JP3519513B2 - 装置本体部取付け型空調装置 - Google Patents
装置本体部取付け型空調装置Info
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Description
取り付けられ装置本体部へ清浄な空気を供給するための
装置本体部取付け型空調装置に関し、この空調装置は、
例えばクリーンルーム内に設置された半導体製造装置の
本体上部に設置されて使用される。
環境に保たれた空間において基板の各種処理を行なう必
要があるため、クリーンルーム内に設置され、しかも、
装置の本体上部に空調装置を設置して、より清浄化され
た空気が装置本体部へ供給されるようにしている。半導
体製造装置の本体上部に設置される空調装置としては、
従来、図3に示すような構成のものが使用されている。
40は、ボックス42内にファンユニット44、44、
溶剤除去フィルタ48とアンモニア・酸除去フィルタ5
0とを積層したフィルタユニット46、及びダストフィ
ルタ52を収納して構成されており、この空調装置40
を装置本体部54上に設置して半導体製造装置に一体化
するようにしている。ボックス42には、フィルタユニ
ット46の交換用の開口部56が設けられており、その
開口部56は、蓋板58によって開閉自在に閉塞される
ようになっている。そして、この空調装置40では、フ
ァンユニット44、44によってボックス42内へ雰囲
気空気が導入され、ボックス42内へ導入された空気
は、フィルタユニット46を通される。空気がフィルタ
ユニット46を通過する間に、溶剤除去フィルタ48に
よって空気中の溶剤成分が吸着除去され、アンモニア・
酸除去フィルタ50により空気中のアンモニアや酸性物
質等の微量の腐食性ガスが化学吸着反応で除去される。
次に、フィルタユニット46を通過した空気は、ヘパ
(HEPA)フィルタ或いはウルパ(ULPA)フィル
タといったダストフィルタ52に通され、このダストフ
ィルタ52によって空気中の微小なダストが吸着除去さ
れる。そして、腐食性ガスやダストが除去された空気
が、装置本体部54へ供給される。
は、図3に示したように、ファンユニット44、44、
溶剤除去フィルタ48とアンモニア・酸除去フィルタ5
0とを積層したフィルタユニット46、及びダストフィ
ルタ52をボックス42内に収納するような構成である
ため、その全体が大型化し、装置本体部54への取付け
性が悪い。また、フィルタユニット46は、ボックス4
2に設けられた開口部56を通してボックス42内から
取り出しまたボックス42内へ挿入するようにしなけれ
ばならずメンテナンス性(定期交換作業性)も悪い。さ
らに、半導体製造装置が設置されたクリーンルーム内の
雰囲気に応じて、溶剤除去フィルタ48やアンモニア・
酸除去フィルタ50といった化学物質除去フィルタのろ
過表面積を大きくする必要が生じることがあるが、従来
の空調装置40のような構成では、ボックス42を作り
直して、その高さ寸法或いは平面形状を大きくする必要
があった。
されたものであり、装置の小型化が可能で、メンテナン
ス性が良好であり、装置本体が設置された室の雰囲気に
応じて化学物質除去フィルタのろ過表面積を変える必要
が生じ、そのフィルタの枚数や厚みを増減するような場
合でも、従来装置のようにボックス自体を作り直したり
することなく簡単な作業で容易に対応することができる
装置本体部取付け型空調装置を提供することを目的とす
る。
雰囲気空気を装置本体部へ送り込むためのファンユニッ
トと、装置本体部へ導入された空気に含まれるダストを
除去するダスト除去フィルタと、装置本体部へ導入され
る空気に含まれる溶剤又はアンモニア、酸性物質等の微
量ガスを除去する1種類又は2種類以上の化学物質除去
フィルタからなるフィルタユニットとを備え、前記ファ
ンユニットは、箱形をなし、互いに対向する面がそれぞ
れ空気取入れ面及び空気吐出面とされ、前記フィルタユ
ニットは、箱形をなし、互いに対向する面がそれぞれ空
気流入面及び空気流出面とされ、装置本体部上にその上
面開口を覆うように設置されたボックスに取り付けられ
て、装置本体部へ導入される空気を清浄化する装置本体
部取付け型空調装置において、前記ファンユニットの空
気吐出面又は空気取入れ面の形状と前記フィルタユニッ
トの空気流入面又は空気流出面の形状とを同じにして、
ファンユニットとフィルタユニットとを、同じ形状の面
同士を接合させて着脱自在に連接するとともに、前記ボ
ックスの上面に複数の開口部が形成され、前記フィルタ
ユニットの空気流出面又は前記ファンユニットの空気吐
出面の形状と前記ボックスの上面に形成された各開口部
の形状とをそれぞれ同じにして、ファンユニット及びフ
ィルタユニットをボックスの上面の外側に、ボックスの
各開口部の位置にフィルタユニットの空気流出面又はフ
ァンユニットの空気吐出面をそれぞれ適合させて着脱自
在に固着したことを特徴とする。
明の上記空調装置において、上記ファンユニットの空気
吐出面と上記フィルタユニットの空気流入面とを接合し
たことを特徴とする。
項2に係る発明の上記空調装置において、空気に含まれ
る溶剤を除去する溶剤除去フィルタと、空気に含まれる
アンモニア及び酸性物質を除去するアンモニア・酸除去
フィルタとを有し、それら両フィルタを空気の流通方向
に積層して、上記フィルタユニットを構成したことを特
徴とする。
ァンユニットの空気吐出面の形状と箱形のフィルタユニ
ットの空気流入面の形状とが同じで、その両面同士が接
続されているので、ファンユニットの空気取入れ面へ流
入した雰囲気空気は、ファンユニットの空気吐出面から
そのままフィルタユニットの空気流入面へ流入し、フィ
ルタユニットの空気流出面から溶剤や微量ガスが除去さ
れた空気が流出する。或いは、箱形のフィルタユニット
の空気流出面の形状と箱形のファンユニットの空気取入
れ面の形状とが同じで、その両面同士が接合されている
ので、フィルタユニットの空気流入面へ吸い込まれた雰
囲気空気は、フィルタユニットを通過する間に溶剤や微
量ガスが除去されて、フィルタユニットの空気流出面か
らそのままファンユニットの空気取入れ面へ流入し、フ
ァンユニットの空気吐出面から吐出される。従って、フ
ァンユニット及びフィルタユニットを収納するためのボ
ックスが不要になる。そして、フィルタユニットの空気
流出面又はファンユニットの空気吐出面の形状と装置本
体部上に設置されたボックスの上面の各開口部の形状と
が同じで、ボックスの各開口部の位置にフィルタユニッ
トの空気流出面又はファンユニットの空気吐出面をそれ
ぞれ適合させてファンユニット及びフィルタユニットが
ボックスの上面の外側に着脱自在に固着されているの
で、フィルタユニットやファンユニットをボックスから
取り外しまたボックスに取り付ける作業を簡単に行うこ
とができる。
とは着脱自在に連接されているので、フィルタユニット
のメンテナンス(定期交換作業)を行なうときは、古い
フィルタユニットをファンユニットから離脱させ、新し
いフィルタユニットをファンユニットに装着するように
するだけでよい。さらに、例えばクリーンルーム内の雰
囲気に応じて、ファンユニットを構成する化学物質除去
フィルタのろ過表面積を変えるためにフィルタの枚数を
増減したり異なる厚みのフィルタと交換したりするとき
も、フィルタユニットとファンユニットとを離脱させ、
またそれらを装着する作業を行なうだけでよい。さら
に、この空調装置では、ボックスの上面に複数の開口部
が形成され、その各開口部の位置にファンユニット及び
フィルタユニットがそれぞれ配設されるので、個々のフ
ァンユニット及びフィルタユニットは小さくなり、フィ
ルタユニットやファンユニットをボックスから取り外し
またボックスに取り付ける作業が容易になる。
ンユニットによって取り入れられた雰囲気空気はフィル
タユニットに押し入れられ、フィルタユニットから溶剤
や微量ガスが除去された空気が流出することとなり、フ
ィルタユニットとファンユニットとの配置を逆にした場
合のように、フィルタユニットとファンユニットとの接
合面の隙間から雰囲気空気がリークしてファンユニット
へ吸い込まれ、ファンユニットから溶剤や微量ガスが除
去されていない空気が一部吐出される、といった心配が
無い。
がファンユニットを通過する間に、空気中に含まれる溶
剤が溶剤除去フィルタによって除去され、空気中に含ま
れるアンモニア及び酸性物質がアンモニア・酸除去フィ
ルタによって除去される。
を参照しながら説明する。
し、空調装置を半導体製造装置等の本体上部に設置した
状態を模式的に示す正面断面図であり、図2は、空調装
置全体の外観斜視図である。
2、12、溶剤除去フィルタ14、14、アンモニア・
酸除去フィルタ16、16、及びダストフィルタ18を
備え、溶剤除去フィルタ14、14とアンモニア・酸除
去フィルタ16、16とからフィルタユニット20が構
成され、HEPAフィルタ或いはULPAフィルタから
なるダストフィルタ18がボックス22内に収納されて
いる。そして、ボックス22が装置本体部24上に設置
されている。
回転翼を収納して全体が箱形に形成されており、互いに
対向する上面及び下面がそれぞれ空気取入れ面26及び
空気吐出面28とされている。また、溶剤除去フィルタ
14及びアンモニア・酸除去フィルタ16はそれぞれ、
四角形の枠体内にフィルタ素材を収納して全体が箱形に
形成され、互いに対向する上面及び下面がそれぞれ空気
流入面30、34及び空気流出面32、36とされてい
る。そして、溶剤除去フィルタ14の空気流出面32の
形状とアンモニア・酸除去フィルタ16の空気流入面3
4の形状とが同じにされており、その両面32、34同
士を接合させて両フィルタ14、16が空気の流通方向
に連接され、フィルタユニット20として一体化されて
いる。また、ファンユニット12の空気吐出面28の形
状と溶剤除去フィルタ14の空気流入面30の形状とが
同じにされており、その両面28、30同士を接合させ
てファンユニット12とフィルタユニット20とが連接
され、両ユニット12、20が一体化されている。さら
に、ボックス22の上面に開口部38、38が形成され
ており、その各開口部38の形状とアンモニア・酸除去
フィルタ16の空気流出面36の形状とが同じにされて
いる。そして、ボックス22の各開口部38の位置にア
ンモニア・酸除去フィルタ16の空気流出面36を適合
させ、フィルタ16をボックス22の上面に固着するこ
とにより、ファンユニット12及びフィルタユニット2
0とボックス22とを一体化して、空調装置10が構成
されている。
ット12に雰囲気空気が吸い込まれ、ファンユニット1
2に吸い込まれた空気は、そのままフィルタユニット2
0へ押し入れられ、フィルタユニット12を通過する間
に、溶剤除去フィルタ14によって溶剤成分が除去さ
れ、アンモニア・酸除去フィルタ16によってアンモニ
ア及び酸性物質等の腐食性ガスが除去される。フィルタ
ユニット12によって化学物質が除去された空気は、開
口部38を通してボックス22内へ流入し、ボックス2
2内に設けられたダストフィルタ18を通過する。そし
て、ダストフィルタ18を通過することによって微小な
ダストが吸着除去された清浄な空気が、装置本体部24
へ供給される。
20を定期交換するときは、古いフィルタユニット20
をボックス22及びファンユニット12から取り外し、
新しいフィルタユニットをファンユニット12に装着し
てボックス22に取り付けるようにする。また、半導体
製造装置が設置されたクリーンルーム内の雰囲気に応じ
て、例えばアンモニア・酸除去フィルタ16の枚数を増
やしたり、異なる厚みのアンモニア・酸除去フィルタと
交換したり、異なる種類の化学物質除去フィルタを追加
或いはそれと交換したりするときも、フィルタユニット
20をボックス22及びファンユニット12から取り外
した後、別のフィルタを追加して組み付けたり別のフィ
ルタと交換したりするなどして、フィルタユニットを新
たに組み立て、そのフィルタユニットをファンユニット
12に装着してボックス22に取り付けるようにすれば
よい。
気の流通方向においてファンユニット12の後側にフィ
ルタユニット14を連接するようにしており、このよう
な配置にした場合には、その配置を逆にした場合のよう
に、フィルタユニットとファンユニットとの接合面の隙
間から雰囲気空気がリークしてファンユニットへ吸い込
まれ、ファンユニットからボックス22内へ溶剤やアン
モニア及び酸性物質が除去されていない空気が吐出され
る、といった心配が無いが、フィルタユニットとファン
ユニットとの接合面のシールを確実に行なうようにすれ
ば、フィルタユニットの後側にファンユニットを配置す
るようにしても差し支えない。そのような配置にした場
合には、フィルタユニットのメンテナンスなどに際し
て、ファンユニットをボックス22に取り付けたまま、
ファンユニットからフィルタユニットを取り外し、ま
た、ファンユニットへフィルタユニットを取り付けるよ
うにするだけでよく、作業性が良くなる。また、図1及
び図2に示した空調装置10は、溶剤除去フィルタ14
とアンモニア・酸除去フィルタ16とによりフィルタユ
ニット20を構成しているが、クリーンルーム内の雰囲
気によっては、そのいずれか一方のフィルタだけを設け
るようにしてもよく、また、別の種類の化学物質除去フ
ィルタを追加してフィルタユニットを構成するようにし
てもよい。
体製造装置等の装置本体部に取り付ける空調装置として
使用するようにすれば、ダストフィルタだけを収納する
大きさのボックスを設ければよいので、装置全体が小型
化し軽量化して、装置本体部への取付け性が良くなる。
また、従来の装置のように、定期交換作業に際してフィ
ルタユニットをボックス内から取り出したりボックス内
へ挿入したりする必要が無く、ボックスの外側でフィル
タユニットをボックスの上面から取り外したりボックス
の上面に取り付けたりするだけでよいので、メンテナン
ス性が向上する。さらに、装置本体が設置された室の雰
囲気に応じて、フィルタユニットを構成する化学物質除
去フィルタのろ過表面積を変える必要から、フィルタの
枚数を増減させたり異なる厚みのフィルタに変更したり
異なる種類のフィルタに変更したりするような場合で
も、従来の装置のように、ボックス自体を作り直したり
する必要が無く、簡単な作業を行なうだけで容易に対応
することができる。また、この空調装置では、個々のフ
ァンユニット及びフィルタユニットが小さくなるので、
メンテナンス性がより向上する。
ンユニットとフィルタユニットとの接合面に例え隙間が
あっても、フィルタユニットから流出する空気にフィル
タユニットを通っていない雰囲気空気が混入することが
ないので、清浄化された空気を装置本体部へ供給するこ
とができる。
並びにアンモニア及び酸性物質が除去された空気を装置
本体部へ供給することができる。
部に設置した状態を模式的に示す正面断面図である。
模式的に示す正面断面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 箱形をなし、互いに対向する面がそれぞ
れ空気取入れ面及び空気吐出面とされ、雰囲気空気を装
置本体部へ送り込むためのファンユニットと、 装置本体部へ導入される空気に含まれるダストを除去す
るダスト除去フィルタと、 箱型をなし、互いに対向する面がそれぞれ空気流入面及
び空気流出面とされ、装置本体部へ導入される空気に含
まれる溶剤又は微量ガスを除去する1種類又は2種類以
上の化学物質除去フィルタからなるフィルタユニットと
を備え、 装置本体部上にその上面開口を覆うように設置されたボ
ックスに取り付けられて、装置本体部へ導入される空気
を清浄化する装置本体部取付け型空調装置において、 前記ファンユニットの空気吐出面又は空気取入れ面の形
状と前記フィルタユニットの空気流入面又は空気流出面
の形状とを同じにして、ファンユニットとフィルタユニ
ットとを、同じ形状の面同士を接合させて着脱自在に連
接するとともに、前記ボックスの上面に複数の開口部が
形成され、前記フィルタユニットの空気流出面又は前記
ファンユニットの空気吐出面の形状と前記ボックスの上
面に形成された各開口部の形状とをそれぞれ同じにし
て、ファンユニット及びフィルタユニットをボックスの
上面の外側に、ボックスの各開口部の位置にフィルタユ
ニットの空気流出面又はファンユニットの空気吐出面を
それぞれ適合させて着脱自在に固着したことを特徴とす
る装置本体部取付け用空調装置。 - 【請求項2】 ファンユニットの空気吐出面とフィルタ
ユニットの空気流入面とが接合された請求項1記載の装
置本体部取付け型空調装置。 - 【請求項3】 フィルタユニットが、 空気に含まれる溶剤を除去する溶剤除去フィルタと、 空気に含まれるアンモニア及び酸性物質を除去するアン
モニア・酸除去フィルタとを有し、 それら溶剤除去フィルタとアンモニア・酸除去フィルタ
とを空気の流通方向に積層して構成された 請求項1又は
請求項2記載の装置本体部取付け型空調装置。
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JP21238495A JP3519513B2 (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 装置本体部取付け型空調装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21238495A JP3519513B2 (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 装置本体部取付け型空調装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0938449A JPH0938449A (ja) | 1997-02-10 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP21238495A Expired - Fee Related JP3519513B2 (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 装置本体部取付け型空調装置 |
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US9696703B2 (en) | 2013-05-18 | 2017-07-04 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for ensuring air quality in a building, including method and apparatus for controlling a working device using a handheld unit having scanning, networking, display and input capability |
JP6511858B2 (ja) | 2015-02-27 | 2019-05-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送室 |
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1995
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