JP3777201B2 - アクティブマトリクス型表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、各画素電極にスイッチ素子が電気的に接続されて成るアクティブマトリックス型表示装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶表示装置に代表される平面表示装置は、薄型、軽量、低消費電力の特徴を生かして、パーソナルコンピュータやワードプロセッサ等の表示装置として、ＴＶ表示装置として、更に投射型の表示装置として各種分野で利用されている。
【０００３】
なかでも、各画素電極にスイッチ素子が電気的に接続されて成るアクティブマトリックス型表示装置は、隣接画素間でクロストークのない良好な表示画像を実現できることから、盛んに研究・開発が行われている。
【０００４】
以下に、光透過型のアクティブマトリックス型液晶表示装置を例にとり、その構成について簡単に説明する。アクティブマトリックス型液晶表示装置は、アレイ基板と対向基板との間に配向膜を介して液晶組成物が保持されて構成されている。アレイ基板は、ガラス基板上に複数本の信号線と複数本の走査線とがマトリクス状に配置され、各交点近傍にスイッチ素子として配置される薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと略称する。）を介してＩＴＯ（Indium Tin Oxide）から成る画素電極が設けられている。更に、このガラス基板上には、走査線と略平行する補助容量線が配置され、補助容量線と画素電極との間で補助容量（Ｃｓ）が形成されるよう、補助容量線と画素電極との間には絶縁膜が介在されている。
【０００５】
対向基板は、ガラス基板上にＴＦＴ並びに画素電極周辺を遮光するためのマトリクス状の遮光膜が配置され、この上に絶縁膜を介してＩＴＯから成る対向電極が配置されて成っている。
【０００６】
そして、アレイ基板の各信号線及び各走査線は、それぞれポリイミド等のフレキシブル基板上に金属配線が形成されて成るＦＰＣ（Flexible Print Circuit）あるいはフレキシブル配線基板上に駆動素子が配置されて成るＴＡＢ（Tape Automated Bonding）等を介して駆動回路基板に電気的に接続されている。
【０００７】
また、対向基板の対向電極は、銀粒子等の導電粒子が樹脂中に分散されて成るトランスフアァを介してアレイ基板側に導通され、更に上記したＦＰＣやＴＡＢ等を介して駆動回路基板に電気的に接続されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記した対向基板の対向電極は、ステンレス等から成る金属マスクを介し、蒸着、スパッタリングあるいはＣＶＤ等の成膜技術が用いられて、成膜及びパターニングが成される。
【０００９】
ところで、近年では、上記したアクティブマトリックス型表示装置の生産性を向上させるため、１枚のガラス基板等の絶縁基板から多数枚のアレイ基板や対向基板を採取する、いわゆる多面取りが成されている。このように、１枚のガラス基板等の絶縁基板から多数枚の対向基板を採取するためには、複数の対向電極に対応する複数の開口を有するマスクが必要となる。そして、絶縁基板の利用効率を高めるためには、各開口に分離するための分割部をできるだれ細線状とする必要がある。
【００１０】
しかしながら、金属マスクの分割部が細線状となると、マスク自体の強度的な問題の他、マスクの分割部近傍でＩＴＯの成膜状態が極めて不均一になったり、またマスクに対応した精度良いパターニングが成されず、各対向電極間が短絡されるといった種々の問題点が生じてしまう。
【００１１】
この発明は上記した技術課題に対処して成されたものであって、一絶縁基板から複数の対向基板が効率よく採取でき、しかも給電が十分に達成される対向電極をパターン精度良く形成することができ、これにより良好な表示画像が得られるアクティブマトリックス型表示装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のアクティブマトリクス型表示装置は、複数の画素電極が配置されて成るアレイ基板と、前記アレイ基板に対向して配置される対向電極を備えた対向基板と、前記アレイ基板と前記対向基板との間に保持される光変調層とを備えたアクティブマトリクス型表示装置において、前記対向基板は前記対向電極に給電をするための複数の給電端子を備え、前記複数の給電端子は前記対向電極の一端辺上とこの一端辺に対向する他の一端辺上の互いに線対称となる位置から ずれた位置に配置され、前記複数の給電端子は前記対向電極の端辺から突出したものである。
請求項２のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記光変調層を収納するシール剤領域から突出して形成されるものである。
【００１３】
請求項３のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記光変調層を収納するシール剤領域の内部に形成されるものである。
【００１４】
請求項４のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面長手方向の両端辺に形成されるものである。
【００１５】
請求項５のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面短手方向の両端辺に形成されるものである。
【００１６】
請求項６のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面の四周端辺に形成されるものである。
【００１７】
請求項７のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、マトリクス状の遮光膜は、前記アレイ基板に形成されるものである。
【００１８】
請求項８のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、カラーフィルターは、前記アレイ基板に形成されるものである。
【００１９】
請求項９のアクティブマトリクス型表示装置の製造方法は、第１及び第２開口が分割部により分離されて成るマスクを用い、前記第１及び第２開口にそれぞれ対応した第１及び第２対向電極を形成して対向基板集合体を形成した後に、前記対向基板集合体から第１及び第２対向基板を取り出すアクティブマトリクス型表示装置の製造方法において、前記マスクの前記分割部の一端辺とこの一端辺に対向する他の一端辺の互いに線対称となる位置からずれた位置に複数の切欠部が設けられたことを特徴とする。
【００２０】
【作 用】
請求項１のアクティブマトリクス型液晶表示装置によれば、対向基板の対向電極には、対向電極の一端辺に設けた第１対向電位給電端子と、対向電極の一端辺と対向する他の一端辺に設けた第２対向電位給電端子とを備えているため、対向電極が大サイズとなっても、対向電極には十分な給電が成される。
【００２１】
これにより、例えば、対向電極の電位を基準電位に対して一水平走査期間あるいは複数の水平走査期間毎に極性反転させ小信号振幅化を達成する、いわゆるコモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化することがない。
【００２２】
また、対向電極に設けた第１対向電位給電端子と第２対向電位給電端子とは、線対称位置からずれて形成されているため、対向電極電位の面内不均一は一層解消され、良好な表示画像が得られる。
【００２３】
さらに、第１対向電位給電端子が、対向電極の一端辺から突出し、第２対向電位給電端子が、他の一端辺から突出している。これにより、前記第１対向電位給電端子及び前記第２対向電位給電端子に対し、駆動回路側からの配線を行いやすい。
【００２４】
請求項２のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子が、光変調層を収納するシール剤領域から突出している。これにより、前記第１対向電位給電端子及び前記第２対向電位給電端子に対し、トランスファを容易に配置することができ、また光変調層がトランスファからの不純物の影響を受けにくくすることができる。
【００２５】
請求項３のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子が、光変調層を収納するシール剤領域の内部に形成されている。これにより、表示装置の周縁部の大きさを小さくすることをできる。
【００２６】
請求項４のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子が、表示装置の画面長手方向の両端辺に形成されている。これにより、駆動回路を画面長手方向の端辺に沿って設けることができ、対向電極に給電できる。
【００２７】
請求項５のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第対向電位給電端子が、表示装置の画面短手方向の両端辺に形成されている。これにより、駆動回路を画面長手方向に沿って設け、アレイ基板上で画面短手方向に配線すれば、画面短手方向の額縁サイズを小さくできる。
【００２８】
請求項６のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子が、表示装置の画面の四周端辺に形成されている。これにより、対向電極電位の面内ばらつきをより小さくすることができる。
【００２９】
請求項７のアクティブマトリクス型表示装置は、マトリクス状の遮光膜が、アレイ基板に形成されている。これにより、対向基板側に遮光膜が不要であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができる。すなわち、開口率は、アレイ基板側で決定され、対向基板の位置合わせに左右されない。
【００３０】
請求項８のアクティブマトリクス型表示装置は、カラーフィルタが、アレイ基板に形成されている。これにより、対向基板側にカラーフィルタが不要であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができる。
【００３１】
請求項９のアクティブマトリクス型表示装置の製造方法は、前記請求項２のアクティブマトリクス型表示装置を製造する方法である。
【００３２】
すなわち、一絶縁基板上に複数の対向電極を形成するに際し、複数の開口に分割するマスクの分割部に、対向電位給電端子を得るための切欠部が両端辺側から交互に配置されるため、分割部幅が広くとれ、これにより基板の利用効率を高め、パターン不良等の発生が防止できる。
【００３３】
【実施例】
（第１の実施例）
以下、本発明の第１の実施例のアクティブマトリクス型液晶表示装置（以下、単に「液晶表示装置」という）(1) について図面を参照して詳細に説明する。
【００３４】
この液晶表示装置(1) は、図１の概略斜視図を示すように、ノーマリーホワイト・モードの光透過型の液晶表示装置(1) であって、カラー表示が可能に構成された対角１０．４インチの大きさの表示領域(2) を備えている。
【００３５】
この液晶表示装置(1) は、液晶パネル(3) と、液晶パネル(3) を駆動するための信号線駆動回路基板(5a)、走査線駆動回路基板(5b)、各駆動回路基板(5a),(5b) と液晶パネル(3) とを電気的に接続するためのＴＡＢ(7a),(7b) とを備えている。
【００３６】
液晶パネル(3) は、図２と図３に示すように、アレイ基板(101) と対向基板(301) とが、それぞれ配向膜(403),(405) を介して、光変調層として液晶組成物(401) を保持し、図示しないがシール剤によって互いに保持されている。各基板(101),(301) の外表面には、それぞれ偏光板(407),(409) が、その偏光軸が直交するように配置されて成っている。
【００３７】
なお、液晶組成物(401) として、ツイスト・ネマチック型を用いるが、これの代わりに、透明樹脂と液晶材料との混合系を用いた高分子分散型液晶を用いるのであれば、配向膜(403),(405) や偏光板(407),(409) を設ける必要はない。
【００３８】
アレイ基板(101) は、ガラス基板(100) 上に、６４０×３本の信号線(103) と４８０本の走査線(111) とが略直交するように配置されている。各信号線(103) と各走査線(111) との交点近傍には、それぞれＴＦＴ(121) を介して画素電極(151) が配置されている。
【００３９】
この実施例では、信号線(103) 及び走査線(111) は、それぞれ配線の片側に引き出され、図１に示すようにＴＡＢ(7a),(7b) を介してそれぞれの駆動回路基板(5a),(5b) から駆動電圧が供給される。
【００４０】
このＴＦＴ(121) は、図２と図３に示すように、走査線(111) 自体をゲート電極とし、この上に酸化シリコンと窒化シリコンとが積層されて成る絶縁膜(113) が配置され、絶縁膜(113) 上にはａ−Ｓｉ：Ｈ膜が半導体膜(115) として配置されている。また、この半導体膜(115) 上には、走査線(111) に自己整合されて成るチャネル保護膜(117) として窒化シリコンが配置されている。そして、半導体膜(115) は、低抵抗半導体膜(119) として配置されるｎ＋ 型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜及びソース電極(131) を介してそれぞれの画素電極(151) に電気的に接続されている。また、半導体膜(115) は、低抵抗半導体膜(119) として配置されるｎ＋ 型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜及び信号線(103) から延在されたドレイン電極(105) を介して信号線(103) に電気的に接続されている。
【００４１】
また、走査線(111) に対し略平行に、しかも画素電極(151) と重複する領域を有して配置される補助容量線(161) を備え、画素電極(151) と補助容量線(161) とによって補助容量（Ｃｓ）が形成されている。
【００４２】
対向基板(301) は、透明なガラス基板(300) 上に、アレイ基板(101) に形成されるＴＦＴ(121) 、信号線(103) と画素電極(151) との間隙、走査線(111) と画素電極(151) との間隙のそれぞれを遮光するため、マトリクス状のクロム（Ｃｒ）の酸化膜からなる第１の遮光層(311) 、この第１の遮光層(311) 上に積層されるクロム（Ｃｒ）から成る第２の遮光層(321) を備えている。そして、第１、第２の遮光層(311),(321) 間にはカラー表示を実現するための赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色で構成されるカラーフィルタ、すなわち、色部(331) がそれぞれ設けられ、有機保護膜(341) を介してＩＴＯから成る対向電極(351) が配置されて構成されている。
【００４３】
この対向電極(351) について、図４を参照して説明する。
【００４４】
図４（ａ）は、対向基板(301) を偏光板(409) 側（図３参照）から見た図であり、図中上側に図１に示すように信号線駆動回路基板(5a)がＴＡＢ(7a)を介してアレイ基板(101) に電気的に接続され、図中左側に走査線駆動回路基板(5b)がＴＡＢ(7b)を介してアレイ基板(101) に電気的に接続される。
【００４５】
対向電極(351) は、信号線駆動回路基板(5a)、すなわち、画面の長手方向において対向する一端辺(351a)から７カ所の第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)が突出して形成され、また一端辺(351a)に相対する他の一端辺(351b)に９カ所の第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)が突出して形成されている。
【００４６】
これら第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)は、シール剤配置領域(451) から外方に突出して形成されている。また、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)とは、互いに線対称位置からずれて配置されている。この実施例において、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)のそれぞれをシール剤配置領域(451) から外方で形成したのは、シール剤配置領域(451) 内方あるいはシール剤配置領域(451) 中に形成する場合に比べ、トランスファの配置が容易であり、且つトランスファによる液晶組成物(401) の劣化を軽減できる。
【００４７】
このようにして配置された第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)のそれぞれは、図４（ｂ）に示すアレイ基板(101) に形成された第１対向電極接続パッド(107) にトランスファとして銀ペーストを介して電気的に接続され、信号線(103) に沿って、各信号線(103) と同時に形成される第１対向電極接続配線(108) を介してアレイ基板(101) の端辺まで引き延ばされている。そして、第１対向電極接続配線(108) は、信号線(103) と図１に示す信号線駆動回路基板(5a)とを電気的に接続するＴＡＢ(7a)の一部を介して信号線駆動回路基板(5a)に電気的に接続されている。
【００４８】
以上のように、この液晶表示装置(1) によれば、対向電極(351) の対向する両端辺(351a),(351b) に複数の第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)が形成されているため、対向電極(351) に対する給電が十分に達成される。しかも、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)とは、線対称位置からずれて形成されているため、対向電極(351) の面内での電位のばらつきが一層解消され、これにより良好な表示画像を得ることができた。
【００４９】
また、この液晶表示装置(1) によれば、対向電極(351) の電位を基準電位に対して一水平走査期間あるいは複数の水平走査期間毎に極性反転させる、いわゆるコモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化することがなかった。
【００５０】
次に、このようにして構成される液晶表示装置(1) の、対向基板(301) の形成方法について図５を参照して説明する。
【００５１】
３６０ｍｍ×４６５ｍｍのガラス基板を用意し、このガラス基板から４枚の対向基板(301) を形成する場合について説明する。
【００５２】
まず、図５（ａ）に示すように、ガラス基板(500) 上に、図２〜３に示すアレイ基板(101) に形成されるＴＦＴ(121) 、信号線(103) と画素電極(151) との間隙、及び走査線(111) と画素電極(151) との間隙のそれぞれを遮光するため、マトリクス状のクロム（Ｃｒ）酸化膜から成る第１の遮光層(311) 及び第１の遮光層(311) 上に積層されるクロム（Ｃｒ）から成る第２の遮光層(321) をそれぞれ形成する。ここで、第１の遮光層(311) をクロム（Ｃｒ）の酸化膜で構成したのは、視認面での外光の反射によるコントラストの低下を防止するためである。また、遮光層としては、この実施例の如く金属で形成するばかりでなく、例えば黒色樹脂等で形成しても良い。なお、上記した第１、第２の遮光層(311),(321) の形成時に位置合わせマークを形成しておくと良い。
【００５３】
次に、同図（ｂ）に示す隣接する第１、第２の遮光層(311),(321) 間のガラス基板(500) 上に、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色で構成される色部(331) をそれぞれ形成する。この色部(331) は、顔料が分散されたインクを印刷法あるいはフォトグラフィ法で構成しても良いし、また染色法で構成しても良い。更に、各色部(331) に対応する電極を構成しておけば、電着法で構成することもできる。この他にも、インクを噴出させて各色部(331) を形成しても良い。
【００５４】
そして、同図（ｃ）に示すように、第１、第２の遮光層(311),(321) 上及び各色部(331) 上に、アクリル系樹脂からなる有機保護膜(341) を形成する。この有機保護膜(341) は、対向電極を形成するに際して平滑化層として機能すると共に、各色部(331) から不純物が液晶組成物(401) 内に侵入することを阻止するよう機能する。尚、各色部(331) の充分な平滑性が得られていれば、有機保護膜(341) は設けなくても構わない。
【００５５】
この後、図６（ａ），（ｂ）に示すステンレスから成るスパッタ・マスク(601) を位置合わせし、図示しないがスパッタ装置内でＩＴＯ膜を１５００オングストロームの膜厚で堆積し、図５（ｄ）に示すように対向電極(351) を形成する。この対向電極(351) の膜厚としては、対向電極(351) 自体の抵抗、モアレ発生の防止を考慮して、１３００〜１７００オングストロームの膜厚に制御することが好ましい。
【００５６】
このスパッタ・マスク(601) は、図６（ａ）に示すように、上記したガラス基板(500) と略等しい外形サイズ、即ち３６０ｍｍ×４６５ｍｍの外形サイズを有し、ガラス基板(500) から４枚の対向基板(301) が形成されるように、対向電極(351) と同形状の４つの開口(603-1),(603-2),(603-3),(603-4) を備えている。この第１開口(603-1) と第３開口(603-3) とは、スパッタ・マスク(601) の細線部(611) によって分割され、また第２開口(603-2) と第３開口(603-4) とは細線部(613) によって分割されている。
【００５７】
このスパッタ・マスク(601) には、スパッタ・マスク(601) の第１開口(603-1) を規定する一端辺から、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1) ，…，(353-7) に対応して、外方に延在される第１切欠部(643-1),…,(643-7)が形成されている。また、スパッタ・マスク(601) には、第１開口(603-1) を規定する前述の一端辺と対向する他の一端辺から、対向電極(351) の第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)に対応して、外方に延在される第２切欠部(645-1),…,(645-9)が形成されている。なお、他の開口(603-2),(603-3),(603-4) からも、同様に第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が延在されている。
【００５８】
そして、スパッタ・マスク(601) に形成される第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)は、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1) ，…，(353-7) 及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)に対応するものであって、互いに非線対称位置に配置されている。即ち、第１開口(603-1) と第３開口(603-3) とを分割する細線部(611) 、第２開口(603-2) と第３開口(603-4) とを分割する細線部(613) には、その両端辺側から第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が交互に延在されるよう配置されている。
【００５９】
従って、スパッタ・マスク(601) の第１開口(603-1) と第３開口(603-3) との間の細線部(611) 、第２開口(603-2) と第４開口(603-4) との間の細線部(613) には、第１切欠部(643-1),…,(643-7)と第２切欠部(645-1),…,(645-9)とが、相対する位置に配置されることなく、交互に配置されるため、図６（ｂ）に示すように、その最短幅領域でも５．５ｍｍ以上のマスク幅を有している。
【００６０】
このため、ＩＴＯ膜の成膜不良などが発生することなく、またスパッタ・マスク(601) の剛性も十分に確保できるため、スパッタ・マスク(601) のたわみ等も抑えることができ、精度良く対向電極(351) を形成することができる。
【００６１】
この実施例では、スパッタ・マスク(601) の細線部(611),(613) の最短幅領域のマスク幅を５．５ｍｍ程度としたが、スパッタ・マスク(601) の最短幅領域のマスク幅として１．８ｍｍ以上であれば良好な成膜を実現することができる。
【００６２】
以上のようにして対向基板集合体(501) を形成した後、図示しないが、これをスクライブして４枚の対向基板(301) を取り出す。この後は、常法にしたがって、配向膜(405) を形成し、アレイ基板(101) と対向基板(301) とを図４（ａ）に示すシール剤配置領域(451) にシール剤を配置して貼り合わせし、液晶材料(401) を注入し封止する。そして、図１に示すＴＡＢ(7a),(7b) を異方性導電膜（図示せず）を介して熱圧着することにより接続し、またＴＡＢ(7a),(7b) の入力配線（図示せず）を駆動回路基板(5a),(5b) に半田によって接続する。
【００６３】
このようして、この実施例の液晶表示装置(1) を完成させた。
【００６４】
以上のように、この実施例の液晶表示装置(1) によれば、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1) ，…，(353-7) 及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)が、互いに線対称位置に配置されていない。このため、スパッタ・マスク(601) の細線部(611),(613) は、両端辺側から第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が交互に延在されるよう配置されている。このため、細線部(611),(613) の最短幅領域でも５．５ｍｍ以上のマスク幅に形成でき、これによりＩＴＯ膜の成膜不良なく精度良く対向電極(351) を形成することができた。
【００６５】
上述した実施例では、対向電極(351) をＩＴＯ膜で構成する場合について説明したが、透明導電材料であればＩＴＯ膜に限定されるものではなく、また蒸着やＣＶＤにより成膜しても良い。
【００６６】
また、スパッタ・マスク(601) としては、ステンレスで構成する場合について説明したが、この他にも剛性や熱膨張等を考慮すれば、銅を主体とした種々の合金等も使用可能である。
【００６７】
（第２の実施例）
図７は、第２の実施例の対向電極(351) を示すものであり、第１の実施例の対向電極(351) と異なる点は、第１対向電位給電端子と、第２対向電位給電端子の形成される位置が異なる点にある。
【００６８】
すなわち、信号線駆動回路基板(5a)、すなわち、画面の短手方向の一端辺(351c)とそれに対向する他の一端辺(351d)に、第１対向電位給電端子(353-1),…，(353-4) と第２対向電位給電端子(355-1),…，(355-4) とが、それぞれ突出して形成されている。また、第１対向電位給電端子(353-1),…，(353-4) と第２対向電位給電端子(355-1),…，(355-4) とは、互いに線対称位置からずれて配置されている。
【００６９】
図８は、本実施例の対向基板(301) を製造する場合におけるスパッタ・マスク(601) を示したものである。
【００７０】
第１の実施例と同様にスパッタ・マスク(601) の第１開口部(603-1) から第４開口(603-4) において、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1),…，(355-4) に対応して、外方に延在される第１切欠部(643-1),…，(643-4) が形成されている。また、第２対向電位給電端子(355-1),…，(355-4) に対応して、外方に延在される第２切欠部(645-1),…，(645-4) が形成されている。
【００７１】
（第３の実施例）
図９は、対向基板(301) の第３の実施例であって、第１の実施例と異なる点は、第１対向電位電極(353) と第２対向電位給電端子(355) が、対向電極(351) の四周端辺に設けられたことにある。また、それぞれ対向する位置にある第１対向電位給電端子(353) と第２対向電位給電端子(355) とは、それぞれ線対称からずれた位置に設けられている。
【００７２】
図１０は、本実施例の対向基板(301) を製造する際のスパッタ・マスク(601) の平面図であり、第１開口(603-1) から第４開口(603-4) までには、それぞれ第１対向給電端子(353) と第２対向電位給電端子(355) と対応する位置に第１切欠部(643) と第２切欠部(645) が設けられている。
【００７３】
（第４の実施例）
図１１及び図１２に基いて、第４の実施例の液晶表示装置１について説明する。
【００７４】
本実施例は、アレイ基板(101) に遮光膜(701) を設けた構造（BM-ON-ARRAY 構造）の液晶表示装置１であり、また、対向電位給電端子が対向電極(351) の端辺から突出して形成されことに特徴がある。
【００７５】
まず、アレイ基板(101) の表示領域(2) の構造について説明する。
【００７６】
遮光膜(701) は、クロム（Ｃｒ）等の金属よりなり、保護膜（ＳｉＮｘ：シリコンナイトライド）(707) の上に設けることにより信号線(103) と画素電極(151) との間隙、走査線(111) と画素電極(151) との間隙及びＴＦＴ(121) を遮光する。そして、この遮光膜(701) 上に配向膜(403) を設ける。
【００７７】
なお、遮光膜(701) は金属の他に、光遮蔽性の樹脂（例えば、カーボンが樹脂中に分散されてなるもの）、あるいは黒鉛等により形成されても構わない。
【００７８】
このようにしてアレイ基板(101) を構成すれば、対向基板(301) 側に遮光膜が不要であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができる。すなわち、開口率は、アレイ基板(101) 側で決定され、対向基板（301)の位置合わせに左右されない。
【００７９】
さらに、アレイ基板(101) の周辺部(700) の構造について説明する。
【００８０】
アレイ基板(101) に周辺部(700) において、遮光膜(701) 上に配向膜(403) を設ける。また、前記配向膜(403) の外周部において、対向電極接続配線(705) から対向電極接続パッド(703) が露出する開口を含むように保護膜(707) を形成する。
【００８１】
次に、対向基板(301) について説明する。
【００８２】
対向基板(301) は、透明なガラス基板(300) 上に、赤，緑，青の三原色で構成される色部(331) をそれぞれ形成する。この色部(331) は、印刷法やフォトリソグラフィ法で構成してもよいし、また、染色法で構成してもよい。さらに、各色部(331) に対応する位置に電極を構成しておけば、電着法で構成することもできる。
【００８３】
この色部(331) 上に、有機保護膜(341) を介して、対向電極(351) を形成する。この場合に、対向電極(351) に電位を給電するための対向電位給電端子(353) は、第１〜第３の実施例と異なり、対向電極(351) から突出させずに四周辺のどの位置からでも給電が可能なように額縁状にしておく。そして、対向電極(351) 上に配向膜(405) を形成する。
【００８４】
上記液晶表示装置１の製造方法について説明する。
【００８５】
［１］ アレイ基板(101) の周辺部(700) において、前記配向膜(403) 及び保護膜(707) の境界部分が、シール剤配置領域(451) となる。このため、シール剤配置領域(451) にシール剤(709) をスクリーン印刷により配置する。この場合に、アレイ基板(101)(の対向電極接続端子703) に対応するシール剤配置領域(451) には、シール剤(709) が配置されないようにスクリーン印刷を行い、対向電極接続端子(703) を露出する円筒形の孔を設ける。シール剤配置領域(451) の幅としては、約２ｍｍの大きさを設定する。
【００８６】
［２］ シール剤配置領域(451) 中の円筒形の孔に銀ペーストから成るトランスファ(711) を滴下する。
【００８７】
［３］ アレイ基板(101) の上にシール剤(709) を介して対向基板(301) を対向配置して重ねる。これにより、対向電極接続端子(703) と対向電位給電端子(351) とがトランスファ(711) を介して電気的に接続する。
【００８８】
上記のようにして構成した場合には、シール剤(709) と重複する位置に共通電極である対向電極(351) を延在させ、その一部分で対向電極接続端子(703) とトランスファ(711) を介してコンタクトするように構成しているため、対向基板(301) に遮光膜が無いにもかかわらず、対向基板(301) 側のガラス基板(300) が液晶組成物(401) に対して露出することがない。このため、液晶組成物(401) 内にガラスからの不純物等が浸入することがなく、これにより長時間の使用に対して良好な表示品位を維持することができる。
【００８９】
なお、本実施例では色部(331) を対向基板(301) 側に設けたが、これに代えて、アレイ基板(101) 側に設けてもよい。この場合に、この色部(331) は、印刷法で構成してもよいし、また、染色法で構成してもよい。画素電極(151) を旨く用い、各色部(331) を電着法で構成することもできる。さらに、顔料を分散させて全体に塗布し、その後、露光して色部(331) を構成してもよい。これにより、対向基板側にカラーフィルタが不要であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができる。
【００９０】
【発明の効果】
本発明のアクティブマトリクス型液晶表示装置によれば、対向基板の対向電極には、対向電極の一端辺に設けた第１対向電位給電端子と、対向電極の一端辺と対向する他の一端辺に設けた第２対向電位給電端子とを備えているため、対向電極が大サイズとなっても、対向電極には十分な給電が成される。
【００９１】
これにより、例えば、コモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化することがない。
【００９２】
また、アクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法は、対向電極に設けた第１対向電位給電端子と第２対向電位給電端子とは、線対称位置からずれて形成されているため、対向電極電位の面内不均一は一層解消され、良好な表示画像が得られる。すなわち、対向電極に対する給電が十分に成され、面内での電位のばらつきを解消できるため、良好な表示画像を実現することができる。
【００９３】
また、アクティブマトリクス型表示装置の製造方法は、一絶縁基板上に複数の対向電極を形成するに際し、複数の開口に分割するマスクの分割部に、対向電位給電端子を得るための切欠部が両端辺側から交互に配置されるため、分割部幅が広くとれ、これにより基板の利用効率を高め、パターン不良等の発生が防止できる。すなわち、一絶縁基板にパターン精度の良い複数の対向電極を効率よく形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施例の液晶表示装置の概略斜視図である。
【図２】図２は、図１のアレイ基板の一部概略正面図である。
【図３】図３は、図２中Ａ−Ａ’線に沿って切断した液晶表示装置の概略断面図である。
【図４】図４は、図１の液晶表示装置に係り、図（ａ）は対向基板の概略正面図、図（ｂ）はアレイ基板の一部概略正面図である。
【図５】図５は、図１の液晶表示装置の対向基板の製造プロセスを示す図である。
【図６】図６は、図１の液晶表示装置の対向電極を成膜するためのマスク・パターンの概略正面図である。
【図７】図７は、第２の実施例の対向基板の製造プロセスを示す図である。
【図８】図８は、図７の対向電極を成膜するためのマスク・パターンの概略正面図である。
【図９】図９は、第３の実施例の対向基板の製造プロセスを示す図である。
【図１０】図１０は、第３の実施例の対向電極を成膜するためのマスク・パターンの概略正面図である。
【図１１】第４の実施例の液晶表示装置の要部拡大縦断面図である。
【図１２】第４の実施例のアレイ基板の平面図である。
【符号の説明】
(1) …液晶表示装置
(7a),(7b) …ＴＡＢ
(101) …アレイ基板
(301) …対向基板
(353-1) 〜(353-7) …第１対向電位給電端子
(355-1) 〜(355-9) …第２対向電位給電端子
(601) …スパッタ・マスク
(603-1) 〜(603-4) …開口
(611),(613) …細線部
(643-1) 〜(643-7) …第１切欠部
(645-1) 〜(645-9) …第２切欠部
【産業上の利用分野】
この発明は、各画素電極にスイッチ素子が電気的に接続されて成るアクティブマトリックス型表示装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶表示装置に代表される平面表示装置は、薄型、軽量、低消費電力の特徴を生かして、パーソナルコンピュータやワードプロセッサ等の表示装置として、ＴＶ表示装置として、更に投射型の表示装置として各種分野で利用されている。
【０００３】
なかでも、各画素電極にスイッチ素子が電気的に接続されて成るアクティブマトリックス型表示装置は、隣接画素間でクロストークのない良好な表示画像を実現できることから、盛んに研究・開発が行われている。
【０００４】
以下に、光透過型のアクティブマトリックス型液晶表示装置を例にとり、その構成について簡単に説明する。アクティブマトリックス型液晶表示装置は、アレイ基板と対向基板との間に配向膜を介して液晶組成物が保持されて構成されている。アレイ基板は、ガラス基板上に複数本の信号線と複数本の走査線とがマトリクス状に配置され、各交点近傍にスイッチ素子として配置される薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと略称する。）を介してＩＴＯ（Indium Tin Oxide）から成る画素電極が設けられている。更に、このガラス基板上には、走査線と略平行する補助容量線が配置され、補助容量線と画素電極との間で補助容量（Ｃｓ）が形成されるよう、補助容量線と画素電極との間には絶縁膜が介在されている。
【０００５】
対向基板は、ガラス基板上にＴＦＴ並びに画素電極周辺を遮光するためのマトリクス状の遮光膜が配置され、この上に絶縁膜を介してＩＴＯから成る対向電極が配置されて成っている。
【０００６】
そして、アレイ基板の各信号線及び各走査線は、それぞれポリイミド等のフレキシブル基板上に金属配線が形成されて成るＦＰＣ（Flexible Print Circuit）あるいはフレキシブル配線基板上に駆動素子が配置されて成るＴＡＢ（Tape Automated Bonding）等を介して駆動回路基板に電気的に接続されている。
【０００７】
また、対向基板の対向電極は、銀粒子等の導電粒子が樹脂中に分散されて成るトランスフアァを介してアレイ基板側に導通され、更に上記したＦＰＣやＴＡＢ等を介して駆動回路基板に電気的に接続されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記した対向基板の対向電極は、ステンレス等から成る金属マスクを介し、蒸着、スパッタリングあるいはＣＶＤ等の成膜技術が用いられて、成膜及びパターニングが成される。
【０００９】
ところで、近年では、上記したアクティブマトリックス型表示装置の生産性を向上させるため、１枚のガラス基板等の絶縁基板から多数枚のアレイ基板や対向基板を採取する、いわゆる多面取りが成されている。このように、１枚のガラス基板等の絶縁基板から多数枚の対向基板を採取するためには、複数の対向電極に対応する複数の開口を有するマスクが必要となる。そして、絶縁基板の利用効率を高めるためには、各開口に分離するための分割部をできるだれ細線状とする必要がある。
【００１０】
しかしながら、金属マスクの分割部が細線状となると、マスク自体の強度的な問題の他、マスクの分割部近傍でＩＴＯの成膜状態が極めて不均一になったり、またマスクに対応した精度良いパターニングが成されず、各対向電極間が短絡されるといった種々の問題点が生じてしまう。
【００１１】
この発明は上記した技術課題に対処して成されたものであって、一絶縁基板から複数の対向基板が効率よく採取でき、しかも給電が十分に達成される対向電極をパターン精度良く形成することができ、これにより良好な表示画像が得られるアクティブマトリックス型表示装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のアクティブマトリクス型表示装置は、複数の画素電極が配置されて成るアレイ基板と、前記アレイ基板に対向して配置される対向電極を備えた対向基板と、前記アレイ基板と前記対向基板との間に保持される光変調層とを備えたアクティブマトリクス型表示装置において、前記対向基板は前記対向電極に給電をするための複数の給電端子を備え、前記複数の給電端子は前記対向電極の一端辺上とこの一端辺に対向する他の一端辺上の互いに線対称となる位置から ずれた位置に配置され、前記複数の給電端子は前記対向電極の端辺から突出したものである。
請求項２のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記光変調層を収納するシール剤領域から突出して形成されるものである。
【００１３】
請求項３のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記光変調層を収納するシール剤領域の内部に形成されるものである。
【００１４】
請求項４のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面長手方向の両端辺に形成されるものである。
【００１５】
請求項５のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面短手方向の両端辺に形成されるものである。
【００１６】
請求項６のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面の四周端辺に形成されるものである。
【００１７】
請求項７のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、マトリクス状の遮光膜は、前記アレイ基板に形成されるものである。
【００１８】
請求項８のアクティブマトリクス型表示装置は、請求項１のものにおいて、カラーフィルターは、前記アレイ基板に形成されるものである。
【００１９】
請求項９のアクティブマトリクス型表示装置の製造方法は、第１及び第２開口が分割部により分離されて成るマスクを用い、前記第１及び第２開口にそれぞれ対応した第１及び第２対向電極を形成して対向基板集合体を形成した後に、前記対向基板集合体から第１及び第２対向基板を取り出すアクティブマトリクス型表示装置の製造方法において、前記マスクの前記分割部の一端辺とこの一端辺に対向する他の一端辺の互いに線対称となる位置からずれた位置に複数の切欠部が設けられたことを特徴とする。
【００２０】
【作 用】
請求項１のアクティブマトリクス型液晶表示装置によれば、対向基板の対向電極には、対向電極の一端辺に設けた第１対向電位給電端子と、対向電極の一端辺と対向する他の一端辺に設けた第２対向電位給電端子とを備えているため、対向電極が大サイズとなっても、対向電極には十分な給電が成される。
【００２１】
これにより、例えば、対向電極の電位を基準電位に対して一水平走査期間あるいは複数の水平走査期間毎に極性反転させ小信号振幅化を達成する、いわゆるコモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化することがない。
【００２２】
また、対向電極に設けた第１対向電位給電端子と第２対向電位給電端子とは、線対称位置からずれて形成されているため、対向電極電位の面内不均一は一層解消され、良好な表示画像が得られる。
【００２３】
さらに、第１対向電位給電端子が、対向電極の一端辺から突出し、第２対向電位給電端子が、他の一端辺から突出している。これにより、前記第１対向電位給電端子及び前記第２対向電位給電端子に対し、駆動回路側からの配線を行いやすい。
【００２４】
請求項２のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子が、光変調層を収納するシール剤領域から突出している。これにより、前記第１対向電位給電端子及び前記第２対向電位給電端子に対し、トランスファを容易に配置することができ、また光変調層がトランスファからの不純物の影響を受けにくくすることができる。
【００２５】
請求項３のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子が、光変調層を収納するシール剤領域の内部に形成されている。これにより、表示装置の周縁部の大きさを小さくすることをできる。
【００２６】
請求項４のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子が、表示装置の画面長手方向の両端辺に形成されている。これにより、駆動回路を画面長手方向の端辺に沿って設けることができ、対向電極に給電できる。
【００２７】
請求項５のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第対向電位給電端子が、表示装置の画面短手方向の両端辺に形成されている。これにより、駆動回路を画面長手方向に沿って設け、アレイ基板上で画面短手方向に配線すれば、画面短手方向の額縁サイズを小さくできる。
【００２８】
請求項６のアクティブマトリクス型表示装置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子が、表示装置の画面の四周端辺に形成されている。これにより、対向電極電位の面内ばらつきをより小さくすることができる。
【００２９】
請求項７のアクティブマトリクス型表示装置は、マトリクス状の遮光膜が、アレイ基板に形成されている。これにより、対向基板側に遮光膜が不要であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができる。すなわち、開口率は、アレイ基板側で決定され、対向基板の位置合わせに左右されない。
【００３０】
請求項８のアクティブマトリクス型表示装置は、カラーフィルタが、アレイ基板に形成されている。これにより、対向基板側にカラーフィルタが不要であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができる。
【００３１】
請求項９のアクティブマトリクス型表示装置の製造方法は、前記請求項２のアクティブマトリクス型表示装置を製造する方法である。
【００３２】
すなわち、一絶縁基板上に複数の対向電極を形成するに際し、複数の開口に分割するマスクの分割部に、対向電位給電端子を得るための切欠部が両端辺側から交互に配置されるため、分割部幅が広くとれ、これにより基板の利用効率を高め、パターン不良等の発生が防止できる。
【００３３】
【実施例】
（第１の実施例）
以下、本発明の第１の実施例のアクティブマトリクス型液晶表示装置（以下、単に「液晶表示装置」という）(1) について図面を参照して詳細に説明する。
【００３４】
この液晶表示装置(1) は、図１の概略斜視図を示すように、ノーマリーホワイト・モードの光透過型の液晶表示装置(1) であって、カラー表示が可能に構成された対角１０．４インチの大きさの表示領域(2) を備えている。
【００３５】
この液晶表示装置(1) は、液晶パネル(3) と、液晶パネル(3) を駆動するための信号線駆動回路基板(5a)、走査線駆動回路基板(5b)、各駆動回路基板(5a),(5b) と液晶パネル(3) とを電気的に接続するためのＴＡＢ(7a),(7b) とを備えている。
【００３６】
液晶パネル(3) は、図２と図３に示すように、アレイ基板(101) と対向基板(301) とが、それぞれ配向膜(403),(405) を介して、光変調層として液晶組成物(401) を保持し、図示しないがシール剤によって互いに保持されている。各基板(101),(301) の外表面には、それぞれ偏光板(407),(409) が、その偏光軸が直交するように配置されて成っている。
【００３７】
なお、液晶組成物(401) として、ツイスト・ネマチック型を用いるが、これの代わりに、透明樹脂と液晶材料との混合系を用いた高分子分散型液晶を用いるのであれば、配向膜(403),(405) や偏光板(407),(409) を設ける必要はない。
【００３８】
アレイ基板(101) は、ガラス基板(100) 上に、６４０×３本の信号線(103) と４８０本の走査線(111) とが略直交するように配置されている。各信号線(103) と各走査線(111) との交点近傍には、それぞれＴＦＴ(121) を介して画素電極(151) が配置されている。
【００３９】
この実施例では、信号線(103) 及び走査線(111) は、それぞれ配線の片側に引き出され、図１に示すようにＴＡＢ(7a),(7b) を介してそれぞれの駆動回路基板(5a),(5b) から駆動電圧が供給される。
【００４０】
このＴＦＴ(121) は、図２と図３に示すように、走査線(111) 自体をゲート電極とし、この上に酸化シリコンと窒化シリコンとが積層されて成る絶縁膜(113) が配置され、絶縁膜(113) 上にはａ−Ｓｉ：Ｈ膜が半導体膜(115) として配置されている。また、この半導体膜(115) 上には、走査線(111) に自己整合されて成るチャネル保護膜(117) として窒化シリコンが配置されている。そして、半導体膜(115) は、低抵抗半導体膜(119) として配置されるｎ＋ 型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜及びソース電極(131) を介してそれぞれの画素電極(151) に電気的に接続されている。また、半導体膜(115) は、低抵抗半導体膜(119) として配置されるｎ＋ 型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜及び信号線(103) から延在されたドレイン電極(105) を介して信号線(103) に電気的に接続されている。
【００４１】
また、走査線(111) に対し略平行に、しかも画素電極(151) と重複する領域を有して配置される補助容量線(161) を備え、画素電極(151) と補助容量線(161) とによって補助容量（Ｃｓ）が形成されている。
【００４２】
対向基板(301) は、透明なガラス基板(300) 上に、アレイ基板(101) に形成されるＴＦＴ(121) 、信号線(103) と画素電極(151) との間隙、走査線(111) と画素電極(151) との間隙のそれぞれを遮光するため、マトリクス状のクロム（Ｃｒ）の酸化膜からなる第１の遮光層(311) 、この第１の遮光層(311) 上に積層されるクロム（Ｃｒ）から成る第２の遮光層(321) を備えている。そして、第１、第２の遮光層(311),(321) 間にはカラー表示を実現するための赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色で構成されるカラーフィルタ、すなわち、色部(331) がそれぞれ設けられ、有機保護膜(341) を介してＩＴＯから成る対向電極(351) が配置されて構成されている。
【００４３】
この対向電極(351) について、図４を参照して説明する。
【００４４】
図４（ａ）は、対向基板(301) を偏光板(409) 側（図３参照）から見た図であり、図中上側に図１に示すように信号線駆動回路基板(5a)がＴＡＢ(7a)を介してアレイ基板(101) に電気的に接続され、図中左側に走査線駆動回路基板(5b)がＴＡＢ(7b)を介してアレイ基板(101) に電気的に接続される。
【００４５】
対向電極(351) は、信号線駆動回路基板(5a)、すなわち、画面の長手方向において対向する一端辺(351a)から７カ所の第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)が突出して形成され、また一端辺(351a)に相対する他の一端辺(351b)に９カ所の第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)が突出して形成されている。
【００４６】
これら第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)は、シール剤配置領域(451) から外方に突出して形成されている。また、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)とは、互いに線対称位置からずれて配置されている。この実施例において、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)のそれぞれをシール剤配置領域(451) から外方で形成したのは、シール剤配置領域(451) 内方あるいはシール剤配置領域(451) 中に形成する場合に比べ、トランスファの配置が容易であり、且つトランスファによる液晶組成物(401) の劣化を軽減できる。
【００４７】
このようにして配置された第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)のそれぞれは、図４（ｂ）に示すアレイ基板(101) に形成された第１対向電極接続パッド(107) にトランスファとして銀ペーストを介して電気的に接続され、信号線(103) に沿って、各信号線(103) と同時に形成される第１対向電極接続配線(108) を介してアレイ基板(101) の端辺まで引き延ばされている。そして、第１対向電極接続配線(108) は、信号線(103) と図１に示す信号線駆動回路基板(5a)とを電気的に接続するＴＡＢ(7a)の一部を介して信号線駆動回路基板(5a)に電気的に接続されている。
【００４８】
以上のように、この液晶表示装置(1) によれば、対向電極(351) の対向する両端辺(351a),(351b) に複数の第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)が形成されているため、対向電極(351) に対する給電が十分に達成される。しかも、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)とは、線対称位置からずれて形成されているため、対向電極(351) の面内での電位のばらつきが一層解消され、これにより良好な表示画像を得ることができた。
【００４９】
また、この液晶表示装置(1) によれば、対向電極(351) の電位を基準電位に対して一水平走査期間あるいは複数の水平走査期間毎に極性反転させる、いわゆるコモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化することがなかった。
【００５０】
次に、このようにして構成される液晶表示装置(1) の、対向基板(301) の形成方法について図５を参照して説明する。
【００５１】
３６０ｍｍ×４６５ｍｍのガラス基板を用意し、このガラス基板から４枚の対向基板(301) を形成する場合について説明する。
【００５２】
まず、図５（ａ）に示すように、ガラス基板(500) 上に、図２〜３に示すアレイ基板(101) に形成されるＴＦＴ(121) 、信号線(103) と画素電極(151) との間隙、及び走査線(111) と画素電極(151) との間隙のそれぞれを遮光するため、マトリクス状のクロム（Ｃｒ）酸化膜から成る第１の遮光層(311) 及び第１の遮光層(311) 上に積層されるクロム（Ｃｒ）から成る第２の遮光層(321) をそれぞれ形成する。ここで、第１の遮光層(311) をクロム（Ｃｒ）の酸化膜で構成したのは、視認面での外光の反射によるコントラストの低下を防止するためである。また、遮光層としては、この実施例の如く金属で形成するばかりでなく、例えば黒色樹脂等で形成しても良い。なお、上記した第１、第２の遮光層(311),(321) の形成時に位置合わせマークを形成しておくと良い。
【００５３】
次に、同図（ｂ）に示す隣接する第１、第２の遮光層(311),(321) 間のガラス基板(500) 上に、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色で構成される色部(331) をそれぞれ形成する。この色部(331) は、顔料が分散されたインクを印刷法あるいはフォトグラフィ法で構成しても良いし、また染色法で構成しても良い。更に、各色部(331) に対応する電極を構成しておけば、電着法で構成することもできる。この他にも、インクを噴出させて各色部(331) を形成しても良い。
【００５４】
そして、同図（ｃ）に示すように、第１、第２の遮光層(311),(321) 上及び各色部(331) 上に、アクリル系樹脂からなる有機保護膜(341) を形成する。この有機保護膜(341) は、対向電極を形成するに際して平滑化層として機能すると共に、各色部(331) から不純物が液晶組成物(401) 内に侵入することを阻止するよう機能する。尚、各色部(331) の充分な平滑性が得られていれば、有機保護膜(341) は設けなくても構わない。
【００５５】
この後、図６（ａ），（ｂ）に示すステンレスから成るスパッタ・マスク(601) を位置合わせし、図示しないがスパッタ装置内でＩＴＯ膜を１５００オングストロームの膜厚で堆積し、図５（ｄ）に示すように対向電極(351) を形成する。この対向電極(351) の膜厚としては、対向電極(351) 自体の抵抗、モアレ発生の防止を考慮して、１３００〜１７００オングストロームの膜厚に制御することが好ましい。
【００５６】
このスパッタ・マスク(601) は、図６（ａ）に示すように、上記したガラス基板(500) と略等しい外形サイズ、即ち３６０ｍｍ×４６５ｍｍの外形サイズを有し、ガラス基板(500) から４枚の対向基板(301) が形成されるように、対向電極(351) と同形状の４つの開口(603-1),(603-2),(603-3),(603-4) を備えている。この第１開口(603-1) と第３開口(603-3) とは、スパッタ・マスク(601) の細線部(611) によって分割され、また第２開口(603-2) と第３開口(603-4) とは細線部(613) によって分割されている。
【００５７】
このスパッタ・マスク(601) には、スパッタ・マスク(601) の第１開口(603-1) を規定する一端辺から、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1) ，…，(353-7) に対応して、外方に延在される第１切欠部(643-1),…,(643-7)が形成されている。また、スパッタ・マスク(601) には、第１開口(603-1) を規定する前述の一端辺と対向する他の一端辺から、対向電極(351) の第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)に対応して、外方に延在される第２切欠部(645-1),…,(645-9)が形成されている。なお、他の開口(603-2),(603-3),(603-4) からも、同様に第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が延在されている。
【００５８】
そして、スパッタ・マスク(601) に形成される第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)は、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1) ，…，(353-7) 及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)に対応するものであって、互いに非線対称位置に配置されている。即ち、第１開口(603-1) と第３開口(603-3) とを分割する細線部(611) 、第２開口(603-2) と第３開口(603-4) とを分割する細線部(613) には、その両端辺側から第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が交互に延在されるよう配置されている。
【００５９】
従って、スパッタ・マスク(601) の第１開口(603-1) と第３開口(603-3) との間の細線部(611) 、第２開口(603-2) と第４開口(603-4) との間の細線部(613) には、第１切欠部(643-1),…,(643-7)と第２切欠部(645-1),…,(645-9)とが、相対する位置に配置されることなく、交互に配置されるため、図６（ｂ）に示すように、その最短幅領域でも５．５ｍｍ以上のマスク幅を有している。
【００６０】
このため、ＩＴＯ膜の成膜不良などが発生することなく、またスパッタ・マスク(601) の剛性も十分に確保できるため、スパッタ・マスク(601) のたわみ等も抑えることができ、精度良く対向電極(351) を形成することができる。
【００６１】
この実施例では、スパッタ・マスク(601) の細線部(611),(613) の最短幅領域のマスク幅を５．５ｍｍ程度としたが、スパッタ・マスク(601) の最短幅領域のマスク幅として１．８ｍｍ以上であれば良好な成膜を実現することができる。
【００６２】
以上のようにして対向基板集合体(501) を形成した後、図示しないが、これをスクライブして４枚の対向基板(301) を取り出す。この後は、常法にしたがって、配向膜(405) を形成し、アレイ基板(101) と対向基板(301) とを図４（ａ）に示すシール剤配置領域(451) にシール剤を配置して貼り合わせし、液晶材料(401) を注入し封止する。そして、図１に示すＴＡＢ(7a),(7b) を異方性導電膜（図示せず）を介して熱圧着することにより接続し、またＴＡＢ(7a),(7b) の入力配線（図示せず）を駆動回路基板(5a),(5b) に半田によって接続する。
【００６３】
このようして、この実施例の液晶表示装置(1) を完成させた。
【００６４】
以上のように、この実施例の液晶表示装置(1) によれば、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1) ，…，(353-7) 及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)が、互いに線対称位置に配置されていない。このため、スパッタ・マスク(601) の細線部(611),(613) は、両端辺側から第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が交互に延在されるよう配置されている。このため、細線部(611),(613) の最短幅領域でも５．５ｍｍ以上のマスク幅に形成でき、これによりＩＴＯ膜の成膜不良なく精度良く対向電極(351) を形成することができた。
【００６５】
上述した実施例では、対向電極(351) をＩＴＯ膜で構成する場合について説明したが、透明導電材料であればＩＴＯ膜に限定されるものではなく、また蒸着やＣＶＤにより成膜しても良い。
【００６６】
また、スパッタ・マスク(601) としては、ステンレスで構成する場合について説明したが、この他にも剛性や熱膨張等を考慮すれば、銅を主体とした種々の合金等も使用可能である。
【００６７】
（第２の実施例）
図７は、第２の実施例の対向電極(351) を示すものであり、第１の実施例の対向電極(351) と異なる点は、第１対向電位給電端子と、第２対向電位給電端子の形成される位置が異なる点にある。
【００６８】
すなわち、信号線駆動回路基板(5a)、すなわち、画面の短手方向の一端辺(351c)とそれに対向する他の一端辺(351d)に、第１対向電位給電端子(353-1),…，(353-4) と第２対向電位給電端子(355-1),…，(355-4) とが、それぞれ突出して形成されている。また、第１対向電位給電端子(353-1),…，(353-4) と第２対向電位給電端子(355-1),…，(355-4) とは、互いに線対称位置からずれて配置されている。
【００６９】
図８は、本実施例の対向基板(301) を製造する場合におけるスパッタ・マスク(601) を示したものである。
【００７０】
第１の実施例と同様にスパッタ・マスク(601) の第１開口部(603-1) から第４開口(603-4) において、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1),…，(355-4) に対応して、外方に延在される第１切欠部(643-1),…，(643-4) が形成されている。また、第２対向電位給電端子(355-1),…，(355-4) に対応して、外方に延在される第２切欠部(645-1),…，(645-4) が形成されている。
【００７１】
（第３の実施例）
図９は、対向基板(301) の第３の実施例であって、第１の実施例と異なる点は、第１対向電位電極(353) と第２対向電位給電端子(355) が、対向電極(351) の四周端辺に設けられたことにある。また、それぞれ対向する位置にある第１対向電位給電端子(353) と第２対向電位給電端子(355) とは、それぞれ線対称からずれた位置に設けられている。
【００７２】
図１０は、本実施例の対向基板(301) を製造する際のスパッタ・マスク(601) の平面図であり、第１開口(603-1) から第４開口(603-4) までには、それぞれ第１対向給電端子(353) と第２対向電位給電端子(355) と対応する位置に第１切欠部(643) と第２切欠部(645) が設けられている。
【００７３】
（第４の実施例）
図１１及び図１２に基いて、第４の実施例の液晶表示装置１について説明する。
【００７４】
本実施例は、アレイ基板(101) に遮光膜(701) を設けた構造（BM-ON-ARRAY 構造）の液晶表示装置１であり、また、対向電位給電端子が対向電極(351) の端辺から突出して形成されことに特徴がある。
【００７５】
まず、アレイ基板(101) の表示領域(2) の構造について説明する。
【００７６】
遮光膜(701) は、クロム（Ｃｒ）等の金属よりなり、保護膜（ＳｉＮｘ：シリコンナイトライド）(707) の上に設けることにより信号線(103) と画素電極(151) との間隙、走査線(111) と画素電極(151) との間隙及びＴＦＴ(121) を遮光する。そして、この遮光膜(701) 上に配向膜(403) を設ける。
【００７７】
なお、遮光膜(701) は金属の他に、光遮蔽性の樹脂（例えば、カーボンが樹脂中に分散されてなるもの）、あるいは黒鉛等により形成されても構わない。
【００７８】
このようにしてアレイ基板(101) を構成すれば、対向基板(301) 側に遮光膜が不要であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができる。すなわち、開口率は、アレイ基板(101) 側で決定され、対向基板（301)の位置合わせに左右されない。
【００７９】
さらに、アレイ基板(101) の周辺部(700) の構造について説明する。
【００８０】
アレイ基板(101) に周辺部(700) において、遮光膜(701) 上に配向膜(403) を設ける。また、前記配向膜(403) の外周部において、対向電極接続配線(705) から対向電極接続パッド(703) が露出する開口を含むように保護膜(707) を形成する。
【００８１】
次に、対向基板(301) について説明する。
【００８２】
対向基板(301) は、透明なガラス基板(300) 上に、赤，緑，青の三原色で構成される色部(331) をそれぞれ形成する。この色部(331) は、印刷法やフォトリソグラフィ法で構成してもよいし、また、染色法で構成してもよい。さらに、各色部(331) に対応する位置に電極を構成しておけば、電着法で構成することもできる。
【００８３】
この色部(331) 上に、有機保護膜(341) を介して、対向電極(351) を形成する。この場合に、対向電極(351) に電位を給電するための対向電位給電端子(353) は、第１〜第３の実施例と異なり、対向電極(351) から突出させずに四周辺のどの位置からでも給電が可能なように額縁状にしておく。そして、対向電極(351) 上に配向膜(405) を形成する。
【００８４】
上記液晶表示装置１の製造方法について説明する。
【００８５】
［１］ アレイ基板(101) の周辺部(700) において、前記配向膜(403) 及び保護膜(707) の境界部分が、シール剤配置領域(451) となる。このため、シール剤配置領域(451) にシール剤(709) をスクリーン印刷により配置する。この場合に、アレイ基板(101)(の対向電極接続端子703) に対応するシール剤配置領域(451) には、シール剤(709) が配置されないようにスクリーン印刷を行い、対向電極接続端子(703) を露出する円筒形の孔を設ける。シール剤配置領域(451) の幅としては、約２ｍｍの大きさを設定する。
【００８６】
［２］ シール剤配置領域(451) 中の円筒形の孔に銀ペーストから成るトランスファ(711) を滴下する。
【００８７】
［３］ アレイ基板(101) の上にシール剤(709) を介して対向基板(301) を対向配置して重ねる。これにより、対向電極接続端子(703) と対向電位給電端子(351) とがトランスファ(711) を介して電気的に接続する。
【００８８】
上記のようにして構成した場合には、シール剤(709) と重複する位置に共通電極である対向電極(351) を延在させ、その一部分で対向電極接続端子(703) とトランスファ(711) を介してコンタクトするように構成しているため、対向基板(301) に遮光膜が無いにもかかわらず、対向基板(301) 側のガラス基板(300) が液晶組成物(401) に対して露出することがない。このため、液晶組成物(401) 内にガラスからの不純物等が浸入することがなく、これにより長時間の使用に対して良好な表示品位を維持することができる。
【００８９】
なお、本実施例では色部(331) を対向基板(301) 側に設けたが、これに代えて、アレイ基板(101) 側に設けてもよい。この場合に、この色部(331) は、印刷法で構成してもよいし、また、染色法で構成してもよい。画素電極(151) を旨く用い、各色部(331) を電着法で構成することもできる。さらに、顔料を分散させて全体に塗布し、その後、露光して色部(331) を構成してもよい。これにより、対向基板側にカラーフィルタが不要であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができる。
【００９０】
【発明の効果】
本発明のアクティブマトリクス型液晶表示装置によれば、対向基板の対向電極には、対向電極の一端辺に設けた第１対向電位給電端子と、対向電極の一端辺と対向する他の一端辺に設けた第２対向電位給電端子とを備えているため、対向電極が大サイズとなっても、対向電極には十分な給電が成される。
【００９１】
これにより、例えば、コモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化することがない。
【００９２】
また、アクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法は、対向電極に設けた第１対向電位給電端子と第２対向電位給電端子とは、線対称位置からずれて形成されているため、対向電極電位の面内不均一は一層解消され、良好な表示画像が得られる。すなわち、対向電極に対する給電が十分に成され、面内での電位のばらつきを解消できるため、良好な表示画像を実現することができる。
【００９３】
また、アクティブマトリクス型表示装置の製造方法は、一絶縁基板上に複数の対向電極を形成するに際し、複数の開口に分割するマスクの分割部に、対向電位給電端子を得るための切欠部が両端辺側から交互に配置されるため、分割部幅が広くとれ、これにより基板の利用効率を高め、パターン不良等の発生が防止できる。すなわち、一絶縁基板にパターン精度の良い複数の対向電極を効率よく形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施例の液晶表示装置の概略斜視図である。
【図２】図２は、図１のアレイ基板の一部概略正面図である。
【図３】図３は、図２中Ａ−Ａ’線に沿って切断した液晶表示装置の概略断面図である。
【図４】図４は、図１の液晶表示装置に係り、図（ａ）は対向基板の概略正面図、図（ｂ）はアレイ基板の一部概略正面図である。
【図５】図５は、図１の液晶表示装置の対向基板の製造プロセスを示す図である。
【図６】図６は、図１の液晶表示装置の対向電極を成膜するためのマスク・パターンの概略正面図である。
【図７】図７は、第２の実施例の対向基板の製造プロセスを示す図である。
【図８】図８は、図７の対向電極を成膜するためのマスク・パターンの概略正面図である。
【図９】図９は、第３の実施例の対向基板の製造プロセスを示す図である。
【図１０】図１０は、第３の実施例の対向電極を成膜するためのマスク・パターンの概略正面図である。
【図１１】第４の実施例の液晶表示装置の要部拡大縦断面図である。
【図１２】第４の実施例のアレイ基板の平面図である。
【符号の説明】
(1) …液晶表示装置
(7a),(7b) …ＴＡＢ
(101) …アレイ基板
(301) …対向基板
(353-1) 〜(353-7) …第１対向電位給電端子
(355-1) 〜(355-9) …第２対向電位給電端子
(601) …スパッタ・マスク
(603-1) 〜(603-4) …開口
(611),(613) …細線部
(643-1) 〜(643-7) …第１切欠部
(645-1) 〜(645-9) …第２切欠部
Claims (9)
- 複数の画素電極が配置されて成るアレイ基板と、前記アレイ基板に対向して配置される対向電極を備えた対向基板と、前記アレイ基板と前記対向基板との間に保持される光変調層とを備えたアクティブマトリクス型表示装置において、
前記対向基板は前記対向電極に給電をするための複数の給電端子を備え、前記複数の給電端子は前記対向電極の一端辺上とこの一端辺に対向する他の一端辺上の互いに線対称となる位置からずれた位置に配置され、
前記複数の給電端子は前記対向電極の端辺から突出した
ことを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。 - 前記複数の給電端子は、前記光変調層を収納するシール剤領域から突出して形成される
ことを特徴とする請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。 - 前記複数の給電端子は、前記光変調層を収納するシール剤領域の内部に形成される
ことを特徴とする請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。 - 前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面長手方向の両端辺に形成される
ことを特徴とする請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。 - 前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面短手方向の両端辺に形成される
ことを特徴とする請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。 - 前記複数の給電端子は、前記表示装置の画面の四周端辺に形成される
ことを特徴とする請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。 - マトリクス状の遮光膜は、前記アレイ基板に形成される
ことを特徴とする請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。 - カラーフィルターは、前記アレイ基板に形成される
ことを特徴とする請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。 - 第１及び第２開口が分割部により分離されて成るマスクを用い、前記第１及び第２開口にそれぞれ対応した第１及び第２対向電極を形成して対向基板集合体を形成した後に、前記対向基板集合体から第１及び第２対向基板を取り出すアクティブマトリクス型表示装置の製造方法において、
前記マスクの前記分割部の一端辺とこの一端辺に対向する他の一端辺の互いに線対称となる位置からずれた位置に複数の切欠部が設けられた
ことを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置の製造方法。
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