JP3673081B2

JP3673081B2 - Substrate processing equipment

Info

Publication number: JP3673081B2
Application number: JP15223698A
Authority: JP
Inventors: 正美大谷
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-05-14
Filing date: 1998-05-14
Publication date: 2005-07-20
Anticipated expiration: 2018-05-14
Also published as: JPH11319686A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板あるいは半導体製造装置用マスク基板等の基板を処理する基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
このような基板処理装置においては、ガロン瓶やコート瓶と呼称される薬液収納容器に収納された薬液を、薬液供給管を介して、スピンコータやスピンデベロッパ等の基板処理部に送液することにより、基板に所望の薬液を供給する構成となっている。そして、薬液収納容器内の薬液が空になった場合には、オペレータが新たな薬液収納容器を薬液供給管に接続するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
近年、一つの基板処理ラインで複数種の基板を処理するケースが増加している。このような場合には、各基板の種類に応じて使用する薬液が各々異なることから、一つの基板処理装置において極めて多数の薬液が使用されることになる。
【０００４】
このため、薬液収納容器の交換時に、薬液収納容器を本来接続すべき薬液供給管とは異なる薬液供給管に接続してしまうという薬液収納容器と薬液供給管との接続ミスが発生する場合がある。このような接続ミスが発生した場合には、その薬液で処理された基板を廃棄せざるを得ず、また、薬液供給管の洗浄も必要になるという問題を生ずる。
【０００５】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、薬液収納容器と薬液供給管との接続ミスを有効に防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、複数の薬液収納容器に収納された薬液を各々基板処理部に送液することにより、基板に所望の薬液を供給して処理を行う基板処理装置において、前記薬液収納容器と接続されることにより当該薬液収納容器から前記基板処理部に薬液を送液するための薬液供給管と、前記薬液収納容器に収納された薬液の種類を示すデータを表示するため、前記薬液収納容器に付設されたデータ表示部と、前記データ表示部に表示された薬液の種類を示すデータを読み取る読取手段と、前記読取手段により読み取られた薬液収納容器における薬液の種類を示すデータに基づき、前記薬液収納容器とこの薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管との接続情報として、この薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、前記表示手段は、前記薬液収納容器を設置すべき場所を表示することにより、この薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１はこの発明の第１実施形態に係る基板処理装置の要部を示す説明図である。
【０００９】
この基板処理装置は、基板１を処理するための基板処理部２と、薬液を収納した薬液収納容器３と、薬液収納容器３から基板処理部２へ薬液を送液するための薬液供給管４とを備える。
【００１０】
前記基板処理部２は、基板１をその下面より吸着保持した状態で鉛直軸１１のまわりを回転するスピンチャック１２と、スピンチャック１２に保持されて回転する基板１の表面に薬液を吐出するための薬液吐出ノズル１５とを有する。薬液吐出ノズル１５から基板１の表面に吐出された薬液は、基板１の回転に伴う遠心力により、基板１の表面で薄膜を形成する。
【００１１】
前記薬液収納容器３は、その内部に基板処理部２で使用される薬液を貯留するものである。この薬液収納容器３の側面には、この薬液収納容器３に収納された薬液の種類を示すバーコードを表示したデータ表示部５が付設されている。
【００１２】
前記薬液供給管４は、その先端部を薬液収納容器３内に挿入してこの薬液収納容器３と接続されることにより、薬液収納容器３から基板処理部２へ薬液を送液するためのものである。この薬液供給管４には、薬液収納容器３内の薬液の有無を検出するための薬液検出部９と、薬液を圧送するためのポンプ１４とが配設されている。また、薬液検出部９は、薬液収納容器３から送液された薬液を一時的に貯留する貯留部１６と、この貯留部１６内の薬液の液位を検出するセンサ１７とを備える。
【００１３】
この薬液供給管４における薬液収納容器３との接続部付近には、読取部６が配設されている。この読取部６は、図２に示すように、薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを読み取るためのバーコードリーダ８を有する。この読取部６は、配線２８を介して、後述する制御部２４と接続されている。
【００１４】
図３は、この基板処理装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。
【００１５】
この基板処理装置は、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたＲＯＭ２１と、制御時にデータ等が一時的にストアされるＲＡＭ２２と、論理演算を実行するＣＰＵ２３とから成る制御部２４を備える。この制御部２４は、インターフェース２５を介して、上述した読取部６および薬液検出部９と接続されている。また、この制御部２４は、薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否を表示するための警告灯やＣＲＴ等を備えた表示部１０と接続されている。
【００１６】
なお、上述した説明においては、薬液収納容器３および薬液供給管４を、各々１個のみ図示しているが、この基板処理装置には、薬液収納容器３および薬液供給管４がそれぞれ複数個配設されている。
【００１７】
このような基板処理装置において、基板１の処理を継続するに伴い、薬液収納容器３内の薬液がなくなったことを薬液検出部９が検出すれば、制御部２４の制御により表示部１０に薬液がなくなった旨の警告表示が表示される。これにより、オペレータは空になった薬液収納容器３を新たな薬液収納容器３と交換する。
【００１８】
この交換時においては、オペレータは、新たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを、薬液供給管４に配設された読取部６におけるバーコードリーダ８により読み取る。読取部６は、データ表示部５におけるバーコードの情報から、この薬液収納容器３が読取部６が配設された薬液供給管４と接続すべきものか否かを判断し、その結果を制御部２４に送信する。そして、表示部１０には、制御部２４の制御により、薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否が表示される。
【００１９】
このため、薬液収納容器３の交換時に、薬液収納容器３を本来接続すべき薬液供給管４とは異なる薬液供給管に接続してしまうという薬液収納容器３と薬液供給管４との接続ミスを防止することが可能となる。
【００２０】
なお、上述した表示部１０は、警告灯やＣＲＴ等の薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否を視覚的に表示するものに限らず、ブザー等の薬液収納容器３と薬液供給管４との接続の適否を音で表示するものを使用してもよい。
【００２１】
次に、この発明の他の実施の形態について説明する。図４はこの発明の第２実施形態に係る基板処理装置に使用される読取部７の斜視図である。
【００２２】
この読取部７には、第１実施形態に係る読取部６と同様、薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを読み取るためのバーコードリーダ８が配設されている。また、この読取部７には、緑色のＬＥＤ２１と赤色のＬＥＤ２２とから成る表示部２０が配設されている。なお、この読取部７および表示部２０は、図３に示す制御部２４と接続されている。
【００２３】
この第２実施形態に係る基板処理装置において、オペレータが空になった薬液収納容器３を新たな薬液収納容器３と交換する場合においては、オペレータは、新たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを、薬液供給管４に配設された読取部７におけるバーコードリーダ８により読み取る。読取部７は、データ表示部５におけるバーコードの情報から、この薬液収納容器３が読取部７が配設された薬液供給管４と接続すべきものか否かを判断する。
【００２４】
そして、この薬液収納容器３が読取部７が配設された薬液供給管４に接続すべきものである場合には、表示部２０における緑色のＬＥＤ２１を点灯する。また、この薬液収納容器３が読取部７が配設された薬液供給管４に接続すべきものではない場合には、表示部２０における赤色のＬＥＤ２２を点灯する。
【００２５】
このため、第１実施形態の場合と同様、薬液収納容器３の交換時における薬液収納容器３と薬液供給管４との接続ミスを防止することが可能となる。
【００２６】
次に、この発明のさらに他の実施の形態について説明する。図５はこの発明の第３実施形態に係る基板処理装置に使用される薬液収納容器３の設置部２６付近を示す拡大図である。
【００２７】
この基板処理装置における薬液収納容器３の設置部２６には、各薬液供給管４と接続すべき薬液収納容器３を載置するための複数の凹部２７が形成されている。そして、この凹部２７の側方には、各々ランプを有する複数の表示部３０が配設されている。また、この設置部２６内には、第１実施形態と同様の読取部６が配設されている。この読取部６は、配線２８を介して、図３に示す制御部２４と接続されている。
【００２８】
この第３実施形態に係る基板処理装置において、オペレータが空になった薬液収納容器３を新たな薬液収納容器３と交換する場合においては、オペレータは、新たな薬液収納容器３のデータ表示部５に表示されたバーコードを、設置部２６内に配設された読取部６におけるバーコードリーダ８により読み取る。読取部６は、データ表示部５におけるバーコードの情報から、この薬液収納容器３が接続されるべき薬液供給管４を判断し、その結果を制御部２４に送信する。
【００２９】
一方、制御部２４は、読取部６から送信された情報に基づいて、この薬液収納容器３が接続されるべき薬液供給管４と対応する凹部２７の側方に配設された表示部３０におけるランプを点灯する。オペレータは、ランプが点灯した表示部３０の側方の凹部２７に薬液収納容器３を載置し、この薬液収納容器３とそこに対応する薬液供給管４とを接続する。
【００３０】
このため、第１、第２実施形態の場合と同様、薬液収納容器３の交換時における薬液収納容器３と薬液供給管４との接続ミスを防止することが可能となる。
【００３１】
なお、上述した実施の形態においては、いずれも、薬液収納容器３の表示部５として、バーコードを表示したものを使用し、読取部６、７に配設されたバーコードリーダ８によりこのバーコードを読み取る場合について説明したが、表示部５には、薬液収納容器３に収納された薬液の種類を示す何らかのデータが表示されていればよく、また、読取部６、７は、このデータを読取可能な何らかの構成を有すればよい。
【００３２】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、読取手段により読み取られた薬液の種類を示すデータに基づき、薬液収納容器とこの薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管との接続情報を表示する表示手段とを備えたことから、薬液収納容器の交換時における薬液収納容器と薬液供給管との接続ミスの発生を有効に防止することが可能となる。
【００３３】
また、請求項１に記載の発明によれば、表示手段が薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示することから、薬液収納容器を接続すべき薬液供給管を容易に特定することができる。
【００３４】
請求項２に記載の発明によれば、表示手段が薬液収納容器を設置すべき場所を表示することによりこの薬液収納容器が接続されるべき薬液供給管を表示することから、薬液収納容器を接続すべき薬液供給管をさらに容易に特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施形態に係る基板処理装置の要部を示す説明図である。
【図２】読取部６の斜視図である。
【図３】基板処理装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。
【図４】読取部７の斜視図である。
【図５】この発明の第３実施形態に係る基板処理装置に使用される薬液収納容器３の設置部２６付近を示す拡大図である。
【符号の説明】
１基板
２基板処理部
３薬液収納容器
４薬液供給管
５データ表示部
６読取部
７読取部
８バーコードリーダ
９薬液検出部
１０表示部
２０表示部
２１ＬＥＤ
２２ＬＥＤ
２４制御部
３０表示部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate processing apparatus for processing a substrate such as a semiconductor wafer, a glass substrate for a liquid crystal display panel, or a mask substrate for a semiconductor manufacturing apparatus.
[0002]
[Prior art]
In such a substrate processing apparatus, a chemical solution stored in a chemical solution storage container called a gallon bottle or a coat bottle is sent to a substrate processing unit such as a spin coater or a spin developer via a chemical solution supply pipe. The desired chemical solution is supplied to the substrate. When the chemical liquid in the chemical liquid storage container becomes empty, the operator connects a new chemical liquid storage container to the chemical liquid supply pipe.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, cases of processing a plurality of types of substrates in one substrate processing line are increasing. In such a case, since the chemical solution to be used differs depending on the type of each substrate, an extremely large number of chemical solutions are used in one substrate processing apparatus.
[0004]
For this reason, at the time of replacement of the chemical solution storage container, there may be a connection error between the chemical solution storage container and the chemical solution supply pipe, in which the chemical solution storage container is connected to a chemical solution supply pipe different from the chemical solution supply pipe to be originally connected. . When such a connection error occurs, the substrate treated with the chemical solution must be discarded, and the chemical solution supply pipe needs to be cleaned.
[0005]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a substrate processing apparatus that can effectively prevent a connection error between a chemical solution storage container and a chemical solution supply pipe.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1 is a substrate processing apparatus for supplying a desired chemical solution to a substrate for processing by feeding the chemical solution stored in a plurality of chemical solution storage containers to the substrate processing unit. In order to display the chemical solution supply pipe for sending the chemical solution from the chemical solution storage container to the substrate processing unit by being connected to the storage container, and the data indicating the type of the chemical solution stored in the chemical solution storage container, A data display unit attached to the chemical solution storage container, a reading unit for reading data indicating the type of the chemical solution displayed on the data display unit, and data indicating the type of the chemical solution in the chemical solution storage container read by the reading unit based, as the connection information of the drug solution container with a chemical solution supply pipe to the drug solution container is connected, the display means the chemical container is to display a chemical supply pipe to be connected Characterized by comprising a.
[0007]
Invention according to claim 2, in the substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the display means, by displaying the location should establish the chemical container, chemical This should chemical container is connected Display the supply pipe.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view showing the main part of the substrate processing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
[0009]
This substrate processing apparatus includes a substrate processing unit 2 for processing a substrate 1, a chemical solution storage container 3 storing a chemical solution, and a chemical solution supply pipe 4 for sending a chemical solution from the chemical solution storage container 3 to the substrate processing unit 2. With.
[0010]
The substrate processing unit 2 discharges the chemical solution onto the surface of the spin chuck 12 that rotates around the vertical axis 11 while the substrate 1 is sucked and held from the lower surface thereof, and the substrate 1 that is held and rotated by the spin chuck 12. And a chemical liquid discharge nozzle 15. The chemical solution discharged from the chemical solution discharge nozzle 15 to the surface of the substrate 1 forms a thin film on the surface of the substrate 1 by the centrifugal force accompanying the rotation of the substrate 1.
[0011]
The said chemical | medical solution storage container 3 stores the chemical | medical solution used by the board | substrate process part 2 in the inside. On the side surface of the chemical solution storage container 3, a data display unit 5 displaying a bar code indicating the type of the chemical solution stored in the chemical solution storage container 3 is attached.
[0012]
The chemical solution supply pipe 4 is for feeding a chemical solution from the chemical solution storage container 3 to the substrate processing unit 2 by inserting a tip portion thereof into the chemical solution storage container 3 and being connected to the chemical solution storage container 3. It is. The chemical solution supply pipe 4 is provided with a chemical solution detector 9 for detecting the presence or absence of the chemical solution in the chemical solution storage container 3 and a pump 14 for pumping the chemical solution. In addition, the chemical liquid detection unit 9 includes a storage unit 16 that temporarily stores the chemical solution fed from the chemical solution storage container 3 and a sensor 17 that detects the liquid level of the chemical solution in the storage unit 16.
[0013]
A reading unit 6 is disposed in the vicinity of the connection between the chemical solution supply pipe 4 and the chemical solution storage container 3. As shown in FIG. 2, the reading unit 6 includes a barcode reader 8 for reading a barcode displayed on the data display unit 5 of the chemical solution storage container 3. The reading unit 6 is connected to a control unit 24 described later via a wiring 28.
[0014]
FIG. 3 is a block diagram showing the main electrical configuration of the substrate processing apparatus.
[0015]
The substrate processing apparatus includes a control unit 24 including a ROM 21 that stores an operation program necessary for controlling the apparatus, a RAM 22 that temporarily stores data and the like during control, and a CPU 23 that executes a logical operation. The control unit 24 is connected to the reading unit 6 and the chemical solution detection unit 9 described above via an interface 25. The control unit 24 is connected to a display unit 10 including a warning light, a CRT, and the like for displaying whether or not the chemical solution storage container 3 and the chemical solution supply pipe 4 are properly connected.
[0016]
In the above description, only one chemical storage container 3 and one chemical supply pipe 4 are shown. However, the substrate processing apparatus includes a plurality of chemical storage containers 3 and a plurality of chemical supply pipes 4. It is installed.
[0017]
In such a substrate processing apparatus, when the chemical solution detection unit 9 detects that the chemical solution in the chemical solution storage container 3 is exhausted as the processing of the substrate 1 is continued, the control unit 24 controls the display unit 10 to display the chemical solution. A warning message is displayed indicating that there is no more. Thus, the operator replaces the emptied chemical solution storage container 3 with a new chemical solution storage container 3.
[0018]
At the time of this replacement, the operator reads the barcode displayed on the data display unit 5 of the new chemical solution storage container 3 with the barcode reader 8 in the reading unit 6 provided in the chemical solution supply pipe 4. The reading unit 6 determines from the bar code information in the data display unit 5 whether or not the chemical solution storage container 3 should be connected to the chemical solution supply pipe 4 in which the reading unit 6 is disposed, and the result is determined by the control unit. 24. The display unit 10 displays whether the chemical solution storage container 3 and the chemical solution supply pipe 4 are properly connected under the control of the control unit 24.
[0019]
For this reason, when the chemical solution storage container 3 is replaced, there is a connection error between the chemical solution storage container 3 and the chemical solution supply pipe 4 that the chemical solution storage container 3 is connected to a chemical solution supply pipe different from the chemical solution supply pipe 4 to be originally connected. It becomes possible to prevent.
[0020]
The display unit 10 described above is not limited to a visual display of whether or not the chemical liquid storage container 3 such as a warning light or CRT is connected to the chemical liquid supply pipe 4, and the chemical liquid storage container 3 such as a buzzer and the chemical liquid supply. You may use what displays the sound of the connection with the pipe | tube 4 by sound.
[0021]
Next, another embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a perspective view of the reading unit 7 used in the substrate processing apparatus according to the second embodiment of the present invention.
[0022]
Similar to the reading unit 6 according to the first embodiment, the reading unit 7 is provided with a barcode reader 8 for reading the barcode displayed on the data display unit 5 of the chemical solution storage container 3. In addition, the reading unit 7 is provided with a display unit 20 including a green LED 21 and a red LED 22. The reading unit 7 and the display unit 20 are connected to the control unit 24 shown in FIG.
[0023]
In the substrate processing apparatus according to the second embodiment, when the operator replaces the empty chemical storage container 3 with a new chemical storage container 3, the operator displays the data display unit 5 of the new chemical storage container 3. Is read by the barcode reader 8 in the reading unit 7 disposed in the chemical solution supply pipe 4. The reading unit 7 determines from the barcode information in the data display unit 5 whether or not the chemical solution storage container 3 should be connected to the chemical solution supply pipe 4 in which the reading unit 7 is disposed.
[0024]
When the chemical solution storage container 3 is to be connected to the chemical solution supply pipe 4 in which the reading unit 7 is disposed, the green LED 21 in the display unit 20 is turned on. When the chemical solution storage container 3 is not to be connected to the chemical solution supply pipe 4 in which the reading unit 7 is disposed, the red LED 22 in the display unit 20 is turned on.
[0025]
For this reason, as in the case of the first embodiment, it is possible to prevent a connection error between the chemical solution storage container 3 and the chemical solution supply pipe 4 when the chemical solution storage container 3 is replaced.
[0026]
Next, still another embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is an enlarged view showing the vicinity of the installation portion 26 of the chemical solution storage container 3 used in the substrate processing apparatus according to the third embodiment of the present invention.
[0027]
A plurality of recesses 27 for placing the chemical solution storage containers 3 to be connected to the respective chemical solution supply pipes 4 are formed in the installation portion 26 of the chemical solution storage container 3 in the substrate processing apparatus. A plurality of display units 30 each having a lamp are disposed on the side of the recess 27. In addition, a reading unit 6 similar to that in the first embodiment is disposed in the installation unit 26. The reading unit 6 is connected to the control unit 24 shown in FIG.
[0028]
In the substrate processing apparatus according to the third embodiment, when the operator replaces the empty chemical storage container 3 with a new chemical storage container 3, the operator displays the data display section 5 of the new chemical storage container 3. Is read by the barcode reader 8 in the reading unit 6 disposed in the installation unit 26. The reading unit 6 determines the chemical solution supply pipe 4 to which the chemical solution storage container 3 should be connected from the barcode information in the data display unit 5 and transmits the result to the control unit 24.
[0029]
On the other hand, the control unit 24 is based on the information transmitted from the reading unit 6 in the display unit 30 disposed on the side of the concave portion 27 corresponding to the chemical solution supply pipe 4 to which the chemical solution storage container 3 is to be connected. Turn on the lamp. The operator places the chemical solution storage container 3 in the concave portion 27 on the side of the display unit 30 where the lamp is lit, and connects the chemical solution storage container 3 to the corresponding chemical solution supply pipe 4.
[0030]
For this reason, as in the case of the first and second embodiments, it is possible to prevent a connection error between the chemical solution storage container 3 and the chemical solution supply pipe 4 when the chemical solution storage container 3 is replaced.
[0031]
In the above-described embodiments, the display unit 5 of the chemical solution storage container 3 uses a bar code display, and the bar code reader 8 disposed in the reading units 6 and 7 uses this bar code. Although the case where the code is read has been described, the display unit 5 only needs to display some data indicating the type of the chemical solution stored in the chemical solution storage container 3, and the reading units 6 and 7 display the data. It only needs to have some readable configuration.
[0032]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, the display for displaying the connection information between the chemical solution storage container and the chemical solution supply pipe to which the chemical solution storage container is connected based on the data indicating the type of the chemical solution read by the reading unit. Therefore, it is possible to effectively prevent a connection error between the chemical solution storage container and the chemical solution supply pipe when the chemical solution storage container is replaced.
[0033]
Further, according to the invention described in claim 1, since it displays the chemical supply pipe to the display means is connected to the drug solution container, it is easily identified the chemical supply pipe to be connected to the drug solution container it can.
[0034]
According to the second aspect of the present invention, the display means displays the chemical supply pipe to which the chemical storage container should be connected by displaying the location where the chemical storage container is to be installed, so that the chemical storage container is connected. It is possible to more easily identify the chemical solution supply pipe to be used.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory view showing a main part of a substrate processing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a reading unit 6;
FIG. 3 is a block diagram showing a main electrical configuration of the substrate processing apparatus.
4 is a perspective view of a reading unit 7. FIG.
FIG. 5 is an enlarged view showing the vicinity of an installation portion 26 of a chemical solution storage container 3 used in a substrate processing apparatus according to a third embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate 2 Substrate processing part 3 Chemical solution container 4 Chemical solution supply pipe 5 Data display part 6 Reading part 7 Reading part 8 Bar code reader 9 Chemical liquid detection part 10 Display part 20 Display part 21 LED
22 LED
24 control unit 30 display unit

Claims

In a substrate processing apparatus for supplying a desired chemical solution to a substrate for processing by feeding the chemical solution stored in a plurality of chemical solution storage containers to the substrate processing unit,
A chemical supply pipe for sending the chemical from the chemical storage container to the substrate processing unit by being connected to the chemical storage container;
In order to display data indicating the type of chemical liquid stored in the chemical liquid storage container, a data display unit attached to the chemical liquid storage container;
Reading means for reading data indicating the type of the chemical displayed in the data display unit;
Based on the data indicating the type of the chemical solution in the chemical solution storage container read by the reading means, the chemical solution storage container is connected as connection information between the chemical solution storage container and the chemical solution supply pipe to which the chemical solution storage container is to be connected. Display means for displaying the chemical supply pipe to be
A substrate processing apparatus comprising:

The substrate processing apparatus according to claim 1 ,
The said display means is a substrate processing apparatus which displays the chemical | medical solution supply pipe | tube to which this chemical | medical solution storage container should be connected by displaying the place which should install the said chemical | medical solution storage container.