JP3895868B2 - 波長可変フィルタ装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信における波長分割多重伝送システム及びその装置に用いる波長可変フィルタ、並びにこれを用いた波長可変フィルタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光通信において、多チャンネルの信号を１本の光ファイバで伝送する波長多重光伝送方式が知られている。波長多重光伝送方式とは、光合波器により各チャンネルの信号をそれぞれ波長の異なる光で波長多重し、送信側より１本のファイバで受信側に伝送し、受信側では波長フィルタにより多重伝送された光を各波長ごとに分離し、再生するものである。特に受信する波長を可変できる波長可変フィルタを用いることにより、多くの波長が多重されている光から所望の波長の光を自由に取り出すことができる。
【０００３】
波長可変フィルタには様々な方式があるが、回折格子を用いた波長可変フィルタは隣接波長間のアイソレーションが高い波長選択性を有することから波長多重光伝送への検討が進められている。波長間隔を狭くした高密度波長多重光伝送ではフィルタの選択波長の設定精度の向上と動作安定性が課題である。波長選択には、回折格子を回転させて行うため、特にサブナノメートルオーダー間隔の多重光の波長選択には、回転機構系に要求される角度分解能は１０万分の１回転以下、波長換算で０．０５ｎｍ以下であるが、通常用いられるステッピングモータ単体ではこのような高分解能特性は実現困難で回転機構系の工夫が必要であった。
【０００４】
図４に従来の波長可変フィルタ装置の構成図を示す。図４（ａ）において１０５は回折格子、５０１はマウント冶具、２はレンズ、３は入力ファイバ、４は出力ファイバ、８は光／電気変換部、９は強度レベル検出部、１００は回転位置演算部、１３０は回転位置記憶部、１４０は回転位置検出部、１２０はモータ駆動部、６１はステッピングモータ、６０１は減速ギア、７１はエンコーダ、８０１・８０２はジョイントである。図４（ｂ）は回折格子１０５が配置されたマウント冶具５０１を図４（ａ）の上部から見た図である。
【０００５】
入力ファイバ３から波長多重光がレンズ２を介して回折格子１０５に入射し、波長分散され所望の波長の光が出力ファイバ４にレンズ２により結合し、光／電気変換部８で電気信号に変換される。回折格子１０５を搭載したマウント冶具５０１はステッピングモータ６１にジョイント８０１を介して設置された減速ギア６０１の軸上に配置され、このマウント冶具５０１が回転することにより出力ファイバ４に結合する光の波長を可変できる。減速ギア６０１の軸上の回転はステッピングモータ６１の軸上の回転よりも遅くなっており、見かけ上の回転角度分解能を向上させる働きをする。
【０００６】
選択する波長を変える場合、モータ駆動部１２０からステッピングモータ６１に駆動電流が供給されステッピングモータ６１は回転を開始する。光／電気変換部８からの電気信号は強度レベル検出部９で受光レベルの検出をする。またステッピングモータ６１とジョイント８０２で接続されたエンコーダ７１からの信号を回転位置検出部１４０で回転位置情報として取り出す。そして回転位置演算部１００では回転位置記憶部１３０であらかじめ登録しておいた波長に対応する回転位置を、回転位置検出部１４０からの回転位置情報と、強度レベル検出部９からの受光レベルとをモニタしながら所望の回転位置に到達すればモータ駆動部１２０に停止指令を発しステッピングモータ６１は停止し、それに伴い減速ギア６０１も停止する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の波長可変フィルタ装置では、回折格子の回転位置は減速ギアを介して制御されている。このため減速ギアのもつ回転方向でのヒステリシスが回折格子の回転角度分解能を制限する要因となる。また減速ギアとステッピングモータのジョイントによる接続状態でステッピングモータの角度分解能が大きく影響を受けてしまう。さらに減速ギアを用いることで回転機構系全体が大きくなるばかりでなく、軸方向に長くなるため、図４（ｂ）のような偏心のあるマウント冶具の回転動作時に安定性が確保できない。
【０００８】
更に回転制御においては所望の角度（波長）位置での停止動作を即座に行う様になっているため、停止角度の絶対精度が低下する可能性がある。
【０００９】
本発明は上記従来の波長可変フィルタ装置の課題を解決するためになされたものであり、サブナノメートルオーダーの波長間隔の多重光を精度良く選択することが可能な波長可変フィルタ装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の波長可変フィルタ装置は、
光信号が入出力する少なくとも２本の光ファイバと、レンズを介して光信号が入出力し、波長を選択する複数の波長選択素子と、前記複数の波長選択素子を回転させるための超音波モータと、前記超音波モータの回転位置を検出するエンコーダとを備え、
前記複数の波長選択素子は、互いに波長分散特性範囲を補完しあう異なる波長域を有し、前記超音波モータの回転軸に対して互いに軸対称となる位置に、マウント冶具を介して固定されていることを特徴とする波長可変フィルタ装置である。
さらに、前記エンコーダは、半導体レーザを回転位置検出系に用いる光学式エンコーダである。
【００１１】
さらに出力ファイバに設けた光検出部で検出した光強度信号によってモータの回転速度を制御するモータ制御部を有する。
【００１２】
また超音波モータを駆動制御するモータ制御部を備えており、モータ制御部は、超音波モータに停止状態から回転を開始するために必要な駆動電力を越えない量の電力量を周期的に入力する機能を有する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の波長可変フィルタ装置の一実施の形態を図１及び図２を参照しつつ説明する。
【００１７】
図１は一実施の形態の波長可変フィルタ装置の構成図を示す。図１（ａ）において１０１、１０２は回折格子、５はマウント冶具、２はレンズ、３は入力ファイバ、４は出力ファイバ、８は光／電気変換部、９は強度レベル検出部、１０は回転位置演算部、１３は回転位置記憶部、１４は回転位置検出部、１１は回転速度調整部、１２はモータ駆動部、６は超音波モータ、７はレーザエンコーダ、１５はジョイントである。
【００１８】
超音波モータ６はモータ内の対向した円盤間に表面弾性波を同心円状に誘起させることにより滑り運動が生じ、可動する円盤に固定した軸が回転をするようなモータである。レーザエンコーダ７は通常の光学式エンコーダに比べ１回転当たりの出力パルス数が多く回転制御の高分解能化に適している。図１（ｂ）は回折格子１０１、１０２が配置されたマウント冶具５を図１（ａ）の上部から見た図である。
【００１９】
入力ファイバ３から波長多重光がレンズ２を介して回折格子１０１に入射し、波長分散され所望の波長の光が出力ファイバ４にレンズ２により結合し、光／電気変換部８で電気信号に変換される。回折格子１０１を搭載したマウント冶具５は超音波モータ６の軸上に直接配置され、このマウント冶具５が回転することにより出力ファイバ４に結合する光の波長を可変できる。回折格子１０１及び回折格子１０２は、図１（ｂ）に示すようにマウント冶具５の回転軸に対して対称な位置に固定されており、特性としては例えば互いに異なる波長域で最適な波長分散特性を有するものである。
【００２０】
本実施の形態の動作は図２に示すような流れで行われる。初期化過程２０１は電源投入時に行う動作である。選択波長移動の指示の有無はルーチン２０３で判別され、指示のない場合はウォームアップ信号印加ルーチン２０２により、回転速度調整部１１を介してモータ駆動部１２から超音波モータ６に停止状態から回転を開始するために必要な駆動電力を越えない量の電力信号を周期的に入力する。
【００２１】
選択波長移動の指示があった場合はノーマル回転モードルーチン２０４により回転を開始する。指定された波長を基に回転位置記憶部１３から角度位置を割り出し、この角度位置を目標位置とする。目標位置に近づくまでは通常の回転動作を行う。目標位置に近づいたかは超音波モータ６とジョイント１５を介して接続されたレーザエンコーダ７からの信号を回転位置検出部１４で角度位置情報とし、これを基にルーチン２０５で判別する。目標位置との近接度合いに応じて回転速度調整部１１によりモータ駆動部１２にレベル調整された電力が供給されて超音波モータ６の回転速度が徐々に減少しながら回転する。一方、光／電気変換部８からの電気信号は強度レベル検出部９で受光レベルの検出をする。そして回転位置演算部１０で、角度位置情報、そして強度レベル検出部９からの受光レベルとをモニタしながら目標位置に到達すればルーチン２０８によりモータ駆動部１２に停止指令を発し、超音波モータ６はなめらかに停止する。その後ルーチン２０９に移り、選択波長の移動の指示待ち状態になる。
【００２２】
以上のような構成により、超音波モータを用いることで回転速度の調整が減速ギアを用いることなく可能となり、回転機構系を小型化できるばかりでなく、回転動作時での角度設定精度を飛躍的に増大させることが可能である。そして回折格子をマウントした冶具を直接モータ軸上に配置することができるため、ヒステリシスのない高精度な回転制御が可能である。また、モータの静止状態であってもウォーミングアップ信号を印加する機能を有することにより、静止時間が長くなるとモータ内の対向円盤の密着度が増大して回転開始までの応答性が劣化するという超音波モータ独特の問題点を克服して、高速応答な特性を実現できる。
【００２３】
さらに２種類の回折格子をマウント冶具に軸対称に配置することによって、偏心のないマウント冶具となり回転動作時の安定性が確保できるばかりでなく、各々の回折格子の特性範囲を補完する事によって非常に広帯域での波長選択が可能となる。
【００２４】
また回折格子にフーリエ回折格子（例えば特許第２５９９４５５号）を用いることにより、回折効率が高くしかも入射する光の偏光方向による回折効率の差異（偏光依存性）が小さい波長可変フィルタを実現できる。例えば本構成により角度分解能として１０万分の１回転以下、波長換算で０．０５ｎｍ以下の波長分解能を小型の回転機構系で容易に実現できる。
【００２５】
なお、本実施の形態ではマウント冶具５を超音波モータ６及びレーザエンコーダ７の向かって上方に配置したが、図３に示すように回折格子１０１、１０２を配置したマウント冶具５１を超音波モータ６２及びレーザエンコーダ７１の間のジョイントと兼ね備えるようにすれば、更に機構系の小型化が図れると共にレンズや光ファイバを含んだモジュール化の観点から有利となる。
【００２６】
また、本実施の形態ではマウント冶具５に２種類の回折格子を配置した例を示したが、回折格子の数は軸対称に配置する限りにおいてはそれ以上の数の回折格子を配置しても良い。これにより更に波長可変範囲の拡大化が図れる。
【００２７】
また、マウント冶具に配置する回折格子の少なくとも一つに反射板を設ければ全波長範囲を網羅する光スイッチの機能を付加させることもできる。
【００２８】
また、本実施の形態では単にレンズとしたが非球面レンズを用いれば光学系が簡素化され装置の小型化にも寄与する。レンズには使用波長帯での反射防止膜を設けることが望ましい。
【００２９】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明の波長可変フィルタ装置は、サブナノメートルオーダーの波長間隔の多重光から任意の波長の光を高分解能に、かつ安定に選択することができる。そして、装置として小型化ができ広範囲な波長範囲で波長選択ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の波長可変フィルタ装置の一実施の形態の構成例を示す図
【図２】図１の実施の形態における動作の流れを示す図
【図３】本発明の波長可変フィルタ装置の一実施の形態におけるマウント冶具の別構成を示す図
【図４】従来の波長可変フィルタの構成例を示す図
【符号の説明】
１０１、１０２ ： 回折格子
２ ： レンズ
３ ： 入力ファイバ
４ ： 出力ファイバ
５ ： マウント冶具
６ ： 超音波モータ
７ ： レーザエンコーダ
８ ： 光／電気変換部
９ ： 強度レベル検出部
１０ ： 回転位置演算部
１１ ： 回転速度調整部
１２ ： モータ駆動部
１３ ： 回転位置記憶部
１４ ： 回転位置検出部
１５ ： ジョイント
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信における波長分割多重伝送システム及びその装置に用いる波長可変フィルタ、並びにこれを用いた波長可変フィルタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光通信において、多チャンネルの信号を１本の光ファイバで伝送する波長多重光伝送方式が知られている。波長多重光伝送方式とは、光合波器により各チャンネルの信号をそれぞれ波長の異なる光で波長多重し、送信側より１本のファイバで受信側に伝送し、受信側では波長フィルタにより多重伝送された光を各波長ごとに分離し、再生するものである。特に受信する波長を可変できる波長可変フィルタを用いることにより、多くの波長が多重されている光から所望の波長の光を自由に取り出すことができる。
【０００３】
波長可変フィルタには様々な方式があるが、回折格子を用いた波長可変フィルタは隣接波長間のアイソレーションが高い波長選択性を有することから波長多重光伝送への検討が進められている。波長間隔を狭くした高密度波長多重光伝送ではフィルタの選択波長の設定精度の向上と動作安定性が課題である。波長選択には、回折格子を回転させて行うため、特にサブナノメートルオーダー間隔の多重光の波長選択には、回転機構系に要求される角度分解能は１０万分の１回転以下、波長換算で０．０５ｎｍ以下であるが、通常用いられるステッピングモータ単体ではこのような高分解能特性は実現困難で回転機構系の工夫が必要であった。
【０００４】
図４に従来の波長可変フィルタ装置の構成図を示す。図４（ａ）において１０５は回折格子、５０１はマウント冶具、２はレンズ、３は入力ファイバ、４は出力ファイバ、８は光／電気変換部、９は強度レベル検出部、１００は回転位置演算部、１３０は回転位置記憶部、１４０は回転位置検出部、１２０はモータ駆動部、６１はステッピングモータ、６０１は減速ギア、７１はエンコーダ、８０１・８０２はジョイントである。図４（ｂ）は回折格子１０５が配置されたマウント冶具５０１を図４（ａ）の上部から見た図である。
【０００５】
入力ファイバ３から波長多重光がレンズ２を介して回折格子１０５に入射し、波長分散され所望の波長の光が出力ファイバ４にレンズ２により結合し、光／電気変換部８で電気信号に変換される。回折格子１０５を搭載したマウント冶具５０１はステッピングモータ６１にジョイント８０１を介して設置された減速ギア６０１の軸上に配置され、このマウント冶具５０１が回転することにより出力ファイバ４に結合する光の波長を可変できる。減速ギア６０１の軸上の回転はステッピングモータ６１の軸上の回転よりも遅くなっており、見かけ上の回転角度分解能を向上させる働きをする。
【０００６】
選択する波長を変える場合、モータ駆動部１２０からステッピングモータ６１に駆動電流が供給されステッピングモータ６１は回転を開始する。光／電気変換部８からの電気信号は強度レベル検出部９で受光レベルの検出をする。またステッピングモータ６１とジョイント８０２で接続されたエンコーダ７１からの信号を回転位置検出部１４０で回転位置情報として取り出す。そして回転位置演算部１００では回転位置記憶部１３０であらかじめ登録しておいた波長に対応する回転位置を、回転位置検出部１４０からの回転位置情報と、強度レベル検出部９からの受光レベルとをモニタしながら所望の回転位置に到達すればモータ駆動部１２０に停止指令を発しステッピングモータ６１は停止し、それに伴い減速ギア６０１も停止する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の波長可変フィルタ装置では、回折格子の回転位置は減速ギアを介して制御されている。このため減速ギアのもつ回転方向でのヒステリシスが回折格子の回転角度分解能を制限する要因となる。また減速ギアとステッピングモータのジョイントによる接続状態でステッピングモータの角度分解能が大きく影響を受けてしまう。さらに減速ギアを用いることで回転機構系全体が大きくなるばかりでなく、軸方向に長くなるため、図４（ｂ）のような偏心のあるマウント冶具の回転動作時に安定性が確保できない。
【０００８】
更に回転制御においては所望の角度（波長）位置での停止動作を即座に行う様になっているため、停止角度の絶対精度が低下する可能性がある。
【０００９】
本発明は上記従来の波長可変フィルタ装置の課題を解決するためになされたものであり、サブナノメートルオーダーの波長間隔の多重光を精度良く選択することが可能な波長可変フィルタ装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の波長可変フィルタ装置は、
光信号が入出力する少なくとも２本の光ファイバと、レンズを介して光信号が入出力し、波長を選択する複数の波長選択素子と、前記複数の波長選択素子を回転させるための超音波モータと、前記超音波モータの回転位置を検出するエンコーダとを備え、
前記複数の波長選択素子は、互いに波長分散特性範囲を補完しあう異なる波長域を有し、前記超音波モータの回転軸に対して互いに軸対称となる位置に、マウント冶具を介して固定されていることを特徴とする波長可変フィルタ装置である。
さらに、前記エンコーダは、半導体レーザを回転位置検出系に用いる光学式エンコーダである。
【００１１】
さらに出力ファイバに設けた光検出部で検出した光強度信号によってモータの回転速度を制御するモータ制御部を有する。
【００１２】
また超音波モータを駆動制御するモータ制御部を備えており、モータ制御部は、超音波モータに停止状態から回転を開始するために必要な駆動電力を越えない量の電力量を周期的に入力する機能を有する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の波長可変フィルタ装置の一実施の形態を図１及び図２を参照しつつ説明する。
【００１７】
図１は一実施の形態の波長可変フィルタ装置の構成図を示す。図１（ａ）において１０１、１０２は回折格子、５はマウント冶具、２はレンズ、３は入力ファイバ、４は出力ファイバ、８は光／電気変換部、９は強度レベル検出部、１０は回転位置演算部、１３は回転位置記憶部、１４は回転位置検出部、１１は回転速度調整部、１２はモータ駆動部、６は超音波モータ、７はレーザエンコーダ、１５はジョイントである。
【００１８】
超音波モータ６はモータ内の対向した円盤間に表面弾性波を同心円状に誘起させることにより滑り運動が生じ、可動する円盤に固定した軸が回転をするようなモータである。レーザエンコーダ７は通常の光学式エンコーダに比べ１回転当たりの出力パルス数が多く回転制御の高分解能化に適している。図１（ｂ）は回折格子１０１、１０２が配置されたマウント冶具５を図１（ａ）の上部から見た図である。
【００１９】
入力ファイバ３から波長多重光がレンズ２を介して回折格子１０１に入射し、波長分散され所望の波長の光が出力ファイバ４にレンズ２により結合し、光／電気変換部８で電気信号に変換される。回折格子１０１を搭載したマウント冶具５は超音波モータ６の軸上に直接配置され、このマウント冶具５が回転することにより出力ファイバ４に結合する光の波長を可変できる。回折格子１０１及び回折格子１０２は、図１（ｂ）に示すようにマウント冶具５の回転軸に対して対称な位置に固定されており、特性としては例えば互いに異なる波長域で最適な波長分散特性を有するものである。
【００２０】
本実施の形態の動作は図２に示すような流れで行われる。初期化過程２０１は電源投入時に行う動作である。選択波長移動の指示の有無はルーチン２０３で判別され、指示のない場合はウォームアップ信号印加ルーチン２０２により、回転速度調整部１１を介してモータ駆動部１２から超音波モータ６に停止状態から回転を開始するために必要な駆動電力を越えない量の電力信号を周期的に入力する。
【００２１】
選択波長移動の指示があった場合はノーマル回転モードルーチン２０４により回転を開始する。指定された波長を基に回転位置記憶部１３から角度位置を割り出し、この角度位置を目標位置とする。目標位置に近づくまでは通常の回転動作を行う。目標位置に近づいたかは超音波モータ６とジョイント１５を介して接続されたレーザエンコーダ７からの信号を回転位置検出部１４で角度位置情報とし、これを基にルーチン２０５で判別する。目標位置との近接度合いに応じて回転速度調整部１１によりモータ駆動部１２にレベル調整された電力が供給されて超音波モータ６の回転速度が徐々に減少しながら回転する。一方、光／電気変換部８からの電気信号は強度レベル検出部９で受光レベルの検出をする。そして回転位置演算部１０で、角度位置情報、そして強度レベル検出部９からの受光レベルとをモニタしながら目標位置に到達すればルーチン２０８によりモータ駆動部１２に停止指令を発し、超音波モータ６はなめらかに停止する。その後ルーチン２０９に移り、選択波長の移動の指示待ち状態になる。
【００２２】
以上のような構成により、超音波モータを用いることで回転速度の調整が減速ギアを用いることなく可能となり、回転機構系を小型化できるばかりでなく、回転動作時での角度設定精度を飛躍的に増大させることが可能である。そして回折格子をマウントした冶具を直接モータ軸上に配置することができるため、ヒステリシスのない高精度な回転制御が可能である。また、モータの静止状態であってもウォーミングアップ信号を印加する機能を有することにより、静止時間が長くなるとモータ内の対向円盤の密着度が増大して回転開始までの応答性が劣化するという超音波モータ独特の問題点を克服して、高速応答な特性を実現できる。
【００２３】
さらに２種類の回折格子をマウント冶具に軸対称に配置することによって、偏心のないマウント冶具となり回転動作時の安定性が確保できるばかりでなく、各々の回折格子の特性範囲を補完する事によって非常に広帯域での波長選択が可能となる。
【００２４】
また回折格子にフーリエ回折格子（例えば特許第２５９９４５５号）を用いることにより、回折効率が高くしかも入射する光の偏光方向による回折効率の差異（偏光依存性）が小さい波長可変フィルタを実現できる。例えば本構成により角度分解能として１０万分の１回転以下、波長換算で０．０５ｎｍ以下の波長分解能を小型の回転機構系で容易に実現できる。
【００２５】
なお、本実施の形態ではマウント冶具５を超音波モータ６及びレーザエンコーダ７の向かって上方に配置したが、図３に示すように回折格子１０１、１０２を配置したマウント冶具５１を超音波モータ６２及びレーザエンコーダ７１の間のジョイントと兼ね備えるようにすれば、更に機構系の小型化が図れると共にレンズや光ファイバを含んだモジュール化の観点から有利となる。
【００２６】
また、本実施の形態ではマウント冶具５に２種類の回折格子を配置した例を示したが、回折格子の数は軸対称に配置する限りにおいてはそれ以上の数の回折格子を配置しても良い。これにより更に波長可変範囲の拡大化が図れる。
【００２７】
また、マウント冶具に配置する回折格子の少なくとも一つに反射板を設ければ全波長範囲を網羅する光スイッチの機能を付加させることもできる。
【００２８】
また、本実施の形態では単にレンズとしたが非球面レンズを用いれば光学系が簡素化され装置の小型化にも寄与する。レンズには使用波長帯での反射防止膜を設けることが望ましい。
【００２９】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明の波長可変フィルタ装置は、サブナノメートルオーダーの波長間隔の多重光から任意の波長の光を高分解能に、かつ安定に選択することができる。そして、装置として小型化ができ広範囲な波長範囲で波長選択ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の波長可変フィルタ装置の一実施の形態の構成例を示す図
【図２】図１の実施の形態における動作の流れを示す図
【図３】本発明の波長可変フィルタ装置の一実施の形態におけるマウント冶具の別構成を示す図
【図４】従来の波長可変フィルタの構成例を示す図
【符号の説明】
１０１、１０２ ： 回折格子
２ ： レンズ
３ ： 入力ファイバ
４ ： 出力ファイバ
５ ： マウント冶具
６ ： 超音波モータ
７ ： レーザエンコーダ
８ ： 光／電気変換部
９ ： 強度レベル検出部
１０ ： 回転位置演算部
１１ ： 回転速度調整部
１２ ： モータ駆動部
１３ ： 回転位置記憶部
１４ ： 回転位置検出部
１５ ： ジョイント
Claims (4)
- 光信号が入出力する少なくとも２本の光ファイバと、レンズを介して光信号が入出力し、波長を選択する複数の波長選択素子と、前記複数の波長選択素子を回転させるための超音波モータと、前記超音波モータの回転位置を検出するエンコーダとを備え、
前記複数の波長選択素子は、互いに波長分散特性範囲を補完しあう異なる波長域を有し、前記超音波モータの回転軸に対して互いに軸対称となる位置に、マウント冶具を介して固定されていることを特徴とする波長可変フィルタ装置。 - 前記エンコーダは、半導体レーザを回転位置検出系に用いる光学式エンコーダであることを特徴とする請求項１記載の波長可変フィルタ装置。
- 波長選択された光信号が出力される前記光ファイバは光検出部を有しており、
前記光検出部で検出した光強度信号によって前記超音波モータの回転速度を制御するモータ制御部を備えたことを特徴とする請求項１記載の波長可変フィルタ装置。 - 前記超音波モータを駆動制御するモータ制御部を備え、
前記モータ制御部は、前記超音波モータに停止状態から回転を開始するために必要な駆動電力を越えない量の電力量を周期的に入力することを特徴とする請求項１記載の波長可変フィルタ装置。
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