JP4021787B2

JP4021787B2 - Conductive paste and ceramic multilayer circuit board using the conductive paste

Info

Publication number: JP4021787B2
Application number: JP2003078150A
Authority: JP
Inventors: 博越智; 晋一小倉; 仁人西川; 雅利末広; 耕次柴田; 禎宏中村
Original assignee: Kyoto Elex Co Ltd; Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Kyoto Elex Co Ltd; Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2003-03-20
Filing date: 2003-03-20
Publication date: 2007-12-12
Anticipated expiration: 2023-03-20
Also published as: JP2004288449A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高密度配線回路基板の製造に用いられるセラミック多層回路基板の導体材料として使用される導電性ペースト及びその導電性ペーストを用いたセラミック多層回路基板に関し、特に、低温焼成に適したセラミック多層回路基板用の導体材料の改良技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
高密度配線回路基板としてセラミック多層回路基板が幅広く用いられている。そのセラミック多層回路基板は一般にセラミックグリーンシートを積層する方法によって次のような手順で製造される。
【０００３】
まず、図１に示す所定寸法の複数枚のセラミックグリーンシート１に、図２に示すように、層間接続用にビアホール２をパンチングまたはレーザー加工などで形成した後、図３に示すように、各セラミックグリーンシート１のビアホール２に導電性ペースト３を充填してビア導体を形成し、次いで、図４に示すように、導電性ペーストによる配線パターン４をスクリーン印刷等により形成する。その後、図５に示すように、導電部分を有する複数枚のセラミックグリーンシート１を積層・圧着し、所定の温度で焼成することによりセラミック多層回路基板が製造される。
【０００４】
現在用いられるセラミック多層回路基板は、アルミナ等の１３００℃以上で焼成される高温焼成セラミック多層回路基板と、約１０００℃以下で焼成される低温焼成セラミック多層回路基板に大別される。
【０００５】
高温焼成セラミック多層回路基板の導体材料としては、Ｍｏ、Ｗ等が用いられるが、これらの酸化物は電気抵抗が高いために、酸化を避けるために還元雰囲気で焼成しなければならないという煩わしさがある上に、焼成後の導体の抵抗値が比較的高いという欠点がある。
【０００６】
これに対して、低温焼成セラミック多層回路基板は、電気抵抗値の低いＡｇ、Ａｇ−Ｐｔ、Ａｇ−Ｐｄなどが利用できるので、電気特性に優れており、空気中で焼成できるという利点がある。
【０００７】
しかし、Ａｇ系の導体と低温焼成用セラミックでは、両者の熱収縮挙動が大きく異なる。Ａｇが４００℃付近から熱収縮するのに対し、低温焼成用セラミックはガラスを主成分としており、ガラスが溶解する７００℃付近から熱収縮が始まるという挙動を示す。
【０００８】
そのため、低温焼成用セラミックとＡｇ系導体を同時に焼成すると、４００〜７００℃の範囲の温度領域では収縮率の差が大きくなりやすい。両者の収縮率の差が大きくなると、図５のセラミックグリーンシート１、１の接合部に大きな応力が発生して焼成基板が反ったり、接合強度が低下したり、場合によっては、表層の導体が剥がれるという不具合が発生する。
【０００９】
ビアホール２に充填した導体についても同様に、セラミックとの収縮率の差が大きいと、ビアホール２に充填した導体と配線パターン４との断線が発生するという不具合が起こることがある。
【００１０】
この問題を解決するため、従来から用いられているＡｇ系導体では、ガラスフリット、Ａｌ₂Ｏ₃、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ₂など無機酸化物を導体に添加することで、導体の熱収縮挙動を低温焼成用セラミック材料の熱収縮挙動に極力あわせて、導体の剥がれや断線などの不具合を解消することが提案されている。
【００１１】
また、セラミック成形体と同時に焼成する時において、セラミック成形体の収縮終了温度より高い収縮開始温度を有する導電性ペーストとして、ＡｇをＡｌ₂Ｏ₃、ＺｒＯ₂、ＴｉＯ₂、ＢａＯまたはＣａＯで被覆した導電成分を有機ビヒクルに分散したものが提案されている。（例えば、特許文献１参照）。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１１−３５３９３９号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、導体中にガラスフリットや無機酸化物を添加した場合、電気抵抗値の上昇につながり、基板の電気特性を低下させることになる。
【００１４】
また、特許文献１に記載された導電性ペーストは、Ａｇを高融点の金属酸化物で被覆したものであり、本発明の対象とする低温焼成セラミック回路基板の導体材料としては不向きである。
【００１５】
また、電子材料分野において高まっている基板の高密度配線化を達成するためにファインライン（微細な配線パターン）を印刷できる手段が必要であり、そのために導体であるＡｇ粒子径が小さいことは有利である。しかし、Ａｇ粒子径が小さくなれば、Ａｇの熱収縮開始温度は低くなり、更に両者（Ａｇとセラミック基板）の収縮率の差が拡大することになる。その収縮率の差を少なくするため、上述のＡｇ系導体中へのガラスフリットや無機酸化物の添加はより多い量が必要となる。その結果、電気抵抗値の上昇も大きくなるという問題を有していた。
【００１６】
本発明は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、ファインライン形成が可能で、セラミックグリーンシートと同時に焼成しても基板の反りや断線が発生せず、電気抵抗値の低い導電性ペースト及びその導電性ペーストを用いたセラミック多層回路基板を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる導電性ペーストは、平均粒径が０．３〜５．０μｍのＡｇ粒子に無機酸化物を被覆した粉末を有機ビヒクル中に分散したものであり、Ａｇ粒子径が小さすぎることもなく、大きすぎることもなく適正な大きさであるから、焼成時の熱収縮開始温度の低下を抑え、適正量の無機酸化物でＡｇ粒子を被覆することによりセラミックとの収縮率の差を小さくするとともに電気抵抗値の上昇量を抑え、基板上にファインライン（微細な配線パターン）を形成することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の導電性ペーストは、平均粒径が０．３〜５．０μｍのＡｇ粒子に無機酸化物を被覆した粉末を有機ビヒクル中に分散したことを特徴としている。
【００１９】
Ａｇ粒子の平均粒径が０．３μｍ未満では、焼成時の熱収縮開始温度が低くなりすぎ、Ａｇ粒子に無機酸化物を被覆してもセラミックとの収縮率の差が拡大する。そこで、Ａｇ粒子の平均粒径は、０．３μｍ以上とするのが好ましい。一方、Ａｇ粒子の平均粒径が５．０μｍを超えると、ファインライン（ライン幅８０μｍ程度以下の微細な配線パターン）を形成することができなくなる。そこで、Ａｇ粒子の平均粒径は５．０μｍ以下とするのが好ましい。Ａｇ粒子に無機酸化物であるＳｉＯ₂またはＳｎＯ₂を被覆する方法としては、例えば、適切な有機溶媒中で適切な触媒を用いて、Ａｇ粉とＳｉまたはＳｎ含有有機化合物と水を反応（加水分解と縮合によるゾル・ゲル反応）させて、ＳｉＯ₂系ゲルコーティング膜またはＳｎＯ₂系ゲルコーティング膜をＡｇ粒子の表面に形成させ、乾燥させるという方法（以下、本明細書において、「ゾル・ゲル法」という）を採用することができる。乾燥後ケーキ状に凝集していれば、これを粉砕機で粉砕することにより、ＳｉＯ₂またはＳｎＯ₂を被覆したＡｇ粒子粉末を得ることができるが、この方法以外の他の被覆法を採用することも、もちろんできる。
【００２０】
本明細書において、平均粒径とは、マイクロトラック社製レーザー回折式粒度分布測定装置で測定した場合の累積５０％粒径をいい、例えば、平均粒径１．０μｍのＡｇ粒子とは、「上記粒度分布測定装置でＡｇ粒子の粒度を測定した場合において、累積５０％粒径が１．０μｍであるような粒度分布を有するＡｇ粒子」という意味である。
【００２１】
導電体として適正粒径のＡｇ粒子を用いることにより微細な配線パターンの形成が可能であるが、焼成時のセラミックとの収縮率の差を小さくするためには、Ａｇ粒子に被覆する無機酸化物の種類が重要である。かかる無機酸化物としては、ＳｎＯ₂またはＳｉＯ₂のうち少なくとも一種類を含むものが好ましい。というのは、ＳｎＯ₂はＡｇとの親和力が強くてＡｇと強固に接合するのでＡｇはＳｎＯ₂で確実に被覆され、一方、ＳｉＯ₂はセラミックの主成分でもあるから、いずれの無機酸化物でＡｇ粒子を被覆した場合においてもセラミックとＡｇ粒子との熱収縮挙動が類似したものになることが期待できるからである。
【００２２】
Ａｇ粒子に対する無機酸化物の被覆量が少なすぎると、セラミックとの収縮率の差を低減する効果が小さく、一方、Ａｇ粒子に対する無機酸化物の被覆量が多すぎると、電気抵抗値の上昇を招くことになる。そこで、無機酸化物の被覆量は、Ａｇ粒子の重量に対して、０．１〜０．７重量％の範囲であるのが好ましい（Ａｇ粒子と被覆した無機酸化物の合計で１００重量％）。
【００２３】
有機ビヒクルとしては、特に限定されるものではないが、エチルセルロースをターピネオール等で溶解したものを好適に用いることができる。
【００２４】
また、導電性ペースト中における導体と有機ビヒクルの配合割合は、導体７０〜９０重量部に対して、有機ビヒクル１０〜３０重量部であって、合計で１００重量部であるのが好ましい。導体が７０重量部未満（有機ビヒクルが３０重量部超）では、ペースト膜の乾燥性が悪くなるともに、導体不足により導通不足が起こるという欠点がある。一方、導体が９０重量部超（有機ビヒクルが１０重量部未満）では、ペースト状態にするのが困難であるという欠点がある。
【００２５】
複数のセラミック焼結層と前記セラミック焼結層の内部および／または表面に形成される導電部分を有するセラミック多層回路基板において、以上のように構成される導電性ペーストを焼結したものが導電部分であれば、基板の反りや断線が発生せず、ファインライン形成が可能で、電気抵抗値の低いセラミック多層回路基板を提供することができる。
【００２６】
本発明の低温焼成セラミック多層回路基板は以下のような方法で製造することができる。
（１）セラミックグリーンシートの成形
まず、低温焼成用セラミックのグリーンシートを、ドクターブレード法等でテープ成形する。
【００２７】
低温焼成用セラミックとしては、例えば、ＣａＯ−ＳｉＯ₂−Ａｌ₂Ｏ₃−Ｂ₂Ｏ₃系ガラス５０〜７０重量％とアルミナ３０〜５０重量％との混合物（合計１００重量％）を用いることができる。この他、ＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃系ガラスとアルミナの混合物、ＭｇＯ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃系ガラス、コーディエライト系結晶化ガラス等の低温焼成セラミック材料を用いることもできる。
（２）グリーンシートの切断とビアホールの形成
この後、テープ成形したセラミックグリーンシート１を、図１に示すように所定の寸法に切断し、図２に示すように、セラミックグリーンシート１の所定の位置にビアホール２をパンチング加工する。
（３）ビアホールへの導電性ペーストの充填と導電性ペーストによる配線パターンの形成
本発明の範囲内の特定の平均粒径を有するＡｇ粒子に所定量の無機酸化物（ＳｎＯ₂またはＳｉＯ₂のうち少なくとも１種類を含むもの）を被覆した導体粉末（例えば、８５重量部）に対してエチルセルロースをターピネオールで溶解した有機ビヒクル（例えば、１５重量部）を添加し、３本ロール装置を用いて十分に混練・分散することにより導電性ペーストを得ることができる。
【００２８】
この導電性ペースト３を図３に示すようにビアホールへ充填し、且つこの導電性ペーストを用いて図４に示すような配線パターン４を、例えば、スクリーン印刷により形成する。
【００２９】
なお、配線パターン用導電性ペーストとビアホール接続部に充填する導電性ペーストは同じ組成でも、異なる組成でもよいが、配線パターン形成用導電性ペースト中のＡｇ粒子は微細な配線パターンを形成するために、ビアホール充填用導電性ペースト中のＡｇ粒子より小径であるのが好ましい。
（４）グリーンシートの積層圧着
上記のような導電性ペーストの印刷終了後、図５に示すように、複数のグリーンシート１を積層圧着し一体化する。
（５）焼成
この後、焼成ピーク温度を８００〜９５０℃（好ましくは９００℃前後）とし、ピーク温度で１０〜３０分間保持の条件で焼成し、低温焼成セラミック多層回路基板を得ることができる。
【００３０】
図６は、以上のセラミック多層回路基板の製造工程のフローを概略的に示す図である。
【００３１】
なお、焼成工程において低温焼成用グリーンシート積層体の両面にアルミナグリーンシートを圧着し、加圧しながら、８００〜９５０℃で焼成し、焼成後に低温焼成用グリーンシート積層体の両面のアルミナグリーンシートを除去する方法を採用することもできる。この方法によれば、焼結温度が高いアルミナグリーンシートは８００〜９５０℃程度の温度では熱収縮しないので、低温焼成用グリーンシート積層体を上下両面で拘束するアルミナグリーンシートが熱収縮抑制シートとして作用し、低温焼成用グリーンシート積層体を構成する各グリーンシートの水平面内の熱収縮を抑えることができるという効果がある。
【００３２】
【実施例】
以下に本発明の好ましい実施例を説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱しない範囲において適宜変更と修正が可能である。
【００３３】
下記表１及び表２に示すＡｇ粒子の重量に対してゾル・ゲル法でＳｉＯ₂もしくはＳｎＯ₂を同表に示す重量％だけ被覆するか、またはそのＡｇ粒子にガラス（ガラス転移点６６０℃、軟化点８５０℃のＣａＯ−ＢａＯ−ＳｉＯ₂系ガラスフリット）を添加した導電性粉末８５重量部に対して、有機ビヒクル（エチルセルロースをターピネオールで溶解したもの）を１５重量部添加して、３本ロール装置を用いて十分に混練・分散することにより導電性ペーストを得た。
【００３４】
セラミックグリーンシートとして、ＣａＯ−ＳｉＯ₂−Ａｌ₂Ｏ₃−Ｂ₂Ｏ₃系ガラス７０重量％とアルミナ３０重量％を混合してなる、厚さ３００μｍのものを使用した。
【００３５】
そのグリーンシート上に、上記導電性ペーストを幅１０μｍ〜１００μｍ、長さ２０mmおよび厚さ１０μｍとなるように、スクリーン印刷で幅が異なる１０本の配線パターン、すなわち、最小幅の１０μｍのものから、幅２０μｍ、幅３０μｍというように１０μｍづつ幅を増加させて、最大幅が１００μｍのものまで１０本の配線パターンを形成した。
【００３６】
そして、その配線パターンを形成したグリーンシートをベルト式焼成炉にて、ピーク温度８９０℃、ピーク温度での保持時間２０分の条件で焼成した。得られたセラミック基板の各特性を評価した結果を表１及び表２に示す。表１は、Ａｇ粒子に被覆する無機酸化物がＳｉＯ₂の場合、表２はＡｇ粒子に被覆する無機酸化物がＳｎＯ₂の場合を示す。また、表１と表２における「シート抵抗」と、「導体の焼き縮れ」と、「基板の反り」は、次のような方法で評価した。
【００３７】
「シート抵抗」は、１０本の配線パターンについて、導電性ペーストの焼成によって形成された導電性焼結部の電気抵抗を表１および表２に記載したような単位面積当たりの数値に換算したものの平均値を示す。一般に、シート抵抗値は、３．０ｍΩ／mm²／１０μｍ未満のものが実用的に好ましいとされている。
【００３８】
「導体の焼き縮れ」は、焼成後のセラミック基板上の配線パターンに、はがれた部分（焼結が進みすぎたことによる、いわゆる、焼き縮れ）がないかどうかを目視観察することにより、はがれた部分が無いと認められれば、「焼き縮れ無し」と評価した。
【００３９】
「基板の反り」は、焼成後のセラミック基板を定盤上に載置し、セラミック基板が定盤に密着して浮き上がった部分がないかどうかを目視観察することにより、セラミック基板が定盤に密着していると認められれば、「反り無し」と評価した。
【００４０】
なお、ファインライン性（微細な配線パターンを形成する機能）については、実施例１〜１６および比較例１〜４のいずれの導体ペーストの配線パターンについても、１００μｍ〜５０μｍ幅の配線パターンまで明瞭に形成されていることを目視で確認することができ、充分に実用に供しうる高密度配線が可能であることが分かった。
【００４１】
【表１】

【００４２】
【表２】

【００４３】
表１および表２に明らかなように、本発明の実施例１〜１６に係るものは、ファインライン形成が可能で、セラミックグリーンシートと同時に焼成しても基板の反りや導体の変形がなく、かつシート抵抗値が低い。
【００４４】
一方、比較例１と３のものは、Ａｇ粒子の粒径が小さいため、無機酸化物の被覆量を多くしても、基板の反りが見られ、Ａｇの焼き縮れを抑えることができなかった。
【００４５】
また、比較例２のものは、Ａｇ粒子に無機酸化物が被覆されておらず、ガラスも添加されていないので、基板の反りが見られた。
【００４６】
さらに、比較例４のものは、多量のガラスが添加されているので、シート抵抗値が高くて、実用上問題である。
【００４７】
【発明の効果】
本発明は上記のとおり構成されているので、次の効果を奏する。
【００４８】
ファインライン形成が可能で、セラミックグリーンシートと同時に焼成しても基板に反りや断線が発生せず、電気抵抗値の低い導電性ペーストを提供することができる。このような導電性ペーストを使用して製造されたセラミック多層回路基板は、高密度配線が可能であって、基板の反りや導体の変形がなく、電気抵抗値も低くて電気特性が優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】セラミック多層回路基板の製造工程の一部（切断された成形グリーンシート）を示す図である。
【図２】セラミック多層回路基板の製造工程の一部（ビアホールの形成）を示す図である。
【図３】セラミック多層回路基板の製造工程の一部（ビアホールへの導電性ペーストの充填）を示す図である。
【図４】セラミック多層回路基板の製造工程の一部（配線パターンの形成）を示す図である。
【図５】セラミック多層回路基板の製造工程の一部（グリーンシートの積層圧着）を示す図である。
【図６】本発明のセラミック多層回路基板の製造工程のフローを概略的に示す図である。
【符号の説明】
１…セラミックグリーンシート
２…ビアホール
３…導電性ペースト
４…配線パターン[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a conductive paste used as a conductor material of a ceramic multilayer circuit board used for manufacturing a high-density wiring circuit board and a ceramic multilayer circuit board using the conductive paste, and more particularly, a ceramic suitable for low-temperature firing. The present invention relates to a technique for improving a conductor material for a multilayer circuit board.
[0002]
[Prior art]
Ceramic multilayer circuit boards are widely used as high-density wiring circuit boards. The ceramic multilayer circuit board is generally manufactured by the following procedure by a method of laminating ceramic green sheets.
[0003]
First, as shown in FIG. 2, via holes 2 are formed by punching or laser processing on a plurality of ceramic green sheets 1 having a predetermined size shown in FIG. 1, and then, as shown in FIG. The via hole 2 of the ceramic green sheet 1 is filled with the conductive paste 3 to form a via conductor, and then, as shown in FIG. 4, a wiring pattern 4 made of the conductive paste is formed by screen printing or the like. Thereafter, as shown in FIG. 5, a plurality of ceramic green sheets 1 having conductive portions are laminated and pressure-bonded, and fired at a predetermined temperature to produce a ceramic multilayer circuit board.
[0004]
Currently used ceramic multilayer circuit boards are roughly classified into a high-temperature fired ceramic multilayer circuit board such as alumina fired at 1300 ° C. or higher and a low-temperature fired ceramic multilayer circuit board fired at approximately 1000 ° C. or lower.
[0005]
Mo, W, etc. are used as the conductor material of the high-temperature fired ceramic multilayer circuit board, but these oxides have a high electric resistance, so that the trouble of having to fire in a reducing atmosphere in order to avoid oxidation. In addition, there is a drawback that the resistance value of the conductor after firing is relatively high.
[0006]
On the other hand, the low-temperature fired ceramic multilayer circuit board can use Ag, Ag-Pt, Ag-Pd, or the like having a low electric resistance value, and thus has excellent electrical characteristics and has an advantage that it can be fired in air.
[0007]
However, the Ag-based conductor and the low-temperature firing ceramic are greatly different in heat shrinkage behavior. Whereas Ag thermally shrinks from around 400 ° C., the low-temperature firing ceramic has glass as a main component, and exhibits behavior that thermal shrinkage starts from around 700 ° C. when the glass melts.
[0008]
Therefore, if the low-temperature firing ceramic and the Ag-based conductor are fired at the same time, the difference in shrinkage tends to increase in the temperature range of 400 to 700 ° C. When the difference in shrinkage between the two becomes large, a large stress is generated in the joint portion of the ceramic

green sheets

1 and 1 in FIG. 5, the fired substrate is warped, the joint strength is lowered, and in some cases, the conductor of the surface layer is The problem of peeling off occurs.
[0009]
Similarly, for the conductor filled in the via hole 2, if the difference in shrinkage from the ceramic is large, there may be a problem that the conductor filled in the via hole 2 and the wiring pattern 4 are disconnected.
[0010]
In order to solve this problem, in the case of Ag-based conductors that have been used in the past, by adding an inorganic oxide such as glass frit, Al ₂ O ₃ , MgO, CaO, or SiO ₂ to the conductor, the thermal contraction behavior of the conductor can be improved. It has been proposed to eliminate problems such as conductor peeling and wire breakage in accordance with the heat shrinkage behavior of ceramic materials for low-temperature firing as much as possible.
[0011]
Further, when fired simultaneously with the ceramic molded body, Ag was coated with Al ₂ O ₃ , ZrO ₂ , TiO ₂ , BaO or CaO as a conductive paste having a shrinkage start temperature higher than the shrinkage end temperature of the ceramic molded body. A material in which a conductive component is dispersed in an organic vehicle has been proposed. (For example, refer to Patent Document 1).
[0012]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 11-353939
[Problems to be solved by the invention]
However, when glass frit or an inorganic oxide is added to the conductor, the electrical resistance value is increased and the electrical characteristics of the substrate are lowered.
[0014]
In addition, the conductive paste described in Patent Document 1 is obtained by coating Ag with a metal oxide having a high melting point, and is not suitable as a conductor material for a low-temperature fired ceramic circuit board that is a subject of the present invention.
[0015]
Further, in order to achieve high-density wiring of a substrate, which is increasing in the field of electronic materials, a means capable of printing a fine line (fine wiring pattern) is necessary, and for this reason, it is advantageous that the Ag particle diameter as a conductor is small. It is. However, if the Ag particle diameter is reduced, the thermal shrinkage start temperature of Ag is lowered, and the difference in shrinkage rate between the two (Ag and the ceramic substrate) is further increased. In order to reduce the difference in shrinkage rate, a larger amount of glass frit or inorganic oxide needs to be added to the above Ag-based conductor. As a result, there has been a problem that an increase in electric resistance value also becomes large.
[0016]
The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and its purpose is to enable fine line formation, and even if the ceramic green sheet is fired simultaneously, warping or disconnection of the substrate occurs. It is another object of the present invention to provide a conductive paste having a low electric resistance value and a ceramic multilayer circuit board using the conductive paste.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
The conductive paste according to the present invention is a powder in which an Ag particle having an average particle size of 0.3 to 5.0 μm is coated with an inorganic oxide dispersed in an organic vehicle, and the Ag particle size may be too small. Since it is an appropriate size without being too large, the decrease in the heat shrinkage start temperature during firing is suppressed, and the difference in shrinkage from the ceramic is reduced by coating Ag particles with an appropriate amount of inorganic oxide. In addition, the amount of increase in the electrical resistance value can be suppressed, and a fine line (fine wiring pattern) can be formed on the substrate.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
That is, the conductive paste of the present invention is characterized in that a powder in which an Ag particle having an average particle diameter of 0.3 to 5.0 μm is coated with an inorganic oxide is dispersed in an organic vehicle.
[0019]
When the average particle diameter of Ag particles is less than 0.3 μm, the thermal shrinkage start temperature during firing becomes too low, and even if the Ag particles are coated with an inorganic oxide, the difference in shrinkage from the ceramic increases. Therefore, the average particle size of Ag particles is preferably 0.3 μm or more. On the other hand, when the average particle diameter of Ag particles exceeds 5.0 μm, it becomes impossible to form a fine line (a fine wiring pattern having a line width of about 80 μm or less). Therefore, the average particle diameter of Ag particles is preferably 5.0 μm or less. As a method for coating Ag particles with SiO ₂ or SnO ₂ that is an inorganic oxide, for example, a suitable catalyst is used in a suitable organic solvent to react (hydrolyze) Ag powder, a Si or Sn-containing organic compound, and water. A method of forming a SiO ₂ -based gel coating film or a SnO ₂ -based gel coating film on the surface of the Ag particles by drying and then drying (hereinafter referred to as “sol-gel reaction”). Law ”). If it is agglomerated in cake form after drying, it can be obtained by pulverizing with a pulverizer to obtain Ag particle powder coated with SiO ₂ or SnO ₂ , but other coating methods other than this method are adopted. Of course you can.
[0020]
In the present specification, the average particle diameter means a cumulative 50% particle diameter when measured with a laser diffraction particle size distribution measuring device manufactured by Microtrack, for example, an Ag particle having an average particle diameter of 1.0 μm is “ This means “Ag particles having a particle size distribution such that a cumulative 50% particle size is 1.0 μm when the particle size of Ag particles is measured by the particle size distribution measuring apparatus”.
[0021]
Fine wiring patterns can be formed by using Ag particles having an appropriate particle size as the conductor, but in order to reduce the difference in shrinkage from the ceramic during firing, the inorganic oxide coated on the Ag particles The type of is important. As such an inorganic oxide, an oxide containing at least one of SnO _{2 and} SiO ₂ is preferable. This is because SnO ₂ has a strong affinity with Ag and is firmly bonded to Ag, so that Ag is surely covered with SnO ₂ , while SiO ₂ is also the main component of ceramic, so any inorganic oxide can be used. This is because it can be expected that the thermal contraction behavior of the ceramic and the Ag particles is similar even when the Ag particles are coated.
[0022]
If the coating amount of the inorganic oxide on the Ag particles is too small, the effect of reducing the difference in shrinkage from the ceramic is small. On the other hand, if the coating amount of the inorganic oxide on the Ag particles is too large, the electrical resistance value is increased. Will be invited. Therefore, the coating amount of the inorganic oxide is preferably in the range of 0.1 to 0.7% by weight with respect to the weight of the Ag particles (100% by weight in total of the Ag particles and the coated inorganic oxide). .
[0023]
Although it does not specifically limit as an organic vehicle, What melt | dissolved ethyl cellulose with terpineol etc. can be used conveniently.
[0024]
The blending ratio of the conductor and the organic vehicle in the conductive paste is 10 to 30 parts by weight of the organic vehicle with respect to 70 to 90 parts by weight of the conductor, and is preferably 100 parts by weight in total. If the conductor is less than 70 parts by weight (the organic vehicle is more than 30 parts by weight), the drying property of the paste film is deteriorated and there is a disadvantage that insufficient conduction occurs due to insufficient conductor. On the other hand, if the conductor exceeds 90 parts by weight (the organic vehicle is less than 10 parts by weight), there is a drawback that it is difficult to obtain a paste state.
[0025]
In a ceramic multilayer circuit board having a plurality of ceramic sintered layers and a conductive portion formed in and / or on the surface of the ceramic sintered layer, the conductive portion is obtained by sintering the conductive paste configured as described above. If so, it is possible to provide a ceramic multilayer circuit board having a low electrical resistance value, in which fine lines can be formed without warping or disconnection of the board.
[0026]
The low-temperature fired ceramic multilayer circuit board of the present invention can be manufactured by the following method.
(1) Molding of ceramic green sheet First, a ceramic green sheet for low-temperature firing is tape-molded by a doctor blade method or the like.
[0027]
As the ceramic for low-temperature firing, for example, a mixture (total 100% by weight) of CaO—SiO ₂ —Al ₂ O ₃ —B ₂ O ₃ glass 50 to 70% by weight and alumina 30 to 50% by weight is used. it can. In addition, low-temperature fired ceramic materials such as a mixture of PbO—SiO ₂ —B ₂ O ₃ glass and alumina, MgO—Al ₂ O ₃ —SiO ₂ —B ₂ O ₃ glass, cordierite crystallized glass, etc. It can also be used.
(2) Cutting of green sheet and formation of via hole Thereafter, the tape-formed ceramic green sheet 1 is cut into a predetermined dimension as shown in FIG. 1, and a predetermined size of the ceramic green sheet 1 is cut as shown in FIG. The via hole 2 is punched at the position.
(3) Filling a via hole with a conductive paste and forming a wiring pattern with the conductive paste Ag particles having a specific average particle size within the scope of the present invention include a predetermined amount of inorganic oxide (of SnO ₂ or SiO ₂ An organic vehicle (for example, 15 parts by weight) in which ethylcellulose is dissolved in terpineol is added to a conductor powder (for example, 85 parts by weight) coated with at least one kind) A conductive paste can be obtained by kneading and dispersing.
[0028]
As shown in FIG. 3, this conductive paste 3 is filled into a via hole, and a wiring pattern 4 as shown in FIG. 4 is formed by screen printing, for example, using this conductive paste.
[0029]
The conductive paste for wiring pattern and the conductive paste to be filled in the via hole connection portion may have the same composition or different compositions, but Ag particles in the conductive paste for wiring pattern formation form a fine wiring pattern. The diameter is preferably smaller than the Ag particles in the conductive paste for filling via holes.
(4) Stacking and pressure bonding of green sheets After printing of the conductive paste as described above, a plurality of green sheets 1 are stacked and pressure bonded as shown in FIG.
(5) Firing After this, the firing peak temperature is set to 800 to 950 ° C. (preferably around 900 ° C.), and firing is performed at a peak temperature for 10 to 30 minutes to obtain a low temperature fired ceramic multilayer circuit board.
[0030]
FIG. 6 is a diagram schematically showing the flow of the manufacturing process of the ceramic multilayer circuit board described above.
[0031]
In addition, the alumina green sheets are pressure-bonded to both surfaces of the low-temperature firing green sheet laminate in the firing step, fired at 800 to 950 ° C. while applying pressure, and the alumina green sheets on both sides of the low-temperature firing green sheet laminate are fired after firing. A removal method can also be employed. According to this method, since the alumina green sheet having a high sintering temperature does not thermally shrink at a temperature of about 800 to 950 ° C., the alumina green sheet that restrains the low-temperature firing green sheet laminate on both the upper and lower sides is used as the heat shrinkage suppressing sheet. There is an effect that the thermal contraction in the horizontal plane of each green sheet constituting the green sheet laminate for low-temperature firing can be suppressed.
[0032]
【Example】
Preferred embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the following embodiments, and can be appropriately changed and modified without departing from the technical scope of the present invention.
[0033]
The SiO ₂ or SnO ₂ is coated by the sol-gel method in a weight percentage shown in the table with respect to the weight of the Ag particles shown in Table 1 and Table 2 below, or the Ag particles are made of glass (glass transition point 660 ° C. Three rolls by adding 15 parts by weight of an organic vehicle (ethyl cellulose dissolved in terpineol) to 85 parts by weight of conductive powder to which CaO—BaO—SiO ₂ glass frit having a softening point of 850 ° C. is added. A conductive paste was obtained by sufficiently kneading and dispersing using an apparatus.
[0034]
A ceramic green sheet having a thickness of 300 μm formed by mixing 70% by weight of CaO—SiO ₂ —Al ₂ O ₃ —B ₂ O ₃ glass and 30% by weight of alumina was used.
[0035]
On the green sheet, the above-mentioned conductive paste has a width of 10 μm to 100 μm, a length of 20 mm, and a thickness of 10 μm. The width was increased by 10 μm, such as 20 μm width and 30 μm width, and 10 wiring patterns were formed up to a maximum width of 100 μm.
[0036]
Then, the green sheet on which the wiring pattern was formed was fired in a belt-type firing furnace under the conditions of a peak temperature of 890 ° C. and a holding time of 20 minutes at the peak temperature. Tables 1 and 2 show the results of evaluating the characteristics of the obtained ceramic substrate. Table 1 shows the case where the inorganic oxide coated on the Ag particles is SiO ₂ , and Table 2 shows the case where the inorganic oxide coated on the Ag particles is SnO ₂ . Also, “sheet resistance”, “conductor shrinkage”, and “substrate warpage” in Tables 1 and 2 were evaluated by the following methods.
[0037]
“Sheet resistance” is obtained by converting the electrical resistance of the conductive sintered portion formed by firing the conductive paste into a numerical value per unit area as shown in Tables 1 and 2 for 10 wiring patterns. Average values are shown. Generally, the sheet resistance value of less than 3.0mΩ / mm ² / 10μm there is a practical preferred.
[0038]
“Conductor shrinkage” was peeled off by visually observing whether the wiring pattern on the ceramic substrate after firing had any peeled parts (so-called shrinkage due to excessive sintering). If it was recognized that there was no part, it was evaluated as “no shrinkage”.
[0039]
“Warpage of the substrate” means that the ceramic substrate is placed on the surface plate by placing the fired ceramic substrate on the surface plate and visually observing whether the ceramic substrate is in close contact with the surface plate and lifted up. If it was found that they were in close contact, it was evaluated as “no warp”.
[0040]
In addition, about fine line property (function which forms a fine wiring pattern), about any wiring pattern of the conductor paste of Examples 1-16 and Comparative Examples 1-4, it is clear to a wiring pattern of 100 micrometers-50 micrometers width. It was confirmed by visual observation that it was formed, and it was found that high-density wiring that can be sufficiently put into practical use is possible.
[0041]
[Table 1]

[0042]
[Table 2]

[0043]
As apparent from Table 1 and Table 2, those according to Examples 1 to 16 of the present invention can form fine lines, and even when fired at the same time as the ceramic green sheet, there is no warping of the substrate or deformation of the conductor. And sheet resistance is low.
[0044]
On the other hand, in Comparative Examples 1 and 3, since the particle size of the Ag particles was small, even when the coating amount of the inorganic oxide was increased, the warpage of the substrate was observed and the Ag shrinkage could not be suppressed. .
[0045]
Moreover, since the thing of the comparative example 2 was not coat | covered with the inorganic oxide to Ag particle and glass was not added, the curvature of the board | substrate was seen.
[0046]
Furthermore, since the thing of the comparative example 4 has added a lot of glass, a sheet resistance value is high and is a problem practically.
[0047]
【The invention's effect】
Since this invention is comprised as mentioned above, there exists the following effect.
[0048]
Fine lines can be formed, and even when fired at the same time as the ceramic green sheet, the substrate does not warp or break, and a conductive paste having a low electrical resistance value can be provided. A ceramic multilayer circuit board manufactured using such a conductive paste is capable of high-density wiring, has no board warpage or conductor deformation, has a low electrical resistance value, and has excellent electrical characteristics. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a part of a manufacturing process of a ceramic multilayer circuit board (cut green sheet).
FIG. 2 is a diagram showing a part of the manufacturing process of a ceramic multilayer circuit board (formation of via holes).
FIG. 3 is a diagram showing a part of a manufacturing process of a ceramic multilayer circuit board (filling of a conductive paste into a via hole).
FIG. 4 is a diagram showing a part of a manufacturing process of a ceramic multilayer circuit board (formation of a wiring pattern).
FIG. 5 is a diagram showing a part of a manufacturing process of a ceramic multilayer circuit board (lamination bonding of green sheets).
FIG. 6 is a diagram schematically showing a flow of a manufacturing process of a ceramic multilayer circuit board according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ceramic green sheet 2 ... Via hole 3 ... Conductive paste 4 ... Wiring pattern

Claims

A conductive paste characterized in that a powder in which SnO ₂ is coated on Ag particles having an average particle diameter of 0.3 to 5.0 μm is dispersed in an organic vehicle.

The conductive paste according to claim 1 , wherein the coating amount of SnO ₂ is in the range of 0.1 to 0.7% by weight with respect to the weight of the Ag particles.

A ceramic multilayer circuit board having a plurality of ceramic sintered layers and a conductive portion formed in and / or on the surface of the ceramic sintered layer, wherein the conductive portions are fired from the conductive paste according to claim 1 or 2. A ceramic multilayer circuit board characterized by being formed as described above.