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JP3780893B2 - Microwave generator - Google Patents

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JP3780893B2
JP3780893B2 JP2001309610A JP2001309610A JP3780893B2 JP 3780893 B2 JP3780893 B2 JP 3780893B2 JP 2001309610 A JP2001309610 A JP 2001309610A JP 2001309610 A JP2001309610 A JP 2001309610A JP 3780893 B2 JP3780893 B2 JP 3780893B2
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magnetron
anode current
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microwave generator
magnetrons
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和穂 坂本
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Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マグネトロンを駆動してマイクロ波を発生させる装置で、特に複数のマグネトロンを同時に1個の高電圧電源によって駆動する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のマイクロ波発生装置としては、例えば図6図7に記載されているようなものがあった。図6は、従来のマイクロ波発生装置で2個のマグネトロンを駆動するためのものである。
【0003】
図6のマイクロ波発生装置は、マグネトロンそれぞれに専用の電源が必要であり、マグネトロンが2個で有れば電源も2個必要であった。すなわち電源を構成する高圧トランス7、高圧コンデンサ8、高圧ダイオード9もそれぞれ2個必要であった。これらの部品は、高圧で大きな電力を扱うため、サイズ、重量の面でもコスト負担が大きくなった。
【0004】
また、図7は、マグネトロンを駆動するための電源としてインバーター電源方式を採用したものである。すなわち、商用電源を、整流回路14、平滑回路を構成するチョーク13と平滑コンデンサ12、および高周波発振のための共振コンデンサ11、共振をコントロールし入力電流検出回路の信号15に基づいてスイッチング動作するスイッチング素子10と、これを駆動するインバータ電源制御回路16から成る。これらも、従来であれば、マグネトロンの個数と同じ個数が必要となり、高価でかつ容積も大きくなった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、1個の電源に複数個のマグネトロンを接続し駆動する手段が必要となる。
【0006】
しかしながら、複数のマグネトロンを1個の電源で並列接続した場合に、各マグネトロンの特性に差があるため、各マグネトロン間に流れる電流に差が生じてしまって、バランスがとれなくなる。特にマグネトロンの動作特性の特殊性として、ある所定の電圧まで電流が流れずに、ある所定の電圧をこえると急に電流が流れ出し、かつ少しの電圧の変化に対して電流は大きく変化する。この特性のために、各マグネトロンに流れる電流の差は大きく生じ、バランスは大きく崩れてしまう。
【0007】
本発明は、このような個々のマグネトロンの特性バラツキによるバランスが崩れる課題を解決するもので、各マグネトロンが一定のバランスを保ちながら安定して動作するマイクロ波発生装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するために、本発明のマイクロ波発生装置は、複数個のマグネトロンと、これらのマグネトロンに高圧電力を供給する高電圧電源とマグネトロンの動作特性を変化できる動作特性可変手段と、各マグネトロンのアノード電流の検出手段と、複数のマグネトロンの中から1個を標準マグネトロンとして設け標準マグネトロンのアノード電流の検出手段により検出された標準マグネトロンのアノード電流信号と他のマグネトロンのアノード電流検出手段により検出されたアノード電流信号を比較しその結果に基づいてマグネトロンの動作特性可変手段を制御する動作特性可変制御手段とを備えた物である。
【0009】
これによって各マグネトロンに流れるアノード電流間のバランスが保たれることで安定
した動作が可能となる。また、その結果として1個の電源により複数個のマグネトロンの駆動が可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】
請求項1に記載の発明は、マイクロ波を発生する複数個のマグネトロンと、これらのマグネトロンに高圧電力を供給する高電圧電源と、前記マグネトロンの動作特性を変化できる動作特性可変手段と、個々のマグネトロンのアノード電流を検出するアノード電流検出手段と、マグネトロンの動作特性可変手段を制御する動作特性可変制御手段とを備え、前記動作特性可変制御手段は、各マグネトロンのアノード電流検出手段により検出されたアノード電流信号同士を比較し、各マグネトロンのアノード電流が等しくなるように前記動作特性可変手段を制御することによって、マグネトロンの動作特性の特殊性や個々の動作特性のバラツキによって生じるアノード電流のバランスの崩れが生じずに、安定してバランス良く動作する。
【0011】
請求項2に記載の発明は、マイクロ波を発生する複数個のマグネトロンのうち、動作特性が固定された標準マグネトロン1個と、前記標準マグネトロン以外の動作特性が変更可能なマグネトロンと、前記標準マグネトロンを含むこれらのマグネトロンに高圧電力を供給する高電圧電源と、前記動作特性が変更可能なマグネトロンの動作特性を変化させる動作特性可変手段と、個々のマグネトロンのアノード電流を検出するアノード電流検出手段とを備え、前記動作特性可変制御手段は、前記検出手段により検出された前記標準マグネトロンのアノード電流信号と、他のマグネトロンのアノード電流検出手段により検出されたアノード電流信号とを比較し、前記他のマグネトロンのアノード電流が前記標準マグネトロンのアノード電流と等しくなるように前記動作特性可変手段を制御することによって、マグネトロンの動作特性の特殊性や個々の動作特性のバラツキによって生じるアノード電流のバランスの崩れが生じずに、安定してバランス良く動作する。
【0012】
請求項3に記載の発明は、特に、マイクロ波発生装置の動作特性可変手段は、マグネトロンの動作特性の電圧を可変することによって容易に実現できる。また、安定した動作が実現できる。
【0013】
請求項4に記載の発明は、特に、マイクロ波発生装置におけるマグネトロンの動作特性の電圧を可変する手段は、マグネトロンの磁界強度を変化することによって実現できる。
【0014】
請求項5に記載の発明は、特に、マイクロ波発生装置におけるマグネトロンの磁界強度を変化させる手段として磁界調整用コイルを設けることで、マグネトロンに取り付けが容易に実現できる。
【0015】
請求項6に記載の発明は、特に、マイクロ波発生装置における磁界調整用コイルに流す電流値を可変できる動作特性可変制御手段を設けることで、きめの細かな制御が可能になる。
【0016】
請求項7に記載の発明は、特に、マイクロ波発生装置における動作特性可変制御手段の電流の極性を正逆可能にすることで、マグネトロンの動作特性の電圧を上げたり下げたり両方向に制御できる。
【0017】
請求項8に記載の発明は、特に、マイクロ波発生装置における高電圧電源を共振コンデンサやスイッチング素子で構成されるインバータ電源より成り、供給電力を制御できるもので、どんな電力においても各マグネトロンのアノード電流はバランス良く動作できる。
【0018】
【実施例】
以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。
【0019】
(実施例1)
図1は、本発明の実施例1におけるマイクロ波発生装置の回路構成図を示すものである。
【0020】
図1において、7はマグネトロンに高圧電力を供給するために商用電源の電圧を昇圧する高圧トランスであり、その出力電圧を高圧コンデンサ8と高圧ダイオード9によって倍電圧整流回路を構成し、マグネトロンに高圧電力を供給している。マグネトロンは標準マグネトロン1および動作特性可変式マグネトロン2の2個が並列に接続されている。そして、5は動作特性可変式マグネトロン2のアノード電流の検出手段、6は標準マグネトロン1のアノード電流の検出手段である。4はこれら2個のアノード電流検出手段5および6の信号を比較しその差を電圧として出力するアノード電流信号差検知増幅回路、3はアノード電流信号差検知増幅回路4の出力電圧に応じて動作特性可変式マグネトロン2の磁界調整用コイル2−1の電流を制御するコイル電流コントロール手段である。アノード電流信号差検知増幅回路4とコイル電流コントロール手段3は動作特性可変制御手段を構成している。
【0021】
図3に動作特性可変式マグネトロン2の構造を示す。環状のアノードブッロク2−3に複数のベイン2−2が放射状に取り付けられ発振空間を形成している。2−4は磁極で2−5は磁石であり、発振空間に磁界をかけている。2−6はアンテナであり発振空間で発生するマイクロ波エネルギーを放射するものである。2−8はカソードで直熱化型でヒーターより構成され2−7のカソード端子よりカソード加熱用電流を供給している。2−1は磁界調整用コイルであり、磁石2−5との合成により発振空間にかかる磁界強度を調整するもので、その電流によって磁界の強弱調整をするものである。また、この磁界の強度の変化は動作特性可変式マグネトロン2の動作特性の電圧の変化になる。すなわち磁界が強ければ動作電圧は高く、磁界が弱ければ動作電圧は低くなる。
【0022】
以上のように構成されたマイクロ波発生装置について、以下にその動作、作用を説明する。
【0023】
まず図5(a)に、マグネトロンの動作特性を示す。縦軸に電圧、横軸に電流を示す。電圧が発振開始電圧Vsを越えると急に電流が流だし、電圧の変化に対して電流は大きく変化する。また発振空間にかかる磁界が強ければ動作電圧が高く、弱ければ低くなる。一般にマグネトロンは個々に磁石の磁界強度のバラツキで動作電圧にバラツキがある。
【0024】
そこで本発明による実施例のマイクロ波発生装置のように、2個のマグネトロンを動作させる場合、個々のマグネトロン間の動作特性には差が生じる。図5(b)は標準マグネトロン1の動作特性M1に対して動作特性可変式マグネトロン2の動作特性M2が低い場合であり、動作電圧Voに対して標準マグネトロン1のアノード電流Ia1が小さく、動作特性可変式マグネトロン2のアノード電流Ia2が大きくなり両者間には大きな差が生じてバランスが崩れてしまう。図5()は各マグネトロンの動作特性が逆の場合でIa1とIa2の大小が逆になっており大きくバランスを崩してしまった場合を示す。
【0025】
そこで図5()の様に標準マグネトロン1のアノード電流Ia1と動作特性可変式マグネトロン2のアノード電流Ia2を比較し、Ia2>Ia1ならば磁界調整用コイル2−1によって磁界を強くし動作電圧を高くして標準マグネトロン1の動作特性に一致する様にする。そうすることでIa1とIa2が等しくなりバランスのとれた安定した動作となる。また逆にIa2<Ia1ならば磁界調整用コイル2−1によって磁界を弱くし動作電圧を低くすることでIa2=Ia1となりバランスのとれた安定した動作にすることが
できる。
【0026】
図4に、本発明を実現するための制御系の仕組みを示す。図4の6は標準マグネトロン1のアノード電流検出手段でその回路構成手段を示す。5は動作特性可変式マグネトロン2のアノード電流検出手段でその回路構成を示す。どちらのアノード電流検出手段も信号を電圧手段で出力する。4はそれぞれのマグネトロンのアノード電流検出手段の信号を比較し、その差に応じた出力信号を出すアノード電流信号差検知増幅回路である。3はアノード電流信号差検知増幅回路4の信号に対応して磁界調整用コイル2−1に流す電流値の大きさと極性をコントロールするコイル電流コントロール手段である。以上の構成で、各マグネトロンのアノード電流Ia1、Ia2の差を検出し、その差がなくなる様に磁界調整用コイル2−1の電流をコントロールする。その結果、2個のマグネトロンはバランスを保ちながら安定した動作が可能となる。また、アノード電流信号差検知増幅回路4とコイル電流コントロール手段3とで動作特性可変制御手段を構成している。
【0027】
(実施例2)
図2は、本発明による実施例2のマイクロ波発生装置の回路構成図をしめす。
【0028】
図2において、7はマグネトロンに高圧電力を供給するための高圧トランスであり、その出力電圧を高圧コンデンサ8と高圧ダイオード9により倍電圧整流回路を構成し、マグネトロンに高圧電力を供給している。そして商用電源を整流するダイオードブリッジ14、その整流された電力を平滑するチョーク13および平滑コンデンサ12を備え、共振コンデンサ11と高圧トランス7で共振回路を構成し、スイッチング素子10のON−OFF動作によって高周波電力に変換するインバータ電源を構成している。そして入力電流検出回路15の信号を基にインバータ電源制御回路16によってスイッチング素子10のON−OFFをコントロールしている。これによって入力電流の大きさを自由にコントロールできるものである。
【0029】
この構成の場合において、入力電流の大小にかかわらず本発明のマイクロ波発生装置は各マグネトロンのアノード電流のバランスを取り、安定した動作が可能となる。すなわち、入力電流の大きさによって、各マグネトロンのアノード電流も変化する。そして、各マグネトロンのアノード電流Ia1、Ia2の信号も変化するが、アノード電流信号差検知増幅回路4によってその差がなくなる様に磁界調整用コイル2−1の電流値をコントロールするため、Ia1、Ia2はバランスがとれた安定した状態となる。
【0030】
【発明の効果】
以上のように、請求項1〜8に記載の発明によれば、1個の高電圧電源から電力供給される複数個のマグネトロンバランスを保ち、安定した動作駆動を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1におけるマイクロ波発生装置の回路構成図
【図2】 本発明の実施例2におけるマイクロ波発生装置の回路構成図
【図3】 本発明の実施例1および実施例2のマイクロ波発生装置における動作特性可変式マグネトロンの断面構造図
【図4】 本発明のマイクロ波発生装置を実現するための制御系の仕組みを示す図
【図5】 本発明のマイクロ波発生装置のマグネトロンの動作を示す動作特性図
【図6】 従来のマイクロ波発生装置の回路構成図
【図7】 従来のマイクロ波発生装置の回路構成図
【符号の説明】
1 標準マグネトロン
2 動作特性可変式マグネトロン
2−1 磁界調整用コイル
3 コイル電流コントロール手段
4 アノード電流差検知増幅回路
5 動作特性可変式マグネトロンのアノード電流検出手段
6 標準マグネトロンのアノード電流検出手段
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for generating a microwave by driving a magnetron, and more particularly to a method of driving a plurality of magnetrons simultaneously by a single high voltage power source.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as this type of microwave generator, there has been one described in FIGS . 6 and 7 , for example. FIG. 6 is for driving two magnetrons with a conventional microwave generator.
[0003]
The microwave generator shown in FIG. 6 requires a dedicated power source for each magnetron. If there are two magnetrons, two power sources are required. That is, two high-voltage transformers 7, high-voltage capacitors 8, and high-voltage diodes 9 constituting the power supply are also required. Since these parts handle large amounts of power at high voltage, the cost burden is large in terms of size and weight.
[0004]
FIG. 7 adopts an inverter power supply system as a power supply for driving the magnetron. That is, a commercial power source is switched by a rectifier circuit 14, a choke 13 and a smoothing capacitor 12 constituting a smoothing circuit, a resonance capacitor 11 for high-frequency oscillation, and a switching operation that controls resonance based on a signal 15 of an input current detection circuit. and element 10, an inverter power source control circuit 16 for driving the same. Conventionally, these require the same number as the number of magnetrons, and are expensive and large in volume.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, a means for connecting and driving a plurality of magnetrons to one power source is required.
[0006]
However, when a plurality of magnetrons are connected in parallel with a single power source, there is a difference in the characteristics of each magnetron, so a difference occurs in the currents flowing between the magnetrons, making it impossible to achieve a balance. In particular, as a special characteristic of the operation characteristics of the magnetron, current does not flow up to a certain predetermined voltage, but when the voltage exceeds a certain predetermined voltage, current suddenly flows, and the current greatly changes with a slight voltage change. Because of this characteristic, the difference in current flowing through each magnetron is large, and the balance is greatly lost.
[0007]
An object of the present invention is to solve such a problem that the balance is lost due to characteristic variations of individual magnetrons, and an object of the present invention is to provide a microwave generator in which each magnetron operates stably while maintaining a certain balance. .
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described conventional problems, the microwave generator of the present invention includes a plurality of magnetrons, a high-voltage power source that supplies high-voltage power to these magnetrons, and operation characteristic variable means that can change the operation characteristics of the magnetron. Detecting the anode current of each magnetron, and detecting one of the plurality of magnetrons as a standard magnetron and detecting the anode current signal of the standard magnetron detected by the anode current detecting means of the standard magnetron and the anode current of other magnetrons And an operating characteristic variable control means for comparing the anode current signal detected by the means and controlling the operating characteristic variable means of the magnetron based on the result.
[0009]
As a result, the balance between the anode currents flowing through the respective magnetrons is maintained, thereby enabling stable operation. As a result, a plurality of magnetrons can be driven by one power source.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
According to the first aspect of the present invention, a plurality of magnetrons that generate microwaves, a high-voltage power source that supplies high-voltage power to these magnetrons, operating characteristic variable means that can change the operating characteristics of the magnetron, An anode current detection means for detecting the anode current of the magnetron and an operation characteristic variable control means for controlling the operation characteristic variable means of the magnetron, the operation characteristic variable control means being detected by the anode current detection means of each magnetron comparing the anode current signals to each other, by the anode current of the magnetron to control the operating characteristic varying means to be equal, the balance of the anode current caused by variations in the particularities and the individual operating characteristics of the operating characteristics of the magnetron It operates stably and in a well-balanced manner without causing collapse.
[0011]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a standard magnetron having a fixed operating characteristic among a plurality of magnetrons that generate microwaves , a magnetron capable of changing operating characteristics other than the standard magnetron, and the standard magnetron a high voltage power supply for supplying high voltage power to those of the magnetron including a operating characteristic varying means for said operating characteristics make change the operating characteristics of the possible magnetron changed, an anode current detecting means for detecting the anode current of the individual magnetron wherein the operating characteristic variable control means compares an anode current signal of the standard magnetron detected by the pre-Symbol detection means, and an anode current signal detected by the anode current detection means other magnetron, the other Magnetron anode current is equal to the standard magnetron anode current By controlling the operating characteristic variable means so that, without causing imbalance of the anode current caused by variations in the particularities and the individual operating characteristics of the operating characteristics of the magnetron is operated stably balanced manner.
[0012]
In particular, the operation characteristic changing means of the microwave generator can be easily realized by changing the voltage of the operation characteristic of the magnetron. In addition, stable operation can be realized.
[0013]
According to the fourth aspect of the present invention, in particular, the means for changing the voltage of the operating characteristics of the magnetron in the microwave generator can be realized by changing the magnetic field strength of the magnetron.
[0014]
The invention according to claim 5 can be easily mounted on the magnetron, particularly by providing a magnetic field adjusting coil as means for changing the magnetic field strength of the magnetron in the microwave generator.
[0015]
According to the sixth aspect of the invention, in particular, fine control can be performed by providing an operation characteristic variable control means capable of varying the value of the current flowing through the magnetic field adjustment coil in the microwave generator.
[0016]
According to the seventh aspect of the present invention, in particular, the voltage of the operating characteristic of the magnetron can be increased or decreased or controlled in both directions by making the polarity of the current of the operating characteristic variable control means in the microwave generator reversible.
[0017]
The invention according to claim 8 is an inverter power source comprising a resonance capacitor and a switching element, in particular, the high voltage power source in the microwave generator, and can control the supplied power. Current can operate in a well-balanced manner.
[0018]
【Example】
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0019]
(Example 1)
FIG. 1 shows a circuit configuration diagram of a microwave generator according to Embodiment 1 of the present invention.
[0020]
In FIG. 1, reference numeral 7 denotes a high voltage transformer that boosts the voltage of a commercial power supply in order to supply high voltage power to the magnetron. The output voltage is composed of a high voltage capacitor 8 and a high voltage diode 9 to form a voltage doubler rectifier circuit. Power is being supplied. Two magnetrons, a standard magnetron 1 and a variable operating characteristic magnetron 2, are connected in parallel. Reference numeral 5 denotes an anode current detection means for the variable operating characteristic magnetron 2, and reference numeral 6 denotes an anode current detection means for the standard magnetron 1. 4 is an anode current signal difference detection amplification circuit that compares the signals of the two anode current detection means 5 and 6 and outputs the difference as a voltage, and 3 operates in accordance with the output voltage of the anode current signal difference detection amplification circuit 4. Coil current control means for controlling the current of the magnetic field adjustment coil 2-1 of the variable characteristic magnetron 2. The anode current signal difference detection amplification circuit 4 and the coil current control means 3 constitute an operation characteristic variable control means.
[0021]
FIG. 3 shows the structure of the variable operating characteristic magnetron 2. A plurality of vanes 2-2 are radially attached to the annular anode block 2-3 to form an oscillation space. 2-4 is a magnetic pole and 2-5 is a magnet, which applies a magnetic field to the oscillation space. Reference numeral 2-6 denotes an antenna that radiates microwave energy generated in the oscillation space. The cathode 2-8 is a direct heating type and is composed of a heater, and a cathode heating current is supplied from the cathode terminal 2-7. Reference numeral 2-1 denotes a magnetic field adjusting coil that adjusts the magnetic field strength applied to the oscillation space by being combined with the magnet 2-5, and adjusts the strength of the magnetic field by the current. Further, the change in the strength of the magnetic field is a change in the voltage of the operation characteristic of the variable operation characteristic magnetron 2. That is, if the magnetic field is strong, the operating voltage is high, and if the magnetic field is weak, the operating voltage is low.
[0022]
About the microwave generator comprised as mentioned above, the operation | movement and an effect | action are demonstrated below.
[0023]
First, FIG. 5A shows the operating characteristics of the magnetron. The vertical axis represents voltage and the horizontal axis represents current. Voltage out is flow suddenly current exceeds the oscillation start voltage Vs, the current changes significantly with respect to changes in voltage. The operating voltage is high when the magnetic field applied to the oscillation space is strong, and low when the magnetic field is weak. In general, magnetrons vary in operating voltage due to variations in the magnetic field strength of the magnets.
[0024]
Therefore, when two magnetrons are operated as in the microwave generator according to the embodiment of the present invention, there is a difference in operating characteristics between the individual magnetrons. FIG. 5B shows a case where the operating characteristic M2 of the variable operating characteristic magnetron 2 is lower than the operating characteristic M1 of the standard magnetron 1, and the anode current Ia1 of the standard magnetron 1 is small with respect to the operating voltage Vo. The anode current Ia2 of the variable magnetron 2 is increased, and a large difference is generated between the two so that the balance is lost. FIG. 5 ( d ) shows the case where the operational characteristics of the magnetrons are reversed and the magnitudes of Ia1 and Ia2 are reversed and the balance is greatly lost.
[0025]
Therefore, as shown in FIG. 5 ( c ), the anode current Ia1 of the standard magnetron 1 and the anode current Ia2 of the variable operating characteristic magnetron 2 are compared. If Ia2> Ia1, the magnetic field is strengthened by the magnetic field adjusting coil 2-1, and the operating voltage is increased. So that it matches the operating characteristics of the standard magnetron 1. By doing so, Ia1 and Ia2 are equal, and a balanced and stable operation is achieved. Conversely, if Ia2 <Ia1, the magnetic field adjusting coil 2-1 weakens the magnetic field and lowers the operating voltage, so that Ia2 = Ia1 and a balanced and stable operation can be achieved.
[0026]
FIG. 4 shows a mechanism of a control system for realizing the present invention. Reference numeral 6 in FIG. 4 denotes an anode current detection means of the standard magnetron 1 and shows its circuit configuration means. Reference numeral 5 denotes an anode current detecting means of the variable operating characteristic magnetron 2 and shows its circuit configuration. Both anode current detection means output signals by voltage means. Reference numeral 4 denotes an anode current signal difference detection amplification circuit that compares the signals of the anode current detection means of the respective magnetrons and outputs an output signal corresponding to the difference. Reference numeral 3 denotes coil current control means for controlling the magnitude and polarity of the current value that flows through the magnetic field adjustment coil 2-1 in response to the signal from the anode current signal difference detection amplification circuit 4. With the above configuration, the difference between the anode currents Ia1 and Ia2 of each magnetron is detected, and the current of the magnetic field adjustment coil 2-1 is controlled so that the difference is eliminated. As a result, the two magnetrons can operate stably while maintaining a balance. The anode current signal difference detection amplification circuit 4 and the coil current control means 3 constitute an operation characteristic variable control means.
[0027]
(Example 2)
FIG. 2 shows a circuit configuration diagram of the microwave generator according to the second embodiment of the present invention.
[0028]
In FIG. 2, reference numeral 7 denotes a high voltage transformer for supplying high voltage power to the magnetron. The high voltage capacitor 8 and the high voltage diode 9 constitute an output voltage rectifier circuit, and the high voltage power is supplied to the magnetron. A diode bridge 14 that rectifies the commercial power supply, a choke 13 that smoothes the rectified power, and a smoothing capacitor 12 are provided. A resonance circuit is formed by the resonance capacitor 11 and the high-voltage transformer 7, and the switching element 10 is turned on and off. An inverter power supply for converting to high frequency power is configured. Based on the signal from the input current detection circuit 15, the inverter power supply control circuit 16 controls ON / OFF of the switching element 10. As a result, the magnitude of the input current can be freely controlled.
[0029]
In the case of this configuration, the microwave generator of the present invention balances the anode current of each magnetron regardless of the magnitude of the input current, and enables stable operation. That is, the anode current of each magnetron also changes depending on the magnitude of the input current. The signals of the anode currents Ia1 and Ia2 of each magnetron also change, but the current values of the magnetic field adjustment coils 2-1 are controlled so that the difference is eliminated by the anode current signal difference detection amplification circuit 4, so that Ia1 and Ia2 Will be balanced and stable.
[0030]
【The invention's effect】
As described above, according to the first to eighth aspects of the invention, it is possible to maintain a balance between a plurality of magnetrons supplied with power from one high-voltage power supply and perform stable operation driving.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a circuit configuration diagram of a microwave generator according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a circuit configuration diagram of a microwave generator according to a second embodiment of the present invention. FIG. 4 is a cross-sectional structural diagram of a magnetron with variable operating characteristics in the microwave generator of Example 2. FIG. 4 is a diagram showing a mechanism of a control system for realizing the microwave generator of the present invention. Operation characteristic diagram showing operation of the magnetron of the apparatus [FIG. 6] Circuit configuration diagram of a conventional microwave generator [FIG. 7] Circuit configuration diagram of a conventional microwave generator [Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Standard magnetron 2 Operation characteristic variable type magnetron 2-1 Magnetic field adjustment coil 3 Coil current control means 4 Anode current difference detection amplification circuit 5 Operation characteristic variable type magnetron anode current detection means 6 Standard magnetron anode current detection means

Claims (8)

マイクロ波を発生する複数個のマグネトロンと、これらのマグネトロンに高圧電力を供給する高電圧電源と、前記マグネトロンの動作特性を変化できる動作特性可変手段と、個々のマグネトロンのアノード電流を検出するアノード電流検出手段と、マグネトロンの動作特性可変手段を制御する動作特性可変制御手段とを備え、前記動作特性可変制御手段は、各マグネトロンのアノード電流検出手段により検出されたアノード電流信号同士を比較し、各マグネトロンのアノード電流が等しくなるように前記動作特性可変手段を制御することを特徴としたマイクロ波発生装置。A plurality of magnetrons that generate microwaves, a high-voltage power supply that supplies high-voltage power to these magnetrons, operating characteristic variable means that can change the operating characteristics of the magnetron, and an anode current that detects the anode current of each magnetron detection means, and a operating characteristic variable control means for controlling an operating characteristic varying means of the magnetron, the operating characteristic variable control means compares the anode current signals respectively detected by the anode current detection means of each magnetron, each A microwave generator characterized by controlling the operating characteristic varying means so that the anode currents of magnetrons are equal . マイクロ波を発生する複数個のマグネトロンのうち、動作特性が固定された標準マグネトロン1個と、前記標準マグネトロン以外の動作特性が変更可能なマグネトロンと、前記標準マグネトロンを含むこれらのマグネトロンに高圧電力を供給する高電圧電源と、前記動作特性が変更可能なマグネトロンの動作特性を変化させる動作特性可変手段と、個々のマグネトロンのアノード電流を検出するアノード電流検出手段とを備え、前記動作特性可変制御手段は、前記検出手段により検出された前記標準マグネトロンのアノード電流信号と、他のマグネトロンのアノード電流検出手段により検出されたアノード電流信号とを比較し、前記他のマグネトロンのアノード電流が前記標準マグネトロンのアノード電流と等しくなるように前記動作特性可変手段を制御することを特徴としたマイクロ波発生装置。 Among a plurality of magnetrons that generate microwaves , one standard magnetron whose operating characteristics are fixed, a magnetron whose operating characteristics other than the standard magnetron can be changed, and high voltage power to these magnetrons including the standard magnetron comprising a high voltage power supply for supplying a operating characteristic varying means for said operating characteristics make change the operating characteristics of possible changes magnetron, an anode current detecting means for detecting the anode current of the individual magnetron, the operating characteristic variable control means compares the anode current signal of the standard magnetron detected by the pre-Symbol detection means, and an anode current signal detected by the anode current detection means other magnetron, the other magnetron anode current the standard magnetron the operating characteristics accepted to be equal to the anode current of Microwave generating apparatus and controls the means. 動作特性可変手段はマグネトロンの動作特性の電圧を変える構成の請求項1または2に記載のマイクロ波発生装置。  3. The microwave generator according to claim 1, wherein the operating characteristic changing means changes the voltage of the operating characteristic of the magnetron. 動作特性可変手段はマグネトロンの磁界強度を変化させることで動作特性の電圧を変える構成の請求項3に記載のマイクロ波発生装置。  4. The microwave generator according to claim 3, wherein the operating characteristic varying means changes the voltage of the operating characteristic by changing the magnetic field strength of the magnetron. 磁界強度を変化させる手段としてマグネトロンに磁界調整用コイルを設けた請求項4に記載のマイクロ波発生装置。  The microwave generator according to claim 4, wherein a magnetic field adjusting coil is provided in the magnetron as means for changing the magnetic field intensity. 磁界調整用コイルの電流値を動作特性可変制御手段によって変化させる請求項5に記載のマイクロ波発生装置。  6. The microwave generator according to claim 5, wherein the current value of the magnetic field adjusting coil is changed by the operating characteristic variable control means. 磁界調整用コイルの電流の極性は正逆可能にした請求項または6に記載のマイクロ波発生装置。The microwave generator according to claim 5 or 6, wherein the polarity of the current of the magnetic field adjusting coil can be reversed. 高電圧電源は共振コンデンサやスイッチング素子で構成されるインバー
タ電源より成り、供給電力を制御できる機能を有する請求項1または2に記載のマイクロ波発生装置。
The microwave generator according to claim 1 or 2, wherein the high voltage power source is composed of an inverter power source including a resonance capacitor and a switching element, and has a function of controlling supply power.
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