抗部と第2抵抗部とに塗り分けられ、各抵抗部は互いに重なり合った複数のドットを含んでいる。 In the above configuration, the first dots and the second dots are formed by, for example, using an ink jet method and ejecting fine particles of resistance ink having different compositions to adhere to the substrate. It is also possible to use a laser printing method to form fine particles of resistance toner having different compositions attached to a substrate. The resistance element is divided into at least two first resistance portions and second resistance portions, and each resistance portion includes a plurality of dots that overlap each other.
上記構成によれば、抵抗要素の形成にスクリーン版を必要としないので、スクリーン版の製作・管理コストが不要となり、スクリーン版の製作期間もなくなるため、短納期対応が可能となる。ドットを形成するための抵抗インクや抵抗トナー等を変更することなく、抵抗部内のドットのサイズや個数、抵抗部の形状などを変えることにより、種々の抵抗値の抵抗要素を形成することができる。 According to the above configuration, since the screen plate is not required for forming the resistance element, the production cost and the management cost of the screen plate are not required, and the production period of the screen plate is eliminated, so that a short delivery time can be met. It is possible to form resistance elements having various resistance values by changing the size and number of dots in the resistance portion, the shape of the resistance portion, and the like without changing the resistance ink or resistance toner for forming dots. .
好ましくは、前記第1抵抗部と前記第2抵抗部とが前記端子間に直列に配置されている。 Preferably, the first resistance part and the second resistance part are arranged in series between the terminals.
この場合、計算により所望の抵抗値を得やすい。また、形成した抵抗要素の抵抗値を後から調整する場合、まず、相対的に抵抗値が高い方の抵抗部を部分的に除去して抵抗値をおおまかに調整し、次いで、相対的に抵抗値が低い方の抵抗部を部分的に除去して抵抗値を微調整することができる。 In this case, it is easy to obtain a desired resistance value by calculation. When the resistance value of the formed resistance element is adjusted later, the resistance value having a relatively high resistance value is first partially removed to roughly adjust the resistance value, and then the resistance value is relatively adjusted. The resistance value can be finely adjusted by partially removing the lower resistance portion.
好ましくは、前記第1抵抗部と前記第2抵抗部とが前記端子間に並列に配置されている。ここで言う並列とは、第1抵抗部と第2抵抗部が接触している場合と離れている場合のいずれであってもよい。また接触している場合においては、上下に重ねられた状態であってもよい。さらに上下に重ねられている状態においては、第1抵抗部内に浮島状に第2抵抗部が形成されていてもよい。 Preferably, the first resistance part and the second resistance part are arranged in parallel between the terminals. Here, the term “parallel” may be used when the first resistance portion and the second resistance portion are in contact with each other or when they are apart from each other. Further, when they are in contact, they may be stacked one above the other. Further, in a state where they are stacked one above the other, the second resistance portion may be formed in a floating island shape within the first resistance portion.
この場合、計算により所望の抵抗値を得やすい。また、形成した抵抗要素の抵抗値を後から調整する場合、まず、相対的に抵抗値が高い方の抵抗部を部分的に除去して抵抗値をおおまかに調整し、次いで、相対的に抵抗値が低い方の抵抗部を部分的に除去して抵抗値を微調整することができる。 In this case, it is easy to obtain a desired resistance value by calculation. When the resistance value of the formed resistance element is adjusted later, the resistance value having a relatively high resistance value is first partially removed to roughly adjust the resistance value, and then the resistance value is relatively adjusted. The resistance value can be finely adjusted by partially removing the lower resistance portion.
好ましくは、前記第1抵抗部と前記第2抵抗部との少なくとも一方が金属である。 Preferably, at least one of the first resistance portion and the second resistance portion is a metal.
金属は、例えば、Ni−Crのように抵抗値がかなり高いもの、Pdのように抵抗値がやや高いもの、Agのように抵抗値が低いものなど、種々の抵抗値のものがあるので、用途に応じて種々の抵抗値の抵抗要素を容易に形成することができる。 Metals have various resistance values, such as those having a considerably high resistance value such as Ni-Cr, those having a slightly high resistance value such as Pd, and those having a low resistance value such as Ag. Resistive elements having various resistance values can be easily formed according to the application.
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品の製造方法を提供する。 Moreover, in order to solve the said subject, this invention provides the manufacturing method of the electronic component comprised as follows.
電子部品の製造方法は、(1)基材の第1の領域に、抵抗要素の一部となる成分を含む第1の抵抗インクを用い、インクジェット法により、互いに重なり合う複数の第1のドットを配置する第1の工程と、(2)前記第1の領域に隣接する第2の領域に、前記抵抗要素の他の一部となる成分を含み前記第1の抵抗インクとは組成が異なる第2の抵抗インクを用い、インクジェット法により、互いに重なり合う複数の第2のドットを配置する第2の工程と、(3)前記第1の領域の前記第1のドットと前記第2の領域の前記第2のドットとを熱処理して、前記抵抗要素を形成する第3の工程とを備える。 In the method for manufacturing an electronic component, (1) using a first resistance ink containing a component that becomes a part of a resistance element in a first region of a substrate, a plurality of first dots that overlap each other are formed by an inkjet method. A first step of disposing, and (2) a second region adjacent to the first region that includes a component that is another part of the resistive element and has a composition different from that of the first resistive ink. A second step of arranging a plurality of second dots overlapping each other by an inkjet method using (2) the resistance ink of (2), and (3) the first dots of the first region and the second region of the second region A third step of heat-treating the second dots to form the resistance elements.
上記方法において、第1のドットと第2のドットとは、それぞれ、第1の抵抗インクと第2の抵抗インクの微細なインク滴を噴射して基材に付着させることにより形成する。抵抗要素は、少なくとも2つの第1の領域と第2の領域とに塗り分けられ、各領域は互いに重なり合った複数のドットを含んでいる。第2の工程は、第1の工程が終了する前に開始してもよい。第3の工程は、乾燥工程及び焼成工程として熱処理温度の異なる複数の工程を含んでいてもよい。このうち乾燥工程は、第1の工程又は第2の工程が終了する前に開始してもよい。 In the above method, the first dots and the second dots are formed by ejecting fine ink droplets of the first resistance ink and the second resistance ink, respectively, and attaching them to the substrate. The resistance element is divided into at least two first regions and second regions, and each region includes a plurality of dots that overlap each other. The second step may be started before the first step is finished. The third step may include a plurality of steps having different heat treatment temperatures as the drying step and the firing step. Among these, the drying step may be started before the first step or the second step is completed.
上記方法によれば、抵抗要素の形成にスクリーン版を必要としないで、スクリーン版の製作・管理コストが不要となり、スクリーン版の製作期間もなくなる。同じ抵抗インクを用い、領域内のドットのサイズや個数、領域の形状などを変えることにより、種々の抵抗値の抵抗要素を形成することができる。 According to the above method, the screen plate is not required for forming the resistance element, the cost for producing and managing the screen plate becomes unnecessary, and the production period of the screen plate is also eliminated. By using the same resistance ink and changing the size and number of dots in the region, the shape of the region, and the like, resistance elements having various resistance values can be formed.
好ましくは、前記第2の工程の前に、前記第1のドットを乾燥させるドット乾燥工程を備える。このドット乾燥工程は、前記第1の工程と前記第2の工程との間に独立して設けてもよいが、好ましくは、前記第1の工程と並行して実施する。例えば、前記第1の工程において、前記基材を常温より高温にするか、または前記第1の工程を乾燥雰囲気中において行なうことにより、前記ドット乾燥工程を実施するのがよい。 Preferably, a dot drying step of drying the first dots is provided before the second step. This dot drying step may be provided independently between the first step and the second step, but is preferably performed in parallel with the first step. For example, in the first step, the dot drying step may be performed by setting the base material to a temperature higher than room temperature or by performing the first step in a dry atmosphere.
この場合、基材を常温よりも高温(例えば、25℃以上)にするか、または前記第1の工程を乾燥雰囲気中において行なうことにより、基材に配置した第1のドットの乾燥時間を短くすることができるので、重ね塗りや並べ塗りをしても2種類の抵抗インクが混合しにくくなり、所望の抵抗値を得やすい。 In this case, the drying time of the first dots arranged on the substrate is shortened by setting the substrate to a temperature higher than room temperature (for example, 25 ° C. or more) or by performing the first step in a dry atmosphere. As a result, it is difficult to mix the two types of resistance inks even if they are overcoated or arranged, and a desired resistance value can be easily obtained.
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品の製造方法を提供する。 Moreover, in order to solve the said subject, this invention provides the manufacturing method of the electronic component comprised as follows.
電子部品の製造方法は、(1)基材に、抵抗要素となる成分を含む第1の抵抗インクを用い、インクジェット法により、複数の第1のドットを配置する第1の工程と、(2)前記抵抗要素となる成分を含み前記第1の抵抗インクとは組成が異なる第2の抵抗インクを用い、インクジェット法により、複数の第2のドットを、前記第1のドットに重なるように配置して、前記第1のドットの前記第1の抵抗インクと前記第2のドットの前記第2の抵抗インクとを混合させて混合部を形成する第2の工程と、(3)前記混合部を熱処理して、前記抵抗要素を形成する第3の工程とを備える。 The manufacturing method of an electronic component includes: (1) a first step of arranging a plurality of first dots by an inkjet method using a first resistance ink containing a component serving as a resistance element on a substrate; and (2 ) Using a second resistance ink containing a component that becomes the resistance element and having a composition different from that of the first resistance ink, a plurality of second dots are arranged to overlap the first dots by an inkjet method. A second step of mixing the first resistance ink of the first dot and the second resistance ink of the second dot to form a mixing unit; and (3) the mixing unit. And a third step of forming the resistance element.
上記方法において、第2の工程は、第1の工程が終了する前に開始してもよい。 In the above method, the second step may be started before the first step is finished.
上記方法によれば、抵抗要素の形成にスクリーン版を必要としないので、スクリーン版の製作・管理コストが不要となり、スクリーン版の製作期間もなくなる。同じ抵抗インクを用い、抵抗インクの混合比を、第1のドットと第2のドットのサイズ(インク液の量)や個数、印刷回数等を変えて調整することで、あるいは印刷パターンを変えることで、種々の抵抗値を得ることができる。 According to the above method, since the screen plate is not required for forming the resistance element, the production and management cost of the screen plate is not required, and the production period of the screen plate is also eliminated. Using the same resistance ink, adjusting the mixing ratio of the resistance ink by changing the size (the amount of ink liquid) and the number of the first dots and the second dots, the number of times of printing, etc., or changing the printing pattern Thus, various resistance values can be obtained.
好ましくは、前記第1の工程及び前記第2の工程において、常温又は常温より低温にする。 Preferably, in the first step and the second step, the temperature is set to room temperature or lower than room temperature.
この場合、基材を常温又は常温よりも低温(例えば、25℃未満)にすることにより、第1のドットのインクの乾燥を遅らせ、インクの混合時間を長くすることにより、抵抗膜の抵抗値のばらつきを小さくし、安定した抵抗値を得ることができる。 In this case, the resistance value of the resistance film is set by delaying the drying of the ink of the first dot by setting the base material to a normal temperature or a temperature lower than the normal temperature (for example, less than 25 ° C.) and increasing the ink mixing time. The variation in resistance can be reduced, and a stable resistance value can be obtained.
本発明によれば、種々の抵抗値の抵抗要素を効率よく作製することができる。 According to the present invention, it is possible to efficiently produce resistance elements having various resistance values.
1a 第1のドット
2a 第2のドット
3 混合部
4 端子
6 端子
8 基材
10 インクジェットプリンタ
14,16,18 インクジェットヘッド
34,36,38 抵抗インク
35,37,39 インク滴DESCRIPTION OF
以下、本発明の実施の形態について、図1〜図5を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
<実施例1> 実施例1について、図1〜図3を参照しながら説明する。 <Example 1> Example 1 will be described with reference to FIGS.
まず、抵抗膜(抵抗要素)となるパターンの印刷に用いるインクジェットプリンタ10について、図1の模式図を参照しながら説明する。
First, an
インクジェットプリンタ10は、大略、基材8を載置する移動テーブル12と、複数(例えば3個)のインクジェットヘッド14,16,18と、装置全体の制御を統括する制御部11とを備える。
The
移動テーブル12は、モータ22により符号23で示すX方向に駆動され、モータ24により符号25で示すY方向に駆動され、モータ26により符号27で示すθ方向(X,Y軸に直角なZ軸周り)に駆動される。移動テーブル12のモータ22,24,26の駆動は、制御部11によって制御される。移動テーブル12は、X,Y,θ以外の方向に移動するようにしても、逆に、X,Y,θのうち任意の1方向又は2方向にのみ移動するようにしてもよい。移動テーブル12には、必要に応じて、基材8を吸着するための真空吸引孔を設けたり、基材2を加熱・保温するためのヒーターを設けたりしてもよい。
The moving table 12 is driven in the X direction indicated by
インクジェットヘッド14,16,18は、それぞれ、移動テーブル12の上方の固定位置に配置される。インクジェットヘッド14,16,18には、それぞれ、組成が異なる抵抗インク34,36,38がタンク15,17,19から供給される。インクジェットヘッド14,16,18には、1又は2以上の微小な孔が形成され、この孔から抵抗インク34,36,38の微細な粒子であるインク滴35,37,39を、移動テーブル12に向けて噴射する。インクジェットヘッド14,16,18は、制御部11からの制御によって、噴射するインク滴35,37,39のサイズ(インク滴の量)や個数を変更する。
The inkjet heads 14, 16, and 18 are each disposed at a fixed position above the moving table 12.
抵抗インク34,36,38は、酸化ルテニウム、ガラス、カーボン、金属粒子などの抵抗材料を含む。抵抗インク34,36,38に含まれる抵抗材料には、任意の抵抗値のものを用いることができる。例えば金属粒子では、Ni−Crのように抵抗値がかなり高いもの、Pdのように抵抗値がやや高いもの、Agのように抵抗値が低いものなど、種々の抵抗値のものがあるが、用途に応じていずれの材料も用いることができる。移動テーブル12に載置する基材8は、電子部品を作製するための基板やセラミックグリーンシートなどのワークである。
The
制御部11には、例えばパーソナルコンピュータを用いる。制御部11は、不図示のキーボード等から入力されたパラメータに基づいて、所定のプログラムに従って、移動テーブル12の移動に同期してインクジェットヘッド14,16,18を駆動し、インク滴35,37,39を吐出させる。これにより、移動テーブル12に載置された基材8上には、抵抗インク34,36,38で所定のパターンが印刷される。
For the
好ましくは、インク滴35,37,39を吐出する複数の孔が一列に配置されているインクジェットヘッド14,16,18を、孔の列が互いに平行になるように並べる。移動テーブル12は、インクジェットヘッド14,16,18が並んでいる方向(孔の列に対して直角方向)または斜め方向に駆動する。これによって、抵抗インク34,36,38を用いて略同時に印刷を行い、抵抗要素となるパターンを効率よく形成することができる。
Preferably, the inkjet heads 14, 16, and 18 in which a plurality of holes for discharging the
なお、インクジェットヘッド14,16,18を固定位置に配置し、基材8を移動する代わりに、基材8を固定したままインクジェットヘッド14,16,18を移動するようにしても、基材8とインクジェットヘッド14,16,18の両方を移動するようにしてもよい。 Instead of arranging the inkjet heads 14, 16, 18 at fixed positions and moving the substrate 8, the inkjet heads 14, 16, 18 may be moved while the substrate 8 is fixed. And the inkjet heads 14, 16, and 18 may be moved.
このインクジェットプリンタ10を用いて、複数種類の抵抗インクを用いて、抵抗膜となるパターンを塗り分けた後、乾燥し、焼成することにより、抵抗膜を形成する。
Using this
例えば、抵抗膜となるパターンを、平面方向に複数の印刷エリア(領域)に分け、それぞれの印刷エリアを、複数のインクジェットヘッドを使って異なる抵抗インクを用いて略同時に塗り分ける。これにより、1種類の抵抗インクで形成した抵抗膜とは異なる抵抗値の抵抗膜を実現することができる。抵抗膜となるパターンの平面形状、断面形状を変化させることで、異なる抵抗値の抵抗膜を実現できる。 For example, a pattern to be a resistance film is divided into a plurality of print areas (regions) in the plane direction, and each print area is applied almost simultaneously using different resistance inks using a plurality of inkjet heads. Thereby, it is possible to realize a resistance film having a resistance value different from that of the resistance film formed of one kind of resistance ink. Resistive films having different resistance values can be realized by changing the planar shape and cross-sectional shape of the pattern to be the resistive film.
好ましくは、印刷時には、基材8を常温よりも高温(例えば、25℃以上)にするか、印刷をドライエアーなど乾燥しやすい雰囲気中で行なう。例えば、移動テーブル12にヒーターを設けて基材8を加熱・保温する。印刷前に予め基板8を加熱しておいても、印刷中の空調により基板8を常温よりも高温とするようにしてもよい。または印刷部をカバーで覆い、カバーの中に所定の湿度のドライエアーを外部から送り続け、乾燥しやすい雰囲気を維持するようにしてもよい。これにより、基材8に印刷した抵抗インクのドットの乾燥時間を短くし、重ね塗りや並べ塗りをしても2種類の抵抗インクが混合しにくくなり、所望の抵抗値を得やすい。 Preferably, at the time of printing, the base material 8 is set to a temperature higher than room temperature (for example, 25 ° C. or higher), or printing is performed in an atmosphere that is easily dried, such as dry air. For example, a heater is provided on the moving table 12 to heat and keep the substrate 8 warm. Even if the substrate 8 is heated in advance before printing, the substrate 8 may be heated to a temperature higher than room temperature by air conditioning during printing. Alternatively, the printing unit may be covered with a cover, and dry air with a predetermined humidity may be continuously sent from the outside into the cover to maintain an atmosphere that is easy to dry. Thereby, the drying time of the dots of the resistance ink printed on the base material 8 is shortened, and it becomes difficult to mix the two types of resistance inks even when over-coating or side-by-side coating is performed, and a desired resistance value is easily obtained.
抵抗膜となるパターンは、例えば図2及び図3の模式図に示すように印刷する。基材8(図1参照)上に予め形成された端子4,6間に、2種類の抵抗インク1,2のドット1a,2aを配置し、ドット1a,2aの集合体によって、抵抗膜となるパターンを形成する。
The pattern to be the resistance film is printed as shown in the schematic diagrams of FIGS. 2 and 3, for example. Between the
図2(a)の平面図に示すパターンは、端子4,6の間に、複数(図では2×2個)の抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループと、複数(図では2×2個)の抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループとが、千鳥状に交互に配置されている。ドット1a,2a同士は重なり合っており、第1のグループと第2のグループとは連続している。
The pattern shown in the plan view of FIG. 2A includes a first group including a plurality (2 × 2 in the figure) of
図2(b)の平面図に示すパターンは、端子4,6の間に、端子4,6を結ぶ方向に対して直角方向に配置された複数(図では6個)の抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループと、端子4,6を結ぶ方向に対して直角方向に配置された複数(図では6個)の抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループとが、端子4,6を結ぶ方向に交互に配置されている。ドット1a,2a同士は重なり合っており、第1のグループと第2のグループとは連続している。
The pattern shown in the plan view of FIG. 2B is a plurality of (six in the figure) dots of resistive ink 1 arranged between the
図2(c)の平面図に示すパターンは、端子4,6の間に、端子4,6を結ぶ方向に配置された複数(図では10個)の抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループと、端子4,6を結ぶ方向に配置された複数(図では10個)の抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループとが、端子4,6を結ぶ方向に対して直角方向に交互に配置されている。ドット1a,2a同士は重なり合っており、第1のグループと第2のグループとは連続している。
The pattern shown in the plan view of FIG. 2C is a first pattern including a plurality of (in the figure, ten)
図2(d)の平面図に示すパターンは、端子4,6の間に、四角形に配置された複数(図では5×6個)の抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループと、四角形に配置された複数(図では5×6個)の抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループとが、端子4,6の間に直列に配置されている。ドット1a,2a同士は重なり合っており、第1のグループと第2のグループとは連続している。
The pattern shown in the plan view of FIG. 2D includes a first group including a plurality of (5 × 6 in the figure)
図2(e)の平面図に示すパターンは、端子4,6の間に、四角形に配置された複数(図では10×3個)の抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループと、四角形に配置された複数(図では10×3個)の抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループとが、並列に配置されている。ドット1a,2a同士は重なり合っており、第1のグループと第2のグループとは連続している。
The pattern shown in the plan view of FIG. 2 (e) includes a first group including a plurality of (10 × 3 in the figure)
第1のグループと第2のグループとが並列に配置される場合には、図3(a)に示すように、抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループの一部と、抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループの一部とが、上下に重ねられた状態に形成されるか、あるいは図3(b)に示すように、抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループの一部の上に、抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループの全部が、浮島状に重ねられた状態に形成されるかして、部分的に並列配置となるようにしてもよい。これらの場合、第1のグループと第2のグループの上下関係が逆であってもよい。また、図3(c)に示すように、抵抗インク1のドット1aを含む第1の第1のグループと、抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループとが離れていてもよい。
When the first group and the second group are arranged in parallel, as shown in FIG. 3A, a part of the first group including the
図2(f)の平面図及び図2(g)の側面図に示すパターンは、端子4,6の間に、1層目として、四角形に複数(図では10×6個)の抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループが配置され、その上に2層目として、四角形に複数(図では10×6個)の抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループが配置されている。ドット1a,2a同士は重なり合っており、第1のグループと第2のグループとは連続している。
The pattern shown in the plan view of FIG. 2F and the side view of FIG. 2G is a first layer between the
なお、図2及び図3に示した各パターンにおいて、第1のグループのドット1aは第1の領域に配置され、第2のグループのドット2aは第2の領域に配置されている。ドット1a,2aによる第1のグループと第2のグループは、乾燥し、焼成して抵抗膜を形成した後に、それぞれ、第1抵抗部、第2抵抗部になる。
In each pattern shown in FIGS. 2 and 3, the first group of
図2(a)に示したパターンは、抵抗インク1による第1のグループと、抵抗インク2による第2のグループとをある程度の大きさにすることにより、抵抗値のばらつきの原因となりやすい抵抗インク1と抵抗インク2との重なり部分(すなわち、第1のドット1aが配置される第1の領域と、第2のドット2aが配置される第2の領域との境界線)の総延長が短くなり、端子4,6間の抵抗膜の抵抗値の予測が容易になる。また、端子4,6間において、電気抵抗の分布を略均一にすることができる。
In the pattern shown in FIG. 2A, the first group of the resistance ink 1 and the second group of the
図2(b)〜図2(g)及び図3に示したパターンは、端子4,6間に、抵抗インク1による第1のグループと、抵抗インク2による第2のグループとが、直列又は並列に配置されているので、端子4,6間の抵抗膜の抵抗値の予想が容易である。また、形成された抵抗膜の抵抗値を後から調整する場合、まず、相対的に抵抗値が高い方のグループを部分的に除去して抵抗値をおおまかに調整し、次いで、相対的に抵抗値が低い方のグループを部分的に除去して抵抗値を微調整することができる。
In the patterns shown in FIGS. 2B to 2G and FIG. 3, the first group of the resistance ink 1 and the second group of the
端子4,6間の抵抗膜の抵抗値は、抵抗インク1,2で塗り分けるパターン(各グループの寸法、形状、配置)や、各グループ中の抵抗インク1,2のドット1a,2aのサイズ(インク滴の量)や個数などを変えることにより、変更することができる。
The resistance value of the resistance film between the
複数のインクジェットヘッドを用いて抵抗インクの印刷を行なえば、2種類以上の抵抗インクの塗り分けを同時に行なうことができる。これにより、乾燥工程を1回のみにすることができる。また、途中で乾燥工程が入らず、一時に印刷するので、印刷位置を合わせ直すことなく、抵抗インク間の位置合わせ精度が高い印刷を簡便に行なうことができる。 If resistance ink printing is performed using a plurality of inkjet heads, two or more types of resistance ink can be applied separately. Thereby, a drying process can be carried out only once. Further, since the drying process does not enter in the middle and printing is performed at a time, printing with high alignment accuracy between the resistance inks can be easily performed without realigning the printing positions.
また、スクリーン版を用いていないので、1種類目の抵抗インクの印刷パターンの間隔が狭い場合でも、空隙が発生しないように、2種類目以降の抵抗インクの印刷パターンを印刷することができる。 Further, since the screen plate is not used, even when the interval between the printing patterns of the first type of resistance ink is narrow, it is possible to print the second and subsequent types of resistance ink printing patterns so that no gap is generated.
さらに、複数種類の抵抗インクの塗り分けによる抵抗値の変更・調整を、ソフトウエアのパラメータの設定変更により、簡便に行なうことができる。 Furthermore, the resistance value can be changed and adjusted by separately applying a plurality of types of resistance ink by changing the setting of software parameters.
次に、具体例を説明する。 Next, a specific example will be described.
予め、電子部品用の抵抗膜の材料である酸化ルテニウム(RuO2)、ガラスなどを有機溶剤に分散させた、組成の異なる2種類のインクジェット用の抵抗インク1及び抵抗インク2を作製した。Two types of ink-
抵抗インク1の固形分中における各成分の重量パーセントは、RuO2が30重量パーセント、CaO−Al2O3−SiO2−B2O3系ガラスが56重量%、SiO2−B2O3−K2O系ガラスが14重量%である。抵抗インク2の固形分中における各成分の重量パーセントは、RuO2が50重量%、CaO−Al2O3−SiO2−B2O3系ガラスが35重量%、SiO2−B2O3−K2O系ガラスが15重量%である。抵抗インク1の粘度は常温で89mPa・s、抵抗インク2の粘度は常温で109mPa・sである。ただしインク噴射前にインクを加熱するので、インク噴射前の粘度は常温の場合よりも低くなり、約20m・Pa・sとなっている。The weight percentage of each component in the solid content of the resistance ink 1 is 30% by weight for RuO 2 , 56% by weight for CaO—Al 2 O 3 —SiO 2 —B 2 O 3 glass, and SiO 2 —B 2 O 3. -K 2 O glass is 14 wt%. The weight percent of each component in the solid content of the
2個のピエゾ式インクジェットヘッドの下方に、X方向、Y方向に移動可能な移動テーブルを持つインクジェットプリンタと、一対の端子として2つの分離した銀電極を形成しておいたセラミックグリーンシートを用意した。インクジェットヘッドは、SUS接着材に、孔径50μmの孔が280μmピッチで256個一列に形成されており、10〜100pl(ピコリットル)のインク滴を飛ばすことができる。 An inkjet printer having a movable table movable in the X and Y directions and a ceramic green sheet in which two separated silver electrodes are formed as a pair of terminals are prepared below two piezoelectric inkjet heads. . In the inkjet head, 256 holes having a hole diameter of 50 μm are formed in a line at a pitch of 280 μm in a SUS adhesive, and ink droplets of 10 to 100 pl (picoliter) can be ejected.
インクジェットプリンタの2個のインクジェットヘッドから、それぞれ、抵抗インク1,2を略同時に吐出させ、セラミックグリーンシート上に、図2(a)の模式図に示すようなパターンを印刷した。すなわち、2つの銀電極間に、抵抗インク1の複数のドットによる第1のグループと、抵抗インク2による複数のドットによる第2のグループとが千鳥状に交互に配置された四角形のパターンを印刷した。
このセラミックグリーンシートを他のシートと積層・プレス・焼成して、銀電極の間に抵抗膜が形成されたセラミック基板を得た。このセラミック基板上の抵抗膜の抵抗値を測定したところ、5.4kΩの抵抗値を得た。 This ceramic green sheet was laminated, pressed and fired with other sheets to obtain a ceramic substrate in which a resistive film was formed between silver electrodes. When the resistance value of the resistance film on the ceramic substrate was measured, a resistance value of 5.4 kΩ was obtained.
比較例1として、抵抗インク1のみを吐出させ、セラミックグリーンシート上の2つの銀電極間を接続する四角形のパターンを印刷し、実施例1と同様に積層・プレス・焼成して、銀電極間に抵抗インク1のみで抵抗膜が形成されたセラミック基板を得た。この抵抗インク1のみによる抵抗膜の抵抗値を測定したところ、84kΩの抵抗値を得た。 As Comparative Example 1, only the resistance ink 1 is ejected, and a square pattern for connecting two silver electrodes on the ceramic green sheet is printed. A ceramic substrate having a resistance film formed only with the resistance ink 1 was obtained. When the resistance value of the resistance film using only the resistance ink 1 was measured, a resistance value of 84 kΩ was obtained.
比較例2として、抵抗インク2のみを吐出させ、セラミックグリーンシート上の2つの銀電極間を接続する四角形のパターンを印刷し、実施例1と同様に積層・プレス・焼成して、銀電極間に抵抗インク2のみで抵抗膜が形成されたセラミック基板を得た。この抵抗インク2のみによる抵抗膜の抵抗値を測定すると、2.3kΩの抵抗値を得た。
As Comparative Example 2, only the
以上の具体例から分かるように、抵抗インク1と抵抗インク2とを塗り分けて作製した抵抗膜の抵抗値は、抵抗インク1のみで作製した抵抗膜の抵抗値と、抵抗インク2のみで作製した抵抗膜の抵抗値との中間の値にすることができる。
As can be seen from the above specific examples, the resistance value of the resistance film manufactured by separately applying the resistance ink 1 and the
<実施例2> 実施例2について、図4及び図5を参照しながら説明する。 <Example 2> Example 2 will be described with reference to FIGS.
実施例2においても、インクジェットプリンタを用いて印刷を行なう。 Also in Example 2, printing is performed using an inkjet printer.
図4に模式的に示すように、移動テーブル12に載置された基材8上に、それぞれ、インクジェットヘッド14,16から、略同じ位置に、略同時に印刷する。このとき、インクジェットヘッド14から吐出した抵抗インク1のドット1aの一部又は全部と、インクジェットヘッド16から吐出した抵抗インク2のドット2aの一部又は全部とが重なるように印刷する。また、抵抗インク1のドット1aが乾燥する前に、抵抗インク2のドット2aを重ね、ドット1aの抵抗インク1とドット2aの抵抗インク2とが混ざり合うようにする。混合を促進するために、超音波を印加してもよい。混合により、抵抗インク1の成分の一部と抵抗インク2の成分の一部とが化学反応したり、合金を形成したりしてもよい。
As schematically shown in FIG. 4, printing is performed substantially simultaneously at substantially the same position from the inkjet heads 14 and 16 on the substrate 8 placed on the moving table 12. At this time, printing is performed so that part or all of the
印刷中には、例えば移動テーブル12を常温又は常温よりも低温に冷却することにより、基材8を常温又は常温よりも低温の状態(例えば、25℃未満)にすることが、好ましい。この場合、抵抗インクの乾燥を遅らせ、抵抗インクの混合時間を長くするにより、抵抗膜の抵抗値のばらつきを小さくし、安定した抵抗値を得ることができる。 During printing, it is preferable to cool the moving table 12 to room temperature or a temperature lower than room temperature, for example, so that the substrate 8 is brought to a state at room temperature or a temperature lower than room temperature (for example, less than 25 ° C.). In this case, by delaying the drying of the resistance ink and lengthening the mixing time of the resistance ink, variation in the resistance value of the resistance film can be reduced, and a stable resistance value can be obtained.
抵抗インクを混合することによって、図5の平面図に模式的に示すように、端子4,6間に、複数の抵抗インク1,2が混合している混合部3を形成する。混合部3を乾燥し、焼成することによって、端子4,6間に抵抗膜を形成する。
By mixing the resistance inks, as schematically shown in the plan view of FIG. 5, the mixing
端子4,6間の抵抗膜の抵抗値は、例えば制御部11のプログラムのパラメータを変え、抵抗インク1,2の混合比、印刷面積、印刷パターン(平面形状、断面形状)等を変更することで、変えることができる。抵抗インク1,2の混合比は、抵抗インク1,2のドット1a,2aのサイズ(インク滴の量)や個数、重ね印刷回数を変えることにより、変更することができる。
The resistance value of the resistance film between the
抵抗インク1,2の混合比を一定に保ちながら均一ピッチでドット1a,2aを印刷すれば、電極4,6間に実質的に均一な抵抗膜を形成することができる。
If the
抵抗インク1,2を混合して所望の電気抵抗の抵抗膜を得るための抵抗インク1,2の混合比は、例えば「体積混合則」と呼ばれる法則(下記の式(1))を用いて予測することができる。
The mixing ratio of the
すなわち、複数成分の材料を混合して形成される複合材料の抵抗率や誘電率は、2成分の場合、次の近似式が成り立つ。
Vtotal logρtotal =V1logρ1+V2logρ2 ・・・(1)
ここで、Vtotalは複合材料の体積である。ρtotalは複合材料の抵抗率である。V1,V2は、成分1,2の複合材料中における体積である。ρ1,ρ2は、成分1,2の抵抗率である。In other words, the resistivity and dielectric constant of a composite material formed by mixing a plurality of component materials, when the two components are used, the following approximate expression holds.
V total log ρ total = V 1 log ρ 1 + V 2 log ρ 2 (1)
Here, V total is the volume of the composite material. ρ total is the resistivity of the composite material. V 1 and V 2 are volumes of the
次に、具体例を説明する。 Next, a specific example will be described.
実施例1の具体例と同じインクジェットプリンタと抵抗インク1,2を用い、抵抗インク1,2を吐出させ、抵抗インク1,2の複数のドットを重ね合わせるように印刷し、セラミックグリーンシート上で抵抗インク1,2を混ぜながら、抵抗膜となるパターンを形成した。その際、移動テーブルを加熱せず、常温(25℃)とし、セラミックグリーンシート上でインクが乾燥することを遅らせ、抵抗インク1,2同士が混合するのに十分な時間を確保した。
Using the same inkjet printer and
このようにして抵抗膜となるパターンを印刷したグリーンシートに他のシートを積層、プレス、焼成し、抵抗膜の抵抗値を測定すると、15.3kΩの抵抗値を得た。この抵抗値は、前述した比較例1の抵抗インク1のみで作製した抵抗膜の抵抗値と、前述した比較例2の抵抗インク2のみで作製した抵抗膜の抵抗値との中間の値である。
When another sheet was laminated, pressed and fired on the green sheet on which the pattern to be the resistance film was printed in this way, and the resistance value of the resistance film was measured, a resistance value of 15.3 kΩ was obtained. This resistance value is an intermediate value between the resistance value of the resistance film manufactured only with the resistance ink 1 of Comparative Example 1 described above and the resistance value of the resistance film manufactured only with the
<実施例3> 実施例3について、図6を参照しながら説明する。 <Example 3> Example 3 will be described with reference to FIG.
図6(a)の平面図に示すパターンは、図2(d)のパターンのように、端子4側に、四角形に配置された複数(図では4×6個)の抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループ1sが配置され、端子6側に、四角形に配置された複数(図では4×6個)の抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループ2sが配置されている。第1のグループ1sと第2のグループ2sとの間の領域5sに、図2(a)のパターンのように、複数の抵抗インク1のドット1aを含む第3のグループと、複数の抵抗インク2のドット2aを含む第4のグループとが、千鳥状に交互に配置されている。ドット1a,2a同士は重なり合っており、第1〜第4のグループは連続している。
The pattern shown in the plan view of FIG. 6A is a plurality of (4 × 6 in the figure)
図6(b)の平面図に示すパターンは、図2(d)のパターンのように、端子4側に、四角形に配置された複数(図では4×6個)の抵抗インク1のドット1aを含む第1のグループ1tが配置され、端子6側に、四角形に配置された複数(図では4×6個)の抵抗インク2のドット2aを含む第2のグループ2tが配置されている。第1のグループ1tと第2のグループ2tとの間の領域5tに、図2(b)のパターンのように、端子4,6を結ぶ方向に対して直角方向に配置された複数(図では6個)の抵抗インク1のドット1aを含む第3のグループと、端子4,6を結ぶ方向に対して直角方向に配置された複数(図では6個)の抵抗インク2のドット2aを含む第4のグループとが、端子4,6を結ぶ方向に交互に配置されている。ドット1a,2a同士は重なり合っており、第1〜第4のグループは連続している。
The pattern shown in the plan view of FIG. 6B is a plurality of (4 × 6 in the figure)
抵抗値が異なるドット1a,2aを図6(a)及び(b)のように配置すると、端子4,6の間において抵抗傾斜を付けることができる。例えば、電気抵抗が相対的に大きいPdを含む抵抗インク1のドット1aと、電気抵抗が相対的に小さいAgを含む抵抗インク2のドット2aを配置した場合、図上で上部の端子4から下部の端子6に向かって電気抵抗が次第に小さくなるように、抵抗を傾斜させることができる。
If the
このように抵抗傾斜を付けることで、いわゆるシャント抵抗を別途設けずに回路側と接地側のインピーダンスマッチングを図ることができ、簡単な方法で接地の効果を確実に得ることができる。 By providing a resistance gradient in this way, impedance matching between the circuit side and the ground side can be achieved without providing a so-called shunt resistor separately, and the effect of grounding can be reliably obtained by a simple method.
なお、抵抗インク1のドット1aと抵抗インク2のドット2aの両方が金属の場合に限らず、いずれか一方が金属で、他方が酸化ルテニウム、ガラス、カーボンなど金属以外の場合にも、端子4,6間に抵抗傾斜を付けることができる。
It should be noted that the
<まとめ> 以上に説明した実施例1、2によれば、種々の抵抗値の抵抗要素を効率よく作製することができる。 <Summary> According to Examples 1 and 2 described above, resistance elements having various resistance values can be efficiently manufactured.
すなわち、インクジェットを用いて抵抗インクを印刷することで、多数のスクリーン版を用意する必要がなくなる。これにより、版製作コストを削減できるため、低コストで電子部品の製造を行なうことができる。また、版製作期間がなくなることで、短納期対応が可能となる。 That is, it is not necessary to prepare a large number of screen plates by printing the resistance ink using the ink jet. Thereby, since the plate manufacturing cost can be reduced, the electronic component can be manufactured at a low cost. In addition, since the plate production period is eliminated, it becomes possible to cope with short delivery times.
また、インクジェットは印刷パターンの変更が容易であるので、抵抗膜となるパターンの平面形状、断面形状等を変えることで、異なる抵抗値の抵抗膜を簡便に作製することができる。 In addition, since it is easy to change the printing pattern in the ink jet, it is possible to easily produce resistance films having different resistance values by changing the planar shape, cross-sectional shape, and the like of the pattern to be the resistance film.
なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented with various modifications.
例えば、3種類以上の抵抗インクを用いてもよい。インクジェットの代わりに、レーザープリンタを用い、電気抵抗の異なる複数種類のドットを配置することにより、抵抗要素を作製することも可能である。 For example, three or more types of resistance ink may be used. It is also possible to produce a resistance element by arranging a plurality of types of dots having different electric resistances using a laser printer instead of ink jet.
Claims (10)
該一対の端子間に配置された抵抗要素とを備えた電子部品において、
前記抵抗要素は、連続して配置された少なくとも2つの抵抗部(以下、「第1抵抗部」、「第2抵抗部」という。)を含み、
前記第1抵抗部は、互いに重なり合って配置された複数の第1のドットを含み、
前記第2抵抗部は、互いに重なり合って配置された前記第1のドットとは電気抵抗が異なる複数の第2のドットを含むことを特徴とする、電子部品。A pair of terminals facing each other;
In an electronic component comprising a resistance element disposed between the pair of terminals,
The resistance element includes at least two resistance parts (hereinafter referred to as “first resistance part” and “second resistance part”) arranged in succession,
The first resistance unit includes a plurality of first dots arranged to overlap each other,
The electronic component according to claim 1, wherein the second resistance portion includes a plurality of second dots having different electric resistances from the first dots arranged to overlap each other.
前記第1の領域に隣接する第2の領域に、前記抵抗要素の他の一部となる成分を含み前記第1の抵抗インクとは組成が異なる第2の抵抗インクを用い、インクジェット法により、互いに重なり合う複数の第2のドットを配置する第2の工程と、
前記第1の領域の前記第1のドットと前記第2の領域の前記第2のドットとを熱処理して、前記抵抗要素を形成する第3の工程と、
を備えたことを特徴とする、電子部品の製造方法。A first step of disposing a plurality of first dots overlapping each other by an ink-jet method using a first resistive ink containing a component that becomes a part of a resistive element in a first region of the substrate;
In a second region adjacent to the first region, a second resistive ink containing a component that is another part of the resistive element and having a composition different from that of the first resistive ink is used. A second step of arranging a plurality of second dots overlapping each other;
A third step of heat-treating the first dot in the first region and the second dot in the second region to form the resistance element;
A method for producing an electronic component, comprising:
前記抵抗要素となる成分を含み前記第1の抵抗インクとは組成が異なる第2の抵抗インクを用い、インクジェット法により、複数の第2のドットを、前記第1のドットに重なるように配置して、前記第1のドットの前記第1の抵抗インクと前記第2のドットの前記第2の抵抗インクとを混合させて混合部を形成する第2の工程と、
前記混合部を熱処理して、前記抵抗要素を形成する第3の工程と、
を備えたことを特徴とする、電子部品の製造方法。A first step of disposing a plurality of first dots by an inkjet method using a first resistance ink containing a component to be a resistance element on a substrate;
Using a second resistance ink containing a component that serves as the resistance element and having a composition different from that of the first resistance ink, a plurality of second dots are arranged so as to overlap the first dots by an inkjet method. A second step of mixing the first resistance ink of the first dot and the second resistance ink of the second dot to form a mixing unit;
A third step of heat-treating the mixing portion to form the resistance element;
A method for producing an electronic component, comprising:
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006027594 | 2006-02-03 | ||
JP2006027594 | 2006-02-03 | ||
PCT/JP2007/051735 WO2007088948A1 (en) | 2006-02-03 | 2007-02-01 | Electronic component and method for manufacturing same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4183020B2 true JP4183020B2 (en) | 2008-11-19 |
JPWO2007088948A1 JPWO2007088948A1 (en) | 2009-06-25 |
Family
ID=38327517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007556921A Active JP4183020B2 (en) | 2006-02-03 | 2007-02-01 | Electronic component and manufacturing method thereof |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1983530A4 (en) |
JP (1) | JP4183020B2 (en) |
CN (1) | CN101379572B (en) |
WO (1) | WO2007088948A1 (en) |
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- 2007-02-01 JP JP2007556921A patent/JP4183020B2/en active Active
- 2007-02-01 WO PCT/JP2007/051735 patent/WO2007088948A1/en active Application Filing
- 2007-02-01 EP EP07713763.6A patent/EP1983530A4/en not_active Withdrawn
- 2007-02-01 CN CN2007800043503A patent/CN101379572B/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1983530A1 (en) | 2008-10-22 |
JPWO2007088948A1 (en) | 2009-06-25 |
WO2007088948A1 (en) | 2007-08-09 |
CN101379572B (en) | 2012-07-18 |
CN101379572A (en) | 2009-03-04 |
EP1983530A4 (en) | 2015-04-15 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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