JP3989639B2 - IC test equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は例えば半導体集積回路素子の中でもAD変換器又はDA変換器等を内蔵したミックスドICを試験するIC試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3に一般的なIC試験装置の概略構成を示す。図3に示すIC試験装置は主にメモリのようなデジタルIC或いはロジック回路を含む混載ICを試験するIC試験装置の構成を示す。図中TESはIC試験装置の全体を示す。IC試験装置TESは主制御器111と、パターン発生器112、タイミング発生器113、波形フォーマッタ114、論理比較器115、ドライバ116、アナログ比較器117、不良解析メモリ118、論理振幅基準電圧源121、比較基準電圧源122、ディバイス電源123等により構成される。
【0003】
主制御器111は一般にコンピュータシステムによって構成され、利用者が作製した試験プログラムに従って主にパターン発生器112とタイミング発生器113を制御し、パターン発生器112から試験パターンデータを発生させ、この試験パターンデータを波形フォーマッタ114で実波形を持つ試験パターン信号に変換し、この試験パターン信号を論理振幅基準電圧源121で設定した振幅値を持った波形に電圧増幅するドライバ116を通じて被試験IC119に印加し記憶させる。
【0004】
被試験IC119から読み出した応答信号はアナログ比較器117で比較基準電圧源122から与えられる基準電圧と比較し、所定の論理レベル(H論理の電圧、L論理の電圧)を持っているか否かを判定し、所定の論理レベルを持っていると判定した信号は論理比較器115でパターン発生器112から出力される期待値と比較し、期待値と不一致が発生した場合は、その読み出したアドレスのメモリセルに不良があるものと判定し、不良発生毎に不良解析メモリ118に不良アドレスを記憶し、試験終了時点で例えば不良セルの救済が可能か否かを判定する。
【0005】
ここで、タイミング発生器113は被試験IC119に与える試験パターン信号の波形の立上がりのタイミング及び立下がりのタイミングを規定するタイミングと、論理比較器115で論理比較のタイミングを規定するストローブパルスのタイミングを発生する。
これらの各タイミングは利用者が作製した試験プログラムに記載され、利用者が意図したタイミングで被試験IC119を動作させ、またその動作が正常か否かを試験できるように構成されている。
【0006】
図3に示した波形フォーマッタ114と、ドライバ116と、アナログ比較器117と、論理比較器115と、不良解析メモリ118はIC試験装置の試験可能なピン数分設けられ、どのピンが入力専用ピン或いは出力専用ピン、入力兼出力ピン、電源ピンに割当てられても、それに対応できるように構成されている。
普通一般にはIC試験装置は256ピン〜512ピン程度の試験可能なピン数を持っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところでICの中でも例えばAD変換器を内蔵したICを試験する場合には、AD変換器が出力するAD変換出力の各ビットの信号を順次出力順にメモリに取り込み、例えばアナログの波形の1サイクル分のデジタルデータをメモリに取り込み、メモリに取り込んだ状態でデータを解析しAD変換器を評価する方法が採られる。
【0008】
このためには論理比較器115をスルー(入力された信号をそのまま出力する)の状態に設定し、アナログ比較器117だけの比較判定を施して不良解析メモリ118にAD変換出力を取り込んでいる。
然し乍ら一般に論理IC等の試験では不良解析メモリ118の記憶容量は小さいため、アナログ波形の1サイクル分のデータを不良解析メモリ118に取り込むことはできない。
【0009】
このため、従来は図4に示すように、不良解析メモリ118の代りに大容量のメモリ130を設け、この大容量のメモリ130にAD変換器の各ビットのデータを書き込むか、或いは数ビット分をセレクタで選択し、数ビット分のAD変換出力を大容量メモリ130に記憶させ、この大容量メモリ130に取り込んだAD変換出力を解析してAD変換器の評価を行なっている。
【0010】
図5はDA変換器を搭載したICを試験する場合のIC試験装置を示す。この場合にはAD変換器140が設けられ、このAD変換器140で被試験IC119が出力するアナログ信号をデジタル信号に変換し、AD変換器140が出力する各ビットの信号を大容量メモリ130に記憶させる構成としている。
このためAD変換器又はDA変換器の何れかが搭載されたICを試験する場合には不良解析メモリ118の外に大容量メモリ130を搭載しなければならないため、AD変換器或いはDA変換器を搭載したミックスドICを試験することができるように構成したIC試験装置は製造コストが高くなる欠点がある。
【0011】
この発明の目的はAD変換器或いはDA変換器を搭載したミックスドICを試験することができる安価なIC試験装置を提供しようとするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明では各ピン毎に設けられている不良解析メモリの中の不使用状態にある不良解析メモリを縦続的に接続して大容量メモリを構成し、この大容量メモリにAD変換出力或いはDA変換出力を再度AD変換したAD変換データを記憶させ、被試験ICに搭載されたAD変換器又はDA変換器を評価することができるIC試験装置を提案するものである。
【0013】
従って、この発明によるIC試験装置によれば不良解析メモリの外に大容量メモリを必要としないから安価に製造することができる利点が得られる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1にこの発明によるIC試験装置の要部の構成を示す。この発明ではアナログ比較器117とスルーの状態に設定された論理比較器115を通じて被試験IC119のAD変換器の1つの出力端子ADOUT1から取り出したAD変換出力信号をセレクタ150に入力し、このセレクタ150によって複数の不使用状態にある不良解析メモリ118A〜118Nに分配し、これら複数の不良解析メモリ118A〜118Nに縦続的にAD変換出力信号を取り込む構成としたものである。
【0015】
図1ではAD変換器の1ビット分の出力信号を記憶する構成を示す。不良解析メモリ118A〜118Nは図3に示したIC試験装置の全体を説明した部分で述べたように、IC試験装置の試験可能な全ピンのチャンネルに設けられている。従ってIC試験装置に搭載されている不良解析メモリ118A〜118Nの大部分は不使用状態にある。因みに試験可能なピン数が500ピンのIC試験装置には500個の不良解析メモリ118が搭載されているが、実際に使用される不良解析メモリの数はその中の極くわずかな数である。
【0016】
この発明はこの点に着目して不使用状態にある不良解析メモリ118A〜118Nを縦続的に利用してAD変換器の各出力ピンに出力されるビットのデータを記憶させる方法を採ることにより、大容量メモリの使用を不用としたものである。図1に示す例では先ずセレクタ150で不良解析メモリ118Aを選択し、この不良解析メモリ118Aに被試験IC119に搭載したAD変換器の出力端子ADOUT1に出力される例えば最下位ビットのデータを記憶させる。
【0017】
不良解析メモリ118Aがオーバーフロー信号FULLを出力すると、このオーバーフロー信号FULLをオアゲートORを通じてセレクトコントローラ151に入力し、セレクトコントローラ151によりセレクタ150を制御し、不良解析メモリ118Bを選択する状態に切替る。不良解析メモリ118Bがオーバーフローすると、セレクタ150は不良解析メモリ118Cに切替てこの不良解析メモリ118Cにデータを記憶する。AD変換器の出力端子ADOUT2,ADOUT3…も同様に不使用状態にある不良解析メモリ118を用いて記憶するものとする。
【0018】
尚、152は不使用状態にある不良解析メモリのアドレスを記憶したレジスタを示す。オアゲートORからオーバーフロー信号FULLがセレクトコントローラ151に入力される毎に次の不使用状態にある不良解析メモリのアドレスを指定し、セレクタ150がそのアドレスに従って不良解析メモリを選択するように構成した場合を示す。
【0019】
図2は被試験IC119内にDA変換器を搭載した場合に、そのDA変換器が出力するアナログ信号が正常か否かを評価するIC試験装置の実施例を示す。
この場合には被試験IC119のDA変換出力端子DAOUT から出力されるアナログ信号をAD変換器140に入力し、このAD変換器140でデジタル信号に変換する。AD変換器140から出力される各ビットの信号(図2では1ビット分の構成を示す)をセレクタ150を通じて不良解析メモリ118A,118B,118C…に順次縦続的に記憶させる構成とするものである。
【0020】
このように構成することにより、DA変換器を搭載したICでも不良解析メモリだけで評価試験を実行できる利点が得られる。
【0021】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によればAD変換器又はDA変換器を搭載したミックスドICが、出力するデジタル信号又はアナログ信号の例えば1サイクル分のデジタルデータをメモリに記憶させ、そのデジタルデータを解析してAD変換器又はDA変換器の動作を評価するIC試験装置において、アナログ波形の1サイクル分のデータを記憶するメモリとして不使用状態にある不良解析メモリを利用したから、IC試験装置の製造コストの上昇は一般的なメモリを試験するだけのIC試験装置のそれと比較して極くわずかで済み、従来の大容量メモリを搭載したIC試験装置より安価に製造することができる利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明によるIC試験装置の一実施例を示すブロック図。
【図2】この発明によるIC試験装置の変形実施例を示すブロック図。
【図3】IC試験装置の全体を説明するためのブロック図。
【図4】従来の技術を説明するためのブロック図。
【図5】従来の技術の他の例を説明するためのブロック図。
【符号の説明】
115 論理比較器
117 アナログ比較器
118A〜118N 不良解析メモリ
119 被試験IC
140 AD変換器
150 セレクタ
151 セレクトコントローラ
152 レジスタ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an IC test apparatus for testing a mixed IC including an AD converter or DA converter among semiconductor integrated circuit elements.
[0002]
[Prior art]
FIG. 3 shows a schematic configuration of a general IC test apparatus. The IC test apparatus shown in FIG. 3 mainly shows the configuration of an IC test apparatus for testing a hybrid IC including a digital IC such as a memory or a logic circuit. In the figure, TES indicates the entire IC test apparatus. The IC test apparatus TES includes a
[0003]
The
[0004]
The response signal read from the IC under
[0005]
Here, the
Each of these timings is described in a test program created by the user, and the IC under
[0006]
The
Generally, an IC test apparatus generally has a testable number of pins of about 256 pins to 512 pins.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when testing an IC having an AD converter, for example, among the ICs, each bit signal of the AD conversion output output from the AD converter is sequentially fetched into the memory in the output order, for example, for one cycle of an analog waveform. A method is adopted in which digital data is taken into a memory and the AD converter is evaluated by analyzing the data in the state taken in the memory.
[0008]
For this purpose, the
However, generally, in a test such as a logic IC, since the storage capacity of the
[0009]
For this reason, conventionally, as shown in FIG. 4, a large-
[0010]
FIG. 5 shows an IC test apparatus for testing an IC equipped with a DA converter. In this case, an
For this reason, when testing an IC equipped with either an AD converter or a DA converter, the large-
[0011]
An object of the present invention is to provide an inexpensive IC test apparatus capable of testing a mixed IC equipped with an AD converter or a DA converter.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, a failure analysis memory which is not in use in a failure analysis memory provided for each pin is connected in cascade to form a large-capacity memory, and this large-capacity memory has an AD conversion output or a DA conversion. The present invention proposes an IC test apparatus capable of storing AD conversion data obtained by performing AD conversion on an output again and evaluating an AD converter or a DA converter mounted on an IC under test.
[0013]
Therefore, according to the IC test apparatus of the present invention, since a large capacity memory is not required in addition to the failure analysis memory, there is an advantage that it can be manufactured at low cost.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 shows the configuration of the main part of an IC test apparatus according to the present invention. In the present invention, the AD converter output signal taken out from one output terminal AD OUT1 of the AD converter of the
[0015]
FIG. 1 shows a configuration for storing an output signal for one bit of the AD converter. The
[0016]
The present invention pays attention to this point and adopts a method of storing the bit data output to each output pin of the AD converter using the
[0017]
When the
[0018]
[0019]
FIG. 2 shows an embodiment of an IC test apparatus for evaluating whether or not an analog signal output from the DA converter is normal when the DA converter is mounted in the
In this case, an analog signal output from the DA conversion output terminal DA OUT of the IC under
[0020]
By configuring in this way, there is an advantage that an evaluation test can be executed only with a failure analysis memory even with an IC equipped with a DA converter.
[0021]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a mixed IC equipped with an AD converter or a DA converter stores, for example, digital data for one cycle of an output digital signal or analog signal in a memory, and the digital data In the IC test apparatus for analyzing the operation of the AD converter or the DA converter and evaluating the operation of the AD converter or DA converter, the IC test apparatus uses a failure analysis memory in an unused state as a memory for storing data for one cycle of the analog waveform. The increase in the manufacturing cost of the IC is negligible compared to that of an IC test apparatus that only tests a general memory, and there is an advantage that it can be manufactured at a lower cost than an IC test apparatus equipped with a conventional large-capacity memory. can get.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an IC test apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a modified embodiment of the IC test apparatus according to the present invention.
FIG. 3 is a block diagram for explaining the entire IC test apparatus.
FIG. 4 is a block diagram for explaining a conventional technique.
FIG. 5 is a block diagram for explaining another example of the prior art.
[Explanation of symbols]
115
140
Claims (2)
上記AD変換器の出力端子から出力された信号を基準値と比較して、所定の論理レベルを持つと判定したデータを出力するアナログ比較器と、
不使用状態の不良解析メモリのアドレスを記憶し、このアドレスをセレクトコントローラに通知するレジスタと、
上記セレクトコントローラから指定されたアドレスに基づき、上記アナログ比較器の出力を複数の上記不使用状態の不良解析メモリに縦続的に分配するセレクタと、
上記セレクタからの出力データを記憶し、オーバーフローしたらFULL信号を上記セレクトコントローラに出力する複数の上記不良解析メモリと、
上記FULL信号が入力される度に、次の不使用状態の不良解析メモリのアドレスを上記セレクタに指定する上記セレクトコントローラと、
を具備することを特徴とするIC試験装置。The output of each bit of the above-mentioned AD converter of the IC under test having the AD converter is taken into a large-capacity memory as a signal under test, and the AD converter is evaluated by analyzing the signal under test fetched into the large-capacity memory. In IC test equipment,
An analog comparator that compares the signal output from the output terminal of the AD converter with a reference value and outputs data determined to have a predetermined logic level;
A register for storing the address of the failure analysis memory in the unused state and notifying this address to the select controller;
Based on the address specified by the select controller, a selector that distributes the output of the analog comparator to the plurality of unused failure analysis memories in a cascade manner;
A plurality of failure analysis memories for storing output data from the selector and outputting a FULL signal to the select controller when overflowing;
Each time the FULL signal is input, the select controller that specifies the address of the next non-use defect analysis memory to the selector;
An IC test apparatus comprising:
上記AD変換器の出力端子から出力された信号を基準値と比較して、所定の論理レベルを持つと判定したデータを出力するアナログ比較器と、
不使用状態の不良解析メモリのアドレスを記憶し、このアドレスをセレクトコントローラに通知するレジスタと、
上記セレクトコントローラから指定されたアドレスに基づき、上記アナログ比較器の出力を複数の上記不使用状態の不良解析メモリに縦続的に分配するセレクタと、
上記セレクタからの出力データを記憶し、オーバーフローしたらFULL信号を上記セレクトコントローラに出力する複数の上記不良解析メモリと、
上記FULL信号が入力される度に、次の不使用状態の不良解析メモリのアドレスを上記セレクタに指定する上記セレクトコントローラと、
を具備することを特徴とするIC試験装置。The analog signal output from the DA converter of the IC under test with the DA converter is AD-converted by the AD converter, and the AD conversion output is taken into the large-capacity memory as the signal under test and taken into the large-capacity memory. In an IC test apparatus for analyzing a signal under test and evaluating a DA converter,
An analog comparator that compares the signal output from the output terminal of the AD converter with a reference value and outputs data determined to have a predetermined logic level;
A register for storing the address of the failure analysis memory in the unused state and notifying this address to the select controller;
Based on the address specified by the select controller, a selector that distributes the output of the analog comparator to the plurality of unused failure analysis memories in a cascade manner;
A plurality of failure analysis memories for storing output data from the selector and outputting a FULL signal to the select controller when overflowing;
Each time the FULL signal is input, the select controller that specifies the address of the next non-use defect analysis memory to the selector;
An IC test apparatus comprising:
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