[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP3989639B2 - IC test equipment - Google Patents

IC test equipment Download PDF

Info

Publication number
JP3989639B2
JP3989639B2 JP35481498A JP35481498A JP3989639B2 JP 3989639 B2 JP3989639 B2 JP 3989639B2 JP 35481498 A JP35481498 A JP 35481498A JP 35481498 A JP35481498 A JP 35481498A JP 3989639 B2 JP3989639 B2 JP 3989639B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
converter
output
memory
failure analysis
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP35481498A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2000180516A (en
Inventor
正幸 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP35481498A priority Critical patent/JP3989639B2/en
Publication of JP2000180516A publication Critical patent/JP2000180516A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3989639B2 publication Critical patent/JP3989639B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Analogue/Digital Conversion (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は例えば半導体集積回路素子の中でもAD変換器又はDA変換器等を内蔵したミックスドICを試験するIC試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3に一般的なIC試験装置の概略構成を示す。図3に示すIC試験装置は主にメモリのようなデジタルIC或いはロジック回路を含む混載ICを試験するIC試験装置の構成を示す。図中TESはIC試験装置の全体を示す。IC試験装置TESは主制御器111と、パターン発生器112、タイミング発生器113、波形フォーマッタ114、論理比較器115、ドライバ116、アナログ比較器117、不良解析メモリ118、論理振幅基準電圧源121、比較基準電圧源122、ディバイス電源123等により構成される。
【0003】
主制御器111は一般にコンピュータシステムによって構成され、利用者が作製した試験プログラムに従って主にパターン発生器112とタイミング発生器113を制御し、パターン発生器112から試験パターンデータを発生させ、この試験パターンデータを波形フォーマッタ114で実波形を持つ試験パターン信号に変換し、この試験パターン信号を論理振幅基準電圧源121で設定した振幅値を持った波形に電圧増幅するドライバ116を通じて被試験IC119に印加し記憶させる。
【0004】
被試験IC119から読み出した応答信号はアナログ比較器117で比較基準電圧源122から与えられる基準電圧と比較し、所定の論理レベル(H論理の電圧、L論理の電圧)を持っているか否かを判定し、所定の論理レベルを持っていると判定した信号は論理比較器115でパターン発生器112から出力される期待値と比較し、期待値と不一致が発生した場合は、その読み出したアドレスのメモリセルに不良があるものと判定し、不良発生毎に不良解析メモリ118に不良アドレスを記憶し、試験終了時点で例えば不良セルの救済が可能か否かを判定する。
【0005】
ここで、タイミング発生器113は被試験IC119に与える試験パターン信号の波形の立上がりのタイミング及び立下がりのタイミングを規定するタイミングと、論理比較器115で論理比較のタイミングを規定するストローブパルスのタイミングを発生する。
これらの各タイミングは利用者が作製した試験プログラムに記載され、利用者が意図したタイミングで被試験IC119を動作させ、またその動作が正常か否かを試験できるように構成されている。
【0006】
図3に示した波形フォーマッタ114と、ドライバ116と、アナログ比較器117と、論理比較器115と、不良解析メモリ118はIC試験装置の試験可能なピン数分設けられ、どのピンが入力専用ピン或いは出力専用ピン、入力兼出力ピン、電源ピンに割当てられても、それに対応できるように構成されている。
普通一般にはIC試験装置は256ピン〜512ピン程度の試験可能なピン数を持っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところでICの中でも例えばAD変換器を内蔵したICを試験する場合には、AD変換器が出力するAD変換出力の各ビットの信号を順次出力順にメモリに取り込み、例えばアナログの波形の1サイクル分のデジタルデータをメモリに取り込み、メモリに取り込んだ状態でデータを解析しAD変換器を評価する方法が採られる。
【0008】
このためには論理比較器115をスルー(入力された信号をそのまま出力する)の状態に設定し、アナログ比較器117だけの比較判定を施して不良解析メモリ118にAD変換出力を取り込んでいる。
然し乍ら一般に論理IC等の試験では不良解析メモリ118の記憶容量は小さいため、アナログ波形の1サイクル分のデータを不良解析メモリ118に取り込むことはできない。
【0009】
このため、従来は図4に示すように、不良解析メモリ118の代りに大容量のメモリ130を設け、この大容量のメモリ130にAD変換器の各ビットのデータを書き込むか、或いは数ビット分をセレクタで選択し、数ビット分のAD変換出力を大容量メモリ130に記憶させ、この大容量メモリ130に取り込んだAD変換出力を解析してAD変換器の評価を行なっている。
【0010】
図5はDA変換器を搭載したICを試験する場合のIC試験装置を示す。この場合にはAD変換器140が設けられ、このAD変換器140で被試験IC119が出力するアナログ信号をデジタル信号に変換し、AD変換器140が出力する各ビットの信号を大容量メモリ130に記憶させる構成としている。
このためAD変換器又はDA変換器の何れかが搭載されたICを試験する場合には不良解析メモリ118の外に大容量メモリ130を搭載しなければならないため、AD変換器或いはDA変換器を搭載したミックスドICを試験することができるように構成したIC試験装置は製造コストが高くなる欠点がある。
【0011】
この発明の目的はAD変換器或いはDA変換器を搭載したミックスドICを試験することができる安価なIC試験装置を提供しようとするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明では各ピン毎に設けられている不良解析メモリの中の不使用状態にある不良解析メモリを縦続的に接続して大容量メモリを構成し、この大容量メモリにAD変換出力或いはDA変換出力を再度AD変換したAD変換データを記憶させ、被試験ICに搭載されたAD変換器又はDA変換器を評価することができるIC試験装置を提案するものである。
【0013】
従って、この発明によるIC試験装置によれば不良解析メモリの外に大容量メモリを必要としないから安価に製造することができる利点が得られる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1にこの発明によるIC試験装置の要部の構成を示す。この発明ではアナログ比較器117とスルーの状態に設定された論理比較器115を通じて被試験IC119のAD変換器の1つの出力端子ADOUT1から取り出したAD変換出力信号をセレクタ150に入力し、このセレクタ150によって複数の不使用状態にある不良解析メモリ118A〜118Nに分配し、これら複数の不良解析メモリ118A〜118Nに縦続的にAD変換出力信号を取り込む構成としたものである。
【0015】
図1ではAD変換器の1ビット分の出力信号を記憶する構成を示す。不良解析メモリ118A〜118Nは図3に示したIC試験装置の全体を説明した部分で述べたように、IC試験装置の試験可能な全ピンのチャンネルに設けられている。従ってIC試験装置に搭載されている不良解析メモリ118A〜118Nの大部分は不使用状態にある。因みに試験可能なピン数が500ピンのIC試験装置には500個の不良解析メモリ118が搭載されているが、実際に使用される不良解析メモリの数はその中の極くわずかな数である。
【0016】
この発明はこの点に着目して不使用状態にある不良解析メモリ118A〜118Nを縦続的に利用してAD変換器の各出力ピンに出力されるビットのデータを記憶させる方法を採ることにより、大容量メモリの使用を不用としたものである。図1に示す例では先ずセレクタ150で不良解析メモリ118Aを選択し、この不良解析メモリ118Aに被試験IC119に搭載したAD変換器の出力端子ADOUT1に出力される例えば最下位ビットのデータを記憶させる。
【0017】
不良解析メモリ118Aがオーバーフロー信号FULLを出力すると、このオーバーフロー信号FULLをオアゲートORを通じてセレクトコントローラ151に入力し、セレクトコントローラ151によりセレクタ150を制御し、不良解析メモリ118Bを選択する状態に切替る。不良解析メモリ118Bがオーバーフローすると、セレクタ150は不良解析メモリ118Cに切替てこの不良解析メモリ118Cにデータを記憶する。AD変換器の出力端子ADOUT2,ADOUT3…も同様に不使用状態にある不良解析メモリ118を用いて記憶するものとする。
【0018】
尚、152は不使用状態にある不良解析メモリのアドレスを記憶したレジスタを示す。オアゲートORからオーバーフロー信号FULLがセレクトコントローラ151に入力される毎に次の不使用状態にある不良解析メモリのアドレスを指定し、セレクタ150がそのアドレスに従って不良解析メモリを選択するように構成した場合を示す。
【0019】
図2は被試験IC119内にDA変換器を搭載した場合に、そのDA変換器が出力するアナログ信号が正常か否かを評価するIC試験装置の実施例を示す。
この場合には被試験IC119のDA変換出力端子DAOUT から出力されるアナログ信号をAD変換器140に入力し、このAD変換器140でデジタル信号に変換する。AD変換器140から出力される各ビットの信号(図2では1ビット分の構成を示す)をセレクタ150を通じて不良解析メモリ118A,118B,118C…に順次縦続的に記憶させる構成とするものである。
【0020】
このように構成することにより、DA変換器を搭載したICでも不良解析メモリだけで評価試験を実行できる利点が得られる。
【0021】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によればAD変換器又はDA変換器を搭載したミックスドICが、出力するデジタル信号又はアナログ信号の例えば1サイクル分のデジタルデータをメモリに記憶させ、そのデジタルデータを解析してAD変換器又はDA変換器の動作を評価するIC試験装置において、アナログ波形の1サイクル分のデータを記憶するメモリとして不使用状態にある不良解析メモリを利用したから、IC試験装置の製造コストの上昇は一般的なメモリを試験するだけのIC試験装置のそれと比較して極くわずかで済み、従来の大容量メモリを搭載したIC試験装置より安価に製造することができる利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明によるIC試験装置の一実施例を示すブロック図。
【図2】この発明によるIC試験装置の変形実施例を示すブロック図。
【図3】IC試験装置の全体を説明するためのブロック図。
【図4】従来の技術を説明するためのブロック図。
【図5】従来の技術の他の例を説明するためのブロック図。
【符号の説明】
115 論理比較器
117 アナログ比較器
118A〜118N 不良解析メモリ
119 被試験IC
140 AD変換器
150 セレクタ
151 セレクトコントローラ
152 レジスタ
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an IC test apparatus for testing a mixed IC including an AD converter or DA converter among semiconductor integrated circuit elements.
[0002]
[Prior art]
FIG. 3 shows a schematic configuration of a general IC test apparatus. The IC test apparatus shown in FIG. 3 mainly shows the configuration of an IC test apparatus for testing a hybrid IC including a digital IC such as a memory or a logic circuit. In the figure, TES indicates the entire IC test apparatus. The IC test apparatus TES includes a main controller 111, a pattern generator 112, a timing generator 113, a waveform formatter 114, a logic comparator 115, a driver 116, an analog comparator 117, a failure analysis memory 118, a logic amplitude reference voltage source 121, The reference voltage source 122, the device power source 123, and the like are included.
[0003]
The main controller 111 is generally constituted by a computer system. The main controller 111 mainly controls the pattern generator 112 and the timing generator 113 according to a test program created by a user, and generates test pattern data from the pattern generator 112. Data is converted into a test pattern signal having an actual waveform by the waveform formatter 114, and the test pattern signal is applied to the IC 119 under test through a driver 116 that amplifies the voltage to a waveform having an amplitude value set by the logic amplitude reference voltage source 121. Remember.
[0004]
The response signal read from the IC under test 119 is compared with the reference voltage supplied from the comparison reference voltage source 122 by the analog comparator 117, and whether or not it has a predetermined logic level (H logic voltage, L logic voltage). The signal determined to have a predetermined logic level is compared with the expected value output from the pattern generator 112 by the logic comparator 115, and if a mismatch with the expected value occurs, the read address It is determined that there is a defect in the memory cell, a defect address is stored in the defect analysis memory 118 every time a defect occurs, and it is determined whether or not the defective cell can be repaired at the end of the test, for example.
[0005]
Here, the timing generator 113 determines the timing for defining the rising timing and the falling timing of the waveform of the test pattern signal applied to the IC 119 to be tested, and the timing of the strobe pulse that defines the timing of the logical comparison by the logic comparator 115. appear.
Each of these timings is described in a test program created by the user, and the IC under test 119 is operated at a timing intended by the user, and whether or not the operation is normal can be tested.
[0006]
The waveform formatter 114, the driver 116, the analog comparator 117, the logic comparator 115, and the failure analysis memory 118 shown in FIG. 3 are provided for the number of pins that can be tested by the IC test apparatus, and which pins are input-only pins. Or even if it is assigned to an output-only pin, an input / output pin, and a power supply pin, it is configured so that it can cope with it.
Generally, an IC test apparatus generally has a testable number of pins of about 256 pins to 512 pins.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when testing an IC having an AD converter, for example, among the ICs, each bit signal of the AD conversion output output from the AD converter is sequentially fetched into the memory in the output order, for example, for one cycle of an analog waveform. A method is adopted in which digital data is taken into a memory and the AD converter is evaluated by analyzing the data in the state taken in the memory.
[0008]
For this purpose, the logic comparator 115 is set to a through state (the input signal is output as it is), only the analog comparator 117 is compared, and the AD analysis output is taken into the failure analysis memory 118.
However, generally, in a test such as a logic IC, since the storage capacity of the failure analysis memory 118 is small, data for one cycle of an analog waveform cannot be taken into the failure analysis memory 118.
[0009]
For this reason, conventionally, as shown in FIG. 4, a large-capacity memory 130 is provided in place of the failure analysis memory 118, and data of each bit of the AD converter is written into the large-capacity memory 130 or several bits worth of data. The AD converter output for several bits is stored in the large-capacity memory 130, and the AD converter is evaluated by analyzing the AD conversion output fetched in the large-capacity memory 130.
[0010]
FIG. 5 shows an IC test apparatus for testing an IC equipped with a DA converter. In this case, an AD converter 140 is provided. The AD converter 140 converts an analog signal output from the IC under test 119 into a digital signal, and each bit signal output from the AD converter 140 is stored in the large-capacity memory 130. The configuration is memorized.
For this reason, when testing an IC equipped with either an AD converter or a DA converter, the large-capacity memory 130 must be mounted in addition to the failure analysis memory 118. An IC test apparatus configured to be able to test a mounted mixed IC has a drawback that the manufacturing cost increases.
[0011]
An object of the present invention is to provide an inexpensive IC test apparatus capable of testing a mixed IC equipped with an AD converter or a DA converter.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, a failure analysis memory which is not in use in a failure analysis memory provided for each pin is connected in cascade to form a large-capacity memory, and this large-capacity memory has an AD conversion output or a DA conversion. The present invention proposes an IC test apparatus capable of storing AD conversion data obtained by performing AD conversion on an output again and evaluating an AD converter or a DA converter mounted on an IC under test.
[0013]
Therefore, according to the IC test apparatus of the present invention, since a large capacity memory is not required in addition to the failure analysis memory, there is an advantage that it can be manufactured at low cost.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 shows the configuration of the main part of an IC test apparatus according to the present invention. In the present invention, the AD converter output signal taken out from one output terminal AD OUT1 of the AD converter of the IC 119 to be tested is input to the selector 150 through the analog comparator 117 and the logical comparator 115 set to the through state. 150 is distributed to a plurality of defect analysis memories 118A to 118N in a non-use state, and AD conversion output signals are taken into the plurality of defect analysis memories 118A to 118N in a cascade manner.
[0015]
FIG. 1 shows a configuration for storing an output signal for one bit of the AD converter. The defect analysis memories 118A to 118N are provided in the channels of all testable pins of the IC test apparatus, as described in the part describing the entire IC test apparatus shown in FIG. Therefore, most of the failure analysis memories 118A to 118N mounted on the IC test apparatus are not in use. Incidentally, an IC test apparatus having 500 pins that can be tested is equipped with 500 defect analysis memories 118, but the number of defect analysis memories actually used is very small. .
[0016]
The present invention pays attention to this point and adopts a method of storing the bit data output to each output pin of the AD converter using the failure analysis memories 118A to 118N in the unused state in cascade. The use of large-capacity memory is unnecessary. Select first failure analysis memory 118A by the selector 150 in the example shown in FIG. 1, the failure analysis memory 118A to store for example the least significant bit data is output to the output terminal AD OUT1 of mounting the AD converter under test IC119 Let
[0017]
When the failure analysis memory 118A outputs the overflow signal FULL, the overflow signal FULL is input to the select controller 151 through the OR gate OR, and the selector controller 151 controls the selector 150 to switch to the state of selecting the failure analysis memory 118B. When the failure analysis memory 118B overflows, the selector 150 switches to the failure analysis memory 118C and stores data in the failure analysis memory 118C. Output terminals AD OUT2 of the AD converter, AD OUT3 ... are also intended to be stored using the failure analysis memory 118 in the same manner to the unused state.
[0018]
Reference numeral 152 denotes a register that stores the address of the failure analysis memory in the unused state. Each time the overflow signal FULL is input from the OR gate OR to the select controller 151, the address of the next failure analysis memory in the unused state is designated, and the selector 150 selects the failure analysis memory according to the address. Show.
[0019]
FIG. 2 shows an embodiment of an IC test apparatus for evaluating whether or not an analog signal output from the DA converter is normal when the DA converter is mounted in the IC 119 to be tested.
In this case, an analog signal output from the DA conversion output terminal DA OUT of the IC under test 119 is input to the AD converter 140 and converted into a digital signal by the AD converter 140. Each bit signal output from the AD converter 140 (showing the configuration of one bit in FIG. 2) is stored in the failure analysis memories 118A, 118B, 118C,. .
[0020]
By configuring in this way, there is an advantage that an evaluation test can be executed only with a failure analysis memory even with an IC equipped with a DA converter.
[0021]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a mixed IC equipped with an AD converter or a DA converter stores, for example, digital data for one cycle of an output digital signal or analog signal in a memory, and the digital data In the IC test apparatus for analyzing the operation of the AD converter or the DA converter and evaluating the operation of the AD converter or DA converter, the IC test apparatus uses a failure analysis memory in an unused state as a memory for storing data for one cycle of the analog waveform. The increase in the manufacturing cost of the IC is negligible compared to that of an IC test apparatus that only tests a general memory, and there is an advantage that it can be manufactured at a lower cost than an IC test apparatus equipped with a conventional large-capacity memory. can get.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an IC test apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a modified embodiment of the IC test apparatus according to the present invention.
FIG. 3 is a block diagram for explaining the entire IC test apparatus.
FIG. 4 is a block diagram for explaining a conventional technique.
FIG. 5 is a block diagram for explaining another example of the prior art.
[Explanation of symbols]
115 Logical Comparator 117 Analog Comparator 118A to 118N Failure Analysis Memory 119 IC under Test
140 AD converter 150 Selector 151 Select controller 152 Register

Claims (2)

AD変換器を搭載した被試験ICの上記AD変換器の各ビットの出力を被試験信号として大容量メモリに取り込み、この大容量メモリに取り込んだ被試験信号を解析してAD変換器を評価するIC試験装置において、
上記AD変換器の出力端子から出力された信号を基準値と比較して、所定の論理レベルを持つと判定したデータを出力するアナログ比較器と、
不使用状態の不良解析メモリのアドレスを記憶し、このアドレスをセレクトコントローラに通知するレジスタと、
上記セレクトコントローラから指定されたアドレスに基づき、上記アナログ比較器の出力を複数の上記不使用状態の不良解析メモリに縦続的に分配するセレクタと、
上記セレクタからの出力データを記憶し、オーバーフローしたらFULL信号を上記セレクトコントローラに出力する複数の上記不良解析メモリと、
上記FULL信号が入力される度に、次の不使用状態の不良解析メモリのアドレスを上記セレクタに指定する上記セレクトコントローラと、
を具備することを特徴とするIC試験装置。
The output of each bit of the above-mentioned AD converter of the IC under test having the AD converter is taken into a large-capacity memory as a signal under test, and the AD converter is evaluated by analyzing the signal under test fetched into the large-capacity memory. In IC test equipment,
An analog comparator that compares the signal output from the output terminal of the AD converter with a reference value and outputs data determined to have a predetermined logic level;
A register for storing the address of the failure analysis memory in the unused state and notifying this address to the select controller;
Based on the address specified by the select controller, a selector that distributes the output of the analog comparator to the plurality of unused failure analysis memories in a cascade manner;
A plurality of failure analysis memories for storing output data from the selector and outputting a FULL signal to the select controller when overflowing;
Each time the FULL signal is input, the select controller that specifies the address of the next non-use defect analysis memory to the selector;
An IC test apparatus comprising:
DA変換器を搭載した被試験ICの上記DA変換器が出力するアナログ信号をAD変換器でAD変換し、このAD変換出力を被試験信号として大容量メモリに取り込み、この大容量メモリに取り込んだ被試験信号を解析してDA変換器を評価するIC試験装置において、
上記AD変換器の出力端子から出力された信号を基準値と比較して、所定の論理レベルを持つと判定したデータを出力するアナログ比較器と、
不使用状態の不良解析メモリのアドレスを記憶し、このアドレスをセレクトコントローラに通知するレジスタと、
上記セレクトコントローラから指定されたアドレスに基づき、上記アナログ比較器の出力を複数の上記不使用状態の不良解析メモリに縦続的に分配するセレクタと、
上記セレクタからの出力データを記憶し、オーバーフローしたらFULL信号を上記セレクトコントローラに出力する複数の上記不良解析メモリと、
上記FULL信号が入力される度に、次の不使用状態の不良解析メモリのアドレスを上記セレクタに指定する上記セレクトコントローラと、
を具備することを特徴とするIC試験装置。
The analog signal output from the DA converter of the IC under test with the DA converter is AD-converted by the AD converter, and the AD conversion output is taken into the large-capacity memory as the signal under test and taken into the large-capacity memory. In an IC test apparatus for analyzing a signal under test and evaluating a DA converter,
An analog comparator that compares the signal output from the output terminal of the AD converter with a reference value and outputs data determined to have a predetermined logic level;
A register for storing the address of the failure analysis memory in the unused state and notifying this address to the select controller;
Based on the address specified by the select controller, a selector that distributes the output of the analog comparator to the plurality of unused failure analysis memories in a cascade manner;
A plurality of failure analysis memories for storing output data from the selector and outputting a FULL signal to the select controller when overflowing;
Each time the FULL signal is input, the select controller that specifies the address of the next non-use defect analysis memory to the selector;
An IC test apparatus comprising:
JP35481498A 1998-12-14 1998-12-14 IC test equipment Expired - Fee Related JP3989639B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35481498A JP3989639B2 (en) 1998-12-14 1998-12-14 IC test equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35481498A JP3989639B2 (en) 1998-12-14 1998-12-14 IC test equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000180516A JP2000180516A (en) 2000-06-30
JP3989639B2 true JP3989639B2 (en) 2007-10-10

Family

ID=18440084

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35481498A Expired - Fee Related JP3989639B2 (en) 1998-12-14 1998-12-14 IC test equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3989639B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000180516A (en) 2000-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6584592B2 (en) Semiconductor testing apparatus for testing semiconductor device including built in self test circuit
EP0491290B1 (en) IC Tester
US6826101B2 (en) Semiconductor device and method for testing the same
JP3617621B2 (en) Semiconductor integrated circuit inspection apparatus and inspection method thereof
JP4377238B2 (en) Semiconductor test equipment
JP3319541B2 (en) Semiconductor integrated circuit device
JPH0917197A (en) Method and equipment for testing semiconductor memory
JPH10188597A (en) Memory tester
US6523143B1 (en) Memory testing apparatus
KR20170021640A (en) Test device and test system having the same
JP3989639B2 (en) IC test equipment
WO1998014954A1 (en) Memory tester
WO2002037504A1 (en) Memory defect remedy analyzing method and memory test instrument
US6118294A (en) Integrated circuit testing device
US20020049942A1 (en) Analog/digital characteristics testing device and IC testing apparatus
JP2002286800A (en) Semiconductor testing device
JP2000195296A (en) Memory testing device
JP4721565B2 (en) Semiconductor device test equipment
JP2000149593A (en) Ic testing apparatus
JP2903890B2 (en) IC tester
JP2967570B2 (en) Test apparatus and test method for semiconductor device
JP2001176300A (en) Memory test device
JPH1026655A (en) Testing apparatus for lsi
JPH05281292A (en) Ic tester using ad circuit
JP2001195894A (en) External semiconductor memory test device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051012

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20051121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070523

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070529

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070613

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070710

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070718

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees