JP3782523B2

JP3782523B2 - Substrate adsorption member and apparatus

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Publication number: JP3782523B2
Application number: JP24214196A
Authority: JP
Inventors: 一也伊藤; 幸彦野口
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1996-09-12
Filing date: 1996-09-12
Publication date: 2006-06-07
Anticipated expiration: 2016-09-12
Also published as: JPH1086086A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶パネル用の大型ガラス基板の検査工程に用いられる基板吸着部材および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近、液晶技術の進歩にともない、液晶パネルなどの表示素子も大型化され、これとともに、マスター基板と呼ばれるガラス基板の大型化も進んでいる。
このようなガラス基板は、その大きさに対して厚さが極めて薄く、たわみ易いものになっているが、かかるガラス基板についても、品質管理の上から顕微鏡などを使用した各種の検査が行われており、これら検査を検査装置の大型ステージ上に載置した状態で行うようになっている。
【０００３】
そこで、従来、特開平７−１８３３６６号公報に開示される大型ガラス基板のエア吸着方法が考えられている。図１１は、載置台１の表面に複数の方形の吸着溝２ａ〜２ｄを、載置台１の中心点Ｏに対して対称的に、適当な間隔をおいて形成し、これら複数の方形の吸着溝２ａ〜２ｄに対して、中心点Ｏに近い吸着溝２ａから遠い吸着溝２ｄの順で適当なタイムラグをなして順にエア吸着することにより、このように載置台１上に載置されるガラス基板３全面を、載置台１面に密着させ、安定に固定できるようにしたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようなエア吸着方法によると、仮に、図１２に示すようにガラス基板３に反りがあって、ガラス基板３の周縁部分が載置台１面から僅かに浮き上がっているような場合、載置台１面とガラス基板３面が密着状態にならず、安定した基板検査ができないことがある。このため、エア吸着力を増して強引にガラス基板３面を密着させようとすると、吸着時の大きな吸引力により極めて薄く壊れやすいガラス基板３が破損してしまうおそれがあった。
【０００５】
また、最近の顕微鏡を使用した基板検査には、透過照明を使用して基板上の傷や埃を検出することが行われているが、上述した方法に適用される載置台１では、載置台１中央部分に穴部を形成していないことから、このような基板検査ができないという問題点もあった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、載置台への基板を確実に吸着でき、精度の高い安定した基板検査を実現できる基板吸着部材および装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板吸着部材は、上部に基板吸着部を有し、上方周面に段部を形成した中空の吸着パッドと、前記基板吸着部の中央に形成され前記中空と連通する孔部と、前記吸着パッドの中空内に間隙をもって挿入され、前記基板吸着部の裏面に接する側の端部に吸盤を一体に形成するとともに前記基板吸着部の孔部に連通する筒状に形成され、前記吸着パッドを弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材と、前記基板吸着部より大きな孔部を有し、前記吸着パッドを所定範囲での動きを可能にして基板を載置する載置面に取付ける押え枠部とを具備したことを特徴としている。
【０００８】
本発明の基板吸着装置は、薄い板状の基板を載置する載置台と、前記載置台上に配置され、エア吸着力を発生する基板吸着部を有する吸着パッドと、前記吸着パッドを支持するとともに、前記吸着パッドを前記載置台面より突出する方向に弾性力を作用させ、かつエア吸着力により前記基板吸着部材を収納する穴部内に引き込む方向に弾性力を作用させる吸着パッド支持部材と、前記吸着パッドの基板吸着部にエア吸着力を発生させるエア制御手段とを具備したことを特徴とする。
【０００９】
この結果、本発明の基板吸着部材によれば、基板吸着部を有する吸着パッドは、弾性部材のパッド支持部材による支持により、所定範囲で自由に動けるようになっているので、基板の動きに対してもパッド支持部材の変形により、吸着部を吸着でき、さらにパッド支持部材の弾性力により外れにくい状態で保持できる。
【００１０】
また、本発明の基板吸着部材によれば、基板吸着部に基板を吸着した状態で、吸着パッドが弾性部材に当接することにより、吸着パッドに対するバネ定数が急激に増加して基板側の振動を抑制することができる。
【００１１】
また、本発明の基板吸着装置によれば、吸着パッドを載置台面より上方に突出させ弾性的に支持することにより基板に反りが生じても基板にパッドが近接し、かつ吸着時に基板の傾きに添うように吸着パッドが変形して基板に密着するので、吸着部での吸着を確実に行うことができ、基板に関する検査を安定した状態で精度よく行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明が適用されるガラス基板を吸着保持する基板吸着装置の概略構成を示している。図において、１１はガラス基板１２を載置する載置台で、この載置台１１は、長方形の枠状をなしていて、この長方形の枠部分にガラス基板１２を載置するとともに、中央部分を透孔部に形成して、いわゆる中抜き載置台に構成している。
【００１３】
また、載置台１１には、複数の基板吸着部材１３を設けている。この場合、基板吸着部材１３は、載置台１１の長手方向の周縁に２個づつ、幅方向の周縁に２個づつの合計８個を配置している。
【００１４】
図２は、基板吸着部材１３の概略構成の断面図を示している。この場合、図２は、左右対称形状の中心面から半分だけを図示したものである。
図において、１４は合成樹脂などで形成される中空の吸着パッドで、この吸着パッド１４は、上方に吸着部１４１を有し、この吸着部１４１の中央部には、中空部に連通する穴部１４２を形成している。また、この吸着パッド１４の上方周面に、段部１４３を形成している。
【００１５】
吸着パッド１４の中空部に僅かな間隙１６を介して筒状のパッド支持部材１５を挿入している。このパッド支持部材１５は、ゴムなどの比較的柔らかく変形し易い弾性部材からなるもので、先端部に吸盤１５１を形成し、この吸盤１５１面を吸着パッド１４の吸着部１４１の裏面側に当接している。
【００１６】
そして、このような吸着パッド１４とパッド支持部材１５を有する基板吸着部材１３は、図３に示すように載置台１１の吸着パッド取付け部１１１に取付けられる。この場合、吸着パッド取付け部１１１は、溝部１１２を形成し、この溝部１１２の底面に穴部１１３を有していて、この溝部１１２にパッド支持部材１５を設けた吸着パッド１４を僅かな間隙１７を介して設けるとともに、溝部１１２底面の穴部１１３をパッド支持部材１５の中空部、吸盤１５１を介して吸着パッド１４の吸着部１４１中央部の穴部１４２に連通するようにしている。
【００１７】
そして、吸着パッド１４の先端部に、押え枠体１８の穴部１８１を挿通するとともに、この穴部１８１周縁部に吸着パッド１４の段部１４３を係合することで、吸着パッド１４の抜落ちを防止して載置台１１上に保持している。この場合、押え枠体１８の穴部１８１と吸着パッド１４の先端部との間にも僅かな間隙２２を形成して、吸着パッド１４の所定範囲での動きを可能にしている。また、押え枠体１８は、図示しないネジなどにより載置台１１に固定している。
【００１８】
そして、このような基板吸着部材１３を取付けた溝部１１２底面の穴部１１３に通気管１９を連通するとともに、電磁弁２０を介して真空ポンプ２１を接続し、この真空ポンプ２１でのエア引きによるエア駆動力によりパッド支持部材１５を介して吸着パッド１４の吸着部１４１にエア吸着力を得られるようにしている。
【００１９】
次に、このように構成した実施の形態の動作を説明する。
いま、ガラス基板１２の検査工程において、ガラス基板１２が、中抜きの載置台１１上に供給されるが、この時、ガラス基板１２の周縁部が載置台１１の長手方向および幅方向のそれぞれ周縁に設けられた基板吸着部材１３上に位置するようにしている。
【００２０】
そして、この状態から、真空ポンプ２１でエア引きが行われると、それぞれの基板吸着部材１３では、パッド支持部材１５を介して吸着パッド１４の吸着部１４１にエア吸着力が得られ、ガラス基板１２は、載置台１１上に吸着状態になって固定される。
【００２１】
ここで、ガラス基板１２面が全く平ならば、載置台１１面と平行が保たれるので、何ら問題ないが、仮に、ガラス基板１２に反りがあるような場合、載置台１１面と平行でなくなることがある。この場合、本発明の基板吸着部材１３では、吸着部１４１を有する吸着パッド１４は、その中空部に弾性部材のパッド支持部材１５で支持されており、ガラス基板１２の反りによる傾きに対応してパッド支持部材１５の変形により、吸着パッド１４が載置台１１の溝部１１２との間隙１７および押え枠体１８の穴部１８１と吸着パッド１４の先端部との間隙２２の範囲で自由に傾くようになっているので、ガラス基板１２の反り面に対して吸着パッド１４の吸着部１４１がガラス基板１２に対してほぼ平行になり、ガラス基板１２が良好に吸着され、さらにパッド支持部材１５の弾性力により吸着の外れにくい状態で保持される。
【００２２】
これにより、ガラス基板１２は、多少の反りがあるような場合も、載置台１１上の複数の基板吸着部材１３により確実に吸着して載置するようにできるので、反りによる焦点ズレや基板の振動ズレが防止でき、安定した状態でガラス基板１２の検査を実施することができる。しかも、吸着パッド１４が載置台１１上面より突出しているので、ガラス基板１２に反りが生じても常に吸着パッド１４にガラス基板１２が近接して良好な吸着力が作用する。また、ガラス基板１２を載置する載置台１１は、中央部分を透孔部に形成した、いわゆる中抜き載置台に構成しているので、透過照明を使用した傷や埃の検出にも適用することができる。
（第２の実施の形態）
ところで、第１の実施の形態では、吸着パッド１４を支持するパッド支持部材１５の変形により吸着パッド１４が載置台１１の溝部１１２との間隙１７の範囲で自由に傾くように構成しているが、パッド支持部材１５には、ゴムなどの比較的柔らかく変形し易い弾性部材を用いているため、仮に床面から振動が侵入したり、クリーンルーム内のダウンブローなどによりガラス基板１２に振動が伝わりたわみを生じたような場合、パッド支持部材１５が共振し、ガラス基板１２の振動を抑制することができなくおそれがある。特に、顕微鏡を使用した基板検査の場合に、ガラス基板１２の光軸方向の振動、たわみにより顕微鏡像にブレやボケなどが生じ易くなって、検査精度か低下してしまう。
【００２３】
そこで、この第２の実施の形態では、このようなパッド支持部材１５自身の振動を防止するようにしている。図４は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもので、図３と同一部分には、同符号を付している。
【００２４】
この場合、押え枠体１８の穴部１８１の吸着パッド１４の先端部と対向する周縁部に沿って弾性部材、例えばゴムブッシュ２３を設けている。この場合、ゴムブッシュ２３に代えて、ウレタンやシリコンなどの弾性部材を使用してもよい。
【００２５】
この場合、ゴムブッシュ２３と吸着パッド１４の先端部との間隙２２は、検査対称のガラス基板１２のたわみ易さなどを考慮して調整する。
このようにすると、ガラス基板１２の反りによる傾きに対応してパッド支持部材１５の変形により吸着パッド１４が傾いてガラス基板１２の反り面に吸着された状態で、ガラス基板１２に、床面からの振動やクリーンルーム内のダウンブローにより、たわみが生じたような場合、このたわみがある程度進むと吸着パッド１４の傾きも大きくなって、押え枠体１８の穴部１８１との間隙２２が狭まり、ついには吸着パッド１４の先端部がゴムブッシュ２３に当接して、その動きが制限される。
【００２６】
すると、この当接によりパッド支持部材１５のバネ成分に、ゴムブッシュ２３のバネ成分が並列結合され、この時点を境に吸着パッド１４に対するバネ定数は、図５に示すように急激に増加するようになるので、吸着部１４１に吸着しているガラス基板１２が振動しにくくなって、ガラス基板１２自身のたわみが抑制される。
【００２７】
このようにすれば、ガラス基板１２に振動が伝わるような場合でも、ガラス基板１２自身を振動しにくくして、ガラス基板１２のたわみを抑制するようにできるので、顕微鏡を使用した基板検査の場合に、顕微鏡像のブレやボケなどを確実に防止でき、精度の高い基板検査を行うことができる。
【００２８】
なお、パッド支持部材１５の弾性力とゴムブッシュ２３の弾性力のバランスを調整することにより、吸着パッド１４による吸着し易さと、ガラス基板１２の振動しにくさとのバランスを最良に設定することもできる。
（第３の実施の形態）
この第３の実施の形態では、第２の実施の形態で述べたゴムブッシュ２３の働きをパッド支持部材１５自身に持たせるようにしたものである。
【００２９】
この場合、図６（ａ）（ｂ）に示すようにゴムなどの比較的柔らかく変形し易い弾性部材からなる筒状のパッド支持部材１５は、先端部に吸盤１５１を形成し、基端部側の周面の円周方向に沿って幅の狭い溝部１５２を形成している。この場合、溝部１５２は、周面のある点から直線状に形成してもよい。
【００３０】
その他は、上述した図４と同様である。
この場合、ガラス基板１２に、たわみが生じたような場合、このたわみがある程度進むと、吸着パッド１４の傾きとともに、パッド支持部材１５の傾きも大きくなって、溝部１５２の幅が狭まり、ついには、溝部１５２を挟んだ両端部は、図６（ｂ）のように直接当接される。
【００３１】
すると、この溝部１５２両端部の当接により、パッド支持部材１５の溝部１５２部分でのバネ成分に、溝部１５２両端部の当接によるバネ成分が並列に結合されるようになって、この時点を境に吸着パッド１４のたわみ方向のバネ定数は、上述した図５に似た急激な増加特性が得られるので、この場合も第２の実施の形態と同様な効果が得られる。
【００３２】
また、ここでは、パッド支持部材１５に溝部１５２を形成するようにしているで、第２実施の形態と比べて加工箇所、部品点数を少なくでき、コスト的に有利にできる。
（第４の実施の形態）
図７は、本発明の第４の実施の形態の概略構成を示している。
【００３３】
この場合、基板載置台３１に段部３２１を有する穴部３２を形成し、この穴部３２の段部３２１に弾性を有するダイヤフラム３３を気密に取り付け、このダイヤフラム３３で仕切られた穴部３２下方を通気室３２２に形成している。
【００３４】
ダイヤフラム３３の中央部に連なる連通管３４を介して吸着パッド３５を取り付けている。この吸着パッド３５は、吸着部３５１を有し、この吸着部３５１の中央部に連通管３４を介して通気室３２２に連通する穴部３５２を形成している。また、吸着パッド３５は、ダイヤフラム３３に取り付けた状態で、載置台３１面より上方に位置するようになっている。
【００３５】
一方、穴部３２下方のを通気室３２２には、通気管３６を連通するとともに、電磁弁３７を介して真空ポンプ３８を接続し、この真空ポンプ３８でのエア引きによるエア駆動力により、吸着パッド３５の吸着部３５１にエア吸着力を得られるようにするとともに、さらに通気室３２２の排気をも可能にしている。
【００３６】
しかして、いま、図７（ａ）に示すように吸着パッド３５の吸着部３５１が載置台３１面より上方に位置している状態から、ガラス基板３９が載置された場合、吸着パッド３５の吸着部３５１は、ダイヤフラム３３の弾性により、図７（ｂ）に示すようにガラス基板３９に多少の反りが存在していても、ガラス基板３９面に添うように密着される。
【００３７】
この状態から、電磁弁３７を開くと、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の吸部３５１までのエア通路が確保され、真空ポンプ３８でのエア引きにより吸着パッド３５の吸着部３５１へのガラス基板３９の吸着が成立する（図７（ｂ））。
【００３８】
さらに、真空ポンプ３８によりエア引きを行うと、通気室３２２内の気圧が低下し、図７（ｃ）に示すようにダイヤフラム３３が通気室３２２側にたわむ。これにより吸着パッド３５の吸着部３５１は、下方向に引き込まれるようになり、ガラス基板３９は、載置台３１面と面一の状態で固定される。
【００３９】
この場合、吸着部３５１の面積をＳ1 、ダイヤフラム３３の面積をＳ2 とし、真空ポンプ３８により、これら吸着部３５１およびダイヤフラム３３にかかる外気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用する吸着力はＳ1 ・Ｐで、ダイヤフラム３３に作用する引張り力は、Ｓ2 ・Ｐとなる。これにより、Ｓ1 ・Ｐ＜Ｓ2 ・Ｐとすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れるおそれがあるので、Ｓ1 ・Ｐ＞Ｓ2 ・Ｐになるように設定する必要がある。
【００４０】
これにより、ガラス基板３９に多少の反りなどがあっても、ガラス基板３９に対する吸着パッド３５の吸着部３５１の吸着を確実に行い、載置台３１上に固定するようにできるので、ガラス基板３９に関する検査を安定した状態で精度よく行うことができる。
【００４１】
また、吸着部３５１によりガラス基板３９を吸着した状態から、ダイヤフラム３３を通気室３２２側にたわませてガラス基板３９を載置台３１上に固定するようにしているが、このダイヤフラム３３のたわみの時点から吸着部３５１に対するダイヤフラム３３の弾性が急激に変化され、上述した図５に似た特性が得られるので、この場合も第２の実施の形態と同様な効果が得られる。
【００４２】
その後、電磁弁３７を閉じると、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の吸着部３５１までのエア通路が遮断され、吸着部３５１によるガラス基板３９の吸着状態が解除される。次いで、ガラス基板３９を載置台３１から取り除くと、ダイヤフラム３３とともに吸着パッド３５も図７（ａ）の状態に自動復帰される。
【００４３】
なお、図８に示すように、載置台３１上に上述した図７の構成のものに、さらに複数の吸着溝４０を配置し、これら吸着溝４０に通気管３６１を連通するとともに、電磁弁３７１を介して真空ポンプ３８に接続するようにして、最初に電磁弁３７を開いて上述したようにガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだ後、電磁弁３７１を開いて吸着溝４０にエア吸着力を作用させるようにすれば、ガラス基板３９を効率的に吸着でき、より強固にガラス基板３９を固定することができる。
（第５の実施の形態）
図９は、本発明の第５の実施の形態の概略構成を示すもので、図７と同一部分には同符号を付している。
【００４４】
この場合、載置台３１の穴部３２中に吸着部３５１を有する吸着パッド３５をＯリング４１を介して上下動可能に設け、この吸着パッド３５下方の穴部３２を通気室３２２に形成している。そして、吸着部３５１中央部の穴部３５２を通気室３２２に連通している。
【００４５】
そして、通気室３２２には、圧縮バネ４２を設け、この圧縮バネ４２の弾性力により、吸着パッド３５を上方向に押し上げるようにしている。
しかして、この場合も、吸着パッド３５は、圧縮バネ４２の弾性力により載置台３１面より上方に位置されており、載置台３１上にガラス基板３９が載置されると、このガラス基板３９面に添うように密着される。この状態から、電磁弁３７を開くと、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の吸着部３５１までのエア通路が確保され、真空ポンプ３８でのエア引きにより吸着パッド３５の吸着部３５１へのガラス基板３９の吸着が成立する。
【００４６】
この状態から、さらに真空ポンプ３８によりエア引きを行うと、通気室３２２内部が排気され、吸着パッド３５は、圧縮バネ４２の弾性力に抗して下方向に引き込まれるようになって、ガラス基板３９は、載置台３１面と面一の状態で固定される（図９）。
【００４７】
この場合、吸着部３５１の面積をＳ11、通気室３２２の断面積をＳ12とし、真空ポンプ３８により、これら吸着部３５１および通気室３２２にかかる外気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用する吸着力はＳ11・Ｐで、圧縮バネ４２に作用する引張り力は、Ｓ12・Ｐとなる。これにより、Ｓ11・Ｐ＜Ｓ12・Ｐとすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れるおそれがあるので、Ｓ11・Ｐ＞Ｓ12・Ｐになるように設定する必要がある。
【００４８】
このようにしても、第４の実施の形態と同様な効果を期待できる。
（第６の実施の形態）
図１０は、本発明の第６の実施の形態の概略構成を示すもので、図７と同一部分には同符号を付している。
【００４９】
この場合、載置台３１の穴部３２中に吸着パッド３５の吸着部３５１中央部の穴部３５２に連通するベローズ管４３を取り付け、このベローズ管４３に通気管３６を連通し、さらに電磁弁３７を介して真空ポンプ３８を接続している。また、この時のベローズ管４３の弾性により吸着パッド３５を上方向に押し上げるようにしている。
【００５０】
しかして、この場合も、吸着パッド３５は、ベローズ管４３の弾性力により載置台３１面より上方に位置されており、載置台３１上にガラス基板３９が載置されると、このガラス基板３９面に添うように密着される。この状態から、電磁弁３７を開くと、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の吸着部３５１までのエア通路が確保され、真空ポンプ３８でのエア引きにより吸着パッド３５の吸着部３５１へのガラス基板３９の吸着が成立する。
【００５１】
この状態から、さらに真空ポンプ３８によりエア引きを行うと、ベローズ管４３内部が排気され、ベローズ管４３の圧縮方向の変形とともに、吸着パッド３５は、下方向に引き込まれるようになって、ガラス基板３９は、載置台３１面と面一の状態で固定される（図１０）。
【００５２】
この場合、吸着部３５１の面積をＳ21、ベローズ管４３の断面積をＳ22とし、真空ポンプ３８により、これら吸着部３５１およびベローズ管４３にかかる外気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用する吸着力はＳ21・Ｐで、ベローズ管４３に作用する引張り力は、Ｓ22・Ｐとなる。これにより、Ｓ21・Ｐ＜Ｓ22・Ｐとすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れるおそれがあるので、Ｓ21・Ｐ＞Ｓ22・Ｐになるように設定する必要がある。
【００５３】
このようにしても、第４の実施の形態と同様な効果を期待できる。
なお、上述した第１乃至第６の実施の形態では、一貫してガラス基板について述べたが、ウェハなどの大型基板吸着にも適用することができる。また、第４の実施の形態では、吸着パッドを固定するための押え枠体を載置台１１の上面に取り付けるようにしたが、吸着パッドだけが載置台上面より突出するように押え枠体を載置台に埋め込むこともできる。
【００５４】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、基板吸着部を有する吸着パッドは、弾性部材のパッド支持部材による支持により、所定範囲で自由に動けるようになっていて、基板の傾きに対してもパッド支持部材の変形により、吸着部を吸着でき、さらにパッド支持部材の弾性力により外れにくい状態で保持できるので、安定した状態での基板検査を実現できる。
【００５５】
また、基板吸着部に基板を吸着した状態で、弾性部材のバネ定数の急激な増加により基板の振動を抑制できるので、顕微鏡を使用した基板検査の場合に、顕微鏡像のブレや焦点ズレによるボケなどを確実に防止でき、精度の高い検査を行うことができる。
【００５６】
また、載置台上面より吸着パッドを突出させ、この吸着パッドを弾性的に支持することにより、基板に反りなどがあっても吸着部での吸着を確実に行うことができ、基板に関する検査を安定した状態で精度よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態に用いられる基板吸着部材の概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態に用いられる基板吸着部材の概略構成を示す図。
【図４】本発明の第２の実施の形態に用いられる基板吸着部材の概略構成を示す図。
【図５】第２の実施の形態を説明するための図。
【図６】本発明の第３の実施の形態に用いられる基板吸着部材を構成するパッド支持部材の概略構成を示す図。
【図７】本発明の第４実施の形態の概略構成を示す図。
【図８】第４実施の形態の概略構成を示す図。
【図９】本発明の第５実施の形態の概略構成を示す図。
【図１０】本発明の第６実施の形態の概略構成を示す図。
【図１１】従来の基板吸着装置の一例の概略構成を示す図。
【図１２】載置台上のガラス基板の状態を説明するための図。
【符号の説明】
１１…載置台、
１１１…吸着パッド取付け部、
１１２…溝部、
１１３…穴部、
１２…ガラス基板、
１３…基板吸着部材、
１４…吸着パッド、
１４１…吸着部、
１４２…穴部、
１４３…段部、
１５…パッド支持部材、
１５１…吸盤、
１５２…溝部、
１６…間隙、
１７…間隙、
１８…押え枠体、
１８１…穴部、
１９…通気管、
２０…電磁弁、
２１…真空ポンプ、
２２…間隙、
２３…ゴムブッシュ、
３１…載置台、
３２…穴部、
３２２…通気室、
３３…ダイヤフラム、
３４…連通管、
３５…吸着パッド、
３５１…吸着部、
３６…通気管、
３７…電磁弁、
３８…真空ポンプ、
３９…ガラス基板、
４１…Ｏリング、
４２…圧縮バネ、
４３…ベローズ管。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate adsorbing member and an apparatus used in, for example, an inspection process of a large glass substrate for a liquid crystal panel.
[0002]
[Prior art]
Recently, with the advancement of liquid crystal technology, display elements such as liquid crystal panels have also been increased in size, and at the same time, glass substrates called master substrates have been increased in size.
Such a glass substrate is extremely thin with respect to its size and is easy to bend. However, various inspections using a microscope or the like are performed on the glass substrate from the viewpoint of quality control. These inspections are performed in a state where they are placed on a large stage of an inspection apparatus.
[0003]
Therefore, conventionally, an air adsorption method for a large glass substrate disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-183366 has been considered. In FIG. 11, a plurality of rectangular suction grooves 2 a to 2 d are formed on the surface of the mounting table 1 symmetrically with respect to the center point O of the mounting table 1 at appropriate intervals. The glass placed on the mounting table 1 in this manner by adsorbing air in order with an appropriate time lag in the order of the suction groove 2d far from the suction groove 2a close to the center point O with respect to the grooves 2a to 2d. The entire surface of the substrate 3 is brought into close contact with the surface of the mounting table 1 so that it can be stably fixed.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to such an air adsorption method, if the glass substrate 3 is warped and the peripheral portion of the glass substrate 3 is slightly lifted from the surface of the mounting table 1 as shown in FIG. The surface of the table 1 and the surface of the glass substrate 3 are not in close contact, and stable substrate inspection may not be possible. For this reason, if the air adsorbing force is increased and the glass substrate 3 surface is forcibly brought into close contact, the glass substrate 3 that is extremely thin and fragile may be damaged by a large attraction force during the adsorption.
[0005]
Further, in recent substrate inspections using a microscope, it is performed to detect scratches and dust on the substrate using transmitted illumination. In the mounting table 1 applied to the above-described method, the mounting table There is also a problem that such a substrate inspection cannot be performed because no hole is formed in the central portion.
[0006]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a substrate adsorbing member and an apparatus that can reliably adsorb a substrate to a mounting table and can realize highly accurate and stable substrate inspection.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The substrate adsorbing member of the present invention has a substrate adsorbing portion at the top, a hollow adsorbing pad having a stepped portion on the upper peripheral surface, a hole formed at the center of the substrate adsorbing portion and communicating with the hollow, The suction pad is inserted into the hollow of the suction pad with a gap, and a suction cup is integrally formed at an end of the suction side of the substrate that is in contact with the back surface of the suction pad, and is formed in a cylindrical shape that communicates with the hole of the substrate suction part. A pad support member made of an elastic member that elastically supports the pad, and a mounting surface on which a substrate is placed by allowing the suction pad to move within a predetermined range, having a hole larger than the substrate suction portion. And a presser frame portion to be attached.
[0008]
Substrate adsorption device of the present invention includes: a mounting table for mounting a thin plate-shaped substrate, placed on the mounting table, for supporting a suction pad having a substrate attracting portion for generating an air suction force, the suction pad A suction pad support member that causes an elastic force to act in a direction in which the suction pad protrudes from the mounting table surface , and that exerts an elastic force in a direction in which the suction force is drawn into the hole portion that houses the substrate suction member . And an air control means for generating an air suction force at the substrate suction portion of the suction pad .
[0009]
As a result, according to the substrate suction member of the present invention, the suction pad having the substrate suction portion can move freely within a predetermined range by the support of the elastic member by the pad support member. However, the suction portion can be sucked by the deformation of the pad support member, and can be held in a state where it is difficult to come off due to the elastic force of the pad support member.
[0010]
Further, according to the substrate suction member of the present invention , the suction pad abuts against the elastic member in a state where the substrate is attracted to the substrate suction portion, so that the spring constant for the suction pad increases rapidly and vibrations on the substrate side are reduced. Can be suppressed.
[0011]
Further, according to the substrate suction device of the present invention , the suction pad is projected upward from the mounting table surface and elastically supported so that even if the substrate is warped, the pad is close to the substrate and the substrate is tilted during suction. Since the suction pad is deformed to adhere to the substrate and adheres to the substrate, the suction at the suction portion can be performed reliably, and the inspection relating to the substrate can be performed accurately in a stable state.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 shows a schematic configuration of a substrate suction apparatus for sucking and holding a glass substrate to which the present invention is applied. In the figure, reference numeral 11 denotes a mounting table on which a glass substrate 12 is mounted. The mounting table 11 has a rectangular frame shape. The glass substrate 12 is mounted on the rectangular frame portion and the central portion is transparent. It forms in a hole and is comprised in what is called a hollow mounting base.
[0013]
The mounting table 11 is provided with a plurality of substrate adsorption members 13. In this case, a total of eight substrate adsorbing members 13 are arranged, two at the periphery in the longitudinal direction of the mounting table 11 and two at the periphery in the width direction.
[0014]
FIG. 2 shows a cross-sectional view of a schematic configuration of the substrate adsorption member 13. In this case, FIG. 2 illustrates only a half from the center plane of the symmetrical shape.
In the figure, reference numeral 14 denotes a hollow suction pad formed of a synthetic resin or the like. The suction pad 14 has a suction portion 141 on the upper side, and a hole portion communicating with the hollow portion is provided at the center of the suction portion 141. 142 is formed. A stepped portion 143 is formed on the upper peripheral surface of the suction pad 14.
[0015]
A cylindrical pad support member 15 is inserted into the hollow portion of the suction pad 14 through a slight gap 16. The pad support member 15 is made of a relatively soft and easily deformable elastic material such as rubber. A suction cup 151 is formed at the tip, and the surface of the suction cup 151 is brought into contact with the back side of the suction portion 141 of the suction pad 14. ing.
[0016]
And the board | substrate adsorption | suction member 13 which has such an adsorption | suction pad 14 and the pad support member 15 is attached to the adsorption | suction pad attachment part 111 of the mounting base 11, as shown in FIG. In this case, the suction pad mounting portion 111 forms a groove portion 112, and has a hole portion 113 on the bottom surface of the groove portion 112, and the suction pad 14 provided with the pad support member 15 is inserted into the groove portion 112 with a slight gap 17. And the hole 113 on the bottom surface of the groove 112 communicates with the hollow part of the pad support member 15 and the hole 142 at the center of the suction part 141 of the suction pad 14 via the suction cup 151.
[0017]
Then, the hole 181 of the presser frame 18 is inserted into the tip of the suction pad 14 and the suction pad 14 is removed by engaging the step 143 of the suction pad 14 with the peripheral edge of the hole 181. Is held on the mounting table 11. In this case, a slight gap 22 is also formed between the hole 181 of the presser frame 18 and the tip of the suction pad 14 to allow the suction pad 14 to move within a predetermined range. Further, the presser frame 18 is fixed to the mounting table 11 with screws or the like (not shown).
[0018]
Then, the vent pipe 19 is communicated with the hole 113 on the bottom surface of the groove 112 to which the substrate adsorbing member 13 is attached, and the vacuum pump 21 is connected via the electromagnetic valve 20, and air is pulled by the vacuum pump 21. The air suction force can be obtained at the suction portion 141 of the suction pad 14 via the pad support member 15 by the air driving force.
[0019]
Next, the operation of the embodiment configured as described above will be described.
Now, in the inspection process of the glass substrate 12, the glass substrate 12 is supplied onto the hollow mounting table 11. At this time, the peripheral part of the glass substrate 12 is the peripheral edge in the longitudinal direction and the width direction of the mounting table 11. It is made to be located on the board | substrate adsorption | suction member 13 provided in this.
[0020]
From this state, when air is drawn by the vacuum pump 21, each substrate suction member 13 obtains an air suction force on the suction portion 141 of the suction pad 14 via the pad support member 15, and the glass substrate 12. Is fixed on the mounting table 11 in an adsorbed state.
[0021]
Here, if the surface of the glass substrate 12 is completely flat, there is no problem because the surface of the glass substrate 12 is kept parallel to the surface of the mounting table 11, but if the glass substrate 12 is warped, it is parallel to the surface of the mounting table 11. It may disappear. In this case, in the substrate suction member 13 of the present invention, the suction pad 14 having the suction portion 141 is supported by the pad support member 15 of an elastic member in the hollow portion, and corresponds to the inclination due to the warp of the glass substrate 12. Due to the deformation of the pad support member 15, the suction pad 14 can freely tilt in the range of the gap 17 between the groove portion 112 of the mounting table 11 and the gap 22 between the hole portion 181 of the holding frame 18 and the tip portion of the suction pad 14. Therefore, the suction portion 141 of the suction pad 14 is substantially parallel to the glass substrate 12 with respect to the warped surface of the glass substrate 12, the glass substrate 12 is satisfactorily sucked, and the elastic force of the pad support member 15. Thus, it is held in a state where it is difficult to remove the adsorption.
[0022]
As a result, the glass substrate 12 can be surely adsorbed and placed by the plurality of substrate adsorbing members 13 on the mounting table 11 even when there is some warping. Vibration deviation can be prevented, and the glass substrate 12 can be inspected in a stable state. Moreover, since the suction pad 14 protrudes from the upper surface of the mounting table 11, even if the glass substrate 12 is warped, the glass substrate 12 is always close to the suction pad 14 and a good suction force acts. Further, since the mounting table 11 on which the glass substrate 12 is mounted is configured as a so-called hollow mounting table in which a central portion is formed in a through-hole portion, it is also applied to detection of scratches and dust using transmitted illumination. be able to.
(Second Embodiment)
By the way, in 1st Embodiment, although comprised by the deformation | transformation of the pad support member 15 which supports the suction pad 14, it is comprised so that the suction pad 14 may incline freely in the range of the clearance gap 17 with the groove part 112 of the mounting base 11. The pad support member 15 is made of an elastic member that is relatively soft and easily deformed, such as rubber. Therefore, if the vibration enters from the floor surface or the vibration is transmitted to the glass substrate 12 by a down blow in a clean room, etc. In such a case, the pad support member 15 may resonate and vibration of the glass substrate 12 may not be suppressed. In particular, in the case of substrate inspection using a microscope, vibration and deflection of the glass substrate 12 in the optical axis direction are likely to cause blurring or blurring in the microscope image, resulting in a decrease in inspection accuracy.
[0023]
Therefore, in the second embodiment, such vibration of the pad support member 15 itself is prevented. FIG. 4 shows a schematic configuration of the second embodiment of the present invention, and the same parts as those in FIG.
[0024]
In this case, an elastic member, for example, a rubber bush 23 is provided along the peripheral edge of the hole 181 of the presser frame 18 that faces the tip of the suction pad 14. In this case, instead of the rubber bush 23, an elastic member such as urethane or silicon may be used.
[0025]
In this case, the gap 22 between the rubber bush 23 and the tip of the suction pad 14 is adjusted in consideration of the ease of bending of the glass substrate 12 that is symmetrical to the inspection.
In this manner, the suction pad 14 is tilted by the deformation of the pad support member 15 and is attracted to the warped surface of the glass substrate 12 in response to the tilt due to the warp of the glass substrate 12. If the deflection is caused by the vibration or the down-blow in the clean room, the inclination of the suction pad 14 increases as the deflection progresses to some extent, and the gap 22 with the hole 181 of the presser frame 18 is narrowed. The tip of the suction pad 14 comes into contact with the rubber bush 23 and its movement is restricted.
[0026]
As a result, the spring component of the rubber bush 23 is coupled in parallel to the spring component of the pad support member 15 by this contact, and the spring constant for the suction pad 14 suddenly increases as shown in FIG. Therefore, the glass substrate 12 adsorbed on the adsorbing portion 141 is less likely to vibrate, and the deflection of the glass substrate 12 itself is suppressed.
[0027]
In this way, even when vibration is transmitted to the glass substrate 12, the glass substrate 12 itself can be made difficult to vibrate and the deflection of the glass substrate 12 can be suppressed, so that in the case of substrate inspection using a microscope. In addition, blurring and blurring of the microscopic image can be reliably prevented, and highly accurate substrate inspection can be performed.
[0028]
It should be noted that by adjusting the balance between the elastic force of the pad support member 15 and the elastic force of the rubber bush 23, the balance between the ease of adsorption by the adsorption pad 14 and the difficulty of vibration of the glass substrate 12 is set to the best. You can also.
(Third embodiment)
In the third embodiment, the pad support member 15 itself has the function of the rubber bush 23 described in the second embodiment.
[0029]
In this case, as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), the cylindrical pad support member 15 made of a relatively soft and easily deformable elastic member such as rubber forms a suction cup 151 at the distal end, and the proximal end side. A narrow groove 152 is formed along the circumferential direction of the circumferential surface of the groove. In this case, the groove part 152 may be formed linearly from a certain point on the peripheral surface.
[0030]
Others are the same as FIG. 4 mentioned above.
In this case, when the deflection of the glass substrate 12 occurs, when the deflection proceeds to some extent, the inclination of the suction pad 14 and the inclination of the pad support member 15 increase, and the width of the groove portion 152 becomes narrow. The both end portions sandwiching the groove portion 152 are in direct contact with each other as shown in FIG.
[0031]
Then, due to the contact between both ends of the groove 152, the spring component due to the contact between both ends of the groove 152 is coupled in parallel to the spring component at the groove 152 of the pad support member 15. Since the spring constant in the deflection direction of the suction pad 14 has a sharp increase characteristic similar to that shown in FIG. 5 described above, the same effect as in the second embodiment can be obtained in this case as well.
[0032]
Further, here, since the groove portion 152 is formed in the pad support member 15, the number of parts to be processed and the number of parts can be reduced as compared with the second embodiment, which is advantageous in terms of cost.
(Fourth embodiment)
FIG. 7 shows a schematic configuration of the fourth embodiment of the present invention.
[0033]
In this case, a hole 32 having a step 321 is formed in the substrate mounting table 31, and an elastic diaphragm 33 is airtightly attached to the step 321 of the hole 32, and below the hole 32 partitioned by the diaphragm 33. Is formed in the ventilation chamber 322.
[0034]
A suction pad 35 is attached via a communication pipe 34 connected to the central portion of the diaphragm 33. The suction pad 35 has a suction portion 351, and a hole portion 352 that communicates with the ventilation chamber 322 via the communication pipe 34 is formed in the central portion of the suction portion 351. Further, the suction pad 35 is positioned above the surface of the mounting table 31 in a state of being attached to the diaphragm 33.
[0035]
On the other hand, a vent pipe 36 is connected to the vent chamber 322 below the hole 32 and a vacuum pump 38 is connected via an electromagnetic valve 37, and suction is performed by an air driving force generated by air suction by the vacuum pump 38. The air suction force can be obtained at the suction portion 351 of the pad 35, and the exhaust of the ventilation chamber 322 is also enabled.
[0036]
7A, when the glass substrate 39 is placed from the state in which the suction portion 351 of the suction pad 35 is positioned above the surface of the mounting table 31, the suction pad 35 Due to the elasticity of the diaphragm 33, the suction portion 351 is in close contact with the surface of the glass substrate 39 even if there is some warpage in the glass substrate 39 as shown in FIG.
[0037]
When the electromagnetic valve 37 is opened from this state, an air passage from the vacuum pump 38 to the suction portion 351 of the suction pad 35 is secured, and the glass substrate 39 to the suction portion 351 of the suction pad 35 is pulled by air suction by the vacuum pump 38. Is established (FIG. 7B).
[0038]
Further, when air is drawn by the vacuum pump 38, the air pressure in the ventilation chamber 322 decreases, and the diaphragm 33 bends toward the ventilation chamber 322 as shown in FIG. 7C. As a result, the suction portion 351 of the suction pad 35 is drawn downward, and the glass substrate 39 is fixed in a state flush with the surface of the mounting table 31.
[0039]
In this case, if the area of the adsorbing part 351 is S1, the area of the diaphragm 33 is S2, and the pressure difference between the adsorbing part 351 and the outside air applied to the diaphragm 33 by the vacuum pump 38 is P, the adsorbing that acts on the adsorbing part 351 The force is S1 · P, and the tensile force acting on the diaphragm 33 is S2 · P. Thus, if S1 · P <S2 · P, the glass substrate 39 may be detached from the suction portion 351 when the glass substrate 39 is pulled to the surface of the mounting table 31, so that S1 · P> S2 · P. Must be set to
[0040]
As a result, even if the glass substrate 39 is slightly warped, the suction portion 351 of the suction pad 35 can be reliably sucked and fixed onto the mounting table 31 with respect to the glass substrate 39. Inspection can be performed accurately in a stable state.
[0041]
In addition, from the state where the glass substrate 39 is adsorbed by the adsorbing portion 351, the diaphragm 33 is bent toward the ventilation chamber 322 side, and the glass substrate 39 is fixed on the mounting table 31. Since the elasticity of the diaphragm 33 with respect to the adsorbing portion 351 is suddenly changed from the time point, and the characteristics similar to those in FIG. 5 described above are obtained, the same effect as in the second embodiment can be obtained also in this case.
[0042]
Thereafter, when the electromagnetic valve 37 is closed, the air passage from the vacuum pump 38 to the suction portion 351 of the suction pad 35 is blocked, and the suction state of the glass substrate 39 by the suction portion 351 is released. Next, when the glass substrate 39 is removed from the mounting table 31, the suction pad 35 is automatically returned to the state shown in FIG.
[0043]
As shown in FIG. 8, a plurality of suction grooves 40 are further arranged on the mounting table 31 in the configuration of FIG. 7 described above, and a vent pipe 361 is communicated with these suction grooves 40 and an electromagnetic valve 371. The electromagnetic valve 37 is first opened and the glass substrate 39 is drawn to the surface of the mounting table 31 as described above, and then the electromagnetic valve 371 is opened and air is adsorbed in the adsorption groove 40. If the force is applied, the glass substrate 39 can be efficiently adsorbed and the glass substrate 39 can be fixed more firmly.
(Fifth embodiment)
FIG. 9 shows a schematic configuration of the fifth embodiment of the present invention, and the same components as those in FIG.
[0044]
In this case, a suction pad 35 having a suction portion 351 is provided in the hole portion 32 of the mounting table 31 so as to be movable up and down via the O-ring 41, and a hole portion 32 below the suction pad 35 is formed in the ventilation chamber 322. Yes. A hole 352 at the center of the suction portion 351 is communicated with the ventilation chamber 322.
[0045]
The ventilation chamber 322 is provided with a compression spring 42, and the suction pad 35 is pushed upward by the elastic force of the compression spring 42.
In this case as well, the suction pad 35 is positioned above the surface of the mounting table 31 by the elastic force of the compression spring 42, and when the glass substrate 39 is mounted on the mounting table 31, the glass substrate 39. Adhering to the surface. When the electromagnetic valve 37 is opened from this state, an air passage from the vacuum pump 38 to the suction portion 351 of the suction pad 35 is secured, and the glass substrate 39 to the suction portion 351 of the suction pad 35 is pulled by air suction by the vacuum pump 38. Adsorption is established.
[0046]
From this state, when the air is further pulled by the vacuum pump 38, the inside of the ventilation chamber 322 is exhausted, and the suction pad 35 is pulled downward against the elastic force of the compression spring 42, so that the glass substrate 39 is fixed in a state of being flush with the surface of the mounting table 31 (FIG. 9).
[0047]
In this case, if the area of the adsorption part 351 is S11, the cross-sectional area of the ventilation chamber 322 is S12, and the pressure difference between the adsorption part 351 and the outside air applied to the ventilation chamber 322 by the vacuum pump 38 is P, the adsorption part 351 The acting attractive force is S11 · P, and the tensile force acting on the compression spring 42 is S12 · P. As a result, when S11 · P <S12 · P, the glass substrate 39 may be detached from the suction portion 351 when the glass substrate 39 is pulled to the surface of the mounting table 31, so that S11 · P> S12 · P. Must be set to
[0048]
Even if it does in this way, the effect similar to 4th Embodiment can be anticipated.
(Sixth embodiment)
FIG. 10 shows a schematic configuration of the sixth embodiment of the present invention, and the same parts as those in FIG.
[0049]
In this case, a bellows pipe 43 communicating with the hole 352 in the central portion of the suction portion 351 of the suction pad 35 is attached in the hole 32 of the mounting table 31, the ventilation pipe 36 is communicated with the bellows pipe 43, and the solenoid valve 37 is further connected. A vacuum pump 38 is connected via Further, the suction pad 35 is pushed upward by the elasticity of the bellows tube 43 at this time.
[0050]
In this case as well, the suction pad 35 is positioned above the surface of the mounting table 31 by the elastic force of the bellows tube 43, and when the glass substrate 39 is mounted on the mounting table 31, the glass substrate 39. Adhering to the surface. When the electromagnetic valve 37 is opened from this state, an air passage from the vacuum pump 38 to the suction portion 351 of the suction pad 35 is secured, and the glass substrate 39 to the suction portion 351 of the suction pad 35 is pulled by air suction by the vacuum pump 38. Adsorption is established.
[0051]
From this state, when the air is further pulled by the vacuum pump 38, the inside of the bellows pipe 43 is exhausted, and the suction pad 35 is drawn downward along with the deformation of the bellows pipe 43 in the compression direction. 39 is fixed in a state of being flush with the surface of the mounting table 31 (FIG. 10).
[0052]
In this case, assuming that the area of the adsorbing part 351 is S21, the cross-sectional area of the bellows pipe 43 is S22, and the pressure difference between the adsorbing part 351 and the outside air applied to the bellows pipe 43 is P by the vacuum pump 38, the adsorbing part 351 The acting adsorption force is S21 · P, and the tensile force acting on the bellows tube 43 is S22 · P. As a result, if S21 · P <S22 · P, the glass substrate 39 may be detached from the suction portion 351 when the glass substrate 39 is pulled to the surface of the mounting table 31, so that S21 · P> S22 · P. Must be set to
[0053]
Even if it does in this way, the effect similar to 4th Embodiment can be anticipated.
In the first to sixth embodiments described above, the glass substrate has been described consistently, but it can also be applied to adsorption of a large substrate such as a wafer. In the fourth embodiment, the presser frame for fixing the suction pad is attached to the upper surface of the mounting table 11, but the presser frame is mounted so that only the suction pad protrudes from the upper surface of the mounting table. It can also be embedded in the table.
[0054]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the suction pad having the substrate suction portion can be freely moved within a predetermined range by the support of the elastic member by the pad support member, and also with respect to the inclination of the substrate. By deforming the pad support member, the adsorbing portion can be adsorbed and further held by the elastic force of the pad support member, so that it is possible to realize a substrate inspection in a stable state.
[0055]
In addition, since the vibration of the substrate can be suppressed by the rapid increase of the spring constant of the elastic member while the substrate is adsorbed on the substrate adsorbing part, in the case of inspecting the substrate using a microscope, the blur due to blurring or defocusing of the microscope image is caused. Etc. can be reliably prevented, and a highly accurate inspection can be performed.
[0056]
In addition, by making the suction pad protrude from the top surface of the mounting table and elastically supporting this suction pad, even if the substrate is warped, it is possible to reliably perform suction at the suction part, and stable substrate inspection Can be carried out with high accuracy.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a substrate adsorption member used in the first embodiment.
FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a substrate adsorption member used in the first embodiment.
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a substrate adsorption member used in a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a diagram for explaining a second embodiment;
FIG. 6 is a diagram showing a schematic configuration of a pad support member that constitutes a substrate adsorbing member used in the third embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a diagram showing a schematic configuration of a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a diagram showing a schematic configuration of a fourth embodiment.
FIG. 9 is a diagram showing a schematic configuration of a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a diagram showing a schematic configuration of a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a diagram showing a schematic configuration of an example of a conventional substrate suction apparatus.
FIG. 12 is a view for explaining the state of the glass substrate on the mounting table.
[Explanation of symbols]
11 ... mounting table,
111 ... Adsorption pad mounting part,
112 ... groove,
113 ... hole,
12 ... Glass substrate,
13: Substrate adsorption member,
14 ... Suction pad,
141 ... Adsorption part,
142 ... hole,
143 ... a step,
15 ... Pad support member,
151 ... sucker,
152 ... groove part,
16 ... Gap,
17 ... Gap,
18 ... presser frame,
181 ... hole,
19 ... vent pipe,
20 ... Solenoid valve,
21 ... Vacuum pump,
22 ... Gap,
23 ... Rubber bush,
31 ... mounting table,
32 ... hole,
322: Ventilation chamber,
33 ... Diaphragm,
34 ... Communication pipe,
35 ... Suction pad,
351 ... Adsorption part,
36 ... vent pipe,
37 ... Solenoid valve,
38 ... vacuum pump,
39 ... Glass substrate,
41 ... O-ring,
42 ... compression spring,
43 ... Bellows tube.

Claims

A hollow suction pad having a substrate suction part at the top and a stepped part on the upper peripheral surface;
A hole formed in the center of the substrate suction portion and communicating with the hollow;
The suction pad is inserted into the hollow of the suction pad with a gap, and a suction cup is integrally formed at an end of the suction side of the substrate that is in contact with the back surface of the suction pad, and is formed in a cylindrical shape that communicates with the hole of the substrate suction part. A pad support member made of an elastic member that elastically supports the pad;
A substrate suction member comprising: a holding frame portion that has a hole portion larger than the substrate suction portion and attaches the suction pad to a mounting surface on which the substrate is placed so as to be movable within a predetermined range. .

The substrate pressing member according to claim 1, wherein the pressing member is provided with an elastic member for preventing vibration of the suction pad at an inner peripheral edge portion of the hole portion facing the substrate suction portion.

The pad support member forms a groove portion having an outer diameter smaller than the outer diameter of the pad support member in a circumferential direction of a peripheral surface at a base end portion, and both end portions between the groove portions are brought into contact with each other by deformation of the pad member. The substrate adsorbing member according to claim 1, wherein the spring constant is increased.