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JP3532392B2 - Bulk core - Google Patents

Bulk core

Info

Publication number
JP3532392B2
JP3532392B2 JP23307197A JP23307197A JP3532392B2 JP 3532392 B2 JP3532392 B2 JP 3532392B2 JP 23307197 A JP23307197 A JP 23307197A JP 23307197 A JP23307197 A JP 23307197A JP 3532392 B2 JP3532392 B2 JP 3532392B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic core
atomic
magnetic
bulk
core
Prior art date
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JP23307197A
Other languages
Japanese (ja)
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JPH1174111A (en
Inventor
寿人 小柴
彰宏 牧野
明久 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
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Priority to TW087113275A priority patent/TW455631B/en
Priority to EP98306516A priority patent/EP0899753B1/en
Priority to DE69810551T priority patent/DE69810551T2/en
Priority to KR1019980034419A priority patent/KR100311922B1/en
Publication of JPH1174111A publication Critical patent/JPH1174111A/en
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  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、トランス、チョー
クコイル、磁気センサ等に使用される軟磁性金属ガラス
合金を備えたバルク磁心に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bulk magnetic core provided with a soft magnetic metallic glass alloy used for a transformer, a choke coil, a magnetic sensor and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、トランスやチョークコイル、磁気
センサなどの磁心材料として、50%Ni−Feパーマ
ロイ磁心や、80%Ni−Feパーマロイ磁心、ケイ素
鋼が用いられてきた。しかし、これらの磁性材料からな
る磁心は、特に高周波帯域におけるコアロスが大きく、
数10kHz以上の周波数帯域では磁心の温度上昇が激
しく、使用が困難であるという課題があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, 50% Ni-Fe permalloy core, 80% Ni-Fe permalloy core, and silicon steel have been used as magnetic core materials for transformers, choke coils, magnetic sensors, and the like. However, the core made of these magnetic materials has a large core loss especially in a high frequency band,
In a frequency band of several tens of kHz or more, there is a problem that the temperature of the magnetic core is sharply increased and its use is difficult.

【0003】そこで最近では、コアロスが小さく角形比
が高いCo基アモルファス合金の薄帯、若しくは飽和磁
束密度と最大透磁率が高いFe基アモルファス合金の薄
帯を、トロイダル状に巻回してなる磁心本体や、所定の
形状に打ち抜いたものを積層してなる磁心本体を備えた
積層磁心が用いられている。
[0003] Recently, a core body formed by winding a ribbon of a Co-based amorphous alloy having a small core loss and a high squareness ratio, or a ribbon of an Fe-based amorphous alloy having a high saturation magnetic flux density and a high maximum magnetic permeability in a toroidal shape. Alternatively, a laminated magnetic core having a magnetic core body formed by laminating pieces punched into a predetermined shape is used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の薄帯
を巻回、若しくは積層する際には、薄帯の表面の凹凸の
ために、隣り合う薄帯の間に3μm程度の隙間が生じ
る。このようにアモルファス合金の薄帯を積層してなる
磁心においては、薄帯間の隙間への漏れ磁束が大きいた
めに、コアロスが大きくなるという課題があった。ま
た、上述の薄帯を粉砕して得た原料粉末を焼結してバル
ク状に固化形成する方法が開発されているが、焼結の際
に原料粉末が結晶化しないように比較的低温で焼結しな
ければならないため、高密度の磁心が得られず、コアロ
スが大きくなってしまうという課題があった。
When winding or laminating the above-mentioned ribbons, a gap of about 3 μm is generated between adjacent ribbons due to unevenness of the surface of the ribbons. As described above, in the magnetic core formed by laminating the ribbons of the amorphous alloy, there is a problem that the core loss is increased due to the large leakage flux to the gap between the ribbons. Further, a method has been developed in which the raw material powder obtained by pulverizing the above-described ribbon is sintered and solidified to form a bulk, but at a relatively low temperature so that the raw material powder does not crystallize during sintering. Since it must be sintered, there is a problem that a high-density magnetic core cannot be obtained and core loss increases.

【0005】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、コアロスが小さいバルク磁心を提
供することを目的とする。
[0005] The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a bulk magnetic core having a small core loss.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成を採用した。本発明のバルク
磁心は、Fe、Co、Niのうちの1種または2種以上
の元素を主成分とし、Zr、Nb、Ta、Hf、Mo、
Ti、Vのうちの1種または2種以上の元素とBを含
み、ΔTx=Tx−Tg(式中、Txは結晶化開始温
度、Tgはガラス遷移温度を示す)の式で表される過冷
却液体の温度間隔ΔTxが60K以上であって、下記の
組成で表される軟磁性金属ガラス合金の粉末が焼結され
てなる磁心本体を備えることを特徴とする。(Fe 1−a−bCo Ni 100−x−y
但し、0.042≦a≦0.29、0.042≦b≦
0.43、5原子%≦x≦20原子%、10原子%≦y
≦22原子%であり、MはZr、Nb、Ta、Hf、M
o、Ti、Vのうちの1種または2種以上からなる元素
である。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following constitution. The bulk magnetic core of the present invention contains one or more of Fe, Co, and Ni as main components, and includes Zr, Nb, Ta, Hf, Mo,
One or two or more elements of Ti and V and B, and an excess amount represented by a formula of ΔTx = Tx−Tg (where Tx indicates a crystallization start temperature and Tg indicates a glass transition temperature). The temperature interval ΔTx of the cooling liquid is 60 K or more , and
It is characterized by comprising a magnetic core body obtained by sintering a soft magnetic metallic glass alloy powder represented by a composition . (Fe 1-ab Co a Ni b ) 100-xy M x B
y, provided that 0.042 ≦ a ≦ 0.29, 0.042 ≦ b ≦
0.43, 5 at% ≦ x ≦ 20 at%, 10 at% ≦ y
≦ 22 atomic%, and M is Zr, Nb, Ta, Hf, M
Element consisting of one or more of o, Ti, and V
It is.

【0007】また、本発明のバルク磁心は、Fe、C
o、Niのうちの1種または2種以上の元素を主成分と
し、Zr、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、Vのうちの
1種または2種以上の元素とBを含み、ΔTx=Tx−
Tg(式中、Txは結晶化開始温度、Tgはガラス遷移
温度を示す)の式で表される過冷却液体の温度間隔ΔT
xが60K以上であって、下記の組成で表される軟磁性
金属ガラス合金の粉末が焼結されてなる磁心本体を備え
ことを特徴とする。(Fe 1−a−bCo Ni 100−x−y−z
但し、0.042≦a≦0.29、0.042≦b≦
0.43、5原子%≦x≦20原子%、10原子%≦y
≦22原子%、0原子%≦z≦5原子%であり、MはZ
r、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、Vのうちの1種ま
たは2種以上からなる元素、TはCr、W、Ru、R
h、Pd、Os、Ir、Pt、Al、Si、Ge、C、
Pのうちの1種または2種以上からなる元素である。
Further, the bulk magnetic core of the present invention, Fe, C
o, one or more elements of Ni as main components
And Zr, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti, and V
One or two or more elements and B, ΔTx = Tx−
Tg (where Tx is the crystallization onset temperature and Tg is the glass transition
The temperature interval ΔT of the supercooled liquid represented by the formula
x is 60K or more and soft magnetic represented by the following composition
Equipped with a magnetic core body made of sintered metal glass alloy powder
Characterized in that that. (Fe 1-ab Co a Ni b ) 100-xyz M
x B y T z where, 0.042 ≦ a ≦ 0.29,0.042 ≦ b
0.43, 5 at% ≦ x ≦ 20 at%, 10 at% ≦ y
≦ 22 atomic%, 0 atomic% ≦ z ≦ 5 atomic%, and M is Z
r, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti, V
Or two or more elements, T is Cr, W, Ru, R
h, Pd, Os, Ir, Pt, Al, Si, Ge, C,
P is an element composed of one or more of P.

【0008】また、本発明のバルク磁心は、先に記載の
バルク磁心であって、前記軟磁性金属ガラス合金の粉末
が、放電プラズマ焼結法により、昇温速度10℃/分以
上で昇温して焼結されてなる磁心本体を備えることを特
徴とする。更に、本発明において、前記組成に対してZ
rまたはHfを必ず含むものであっても良い。更にま
た、本発明のバルク磁心は、先に記載の軟磁性金属ガラ
ス合金の溶湯が冷却固化されてなる磁心本体を備えるこ
とを特徴とする。
Further, the bulk magnetic core of the present invention is the bulk magnetic core described above, wherein the soft magnetic metallic glass alloy powder
Is heated at a rate of 10 ° C./min or less by the discharge plasma sintering method.
It is characterized by having a magnetic core body
Sign. Furthermore, in the present invention, Z
r or Hf may be included. Even better
Further, the bulk magnetic core of the present invention is the soft magnetic metal glass described above.
A core body formed by cooling and solidifying the molten alloy.
And features.

【0009】次に、本発明のバルク磁心は、前記元素M
が(M'1-cM"c)で表され、M'はZrまたはHfのう
ちの1種または2種であり、M"はNb、Ta、Mo、
Ti、Vのうちの1種または2種以上からなる元素であ
り、0≦c≦0.6であることを特徴とするものでも良
い。更に、前記軟磁性金属ガラス合金の前記組成におい
て、cが0.2≦c≦0.4の範囲であることを特徴とす
るものでも良く、前記cが0≦c≦0.2の範囲である
ことを特徴としても良い。更に、本発明のバルク磁心
は、前記軟磁性金属ガラス合金の前記組成において、a
が0.042≦a≦0.25、bが0.042≦b≦0.1
であることを特徴としても良い。本発明のバルク磁心
は、前記軟磁性金属ガラス合金に427〜627℃で熱
処理が施されてなることを特徴とするものでも良い。更
に、前記軟磁性金属ガラス合金の前記組成において元素
Bの50%以下をCで置換しても良い。
Next, the bulk magnetic core of the present invention is characterized in that the element M
Is represented by (M ' 1-c M " c ), M' is one or two of Zr or Hf, and M" is Nb, Ta, Mo,
It may be an element composed of one or more of Ti and V, wherein 0 ≦ c ≦ 0.6. Further, in the composition of the soft magnetic metallic glass alloy, c may be in a range of 0.2 ≦ c ≦ 0.4, and c may be in a range of 0 ≦ c ≦ 0.2. There may be a feature. Furthermore, the bulk magnetic core of the present invention is characterized in that, in the composition of the soft magnetic metallic glass alloy,
Is 0.042 ≦ a ≦ 0.25, b is 0.042 ≦ b ≦ 0.1
It may be characterized by being. The bulk magnetic core of the present invention may be characterized in that the soft magnetic metallic glass alloy is subjected to a heat treatment at 427 to 627 ° C. Further, in the composition of the soft magnetic metallic glass alloy, 50% or less of the element B may be replaced with C.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。本発明に係るバルク磁心は、例え
ば円環形状で実現される。このような円環形状のバルク
磁心は、後述する軟磁性金属ガラス合金の粉末を焼結し
て成形することにより磁心本体を形成するか、または、
軟磁性金属ガラス合金の溶湯を所定の型に流し込み、冷
却固化して磁心本体を形成し、これら磁心本体を例えば
エポキシ系の樹脂で樹脂被覆するか樹脂ケースに封入し
て絶縁保護することにより、バルク磁心が得られる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The bulk magnetic core according to the present invention is realized in, for example, an annular shape. Such an annular bulk core forms a core body by sintering and molding a powder of a soft magnetic metallic glass alloy described later, or
By pouring a melt of a soft magnetic metallic glass alloy into a predetermined mold, cooling and solidifying to form a magnetic core body, and covering these magnetic core bodies with, for example, an epoxy-based resin or enclosing them in a resin case to insulate and protect them, A bulk core is obtained.

【0011】また、EIコア型のバルク磁心を実現する
ためには、軟磁性金属ガラス合金の粉末を焼結して成形
することによりE型コアとI型コアとを作成し、それら
を接合することで磁心本体を形成する。このような磁心
本体を、例えばエポキシ系の樹脂で必要部分を樹脂被覆
するか樹脂ケースに封入して必要部分を絶縁保護するこ
とにより、EIコア型のバルク磁心が得られる。
In order to realize an EI core type bulk core, an E-type core and an I-type core are prepared by sintering and molding a powder of a soft magnetic metallic glass alloy and joining them. This forms the magnetic core body. The EI core type bulk magnetic core can be obtained by coating the required portion of the magnetic core main body with, for example, an epoxy resin or enclosing the core in a resin case to insulate and protect the required portion.

【0012】図1は、円環形状のバルク磁心の一例を示
すもので、このバルク磁心1は、樹脂製の中空円環状の
磁心本体収納ケース2の内部に、後述する軟磁性金属ガ
ラス合金の粉末を焼結、若しくは、軟磁性金属ガラス合
金の溶湯を所定の型に流し込んで冷却固化して得られた
磁心本体3が収納されてなる。磁心本体収納ケース2
は、例えばポリアセタール樹脂、ポリエチレンテレフタ
レート樹脂等の樹脂を好ましく用いて形成される。ま
た、磁心本体収納ケース2の底面2a上の2カ所には、
磁心本体3と磁心本体収納ケース2とを安定して固定す
るための接着部材4が塗布されている。接着部材を塗布
する位置の数は2〜4カ所の範囲とするのが好ましい。
接着部材4としては、エポキシ樹脂、シリコンゴム等が
用いられる。
FIG. 1 shows an example of an annular bulk magnetic core. This bulk magnetic core 1 has a hollow annular magnetic core main body storage case 2 made of a resin and is made of a soft magnetic metallic glass alloy described later. The core body 3 obtained by sintering the powder or pouring a molten metal of a soft magnetic metallic glass alloy into a predetermined mold and solidifying it by cooling is stored. Magnetic core storage case 2
Is preferably formed using a resin such as a polyacetal resin or a polyethylene terephthalate resin. Also, at two places on the bottom surface 2a of the magnetic core main body storage case 2,
An adhesive member 4 for stably fixing the magnetic core main body 3 and the magnetic core main body storage case 2 is applied. The number of positions where the adhesive member is applied is preferably in the range of 2 to 4 positions.
Epoxy resin, silicon rubber, or the like is used as the bonding member 4.

【0013】次に、本発明に係るバルク磁心1をプラズ
マ焼結法によって製造する方法を説明する。図2は本発
明に係るバルク磁心1を製造するために用いて好適な放
電プラズマ焼結装置の一例の要部を示すもので、この例
の放電プラズマ焼結装置は、筒型のダイ11と、このダ
イ11の内部に挿入される上パンチ12および下パンチ
13と、下パンチ13を支え、後述するパルス電流を流
す際の一方の電極ともなるパンチ電極14と、上パンチ
12を下側に押圧し、パルス電流を流す他方の電極とな
るパンチ電極15と、上下のパンチ12、13に挟まれ
た原料粉末16の温度を測定する熱電対17を主体とし
て構成されている。上述の上パンチ12及び下パンチ1
3のそれぞれが相互に対向する面には、得ようとする磁
心本体の形状に対応した型が形成されている。更に、上
述の放電プラズマ焼結装置の要部は、図示しないチャン
バ内に収納されている。このチャンバは図示略の真空排
気装置および雰囲気ガスの供給装置に接続されていて、
上下のパンチ12、13の間に充填される原料粉末(粉
粒体)16を不活性ガス雰囲気などの所望の雰囲気下に
保持できるように構成されている。
Next, a method of manufacturing the bulk magnetic core 1 according to the present invention by a plasma sintering method will be described. FIG. 2 shows a main part of one example of a spark plasma sintering apparatus suitable for manufacturing the bulk magnetic core 1 according to the present invention. An upper punch 12 and a lower punch 13 inserted into the die 11, a punch electrode 14 which supports the lower punch 13 and serves as one electrode when a pulse current to be described later flows, and a lower punch 12 is placed on the lower side. It is mainly composed of a punch electrode 15 which is the other electrode to be pressed and through which a pulse current flows, and a thermocouple 17 for measuring the temperature of the raw material powder 16 sandwiched between the upper and lower punches 12 and 13. Upper punch 12 and lower punch 1 described above
A mold corresponding to the shape of the magnetic core main body to be obtained is formed on the surface of each of 3 facing each other. Further, a main part of the above-described spark plasma sintering apparatus is housed in a chamber (not shown). This chamber is connected to a not-shown evacuation device and an atmosphere gas supply device,
The raw material powder (granules) 16 to be filled between the upper and lower punches 12 and 13 can be held in a desired atmosphere such as an inert gas atmosphere.

【0014】前記構成の放電プラズマ焼結装置を用いて
バルク磁心1を製造するには、成型用の原料粉末を用意
する。この原料粉末16は、後述する所定組成の軟磁性
金属ガラス合金を、溶製してから鋳造法により、あるい
は単ロールもしくは双ロールによる急冷法によって、さ
らには液中紡糸法や溶液抽出法によって、あるいは高圧
ガス噴霧法によって、バルク状、リボン状、線状体、粉
末等の種々の形状として製造する工程と、粉末状以外の
ものは粉砕して粉末化する工程により得られる。
In order to manufacture the bulk magnetic core 1 using the spark plasma sintering apparatus having the above-described structure, a raw material powder for molding is prepared. The raw material powder 16 is prepared by melting a soft magnetic metallic glass alloy having a predetermined composition, which will be described later, by a casting method, or by a quenching method using a single roll or twin rolls, and further by a submerged spinning method or a solution extraction method. Alternatively, it can be obtained by a process of producing various shapes such as a bulk, a ribbon, a linear body, and a powder by a high-pressure gas atomization method, and a process of pulverizing and pulverizing a material other than the powder.

【0015】本発明において用いる軟磁性金属ガラス合
金は、合金の過冷却液体の温度間隔ΔTxが、20K以
上、組成によっては40K以上、さらには50K以上と
いう顕著な温度間隔を有し、これまでの知見から知られ
る他の合金からは全く予期されないものである。しか
も、軟磁性についても室温で優れた特性を有しており、
これまでの知見に見られない全く新規なものである。
The soft magnetic glassy alloy used in the present invention, the temperature interval [Delta] T x of the supercooled liquid alloy, 20K or more, 40K or more depending on the composition further has a significant temperature interval of more than 50K, ever It is completely unexpected from other alloys known from the findings of the above. Moreover, it also has excellent properties at room temperature for soft magnetism,
It is a completely new thing that cannot be seen in previous findings.

【0016】本発明に係る軟磁性金属ガラス合金の1つ
は、Fe、Co、Niのうちの1種又は2種以上を主成
分とし、これにZr、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、
Vのうちの1種または2種以上とBを所定量添加した成
分系で実現される。本発明に係る軟磁性金属ガラス合金
の1つは、一般式においては、 (Fe1-a-bCoaNib100-x-yxy で表記することができ、この一般式において、0≦a≦
0.29、0≦b≦0.43、5原子%≦x≦20原子
%、10原子%≦y≦22原子%なる関係が好ましく、
MはZr、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、Vのうちの
1種又は2種以上からなる元素である。更に前記の成分
系において、ΔTx=Tx−Tg(ただしTxは、結晶化開
始温度、Tgはガラス遷移温度を示す。)の式で表され
る過冷却液体領域の温度間隔ΔTxが20K以上である
ことを必要とする。前記の組成系において、Zrまたは
Hfを必ず含み、ΔTxが25K以上であることが好ま
しい。また、前記の組成系において、ΔTxが60K以
上であることがより好ましい。 更に、前記(Fe
1-a-bCoaNib100-x-yxyなる組成式において
0.042≦a≦0.29、0.042≦b≦0.43の関
係にされてなることが好ましい。
One of the soft magnetic metallic glass alloys according to the present invention contains one or more of Fe, Co, and Ni as main components, and contains Zr, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti,
This is realized by a component system in which one or more of V and B are added in a predetermined amount. One of the soft magnetic metallic glass alloy of the present invention, in the general formula can be expressed by (Fe 1-ab Co a Ni b) 100-xy M x B y, in this formula, 0 ≦ a ≦
0.29, 0 ≦ b ≦ 0.43, 5 at% ≦ x ≦ 20 at%, 10 at% ≦ y ≦ 22 at% is preferable,
M is an element composed of one or more of Zr, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti, and V. Further, in the above-mentioned component system, the temperature interval ΔTx of the supercooled liquid region represented by the formula of ΔTx = Tx−Tg (where Tx indicates a crystallization start temperature and Tg indicates a glass transition temperature) is 20K or more. Need that. In the above composition system, it is preferable that the composition always contains Zr or Hf and ΔTx is 25K or more. Further, in the above composition system, it is more preferable that ΔTx is 60K or more. Further, the (Fe
1-ab Co a Ni b ) In the composition formula of 100-xy M x B y, it is preferable that 0.042 ≦ a ≦ 0.29 and 0.042 ≦ b ≦ 0.43.

【0017】次に本発明に係る他の軟磁性金属ガラス合
金は、一般式においては、(Fe1-a-bCoaNib
100-x-y-zxyzで表記され、この一般式において、
0≦a≦0.29、0≦b≦0.43、5原子%≦x≦2
0原子%、10原子%≦y≦22原子%、0原子%≦z≦
5原子%であり、MはZr、Nb、Ta、Hf、Mo、
Ti、Vのうちの1種又は2種以上からなる元素、Tは
Cr、W、Ru、Rh、Pd、Os、Ir、Pt、A
l、Si、Ge、C、Pのうちの1種又は2種以上の元
素である。また、本発明は、前記(Fe1-a-bCoaNi
b100-x -y-zxyzなる組成式において0.042≦
a≦0.29、0.042≦b≦0.43の関係にされて
なるものでも良い。
Next, another soft magnetic metallic glass alloy according to the present invention has a general formula (Fe 1 -ab Co a Ni b )
Is expressed in 100-xyz M x B y T z, in this formula,
0 ≦ a ≦ 0.29, 0 ≦ b ≦ 0.43, 5 atomic% ≦ x ≦ 2
0 atomic%, 10 atomic% ≦ y ≦ 22 atomic%, 0 atomic% ≦ z ≦
5 atomic%, and M is Zr, Nb, Ta, Hf, Mo,
T is Cr, W, Ru, Rh, Pd, Os, Ir, Pt, A, which is an element composed of one or more of Ti and V.
It is one or more of l, Si, Ge, C, and P. Further, the present invention relates to the above (Fe 1-ab Co a Ni
b) 0.042 ≦ In 100-x -yz M x B y T z a composition formula
The relationship may be such that a ≦ 0.29 and 0.042 ≦ b ≦ 0.43.

【0018】次に、前記元素Mが(M'1-cM"c)で表さ
れ、M'はZrまたはHfの1種または2種であり、M"
はNb、Ta、Mo、Ti、Vのうちの1種または2種
以上からなる元素であり、0≦c≦0.6であることを
特徴とするものでも良い。更に、前記組成においてcが
0.2≦c≦0.4の範囲であることを特徴とするもので
も良く、前記cが0≦c≦0.2の範囲であることを特
徴としても良い。更に本発明において、0.042≦a
≦0.25、0.042≦b≦0.1であることを特徴と
しても良い。本発明において、軟磁性金属ガラス合金に
427℃(700K)〜627℃(900K)で熱処理
が施されてなることを特徴とするものでも良い。この範
囲の温度で熱処理がなされたものは、高い透磁率を示
す。また、前記の組成において原子Bの50%以下をC
で置換しても良い。
Next, the element M is represented by (M ' 1 -c M " c ), and M' is one or two kinds of Zr or Hf.
Is an element composed of one or more of Nb, Ta, Mo, Ti, and V, and may be characterized in that 0 ≦ c ≦ 0.6. Further, in the above composition, c may be in the range of 0.2 ≦ c ≦ 0.4, and c may be in the range of 0 ≦ c ≦ 0.2. Further, in the present invention, 0.042 ≦ a
≤0.25, 0.042≤b≤0.1. In the present invention, the soft magnetic metallic glass alloy may be heat-treated at 427 ° C. (700 K) to 627 ° C. (900 K). Those heat-treated at temperatures in this range exhibit high magnetic permeability. In the above composition, 50% or less of the atom B is C
May be substituted.

【0019】「組成限定理由」本発明組成系において、
主成分であるFeとCoとNiは、磁性を担う元素であ
り、高い飽和磁束密度と優れた軟磁気特性を得るために
重要である。具体的には、50K〜60KのΔTxを確
実に得るためには、Coの組成比を示すaの値を0≦a
≦0.29、Niの組成比を示すbの値を0≦b≦0.4
3の範囲、60K以上のΔTxを確実に得るためには、
Coの組成比を示すaの値を0.042≦a≦0.29、
Niの組成比を示すbの値を0.042≦b≦0.43の
範囲とすることが好ましい。また、前記の範囲内におい
て、良好な軟磁気特性を得るためには、Coの組成比を
示すaの値を0.042≦a≦0.25の範囲とすること
が好ましく、高い飽和磁束密度を得るためには、Niの
組成比を示すbの値を0.042≦b≦0.1の範囲とす
ることがより好ましい。
"Reason for composition limitation" In the composition system of the present invention,
Fe, Co and Ni, which are main components, are elements responsible for magnetism, and are important for obtaining high saturation magnetic flux density and excellent soft magnetic characteristics. Specifically, in order to reliably obtain ΔTx of 50K to 60K, the value of a indicating the composition ratio of Co is set to 0 ≦ a
≦ 0.29, the value of b indicating the composition ratio of Ni is set to 0 ≦ b ≦ 0.4.
In order to reliably obtain ΔTx of 60K or more in the range of 3,
The value of a indicating the composition ratio of Co is 0.042 ≦ a ≦ 0.29,
It is preferable that the value of b indicating the composition ratio of Ni be in the range of 0.042 ≦ b ≦ 0.43. In order to obtain good soft magnetic properties within the above range, the value of a indicating the composition ratio of Co is preferably in the range of 0.042 ≦ a ≦ 0.25. In order to obtain the value, it is more preferable that the value of b indicating the composition ratio of Ni is in the range of 0.042 ≦ b ≦ 0.1.

【0020】MはZr、Nb、Ta、Hf、Mo、T
i、Vのうちの1種又は2種以上からなる元素である。
これらはアモルファスを生成させるために有効な元素で
あり、5原子%以上、20原子%以下の範囲であると良
い。更に、高い磁気特性を得るためには、より好ましく
は5原子%以上、15原子%以下にすると良い。これら
元素Mのうち、特にZrが有効である。Zrは、その一
部をNb等の元素と置換することができるが、置換する
場合の組成比cは、0≦c≦0.6の範囲であると、高
いΔTxを得ることができるが、特にΔTxを80以上と
するには0.2≦c≦0.4の範囲が好ましい。
M is Zr, Nb, Ta, Hf, Mo, T
It is an element composed of one or more of i and V.
These are effective elements for forming amorphous, and are preferably in the range of 5 at% to 20 at%. Further, in order to obtain high magnetic properties, the content is more preferably set to 5 at% or more and 15 at% or less. Among these elements M, Zr is particularly effective. A part of Zr can be replaced by an element such as Nb. When the composition ratio c in the case of replacement is in the range of 0 ≦ c ≦ 0.6, a high ΔTx can be obtained. In particular, in order to make ΔTx 80 or more, the range of 0.2 ≦ c ≦ 0.4 is preferable.

【0021】Bは、高いアモルファス形成能があり、本
発明では10原子%以上、22原子%以下の範囲で添加
する。Bが10原子%未満であると、ΔTxが消滅し、
高密度な磁心本体3が得られなくなるので好ましくな
く、22原子%よりも大きくなると脆くなるために好ま
しくない。より高いアモルファス形成能と良好な磁気特
性を得るためには、16原子%以上、20原子%以下と
することがより好ましい。
B has a high amorphous forming ability, and is added in the range of 10 at% to 22 at% in the present invention. When B is less than 10 atomic%, ΔTx disappears,
It is not preferable because a high-density magnetic core main body 3 cannot be obtained. In order to obtain higher amorphous forming ability and better magnetic properties, it is more preferable that the content be 16 atomic% or more and 20 atomic% or less.

【0022】前記の組成系に更に、Tで示される、C
r、W、Ru、Rh、Pd、Os、Ir、Pt、Al、
Si、Ge、C、Pのうちの1種又は2種以上の元素を
添加することもできる。本発明ではこれらの元素を0原
子%以上、5原子%以下の範囲で添加することができ
る。これらの元素は主に耐食性を向上させる目的で添加
するもので、この範囲を外れると、軟磁気特性が低下す
る。また、この範囲を外れるとアモルファス形成能が劣
化するために好ましくない。
In the above composition system, C represented by T
r, W, Ru, Rh, Pd, Os, Ir, Pt, Al,
One or more elements of Si, Ge, C, and P can be added. In the present invention, these elements can be added in a range of 0 atomic% to 5 atomic%. These elements are added mainly for the purpose of improving the corrosion resistance. If the content is out of this range, the soft magnetic properties deteriorate. Outside of this range, the amorphous forming ability is undesirably deteriorated.

【0023】本発明で用いられる前記の組成の軟磁性金
属ガラス合金は、室温において磁性を有し、また、熱処
理により、より良好な磁性を示すものである。なお、軟
磁性金属ガラス合金の製造方法について付言すると、合
金の組成、そして製造のための手段と製品の大きさ、形
状等によって、好適な冷却速度が決まるが、通常は10
2〜106K/s程度の範囲を目安とすることができる。
The soft magnetic metallic glass alloy of the above composition used in the present invention has magnetism at room temperature, and shows better magnetism by heat treatment. It should be noted that a suitable cooling rate is determined by the composition of the soft magnetic metallic glass alloy, the composition of the alloy, the means for production and the size, shape, etc. of the product.
A range of about 2 to 10 6 K / s can be used as a standard.

【0024】次に、前記組成の原料粉末16を用意した
ならばこれを図2に示す放電プラズマ焼結装置の上下の
パンチ12、13の間に投入し、チャンバの内部を真空
引きするとともに、パンチ12、13で上下から圧力を
加えて成形すると同時に、例えば図3に示すようなパル
ス電流を原料粉末に印加して加熱し、所望の形状の磁心
本体3に形成する。この放電プラズマ焼結処理において
は、通電電流により原料粉末16を所定の速度で素早く
昇温することができ、また、通電電流の値に応じて原料
粉末16の温度を厳格に管理できるので、ヒータによる
加熱などよりも遥かに正確に温度管理ができ、これによ
り予め設計した通りの理想に近い条件で焼結ができる。
Next, if the raw material powder 16 having the above composition is prepared, it is put between the upper and lower punches 12 and 13 of the discharge plasma sintering apparatus shown in FIG. 2, and the inside of the chamber is evacuated. At the same time as applying pressure from above and below with the punches 12 and 13 and molding, for example, a pulse current as shown in FIG. In the spark plasma sintering process, the temperature of the raw material powder 16 can be quickly raised at a predetermined speed by the supplied current, and the temperature of the raw material powder 16 can be strictly controlled according to the value of the supplied current. The temperature can be controlled much more accurately than heating by sintering, and sintering can be performed under ideal conditions as designed in advance.

【0025】本発明において、焼結温度は、原料粉末1
6を固化成形するために300℃以上とすることが必要
であるが、原料粉末16として用いられる軟磁性金属ガ
ラス合金は、大きな過冷却液体の温度間隔ΔTx(Tx
g)を有しているので、この温度領域で加圧焼結する
ことによって、高密度の磁心本体3を好ましく得ること
ができる。ただし、焼結温度が結晶化開始温度に近い
と、結晶核の生成開始(構造的短範囲秩序化)や結晶析
出開始による磁気異方性を生じるので軟磁性特性が劣化
するおそれがある。また、放電プラズマ焼結装置の機構
上、モニターされる焼結温度はダイ11に設置されてい
る熱電対17の温度であるため、原料粉末16にかかる
温度よりも低い温度である。したがって、本発明におけ
る焼結温度は、結晶化開始温度をTx、焼結温度をTと
した場合、好ましくはT≦Txの範囲とされる。
In the present invention, the sintering temperature depends on the raw material powder 1
It is necessary to set the temperature to 300 ° C. or higher in order to solidify and mold the material 6. However, the soft magnetic metallic glass alloy used as the raw material powder 16 has a large supercooled liquid temperature interval ΔT x (T x
T g ), pressure sintering in this temperature range makes it possible to preferably obtain a high-density magnetic core body 3. However, if the sintering temperature is close to the crystallization onset temperature, the formation of crystal nuclei (structural short-range order) and the start of crystal precipitation cause magnetic anisotropy, which may degrade soft magnetic properties. Further, the sintering temperature monitored by the mechanism of the spark plasma sintering apparatus is the temperature of the thermocouple 17 installed on the die 11, and is lower than the temperature applied to the raw material powder 16. Therefore, the sintering temperature in the present invention is preferably in the range of T ≦ Tx, where Tx is the crystallization start temperature and T is the sintering temperature.

【0026】本発明において、焼結を行う際の昇温速度
は、ゆっくりとした昇温速度では結晶相が生成するた
め、10℃/分以上とするのが好ましい。また焼結の際
の圧力については、加圧力が低すぎると磁心本体を形成
できないため、3t/cm2以上とするのが好ましい。
さらに、得られた磁心本体3に熱処理を施してもよく、
これにより磁気特性を高めることができる。このときの
熱処理温度はキュリー温度以上であり、かつ磁気特性を
劣化させる結晶が析出する温度以下とされ、具体的には
427〜627℃の範囲が好ましく、より好ましくは4
77〜527℃とされる。
In the present invention, the rate of temperature rise during sintering is preferably 10 ° C./min or more because a crystal phase is formed at a slow rate of temperature rise. Further, the pressure during sintering is preferably 3 t / cm 2 or more, since if the pressure is too low, the magnetic core body cannot be formed.
Further, heat treatment may be performed on the obtained core body 3,
Thereby, magnetic characteristics can be improved. The heat treatment temperature at this time is not lower than the Curie temperature and not higher than the temperature at which crystals that deteriorate magnetic properties are precipitated, and specifically, is preferably in the range of 427 to 627 ° C., and more preferably 4 ° C.
77-527 ° C.

【0027】このようにして得られた磁心本体3は、原
料粉末16として用いられた軟磁性金属ガラス合金と同
じ組成を有するものであるから、室温で優れた軟磁性特
性を有し、また熱処理により、より良好な磁性を示すも
のである。このため、この磁心本体3からなるバルク磁
心1は、優れたSoft magnetic特性(軟磁気特性)を有
するので、トランスの磁心、チョークコイルの磁心、更
には、磁気センサの磁心等に広く適用することができ、
従来材に比べて優れた特性の磁心を得ることができる。
Since the magnetic core body 3 thus obtained has the same composition as the soft magnetic metallic glass alloy used as the raw material powder 16, it has excellent soft magnetic properties at room temperature, Shows better magnetism. For this reason, since the bulk magnetic core 1 composed of the magnetic core body 3 has excellent soft magnetic characteristics (soft magnetic characteristics), it can be widely applied to a magnetic core of a transformer, a magnetic core of a choke coil, and a magnetic core of a magnetic sensor. Can be
It is possible to obtain a magnetic core having excellent characteristics as compared with conventional materials.

【0028】尚、上記説明では、軟磁性金属ガラス合金
からなる原料粉末16を放電プラズマ焼結により成形す
る方法を用いたが、これに限らず、押し出し法などの方
法により加圧焼結することによってもバルク状の磁心本
体3を得ることができる。
In the above description, the method in which the raw material powder 16 made of a soft magnetic metallic glass alloy is formed by spark plasma sintering is used. However, the present invention is not limited to this. Thus, a bulk-shaped magnetic core body 3 can be obtained.

【0029】更に、本発明のバルク磁心1は、前記軟磁
性金属ガラス合金の溶湯を、所定の型に流し込み、冷却
固化することによって得られた磁心本体3を備えること
によっても得ることができる。軟磁性金属ガラス合金の
溶湯は、Fe、Co、Ni、Zrの単体純金属と、純ボ
ロン結晶等を原料としてそれぞれ所定量秤量した後、減
圧Ar雰囲気下においてこれらの原料を例えば高周波誘
導加熱装置、アーク炉、るつぼ炉、反射炉等によって溶
解することにより得られる。次に、得られた合金溶湯
を、所定の形状の型に流し込んで徐冷して固化すること
により、所望の形状の磁心本体3が得られる。このよう
にして得られた磁心本体3は、合金粉末を焼結して得ら
れた磁心本体と同様に、高い密度と優れた軟磁気特性を
有するので、トランス、チョークコイル、磁気センサ等
の磁心として用いることができる。
Further, the bulk magnetic core 1 of the present invention can also be obtained by providing a magnetic core body 3 obtained by pouring a molten metal of the above-mentioned soft magnetic metallic glass alloy into a predetermined mold and solidifying it by cooling. The melt of the soft magnetic metallic glass alloy is weighed using a single pure metal of Fe, Co, Ni, Zr and a pure boron crystal or the like as raw materials, respectively. , An arc furnace, a crucible furnace, a reverberatory furnace or the like. Next, the obtained molten alloy is poured into a mold having a predetermined shape, gradually cooled, and solidified, whereby a magnetic core body 3 having a desired shape is obtained. The magnetic core body 3 thus obtained has a high density and excellent soft magnetic characteristics, similarly to the magnetic core body obtained by sintering the alloy powder, so that the magnetic cores of transformers, choke coils, magnetic sensors, etc. Can be used as

【0030】上述のバルク磁心1は、ΔTx=Tx−Tg
(ただしTxは結晶化開始温度、Tgはガラス遷移温度を
示す。)の式で表される過冷却液体の温度間隔ΔTx
20K以上である軟磁性金属ガラス合金の粉末が、プラ
ズマ焼結法によって焼結されることにより、密度の高い
バルク状の磁心本体3を得ることができるので、コアロ
スを小さくすることができる。また、上述のバルク磁心
1においては、焼結温度が、結晶化開始温度をTx、焼
結温度をTとした場合にT≦Txの関係を満足する温度
範囲の中で任意に選ばれ、原料である軟磁性金属ガラス
合金と同じ組成を有し、高い飽和磁束密度を有し、優れ
た透磁率を有する磁心本体3を得ることができるので、
コアロスを小さくすることができる。更に、焼結して成
形された磁心本体3を熱処理することにより、更に高い
飽和磁束密度と、優れた透磁率を発揮させることができ
る。
The above-mentioned bulk magnetic core 1 has the following structure: ΔT x = T x −T g
(Wherein T x is the crystallization onset temperature, T g represents the glass transition temperature.) Powder of a soft magnetic glassy alloy temperature interval [Delta] T x of the supercooled liquid is 20K or more of the formula of the plasma sintered By sintering by the sintering method, it is possible to obtain a bulky magnetic core body 3 having a high density, so that core loss can be reduced. In the above-described bulk magnetic core 1, the sintering temperature is arbitrarily selected within a temperature range satisfying the relationship of T ≦ Tx where Tx is the crystallization start temperature and T is the sintering temperature. Since the magnetic core body 3 having the same composition as that of the soft magnetic metallic glass alloy having a high saturation magnetic flux density and excellent magnetic permeability can be obtained,
Core loss can be reduced. Furthermore, by performing a heat treatment on the magnetic core body 3 formed by sintering, a higher saturation magnetic flux density and an excellent magnetic permeability can be exhibited.

【0031】また、上述のバルク磁心1においては、プ
ラズマ焼結法のみならず、合金溶湯を冷却固化するいわ
ゆる鋳造法によっても磁心本体3が得られるので、バル
ク磁心1の製造コストを低くすることができる。
In the above-described bulk core 1, the core body 3 can be obtained not only by the plasma sintering method but also by the so-called casting method of cooling and solidifying the molten alloy, so that the manufacturing cost of the bulk core 1 can be reduced. Can be.

【0032】また、本発明の軟磁性金属ガラス合金は、
Fe、Co、Niのうちの1種または2種以上の元素を
主成分とし、Zr、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、V
のうちの1種または2種以上の元素とBを含み、過冷却
液体の温度間隔ΔTxを大きくすることができるので、
合金粉末を焼結する際に焼結温度を高くすることが可能
となり、より高密度の磁心本体3が得られるので、バル
ク磁心1のコアロスを小さくすることができる。
Further, the soft magnetic metallic glass alloy of the present invention comprises:
One or more elements of Fe, Co, and Ni as main components, and Zr, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti, V
Containing one or more of the above elements and B and increasing the temperature interval ΔT x of the supercooled liquid,
When sintering the alloy powder, the sintering temperature can be increased, and a higher-density core body 3 can be obtained, so that the core loss of the bulk core 1 can be reduced.

【0033】また、本発明のバルク磁心1は、ΔTxが
60K以上であり、その組成が以下の一般式で表される
ものであり、透磁率に優れ、保磁力が小さく、軟磁気特
性に優れた軟磁性金属ガラス合金からなる磁心本体3を
備えているので、コアロスを小さくすることができる。 (Fe1-a-bCoaNib100-x-yxy 但し、0≦a≦0.29、0≦b≦0.43、5原子%
≦x≦20原子%、10原子%≦y≦22原子%であ
り、MはZr、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、Vのう
ちの1種または2種以上からなる元素である。または、 (Fe1-a-bCoaNib100-x-y-zxyz 但し、0≦a≦0.29、0≦b≦0.43、5原子%
≦x≦20原子%、10原子%≦y≦22原子%、0原
子%≦z≦5原子%であり、MはZr、Nb、Ta、H
f、Mo、Ti、Vのうちの1種または2種以上からな
る元素、TはCr、W、Ru、Rh、Pd、Os、I
r、Pt、Al、Si、Ge、C、Pのうちの1種また
は2種以上からなる元素である。
Further, the bulk magnetic core 1 of the present invention has ΔTx of 60 K or more, and has a composition represented by the following general formula, and has excellent magnetic permeability, small coercive force, and excellent soft magnetic properties. Since the magnetic core body 3 made of the soft magnetic metallic glass alloy is provided, the core loss can be reduced. (Fe 1-ab Co a Ni b) 100-xy M x B y where, 0 ≦ a ≦ 0.29,0 ≦ b ≦ 0.43,5 atomic%
≦ x ≦ 20 atomic%, 10 atomic% ≦ y ≦ 22 atomic%, and M is an element composed of one or more of Zr, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti, and V. Or, (Fe 1-ab Co a Ni b) 100-xyz M x B y T z where, 0 ≦ a ≦ 0.29,0 ≦ b ≦ 0.43,5 atomic%
≦ x ≦ 20 at%, 10 at% ≦ y ≦ 22 at%, 0 at% ≦ z ≦ 5 at%, and M is Zr, Nb, Ta, H
f, Mo, Ti, an element composed of one or more of Ti and V, T is Cr, W, Ru, Rh, Pd, Os, I
It is an element composed of one or more of r, Pt, Al, Si, Ge, C, and P.

【0034】[0034]

【実施例】【Example】

(実施例1)FeとCoとNiとZrの単体純金属と純
ボロン結晶をArガス雰囲気中において混合しアーク溶
解して母合金を製造した。次に、この母合金を石英ノズ
ルで溶解し、アルゴンガス雰囲気中において40m/S
で回転している銅ロールにノズル下端の0.4mm径の
穴から射出圧力0.39×105Paで吹き出して急冷す
る単ロール法を実施することにより、幅0.4〜1m
m、厚さ13〜22μmの金属ガラス合金薄帯の試料を
製造した。得られた試料は、示差走査熱量測定(DS
C)により分析した。
Example 1 A pure alloy of Fe, Co, Ni and Zr and a pure boron crystal were mixed in an Ar gas atmosphere and arc melted to produce a mother alloy. Next, the mother alloy was melted with a quartz nozzle, and the melt was heated to 40 m / S in an argon gas atmosphere.
The copper roll rotating at a pressure of 0.39 × 10 5 Pa from the hole with a diameter of 0.4 mm at the lower end of the nozzle is blown out at a pressure of 0.39 × 10 5 Pa to carry out a single roll method, whereby the width is 0.4 to 1 m.
m, a sample of a metallic glass alloy ribbon having a thickness of 13 to 22 μm was produced. The obtained sample was subjected to differential scanning calorimetry (DS
C).

【0035】図4には、各々Fe60Co3Ni7Zr10
20、Fe56Co7Ni7Zr1020、Fe49Co14Ni7
Zr1020、Fe46Co17Ni7Zr1020なる組成の
金属ガラス合金薄帯試料のDSC曲線を示す。これらの
いずれの試料においても、温度を上昇させてゆくことで
広い過冷却液体領域が存在することを確認でき、その過
冷却液体領域を超えて加熱することで結晶化することが
明らかになった。過冷却液体領域の温度間隔ΔTxは、
ΔTx=Tx−Tgの式で表されるが、図4に示すTx−T
gの値はいずれの試料でも60Kを超え、64〜68K
の範囲になっている。過冷却液体領域を示す実質的な平
衡状態は、発熱ピークによる結晶化を示す温度より少し
低い596℃(869K)〜632℃(905K)の広
い範囲で得られた。
FIG. 4 shows Fe 60 Co 3 Ni 7 Zr 10 B, respectively.
20, Fe 56 Co 7 Ni 7 Zr 10 B 20, Fe 49 Co 14 Ni 7
3 shows a DSC curve of a metallic glass alloy ribbon sample having a composition of Zr 10 B 20 and Fe 46 Co 17 Ni 7 Zr 10 B 20 . In each of these samples, it was confirmed that a wide supercooled liquid region existed by increasing the temperature, and it was clarified that crystallization was caused by heating beyond the supercooled liquid region. . The temperature interval ΔTx in the supercooled liquid region is
ΔTx = Tx−Tg, where Tx−T shown in FIG.
The value of g exceeds 60K for any of the samples,
Is in the range. Substantial equilibrium, indicating a supercooled liquid region, was obtained over a wide range from 596 ° C (869K) to 632 ° C (905K), slightly below the temperature that indicates crystallization due to the exothermic peak.

【0036】図5は(Fe1-a-bCoaNib70Zr10
20なる組成系におけるΔTx(=Tx−Tg)の値に対
するFeとCoとNiのそれぞれの含有量依存性を示す
三角組成図である。図5に示す結果から明らかなよう
に、(Fe1-a-bCoaNib70Zr1020なる組成系
の全ての範囲においてΔTxの値は25Kを超えてい
る。また、Tgの値に関し、Coを7原子%程度から5
0原子%程度の範囲で増加させることでTgが単調に増
加することも明らかになった。一方、ΔTxに関し、図
5に示すようにFeを多く含む組成系において大きな値
になっていることがわかり、ΔTxを60K以上にする
には、Co含有量を3原子%以上、20原子%以下、N
i含有量を3原子%以上、30原子%以下にすることが
好ましいことがわかる。なお、(Fe1-a-bCoa
b70Zr1020なる組成式においてCo含有量を3
原子%以上にするには、(Fe1-a-bCoaNib)を7
0原子%とするので、Coの組成比aが0.042以
上、Co含有量を20原子%以下にするには、Coの組
成比aが0.29以下となる。また、同様にNi含有量
を3原子%以上にするにはNiの組成比bが0.042
以上、30原子%以下にするには、Niの組成比bが
0.43以下となる。
FIG. 5 shows (Fe 1 -ab Co a Ni b ) 70 Zr 10
B is a triangular composition diagram showing the respective content dependence of Fe, Co and Ni to the value of ΔTx (= Tx-Tg) at 20 having a composition system. As is clear from the results shown in FIG. 5, the value of ΔTx exceeds 25K in the entire range of the composition system of (Fe 1 -ab Co a Ni b ) 70 Zr 10 B 20 . Regarding the value of Tg, Co is changed from about 7 atomic% to 5%.
It was also clarified that increasing Tg in the range of about 0 atomic% monotonously increases Tg. On the other hand, as shown in FIG. 5, it was found that ΔTx had a large value in a composition system containing a large amount of Fe. To increase ΔTx to 60K or more, the Co content was set to 3 atomic% or more and 20 atomic% or less. , N
It is understood that the i content is preferably set to 3 atomic% or more and 30 atomic% or less. Note that (Fe 1-ab Co a N
ib ) In the composition formula of 70 Zr 10 B 20 , the Co content is 3
(Fe 1-ab Co a Ni b ) should be 7
Since the atomic ratio is set to 0 atomic%, in order to set the Co composition ratio a to 0.042 or more and the Co content to 20 atomic% or less, the Co composition ratio a becomes 0.29 or less. Similarly, in order to increase the Ni content to 3 atomic% or more, the Ni composition ratio b is set to 0.042.
As described above, the composition ratio b of Ni becomes 0.43 or less in order to make the content 30 atomic% or less.

【0037】(実施例2)FeとCoとNiとZrとN
bの単体純金属と純ボロン結晶をArガス雰囲気中にお
いて混合しアーク溶解してFe56Co7Ni7Zr4Nb6
20なる組成の母合金を製造した。次に、この母合金を
石英ノズル中で溶解し、アルゴンガス雰囲気中において
回転している銅ロールに合金溶湯を吹き出して急冷する
単ロール法を実施することにより、金属ガラス合金薄帯
の試料を製造した。このとき、ノズル口径、ノズル先端
とロール表面との距離(ギャップ)、ロールの回転数、
射出圧力及び雰囲気圧力等を適当に調整することによ
り、板厚が20〜195μmの合金薄帯が得られた。各
々の試料について、X線回折により分析を行った。結果
を図6に示す。図6から、いずれの試料についても、2
θ=38〜52゜にハローなパターンを有しており、ア
モルファス単相組織を有していることがわかる。
(Example 2) Fe, Co, Ni, Zr and N
b unitary pure metals and pure boron crystal were mixed arc melting in an Ar gas atmosphere Fe 56 Co 7 Ni 7 Zr 4 Nb 6
It was prepared master alloy B 20 a composition. Next, this master alloy was melted in a quartz nozzle, and a single roll method was performed in which a molten alloy was blown out onto a rotating copper roll in an argon gas atmosphere to rapidly cool the sample. Manufactured. At this time, the nozzle diameter, the distance (gap) between the nozzle tip and the roll surface, the number of roll rotations,
By appropriately adjusting the injection pressure, the atmospheric pressure, and the like, an alloy ribbon having a thickness of 20 to 195 μm was obtained. Each sample was analyzed by X-ray diffraction. FIG. 6 shows the results. From FIG. 6, 2
It has a halo pattern at θ = 38-52 °, indicating that it has an amorphous single-phase structure.

【0038】(実施例3)原子組成比が、Fe56Co7
Ni7Zr10-xNbx20(x=0,2,4,6,8,10原子
%)であること以外は実施例1と同様にして、金属ガラ
ス合金薄帯の試料を製造した。次に、得られた試料を、
527℃(800K)の温度で5分間の熱処理を行っ
た。図7には、作製した試料の飽和磁束密度(Bs)、
保磁力(Hc)、1kHzにおける透磁率(μe)、磁
歪(λs)のNb含有量依存性を示す。飽和磁束密度
(Bs)は、急冷状態および熱処理後の試料ともに、N
bを添加するに従い低下し、Nbを含まない試料が0.
9(T)以上、Nbを2原子%含む試料では約0.75
(T)であった。透磁率(μe)の値は、急冷状態の試
料にあっては、Nbを含まない試料が5031、Nbを
2原子%含む試料が2228であり、Nbを10原子%
含む試料においては906に低下した。しかし、熱処理
を施すことにより透磁率(μe)は格段に向上し、特に
Nbを2原子%含む試料においては、25000程度の
透磁率(μe)を得ることができる。保磁力(Hc)に
関し、急冷状態の試料にあっては、Nbを含まない試料
とNbを2原子%含む試料はいずれも50A/m(=
0.625 Oe)と低い値であった。特にNbが2原子
%以下の試料は、5A/m(=0.0625 Oe)と非
常に良好な値を示している。熱処理を施すと、Nbを4
原子%以上含む試料においても優れた保磁力(Hc)を
得ることが可能となる。以上のように、この系の合金試
料にあっては、良好な軟磁気特性を得るためには、Nb
は0以上、2原子%以下の範囲がより好ましいことがわ
かる。従って、飽和磁束密度が大きく、保磁力が小さ
く、更に透磁率が高い軟磁性金属ガラス合金を備えたバ
ルク磁心を得ることが可能となり、このバルク磁心を用
いてトランスを作製した場合には、コアロスが小さく、
電力伝達効率に優れたトランスを得ることが可能とな
る。
Example 3 The atomic composition ratio was Fe 56 Co 7
A sample of a metallic glass alloy ribbon was produced in the same manner as in Example 1 except that Ni 7 Zr 10-x Nb x B 20 (x = 0, 2, 4, 6, 8, 10 at %). . Next, the obtained sample is
The heat treatment was performed at a temperature of 527 ° C. (800 K) for 5 minutes. FIG. 7 shows the saturation magnetic flux density (Bs) of the manufactured sample,
The Nb content dependency of the coercive force (Hc), the magnetic permeability (μe) at 1 kHz, and the magnetostriction (λs) is shown. The saturation magnetic flux density (Bs) was N
As the amount of b was added, the concentration of the sample was decreased, and the sample containing no Nb was 0.1%.
9 (T) or more, about 0.75 for a sample containing 2 atomic% of Nb
(T). The values of the magnetic permeability (μe) were 5031 for the sample in a quenched state without Nb, 2228 for the sample containing 2 atomic% of Nb, and 10 atomic% for Nb.
In the sample containing, it decreased to 906. However, by performing the heat treatment, the magnetic permeability (μe) is remarkably improved, and a magnetic permeability (μe) of about 25000 can be obtained particularly in a sample containing 2 atomic% of Nb. Regarding the coercive force (Hc), in the sample in the quenched state, the sample containing no Nb and the sample containing 2 atomic% of Nb were both 50 A / m (=
0.625 Oe). In particular, the sample having Nb of 2 atomic% or less shows a very good value of 5 A / m (= 0.0625 Oe). When heat treatment is applied, Nb becomes 4
An excellent coercive force (Hc) can be obtained even in a sample containing at least atomic%. As described above, in order to obtain good soft magnetic properties, in this alloy sample, Nb
Is more preferably in the range of 0 to 2 atomic%. Therefore, it is possible to obtain a bulk magnetic core having a soft magnetic metallic glass alloy having a high saturation magnetic flux density, a low coercive force, and a high magnetic permeability. Is small,
It is possible to obtain a transformer having excellent power transmission efficiency.

【0039】(実施例4)原子組成比がFe56Co7
7Zr8Nb220であること以外は実施例1と同様に
して金属ガラス合金の薄帯を得た。次に、得られた薄帯
をローターミルを用いて大気中で粉砕することで粉末化
した。得られた粉末の中で粒径53〜105μmのもの
を選別して後の工程に原料粉末として使用した。約2g
の前記原料粉末をWC製のダイスの内部にハンドプレス
を用いて充填した後、図2に示すダイの内部に装填し、
チャンバの内部を3×10-5torrの雰囲気中で上下
のパンチで加圧するとともに、通電装置から原料粉末に
パルス波を通電して加熱した。パルス波形は図3に示す
ように12パルス流した後で2パルス休止するものと
し、最高4700〜4800Aの電流で原料粉末を加熱
した。焼結は、試料に6.5t/cm2の圧力をかけた
状態で室温から焼結温度まで試料を加熱させ、約5分間
保持することにより焼結を行った。昇温速度は100℃
/minとした。得られた焼結体より、図1に示すよう
な、外径10mm、内径6mm、厚さ2mmの中空円筒
状の試料をワイヤー放電加工により作製し、磁心本体を
得た。この磁心本体を、図1に示すようなポリアセター
ル樹脂製の中空円環状の磁心本体収納ケースに収納し
た。このとき、磁心本体収納ケースの底面の2カ所にエ
ポキシ樹脂を塗布して、磁心本体収納ケースと磁心本体
とを固定した。このようにして同様な処理を施した3つ
のバルク磁心を得た。
Example 4 The atomic composition ratio was Fe 56 Co 7 N
except that the i 7 Zr 8 Nb 2 B 20 in the same manner as in Example 1 to obtain a thin strip of amorphous alloy. Next, the obtained ribbon was pulverized by pulverizing it in the air using a rotor mill. Among the obtained powders, those having a particle size of 53 to 105 μm were selected and used as raw material powders in the subsequent steps. About 2g
After filling the above raw material powder into a WC die using a hand press, the raw material powder was loaded into the die shown in FIG.
The inside of the chamber was pressurized with an upper and lower punch in an atmosphere of 3 × 10 −5 torr, and the raw material powder was heated by applying a pulse wave to the raw material powder. As shown in FIG. 3, the pulse waveform was such that after 12 pulses had flowed, two pulses were paused, and the raw material powder was heated at a maximum current of 4700 to 4800A. The sintering was performed by heating the sample from room temperature to the sintering temperature while applying a pressure of 6.5 t / cm 2 to the sample and holding the sample for about 5 minutes. Heating rate is 100 ° C
/ Min. From the obtained sintered body, a hollow cylindrical sample having an outer diameter of 10 mm, an inner diameter of 6 mm, and a thickness of 2 mm as shown in FIG. 1 was produced by wire electric discharge machining to obtain a magnetic core body. This core body was housed in a hollow annular core body storage case made of polyacetal resin as shown in FIG. At this time, epoxy resin was applied to two places on the bottom surface of the magnetic core main body storage case, and the magnetic core main body storage case and the magnetic core main body were fixed. In this way, three bulk cores subjected to the same treatment were obtained.

【0040】本実施例のバルク磁心のコアロスの測定結
果を図8に示す。また、比較例としてケイ素鋼板(Si
3.5%)を積層して得た磁心の動作磁束密度とコアロ
スと関係を図8に示す。図8から明らかなように、本実
施例及び比較例の磁心は、動作磁束密度の上昇とともに
コアロスが増加するが、3つの実施例のバルク磁心は、
いずれも比較例の磁心よりも測定した動作磁束密度の範
囲内において常にコアロスが小さいことがわかる。
FIG. 8 shows the measurement results of the core loss of the bulk magnetic core of this embodiment. As a comparative example, a silicon steel plate (Si
FIG. 8 shows the relationship between the operating magnetic flux density and the core loss of the magnetic core obtained by laminating (3.5%). As is clear from FIG. 8, the cores of the present embodiment and the comparative example increase in core loss with an increase in operating magnetic flux density.
It can be seen that the core loss is always smaller within the range of the operating magnetic flux density measured than the magnetic core of the comparative example.

【0041】なお、この発明は、以上の例によって何ら
限定されるものではなく、その組成、製造方法、熱処理
条件、形状等について様々な態様が可能であることは勿
論である。
It should be noted that the present invention is not limited at all by the above-described examples, and it is needless to say that the composition, the manufacturing method, the heat treatment conditions, the shape, and the like can be variously modified.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
バルク磁心1は、ΔT=T−T(ただしTは結
晶化開始温度、Tはガラス遷移温度を示す。)の式で
表される過冷却液体の温度間隔ΔT60K以上であ
る軟磁性金属ガラス合金の粉末が、プラズマ焼結法によ
って焼結されることにより、密度の高いバルク状の磁心
本体を得ることができるので、コアロスを小さくするこ
とができる。また、本発明のバルク磁心においては、プ
ラズマ焼結法のみならず、合金溶湯を冷却固化するいわ
ゆる鋳造法によっても磁心本体が得られるので、磁心本
体の密度を高くしてコアロスを小さくすると共に、バル
ク磁心の製造コストを低くすることができる。
As described above, in the bulk magnetic core 1 of the present invention, ΔT x = T x −T g (where T x indicates a crystallization start temperature and T g indicates a glass transition temperature). The soft magnetic metallic glass alloy powder having a temperature interval ΔT x of the supercooled liquid represented by the following formula of 60 K or more is sintered by a plasma sintering method to form a bulk core body having a high density. Therefore, core loss can be reduced. In the bulk core of the present invention, the core body can be obtained not only by the plasma sintering method, but also by a so-called casting method of cooling and solidifying the molten alloy, so that the core loss is increased and the core loss is reduced. The manufacturing cost of the bulk core can be reduced.

【0043】また、本発明の軟磁性金属ガラス合金は、
Fe、Co、Niのうちの1種または2種以上の元素を
主成分とし、Zr、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、V
のうちの1種または2種以上の元素とBを含み、過冷却
液体の温度間隔ΔTを大きくすることができるので、
合金粉末を焼結する際に焼結温度を高くすることが可能
となり、より高密度の磁心本体が得られるので、バルク
磁心のコアロスを小さくすることができる。また、本発
明のバルク磁心は、ΔTxが60K以上であり、その組
成が以下の一般式で表されるものであり、透磁率に優
れ、保磁力が小さく、飽和磁束密度が高く、軟磁気特性
に優れた軟磁性金属ガラス合金からなる磁心本体を備え
ているので、コアロスを小さくすることができる。 (Fe1−a−bCoNi100−x−y
但し、0.042≦a≦0.29、0.042≦b≦
0.43、5原子%≦x≦20原子%、10原子%≦y
≦22原子%であり、MはZr、Nb、Ta、Hf、M
o、Ti、Vのうちの1種または2種以上からなる元素
である。または、 (Fe1−a−bCoNi100−x−y−z
但し、0.042≦a≦0.29、0.042≦b≦
0.43、5原子%≦x≦20原子%、10原子%≦y
≦22原子%、0原子%≦z≦5原子%であり、MはZ
r、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、Vのうちの1種ま
たは2種以上からなる元素、TはCr、W、Ru、R
h、Pd、Os、Ir、Pt、Al、Si、Ge、C、
Pのうちの1種または2種以上からなる元素である。
Further, the soft magnetic metallic glass alloy of the present invention comprises:
One or more elements of Fe, Co, and Ni as main components, and Zr, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti, V
One or two or more of the above elements and B, and the temperature interval ΔT x of the supercooled liquid can be increased.
When sintering the alloy powder, the sintering temperature can be increased, and a higher-density core body can be obtained, so that the core loss of the bulk core can be reduced. Further, the bulk magnetic core of the present invention has ΔTx of 60K or more, and has a composition represented by the following general formula, and has excellent magnetic permeability, small coercive force, high saturation magnetic flux density, and soft magnetic properties. Since the magnetic core body made of a soft magnetic metallic glass alloy having excellent performance is provided, core loss can be reduced. (Fe 1-ab Co a Ni b ) 100-xy M x B
y, provided that 0.042 ≦ a ≦ 0.29 , 0.042 ≦ b ≦
0.43 , 5 atomic% ≦ x ≦ 20 atomic%, 10 atomic% ≦ y
≦ 22 atomic%, and M is Zr, Nb, Ta, Hf, M
It is an element composed of one or more of o, Ti, and V. Or (Fe 1-ab Co a Ni b ) 100-xyz M
x B y T z where, 0.042 ≦ a ≦ 0.29,0.042 ≦ b
0.43 , 5 atomic% ≦ x ≦ 20 atomic%, 10 atomic% ≦ y
≦ 22 atomic%, 0 atomic% ≦ z ≦ 5 atomic%, and M is Z
an element composed of one or more of r, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti, and V; T is Cr, W, Ru, R
h, Pd, Os, Ir, Pt, Al, Si, Ge, C,
P is an element composed of one or more of P.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態であるバルク磁心を示す
分解図である。
FIG. 1 is an exploded view showing a bulk core according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の実施の形態であるバルク磁心を製造
するために用いる放電プラズマ焼結装置の一例の要部構
造を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main structure of an example of a spark plasma sintering apparatus used for manufacturing a bulk magnetic core according to an embodiment of the present invention.

【図3】 図2に示す放電プラズマ焼結装置で原料粉末
に印加するパルス電流波形の一例を示す図である。
3 is a diagram showing an example of a pulse current waveform applied to a raw material powder in the discharge plasma sintering apparatus shown in FIG.

【図4】 Fe60Co3Ni7Zr1020、Fe56Co7
Ni7Zr1020、Fe49Co14Ni7Zr1020、Fe
46Co17Ni7Zr1020なる各組成の金属ガラス合金
薄帯試料のDSC曲線を示す図である。
FIG. 4 Fe 60 Co 3 Ni 7 Zr 10 B 20 , Fe 56 Co 7
Ni 7 Zr 10 B 20 , Fe 49 Co 14 Ni 7 Zr 10 B 20 , Fe
Is a diagram showing a 46 Co 17 Ni 7 Zr 10 B 20 becomes DSC curve of glassy alloy ribbon samples of each composition.

【図5】 (Fe1-a-bCoaNib70Zr1020なる
組成系におけるΔTx(=Tx−Tg)の値に対するFe
とCoとNiのそれぞれの含有量依存性を示す三角組成
図である。
FIG. 5 shows the relationship between the value of ΔTx (= Tx−Tg) and the value of Fe in a composition system of (Fe 1 -ab Co a Ni b ) 70 Zr 10 B 20.
FIG. 4 is a triangular composition diagram showing the content dependence of Co, Ni and Co.

【図6】 Fe56Co7Ni7Zr4Nb620なる組成の
急冷薄帯の種々の板厚におけるX線回折パターンを示す
図である。
FIG. 6 is a diagram showing X-ray diffraction patterns at various plate thicknesses of a quenched ribbon having a composition of Fe 56 Co 7 Ni 7 Zr 4 Nb 6 B 20 .

【図7】 Fe56Co7Ni7Zr10-xNbx20(x=
0,2,4,6,8,10原子%)なる組成の試料の飽和磁
束密度(Bs)、保磁力(Hc)、1kHzにおける透
磁率(μe)、磁歪(λs)のNb含有量依存性を示す
図である。
FIG. 7: Fe 56 Co 7 Ni 7 Zr 10-x Nb x B 20 (x =
Nb content dependence of saturation magnetic flux density (Bs), coercive force (Hc), permeability at 1 kHz (μe), and magnetostriction (λs) of a sample having a composition of 0, 2, 4, 6, 8, and 10 atomic%) FIG.

【図8】 Fe56Co7Ni7Zr8Nb220なる組成の
磁心本体から作製したバルク磁心のコアロスを示す図で
ある。
FIG. 8 is a view showing a core loss of a bulk core manufactured from a core body having a composition of Fe 56 Co 7 Ni 7 Zr 8 Nb 2 B 20 .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 バルク磁心 2 磁心本体収納ケース 3 磁心本体 4 接着部材 1 Bulk core 2 Magnetic core storage case 3 Magnetic core body 4 Adhesive members

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 明久 宮城県仙台市青葉区川内元支倉35番地 川内住宅11−806 (56)参考文献 特開 平8−333660(JP,A) 特開 平8−337839(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01F 1/12 - 1/38 H01F 27/24 - 27/26 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akihisa Inoue 35-29 Kawachi Moto Hasekura, Aoba-ku, Aoba-ku, Sendai City, Miyagi Prefecture −337839 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H01F 1/12-1/38 H01F 27/24-27/26

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 Fe、Co、Niのうちの1種または2
種以上の元素を主成分とし、Zr、Nb、Ta、Hf、
Mo、Ti、Vのうちの1種または2種以上の元素とB
を含み、ΔTx=Tx−Tg(式中、Txは結晶化開始
温度、Tgはガラス遷移温度を示す)の式で表される過
冷却液体の温度間隔ΔTxが60K以上であって、下記
の組成で表される軟磁性金属ガラス合金の粉末が焼結さ
れてなる磁心本体を備えることを特徴とするバルク磁
心。(Fe 1−a−bCo Ni 100−x−y
但し、0.042≦a≦0.29、0.042≦b≦
0.43、5原子%≦x≦20原子%、10原子%≦y
≦22原子%であり、MはZr、Nb、Ta、Hf、M
o、Ti、Vのうちの1種または2種以上からなる元素
である。
1. One or two of Fe, Co, and Ni
With at least three or more elements as main components, Zr, Nb, Ta, Hf,
One or more elements of Mo, Ti, V and B
Wherein the temperature interval ΔTx of the supercooled liquid represented by the equation ΔTx = Tx−Tg (where Tx represents the crystallization start temperature and Tg represents the glass transition temperature) is 60 K or more , and
A bulk magnetic core comprising a magnetic core body obtained by sintering a soft magnetic metallic glass alloy powder represented by the following composition: (Fe 1-ab Co a Ni b ) 100-xy M x B
y, provided that 0.042 ≦ a ≦ 0.29, 0.042 ≦ b ≦
0.43, 5 at% ≦ x ≦ 20 at%, 10 at% ≦ y
≦ 22 atomic%, and M is Zr, Nb, Ta, Hf, M
Element consisting of one or more of o, Ti, and V
It is.
【請求項2】 Fe、Co、Niのうちの1種または2
種以上の元素を主成分とし、Zr、Nb、Ta、Hf、
Mo、Ti、Vのうちの1種または2種以上の元素とB
を含み、ΔTx=Tx−Tg(式中、Txは結晶化開始
温度、Tgはガラス遷移温度を示す)の式で表される過
冷却液体の温度間隔ΔTxが60K以上であって、下記
の組成で表される軟磁性金属ガラス合金の粉末が焼結さ
れてなる磁心本体を備えることを特徴とするバルク磁
心。 (Fe 1−a−bCo Ni 100−x−y−z
但し、0.042≦a≦0.29、0.042≦b≦
0.43、5原子%≦x≦20原子%、10原子%≦y
≦22原子%、0原子%≦z≦5原子%であり、MはZ
r、Nb、Ta、Hf、Mo、Ti、Vのうちの1種ま
たは2種以上からなる元素、TはCr、W、Ru、R
h、Pd、Os、Ir、Pt、Al、Si、Ge、C、
Pのうちの1種または2種以上からなる元素である。
2. One or two of Fe, Co, and Ni.
With at least three or more elements as main components, Zr, Nb, Ta, Hf,
One or more elements of Mo, Ti, V and B
ΔTx = Tx−Tg (where Tx is the crystallization start
Temperature and Tg indicate the glass transition temperature).
The temperature interval ΔTx of the cooling liquid is 60K or more, and
The powder of the soft magnetic metallic glass alloy represented by the composition
Bulk magnetic body comprising a core body
heart. (Fe 1-ab Co a Ni b ) 100-xyz M
x B y T z where, 0.042 ≦ a ≦ 0.29,0.042 ≦ b
0.43, 5 at% ≦ x ≦ 20 at%, 10 at% ≦ y
≦ 22 atomic%, 0 atomic% ≦ z ≦ 5 atomic%, and M is Z
r, Nb, Ta, Hf, Mo, Ti, V
Or two or more elements, T is Cr, W, Ru, R
h, Pd, Os, Ir, Pt, Al, Si, Ge, C,
P is an element composed of one or more of P.
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載のバルク
磁心であって、前記Fe基軟磁性金属ガラス合金の粉末
が、放電プラズマ焼結法により、昇温速度10℃/分以
上で昇温して焼結されてなる磁心本体を備えることを特
徴とするバルク磁心。
3. The bulk magnetic core according to claim 1 , wherein the powder of the Fe-based soft magnetic metallic glass alloy is heated at a rate of 10 ° C./min or more by a discharge plasma sintering method. A bulk magnetic core comprising a magnetic core body which is sintered by being heated.
【請求項4】 請求項1または請求項2に記載の軟磁性
金属ガラス合金の溶湯が冷却固化されてなる磁心本体を
備えることを特徴とするバルク磁心。
4. A bulk magnetic core comprising a magnetic core body obtained by cooling and solidifying a molten metal of the soft magnetic metallic glass alloy according to claim 1 or 2 .
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