JP3669348B2 - Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method - Google Patents
Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method Download PDFInfo
- Publication number
- JP3669348B2 JP3669348B2 JP2002209057A JP2002209057A JP3669348B2 JP 3669348 B2 JP3669348 B2 JP 3669348B2 JP 2002209057 A JP2002209057 A JP 2002209057A JP 2002209057 A JP2002209057 A JP 2002209057A JP 3669348 B2 JP3669348 B2 JP 3669348B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crimping
- electronic component
- load detection
- load
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/75301—Bonding head
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/759—Means for monitoring the connection process
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を基板に圧着する電子部品圧着装置および電子部品圧着方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品を基板にボンディングする方法として、圧着による方法が知られている。この方法は圧着ヘッドにより電子部品に押圧力を作用させて接合するものである。ここで良好な圧着品質を得るためには、圧着過程で電子部品に作用する押圧荷重を所定の制御目標値に従って制御する必要がある。このため圧着装置には圧着ヘッドが電子部品を押圧する際の押圧荷重を制御する機構が設けられている。
【0003】
この押圧荷重制御の方式として、従来より、以下に説明する2種類の方式が用いられている。まず第1の方式は、圧着ヘッドを下降させる際に電子部品と圧着ヘッドとの間に作用する押圧力をロードセルなどの荷重検出手段によって検出し、この検出荷重が所定の制御目標値に合致するように圧着ヘッドの下降動作を制御する荷重検出制御方式である。そして第2の方式は、圧着ヘッドに空圧などの流体圧によって押圧力を発生する押圧力発生機構を設けておき、常に制御目標値と一致した押圧力を発生させながら圧着ヘッドを所定圧着高さ位置まで下降させる下降位置制御方式である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上述の押圧荷重制御方式には、それぞれ次のような一長一短があった。まず、荷重検出方式では、広い荷重制御範囲を確保することができるという長所はあるものの、圧着ヘッドを下降させる過程において逐次荷重値を検出する荷重サーチを行うことから、圧着ヘッドを高速で下降させることができず、圧着動作タクトの短縮が困難であった。
【0005】
また下降位置制御方式では、一定の荷重状態に設定された圧着ヘッドを高速で下降させることが可能でタクトタイムの短縮が実現されるものの、1台の圧着装置で広い荷重範囲をカバーさせようとすれば、荷重範囲に対応した複数の圧着ヘッドを予め準備しておき、対象部品に応じて圧着ヘッドを適宜交換する必要があった。このように、従来の電子部品圧着装置には、広い荷重範囲に対応することができ、しかもタクトタイムを短縮して効率のよい圧着作業を実現することが困難であるという問題点があった。
【0006】
そこで本発明は、広い荷重範囲に対応することができるとともに効率的な圧着作業を行うことができる電子部品圧着装置および電子部品圧着方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品圧着装置は、電子部品を押圧する圧着ヘッドと、この圧着ヘッドを昇降させる昇降手段と、前記圧着ヘッドに作用する圧着荷重を検出する荷重検出手段と、この荷重検出手段の荷重検出信号に基づいて前記昇降手段を制御する制御部と、前記荷重検出手段と前記制御部との間に設けられ前記荷重検出信号を必要に応じて断接する荷重検出信号断接手段と、前記圧着ヘッドに備えられ流体圧によって前記電子部品を押圧する押圧力を発生する押圧力発生手段と、前記流体圧を制御する流体圧制御手段とを備えた。
【0008】
請求項2記載の電子部品圧着方法は、電子部品を押圧する圧着ヘッドと、この圧着ヘッドを昇降させる昇降手段と、前記圧着ヘッドに作用する圧着荷重を検出する荷重検出手段と、この荷重検出手段の荷重検出結果に基づいて前記昇降手段を制御する制御部と、前記圧着ヘッドに備えられ流体圧によって前記電子部品を押圧する押圧力を発生する押圧力発生手段と、前記流体圧を制御する流体圧制御手段とを備えた電子部品の圧着装置による電子部品圧着方法であって、前記圧着ヘッドに作用する押圧荷重を荷重検出手段によって検出し荷重検出結果に基づいて前記昇降手段を制御部によって制御しながら電子部品を圧着する荷重検出圧着方式と、前記流体圧を制御して前記圧着ヘッドによって電子部品に所定の押圧力を作用させながら前記昇降手段を制御部によって制御して圧着ヘッドを下降させる下降位置制御圧着方式とを、前記電子部品の圧着に必要とされる押圧力の大小によって選択的に用いる。
【0009】
請求項3記載の電子部品圧着方法は、請求項2記載の電子部品圧着方法であって、前記荷重検出圧着方式を用いる場合において、前記流体圧制御手段によって流体圧を、前記荷重検出圧着方式を用いるのに支障がない程度に小さく設定する。
【0010】
請求項4記載の電子部品圧着方法は、請求項2記載の電子部品圧着方法であって、前記荷重検出圧着方式を用いる場合において、前記流体圧制御手段によって流体圧を、前記荷重検出圧着方式を用いるのに支障がない程度に大きく設定する。
【0011】
本発明によれば、電子部品を押圧する圧着ヘッドに作用する圧着荷重を検出する荷重検出手段と、この荷重検出手段の荷重検出結果に基づいて圧着ヘッドの昇降を制御する制御部と、圧着ヘッドに設けられ流体圧によって電子部品を押圧する押圧力を発生する押圧力発生手段とを備えることにより、対象とする荷重範囲に応じて荷重検出圧着方式と下降位置制御圧着方式とを選択的に使い分けることが可能となり、広い荷重範囲に対応することができるとともに効率的な圧着作業を行うことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の電子部品圧着装置の側面図、図2は本発明の一実施の形態の電子部品圧着装置の圧着ヘッドの断面図、図3は本発明の一実施の形態の電子部品圧着装置の部分断面図、図4、図5、図6、図7は本発明の一実施の形態の電子部品圧着方法の説明図である。
【0013】
まず図1を参照して電子部品圧着装置の構造を説明する。図1において、可動テーブル1の移動プレート1a上には基板ホルダ2が設けられている。基板ホルダ2上には基板3が載置されており、基板3の側方の移動プレート1a上には、電子部品5の供給部4が配設されている。可動テーブル1を駆動することにより、基板3、供給部4は水平面内で移動する。可動テーブル1の上方には電子部品5が圧着ツール6に保持されている。圧着ツール6は圧着ヘッド7に装着されており、圧着ヘッド7は更に第1の昇降ブロック10(昇降部)に着脱自在に装着されている。
【0014】
第1の昇降ブロック10の背面にはスライダ11が固着されており、スライダ11は第1のフレーム13の前面に配設された垂直なガイドレール12に上下方向にスライド自在に嵌合している。また第1の昇降ブロック10の上部には逆L字状の張り出し部14が設けられている。張り出し部14の下面には後述する荷重検出手段であるロードセルが当接する。
【0015】
第1の昇降ブロック10の上方には第2の昇降ブロック20が設けられている。第2の昇降ブロック20の背面にはスライダ21が設けられており、スライダ21は第2のフレーム23の前面に配設された垂直なガイドレール22に上下方向にスライド自在に嵌合している。第2の昇降ブロック20の下部には逆L字状の張り出し部24が設けられている。張り出し部24の上面にはロードセル26が配設されており、ロードセル26は張り出し部14の下面に当接している。また第2の昇降ブロック20の下面にはシリンダ25が下向きに装着されており、シリンダ25のロッド25aは張り出し部14の上面に当接している。シリンダ25には、圧力源34によって所定圧力のエアが供給される。
【0016】
第2のフレーム23の上部には断面がコ字型のブラケット30が固着されている。ブラケット30上にはモータ31が配設されており、モータ31の回転軸は垂直な送りネジ27と接続されている。送りネジ27は第2の昇降ブロック20に内蔵されたナット28に螺入している。制御部32によってモータ31を正逆回転させることにより、第2の昇降ブロック20が昇降する。
【0017】
そして第2の昇降ブロック20が昇降することにより、ロードセル26を介して第2の昇降ブロック20に懸架された第1の昇降ブロック10が昇降し、これにより圧着ヘッド7が昇降する。すなわちモータ31、送りネジ27、ナット28および第2の昇降ブロック20は、圧着ヘッド7が装着される第1の昇降ブロック10(昇降部)を昇降させる昇降手段となっている。モータ31はエンコーダ31aを備えており、エンコーダ31aのパルス信号は制御部32に送られる。制御部32によるモータ31の制御において、このパルス信号をカウントすることにより、圧着ヘッド7の高さ位置を検出することができる。
【0018】
したがって、圧着ヘッド7を下降させて圧着ツール6に保持された電子部品5を押圧して基板に圧着する圧着動作において、圧着ヘッド7の高さ位置を検出しながら前述の昇降手段を制御部32によって制御することにより、圧着ヘッド7を所望の高さ位置まで下降させることができる。
【0019】
次に図2を参照して、圧着ヘッド7の構造を説明する。図2に示すように、圧着ヘッド7は第1の昇降ブロック10に着脱自在に装着するためのテーパシャンク9を備えており、テーパシャンク9の下部にはヘッド本体部8が結合されている。ヘッド本体部8には円孔形状のシリンダ室8aが設けられており、シリンダ室8a内にはピストン8bが嵌合している。ピストン8bの下面にはヘッド本体部8の下方に設けられたツールホルダ8cが結合されており、ツールホルダ8cには圧着ツール6が交換自在に装着される。
【0020】
ピストン8bの上面にはこのピストン8bを上向きに付勢する付勢手段としての引張りバネ8dが結合されており、ピストン8bには引張りバネ8dによって常に上向きの付勢力が作用する。シリンダ室8aの側面にはエア孔8eが設けられており、エア孔8eからシリンダ室8a内に加圧エアを供給することにより、ピストン8bは引張りバネ8dの付勢力に抗して下方に押圧される。この押圧力はピストン8bと結合されたツールホルダ8cを介して圧着ツール6に伝達され、圧着動作において電子部品5を押圧する。すなわち、圧着ヘッド7は、加圧エアの流体圧によって電子部品5を押圧する押圧力を発生する押圧力発生手段を備えている。
【0021】
図2(a)は、シリンダ室8a内が加圧されないエア供給OFF状態を示している。この状態では、ツールホルダ8cは引張りバネ8dの付勢力によって上方に引き上げられ、ツールホルダ8cの上面がヘッド本体部8の下面に当接する。これに対し、図2(b)はシリンダ室8a内が加圧されたエア供給ON状態を示している。このとき、エア圧力を引張りバネ8dの付勢力を超える押圧力を発生するような圧力に設定することにより、ピストン8bは引張りバネ8dの付勢力に抗して下方に移動し、シリンダ室8aの底面に当接する。
【0022】
再び図1において、圧着ヘッド7は、オンオフ弁36および電空レギュレータ35を介して圧力源34に接続されている。オンオフ弁36、電空レギュレータ35を制御部32によって操作することにより、圧着ヘッド7に供給されるエアの圧力を制御することができる。制御部32および電空レギュレータ35は、圧着ヘッド7に備えられた押圧力発生手段の流体圧を制御する流体圧制御手段となっている。
【0023】
ここで、シリンダ25、ロードセル26の機能について図3(a),(b)を参照して説明する。図3(a)は第2の昇降ブロック20が上昇した状態での、また図3(b)は第2の昇降ブロック20が下降して電子部品5を基板3に熱圧着している状態での各部の力のつり合いを示している。シリンダ25には圧力源34より所定圧力のエアが供給されており、したがってシリンダ25は第1の昇降ブロック10を所定の押圧力F0にて下方に押圧する。図3(a)に示す状態ではこの押圧力F0と圧着ヘッド7などの自重に相当する荷重Wの和F0+Wがロードセル26に負荷される荷重fとつり合っている。すなわち第2の昇降ブロック20が上昇位置にある状態では、ロードセル26の検出荷重値f0はシリンダ25の押圧力F0と圧着ヘッド7の自重Wの和に等しい。
【0024】
これに対して図3(b)に示す状態では、圧着ヘッド7は電子部品5より圧着荷重に等しい反力Fを受けており、前述の和F0+Wは、圧着荷重の反力Fとロードセル26に負荷される荷重fの和F+fとつり合っている。すなわち圧着ヘッド7に作用する圧着荷重の反力Fはロードセル26によって検出することができ、F0+W−fで表される。圧着荷重Fを制御するには、F0+Wが一定値であることから、ロードセル26の検出荷重値fを制御部32によって監視しながらモータ31の駆動を制御して第2の昇降ブロック20の昇降動作を制御すればよい。
【0025】
すなわち、ロードセル26は、圧着ヘッド7に作用する荷重を検出する荷重検出手段となっており、制御部32は、この荷重検出手段の荷重検出結果に基づいて昇降手段を制御する。ここで、ロードセル26は荷重検出信号断接手段としてのスイッチ33を介して制御部32に接続されており、制御部32によってスイッチ33を操作することにより、制御部32によるロードセル26からの荷重検出信号を、必要に応じて断接することができるようになっている。なお、荷重検出信号断接手段は、ハードウェアによるものであっても、ソフトウェアによるものであっても構わない。
【0026】
この電子部品圧着装置は上記のように構成されており、次にこの電子部品圧着装置を用いた電子部品圧着方法について説明する。ここでは、対象となるの電子部品の圧着に必要とされる押圧力の大小に応じて、以下に説明する2種類の圧着方式を選択して用いることができるようになっている。
【0027】
まず荷重検出圧着方式について、図4,図5を参照して説明する。この圧着方式は、圧着ヘッド7を下降させて電子部品5を基板3に対して押圧する圧着動作において、圧着ヘッド7に作用する押圧荷重をロードセル26によって検出し、この荷重検出結果に基づいてモータ31を制御部32によって制御しながら、電子部品5を基板3に圧着するものであり、圧着対象の電子部品に必要とされる押圧力が比較的小さい場合(例えば、150gf〜1.5kgf)に用いられる。
【0028】
図4において、ロードセル26と制御部32との間に介在するスイッチ33はONにセットされ、制御部32がロードセル26の荷重検出信号を取り込めるようになっている。したがって、第1の昇降ブロック10,第2の昇降ブロック20を下降させる過程において、圧着ヘッド7に作用する押圧荷重の反力を検出しながら、モータ31の回転を制御することにより、電子部品5を基板3に押圧する荷重を常に所定の圧着荷重に保持することができる。この圧着方式は、圧着過程において荷重サーチを反復することから高速の圧着が困難であるものの、圧着荷重を高精度で制御することができるという利点を有している。
【0029】
図5は、この荷重検出圧着方式による圧着動作において、電子部品5が基板3に押圧される際の圧着ヘッド7の状態を示している。ここではシリンダ室8a内のエア圧力を、2通りの異なった圧力レベルで設定することができる。図5(a)に示す例では、電空レギュレータ35によってシリンダ室8a内に供給されるエア圧力P1を、引張りバネ8dの付勢力に相当する押圧力よりも小さい圧力に設定し、ツールホルダ8cの上面がヘッド本体部8の下面に当接した状態が保たれるようにする。これにより、電子部品5を基板3に押圧して圧着する際の押圧荷重の反力は、ツールホルダ8cの上面からヘッド本体部8に伝達され、ロードセル26によって検出される。すなわち、この場合には電空レギュレータ35は、エアの圧力を荷重検出圧着方式を用いるのに支障がない程度に小さく設定する。
【0030】
これに対し、図5(b)に示す例では、電空レギュレータ35によってシリンダ室8a内に供給されるエア圧力P2を、対象とする電子部品5の圧着に必要な押圧荷重に対して十分に余裕のある圧力(通常の場合には、圧力源34が供給可能な最大圧力)に設定する。これによりピストン8bは引張りバネ8dの付勢力に抗してシリンダ室8aの底面に強い力で押し付けられ、圧着過程においてはツールホルダ8cとヘッド本体部8とが一体に製作された剛体型圧着ヘッドに類似した特性を示す。このため電子部品5を基板3に押圧して圧着する際の押圧荷重の反力は、ツールホルダ8cからヘッド本体部8に伝達され、前述の例と同様にロードセル26によって検出される。すなわち、この場合には電空レギュレータ35は、エアの圧力を荷重検出圧着方式を用いるのに支障がない程度に大きく設定する。
【0031】
次に、下降位置制御圧着方式について、図6,図7を参照して説明する。この圧着方式は、圧着ヘッド7を下降させて電子部品5を基板3に対して押圧する圧着動作において、圧着ヘッド7に供給されるエアの圧力を制御して、圧着ヘッド7によって電子部品5に所定の押圧力を作用させながら、昇降手段を制御部32によって制御して圧着ヘッド7を下降させるものであり、必要とされる押圧力が前述の圧着方式によってカバー可能な範囲よりも大きい場合(例えば1.5kgf〜30kgf)に用いられる。この圧着方式は、圧着過程における荷重サーチを行わないことから、圧着動作を高速で行うことができ、高生産性が得られるという利点を有している。
【0032】
図6において、ロードセル26と制御部32との間に介在するスイッチ33はOFFに切り換えられ、制御部32はロードセル26の荷重検出信号を取り込まないようになっている。すなわち、荷重検出信号を無視する。そして、第1の昇降ブロック10,第2の昇降ブロック20を下降させる過程においては、制御部32によってモータ31を制御することにより、電子部品5を保持した圧着ヘッド7が基板3上の所定の高さ位置(実装高さ)に到達するまで下降させる。
【0033】
図7は、この下降位置制御圧着方式による圧着動作において、電子部品5が基板3に押圧される際の圧着ヘッド7の状態を示している。ここではシリンダ室8a内に供給されるエア圧力P3は、電子部品5の圧着に必要とされる圧着荷重に応じて設定される。すなわちこの場合には、シリンダ室8a内においてピストン8bは電子部品5からの押圧荷重の反力とエア圧力P3による押圧力とが釣り合った状態でフロートする。したがって、電子部品5には常に予め設定されたエア圧力P3に相当する押圧荷重が作用する。
【0034】
上記説明したように、本実施の形態の電子部品圧着装置は、荷重検出圧着方式と下降位置制御圧着方式の2通りの圧着方式を、単一装置によって圧着ヘッドを交換しなくとも実行できるようにしたものである。これにより、圧着対象の電子部品に必要とされる押圧荷重や荷重精度などの特性に応じて荷重検出圧着方式と下降位置制御圧着方式とを適宜使い分けることが可能となる。したがって、広い荷重範囲に対応することができるとともに効率的な圧着作業を行うことができる。
【0035】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品を押圧する圧着ヘッドに作用する圧着荷重を検出する荷重検出手段と、この荷重検出手段の荷重検出結果に基づいて圧着ヘッドの昇降を制御する制御部と、圧着ヘッドに設けられ流体圧によって電子部品を押圧する押圧力を発生する押圧力発生手段とを備えたので、対象とする荷重範囲に応じて荷重検出圧着方式と下降位置制御圧着方式とを選択的に使い分けることが可能となり、広い荷重範囲に対応することができるとともに効率的な圧着作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の電子部品圧着装置の側面図
【図2】本発明の一実施の形態の電子部品圧着装置の圧着ヘッドの断面図
【図3】本発明の一実施の形態の電子部品圧着装置の部分断面図
【図4】本発明の一実施の形態の電子部品圧着方法の説明図
【図5】本発明の一実施の形態の電子部品圧着方法の説明図
【図6】本発明の一実施の形態の電子部品圧着方法の説明図
【図7】本発明の一実施の形態の電子部品圧着方法の説明図
【符号の説明】
3 基板
5 電子部品
6 圧着ツール
7 圧着ヘッド
10 第1の昇降ブロック
20 第2の昇降ブロック
26 ロードセル
31 モータ
32 制御部
35 電空レギュレータ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electronic component crimping apparatus and an electronic component crimping method for crimping an electronic component to a substrate.
[0002]
[Prior art]
As a method for bonding an electronic component to a substrate, a method by pressure bonding is known. In this method, bonding is performed by applying a pressing force to the electronic component by the crimping head. Here, in order to obtain good pressure bonding quality, it is necessary to control the pressing load acting on the electronic component in the pressure bonding process according to a predetermined control target value. For this reason, the pressure bonding apparatus is provided with a mechanism for controlling the pressing load when the pressure bonding head presses the electronic component.
[0003]
Conventionally, two types of methods described below have been used as methods for controlling the pressing load. First, in the first method, a pressing force acting between the electronic component and the crimping head when the crimping head is lowered is detected by a load detection means such as a load cell, and this detected load matches a predetermined control target value. In this way, the load detection control system controls the lowering operation of the crimping head. In the second method, a pressing force generating mechanism for generating a pressing force by a fluid pressure such as air pressure is provided in the crimping head, and the pressing head is kept at a predetermined pressing height while always generating a pressing force that matches the control target value. This is a descending position control system that descends to the vertical position.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-described pressing load control method has the following advantages and disadvantages. First, although the load detection method has an advantage that a wide load control range can be ensured, a load search that sequentially detects load values in the process of lowering the crimping head is performed, so the crimping head is lowered at high speed. Therefore, it was difficult to shorten the tact time of the crimping operation.
[0005]
In the lowering position control method, the crimping head set to a constant load state can be lowered at high speed and the tact time can be shortened. However, a single crimping device is intended to cover a wide load range. In this case, it is necessary to prepare a plurality of crimping heads corresponding to the load range in advance and replace the crimping heads appropriately according to the target part. As described above, the conventional electronic component crimping apparatus has a problem that it can cope with a wide load range and that it is difficult to realize an efficient crimping operation by shortening the tact time.
[0006]
Then, an object of this invention is to provide the electronic component crimping apparatus and the electronic component crimping method which can respond | correspond to a wide load range, and can perform an efficient crimping | compression-bonding operation | work.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The electronic component crimping apparatus according to
[0008]
The electronic component crimping method according to
[0009]
The electronic component crimping method according to
[0010]
The electronic component crimping method according to
[0011]
According to the present invention, a load detecting unit that detects a crimping load acting on a crimping head that presses an electronic component, a control unit that controls the raising and lowering of the crimping head based on a load detection result of the load detecting unit, and the crimping head Provided with a pressure generating means for generating a pressing force that presses an electronic component with fluid pressure, and selectively using a load detection pressing method and a descending position control pressing method according to a target load range. Thus, it is possible to cope with a wide load range and perform an efficient crimping operation.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a side view of an electronic component crimping apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of a crimping head of the electronic component crimping apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an embodiment of the present invention. FIG. 4, FIG. 5, FIG. 6, FIG. 7 are explanatory views of an electronic component crimping method according to an embodiment of the present invention.
[0013]
First, the structure of the electronic component crimping apparatus will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a
[0014]
A
[0015]
A
[0016]
A
[0017]
Then, when the
[0018]
Therefore, in the pressure-bonding operation in which the pressure-
[0019]
Next, the structure of the crimping
[0020]
A
[0021]
FIG. 2A shows an air supply OFF state in which the inside of the
[0022]
In FIG. 1 again, the crimping
[0023]
Here, functions of the
[0024]
In contrast, in the state shown in FIG. 3B, the crimping
[0025]
That is, the
[0026]
The electronic component crimping apparatus is configured as described above. Next, an electronic component crimping method using the electronic component crimping apparatus will be described. Here, the two types of crimping methods described below can be selected and used according to the magnitude of the pressing force required for crimping the target electronic component.
[0027]
First, the load detection pressure bonding method will be described with reference to FIGS. In this crimping method, in the crimping operation in which the crimping
[0028]
In FIG. 4, the
[0029]
FIG. 5 shows a state of the pressure-
[0030]
On the other hand, in the example shown in FIG. 5B, the air pressure P2 supplied into the
[0031]
Next, the lowered position control pressure bonding method will be described with reference to FIGS. In this pressure bonding method, in the pressure bonding operation in which the
[0032]
In FIG. 6, the
[0033]
FIG. 7 shows a state of the pressure-
[0034]
As described above, the electronic component crimping apparatus according to the present embodiment can perform two types of crimping methods, that is, a load detection crimping method and a lowered position control crimping method, without exchanging the crimping head with a single device. It is a thing. Accordingly, it is possible to appropriately use the load detection crimping method and the lowered position control crimping method according to the characteristics such as the pressing load and load accuracy required for the electronic component to be crimped. Therefore, it is possible to cope with a wide load range and perform an efficient crimping operation.
[0035]
【The invention's effect】
According to the present invention, a load detecting unit that detects a crimping load acting on a crimping head that presses an electronic component, a control unit that controls the raising and lowering of the crimping head based on a load detection result of the load detecting unit, and the crimping head Provided with a pressure generating means for generating a pressing force that presses the electronic component with fluid pressure, so that the load detection pressing method and the lowered position control pressing method are selectively used according to the target load range. Thus, it is possible to cope with a wide load range and perform an efficient crimping operation.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view of an electronic component crimping apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view of a crimping head of an electronic component crimping apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is an explanatory diagram of an electronic component crimping method according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is an explanatory diagram of an electronic component crimping method according to an embodiment of the present invention. 6 is an explanatory diagram of an electronic component crimping method according to an embodiment of the present invention. FIG. 7 is an explanatory diagram of an electronic component crimping method according to an embodiment of the present invention.
3
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002209057A JP3669348B2 (en) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002209057A JP3669348B2 (en) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004055706A JP2004055706A (en) | 2004-02-19 |
JP3669348B2 true JP3669348B2 (en) | 2005-07-06 |
Family
ID=31933008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002209057A Expired - Fee Related JP3669348B2 (en) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3669348B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4522826B2 (en) * | 2004-11-17 | 2010-08-11 | Juki株式会社 | Electronic component crimping equipment |
KR101976103B1 (en) * | 2017-05-10 | 2019-05-07 | (주)안마이크론시스템 | Thermocompression bonding apparatus |
CN112946536B (en) * | 2021-01-29 | 2022-12-27 | 广州国显科技有限公司 | Crimping detection device and detection method |
KR102462642B1 (en) * | 2021-11-23 | 2022-11-03 | (주)에이티에스 | Low thrust thermocompression bonding device with load cell applied |
-
2002
- 2002-07-18 JP JP2002209057A patent/JP3669348B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004055706A (en) | 2004-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5985064A (en) | Chip compression-bonding apparatus and method | |
JP5828943B1 (en) | Electronic component mounting equipment | |
CN106382306B (en) | Ball assembling equipment and method for rotating part retainer | |
JP3066383B1 (en) | Cream solder printing apparatus and printing method thereof | |
JP3760898B2 (en) | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method | |
JP3669348B2 (en) | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method | |
CN100416787C (en) | Compression device | |
JP3961162B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
JP3714097B2 (en) | Mounting method of electronic components with bumps | |
CN202291805U (en) | Chain flash butt welding machine | |
CN107262561B (en) | A kind of adjustable bending robot of bending angle | |
CN117457539A (en) | Automatic gold wire bonding equipment and bonding process for integrated circuit chip | |
JP3606214B2 (en) | Tip crimping method | |
JP3449140B2 (en) | Chip crimping method | |
JP4034085B2 (en) | Electronic component crimping head load detection device and load detection method | |
JPH10163273A (en) | Chip crimping device | |
JP3411417B2 (en) | Lead frame plating apparatus and operation control method thereof | |
JP3449197B2 (en) | Thermocompression bonding equipment for electronic components | |
JP4530009B2 (en) | Electronic component pressing device and pressing method | |
JP2010123825A (en) | Component mounting apparatus and method of mounting component | |
JP3567897B2 (en) | Chip crimping equipment | |
JP3578149B2 (en) | Pressing device for electronic components | |
JP3412499B2 (en) | Thermocompression bonding apparatus and thermocompression bonding method for electronic components | |
JP2001096717A (en) | Apparatus and method for screen printing | |
CN215545725U (en) | Novel spot welder |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040414 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050404 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080422 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100422 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110422 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120422 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130422 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130422 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |