JP4022003B2 - 感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトレジストインク - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水性化可能な感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、水又は希アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物であって、特にプリント配線板製造用フォトレジストインクとして有用なもの、及びこの感光性樹脂組成物から成るプリント配線板製造用フォトレジストインクに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクは、現像時に溶剤を用いる必要がなく、溶剤現像型のフォトレジストインクに比べ労働安全衛生面、環境汚染防止性、火災防止性などに優れていることから、近年、特にプリント配線板製造用インク、グラビアロール蝕刻用インク、カラーフィルタ画素製造用インク、スクリーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィルタ保護膜製造用インク等の分野に盛んに利用されている。このような希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクとしては、従来は例えば、特開平５−２２４４１３号公報、特開５−２４１３４０号公報に開示されているような感光性樹脂組成物が用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクは、一般的には、インク成分を基材表面に均一に塗布して、その後の露光現像過程に供することができるように、その成分を各種有機溶剤に溶解もしくは分散させたものであり、そのため露光に際しては、あらかじめ予備乾燥によりこれら有機溶剤を揮発させておく必要があった。従って、塗布から予備乾燥塗膜形成の過程においては、有機溶剤に起因する労働安全衛生、環境汚染、火災防止などの問題は未解決のままであった。
【０００４】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、高解像性を有しながらも、基材ヘ塗布した後予備乾燥塗膜を形成する過程における有機溶剤の揮発に起因する労働安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を低減することができ、エッチングレジストインク、めっきレジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等のプリント配線板製造用フォトレジストインクや、グラビアロール蝕刻用フォトレジストインク、カラーフィルタ画素製造用インク、スクリーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィルタ保護膜製造用インク等として有用であって、水性化が可能であり、水又は希アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物及びこの感光性樹脂組成物からなるプリント配線板製造用フォトレジストインクを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の感光性樹脂組成物は、
（Ａ）ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂、
（Ｂ）カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの、
（Ｃ）光重合開始剤、
（Ｄ）光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
（Ｅ）水
を含んで成る水又は希アルカリ水溶液で現像可能であることをとするものである。
また請求項２に記載の感光性樹脂組成物は、請求項１の構成に加えて、上記バインダーポリマー（Ｂ）として、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ）と、このエチレン性不飽和単量体（ａ）と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）とからなる共重合成分を重合してなる共重合体（Ｂ１）、ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体を重合成分として含む重合体或いは共重合体に、多塩基酸無水物を付加してなるもの（Ｂ２）、及びエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を重合単位として含む重合体又は共重合体に飽和モ ノカルボン酸及び多塩基酸無水物を反応させて得られるもの（Ｂ３）のうち、少なくともいずれかを含有することを特徴とするものである。
【０００６】
また請求項３に記載の感光性脂組成物は、請求項１又は２の構成に加えて、上記の光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）として、（ｄ１）分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含むものを用いて成ることを特徴とするものである。
【０００７】
また請求項４に記載の感光性樹脂組成物は、請求項１乃至３のいずれかの構成に加えて、上記の化合物（ｄ）として、（ｄ１）分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物を用いて成ることを特徴とするものである。
【０００８】
また請求項５に記載のプリント配線板製造用フォトレジストインクは、請求項１乃至４の何れかに記載の感光性樹脂組成物から成ることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を説明する。なお本明細書中において「（メタ）アクリル−」はアクリル−及び／又はメタクリル−を意味し、例えば（メタ）アクリル酸はアクリル酸及び／又はメタクリル酸を、また（メタ）アクリルアミドはアクリルアミド及び／又はメタクリルアミドを意味するものとする。
＜（Ａ）ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂＞
本発明の感光性樹脂組成物は、水溶性の感光性樹脂として、ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂（Ａ）を含むものである。
【００１０】
この感光性樹脂（Ａ）の製造に用いられるポリビニルアルコール系重合体とは、例えばポリ酢酸ビニルを完全ケン化又は部分ケン化して得られるポリビニルアルコール、並びに完全ケン化或いは部分ケン化ポリビニルアルコール中の−ＯＨ基や−ＯＣＯＣＨ3基に酸無水物含有化合物、カルボキシ含有化合物、エポキシ基含有化合物もしくはアルデヒド基含有化合物等の種々の化合物を反応して得られる水溶性ポリビニルアルコール誘導体、並びにポリ酢酸ビニルを部分ケン化又は完全ケン化してなるビニルアルコール単位を有するビニルアルコール系共重合体であって、酢酸ビニルの共重合体成分として、例えば（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、スチレン、エチレン、プロピレン、無水マレイン酸、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリル酸エステル等を用いたもの等が挙げられる。
【００１１】
ここで、このポリビニルアルコール系重合体中には、その重合単位の内に、ビニルアルコール単位を６０モル％以上含有することが望ましいものであり、８０モル％以上含有するもの乃至ポリ酢酸ビニルの完全ケン化物の場合は特に水溶性に優れ、水性可能な感光性樹脂組成物を得るのに最適な結果が得られる。ここでビニルアルコール単位が６０モル％に満たないとポリビニルアルコール系重合体は水に溶け難くなり、本発明の感光性樹脂組成物を良好な水性のものとし難い。
【００１２】
ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂（Ａ）の製造方法は公知であり、例えば特公昭４９−５９２３号公報、特開昭６２−２６７３０２号公報等に開示される方法により合成可能である。
【００１３】
具体的には、例えばＮ−メチルピロリドンや水のような、ポリビニルアルコール系重合体の良溶媒の溶液中又はポリビニルアルコール系重合体の貧溶媒懸濁液中で無機酸、スルホン酸誘導体等の酸触媒の存在下、ポリビニルアルコール系重合体とＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドとのエーテル化反応により感光性樹脂（Ａ）が得られる。
【００１４】
Ｎ−アルキロール（メタ）アクリルアミドとしては、例えば、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−プロピロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチロール（メタ）アクリルアミド等を挙げることができる。これらのＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミド系化合物は、ポリビニルアルコール系重合体に付加させる際、一種のみを付加させることができるほか、二種以上を適宜組み合わせたものを付加させることができる。
【００１５】
この感光性樹脂（Ａ）においてＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドの現実の付加率は、感光性樹脂（Ａ）を構成するビニルアルコール重合単位当り、０．０５〜２５モル％であることが好ましい。０．０５モル％よりも少ないと感光性樹脂の重合性が低下し、逆に２５モル％よりも多くなると水溶性が乏しくなる。また、０．０５〜１５モル％の場合、光硬化性と水溶性のバランスが最適な結果が得られる。
【００１６】
このようにして得られる感光性樹脂（Ａ）を他の成分と共に水（Ｅ）もしくは水（Ｅ）と水性有機溶剤等の混合溶媒中に溶解、乳化、又は分散することにより、本発明の感光性樹脂組成物を調製できる。このように本発明の感光性樹脂組成物は水性化可能なものである。また感光性樹脂組成物を基材ヘ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物の成分を各種有機溶剤に溶解もしくは分散させたものと比較して、有機溶剤の揮発を抑制し、有機溶剤に起因する労働安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を低減することができるものである。なお、溶解、乳化、分散の方法は特に限定するものではなく、例えば他の成分中に、感光性樹脂（Ａ）の水溶液を加えることによって溶解、乳化、分散させても良いし、感光性樹脂（Ａ）の水溶液に他の成分を加えることによって溶解、乳化、分散させても良い。また溶解、乳化、分散に際しては、ホモミキサー、パイプラインホモミキサー、ビーズミル、ロールミル、ボールミル等の各種の攪拌機、混練機を用いることができる。
【００１７】
またこれらの感光性樹脂（Ａ）の配合割合は、本発明の感光性樹脂組成物に用いる水（Ｅ）及び有機溶剤を除いた全成分中の合計量中で０．１〜５０重量％であることが好ましいものであり、更に好ましくは１〜３０重量％である。配合割合が０．１重量％に満たない場合は、本発明の感光性樹脂組成物の水性化が困難となり、また５０重量％を超える場合、本発明の感光性樹脂組成物の光重合反応による硬化後の硬化皮膜の耐水性が不足し易く、硬化皮膜の形成時に硬化皮膜の剥がれを生じ易い。また０．５重量％以上配合した場合には、特に水による現像が容易となる。
＜（Ｂ）カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの＞
本発明の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの（Ｂ）を含むものである。
【００１８】
このバインダーポリマー（Ｂ）は、分子中に充分なカルボキシル基を有するので、希アルカリ水溶液中で膨潤、分散又は溶解し得るものである。
【００１９】
このため、バインダーポリマー（Ｂ）を含んでなる本発明の感光性樹脂組成物は、上記水溶性の感光性樹脂成分（Ａ）の存在と相俟って、それにより形成される皮膜が、露光前は水や希アルカリ水溶液で膨潤、分散又は溶解し得る。したがって、この感光性樹脂組成物は、形成された皮膜の選択的露光を行なった後、水又は希アルカリ水溶液による現像を行って、感光性樹脂組成物の非露光部分を洗い流すと共に、露光部分を残すことにより、画像形成を可能とすることができるものである。
【００２０】
また、上記の通り、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｂ）成分と共に、ポリビニルアルコール系の水溶性の感光性樹脂（Ａ）を含むので、組成物を露光により光反応を起こさせて形成した硬化物は、アルカリ金属水酸化物等の水溶液又は過ヨウ素酸ソーダ等のポリビニルアルコール系感光剤用の剥離剤の何れかで剥離可能なものである。
【００２１】
また、バインダーポリマー（Ｂ）は、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないものである。ここで光反応可能なエチレン性不飽和基を含まないとは、バインダーポリマー（Ｂ）を合成する際に、光反応可能なエチレン性不飽和基を積極的には導入しないことを意味し、バインダーポリマー（Ｂ）をラジカル重合によって合成するに際して、ラジカル停止反応における不均化やその他の要因によって不可避的に生じるわずかなエチレン性不飽和結合の存在は許容されるものである。そのため本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板製造用フォトレジストインクとして用いる場合において、プリント配線板製造用基板に塗工された本発明の感光性樹脂組成物を露光硬化させる際に、バインダーポリマー（Ｂ）の様な高分子量の成分が僅かの露光によって光反応を生じて急激に分子量が増大することを防ぎ、選択的露光時における、露光部と未露光部分の境界面での僅かな光の漏れで硬化することを防いで、露光部と未露光部分の境界面における希アルカリ溶液に対する溶解性、膨潤性等を向上することができる。そのため、アートワークに忠実な、シャープなパターンを形成することができ、解像性を向上することができるものである。
【００２２】
また、バインダーポリマー（Ｂ）はそれ自体皮膜形成可能であることが望ましいものであり、このようなバインダーポリマー（Ｂ）と上記の感光性樹脂（Ａ）を組み合わせた本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、感光性樹脂組成物の予備乾燥皮膜は表面粘着性が無くなり、フォトツールアートワーク等を直接貼付した場合でも、フォトツールアートワーク等に感光性樹脂組成物が付着して汚れるようなことがないものである。
【００２３】
ここで本発明の感光性樹脂組成物を希アルカリ水溶液で現像可能なものとし、また本発明の感光性樹脂組成物の硬化物をアルカリ水溶液で剥離可能なものとするためには、バインダーポリマー（Ｂ）の酸価は２０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇに満たない場合、希アルカリ溶液で短時間に現像することが困難となり、３００ｍｇＫＯＨ／ｇを超える場合には硬化物の希アルカリ溶液に対する耐性が低くなり過ぎて、良好なパターン形成が困難となる場合がある。また更に好ましくは、バインダーポリマー（Ｂ）の酸価を４０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇとするものであり、この場合は、短期間の現像が可能で、かつ特に良好なパターン形成が可能となり、また本発明の感光性樹脂組成物へバインダーポリマー（Ｂ）が乳化、分散されやすくなり、最適な結果が得られる。
【００２４】
また、バインダーポリマー（Ｂ）の重量平均分子量は４０００〜５０００００であることが好ましく、４０００に満たない場合には、予備乾燥後の皮膜に粘着性が残りやすく、フォトツールアートワークを予備乾燥皮膜に直接貼りつけて露光した場合にはフォトツールアートワークの貼り跡が硬化皮膜に残ってしまう可能性があるものであり、また５０００００を超える場合には、現像性の低下を招き易い。またバインダーポリマー（Ｂ）の重量平均分子量が４０００〜３０００００であるときには、予備乾燥後の皮膜の粘着性が高くなる問題も生じず、また良好な感度及び現像性を得ることができる。更に、２００００〜３０００００である場合に、特に高い感度と解像性とを兼ね備えたものとなり最適な結果を生じる。
【００２５】
これらの性質は、本発明のインクをプリント配線板製造用のフォトエッチングレジストインク、画像形成可能なめっきレジストインク等として使用する場合に特に好適なものである。
【００２６】
また、バインダーポリマー（Ｂ）の配合量は本発明の感光性樹脂組成物から、水（Ｅ）及び有機溶剤を除外した全成分中で５重量％以上であることが好ましい。バインダーポリマー（Ｂ）の配合量が本発明の感光性樹脂組成物から、水及び有機溶剤を除外した全成分中で５重量％に満たない場合、予備乾燥後の皮膜に粘着性が残りやすく、フォトツールアートワークを予備乾燥皮膜に直接貼りつけて露光した場合にフォトツールアートワークの貼り跡が硬化皮膜に残ってしまう可能性がある。
【００２７】
上記のバインダーポリマー（Ｂ）としては、エチレン性不飽和単量体の重合体、共重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を導入してなるものを例示できる。具体的には、下記の（Ｂ１）乃至（Ｂ３）を示すことができる。
<（Ｂ１）１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ）と、このエチレン性不飽和単量体（ａ）と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）とからなる共重合成分を重合してなる共重合体＞
ここで、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ）は、主として、共重合体生成物であるバインダーポリマー（Ｂ）中に充分なカルボキシル基を導入することにより、バインダーポリマー（Ｂ）を希アルカリ水溶液中で膨潤、分散もしくは溶解し得るものにするために用いられる。
【００２８】
このエチレン性不飽和単量体（ａ）としては（メタ）アクリル酸、ケイ皮酸等を例示できる。更に（ａ）成分としては、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸及びマレイン酸並びにこれらの無水物、或いはこれらと飽和アルコールとの部分エステルを例示できる。これらのものは単独で又は複数種を適宜組み合わせて用いることができる。
【００２９】
エチレン性不飽和単量体成分（ａ）と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）としては、例えば（メタ）アクリル酸エステル系不飽和単量体として、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、ｎ−デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ミリスチル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の直鎖、分岐或は脂環族の（メタ）アクリル酸エステル、及びヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のエチレングリコールエステル系（メタ）アクリレート及び同様なプロピレングリコール系（メタ）アクリレート、ブチレングリコール系モノ（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート等、及びベンジル（メタ）アクリレート等の芳香族系の（メタ）アクリレート、並びに（メタ）アクリルアミド系不飽和単量体として（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｔ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｔ−オクチル（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリルアミド等、並びにスチレン、α−メチルスチレン、ビニルエーテル等を挙げることができる。
【００３０】
更に、（ａ）成分と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）としては、更に上記以外のものとして、例えばＮ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等のＮ−置換マレイミド類等、ビニルピロリドン、（メタ）アクリロニトリル、酢酸ビニル等を挙げることができる。これらのものは、単独で又は複数種組み合わせて用いることができる。
【００３１】
上記のような不飽和単量体（ａ）及び（ｂ）としては、共に室温で液体又は固体のもののみを選択して用いると、不飽和単量体（ａ）及び（ｂ）を混合し、反応させる処理を、容易に行うことができて、取り扱い性を向上することができるものであり、また常圧下で容易に、かつ自由な共重合組成で重合可能なものであるため、好ましものである。
【００３２】
またバインダーポリマー（Ｂ１）として、特に好ましいものは共重合体成分として（メタ）アクリル酸エステル系不飽和単量体と（メタ）アクリル酸とを主成分とすると共に、（メタ）アクリル酸エステル系不飽和単量体と（メタ）アクリル酸との配合割合を、バインダーポリマー（Ｂ１）の酸価が所望のものになるようにしてなる共重合体、或いは共重合体成分として（メタ）アクリアミド系不飽和単量体と（メタ）アクリル酸とを主成分とすると共に、（メタ）アクリアミド系不飽和単量体と（メタ）アクリル酸との配合割合を、バインダーポリマー（Ｂ１）の酸価が所望のものになるようにしてなる共重合体であり、この場合、所望の酸化や重合度を有するバインダーポリマー（Ｂ１）を容易に合成することが可能なものである。
【００３３】
また、共重合体成分としてマレイン酸若くはその誘導体とスチレンとを主成分としてなる共重合体もバインダーポリマー（Ｂ１）として特に好ましいものであり、この場合も、所望の酸化や重合度を有するバインダーポリマー（Ｂ１）を容易に合成することが可能なものである。
【００３４】
これらの単量体成分を用いて共重合体を得る方法は、特に限定されるものではなく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重合方法を用いることができる。また、溶液重合、乳化重合等の場合には、共重合体樹脂を取り出すことなく溶液又はエマルジヨンのまま、本発明の組成物のために配合してもよい。
【００３５】
なお、マレイン酸の部分エステルとスチレンとを共重合成分として含む共重合体は、これらの共重合成分或いはこれらの共重合成分と他の共重合成分を重合することにより直接得ることもできるが、あらかじめスチレンと無水マレイン酸を共重合成分として含む重合体を得た後、飽和アルコール、特に飽和モノアルコールを付加することによって、所望の酸化を有するバインダーポリマー（Ｂ１）を得るようにしてもよい。
【００３６】
エチレン性不飽和単量体の重合体或いは共重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を導入してなるものの具体例としては、下記の（Ｂ２）を挙げることができる。
＜（Ｂ２）ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体を重合成分として含む重合体或いは共重合体に、多塩基酸無水物を付加してなるもの＞
ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体の例としては、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のエチレングリコールエステル系（メタ）アクリレート及び同様なプロピレングリコール系（メタ）アクリレート、ブチレングリコール系モノ（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート等を挙げることができ、これらのものは、単独で又は複数種組み合わせて用いることができる。また、これらヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体とともに、これらと共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体を共重合してもよい。
【００３７】
ここで重合方法は特に限定されるものではなく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重合方法を用いることができる。
【００３８】
多塩基酸無水物としては、例えば無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の後述する（ｄ１）の合成に用いられるものを使用可能であり、これらのものは、単独で又は複数種組み合わせて用いることができる。また、重合体或いは共重合体と多塩基酸無水物との付加も公知の方法により可能である。
【００３９】
エチレン性不飽和単量体の重合体或いは共重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を導入してなるものの具体例としてはさらに、下記の（Ｂ３）を挙げることができる。
＜（Ｂ３）エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を重合単位として含む重合体又は共重合体に飽和モノカルボン酸及び多塩基酸無水物を反応させて得られるもの＞
このエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体としては、例えばグリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート等のグリシジル（メタ）アクリレート類、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸のエポキシシクロヘキシル誘導体類等が挙げられる。これらのものは、単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができる。また、これらエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体とともに、これらと共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体を共重合してもよい。
【００４０】
ここで重合方法は、特に限定されるものではなく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重合方法を用いることができる。
【００４１】
また飽和モノカルボン酸としては、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、グリコール酸、乳酸等を挙げることができ、これらのものは単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができる。
【００４２】
また、多塩基酸無水物としては、例えば無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の後述する（ｄ１）の合成に用いられるものを使用可能であり、これらのものは、単独で又は複数種組み合わせて用いることができる。
【００４３】
また、飽和モノカルボン酸及び多塩基酸無水物の付加も公知の方法により可能である。
【００４４】
なお、上記のような各種のバインダーポリマー（Ｂ）は、カルボキシル基の一部もしくは全部が、アルカノールアミン等の有機の塩基性化合物、アンモニア等によって中和されていても良い。
＜（Ｃ）光重合開始剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤（Ｃ）を含むものである。この光重合開始剤（Ｃ）としては、極性溶媒溶解性のもの、或いは非溶解性のもののいずれも使用することが可能である。例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類、アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン等のアセトフェノン類、２−メチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン等のアントラキノン類、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン等のチオキサントン類、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類、ベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシルカルボニル）ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルスルフィド等のベンゾフェノン類やキサントン類、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパン−１−オン、２−ベンゾイル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、４，４’−ビス−ジエチルアミノベンゾフェノン等の窒素原子を含むもの、並びに２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド等、並びに、レーザーによる直接描画用として例えばビス（η5−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム等のメタロセン類が挙げられ、これらの光重合開始剤（Ｃ）は各々単独で又は二以上のものを適宜互いに組み合わせて配合されたものを用いることができる。またこれらの光重合開始剤（Ｃ）は、安息香酸系又はｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、２−ジメチルアミノエチルベンゾエート等の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤及び増感剤等と併用しても良い。
【００４５】
この光重合開始剤（Ｃ）の配合量は、本発明の感光性樹脂組成物から、水及び有機溶剤を除外した全成分中で０．１〜２０重量％であることが望ましい。０．１重量％に満たない場合は、本発明の感光性樹脂組成物に十分な光硬化性を与えることが難しく、また、２０重量％を越えて配合しても、光硬化性をより向上させることに寄与しない。
＜（Ｄ）光重合可能なエチレン性不飽和単量体＞
本発明の感光性樹脂組成物には、光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）が配合される。
【００４６】
光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）は、本発明の感光性樹脂組成物に充分な光反応性を付与し、選択的露光により画像形成可能なものとするものである。
【００４７】
この光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）としては、例えばトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス〔４−（（メタ）アクリロキシエトキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔４−（（メタ）アクリロキシ・ジエトキシ）フェニル〕プロパン、２−ヒドロキシ−１，３−ジ（メタ）アクリロキシプロパン、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、１−メトキシシクロドデカジエニル（メタ）アクリレート、β−（メタ）アクロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−（メタ）アクロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ−ジエポキシアクリル酸付加物、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２，２−ビス〔４−メタクリロイルオキシ・ポリエトキシフェニル〕プロパン等を挙げることができる。これらの化合物は単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができるものである。
【００４８】
また光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）としては、下記の（ｄ）を含むものを用いることができる。
＜（ｄ）分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物＞
光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）の一部又は全部として、分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物（ｄ）を含むものを用いると、分子中にカルボキシル基を有する化合物（ｄ）の、本発明の感光性樹脂組成物中における配合割合を適宜調節することにより、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対する溶解性の調整が容易となる。この化合物（ｄ）を使用する場合には、好ましくは光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）全量に対して１〜５０重量％となるように配合することが好ましいものである。
【００４９】
この化合物（ｄ）としては特に限定はされないが、例えば、分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物である化合物（ｄ１）や、エポキシ基及びエチレン性不飽和基を各１個のみ有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物（ｄ２）を挙げることができる。
＜（ｄ１）分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物＞
化合物（ｄ）として、部分エステル化物（ｄ１）を用いる場合、その製造方法は公知であり、例えば、二塩基酸、三塩基酸等の無水物と分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物とを、必要に応じて触媒を用い、加熱反応させることによって得られる。この反応は、モノエステル化で留めることが望ましい。
【００５０】
上記の二塩基酸、三塩基酸等の無水物としては、例えばコハク酸、フタル酸、マレイン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナジック酸、メチルナジック酸、ドテシルコハク酸、クロレンディック酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、エチレングリコールビス（アンヒドロトリメート）、ポリアゼライン酸、テトラヒドロフタル酸、３−メチルテトラヒドロフタル酸、４−メチルテトラヒドロフタル酸、３−エチルテトラヒドロフタル酸、４−エチルテトラヒドロフタル酸、３−プロピルテトラヒドロフタル酸、４−プロピルテトラヒドロフタル酸、３−ブチルテトラヒドロフタル酸、４−ブチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、３−メチルヘキサヒドロフタル酸、４−メチルヘキサヒドロフタル酸、３−エチルヘキサヒドロフタル酸、４−エチルヘキサヒドロフタル酸、３−プロピルヘキサヒドロフタル酸、４−プロピルヘキサヒドロフタル酸、３−ブチルヘキサヒドロフタル酸、４−ブチルヘキサヒドロフタル酸等の多価カルボン酸に対応する無水物等を挙げることができる。これらの酸無水物は単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができるものである。
【００５１】
また分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリブチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等との反応物、ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等を挙げることができる。これらのものは、単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができる。
＜（ｄ２）エポキシ基及びエチレン性不飽和基を各１個のみ有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物＞
化合物（ｄ）として、部分エステル化物（ｄ２）を用いる場合、この化合物の製造方法は公知であり、例えばエポキシ基及びエチレン性不飽和基を各１個のみ有するエチレン性不飽和化合物と二塩基酸、三塩基酸等の酸無水物とを、必要に応じ触媒を用い、加熱反応させることによって得られる。この反応は、モノエステル化で留めることが望ましい。
【００５２】
このエポキシ基を１個のみ有するエチレン性不飽和化合物としては、例えばグリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート等のグリシジル（メタ）アクリレート類、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸のエポキシシクロヘキシル誘導体類等が挙げられる。これらのものは、単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができる。また多価カルボン酸としては、化合物（ｄ１）の製造に用いる上記酸無水物に対応するものを用いることができる。
【００５３】
上記に示したような光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）は、上記感光性樹脂（Ａ）と共に用いられることにより、本発明の感光性樹脂組成物の光反応性を高めることができる。
【００５４】
光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）の配合割合は、本発明の感光性樹脂組成物から水及び有機溶剤を除外した全成分に対して、０．０５〜７５重量％であることが望ましい。０．０５に満たないと、硬化被膜の強度が充分なものとならない恐れがあり、７５重量％を超えると、本発明の感光性樹脂組成物の予備乾燥後の皮膜の表面粘着性が強くなり、フォトツールアートワーク等を直接貼付した場合に、汚れを生じ易くなる。特に１．０〜５０重量％の場合、硬化被膜強度が良好であると共に、表面の粘着性も低いので更に好ましいものである。
＜（Ｅ）水＞
本発明の感光性樹脂組成物は水（Ｅ）を必須の媒体としている。その配合割合は本発明の感光性樹脂組成物全成分に対して１０〜９７重量％であることが望ましい。配合割合が１０重量％未満の場合、インクの流動性が不充分となり、塗布性等を良好なものとするのが困難であり、また９７重量％を超えると本発明の感光性樹脂組成物を基材面に塗布した際の塗布皮膜が薄くなりすぎ、エッチングレジストインク、めっきレジストインク、ソルダーレジストインク等として充分な性能を発揮できなくなり好ましくない。
【００５５】
また、任意成分として有機溶剤等の媒体を配合することもでき、具体的には、水に易溶性の溶剤のみならず、難溶性、非溶性の有機溶剤を用いることができる。これら有機溶剤の例としてはエタノール、プロパノール、２−プロパノール、ブタノール、２−ブタノール、ヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ブチレングリコール、トリメチロールプロパン、ネオペンチルグリコール、グリセリン、１，２，４−ブタントリオール、１，２−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、ダイアセトンアルコール等の直鎖、分岐、２級或いは多価のアルコール類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル等のエチレングリコールアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル等のポリエチレングリコールアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、グリセリンモノアセテート、グリセリンジアセテート等の酢酸エステル類、乳酸エチル、乳酸ブチル等の乳酸エステル類、ジエチレングリコールジエチルエーテル等のジアルキルグリコールエーテル類、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、スワゾールシリーズ（丸善石油化学社製）、ソルベッソシリーズ（エクソン・ケミカル社製）等の石油系芳香族系混合溶剤、もしくはｎ−ヘキサン、シクロヘキサン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。これらの媒体は、各々単独で又は二以上のものを適宜互いに組み合わせて配合される。
【００５６】
また、本発明のフォトレジストインクには、光反応可能な基導入された高分子化合物として、例えばエチレン性不飽和基を導入してなる（メタ）アクリル酸エステル共重合体、（メタ）アクリル酸エステル−（メタ）アクリル酸共重合体、スチレン−アクリル酸エステル共重合体、スチレン−（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体及びスチレン−マレイン酸樹脂等の重合体等、並びに（メタ）アクリル酸を付加してなるビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂及び脂環型エポキシ樹脂、或はこれらにさらに飽和若しくは不飽和多塩基酸無水物を付加したもの等、或いはこれらのエマルジヨンを加えることができる。
【００５７】
さらに、本発明の水又は希アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物には、印刷適性を調節する等の目的で、必要に応じてシリコーン、（メタ）アクリレート共重合体、フッ素系界面活性剤等のレベリング剤、アエロジル等のチクソトロピー剤、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、フェノチアジン等の重合禁止剤、ハレーション防止剤、難燃剤、耐めっき性向上剤、消泡剤、酸化防止剤、顔料湿潤剤、有機もしくは無機の顔料及び染料、天然もしくは合成ゴムの粉末等の各種添加剤、並びに分散安定性を向上させるための界面活性剤や高分子分散剤等をさらに加えても良い。
【００５８】
本発明の感光性樹脂組成物の調製方法は特に限定されず、各成分を公知の方法を用いて混合することができる。例えば、他の配合成分中に、感光性樹脂（Ａ）の水溶液を加えることによって混合、分散等させても良いし、感光性樹脂（Ａ）の水溶液に他の配合成分を加えることによって混合、分散等させても良い。この分散、混合に際しては、ホモミキサー、パイプラインホモミキサー、ビーズミル、ロールミル、ボールミル等各種の撹拌機、混練機を用いることもできる。
【００５９】
上記のように本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂（Ａ）を用いて他の成分を水もしくは水と水性有機溶剤等の混合溶媒中に溶解、乳化又は分散することができて水性化可能なものであり、この感光性樹脂組成物を露光硬化させた後に非露光部分を水又は希アルカリ水溶液で除去することができるものであって、現像時に有機溶剤を使用する必要がなく、また感光性樹脂組成物を基材へ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物からの有機溶剤の揮発を抑制することができ、有機溶剤に起因する労働安全性、環境汚染、火災等の問題を低減することができるものである。またこの感光性樹脂組成物の光重合反応により生成する硬化皮膜は皮膜硬度が高く、基材に対する密着性が良好であり、またエッチング液、めっき液等に対する耐水性及び耐熱性に優れたものとすることができる。またこの感光性樹脂組成物の硬化物は、過ヨウ素酸ソーダ等或いはアルカリ金属水酸化物等の水溶液の何れかにより剥離することも可能なものである。従って本発明の感光性樹脂組成物は、エッチングレジストインク、めっきレジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等のプリント配線板製造用フォトレジストインクや、グラビアロール蝕刻用フォトレジストインク、スクリーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィルタ画素製造用インク、カラーフィルタ保護膜製造用インク等として最適なものである。
【００６０】
本発明の感光性樹脂組成物を用い、基板上にパターンを成形する方法としては、現像法を用いることができる。本発明の感光性樹脂組成物を用いて現像法により基材上にパターンを形成する方法は、特に限定されるものではないが、例えば、以下のような方法を採ることができる。
・塗布工程
基材上に感光性樹脂組成物を浸漬法、スプレー塗装、スピンコート法、ロール塗装、カーテンフロー塗装又はスクリーン印刷法等により塗布する。ここで本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板製造用インクとして用いる場合には、基材として銅張積層板等のプリント配線板製造用基板等が用いられる。
・予備乾燥工程
上記の感光性樹脂組成物を、熱風加熱、電磁誘導加熱、ホットプレス或いは遠赤外線乾燥等を用いて乾燥させ、予備乾燥皮膜を形成する。
・露光工程
フォトツールアートワークを上記の予備乾燥した感光性樹脂組成物の塗膜表面に直接又は間接的に当てがい、タングステンランプ、ケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等を用いて紫外線を照射して塗膜表面が選択的に露光される。また、ヘリウムカドミウムレーザー、アルゴンレーザー、ＹＡＧレーザー等を用いたレーザ直接描画法によって露光しても良い。
・現像工程
本発明の感光性樹脂組成物は露光工程の後、水もしくは希アルカリ溶液にて非露光部を洗浄除去することにより現像することが可能である。
【００６１】
ここで、水による場合はその温度は特に限定はされないが常温水もしくは温水によるのが好ましい。
【００６２】
また希アルカリ溶液にて現像を行う場合には、例えば、ナトリウム、カリウム、リチウム等の水酸化アルカリ、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の炭酸アルカリの水溶液等を用いることができる。
【００６３】
また水もしくは希アルカリ溶液としては、その溶媒として水単独のみならず、例えば水とアルコール系等の親水性のある有機溶媒を混合したものを用いることも可能である。
・エッチング、めっき工程
本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板のエッチングレジスト又はめっきレジストとして用いる場合には、例えば、上記の現像法によってプリント配線板製造用基板上に形成されたレジストパターンをマスクとして、露出している基板の表面を、エッチング、めっき等の公知の方法で処理する方法等が挙げられる。
【００６４】
エッチングを行う場合は、基板上の導電性層の種類に応じて選択されたエッチング剤を用いることができる。例えば、塩化第二銅などの酸性エッチング液、アンモニア系エッチング液等を用いて行うことができる。
【００６５】
まためっきを行う場合には、例えば、硫酸銅めっき、ピロリン酸銅めっき等の銅めっき、ハイスローはんだめっき等のはんだめっき、スルファミン酸ニッケルめっき等のニッケルめっき、ソフト金めっき、ハード金めっき等の金めっき等を行うことができる。
・剥離工程
本発明の感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト、マーキングインクとして用いる場合、その硬化物を残存させて用いることもできるが、エッチングレジスト又はめっきレジスト等として用いる場合には、その硬化物を最終的に剥離することもできる。ここで硬化物は硬化物中の感光性樹脂（Ａ）由来部分を過ヨウ素酸ソーダ、次亜塩素酸ソーダ等で分解することにより剥離できる。
【００６６】
また、上記現像工程に用いるアルカリ溶液により剥離することもでき、この場合には現像に用いたものよりさらに強アルカリ性の溶液を用いることが好ましい。
【００６７】
【実施例】
以下に本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下に使用される「部」及び「％」は、特に示さない限り、全て重量基準である。また、「重量平均分子量」は、下記測定条件に基づきＧＰＣ（ゲル・パーミテーション・クロマトグラフィー）により測定されたものである。
〔ＧＰＣ測定法〕
各試料を固型分について１０ｍｇ／ｍｌとなる様にＴＨＦ（テトラヒドロフラン）溶液を調製し、各々インジェクション量１００μｌにて測定した。
・測定条件
ＧＰＣ測定装置：昭和電工社製、商品名「ＳＨＯＤＥＸ ＳＹＳＴＥＭ １１」
カラム ：昭和電工社製、商品名「ＳＨＯＤＥＸ ＫＦ−８００Ｐ」、「ＳＨＯＤＥＸ ＫＦ−８０５」、「ＳＨＯＤＥＸ ＫＦ−８０３」及び「ＳＨＯＤＥＸ ＫＦ−８０１」の４本直列
移動層 ：ＴＨＦ
流 量 ：１ミリリットル／分
カラム温度 ：４５℃
検出器 ：ＲＩ
換 算 ：ポリスチレン
〔合成例１〕
部分ケン化ポリ酢酸ビニル（重合度１７００、ケン化度８８モル％、日本合成化学工業（株）製、商品名「ゴーセノールＧＨ−１７」）２００ｇを水１０００ｇに溶解した。この水溶液にＮ−メチロールアクリルアミド４０ｇを溶解し、０．１％メトキシハイドロキノン水溶液２ｇ、８５％リン酸３ｇを添加後、６０℃で２０時間反応させた。反応終了後、５％カセイソーダーで中和し、さらに水にて溶液の総量を１５００ｇとなるように調整し、ポリビニルアルコール系重合体のＮ−メチロールアクリルアミド付加物（感光性樹脂（Ａ）に相当）の水溶液（Ｎ−１）を得た。
〔合成例２〕
酢酸ビニル重合体−不飽和カルボン酸Ｎａ共重合体部分ケン化物（重合度１８００、ケン化度８８モル％、（株）クラレ製、商品名「ポバールＫＬ３１８」）に２００ｇを水１０００ｇに溶解した。この水溶液にＮ−メチロールアクリルアミド６０ｇを溶解し、０．１％メトキシハイドロキノン水溶液２ｇ、８５％リン酸３ｇを添加後、８０℃で５時間反応した。反応終了後、５％カセイソーダーで中和し、さらに水にて溶液の総量を１６２５ｇとなるように調整し、ポリビニルアルコール系重合体のＮ−メチロールアクリルアミド付加物（感光性樹脂（Ａ）に相当）の水溶液（Ｎ−２）を得た。
〔合成例３〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、メタクリル酸２０部、メチルメタクリレート８０部、メチルエチルケトン１００部、アゾビスイソブチロニトリル１部を加え、窒素気流下に加熱し、７５℃において５時間重合を行ない、５０％バインダーポリマー溶液（Ｐ−１）（バインダーポリマー（Ｂ１）に相当するアクリル酸エステル系共重合体の溶液）を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は１１００００、酸価は１３０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例４〕
スチレン−無水マレイン酸共重合体（エルフアトケム社製、商品名「ＳＭＡ−１０００Ａ」）１５０部をメチルエチルケトン１５２部に加熱溶解したものに、空気を吹き込みながら、撹拌下にｎ−ブチルアルコール５６部、ハイドロキノン０．１部、ジメチルベンジルアミン３．０部を加え、常法により８０℃で２４時間反応させ、５７％溶液（Ｐ−２）（バインダーポリマー（Ｂ１）に相当するスチレン−マレイン酸エステル系共重合体の溶液）を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は７４００、酸価は２０３ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例５〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、ヒドロキシエチルメタクリレート２５部、メチルメタクリレート７５部、メチルエチルケトン１００部、ラウリルメルカプタン０．５部、アゾビスイソブチロニトリル３部を加え、窒素気流下に加熱し、７５℃において５時間重合を行ない、５０％共重合体溶液を得た。
【００６８】
上記５０％共重合体溶液に、ハイドロキノン０．０５部、メチルエチルケトン２５部、テトラヒドロ無水フタル酸２０部、ジメチルベンジルアミン２．０部を加え、８０℃で空気を吹き込みながら１０時間付加反応を行い、５０％バインダーポリマー溶液（Ｐ−３）（バインダーポリマー（Ｂ２）の溶液に相当）を得た。
【００６９】
得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は２００００、酸価は６１ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例６〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、グリシジルメタクリレート７０部、メチルメタクリレート１０部、ｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート２０部、メチルエチルケトン１００部、ラウリルメルカプタン０．５部、アゾビスイソブチロニトリル３部を加え、窒素気流下に加熱し、７５℃において５時間重合を行ない、５０％共重合体溶液を得た。
【００７０】
上記５０％共重合体溶液に、ハイドロキノン０．０５部、プロピオン酸３９部、ジメチルベンジルアミン２．０部を加え、８０℃で空気を吹き込みながら２４時間付加反応を行い、続いてテトラヒドロ無水フタル酸３８部及びメチルエチルケトン７７部を加えて８０℃で１０時間反応させ、５０％バインダーポリマー溶液（Ｐ−４）（バインダーポリマー（Ｂ３）の溶液に相当）を得た。
【００７１】
得られた感光性プレポリマーの重量平均分子量は２１０００、酸価は７９ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例７〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、メタクリル酸２０部、メチルメタクリレート８０部、カルビトールアセテート１００部、アゾビスイソブチロニトリル１部を加え、窒素気流下に加熱し、８０℃において５時間重合を行ない、５０％バインダーポリマー溶液（Ｐ−５）（バインダーポリマー（Ｂ１）に相当するアクリル酸エステル系共重合体の溶液）を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は９５０００、酸価は１３０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例８〕
スチレン−無水マレイン酸共重合体（エルフアトケム社製、商品名「ＳＭＡ−１０００Ａ」）１５０部をカルビトールアセテート１５２部に加熱溶解したものに、空気を吹き込みながら、撹拌下にｎ−ブチルアルコール５６部、ハイドロキノン０．１部、ジメチルベンジルアミン３．０部を加え、常法により８０℃で２４時間反応させ、５７％溶液（Ｐ−６）（バインダーポリマー（Ｂ１）に相当するスチレン−マレイン酸エステル系共重合体の溶液）を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は７４００、酸価は２０３ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例９〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、グリシジルメタクリレート７０部、ｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート３０部、カルビトールアセテート１００部、ラウリルメルカプタン０．３部、アゾビスイソブチロニトリル３部を加え、窒素気流下に加熱し、８０℃において５時間重合を行ない、５０％共重合体溶液を得た。
【００７２】
上記５０％共重合体溶液に、ハイドロキノン０．０５部、アクリル酸３７部、ジメチルベンジルアミン０．４部を加え、１０５℃で２４時間付加反応を行い、続いてテトラヒドロ無水フタル酸３１部及びカルビトールアセテート６８部を加えて１００℃で３時間反応させ５０％感光性プレポリマー溶液（Ｐ’−１）を得た。
【００７３】
得られた感光性プレポリマーの重量平均分子量は１８０００、酸価は６７ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔実施例１〜４、７〜１０、１３〜１６、１９〜２２〕
各成分を表１、２に示すような組成に調製したものを攪拌混合した後、ホモミキサーで充分に分散し、更に減圧下で、空気を吹き込みながら有機溶剤成分を留去することにより水性のフォトレジストインクを調製した。
〔実施例５、６、１１、１２、１７、１８、２３、２４〕
各成分を表１、２に示すような組成に調製したものを攪拌混合した後、ホモミキサーで充分に分散することにより水性のフォトレジストインクを調製した。
〔比較例１、２〕
各成分を表２に示すような組成に調製したものを、三本ロールにて充分混練しフォトレジストインクを調製した。
【００７４】
【表１】
【００７５】
【表２】
ここで表中において、
（＊１）「アロニックスＭ−３０９」は、東亞合成化学工業（株）製のトリメチロールプロパントリアクリレート（エチレン性不飽和単量体（Ｄ））の商品名である。
【００７６】
（＊２）「アロニックスＭ−１０１」は、東亞合成化学工業（株）製のフェノール変性単官能アクリレート（エチレン性不飽和単量体（Ｄ））の商品名である。
【００７７】
（＊３）「ライトアクリレートＨＯＡ−ＨＨ」は、共栄社油脂化学工業（株）製の２−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸（部分エステル化物（ｄ１））の商品名である。
【００７８】
（＊４）「イルガキュアー９０７」は、チバ・ガイギー（株）製の光重合開始剤の商品名である。
【００７９】
（＊５）「カヤキュアーＤＥＴＸ」は、日本化薬（株）製の光重合開始剤の商品名である。
【００８０】
（＊６）「ビクトリアピュアブルーＢＯＨ」は、保土ヶ谷化学工業（株）製の有機染料の商品名である。
【００８１】
上記の実施例１乃至２４に示す水性のフォトレジストインク及び比較例１及び２のフォトレジストインクについて、下記に示すような評価試験を行なった。
〔評価試験〕
〈塗布工程〉
［１］予備乾燥皮膜の膜厚測定
全ての実施例及び比較例のフォトレジストインクを、基材厚１．６ｍｍ、銅箔厚３５μｍのＦＲ−４両面銅張積層板（住友ベークライト（株）社製、商品名「ＥＬＣ ４７６２」）に縦型ロールコーター（（株）ファーネス社製）を用いて両面に塗布し、熱風対流式乾燥機にて８０℃の温度で、１５分乾燥させた後、室温まで冷却した。このとき得られた予備乾燥皮膜の膜厚を測定した。
〈露光・現像工程〉
［２］予備乾燥皮膜の表面粘着性
［１］の操作に続いて、全ての実施例及び比較例について、予備乾燥皮膜が形成された積層板に配線パターンを描いたフォトツールアートワークを両面から直接貼付し、超高圧水銀灯を有する両面同時露光機（（株）オーク製作所製、商品名「オークＨＭＷ−２０１ＧＸ」）を用いて積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2になるように露光し、露光後において、フォトツールアートワークを予備乾燥皮膜上からの剥離させる際の予備乾燥皮膜上の張り跡の有無を観察すると共に、フォトツールアートワークの予備乾燥皮膜上からの剥離容易性を評価し、予備乾燥皮膜の粘着性が小さいために張り跡が無く、フォトツールアートワークが容易に剥離できたものを「良好」として評価した。
［３］現像性
［２］の操作に続いて、全ての実施例及び比較例について、それぞれ下記（ｉ）、（ii）の２条件を用いて現像性の評価を行った。
【００８２】
（ｉ）３０℃、１重量％炭酸ソーダ水溶液を、スプレー圧１．５Ｋｇ／ｃｍ2で１分間吹きつけて未露光部分を除去して現像した。
【００８３】
（ii）３０℃の水をスプレー圧１．５ｋｇ／ｃｍ2で３分間吹きつけて未露光部分を除去して現像した。
【００８４】
上記（ｉ）及び（ii）について、現像性を目視で観察し、硬化皮膜が形成された露光部分が残存すると共に未露光部分が除去され、現像残りの全く無いものを「◎」と判定した。また未露光部分と露光部の境目のラインにわずかにギザが確認されたものを「○」として評価した。また露光部分と未露光部分が共に除去不能であったものを「×」として評価した。
［４］粘着テープ剥離試験による密着性の評価
得られたレジストの基材に対する密着性を確認するため、硬化皮膜の、ＪＩＳＤ ０２０２−１９８８の４．１５に準拠したクロスカットによるセロハン粘着テープ剥離試験を行い、分母に有効面に形成した碁盤目の数、分子にそれに対する完全に剥がれないで残った碁盤目の数を表して評価した。
〈エッチング工程〉
［５］耐エッチング液性（酸性の水溶液に対する耐水性）
［３］の現像処理の後、４０重量％塩化第２鉄溶液で４５℃、２４０秒エッチングを行い、硬化皮膜の剥がれの有無を観察し、剥がれの無いものを「良好」として評価した。
［６］硬化皮膜の皮膜剥離性
［５］の操作に続いて、
（ｉ）実施例１乃至６、１３乃至１８、並びに比較例１及び２について、４５℃、３％水酸化ナトリウム水溶液を、スプレー圧２ｋｇ／ｃｍ2で吹きつけてレジストを剥離除去した場合の硬化皮膜の剥離を観察した。
【００８５】
（ii）実施例７乃至１２、１９乃至２４、並びに比較例１及び２について、２０℃、３％過ヨウ素酸水溶液に２分間浸漬後、スプレー圧２ｋｇ／ｃｍ2で吹きつけてレジストを剥離除去した場合の硬化皮膜の剥離を観察した。
【００８６】
上記（ｉ）及び（ii）につき、硬化皮膜が完全に剥離されるのに要する時間を測定した。また剥離することができなかったものを「不可」として評価した。
［７］エッチング性の評価
［６］により硬化皮膜が剥離された積層板上に形成された導体パターンに、断線、欠線、線細り、ピンホール、ラインキザ（導体の直線パターンの直線性不良）及びエッチングのもぐり等がないものを「良好」として評価した。
〈めっき工程〉
［８］耐めっき液性
［３］の現像処理の後、
・脱脂（メルテックス（株）製、商品名「ＰＣ−４５５」の薬剤の２５重量％水溶液に３０℃で５分間浸漬）
・水洗
・ソフトエッチング（過硫酸アンモニウムタイプソフトエッチング剤（三菱ガス化学（株）社製、商品名「ＮＰＥ−３００」）２０重量％水溶液に室温で２分浸漬）
・水洗
・硫酸洗浄（１０重量％硫酸に室温で１分間浸漬）
の工程を経た後、ニッケルめっき浴（硫酸ニッケル ３００ｇ、塩化ニッケル４０ｇ、硼酸４０ｇ、水６２０ｇ）に入れ、ニッケルめっきを４５℃，１．５Ａ／ｄｍ2で１０分間行った。ニッケルめっき終了後直ちに水洗し、続いて、金めっき浴（日本高純度化学（株）製、商品名「オーロブライトＨＳ−２」）を用いて、液温４０℃、１．０Ａ／ｄｍ2で１０分間金めっきを行った。
【００８７】
以上の工程の間における、硬化皮膜の剥がれの有無を観察し、剥がれの無いものを「良好」として評価した。
［９］めっき終了後の硬化皮膜の粘着テープ剥離試験
［８］の操作の後、水洗、乾燥を行い、乾燥後の硬化皮膜について、ＪＩＳＤ ０２０２−１９８８の４．１５に準拠したクロスカットによるセロハン粘着テープ剥離試験を行い、分母に有効面に形成した碁盤目の数、分子にそれに対する完全に剥がれないで残った碁盤目を表して評価した。
［１０］めっき性評価
続いて、実施例１乃至３０、比較例１及び２について、４５℃の３％水酸化ナトリウム水溶液を、スプレー圧２ｋｇ／ｃｍ2で吹きつけてレジストを剥離除去した後、拡大鏡で目視観察し、めっき性が良好で、めっきもぐりの無いものを「良好」として評価した。
［１１］アルカリエッチング後の金の導体パターンの評価
続いて、アルカリエッチングを行い、銅を剥離した後のラインキザ（金の直線パターンの直線性不良）を光学顕微鏡にて確認し、凹部と凸部の幅の差を測定した。
【００８８】
以上の結果を表３乃至５に示す。
【００８９】
【表３】
【００９０】
【表４】
【００９１】
【表５】
表１乃至５から明らかなように、水性化可能ではない比較例１、２のものでは、希アルカリ水溶液では現像できたものの、水では現像できなかったのに対し、水性化可能な実施例の全てのものでは、水と希アルカリ水溶液の双方によって現像可能することができた。また実施例のすべてのものにおいて、希アルカリ水溶液での現像性が比較例１、２のものよりも向上した。また特にバインダーポリマー（Ｂ）として、数平均分子量が２００００〜３０００００のものを用いた実施例１〜５、７〜１１、１３〜１７、１９〜２３では、現像性が特に向上した。
【００９２】
また比較例１、２では硬化皮膜が過ヨウ素酸ナトリウム溶液により剥離することができなかったのに対して、実施例のものでは、アルカリ溶液で剥離することができると共に、過ヨウ素酸ナトリウム溶液でも剥離することができることが確認できた。
【００９３】
また実施例すべてのものは、予備乾燥皮膜の粘着性が小さく、また硬化皮膜の基材への密着性が高いものであった。また耐エッチング液性が高く、また硬化皮膜をアルカリ溶液により剥離することができ、更にエッチングレジストとして用いた場合、硬化皮膜が剥離された積層板上に形成された胴体パターンに断線、欠線、線細り、ピンホール、ラインギザ及びエッチングもぐりがなく、エッチング性が良好であった。まためっきレジストとして用いた場合、めっきもぐりがなく、めっき性が良好であり、アルカリエッチング後の金回路パターンのラインギザがちいさいことが確認された。これらの評価結果は、水性化可能ではない比較例１、２のものと同等以上のものであった。
【００９４】
従って実施例の全てのものは、現像法を用いたエッチングレジストインク、めっきレジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等として好適なものであることが確認された。
【００９５】
【発明の効果】
上記のように本発明の請求項１に記載の感光性樹脂組成物は、
（Ａ）ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂、
（Ｂ）カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの、
（Ｃ）光重合開始剤、
（Ｄ）光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
（Ｅ）水
を含んで成り水又は希アルカリ水溶液で現像可能であるため、感光性樹脂（Ａ）を用いて他の成分を水もしくは水と水性有機溶媒等との混合溶媒中に溶解、乳化又は分散させることができると共に、バインダーポリマー（Ｂ）は、分子中の充分なカルボキシル基により希アルカリ水溶液中で膨潤、分散又は溶解し得るものであって、本発明の感光性樹脂組成物によって形成される皮膜は、露光前は水や希アルカリ水溶液で膨潤、分散又は溶解し得るものであり、したがって、この感光性樹脂組成物は、形成された皮膜の選択的露光を行なった後、水又は希アルカリ水溶液による現像を行って、感光性樹脂組成物の非露光部分を洗い流すと共に、露光部分を残すことにより、画像形成を可能とすることができるものである。またこの現像時に有機溶剤を使用する必要がなく、更に感光性樹脂組成物を基材へ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物からの有機溶剤の揮発を抑制することができ、有機溶剤に起因する労働安全性、環境汚染、火災等の問題を低減することができるものである。
【００９６】
またこの感光性樹脂組成物の光重合反応により生成する硬化皮膜は皮膜硬度が高く、基材に対する密着性を良好なものとすることができる。
【００９７】
また、本発明の感光性樹脂組成物を露光により光反応を起こさせて形成した硬化物は、アルカリ金属水酸化物等の水溶液又は過ヨウ素酸ソーダ等のポリビニルアルコール系感光剤用の剥離剤の何れかで剥離することができるものである。
【００９８】
また本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板製造用フォトレジストインクとして用いる場合において、プリント配線板製造用基板に塗工された本発明の感光性樹脂組成物を露光硬化させる際に、バインダーポリマー（Ｂ）の様な高分子量の成分が僅かの露光によって光反応を生じて急激に分子量が増大することを防ぎ、選択的露光時における、露光部と未露光部分の境界面での僅かな光の漏れで硬化することを防いで、露光部と未露光部分の境界面における希アルカリ溶液に対する溶解性、膨潤性等を向上することができ、アートワークに忠実な、シャープなパターンを形成することができて、解像性を向上することができるものである。
【００９９】
また光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）により本発明の感光性樹脂組成物の光反応性を高めることができるものである。
【０１００】
また本発明の請求項３に記載の感光性樹脂組成物は、請求項１又は２の構成に加えて、上記の光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）として、（ｄ）分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含むものを用いるため、このように分子中にカルボキシル基を有する化合物（ｄ）の、本発明の感光性樹脂組成物中における配合割合を適宜調節することにより、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対する溶解性を容易に調整することができるものである。
【０１０１】
また本発明の請求項４に記載の感光性樹脂組成物は、請求項１乃至３のいずれかの構成に加えて、上記の光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）として、（ｄ）分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物を含むものを用いるため、分子中にカルボキシル基を有する化合物（ｄ）の、本発明の感光性樹脂組成物中における配合割合を適宜調節することにより、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対する溶解性を容易に調製することができるものである。
【０１０２】
また本発明の請求項５に記載のプリント配線板製造用フォトレジストインクは、請求項１乃至４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物からなるため、エッチングレジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等として好適なものである。
【発明の属する技術分野】
本発明は、水性化可能な感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、水又は希アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物であって、特にプリント配線板製造用フォトレジストインクとして有用なもの、及びこの感光性樹脂組成物から成るプリント配線板製造用フォトレジストインクに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクは、現像時に溶剤を用いる必要がなく、溶剤現像型のフォトレジストインクに比べ労働安全衛生面、環境汚染防止性、火災防止性などに優れていることから、近年、特にプリント配線板製造用インク、グラビアロール蝕刻用インク、カラーフィルタ画素製造用インク、スクリーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィルタ保護膜製造用インク等の分野に盛んに利用されている。このような希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクとしては、従来は例えば、特開平５−２２４４１３号公報、特開５−２４１３４０号公報に開示されているような感光性樹脂組成物が用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクは、一般的には、インク成分を基材表面に均一に塗布して、その後の露光現像過程に供することができるように、その成分を各種有機溶剤に溶解もしくは分散させたものであり、そのため露光に際しては、あらかじめ予備乾燥によりこれら有機溶剤を揮発させておく必要があった。従って、塗布から予備乾燥塗膜形成の過程においては、有機溶剤に起因する労働安全衛生、環境汚染、火災防止などの問題は未解決のままであった。
【０００４】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、高解像性を有しながらも、基材ヘ塗布した後予備乾燥塗膜を形成する過程における有機溶剤の揮発に起因する労働安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を低減することができ、エッチングレジストインク、めっきレジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等のプリント配線板製造用フォトレジストインクや、グラビアロール蝕刻用フォトレジストインク、カラーフィルタ画素製造用インク、スクリーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィルタ保護膜製造用インク等として有用であって、水性化が可能であり、水又は希アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物及びこの感光性樹脂組成物からなるプリント配線板製造用フォトレジストインクを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の感光性樹脂組成物は、
（Ａ）ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂、
（Ｂ）カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの、
（Ｃ）光重合開始剤、
（Ｄ）光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
（Ｅ）水
を含んで成る水又は希アルカリ水溶液で現像可能であることをとするものである。
また請求項２に記載の感光性樹脂組成物は、請求項１の構成に加えて、上記バインダーポリマー（Ｂ）として、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ）と、このエチレン性不飽和単量体（ａ）と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）とからなる共重合成分を重合してなる共重合体（Ｂ１）、ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体を重合成分として含む重合体或いは共重合体に、多塩基酸無水物を付加してなるもの（Ｂ２）、及びエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を重合単位として含む重合体又は共重合体に飽和モ ノカルボン酸及び多塩基酸無水物を反応させて得られるもの（Ｂ３）のうち、少なくともいずれかを含有することを特徴とするものである。
【０００６】
また請求項３に記載の感光性脂組成物は、請求項１又は２の構成に加えて、上記の光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）として、（ｄ１）分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含むものを用いて成ることを特徴とするものである。
【０００７】
また請求項４に記載の感光性樹脂組成物は、請求項１乃至３のいずれかの構成に加えて、上記の化合物（ｄ）として、（ｄ１）分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物を用いて成ることを特徴とするものである。
【０００８】
また請求項５に記載のプリント配線板製造用フォトレジストインクは、請求項１乃至４の何れかに記載の感光性樹脂組成物から成ることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を説明する。なお本明細書中において「（メタ）アクリル−」はアクリル−及び／又はメタクリル−を意味し、例えば（メタ）アクリル酸はアクリル酸及び／又はメタクリル酸を、また（メタ）アクリルアミドはアクリルアミド及び／又はメタクリルアミドを意味するものとする。
＜（Ａ）ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂＞
本発明の感光性樹脂組成物は、水溶性の感光性樹脂として、ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂（Ａ）を含むものである。
【００１０】
この感光性樹脂（Ａ）の製造に用いられるポリビニルアルコール系重合体とは、例えばポリ酢酸ビニルを完全ケン化又は部分ケン化して得られるポリビニルアルコール、並びに完全ケン化或いは部分ケン化ポリビニルアルコール中の−ＯＨ基や−ＯＣＯＣＨ3基に酸無水物含有化合物、カルボキシ含有化合物、エポキシ基含有化合物もしくはアルデヒド基含有化合物等の種々の化合物を反応して得られる水溶性ポリビニルアルコール誘導体、並びにポリ酢酸ビニルを部分ケン化又は完全ケン化してなるビニルアルコール単位を有するビニルアルコール系共重合体であって、酢酸ビニルの共重合体成分として、例えば（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、スチレン、エチレン、プロピレン、無水マレイン酸、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリル酸エステル等を用いたもの等が挙げられる。
【００１１】
ここで、このポリビニルアルコール系重合体中には、その重合単位の内に、ビニルアルコール単位を６０モル％以上含有することが望ましいものであり、８０モル％以上含有するもの乃至ポリ酢酸ビニルの完全ケン化物の場合は特に水溶性に優れ、水性可能な感光性樹脂組成物を得るのに最適な結果が得られる。ここでビニルアルコール単位が６０モル％に満たないとポリビニルアルコール系重合体は水に溶け難くなり、本発明の感光性樹脂組成物を良好な水性のものとし難い。
【００１２】
ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂（Ａ）の製造方法は公知であり、例えば特公昭４９−５９２３号公報、特開昭６２−２６７３０２号公報等に開示される方法により合成可能である。
【００１３】
具体的には、例えばＮ−メチルピロリドンや水のような、ポリビニルアルコール系重合体の良溶媒の溶液中又はポリビニルアルコール系重合体の貧溶媒懸濁液中で無機酸、スルホン酸誘導体等の酸触媒の存在下、ポリビニルアルコール系重合体とＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドとのエーテル化反応により感光性樹脂（Ａ）が得られる。
【００１４】
Ｎ−アルキロール（メタ）アクリルアミドとしては、例えば、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−プロピロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチロール（メタ）アクリルアミド等を挙げることができる。これらのＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミド系化合物は、ポリビニルアルコール系重合体に付加させる際、一種のみを付加させることができるほか、二種以上を適宜組み合わせたものを付加させることができる。
【００１５】
この感光性樹脂（Ａ）においてＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドの現実の付加率は、感光性樹脂（Ａ）を構成するビニルアルコール重合単位当り、０．０５〜２５モル％であることが好ましい。０．０５モル％よりも少ないと感光性樹脂の重合性が低下し、逆に２５モル％よりも多くなると水溶性が乏しくなる。また、０．０５〜１５モル％の場合、光硬化性と水溶性のバランスが最適な結果が得られる。
【００１６】
このようにして得られる感光性樹脂（Ａ）を他の成分と共に水（Ｅ）もしくは水（Ｅ）と水性有機溶剤等の混合溶媒中に溶解、乳化、又は分散することにより、本発明の感光性樹脂組成物を調製できる。このように本発明の感光性樹脂組成物は水性化可能なものである。また感光性樹脂組成物を基材ヘ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物の成分を各種有機溶剤に溶解もしくは分散させたものと比較して、有機溶剤の揮発を抑制し、有機溶剤に起因する労働安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を低減することができるものである。なお、溶解、乳化、分散の方法は特に限定するものではなく、例えば他の成分中に、感光性樹脂（Ａ）の水溶液を加えることによって溶解、乳化、分散させても良いし、感光性樹脂（Ａ）の水溶液に他の成分を加えることによって溶解、乳化、分散させても良い。また溶解、乳化、分散に際しては、ホモミキサー、パイプラインホモミキサー、ビーズミル、ロールミル、ボールミル等の各種の攪拌機、混練機を用いることができる。
【００１７】
またこれらの感光性樹脂（Ａ）の配合割合は、本発明の感光性樹脂組成物に用いる水（Ｅ）及び有機溶剤を除いた全成分中の合計量中で０．１〜５０重量％であることが好ましいものであり、更に好ましくは１〜３０重量％である。配合割合が０．１重量％に満たない場合は、本発明の感光性樹脂組成物の水性化が困難となり、また５０重量％を超える場合、本発明の感光性樹脂組成物の光重合反応による硬化後の硬化皮膜の耐水性が不足し易く、硬化皮膜の形成時に硬化皮膜の剥がれを生じ易い。また０．５重量％以上配合した場合には、特に水による現像が容易となる。
＜（Ｂ）カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの＞
本発明の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの（Ｂ）を含むものである。
【００１８】
このバインダーポリマー（Ｂ）は、分子中に充分なカルボキシル基を有するので、希アルカリ水溶液中で膨潤、分散又は溶解し得るものである。
【００１９】
このため、バインダーポリマー（Ｂ）を含んでなる本発明の感光性樹脂組成物は、上記水溶性の感光性樹脂成分（Ａ）の存在と相俟って、それにより形成される皮膜が、露光前は水や希アルカリ水溶液で膨潤、分散又は溶解し得る。したがって、この感光性樹脂組成物は、形成された皮膜の選択的露光を行なった後、水又は希アルカリ水溶液による現像を行って、感光性樹脂組成物の非露光部分を洗い流すと共に、露光部分を残すことにより、画像形成を可能とすることができるものである。
【００２０】
また、上記の通り、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｂ）成分と共に、ポリビニルアルコール系の水溶性の感光性樹脂（Ａ）を含むので、組成物を露光により光反応を起こさせて形成した硬化物は、アルカリ金属水酸化物等の水溶液又は過ヨウ素酸ソーダ等のポリビニルアルコール系感光剤用の剥離剤の何れかで剥離可能なものである。
【００２１】
また、バインダーポリマー（Ｂ）は、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないものである。ここで光反応可能なエチレン性不飽和基を含まないとは、バインダーポリマー（Ｂ）を合成する際に、光反応可能なエチレン性不飽和基を積極的には導入しないことを意味し、バインダーポリマー（Ｂ）をラジカル重合によって合成するに際して、ラジカル停止反応における不均化やその他の要因によって不可避的に生じるわずかなエチレン性不飽和結合の存在は許容されるものである。そのため本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板製造用フォトレジストインクとして用いる場合において、プリント配線板製造用基板に塗工された本発明の感光性樹脂組成物を露光硬化させる際に、バインダーポリマー（Ｂ）の様な高分子量の成分が僅かの露光によって光反応を生じて急激に分子量が増大することを防ぎ、選択的露光時における、露光部と未露光部分の境界面での僅かな光の漏れで硬化することを防いで、露光部と未露光部分の境界面における希アルカリ溶液に対する溶解性、膨潤性等を向上することができる。そのため、アートワークに忠実な、シャープなパターンを形成することができ、解像性を向上することができるものである。
【００２２】
また、バインダーポリマー（Ｂ）はそれ自体皮膜形成可能であることが望ましいものであり、このようなバインダーポリマー（Ｂ）と上記の感光性樹脂（Ａ）を組み合わせた本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、感光性樹脂組成物の予備乾燥皮膜は表面粘着性が無くなり、フォトツールアートワーク等を直接貼付した場合でも、フォトツールアートワーク等に感光性樹脂組成物が付着して汚れるようなことがないものである。
【００２３】
ここで本発明の感光性樹脂組成物を希アルカリ水溶液で現像可能なものとし、また本発明の感光性樹脂組成物の硬化物をアルカリ水溶液で剥離可能なものとするためには、バインダーポリマー（Ｂ）の酸価は２０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇに満たない場合、希アルカリ溶液で短時間に現像することが困難となり、３００ｍｇＫＯＨ／ｇを超える場合には硬化物の希アルカリ溶液に対する耐性が低くなり過ぎて、良好なパターン形成が困難となる場合がある。また更に好ましくは、バインダーポリマー（Ｂ）の酸価を４０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇとするものであり、この場合は、短期間の現像が可能で、かつ特に良好なパターン形成が可能となり、また本発明の感光性樹脂組成物へバインダーポリマー（Ｂ）が乳化、分散されやすくなり、最適な結果が得られる。
【００２４】
また、バインダーポリマー（Ｂ）の重量平均分子量は４０００〜５０００００であることが好ましく、４０００に満たない場合には、予備乾燥後の皮膜に粘着性が残りやすく、フォトツールアートワークを予備乾燥皮膜に直接貼りつけて露光した場合にはフォトツールアートワークの貼り跡が硬化皮膜に残ってしまう可能性があるものであり、また５０００００を超える場合には、現像性の低下を招き易い。またバインダーポリマー（Ｂ）の重量平均分子量が４０００〜３０００００であるときには、予備乾燥後の皮膜の粘着性が高くなる問題も生じず、また良好な感度及び現像性を得ることができる。更に、２００００〜３０００００である場合に、特に高い感度と解像性とを兼ね備えたものとなり最適な結果を生じる。
【００２５】
これらの性質は、本発明のインクをプリント配線板製造用のフォトエッチングレジストインク、画像形成可能なめっきレジストインク等として使用する場合に特に好適なものである。
【００２６】
また、バインダーポリマー（Ｂ）の配合量は本発明の感光性樹脂組成物から、水（Ｅ）及び有機溶剤を除外した全成分中で５重量％以上であることが好ましい。バインダーポリマー（Ｂ）の配合量が本発明の感光性樹脂組成物から、水及び有機溶剤を除外した全成分中で５重量％に満たない場合、予備乾燥後の皮膜に粘着性が残りやすく、フォトツールアートワークを予備乾燥皮膜に直接貼りつけて露光した場合にフォトツールアートワークの貼り跡が硬化皮膜に残ってしまう可能性がある。
【００２７】
上記のバインダーポリマー（Ｂ）としては、エチレン性不飽和単量体の重合体、共重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を導入してなるものを例示できる。具体的には、下記の（Ｂ１）乃至（Ｂ３）を示すことができる。
<（Ｂ１）１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ）と、このエチレン性不飽和単量体（ａ）と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）とからなる共重合成分を重合してなる共重合体＞
ここで、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ）は、主として、共重合体生成物であるバインダーポリマー（Ｂ）中に充分なカルボキシル基を導入することにより、バインダーポリマー（Ｂ）を希アルカリ水溶液中で膨潤、分散もしくは溶解し得るものにするために用いられる。
【００２８】
このエチレン性不飽和単量体（ａ）としては（メタ）アクリル酸、ケイ皮酸等を例示できる。更に（ａ）成分としては、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸及びマレイン酸並びにこれらの無水物、或いはこれらと飽和アルコールとの部分エステルを例示できる。これらのものは単独で又は複数種を適宜組み合わせて用いることができる。
【００２９】
エチレン性不飽和単量体成分（ａ）と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）としては、例えば（メタ）アクリル酸エステル系不飽和単量体として、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、ｎ−デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ミリスチル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の直鎖、分岐或は脂環族の（メタ）アクリル酸エステル、及びヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のエチレングリコールエステル系（メタ）アクリレート及び同様なプロピレングリコール系（メタ）アクリレート、ブチレングリコール系モノ（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート等、及びベンジル（メタ）アクリレート等の芳香族系の（メタ）アクリレート、並びに（メタ）アクリルアミド系不飽和単量体として（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｔ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｔ−オクチル（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリルアミド等、並びにスチレン、α−メチルスチレン、ビニルエーテル等を挙げることができる。
【００３０】
更に、（ａ）成分と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）としては、更に上記以外のものとして、例えばＮ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等のＮ−置換マレイミド類等、ビニルピロリドン、（メタ）アクリロニトリル、酢酸ビニル等を挙げることができる。これらのものは、単独で又は複数種組み合わせて用いることができる。
【００３１】
上記のような不飽和単量体（ａ）及び（ｂ）としては、共に室温で液体又は固体のもののみを選択して用いると、不飽和単量体（ａ）及び（ｂ）を混合し、反応させる処理を、容易に行うことができて、取り扱い性を向上することができるものであり、また常圧下で容易に、かつ自由な共重合組成で重合可能なものであるため、好ましものである。
【００３２】
またバインダーポリマー（Ｂ１）として、特に好ましいものは共重合体成分として（メタ）アクリル酸エステル系不飽和単量体と（メタ）アクリル酸とを主成分とすると共に、（メタ）アクリル酸エステル系不飽和単量体と（メタ）アクリル酸との配合割合を、バインダーポリマー（Ｂ１）の酸価が所望のものになるようにしてなる共重合体、或いは共重合体成分として（メタ）アクリアミド系不飽和単量体と（メタ）アクリル酸とを主成分とすると共に、（メタ）アクリアミド系不飽和単量体と（メタ）アクリル酸との配合割合を、バインダーポリマー（Ｂ１）の酸価が所望のものになるようにしてなる共重合体であり、この場合、所望の酸化や重合度を有するバインダーポリマー（Ｂ１）を容易に合成することが可能なものである。
【００３３】
また、共重合体成分としてマレイン酸若くはその誘導体とスチレンとを主成分としてなる共重合体もバインダーポリマー（Ｂ１）として特に好ましいものであり、この場合も、所望の酸化や重合度を有するバインダーポリマー（Ｂ１）を容易に合成することが可能なものである。
【００３４】
これらの単量体成分を用いて共重合体を得る方法は、特に限定されるものではなく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重合方法を用いることができる。また、溶液重合、乳化重合等の場合には、共重合体樹脂を取り出すことなく溶液又はエマルジヨンのまま、本発明の組成物のために配合してもよい。
【００３５】
なお、マレイン酸の部分エステルとスチレンとを共重合成分として含む共重合体は、これらの共重合成分或いはこれらの共重合成分と他の共重合成分を重合することにより直接得ることもできるが、あらかじめスチレンと無水マレイン酸を共重合成分として含む重合体を得た後、飽和アルコール、特に飽和モノアルコールを付加することによって、所望の酸化を有するバインダーポリマー（Ｂ１）を得るようにしてもよい。
【００３６】
エチレン性不飽和単量体の重合体或いは共重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を導入してなるものの具体例としては、下記の（Ｂ２）を挙げることができる。
＜（Ｂ２）ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体を重合成分として含む重合体或いは共重合体に、多塩基酸無水物を付加してなるもの＞
ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体の例としては、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のエチレングリコールエステル系（メタ）アクリレート及び同様なプロピレングリコール系（メタ）アクリレート、ブチレングリコール系モノ（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート等を挙げることができ、これらのものは、単独で又は複数種組み合わせて用いることができる。また、これらヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体とともに、これらと共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体を共重合してもよい。
【００３７】
ここで重合方法は特に限定されるものではなく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重合方法を用いることができる。
【００３８】
多塩基酸無水物としては、例えば無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の後述する（ｄ１）の合成に用いられるものを使用可能であり、これらのものは、単独で又は複数種組み合わせて用いることができる。また、重合体或いは共重合体と多塩基酸無水物との付加も公知の方法により可能である。
【００３９】
エチレン性不飽和単量体の重合体或いは共重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を導入してなるものの具体例としてはさらに、下記の（Ｂ３）を挙げることができる。
＜（Ｂ３）エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を重合単位として含む重合体又は共重合体に飽和モノカルボン酸及び多塩基酸無水物を反応させて得られるもの＞
このエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体としては、例えばグリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート等のグリシジル（メタ）アクリレート類、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸のエポキシシクロヘキシル誘導体類等が挙げられる。これらのものは、単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができる。また、これらエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体とともに、これらと共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体を共重合してもよい。
【００４０】
ここで重合方法は、特に限定されるものではなく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重合方法を用いることができる。
【００４１】
また飽和モノカルボン酸としては、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、グリコール酸、乳酸等を挙げることができ、これらのものは単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができる。
【００４２】
また、多塩基酸無水物としては、例えば無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の後述する（ｄ１）の合成に用いられるものを使用可能であり、これらのものは、単独で又は複数種組み合わせて用いることができる。
【００４３】
また、飽和モノカルボン酸及び多塩基酸無水物の付加も公知の方法により可能である。
【００４４】
なお、上記のような各種のバインダーポリマー（Ｂ）は、カルボキシル基の一部もしくは全部が、アルカノールアミン等の有機の塩基性化合物、アンモニア等によって中和されていても良い。
＜（Ｃ）光重合開始剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤（Ｃ）を含むものである。この光重合開始剤（Ｃ）としては、極性溶媒溶解性のもの、或いは非溶解性のもののいずれも使用することが可能である。例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類、アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン等のアセトフェノン類、２−メチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン等のアントラキノン類、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン等のチオキサントン類、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類、ベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシルカルボニル）ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルスルフィド等のベンゾフェノン類やキサントン類、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパン−１−オン、２−ベンゾイル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、４，４’−ビス−ジエチルアミノベンゾフェノン等の窒素原子を含むもの、並びに２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド等、並びに、レーザーによる直接描画用として例えばビス（η5−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム等のメタロセン類が挙げられ、これらの光重合開始剤（Ｃ）は各々単独で又は二以上のものを適宜互いに組み合わせて配合されたものを用いることができる。またこれらの光重合開始剤（Ｃ）は、安息香酸系又はｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、２−ジメチルアミノエチルベンゾエート等の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤及び増感剤等と併用しても良い。
【００４５】
この光重合開始剤（Ｃ）の配合量は、本発明の感光性樹脂組成物から、水及び有機溶剤を除外した全成分中で０．１〜２０重量％であることが望ましい。０．１重量％に満たない場合は、本発明の感光性樹脂組成物に十分な光硬化性を与えることが難しく、また、２０重量％を越えて配合しても、光硬化性をより向上させることに寄与しない。
＜（Ｄ）光重合可能なエチレン性不飽和単量体＞
本発明の感光性樹脂組成物には、光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）が配合される。
【００４６】
光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）は、本発明の感光性樹脂組成物に充分な光反応性を付与し、選択的露光により画像形成可能なものとするものである。
【００４７】
この光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）としては、例えばトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス〔４−（（メタ）アクリロキシエトキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔４−（（メタ）アクリロキシ・ジエトキシ）フェニル〕プロパン、２−ヒドロキシ−１，３−ジ（メタ）アクリロキシプロパン、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、１−メトキシシクロドデカジエニル（メタ）アクリレート、β−（メタ）アクロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−（メタ）アクロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ−ジエポキシアクリル酸付加物、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２，２−ビス〔４−メタクリロイルオキシ・ポリエトキシフェニル〕プロパン等を挙げることができる。これらの化合物は単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができるものである。
【００４８】
また光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）としては、下記の（ｄ）を含むものを用いることができる。
＜（ｄ）分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物＞
光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）の一部又は全部として、分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物（ｄ）を含むものを用いると、分子中にカルボキシル基を有する化合物（ｄ）の、本発明の感光性樹脂組成物中における配合割合を適宜調節することにより、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対する溶解性の調整が容易となる。この化合物（ｄ）を使用する場合には、好ましくは光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）全量に対して１〜５０重量％となるように配合することが好ましいものである。
【００４９】
この化合物（ｄ）としては特に限定はされないが、例えば、分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物である化合物（ｄ１）や、エポキシ基及びエチレン性不飽和基を各１個のみ有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物（ｄ２）を挙げることができる。
＜（ｄ１）分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物＞
化合物（ｄ）として、部分エステル化物（ｄ１）を用いる場合、その製造方法は公知であり、例えば、二塩基酸、三塩基酸等の無水物と分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物とを、必要に応じて触媒を用い、加熱反応させることによって得られる。この反応は、モノエステル化で留めることが望ましい。
【００５０】
上記の二塩基酸、三塩基酸等の無水物としては、例えばコハク酸、フタル酸、マレイン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナジック酸、メチルナジック酸、ドテシルコハク酸、クロレンディック酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、エチレングリコールビス（アンヒドロトリメート）、ポリアゼライン酸、テトラヒドロフタル酸、３−メチルテトラヒドロフタル酸、４−メチルテトラヒドロフタル酸、３−エチルテトラヒドロフタル酸、４−エチルテトラヒドロフタル酸、３−プロピルテトラヒドロフタル酸、４−プロピルテトラヒドロフタル酸、３−ブチルテトラヒドロフタル酸、４−ブチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、３−メチルヘキサヒドロフタル酸、４−メチルヘキサヒドロフタル酸、３−エチルヘキサヒドロフタル酸、４−エチルヘキサヒドロフタル酸、３−プロピルヘキサヒドロフタル酸、４−プロピルヘキサヒドロフタル酸、３−ブチルヘキサヒドロフタル酸、４−ブチルヘキサヒドロフタル酸等の多価カルボン酸に対応する無水物等を挙げることができる。これらの酸無水物は単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができるものである。
【００５１】
また分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリブチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等との反応物、ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等を挙げることができる。これらのものは、単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができる。
＜（ｄ２）エポキシ基及びエチレン性不飽和基を各１個のみ有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物＞
化合物（ｄ）として、部分エステル化物（ｄ２）を用いる場合、この化合物の製造方法は公知であり、例えばエポキシ基及びエチレン性不飽和基を各１個のみ有するエチレン性不飽和化合物と二塩基酸、三塩基酸等の酸無水物とを、必要に応じ触媒を用い、加熱反応させることによって得られる。この反応は、モノエステル化で留めることが望ましい。
【００５２】
このエポキシ基を１個のみ有するエチレン性不飽和化合物としては、例えばグリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート等のグリシジル（メタ）アクリレート類、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸のエポキシシクロヘキシル誘導体類等が挙げられる。これらのものは、単独又は二種以上を適宜組み合わせて用いることができる。また多価カルボン酸としては、化合物（ｄ１）の製造に用いる上記酸無水物に対応するものを用いることができる。
【００５３】
上記に示したような光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）は、上記感光性樹脂（Ａ）と共に用いられることにより、本発明の感光性樹脂組成物の光反応性を高めることができる。
【００５４】
光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）の配合割合は、本発明の感光性樹脂組成物から水及び有機溶剤を除外した全成分に対して、０．０５〜７５重量％であることが望ましい。０．０５に満たないと、硬化被膜の強度が充分なものとならない恐れがあり、７５重量％を超えると、本発明の感光性樹脂組成物の予備乾燥後の皮膜の表面粘着性が強くなり、フォトツールアートワーク等を直接貼付した場合に、汚れを生じ易くなる。特に１．０〜５０重量％の場合、硬化被膜強度が良好であると共に、表面の粘着性も低いので更に好ましいものである。
＜（Ｅ）水＞
本発明の感光性樹脂組成物は水（Ｅ）を必須の媒体としている。その配合割合は本発明の感光性樹脂組成物全成分に対して１０〜９７重量％であることが望ましい。配合割合が１０重量％未満の場合、インクの流動性が不充分となり、塗布性等を良好なものとするのが困難であり、また９７重量％を超えると本発明の感光性樹脂組成物を基材面に塗布した際の塗布皮膜が薄くなりすぎ、エッチングレジストインク、めっきレジストインク、ソルダーレジストインク等として充分な性能を発揮できなくなり好ましくない。
【００５５】
また、任意成分として有機溶剤等の媒体を配合することもでき、具体的には、水に易溶性の溶剤のみならず、難溶性、非溶性の有機溶剤を用いることができる。これら有機溶剤の例としてはエタノール、プロパノール、２−プロパノール、ブタノール、２−ブタノール、ヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ブチレングリコール、トリメチロールプロパン、ネオペンチルグリコール、グリセリン、１，２，４−ブタントリオール、１，２−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、ダイアセトンアルコール等の直鎖、分岐、２級或いは多価のアルコール類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル等のエチレングリコールアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル等のポリエチレングリコールアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、グリセリンモノアセテート、グリセリンジアセテート等の酢酸エステル類、乳酸エチル、乳酸ブチル等の乳酸エステル類、ジエチレングリコールジエチルエーテル等のジアルキルグリコールエーテル類、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、スワゾールシリーズ（丸善石油化学社製）、ソルベッソシリーズ（エクソン・ケミカル社製）等の石油系芳香族系混合溶剤、もしくはｎ−ヘキサン、シクロヘキサン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。これらの媒体は、各々単独で又は二以上のものを適宜互いに組み合わせて配合される。
【００５６】
また、本発明のフォトレジストインクには、光反応可能な基導入された高分子化合物として、例えばエチレン性不飽和基を導入してなる（メタ）アクリル酸エステル共重合体、（メタ）アクリル酸エステル−（メタ）アクリル酸共重合体、スチレン−アクリル酸エステル共重合体、スチレン−（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体及びスチレン−マレイン酸樹脂等の重合体等、並びに（メタ）アクリル酸を付加してなるビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂及び脂環型エポキシ樹脂、或はこれらにさらに飽和若しくは不飽和多塩基酸無水物を付加したもの等、或いはこれらのエマルジヨンを加えることができる。
【００５７】
さらに、本発明の水又は希アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物には、印刷適性を調節する等の目的で、必要に応じてシリコーン、（メタ）アクリレート共重合体、フッ素系界面活性剤等のレベリング剤、アエロジル等のチクソトロピー剤、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、フェノチアジン等の重合禁止剤、ハレーション防止剤、難燃剤、耐めっき性向上剤、消泡剤、酸化防止剤、顔料湿潤剤、有機もしくは無機の顔料及び染料、天然もしくは合成ゴムの粉末等の各種添加剤、並びに分散安定性を向上させるための界面活性剤や高分子分散剤等をさらに加えても良い。
【００５８】
本発明の感光性樹脂組成物の調製方法は特に限定されず、各成分を公知の方法を用いて混合することができる。例えば、他の配合成分中に、感光性樹脂（Ａ）の水溶液を加えることによって混合、分散等させても良いし、感光性樹脂（Ａ）の水溶液に他の配合成分を加えることによって混合、分散等させても良い。この分散、混合に際しては、ホモミキサー、パイプラインホモミキサー、ビーズミル、ロールミル、ボールミル等各種の撹拌機、混練機を用いることもできる。
【００５９】
上記のように本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂（Ａ）を用いて他の成分を水もしくは水と水性有機溶剤等の混合溶媒中に溶解、乳化又は分散することができて水性化可能なものであり、この感光性樹脂組成物を露光硬化させた後に非露光部分を水又は希アルカリ水溶液で除去することができるものであって、現像時に有機溶剤を使用する必要がなく、また感光性樹脂組成物を基材へ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物からの有機溶剤の揮発を抑制することができ、有機溶剤に起因する労働安全性、環境汚染、火災等の問題を低減することができるものである。またこの感光性樹脂組成物の光重合反応により生成する硬化皮膜は皮膜硬度が高く、基材に対する密着性が良好であり、またエッチング液、めっき液等に対する耐水性及び耐熱性に優れたものとすることができる。またこの感光性樹脂組成物の硬化物は、過ヨウ素酸ソーダ等或いはアルカリ金属水酸化物等の水溶液の何れかにより剥離することも可能なものである。従って本発明の感光性樹脂組成物は、エッチングレジストインク、めっきレジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等のプリント配線板製造用フォトレジストインクや、グラビアロール蝕刻用フォトレジストインク、スクリーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィルタ画素製造用インク、カラーフィルタ保護膜製造用インク等として最適なものである。
【００６０】
本発明の感光性樹脂組成物を用い、基板上にパターンを成形する方法としては、現像法を用いることができる。本発明の感光性樹脂組成物を用いて現像法により基材上にパターンを形成する方法は、特に限定されるものではないが、例えば、以下のような方法を採ることができる。
・塗布工程
基材上に感光性樹脂組成物を浸漬法、スプレー塗装、スピンコート法、ロール塗装、カーテンフロー塗装又はスクリーン印刷法等により塗布する。ここで本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板製造用インクとして用いる場合には、基材として銅張積層板等のプリント配線板製造用基板等が用いられる。
・予備乾燥工程
上記の感光性樹脂組成物を、熱風加熱、電磁誘導加熱、ホットプレス或いは遠赤外線乾燥等を用いて乾燥させ、予備乾燥皮膜を形成する。
・露光工程
フォトツールアートワークを上記の予備乾燥した感光性樹脂組成物の塗膜表面に直接又は間接的に当てがい、タングステンランプ、ケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等を用いて紫外線を照射して塗膜表面が選択的に露光される。また、ヘリウムカドミウムレーザー、アルゴンレーザー、ＹＡＧレーザー等を用いたレーザ直接描画法によって露光しても良い。
・現像工程
本発明の感光性樹脂組成物は露光工程の後、水もしくは希アルカリ溶液にて非露光部を洗浄除去することにより現像することが可能である。
【００６１】
ここで、水による場合はその温度は特に限定はされないが常温水もしくは温水によるのが好ましい。
【００６２】
また希アルカリ溶液にて現像を行う場合には、例えば、ナトリウム、カリウム、リチウム等の水酸化アルカリ、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の炭酸アルカリの水溶液等を用いることができる。
【００６３】
また水もしくは希アルカリ溶液としては、その溶媒として水単独のみならず、例えば水とアルコール系等の親水性のある有機溶媒を混合したものを用いることも可能である。
・エッチング、めっき工程
本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板のエッチングレジスト又はめっきレジストとして用いる場合には、例えば、上記の現像法によってプリント配線板製造用基板上に形成されたレジストパターンをマスクとして、露出している基板の表面を、エッチング、めっき等の公知の方法で処理する方法等が挙げられる。
【００６４】
エッチングを行う場合は、基板上の導電性層の種類に応じて選択されたエッチング剤を用いることができる。例えば、塩化第二銅などの酸性エッチング液、アンモニア系エッチング液等を用いて行うことができる。
【００６５】
まためっきを行う場合には、例えば、硫酸銅めっき、ピロリン酸銅めっき等の銅めっき、ハイスローはんだめっき等のはんだめっき、スルファミン酸ニッケルめっき等のニッケルめっき、ソフト金めっき、ハード金めっき等の金めっき等を行うことができる。
・剥離工程
本発明の感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト、マーキングインクとして用いる場合、その硬化物を残存させて用いることもできるが、エッチングレジスト又はめっきレジスト等として用いる場合には、その硬化物を最終的に剥離することもできる。ここで硬化物は硬化物中の感光性樹脂（Ａ）由来部分を過ヨウ素酸ソーダ、次亜塩素酸ソーダ等で分解することにより剥離できる。
【００６６】
また、上記現像工程に用いるアルカリ溶液により剥離することもでき、この場合には現像に用いたものよりさらに強アルカリ性の溶液を用いることが好ましい。
【００６７】
【実施例】
以下に本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下に使用される「部」及び「％」は、特に示さない限り、全て重量基準である。また、「重量平均分子量」は、下記測定条件に基づきＧＰＣ（ゲル・パーミテーション・クロマトグラフィー）により測定されたものである。
〔ＧＰＣ測定法〕
各試料を固型分について１０ｍｇ／ｍｌとなる様にＴＨＦ（テトラヒドロフラン）溶液を調製し、各々インジェクション量１００μｌにて測定した。
・測定条件
ＧＰＣ測定装置：昭和電工社製、商品名「ＳＨＯＤＥＸ ＳＹＳＴＥＭ １１」
カラム ：昭和電工社製、商品名「ＳＨＯＤＥＸ ＫＦ−８００Ｐ」、「ＳＨＯＤＥＸ ＫＦ−８０５」、「ＳＨＯＤＥＸ ＫＦ−８０３」及び「ＳＨＯＤＥＸ ＫＦ−８０１」の４本直列
移動層 ：ＴＨＦ
流 量 ：１ミリリットル／分
カラム温度 ：４５℃
検出器 ：ＲＩ
換 算 ：ポリスチレン
〔合成例１〕
部分ケン化ポリ酢酸ビニル（重合度１７００、ケン化度８８モル％、日本合成化学工業（株）製、商品名「ゴーセノールＧＨ−１７」）２００ｇを水１０００ｇに溶解した。この水溶液にＮ−メチロールアクリルアミド４０ｇを溶解し、０．１％メトキシハイドロキノン水溶液２ｇ、８５％リン酸３ｇを添加後、６０℃で２０時間反応させた。反応終了後、５％カセイソーダーで中和し、さらに水にて溶液の総量を１５００ｇとなるように調整し、ポリビニルアルコール系重合体のＮ−メチロールアクリルアミド付加物（感光性樹脂（Ａ）に相当）の水溶液（Ｎ−１）を得た。
〔合成例２〕
酢酸ビニル重合体−不飽和カルボン酸Ｎａ共重合体部分ケン化物（重合度１８００、ケン化度８８モル％、（株）クラレ製、商品名「ポバールＫＬ３１８」）に２００ｇを水１０００ｇに溶解した。この水溶液にＮ−メチロールアクリルアミド６０ｇを溶解し、０．１％メトキシハイドロキノン水溶液２ｇ、８５％リン酸３ｇを添加後、８０℃で５時間反応した。反応終了後、５％カセイソーダーで中和し、さらに水にて溶液の総量を１６２５ｇとなるように調整し、ポリビニルアルコール系重合体のＮ−メチロールアクリルアミド付加物（感光性樹脂（Ａ）に相当）の水溶液（Ｎ−２）を得た。
〔合成例３〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、メタクリル酸２０部、メチルメタクリレート８０部、メチルエチルケトン１００部、アゾビスイソブチロニトリル１部を加え、窒素気流下に加熱し、７５℃において５時間重合を行ない、５０％バインダーポリマー溶液（Ｐ−１）（バインダーポリマー（Ｂ１）に相当するアクリル酸エステル系共重合体の溶液）を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は１１００００、酸価は１３０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例４〕
スチレン−無水マレイン酸共重合体（エルフアトケム社製、商品名「ＳＭＡ−１０００Ａ」）１５０部をメチルエチルケトン１５２部に加熱溶解したものに、空気を吹き込みながら、撹拌下にｎ−ブチルアルコール５６部、ハイドロキノン０．１部、ジメチルベンジルアミン３．０部を加え、常法により８０℃で２４時間反応させ、５７％溶液（Ｐ−２）（バインダーポリマー（Ｂ１）に相当するスチレン−マレイン酸エステル系共重合体の溶液）を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は７４００、酸価は２０３ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例５〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、ヒドロキシエチルメタクリレート２５部、メチルメタクリレート７５部、メチルエチルケトン１００部、ラウリルメルカプタン０．５部、アゾビスイソブチロニトリル３部を加え、窒素気流下に加熱し、７５℃において５時間重合を行ない、５０％共重合体溶液を得た。
【００６８】
上記５０％共重合体溶液に、ハイドロキノン０．０５部、メチルエチルケトン２５部、テトラヒドロ無水フタル酸２０部、ジメチルベンジルアミン２．０部を加え、８０℃で空気を吹き込みながら１０時間付加反応を行い、５０％バインダーポリマー溶液（Ｐ−３）（バインダーポリマー（Ｂ２）の溶液に相当）を得た。
【００６９】
得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は２００００、酸価は６１ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例６〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、グリシジルメタクリレート７０部、メチルメタクリレート１０部、ｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート２０部、メチルエチルケトン１００部、ラウリルメルカプタン０．５部、アゾビスイソブチロニトリル３部を加え、窒素気流下に加熱し、７５℃において５時間重合を行ない、５０％共重合体溶液を得た。
【００７０】
上記５０％共重合体溶液に、ハイドロキノン０．０５部、プロピオン酸３９部、ジメチルベンジルアミン２．０部を加え、８０℃で空気を吹き込みながら２４時間付加反応を行い、続いてテトラヒドロ無水フタル酸３８部及びメチルエチルケトン７７部を加えて８０℃で１０時間反応させ、５０％バインダーポリマー溶液（Ｐ−４）（バインダーポリマー（Ｂ３）の溶液に相当）を得た。
【００７１】
得られた感光性プレポリマーの重量平均分子量は２１０００、酸価は７９ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例７〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、メタクリル酸２０部、メチルメタクリレート８０部、カルビトールアセテート１００部、アゾビスイソブチロニトリル１部を加え、窒素気流下に加熱し、８０℃において５時間重合を行ない、５０％バインダーポリマー溶液（Ｐ−５）（バインダーポリマー（Ｂ１）に相当するアクリル酸エステル系共重合体の溶液）を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は９５０００、酸価は１３０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例８〕
スチレン−無水マレイン酸共重合体（エルフアトケム社製、商品名「ＳＭＡ−１０００Ａ」）１５０部をカルビトールアセテート１５２部に加熱溶解したものに、空気を吹き込みながら、撹拌下にｎ−ブチルアルコール５６部、ハイドロキノン０．１部、ジメチルベンジルアミン３．０部を加え、常法により８０℃で２４時間反応させ、５７％溶液（Ｐ−６）（バインダーポリマー（Ｂ１）に相当するスチレン−マレイン酸エステル系共重合体の溶液）を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は７４００、酸価は２０３ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔合成例９〕
還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、グリシジルメタクリレート７０部、ｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート３０部、カルビトールアセテート１００部、ラウリルメルカプタン０．３部、アゾビスイソブチロニトリル３部を加え、窒素気流下に加熱し、８０℃において５時間重合を行ない、５０％共重合体溶液を得た。
【００７２】
上記５０％共重合体溶液に、ハイドロキノン０．０５部、アクリル酸３７部、ジメチルベンジルアミン０．４部を加え、１０５℃で２４時間付加反応を行い、続いてテトラヒドロ無水フタル酸３１部及びカルビトールアセテート６８部を加えて１００℃で３時間反応させ５０％感光性プレポリマー溶液（Ｐ’−１）を得た。
【００７３】
得られた感光性プレポリマーの重量平均分子量は１８０００、酸価は６７ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
〔実施例１〜４、７〜１０、１３〜１６、１９〜２２〕
各成分を表１、２に示すような組成に調製したものを攪拌混合した後、ホモミキサーで充分に分散し、更に減圧下で、空気を吹き込みながら有機溶剤成分を留去することにより水性のフォトレジストインクを調製した。
〔実施例５、６、１１、１２、１７、１８、２３、２４〕
各成分を表１、２に示すような組成に調製したものを攪拌混合した後、ホモミキサーで充分に分散することにより水性のフォトレジストインクを調製した。
〔比較例１、２〕
各成分を表２に示すような組成に調製したものを、三本ロールにて充分混練しフォトレジストインクを調製した。
【００７４】
【表１】
【表２】
（＊１）「アロニックスＭ−３０９」は、東亞合成化学工業（株）製のトリメチロールプロパントリアクリレート（エチレン性不飽和単量体（Ｄ））の商品名である。
【００７６】
（＊２）「アロニックスＭ−１０１」は、東亞合成化学工業（株）製のフェノール変性単官能アクリレート（エチレン性不飽和単量体（Ｄ））の商品名である。
【００７７】
（＊３）「ライトアクリレートＨＯＡ−ＨＨ」は、共栄社油脂化学工業（株）製の２−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸（部分エステル化物（ｄ１））の商品名である。
【００７８】
（＊４）「イルガキュアー９０７」は、チバ・ガイギー（株）製の光重合開始剤の商品名である。
【００７９】
（＊５）「カヤキュアーＤＥＴＸ」は、日本化薬（株）製の光重合開始剤の商品名である。
【００８０】
（＊６）「ビクトリアピュアブルーＢＯＨ」は、保土ヶ谷化学工業（株）製の有機染料の商品名である。
【００８１】
上記の実施例１乃至２４に示す水性のフォトレジストインク及び比較例１及び２のフォトレジストインクについて、下記に示すような評価試験を行なった。
〔評価試験〕
〈塗布工程〉
［１］予備乾燥皮膜の膜厚測定
全ての実施例及び比較例のフォトレジストインクを、基材厚１．６ｍｍ、銅箔厚３５μｍのＦＲ−４両面銅張積層板（住友ベークライト（株）社製、商品名「ＥＬＣ ４７６２」）に縦型ロールコーター（（株）ファーネス社製）を用いて両面に塗布し、熱風対流式乾燥機にて８０℃の温度で、１５分乾燥させた後、室温まで冷却した。このとき得られた予備乾燥皮膜の膜厚を測定した。
〈露光・現像工程〉
［２］予備乾燥皮膜の表面粘着性
［１］の操作に続いて、全ての実施例及び比較例について、予備乾燥皮膜が形成された積層板に配線パターンを描いたフォトツールアートワークを両面から直接貼付し、超高圧水銀灯を有する両面同時露光機（（株）オーク製作所製、商品名「オークＨＭＷ−２０１ＧＸ」）を用いて積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2になるように露光し、露光後において、フォトツールアートワークを予備乾燥皮膜上からの剥離させる際の予備乾燥皮膜上の張り跡の有無を観察すると共に、フォトツールアートワークの予備乾燥皮膜上からの剥離容易性を評価し、予備乾燥皮膜の粘着性が小さいために張り跡が無く、フォトツールアートワークが容易に剥離できたものを「良好」として評価した。
［３］現像性
［２］の操作に続いて、全ての実施例及び比較例について、それぞれ下記（ｉ）、（ii）の２条件を用いて現像性の評価を行った。
【００８２】
（ｉ）３０℃、１重量％炭酸ソーダ水溶液を、スプレー圧１．５Ｋｇ／ｃｍ2で１分間吹きつけて未露光部分を除去して現像した。
【００８３】
（ii）３０℃の水をスプレー圧１．５ｋｇ／ｃｍ2で３分間吹きつけて未露光部分を除去して現像した。
【００８４】
上記（ｉ）及び（ii）について、現像性を目視で観察し、硬化皮膜が形成された露光部分が残存すると共に未露光部分が除去され、現像残りの全く無いものを「◎」と判定した。また未露光部分と露光部の境目のラインにわずかにギザが確認されたものを「○」として評価した。また露光部分と未露光部分が共に除去不能であったものを「×」として評価した。
［４］粘着テープ剥離試験による密着性の評価
得られたレジストの基材に対する密着性を確認するため、硬化皮膜の、ＪＩＳＤ ０２０２−１９８８の４．１５に準拠したクロスカットによるセロハン粘着テープ剥離試験を行い、分母に有効面に形成した碁盤目の数、分子にそれに対する完全に剥がれないで残った碁盤目の数を表して評価した。
〈エッチング工程〉
［５］耐エッチング液性（酸性の水溶液に対する耐水性）
［３］の現像処理の後、４０重量％塩化第２鉄溶液で４５℃、２４０秒エッチングを行い、硬化皮膜の剥がれの有無を観察し、剥がれの無いものを「良好」として評価した。
［６］硬化皮膜の皮膜剥離性
［５］の操作に続いて、
（ｉ）実施例１乃至６、１３乃至１８、並びに比較例１及び２について、４５℃、３％水酸化ナトリウム水溶液を、スプレー圧２ｋｇ／ｃｍ2で吹きつけてレジストを剥離除去した場合の硬化皮膜の剥離を観察した。
【００８５】
（ii）実施例７乃至１２、１９乃至２４、並びに比較例１及び２について、２０℃、３％過ヨウ素酸水溶液に２分間浸漬後、スプレー圧２ｋｇ／ｃｍ2で吹きつけてレジストを剥離除去した場合の硬化皮膜の剥離を観察した。
【００８６】
上記（ｉ）及び（ii）につき、硬化皮膜が完全に剥離されるのに要する時間を測定した。また剥離することができなかったものを「不可」として評価した。
［７］エッチング性の評価
［６］により硬化皮膜が剥離された積層板上に形成された導体パターンに、断線、欠線、線細り、ピンホール、ラインキザ（導体の直線パターンの直線性不良）及びエッチングのもぐり等がないものを「良好」として評価した。
〈めっき工程〉
［８］耐めっき液性
［３］の現像処理の後、
・脱脂（メルテックス（株）製、商品名「ＰＣ−４５５」の薬剤の２５重量％水溶液に３０℃で５分間浸漬）
・水洗
・ソフトエッチング（過硫酸アンモニウムタイプソフトエッチング剤（三菱ガス化学（株）社製、商品名「ＮＰＥ−３００」）２０重量％水溶液に室温で２分浸漬）
・水洗
・硫酸洗浄（１０重量％硫酸に室温で１分間浸漬）
の工程を経た後、ニッケルめっき浴（硫酸ニッケル ３００ｇ、塩化ニッケル４０ｇ、硼酸４０ｇ、水６２０ｇ）に入れ、ニッケルめっきを４５℃，１．５Ａ／ｄｍ2で１０分間行った。ニッケルめっき終了後直ちに水洗し、続いて、金めっき浴（日本高純度化学（株）製、商品名「オーロブライトＨＳ−２」）を用いて、液温４０℃、１．０Ａ／ｄｍ2で１０分間金めっきを行った。
【００８７】
以上の工程の間における、硬化皮膜の剥がれの有無を観察し、剥がれの無いものを「良好」として評価した。
［９］めっき終了後の硬化皮膜の粘着テープ剥離試験
［８］の操作の後、水洗、乾燥を行い、乾燥後の硬化皮膜について、ＪＩＳＤ ０２０２−１９８８の４．１５に準拠したクロスカットによるセロハン粘着テープ剥離試験を行い、分母に有効面に形成した碁盤目の数、分子にそれに対する完全に剥がれないで残った碁盤目を表して評価した。
［１０］めっき性評価
続いて、実施例１乃至３０、比較例１及び２について、４５℃の３％水酸化ナトリウム水溶液を、スプレー圧２ｋｇ／ｃｍ2で吹きつけてレジストを剥離除去した後、拡大鏡で目視観察し、めっき性が良好で、めっきもぐりの無いものを「良好」として評価した。
［１１］アルカリエッチング後の金の導体パターンの評価
続いて、アルカリエッチングを行い、銅を剥離した後のラインキザ（金の直線パターンの直線性不良）を光学顕微鏡にて確認し、凹部と凸部の幅の差を測定した。
【００８８】
以上の結果を表３乃至５に示す。
【００８９】
【表３】
【表４】
【表５】
【００９２】
また比較例１、２では硬化皮膜が過ヨウ素酸ナトリウム溶液により剥離することができなかったのに対して、実施例のものでは、アルカリ溶液で剥離することができると共に、過ヨウ素酸ナトリウム溶液でも剥離することができることが確認できた。
【００９３】
また実施例すべてのものは、予備乾燥皮膜の粘着性が小さく、また硬化皮膜の基材への密着性が高いものであった。また耐エッチング液性が高く、また硬化皮膜をアルカリ溶液により剥離することができ、更にエッチングレジストとして用いた場合、硬化皮膜が剥離された積層板上に形成された胴体パターンに断線、欠線、線細り、ピンホール、ラインギザ及びエッチングもぐりがなく、エッチング性が良好であった。まためっきレジストとして用いた場合、めっきもぐりがなく、めっき性が良好であり、アルカリエッチング後の金回路パターンのラインギザがちいさいことが確認された。これらの評価結果は、水性化可能ではない比較例１、２のものと同等以上のものであった。
【００９４】
従って実施例の全てのものは、現像法を用いたエッチングレジストインク、めっきレジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等として好適なものであることが確認された。
【００９５】
【発明の効果】
上記のように本発明の請求項１に記載の感光性樹脂組成物は、
（Ａ）ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂、
（Ｂ）カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの、
（Ｃ）光重合開始剤、
（Ｄ）光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
（Ｅ）水
を含んで成り水又は希アルカリ水溶液で現像可能であるため、感光性樹脂（Ａ）を用いて他の成分を水もしくは水と水性有機溶媒等との混合溶媒中に溶解、乳化又は分散させることができると共に、バインダーポリマー（Ｂ）は、分子中の充分なカルボキシル基により希アルカリ水溶液中で膨潤、分散又は溶解し得るものであって、本発明の感光性樹脂組成物によって形成される皮膜は、露光前は水や希アルカリ水溶液で膨潤、分散又は溶解し得るものであり、したがって、この感光性樹脂組成物は、形成された皮膜の選択的露光を行なった後、水又は希アルカリ水溶液による現像を行って、感光性樹脂組成物の非露光部分を洗い流すと共に、露光部分を残すことにより、画像形成を可能とすることができるものである。またこの現像時に有機溶剤を使用する必要がなく、更に感光性樹脂組成物を基材へ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物からの有機溶剤の揮発を抑制することができ、有機溶剤に起因する労働安全性、環境汚染、火災等の問題を低減することができるものである。
【００９６】
またこの感光性樹脂組成物の光重合反応により生成する硬化皮膜は皮膜硬度が高く、基材に対する密着性を良好なものとすることができる。
【００９７】
また、本発明の感光性樹脂組成物を露光により光反応を起こさせて形成した硬化物は、アルカリ金属水酸化物等の水溶液又は過ヨウ素酸ソーダ等のポリビニルアルコール系感光剤用の剥離剤の何れかで剥離することができるものである。
【００９８】
また本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板製造用フォトレジストインクとして用いる場合において、プリント配線板製造用基板に塗工された本発明の感光性樹脂組成物を露光硬化させる際に、バインダーポリマー（Ｂ）の様な高分子量の成分が僅かの露光によって光反応を生じて急激に分子量が増大することを防ぎ、選択的露光時における、露光部と未露光部分の境界面での僅かな光の漏れで硬化することを防いで、露光部と未露光部分の境界面における希アルカリ溶液に対する溶解性、膨潤性等を向上することができ、アートワークに忠実な、シャープなパターンを形成することができて、解像性を向上することができるものである。
【００９９】
また光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）により本発明の感光性樹脂組成物の光反応性を高めることができるものである。
【０１００】
また本発明の請求項３に記載の感光性樹脂組成物は、請求項１又は２の構成に加えて、上記の光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）として、（ｄ）分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含むものを用いるため、このように分子中にカルボキシル基を有する化合物（ｄ）の、本発明の感光性樹脂組成物中における配合割合を適宜調節することにより、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対する溶解性を容易に調整することができるものである。
【０１０１】
また本発明の請求項４に記載の感光性樹脂組成物は、請求項１乃至３のいずれかの構成に加えて、上記の光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）として、（ｄ）分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物を含むものを用いるため、分子中にカルボキシル基を有する化合物（ｄ）の、本発明の感光性樹脂組成物中における配合割合を適宜調節することにより、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対する溶解性を容易に調製することができるものである。
【０１０２】
また本発明の請求項５に記載のプリント配線板製造用フォトレジストインクは、請求項１乃至４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物からなるため、エッチングレジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等として好適なものである。
Claims (5)
- （Ａ）ポリビニルアルコール系重合体にＮ−アルキロール（メタ）アクリルアミドを付加してなる水溶性の感光性樹脂、
（Ｂ）カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの、
（Ｃ）光重合開始剤、
（Ｄ）光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
（Ｅ）水
を含んで成る水又は希アルカリ水溶液で現像可能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 - 上記バインダーポリマー（Ｂ）として、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ）と、このエチレン性不飽和単量体（ａ）と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分（ｂ）とからなる共重合成分を重合してなる共重合体（Ｂ１）、ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単量体を重合成分として含む重合体或いは共重合体に、多塩基酸無水物を付加してなるもの（Ｂ２）、及びエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を重合単位として含む重合体又は共重合体に飽和モノカルボン酸及び多塩基酸無水物を反応させて得られるもの（Ｂ３）のうち、少なくともいずれかを含有することを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
- 上記の光重合可能なエチレン性不飽和単量体（Ｄ）として、（ｄ）分子中に少なくとも１個のカルボキシル基及び少なくとも１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含むものを用いて成ることを特徴とする請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
- 上記の化合物（ｄ）として、（ｄ１）分子中に１個のヒドロキシル基及び１個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物を含むものを用いて成ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項１乃至４の何れかに記載の感光性樹脂組成物から成ることを特徴とするプリント配線板製造用フォトレジストインク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28983398A JP4022003B2 (ja) | 1998-10-12 | 1998-10-12 | 感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトレジストインク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28983398A JP4022003B2 (ja) | 1998-10-12 | 1998-10-12 | 感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトレジストインク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000122281A JP2000122281A (ja) | 2000-04-28 |
| JP4022003B2 true JP4022003B2 (ja) | 2007-12-12 |
Family
ID=17748369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28983398A Expired - Lifetime JP4022003B2 (ja) | 1998-10-12 | 1998-10-12 | 感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトレジストインク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4022003B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW573220B (en) * | 1999-06-07 | 2004-01-21 | Goo Chemical Co Ltd | Aqueous emulsion-type photosensitive resin composition |
| JP2001352157A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Goo Chemical Co Ltd | スルーホール付きプリント配線板製造用の光硬化型孔埋めインク及びこれを用いたスルーホール付きプリント配線板の製造方法 |
| JP3425139B2 (ja) * | 2001-07-27 | 2003-07-07 | 實密科技股▲フン▼有限公司 | 選択的金属メッキ方法 |
| JP2007072196A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Toppan Printing Co Ltd | 着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ |
| JP5255332B2 (ja) * | 2008-06-10 | 2013-08-07 | 互応化学工業株式会社 | 水系塗料の塗布方法 |
| JP5284742B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2013-09-11 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体、被加工基材の表面加工方法及びプラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法 |
| JP6089748B2 (ja) * | 2013-02-13 | 2017-03-08 | Jsr株式会社 | 着色組成物、着色硬化膜及び表示素子 |
-
1998
- 1998-10-12 JP JP28983398A patent/JP4022003B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000122281A (ja) | 2000-04-28 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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