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JP3967045B2 - 半導体素子及びその製造方法 - Google Patents

半導体素子及びその製造方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
産業電力分野では、省エネルギー化のために高効率大容量のエネルギー変換素子を必要とし、これまで、Si系半導体によるインバータなどの電力変換装置が利用されていた。
【0003】
最近、より高効率の動作が期待できる、例えばSiC半導体による変換装置の実現が期待されるようになってきたが、マイクロパイプと呼ばれる結晶欠陥がウエハ内に数十から数百個存在するため、電力用素子として必要なウエハサイズレベルの大面積の素子を作製することができなかった。
【0004】
このように、大電力の電力変換装置を実現するためには、ウエハサイズのダイオードが必要となる。ここで、SiC半導体はバンドギャップが広いなど物性的な特徴から、オン抵抗の小さいダイオードの実現が期待されている。
【0005】
図2は従来の一般的なSiC半導体ウエハの斜視図である。
【0006】
この図に示すように、SiC基板1の表面上にはマイクロパイプ2と呼ばれる数ミクロンから十ミクロンの直径を持ち、基板1内部方向に伸びる貫通穴状の欠陥が数十から数百個存在する。
【0007】
ここで、そのようなSiC基板を用いてpn接合型のダイオードを作製したときの問題点を図3を参照しながら説明する。
【0008】
この図3に示すように、n型基板11に対し、Mgなどをイオン注入・アニールし、p型層12を形成し、次に上部電極13を形成する。
【0009】
ここで、例えば欠陥の位置を示す矢印14,16で示す箇所には、イオン注入工程において、ウエハ上方から飛来するイオンが貫通穴を通って基板11の深い位置に注入層15を形成してしまう。p型層の形成を拡散によって行うとしても不純物が貫通穴を通って拡散し、同様の問題が起こるのは明らかであり、このような深さ方向に異常な突起を有するpn接合ダイオードは、電流リークの発生、ダイオード耐圧がないなど正常な特性は期待できない。
【0010】
また、例えば、矢印16の位置に示すような、より大きい欠陥である穴に電極材料が落ち込み落ち込み部17が形成され、pn接合に被着する場合も生じる。このときpn接合は短絡されダイオード特性を示さない。
【0011】
また、前記SiC基板1を用いてpn接合型のダイオードを作成したときには、以下のような問題点がある。
【0012】
(1)まず、図4(a)に示すように、マイクロパイプを含むn型基板11に対し、エピタキシャル成長法により、n型のエピ層18を形成する。このとき、マイクロパイプの付近では、様々な結晶方位を持ち、結晶欠陥を多く含む不良結晶領域19ができてしまう。これは、マイクロパイプの穴の側面の結晶方位に依存したエピタキシャル成長が発生し、これが横方向にも広がる際、本来の基板11表面からエピタキシャル成長してくる成長層とせめぎ合うため発生することが原因の一つと考えられている。
【0013】
(2)次に、図4(b)に示すように、Mgなどをイオン注入・アニールし、p型層20を形成する。
【0014】
ここで、イオン注入後のアニール工程において、不良結晶領域19に注入された不純物は、そこに多く存在する結晶粒界や結晶欠陥を通じて異常に深く拡散し、図4(b)に示すようなギザギザ(平坦ではないという意味)の接合面を形成してしまう。このような平坦でない接合面を有するダイオードは、リーク電流が増大する、耐圧が低いなどの欠陥を生じてしまう。
【0015】
また、図4(a)で示すような、半導体の上に、金属を被着してショットキ型のダイオードを形成するとしても、不良結晶領域19の位置で結晶性の悪さに起因するリーク電流や耐圧の不良が発生し、良好なダイオード特性を得ることができない。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、マイクロパイプを有する基板を用いて大面積のダイオードを作製しようとしても、マイクロパイプの穴の位置で、接合の異常、電極材料の落ち込みなどの発生や、不良結晶領域の位置で結晶性の悪さに起因するリーク電流や耐圧の不良が発生するため、正常な特性を有するダイオードを実現できないという問題があった。
【0017】
本発明は、上記問題点を除去し、半導体基板におけるマイクロパイプの穴の位置で起こる、接合の異常、電極材料の落ち込みなどの発生や、不良結晶領域の位置で起こる結晶性の悪さに起因するリーク電流や耐圧の不良の発生を防止することができる半導体素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕半導体素子において、凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(21)表面側から堆積されて、前記凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(21)の前記凹型の欠陥を埋め込む絶縁膜(23)と、この絶縁膜(23)で覆われたn型の半導体基板(21)の表面側から前記n型の半導体基板(21)表面に達するまで前記絶縁膜(23)を除去し、この除去された部位に形成されるp型層(25)と、このp型層(25)上に形成される電極(26)とを具備することを特徴とする。
【0019】
〔2〕半導体素子において、凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(31)表面側から堆積されて、前記凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(31)の前記凹型の欠陥を埋め込む絶縁膜(33)と、この絶縁膜(33)で覆われたn型の半導体基板(31)の表面側から前記n型の半導体基板(31)表面に達するまで前記絶縁膜(33)を除去し、この除去された部位に形成されるn型のエピ層(35)と、このn型のエピ層(35)上に形成されるp型導電層(36)と、このp型導電層(36)上に形成される電極(37)とを具備することを特徴とする。
【0020】
〔3〕上記〔1〕又は〔2〕記載の半導体素子において、前記半導体基板はシリコンであり、前記絶縁膜はシリコン酸化膜であることを特徴とする。
【0021】
〔4〕上記〔1〕又は〔2〕記載の半導体素子において、前記半導体基板はSiCであり、前記絶縁膜はシリコン窒化膜であることを特徴とする。
【0022】
5〕半導体素子の製造方法において、凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(21)表面側から堆積し、前記凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(21)の前記凹型の欠陥を埋め込む絶縁膜(23)を形成する工程と、前記絶縁膜(23)で覆われたn型の半導体基板(21)の表面側から前記n型の半導体基板(21)表面に達するまで前記絶縁膜(23)を除去する工程と、前記除去された部位にp型層(25)を形成する工程と、前記p型層(25)上に電極(26)を形成する工程とを施すことを特徴とする。
【0023】
〔6〕半導体素子の製造方法において、凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(31)表面側から堆積し、前記凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(31)の前記凹型の欠陥を埋め込む絶縁膜(33)を形成する工程と、前記絶縁膜(33)で覆われたn型の半導体基板(31)の表面側から前記n型の半導体基板(31)表面に達するまで前記絶縁膜(33)を除去する工程と、前記除去された部位にn型のエピ層(35)を形成する工程と、前記n型のエピ層(35)上にp型導電層(36)を形成する工程と、前記p型導電層(36)上に電極(37)を形成する工程とを施すことを特徴とする。
【0024】
7〕半導体素子の製造方法において、凹型の欠陥を含む半導体基板(41)に前記凹型の欠陥を埋め込むだけの膜厚の絶縁膜(42)を形成する工程と、前記半導体基板(41)の表面の絶縁膜(42)を除去する工程と、前記半導体基板(41)の表面にエピタキシャル成長させる単結晶層(43)を形成する工程とを施すことを特徴とする。
【0025】
〕上記〔〕記載の半導体素子の製造方法において、前記凹型の欠陥の側面を露出させないように前記エピタキシャル成長を行わせることを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【0027】
図1は本発明の第1実施例を示す半導体素子の製造工程断面図であり、ここでは、接合型の大型ダイオードを作製する。
【0028】
(1)まず、図1(a)に示すように、使用するn型の基板21の半導体装置〔後述の工程(4)及び(5)参照〕内にはマイクロパイプ22が存在する。
【0029】
(2)そこで、図1(b)に示すように、CVD(chemical vapour deposition)法により、例えばシリコン酸化膜23をマイクロパイプ22の半径以上の厚さに成長させる。このとき、マイクロパイプ22(穴部)は、シリコン酸化膜23によって埋め込まれた構造となる。
【0030】
(3)次に、図1(c)に示すように、シリコン酸化膜23を基板21の表面側からエッチングし、除去していき、基板21に達したところでエッチングを停止する。すると、マイクロパイプ22(穴部)だけがシリコン酸化膜24で埋め込まれた構造が得られる。
【0031】
(4)次に、図1(d)に示すように、p型不純物のイオン注入を行ってから、熱処理アニールによってp型層25を形成する。
【0032】
(5)最後に、図1(e)に示すように、電極26を形成し、大型の接合ダイオードが形成された半導体素子を得る。
【0033】
このように、この実施例によれば、図1(c)で示すように、ウエハの不良部分(マイクロパイプ)22が絶縁性のシリコン酸化膜23(24)で埋め込まれている。そのため、このような状況で、図1(d)に示すにイオン注入が行われても、マイクロパイプ22(穴部)に飛来するイオンは、穴部を埋めたシリコン酸化膜24で阻止されることになり、マイクロパイプ22の穴深く進入することができない。
【0034】
その結果、基板21の内部に形成されるp型層25の底面(接合)はマイクロパイプ22に影響されることなく平坦となる。ここで、穴部を埋めたシリコン酸化膜24は、熱的に安定であり、この中に不純物イオンが注入されても、その不純物が拡散によって基板21内に達することは非常に少ない。
【0035】
ここで、例えば、基板21をSiCとした場合、上記で用いたシリコン酸化膜の代わりにシリコン窒化膜を用いるのがよい。理由としては、SiCとシリコン窒化膜の密度が同程度なので、不純物の注入深さも同程度となり、さらにp型層25の底面が平坦となる長所があるからである。
【0036】
また、当然ながら、図1(e)に示すように、電極26はマイクロパイプに落ち込むことがないため、pn接合を短絡する恐れもない。
【0037】
以上のように、本発明の第1実施例によれば、マイクロパイプなど凹型の欠陥を含むウエハに対しても大型のダイオードの作製を実現することができる。
【0038】
また、本発明の実施例においては、SiC基板に特有なマイクロパイプ欠陥を絶縁膜で埋め込むことにより、異常な接合形成や、電極の落ち込みを回避して大型のダイオードを作製する方法を説明した。しかし、本発明は、欠陥部の存在にかかわらず、導電型層の形成や電極の形成を可能にすることができるものであり、SiC以外の半導体基板やエピタキシャル基板にも、同様な凹型の欠陥があり、それにより、均一な接合の形成や、正常な電極の形成を妨げる要因がある場合でも、本発明の実施例が適用できることは明らかである。さらに、本実施例においてはウエハサイズレベルの大型の接合ダイオードについて説明したが、その他、電界効果トランジスタやバイポーラトランジスタにも適用できるのは明らかである。
【0039】
次に、本発明の第2実施例について説明する。
【0040】
図5は本発明の第2実施例を示す半導体素子の製造工程断面図である。
【0041】
この実施例では、接合型の大型ダイオードを作製する例を挙げて説明する。
【0042】
(1)まず、図5(a)に示すように、使用するn型の基板31には、例えば凹型の欠陥であるマイクロパイプ32が存在する。
【0043】
(2)そこで、図5(b)に示すように、CVD(chemical vapourdeposition)法により、例えばシリコン酸化膜33をマイクロパイプ32の半径以上の厚さに成長させる。このとき、マイクロパイプ32は、シリコン酸化膜33によって埋め込まれた構造となる。
【0044】
(3)次に、図5(c)に示すように、シリコン酸化膜33を基板31の表面側からエッチング除去していき、基板31に達したところでエッチングを停止する。すると、マイクロパイプ32の穴部だけがシリコン酸化膜34で埋め込まれた構造が得られる。
【0045】
(4)次に、図5(d)に示すように、MBE(molecular beam epitaxy)法やMOCVD(metal organic chemical vapour deposition)法により、n型のエピ層35を形成する。このとき、マイクロパイプ32の位置にあるシリコン酸化膜34上にはエピ成長が行われず、図6に拡大して示すように、エピ成長が行われない領域35Aが形成され、周辺のSiC表面から横方向に成長したエピ層シリコン酸化膜34の上方で結合することになる。つまり、エピ層35の厚さを、エピ層35がシリコン酸化膜34上方で結合する以上の厚さとする。
【0046】
(5)次に、図5(e)に示すように、p型不純物のイオン注入やp型のエピ成長を行って、p型導電層36を形成し、最後に電極37を形成し、大型の接合ダイオードを得る。
【0047】
このように、本発明の第2実施例によれば、図5(d)で示すように、ウエハの不良部分(マイクロパイプ)が絶縁膜で埋め込まれているため、エピ成長がされず、さらに絶縁膜以外の領域からのエピの横方向成長により、ウエハの不良部分もエピ層で覆われることになる。
【0048】
つまり、本実施例によれば、接合や電極に対し致命的な凹型の欠陥を含むウエハに対しても、それらに起因する欠陥を含まないエピ層を形成することができる。
【0049】
その結果、結晶欠陥に起因する不良な電気特性を持たない大型のダイオードを実現することができる。
【0050】
次に、本発明の第3実施例について説明する。
【0051】
図5(c)で示す工程において、シリコン酸化膜33のエッチング除去が過剰に行われると、シリコン酸化膜34の表面が基板31より少しへこんでしまうことがある。これは、シリコン酸化膜33のエッチング方法において、シリコン酸化膜33のエッチング速度が基板31のエッチング速度より早い場合(例えば、シリコン酸化膜33のエッチングにおいて、一般的なフロンガスによるプラズマエッチング法を用いた場合)などに容易に発生してしまう。この部分の様子を図7に示す。
【0052】
つまり、側面露出部31Aが発生すると、基板31の表面とは異なる結晶方位が現れることになり、基板31の表面とは異なる結晶方位のエピ成長が発生し、結晶欠陥の原因となってしまう。
【0053】
そこで、上記に述べた凹型欠陥の側面が露出することのない方法を図8を参照しながら説明する。
【0054】
(1)まず、図8(a)に示すように、第2実施例の図5(c)と同様に、基板41の凹型欠陥をシリコン酸化膜42で埋め込む。このとき、図7に示したように、シリコン酸化膜のエッチングが過剰に行われ、シリコン酸化膜42の表面が基板41の表面より下になっている。
【0055】
(2)そこで、図8(b)に示すように、基板41をその表面がシリコン酸化膜42の表面より下になるまで選択的にエッチングする。このとき基板41がSiCであるとすれば、例えば塩素ガスなどによるドライエッチングを行えば、シリコン酸化膜よりSiCの方のエッチング速度が速いため、前記の状況を実現できる。
【0056】
(3)次に、図8(c)に示すように、エピタキシャル成長を行うと、基板41の表面の結晶方位のみに従った成長となり、結晶欠陥のない単結晶層43が得られる。
【0057】
このように、本発明の第3実施例によれば、図8(a)に示したように、絶縁膜の表面がエッチングの際基板表面より少しへこんでしまった場合でも、基板41側をエッチングして低くすることにより、基板41上に単一の結晶面を露出させることができ、その結果、基板全面に対し欠陥のないエピタキシャル成長層を実現させることができる。
【0058】
つまり、本実施例によれば、実際には厳密に行うことが難しい不良部分の絶縁膜埋め込み工程に対し、確実にそれを行える方法を提供しているので、その結果、欠陥を含まないエピ層を形成でき、良好な特性を有する大型のダイオードの作製を実現できる。
【0059】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0060】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【0061】
(1)マイクロパイプなど凹型の欠陥を含むウエハに対しても大型の半導体装置、例えばダイオードの作製を実現することができる。
【0062】
(2)接合や電極に対し致命的な凹型の欠陥を含むウエハに対しても、それらに起因する欠陥を含まないエピ層を形成することができる。
【0063】
(3)絶縁膜の表面がエッチングの際基板表面より少しへこんでしまった場合でも、基板側をエッチングして低くすることにより、基板上に単一の結晶面を露出させることができ、その結果、基板全面に対し欠陥のないエピタキシャル成長層を実現させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例を示す半導体素子の製造工程断面図である。
【図2】 従来の一般的なSiC半導体ウエハの斜視図である。
【図3】 従来のSiC基板を用いてpn接合型のダイオードを作製したときの問題点の説明図である。
【図4】 従来の他の問題点の説明図である。
【図5】 本発明の第2実施例を示す半導体素子の製造工程断面図である。
【図6】 図5(d)の工程におけるA部拡大断面図である。
【図7】 図5(c)の工程における問題点を示す図である。
【図8】 本発明の第3実施例を示す半導体素子の製造工程断面図である。
【符号の説明】
21,31,41 n型の導電型を示す基板
22,32 マイクロパイプ
23,33,42 シリコン酸化膜
24,34 穴部を埋めたシリコン酸化膜
25 p型層
26,37 電極
31A 側面露出部
35 n型のエピ層
35A エピ成長が行われない領域
36 p型導電層
43 単結晶層

Claims (8)


  1. (a)凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(21)表面側から堆積されて、前記凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(21)の前記凹型の欠陥を埋め込む絶縁膜(23)と、
    (b)該絶縁膜(23)で覆われたn型の半導体基板(21)の表面側から前記n型の半導体基板(21)表面に達するまで前記絶縁膜(23)を除去し、該除去された部位に形成されるp型層(25)と、
    該p型層(25)上に形成される電極(26)とを具備することを特徴とする半導体素子
  2. (a)凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(31)表面側から堆積されて、前記凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(31)の前記凹型の欠陥を埋め込む絶縁膜(33)と、
    (b)該絶縁膜(33)で覆われたn型の半導体基板(31)の表面側から前記n型の半導体基板(31)表面に達するまで前記絶縁膜(33)を除去し、該除去された部位に形成されるn型のエピ層(35)と、
    (c)該n型のエピ層(35)上に形成されるp型導電層(36)と、
    (d)該p型導電層(36)上に形成される電極(37)とを具備することを特徴とする半導体素子。
  3. 請求項1又は2記載の半導体素子において、前記半導体基板はシリコンであり、前記絶縁膜はシリコン酸化膜であることを特徴とする半導体素子
  4. 請求項1又は2記載の半導体素子において、前記半導体基板はSiCであり、前記絶縁膜はシリコン窒化膜であることを特徴とする半導体素子

  5. (a)凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(21)表面側から堆積し、前記凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(21)の前記凹型の欠陥を埋め込む絶縁膜(23)を形成する工程と、
    (b)前記絶縁膜(23)で覆われたn型の半導体基板(21)の表面側から前記n型の半導体基板(21)表面に達するまで前記絶縁膜(23)を除去する工程と、
    (c)前記除去された部位にp型層(25)を形成する工程と、
    (d)前記p型層(25)上に電極(26)を形成する工程とを施すことを特徴とする半導体素子の製造方法。
  6. (a)凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(31)表面側から堆積し、前記凹型の欠陥を含むn型の半導体基板(31)の前記凹型の欠陥を埋め込む絶縁膜(33)を形成する工程と、
    (b)前記絶縁膜(33)で覆われたn型の半導体基板(31)の表面側から前記n型の半導体基板(31)表面に達するまで前記絶縁膜(33)を除去する工程と、
    (c)前記除去された部位にn型のエピ層(35)を形成する工程と、
    (d)前記n型のエピ層(35)上にp型導電層(36)を形成する工程と、
    (e)前記p型導電層(36)上に電極(37)を形成する工程とを施すことを特徴とする半導体素子の製造方法。

  7. (a)凹型の欠陥を含む半導体基板(41)に前記凹型の欠陥を埋め込むだけの膜厚の絶縁膜(42)を形成する工程と、
    (b)前記半導体基板(41)の表面の絶縁膜(42)を除去する工程と、
    (c)前記半導体基板(41)の表面にエピタキシャル成長させる単結晶層(43)を形成する工程とを施すことを特徴とする半導体素子の製造方法。
  8. 請求項記載の半導体素子の製造方法において、前記凹型の欠陥の側面を露出させないように前記エピタキシャル成長を行わせることを特徴とする半導体素子の製造方法。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4026312B2 (ja) * 2000-10-20 2007-12-26 富士電機ホールディングス株式会社 炭化珪素半導体ショットキーダイオードおよびその製造方法
JP3801091B2 (ja) * 2002-05-09 2006-07-26 富士電機デバイステクノロジー株式会社 炭化珪素半導体装置およびその製造方法
JP4997711B2 (ja) * 2005-03-29 2012-08-08 富士通株式会社 シリコンカーバイド基板、その製造方法及び半導体装置の製造方法
JP2012012227A (ja) * 2010-06-29 2012-01-19 New Japan Radio Co Ltd 結晶欠陥の除去方法
JP6500342B2 (ja) * 2013-04-27 2019-04-17 日亜化学工業株式会社 半導体レーザ装置の製造方法並びにサブマウントの製造方法
JP7563149B2 (ja) 2020-12-08 2024-10-08 株式会社デンソー 炭化珪素半導体装置の製造方法
CN113345798B (zh) * 2021-06-01 2022-07-12 中科汇通(内蒙古)投资控股有限公司 一种SiC基片外延制备GaN的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0927489A (ja) * 1995-07-11 1997-01-28 Nippondenso Co Ltd 半導体基板及びその製造方法

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