JP3772954B2 - チップ状部品の取扱方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、チップ状部品の取扱方法に関するもので、特に、チップ状部品としてのチップ状の電子部品本体の外表面上に電極を形成する際に有利に適用される、チップ状部品の取扱方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
たとえば積層セラミックコンデンサのような電子部品は、チップ状の電子部品本体を備え、この電子部品本体の両端部には、端子となる電極がそれぞれ形成されている。これら電極を形成するため、導電性ペーストを電子部品本体の各端部に付与する工程が実施される。このような導電性ペーストの付与を能率的に行なえるようにするため、多数個の電子部品本体を1個のホルダによって整列した状態で保持した状態とし、多数個の電子部品本体に対して同時に導電性ペーストを付与するようにしていることが多い。
【0003】
上述したホルダには、種々の形態のものがあるが、電極を形成すべき面の一辺の長さがたとえば1.0mm以下といった小型の電子部品本体であっても、複数個の電子部品本体を適正に保持し得るホルダとして、特許第2682250号公報に記載されたものがある。以下に、図7を参照して、この従来のホルダおよびそれを用いて実施される導電性ペーストの付与方法について説明する。
【0004】
まず、図7(1)には、チップ状部品用ホルダ1が、チップ状部品としての複数個のチップ状の電子部品本体2を保持している状態が示されている。
【0005】
ホルダ1は、全体として板状であり、その一方主面側には、複数個の電子部品本体2に粘着してこれら電子部品本体2を保持する粘着面3が与えられている。より具体的には、ホルダ1は、たとえば金属のような剛体からなる板状の基材4と、これに貼着される、たとえばゴムのような弾性体からなる保持材5とを備えている。上述した粘着面3は、保持材5の表面に形成されるが、このような粘着面3は、保持材5自身が有する粘着性によって与えられても、別の粘着剤をコートすることによって与えられてもよい。
【0006】
電子部品本体2は、その外表面上であって相対向する第1および第2の端部6および7上にそれぞれ電極が形成されることが予定されていて、各電子部品本体2は、その第1の端部6がホルダ1の粘着面3に粘着された状態でホルダ1によって保持されている。
【0007】
また、図7(1)には、導電性ペースト8が、定盤9上に所定の厚みを有する膜を形成するように付与されている状態が示されている。
【0008】
図7(1)に示した状態から、ホルダ1が定盤9に近づけられ、それによって、各電子部品本体2の第2の端部7が導電性ペースト8中にディップされる。
【0009】
次いで、電子部品本体2が導電性ペースト8から引き上げられるように、ホルダ1が定盤9から離される。これによって、図7(2)に示すように、電子部品本体2の各々の第2の端部7に導電性ペースト8が付与された状態が得られ、この導電性ペースト8は、次いで乾燥される。
【0010】
次に、図7(3)に示す工程が実施される。図7(3)には、上述したホルダ1と実質的に同様の構成を有する第2のホルダ10が示されている。第2のホルダ10は、上述の第1のホルダ1と同様、その一方主面側に粘着面11を形成するものであるが、この粘着面11は、第1のホルダ1の粘着面3が与える粘着力より強い粘着力を与えるように設定されている。
【0011】
図7(3)に示すように、第1のホルダ1と第2のホルダ10とが互いに近づけられることによって、各電子部品本体2の導電性ペースト8が付与された第2の端部7が、第2のホルダ10の粘着面11に粘着される。
【0012】
次に、図7(4)に示すように、第1のホルダ1と第2のホルダ10とが互いに離される。このとき、前述したように、第2のホルダ10の粘着面11が与える粘着力は、第1のホルダ1の粘着面3が与える粘着力より強く設定されているので、各電子部品本体2は、第2のホルダ10に保持された状態となる。
【0013】
次に、第2のホルダ10によって保持された状態で、各電子部品本体2の第1の端部6にも導電性ペースト8を付与するため、前述した図7(1)および(2)にそれぞれ示した各工程と実質的に同様の各工程が実施される。図7(5)には、このようにして第1および第2の端部6および7の双方に導電性ペースト8がそれぞれ付与された電子部品本体2が第2のホルダ10によって保持されている状態が示されている。
【0014】
次に、図7(5)に示すように、各電子部品本体2が第2のホルダ10から離される。この工程のために、たとえば掻き取り刃12が用いられ、この掻き取り刃12を粘着面11に沿って移動させることにより、電子部品本体2を粘着面11から剥がし取ることが行なわれる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したようなホルダ1または10による電子部品本体2の保持は、粘着面3または11が及ぼす粘着力のみに頼っているため、以下のような問題に遭遇することがある。
【0016】
まず、粘着面3または11が与える粘着力は、経時的に、あるいは汚れ等によって全体あるいは一部において劣化することがある。そのため、ホルダ1または10によって保持された、あるいは保持されようとする電子部品本体2が、落下したり、傾いたり、位置ずれを生じたりすることがある。
【0017】
また、粘着面3または11による粘着力が劣化したり、粘着力にばらつきが生じたりすると、図7(3)および(4)に示したように、電子部品本体2を第1のホルダ1から第2のホルダ10へ移し替えようとするとき、移し替えミスが生じることがある。
【0018】
また、このような移し替えは、第1のホルダ1から第2のホルダ10へというように、比較的弱い粘着力を有する粘着面3から比較的強い粘着力を有する粘着面11への移し替えに限定される。
【0019】
また、図7(5)に示すように、電子部品本体2を掻き取り刃12によって粘着面11から剥がし取る際、電子部品本体2が比較的強く粘着面11に粘着している場合には、電子部品本体2に傷がついたり、割れや欠けが発生したりすることがある。また、掻き取り刃12によって、粘着面11を傷つけたり、汚したりすることもある。
【0020】
なお、上述のような問題は、電子部品本体を取り扱う場合に限らず、他のチップ状部品を取り扱う場合にも同様に遭遇する。
【0021】
そこで、この発明の目的は、上述したような問題を解決し得る、チップ状部品の取扱方法を提供しようとすることである。
【0022】
【課題を解決するための手段】
この発明は、全体として板状であり、その一方主面側には、複数個のチップ状部品の各々の所定の外表面に粘着することによってチップ状部品を保持する平面状の粘着面が与えられ、粘着面に粘着されているチップ状部品の所定の外表面に対してプッシャー部材の押圧による外力を作用させることを可能にするように、その少なくとも一部がチップ状部品の所定の外表面の一部によって閉じられる開口端を有する貫通孔が設けられている、チップ状部品用ホルダを用いて実施されるチップ状部品の取扱方法に向けられる。
【0026】
この発明に係るチップ状部品の取扱方法は、チップ状部品用ホルダおよび複数個のチップ状部品を用意する工程と、チップ状部品を貫通孔と位置合わせする工程と、貫通孔と位置合わせされた状態で、ホルダの粘着面に、各チップ状部品の所定の外表面を粘着させることによって、チップ状部品をホルダによって保持する工程とをまず備えることを特徴としている。
【0031】
この発明に係る取扱方法は、2個のホルダ間での移し替えに適用されるものであるが、その第1の実施態様では、前述したチップ状部品用ホルダを第1のチップ状部品用ホルダとしたとき、この第1のホルダとは別に、全体として板状であり、その一方主面側には、複数個のチップ状部品の各々の所定の外表面に粘着することによってチップ状部品を保持する平面状の粘着面が与えられている、第2のチップ状部品用ホルダが用意される。そして、第2のホルダの粘着面を、第1のホルダによって保持されているチップ状部品に粘着させる工程と、第1のホルダの貫通孔を通して、チップ状部品の所定の外表面に対してチップ状部品を第1のホルダから離す方向のプッシャー部材の押圧による外力を作用させながら、チップ状部品を第1のホルダから第2のホルダへ移し替える工程と、第2のホルダの粘着面に各チップ状部品を粘着させることによって、チップ状部品を第2のホルダによって保持する工程とがさらに実施されることをさらなる特徴としている。
【0032】
この発明に係る取扱方法の第2の実施態様では、第2のチップ状部品用ホルダにも同様の貫通孔が設けられており、上記移し替える工程において、上述のように、第1のホルダの貫通孔を通して、チップ状部品の所定の外表面に対してチップ状部品を第1のホルダから離す方向のプッシャー部材の押圧による外力を作用させるとともに、第2のホルダの貫通孔を通して負圧を付与することによって、チップ状部品を吸引しながら、チップ状部品を第1のホルダから第2のホルダへ移し替えるようにすることをさらなる特徴としている。
【0033】
このような移し替えにおいて用いられる第2のホルダは、第1のホルダと実質的に同様の構成を有していることが好ましい。
【0034】
また、このような移し替え工程を備えるチップ状部品の取扱方法は、チップ状の電子部品本体の外表面上であって相対向する第1および第2の端部上にそれぞれ電極を形成するための電子部品本体の取扱方法に有利に適用することができる。この場合、電子部品本体を第1のホルダによって保持する工程において、電子部品本体の第1の端部が第1のホルダの粘着面に粘着されていて、このように電子部品本体が第1のホルダによって保持された状態で、電子部品本体の第2の端面上に電極となるべき導電性ペーストを付与する工程が実施され、また、電子部品本体を第2のホルダによって保持する工程において、電子部品本体の導電性ペーストが付与された第2の端部が第2のホルダの粘着面に粘着されていて、このように電子部品本体が第2のホルダによって保持された状態で、電子部品本体の第1の端部上に電極となるべき導電性ペーストを付与する工程が実施される。
【0035】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施形態によるチップ状部品用ホルダ21を示している。ホルダ21は、全体として板状であり、その一方主面側には、粘着面22が与えられている。なお、ホルダ21の形状は、全体として大略板状であればよく、その概念は少なくとも平面状の粘着面を有していればよいものである。また、ホルダ21を用いるにあたって、粘着面22はいずれの方向に向けられてもよいが、図1では、粘着面22を下方へ向けた状態で、ホルダ21が斜め下方から見た斜視図をもって示されている。また、図2には、ホルダ21の一部が断面図で示され、図3には、ホルダ21の一部が平面図で示されている。さらに、この実施形態によれば、ホルダ21が独立した部材として示されているが、ホルダ21は、たとえば製造設備や取扱装置等に組み込まれている取扱機構や搬送機構として用いられたり兼用されたりするものであってもよい。
【0036】
粘着面22は、図2に示すように、チップ状部品としての複数個の電子部品本体23の各々の所定の外表面、すなわち第1の端部24の外表面に粘着することによって、これら電子部品本体23を保持するためのものである。電子部品本体23の外表面上であって相対向する第1および第2の端部24および25上には、それぞれ、導電性ペーストによる電極が形成されることが予定されている。なお、図2等において、導電性ペーストの図示は省略されている。
【0037】
ホルダ21は、より具体的には、たとえば金属のような剛体からなる板状の基材26と、これに貼着される、たとえばゴムのような弾性体からなる保持材27とを備えている。前述した粘着面22は、保持材27の表面に形成されるもので、保持材27を構成する弾性体自身が有する粘着性によって与えられても、別の粘着剤をコートすることによって与えられてもよい。
【0038】
この発明の特徴的構成として、ホルダ21には、粘着面22に粘着されている電子部品本体23の所定の外表面、すなわち第1の端部24の外表面に対して外力を作用させることを可能にするように、その少なくとも一部が電子部品本体23の所定の外表面の一部によって閉じられる開口端28を有する貫通孔29が設けられている。貫通孔29は、図3によく示されているように、たとえば円形の断面を有していて、破線でその輪郭を示した電子部品本体23の各重心位置に1個ずつ設けられている。
【0039】
図2に示すように、貫通孔29と位置合わせされた後、複数個の電子部品本体23がホルダ21によって保持された状態を得るため、ホルダ21は、粘着面22を上方へ向けた状態とされ、その上に振込配向装置(図示せず。)が重ねられる。この振込配向装置は、その上に複数個の電子部品本体23を置いた状態で、電子部品本体23を所定の方向に向けながら、粘着面22上の所定の位置に案内するためのものである。このように、粘着面22上の所定の位置に所定の方向を向けて案内された複数個の電子部品本体23は、粘着面22に向かって押圧される。これによって、複数個の電子部品本体23が粘着面22に確実に粘着された状態が得られる。
【0040】
なお、前述したように、粘着面22が弾性体からなる保持材27の表面に形成されていると、複数個の電子部品本体23の間で寸法誤差が存在していても、このような寸法誤差を有利に吸収することができ、特定の電子部品本体23に損傷を与えたり、特定の電子部品本体23が粘着面22に粘着されないような事態を招くことを防止できる。
【0041】
このようにして、図2に示すような電子部品本体23の保持状態が得られるわけであるが、この保持力をより強くしたい場合には、貫通孔29を通して、図2に矢印で示すような負圧30を与え、このような負圧30が電子部品本体23の外表面すなわち第1の端部24に対して及ぼされるようにすればよい。
【0042】
図2に示すように電子部品本体23をホルダ21によって保持した状態で、前述した図7(1)および(2)に示すような導電性ペースト8へのディッピング工程を実施すれば、電子部品本体23の第2の端部25上に導電性ペーストを付与することができる。この付与された導電性ペーストは、ホルダ21によって電子部品本体23を保持した状態で乾燥される。
【0043】
電子部品本体23の第1の端部24上にも導電性ペーストを付与するためには、図4に示すような移し替え工程が実施される。そのため、上述したホルダ21を第1のホルダとしたとき、この第1のホルダ21とは別に、第2のチップ状部品用ホルダ31が用意される。第2のホルダ31は、第1のホルダ21と実質的に同様の構成を有していて、その一方主面側には、平面状の粘着面32が与えられている。
【0044】
図4(1)に示すように、複数個の電子部品本体23を保持した第1のホルダ21が、第2のホルダ31に近づけられ、各電子部品本体23の導電性ペースト(図示を省略)が付与された第2の端部25に第2のホルダ31の粘着面32が粘着される。このとき、各電子部品本体23は、粘着面32に向かって所定以上の圧力で押圧され、確実な粘着状態が得られるようにされる。
【0045】
また、第1のホルダ21の貫通孔を通して電子部品本体23の第1の端部24の外表面に対して押圧作用を及ぼすためのプッシャー部材33が用意される。このプッシャー部材33は、第1のホルダ21の貫通孔29内に挿入され、それによって、電子部品本体23を第1のホルダ21から離す方向の外力を、電子部品本体23の外表面に対して作用させる。
【0046】
次いで、図4(2)に示すように、プッシャー部材33による押圧作用を維持しながら、第1のホルダ21と第2のホルダ31とが互いに離される。これによって、電子部品本体23は、第1のホルダ21から第2のホルダ31へ移し替えられる。
【0047】
そして、第2のホルダ31によって保持された状態で、各電子部品本体23の第1の端部24に、図7(1)および(2)に示した工程と実質的に同様の工程を経て、第1の端部24にも導電性ペースト(図示を省略)が付与され、乾燥される。
【0048】
その後、第2のホルダ31から電子部品本体23が離される。
【0049】
図4に示すように、第2のホルダ31にも、貫通孔34が設けられていることが好ましい。この貫通孔34は、ここに負圧を与えることにより、電子部品本体23の保持力を高めることができる。また、貫通孔34に正圧を与えることにより、電子部品本体23の保持力を弱めることができる。このように保持力を弱めることにより、電子部品本体23を第2のホルダ31から離すことが容易になり、必要に応じて、図7(5)に示すような掻き取り刃12を用いても、電子部品本体23を粘着面32から軽い力で剥がし取ることができる。
【0050】
また、第2のホルダ31から電子部品本体23を離す場合、図4に示したプッシャー部材33を用い、これを貫通孔34に挿入して、このプッシャー部材33による押圧作用を、貫通孔34を通して電子部品本体23の外表面に対して及ぼすようにしてもよい。
【0051】
また、図4に示した移し替え工程において、第2のホルダ31の貫通孔34を通して負圧を付与し、第1のホルダ21から電子部品本体23を引き剥がすに際して、プッシャー部材33と併用して移し替えるようにしてもよい。
【0052】
図5および図6は、それぞれ、この発明の他の実施形態を説明するための図3に相当する図である。
【0053】
図5に示した実施形態では、ホルダ21aには、1個の電子部品本体23に対応して複数個たとえば4個の貫通孔29aが設けられている。
【0054】
図6に示した実施形態では、ホルダ21bに設けられる貫通孔29bが長手の形状とされ、1個の貫通孔29bが複数個たとえば2個の電子部品本体23に対応するようにされている。
【0055】
図3、図5および図6を比較すればわかるように、貫通孔29、29aおよび29bは、電子部品本体23と粘着面22との接触面積を低減するばかりでなく、接触面積をコントロールするようにも機能している。すなわち、たとえば貫通孔29、29aおよび29bというように、貫通孔の断面形状、断面積および数等を変更することにより、電子部品本体23と粘着面との接触面積を変えることができ、その結果、粘着力による電子部品本体23の保持力をコントロールすることができる。
【0056】
以上、この発明を図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の実施形態が可能である。
【0057】
たとえば、電子部品本体23の第1および第2の端部24および25に電極を形成するため、導電性ペーストが付与されたが、たとえば、めっき等の方法が採用されてもよい。
【0059】
また、この発明による取扱方法は、電子部品本体23の外表面に電極を形成するために適用されるだけでなく、電極形成以外の処理を施す場合、たとえば、電子部品の特性検査を実施する場合、あるいは、電子部品の外表面上に表示を施す場合等においても適用することができる。また、電子部品以外のチップ状部品を取り扱う場合にも、この発明を等しく適用することができる。
【0060】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係るチップ状部品の取扱方法によれば、チップ状部品が粘着面によって粘着されて保持される構成を採用しながら、貫通孔が設けられ、この貫通孔の開口端の少なくとも一部がチップ状部品の所定の外表面の一部によって閉じられる構成が採用されているチップ状部品用ホルダを用いるので、粘着面に粘着されているチップ状部品の所定の外表面に対して貫通孔を通してプッシャー部材の押圧による外力を作用させることが可能になる。したがって、このような外力によって、チップ状部品をホルダから容易に離すことができる。
【0062】
また、掻き取り刃を用いなくても、チップ状部品をホルダから剥がし取ることができるので、チップ状部品に損傷を与えたり、粘着面に損傷を与えたりすることを有利に防止することができる。
【0063】
また、チップ状部品を第1のホルダから第2のホルダへ移し替える場合においても、上述したような第1のホルダ側からのプッシャー部材による押圧作用を付与すれば、円滑かつ確実な移し替えを行なうことができる。この場合において、第1のホルダの粘着面の粘着力と第2のホルダの粘着面の粘着力との間で差を設ける必要がなく、また、第1のホルダの粘着面の粘着力が第2のホルダの粘着面の粘着力より強い場合であっても、移し替えを行なうことができ、これら粘着面における粘着力の管理を厳密に行なう必要がなく、工程管理が簡略化される。
【0064】
また、ホルダに設けられる貫通孔を利用し、たとえば光や圧力によって、チップ状部品の保持状態の適否を容易に確認することができる。
【0065】
このようなことから、この発明に係るチップ状部品の取扱方法は、複数個のチップ状の電子部品本体の相対向する第1および第2の端部上にそれぞれ電極を形成するための導電性ペーストの付与において特に有利に適用されることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態によるチップ状部品用ホルダ21を斜め下方から示す斜視図である。
【図2】図1に示したホルダ21の一部を示す断面図であり、電子部品本体23を保持している状態を示す。
【図3】図1に示したホルダ21の一部を示す平面図である。
【図4】図1に示した第1のホルダ21とともに第2のホルダ31を用いて実施される電子部品本体23の移し替え工程を示す断面図である。
【図5】この発明の他の実施形態によるホルダ21aを示す、図3に相当する図である。
【図6】この発明のさらに他の実施形態によるホルダ21bを示す、図3に相当する図である。
【図7】この発明にとって興味ある従来のチップ状部品用ホルダ1および10を用いて実施される電子部品本体2への導電性ペースト8の付与工程を説明するための図解的正面図である。
【符号の説明】
21,21a,21b チップ状部品用ホルダ
22,32 粘着面
23 電子部品本体
24 第1の端部
25 第2の端部
28 開口端
29,29a,29b,34 貫通孔
30 負圧
31 第2のチップ状部品用ホルダ
33 プッシャー部材
Claims (4)
- 全体として板状であり、その一方主面側には、複数個のチップ状部品の各々の所定の外表面に粘着することによってチップ状部品を保持する平面状の粘着面が与えられ、さらに、前記粘着面に粘着されているチップ状部品の前記所定の外表面に対してプッシャー部材の押圧による外力を作用させることを可能にするように、その少なくとも一部がチップ状部品の前記所定の外表面の一部によって閉じられる開口端を有する貫通孔が設けられている、チップ状部品用ホルダを用いて、チップ状部品を取り扱う方法であって、
前記チップ状部品用ホルダおよび複数個の前記チップ状部品を用意する工程と、
前記チップ状部品を前記貫通孔と位置合わせする工程と、
前記貫通孔と位置合わせされた状態で、前記チップ状部品用ホルダの前記粘着面に、各前記チップ状部品の前記所定の外表面を粘着させることによって、前記チップ状部品を前記チップ状部品用ホルダによって保持する工程と、
前記チップ状部品用ホルダを第1のチップ状部品用ホルダとしたとき、この第1のチップ状部品用ホルダとは別に、全体として板状であり、その一方主面側には、複数個のチップ状部品の各々の所定の外表面に粘着することによってチップ状部品を保持する平面状の粘着面が与えられている、第2のチップ状部品用ホルダを用意する工程と、
前記第2のチップ状部品用ホルダの粘着面を、前記第1のチップ状部品用ホルダによって保持されている前記チップ状部品に粘着させる工程と、
前記貫通孔を通して、前記チップ状部品の前記所定の外表面に対して前記チップ状部品を前記第1のチップ状部品用ホルダから離す方向のプッシャー部材の押圧による外力を作用させながら、前記チップ状部品を前記第1のチップ状部品用ホルダから前記第2のチップ状部品用ホルダへ移し替える工程と、
前記第2のチップ状部品用ホルダの前記粘着面に各前記チップ状部品を粘着させることによって、前記チップ状部品を前記第2のチップ状部品用ホルダによって保持する工程と
を備える、チップ状部品の取扱方法。 - 全体として板状であり、その一方主面側には、複数個のチップ状部品の各々の所定の外表面に粘着することによってチップ状部品を保持する平面状の粘着面が与えられ、さらに、前記粘着面に粘着されているチップ状部品の前記所定の外表面に対してプッシャー部材の押圧による外力を作用させることを可能にするように、その少なくとも一部がチップ状部品の前記所定の外表面の一部によって閉じられる開口端を有する貫通孔が設けられている、チップ状部品用ホルダを用いて、チップ状部品を取り扱う方法であって、
前記チップ状部品用ホルダおよび複数個の前記チップ状部品を用意する工程と、
前記チップ状部品を前記貫通孔と位置合わせする工程と、
前記貫通孔と位置合わせされた状態で、前記チップ状部品用ホルダの前記粘着面に、各前記チップ状部品の前記所定の外表面を粘着させることによって、前記チップ状部品を前記チップ状部品用ホルダによって保持する工程と、
前記チップ状部品用ホルダを第1のチップ状部品用ホルダとしたとき、この第1のチップ状部品用ホルダとは別に、全体として板状であり、その一方主面側には、複数個のチップ状部品の各々の所定の外表面に粘着することによってチップ状部品を保持する平面状の粘着面が与えられ、さらに、前記粘着面に粘着されているチップ状部品の前記所定の外表面に対して外力を作用させることを可能にするように、その少なくとも一部がチップ状部品の前記所定の外表面の一部によって閉じられる開口端を有する貫通孔が設けられている、第2のチップ状部品用ホルダを用意する工程と、
前記第2のチップ状部品用ホルダの粘着面を、前記第1のチップ状部品用ホルダによって保持されている前記チップ状部品に粘着させる工程と、
前記第1のチップ状部品用ホルダの前記貫通孔を通して、前記チップ状部品の前記所定の外表面に対して前記チップ状部品を前記第1のチップ状部品用ホルダから離す方向のプッシャー部材の押圧による外力を作用させるとともに、前記第2のチップ状部品用ホルダ の前記貫通孔を通して負圧を付与することによって、前記チップ状部品を吸引しながら、前記チップ状部品を前記第1のチップ状部品用ホルダから前記第2のチップ状部品用ホルダへ移し替える工程と、
前記第2のチップ状部品用ホルダの前記粘着面に各前記チップ状部品を粘着させることによって、前記チップ状部品を前記第2のチップ状部品用ホルダによって保持する工程とを備える、チップ状部品の取扱方法。 - 前記第2のチップ状部品用ホルダは、前記第1のチップ状部品用ホルダと実質的に同様の構成を有する、請求項1または2に記載のチップ状部品の取扱方法。
- 前記チップ状部品は、その外表面上であって相対向する第1および第2の端部上にそれぞれ電極が形成されるべきチップ状の電子部品本体であり、
前記電子部品本体を前記第1のチップ状部品用ホルダによって保持する工程において、前記電子部品本体の前記第1の端部が前記第1のチップ状部品用ホルダの粘着面に粘着されていて、
前記電子部品本体が前記第1のチップ状部品用ホルダによって保持された状態で、前記電子部品本体の前記第2の端部上に前記電極となるべき導電性ペーストを付与する工程をさらに備え、
前記電子部品本体を前記第2のチップ状部品用ホルダによって保持する工程において、前記電子部品本体の前記導電性ペーストが付与された前記第2の端部が前記第2のチップ状部品用ホルダの粘着面に粘着されていて、
前記電子部品本体が前記第2のチップ状部品用ホルダによって保持された状態で、前記電子部品本体の前記第1の端部上に前記電極となるべき導電性ペーストを付与する工程をさらに備える、請求項1ないし3のいずれかに記載のチップ状部品の取扱方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29363799A JP3772954B2 (ja) | 1999-10-15 | 1999-10-15 | チップ状部品の取扱方法 |
SG200005494A SG92743A1 (en) | 1999-10-15 | 2000-09-26 | Chip element holder and method of handling chip elements |
US09/685,692 US6503356B1 (en) | 1999-10-15 | 2000-10-11 | Chip element holder and method of handling chip elements |
US10/288,503 US20030062115A1 (en) | 1999-10-15 | 2002-11-06 | Chip element holder and method of handling chip elements |
US12/005,282 US20080110015A1 (en) | 1999-10-15 | 2007-12-27 | Chip element holder and method of handling chip elements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29363799A JP3772954B2 (ja) | 1999-10-15 | 1999-10-15 | チップ状部品の取扱方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001118755A JP2001118755A (ja) | 2001-04-27 |
JP3772954B2 true JP3772954B2 (ja) | 2006-05-10 |
Family
ID=17797299
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29363799A Expired - Lifetime JP3772954B2 (ja) | 1999-10-15 | 1999-10-15 | チップ状部品の取扱方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6503356B1 (ja) |
JP (1) | JP3772954B2 (ja) |
SG (1) | SG92743A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3772954B2 (ja) * | 1999-10-15 | 2006-05-10 | 株式会社村田製作所 | チップ状部品の取扱方法 |
JP3882537B2 (ja) * | 2001-06-20 | 2007-02-21 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の電極形成方法 |
US6731353B1 (en) * | 2001-08-17 | 2004-05-04 | Alien Technology Corporation | Method and apparatus for transferring blocks |
JP4096633B2 (ja) * | 2002-05-31 | 2008-06-04 | 株式会社村田製作所 | チップ状電子部品の取扱装置および取扱方法 |
JP4626190B2 (ja) * | 2004-06-03 | 2011-02-02 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の移し替え方法および移し替え装置 |
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JP5795272B2 (ja) * | 2012-02-06 | 2015-10-14 | 日本碍子株式会社 | セラミックス素子の製造方法 |
JP6418914B2 (ja) * | 2014-11-26 | 2018-11-07 | 信越ポリマー株式会社 | 部品搬送用部材及びその製造方法 |
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US10518520B2 (en) | 2017-09-05 | 2019-12-31 | Christie Digital Systems Usa, Inc. | Apparatus and method for tiled display removal |
CN112017988B (zh) * | 2019-05-31 | 2024-03-19 | 成都辰显光电有限公司 | 转移设备 |
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US7077908B2 (en) * | 2003-05-30 | 2006-07-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Substrate holder |
-
1999
- 1999-10-15 JP JP29363799A patent/JP3772954B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-09-26 SG SG200005494A patent/SG92743A1/en unknown
- 2000-10-11 US US09/685,692 patent/US6503356B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-11-06 US US10/288,503 patent/US20030062115A1/en not_active Abandoned
-
2007
- 2007-12-27 US US12/005,282 patent/US20080110015A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG92743A1 (en) | 2002-11-19 |
US20080110015A1 (en) | 2008-05-15 |
US20030062115A1 (en) | 2003-04-03 |
US6503356B1 (en) | 2003-01-07 |
JP2001118755A (ja) | 2001-04-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3772954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090224 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100224 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110224 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110224 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120224 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130224 Year of fee payment: 7 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |