JP3582968B2

JP3582968B2 - Thin film magnetic head and magnetic recording device

Info

Publication number: JP3582968B2
Application number: JP26736397A
Authority: JP
Inventors: 博明與田; 昭男堀; 裕一大沢; 三樹森; 将寿吉川; 政司佐橋
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-09-30
Filing date: 1997-09-30
Publication date: 2004-10-27
Anticipated expiration: 2017-09-30
Also published as: JPH10154315A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は薄膜磁気ヘッドと磁気ディスク装置などの磁気記録装置に係り、特に磁気記録媒体からの浮上量が低い薄膜磁気ヘッドと磁気記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置（ＨＤＤ）においては、図１２に示すような薄膜磁気ヘッドを使用した磁気ヘッド（スライダ）１が用いられている。図１２に示す磁気ヘッド（スライダ）１は、主表面にＡｌＯ_ｘ膜３などの絶縁層が設けられたＡｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ基板２を有している。
【０００３】
Ａｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ基板２の媒体対向面には、両側面にそれぞれスライダ部４が設けられている。スライダ部４の媒体対向面はそれぞれＡＢＳ（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇＳｕｒｆａｃｅ）とされており、これらにより磁気ヘッド（スライダ）１は磁気ディスクから浮上している。記録再生部としての電磁変換部５は、ＡｌＯ_ｘ膜３内に配置されている。電磁変換部５にはいわゆる薄膜磁気ヘッドが用いられる。図中６は電磁変換部５に記録磁界を供給するコイルである。電磁変換部５は、媒体進行方向との関係やその製造工程から、一方のスライダ部４側に配置されている。
【０００４】
ところで、ＨＤＤなどの磁気記録装置においては、記録情報の高密度化が強く望まれている。高密度記録を達成する上で、狭トラック化、狭ギャップ化は必須技術である。例えば、記録密度が２００Ｍｂ／ｉｎｃｈ^２（ｂｐｓｉ）のＨＤＤでは、記録トラック幅は７μｍ、トラック間距離およびトラック幅公差は２μｍ程度である。記録密度を１Ｇｂｐｓｉ以上、さらには５Ｇｂｐｓｉ以上とするために、記録トラック幅は３〜５μｍ以下、トラック幅公差は０．５μｍ以下とすることが望まれている。
【０００５】
このような記録情報の高密度化に伴い、信号磁束量は低下する。これを補うために、あるいは分解能向上のために、磁気記録媒体からの磁気ヘッドの浮上量を低下させる必要が生じている。従来のＨＤＤでは１００ｎｍを超えていた磁気ヘッドの浮上量を、１００ｎｍ以下とすることが一般化しつつある。特に、１Ｇｂｐｓｉ以上では磁気ヘッドの浮上量を約５０ｎｍ以下、５Ｇｂｐｓｉ以上では２０ｎｍ以下となることもある。一方、再生ヘッドに関しては、記録トラック幅の縮小に伴う再生出力の低下を補うために、高感度な磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）を適用した磁気ヘッド（ＭＲヘッド）が使用されるようになってきている。図１３は電磁変換部５の再生部として用いられるシールド型ＭＲヘッドの構成を示している。
【０００６】
Ａｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ基板２の主表面上には、ＡｌＯ_ｘ膜３′を介してパーマロイなどからなる下側磁気シールド層１１が形成されている。Ａｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ基板２は、磁気ヘッドスライダ１を構成する基板である。下側磁気シールド層１１上には、再生磁気ギャップを構成する非磁性絶縁膜１２を介して、磁気抵抗効果膜（ＭＲ膜）１３が形成されている。ＭＲ素子１４は、ＭＲ膜１３とその両端に接続された一対のリード１５とにより構成されている。
【０００７】
ＭＲ素子１４上には、再生磁気ギャップを構成する非磁性絶縁膜１６を介して、上側の磁気シールド層１７が配置されている。これらによって、再生部としてのシールド型ＭＲヘッドが構成されている。シールド型ＭＲヘッドにおける信号磁界の検出は、例えば一対のリード１５にセンス電流を流し、ＭＲ膜１３の平均磁化方向の変化に伴う素子抵抗を測定することにより行われる。
【０００８】
電磁変換部５の記録部は、上側磁気シールド層１７に引き続いて形成される。記録部は、記録磁気ギャップを介して磁気回路を構成する上下一対の磁極（図示せず）を有する。コイル６は一対の磁極間に記録磁界を発生させるためのものである。記録部上にはＡｌＯ_ｘ膜など絶縁保護膜が形成される。この絶縁保護膜はＡｌＯ_ｘ膜２の一部を構成する。
【０００９】
ＡＢＳを利用して磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスクから浮上させているＨＤＤでは、磁気ヘッドスライダ１と磁気ディスクとが接触するというような問題は基本的には発生しないはずである。しかしながら、グライドハイトと呼ばれる媒体表面の突起によって、電磁変換部５と記録媒体との接触が起こる。これは磁気ヘッドスライダ１の低浮上化により顕著になる。電磁変換部５と記録媒体との接触は再生部のＭＲ膜１３の温度を局部的に上昇させる。ＭＲ膜１３の温度上昇は再生電圧出力レベルを変動させ、サーマルアスペリティと呼ばれる読み出し出力波形の劣化を起こしエラーを生じさせる。
【００１０】
加えて、ＭＲ素子１４を適用した再生部では、抵抗変化を測定するためのセンス電流（〜５ｍＡ）によっても４０℃程度の温度上昇がある。環境温度８０℃の下では、ＭＲ素子１４の温度が１２０〜１３０℃程度まで温度上昇することになる。このようなＭＲ素子１４の温度上昇は、長期的に見るとＭＲ膜１３の界面拡散やそれを構成する磁性層の特性劣化などを引き起こすことになる。
【００１１】
磁気ヘッドスライダ１の浮上量を記録媒体の平滑限界である２０ｎｍ程度以下とすると、電磁変換部５と記録媒体との接触確率が急増する。さらに、磁気ヘッドスライダ１の一方の側面側に電磁変換部５が配置されていることも、シーク時の電磁変換部５と記録媒体との接触確率の増大原因となっている。これらによって、ＭＲ膜１３の近傍を含む広い面積で、磁気ヘッドと磁気記録媒体とが接触する。このように、広い面積で接触する磁気ヘッドの媒体対向面に硬度の小さいＡｌＯ_ｘ膜２などが露出していると偏摩耗が発生する。媒体対向面の偏摩耗は磁気ヘッドと記録媒体との間の距離を広げ、記録分解能および再生分解能を劣化させる。摩耗量が大きい場合には、媒体対向面よりさらに奥の構成材料が順次露出する。これにより、記録媒体の潤滑層の粒子が吸着されて消費し、潤滑層の摩耗をも引き起こすことなる。さらに、電磁変換部５が側面側に配置されている磁気ヘッドスライダ１は、記録密度を高密度化した際に、記録トラックのトレース精度が低下しやすいという問題も有している。
【００１２】
一方、ＭＲ膜と記録媒体との直接の接触を避けるヘッド構造として、磁気ヨークを介してＭＲ膜に信号磁界を流入させるヨーク型ＭＲへッドが提案されている（特開平８−１３８２１５号公報など参照）。ヨーク型ＭＲへッドでは、例えばＡｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ基板上に絶縁膜を介して、磁気ヨークとなる一対の磁気コアを配置する。一対の磁気コアは同一平面を構成するように磁気ギャップを介して配置される。このような平面型の磁気ヨーク上にＭＲ素子が配置される。記録部のコイルは、磁気ヨークを一対の磁極とするように形成される。
【００１３】
ヨーク型ＭＲへッドを適用した磁気ヘッド（スライダ）では、電磁変換部を有するスライダ部のＡＢＳの幅が、他方のスライダ部のＡＢＳの幅より狭く設定される。さらに、電磁変換部を有するスライダ部の浮上高さは、他方のスライダ部の浮上高さより低く設定される。これらによって、電磁変換部の先端部が記録媒体とニアコンタクトする構成とされている。
【００１４】
このようなヨーク型ＭＲへッドを用いた磁気ヘッド（スライダ）においても、シールド型ＭＲヘッドを用いた磁気ヘッド（スライダ）と同様な問題を生じる可能性がある。さらに、ヨーク型ＭＲへッドは、一対の磁気コアを平面方向の配置しているため、媒体対向面に露出する電磁変換部の厚さがシールド型ＭＲヘッドに比べて薄い。ＭＲ膜は媒体対向面に直接露出していないものの、電磁変換部がより一層摩耗しやすいという問題を有している。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、磁気ヘッド（スライダ）を低浮上走行させると、記録媒体との接触により媒体対向面に露出する電磁変換部が発熱し、サーマルアスペリティを引き起こすという問題がある。ＭＲ膜へのセンス電流による温度上昇によっても特性劣化が生じる。このようなことから、ＭＲ膜を含む電磁変換部近傍の放熱性を高めることが強く望まれている。
【００１６】
さらに、磁気ヘッド（スライダ）の浮上量が記録媒体の平滑限界以下になると、電磁変換部近傍の広い面積で摩耗が起こり、記録および再生分解能が劣化するという問題がある。摩耗量が大きい場合には、記録媒体側の潤滑層の摩耗をも引き起こすことになる。このようなことから、磁気ヘッド（スライダ）を低浮上走行させた際の電磁変換部近傍の摩耗を抑制することが望まれている。
【００１７】
電磁変換部が側面側に配置されている磁気ヘッド（スライダ）は、電磁変換部と記録媒体との接触確率の増大原因となっている。さらに記録密度を高密度化した際に、記録トラックのトレース精度が低下しやすいという問題も有している。このようなことから、磁気ヘッド（スライダ）を安定走行を可能にする技術が求められている。
【００１８】
本発明は、このような課題に対処するためになされたもので、サーマルアスペリティの発生や温度上昇に伴う電磁変換部の特性劣化を抑制するために、電磁変換部近傍の放熱性を高めた薄膜磁気ヘッド、およびそれを用いた磁気記録装置を提供することを目的としている。本発明の他の目的は、記録および再生分解能の劣化や記録媒体側の潤滑層の摩耗を抑えるために、電磁変換部近傍の摩耗を抑制することを可能にした薄膜磁気ヘッド、およびそれを用いた磁気記録装置を提供することにある。本発明のさらに他の目的は、ヘッドスライダの安定走行を実現した薄膜磁気ヘッド、およびそれを用いた磁気記録装置を提供することにある。
【００１９】
【問題を解決するための手段】本発明の第１の薄膜磁気ヘッドは、請求項１に記載したように、高い熱伝導率を有する第１のセラミック基板と、高い熱伝導率を有する第２のセラミック基板と、前記第１のセラミック基板と前記第２のセラミック基板とにより、その膜厚方向から挟持されることで、トラック幅方向に対して略中央部に位置する磁気抵抗効果素子を有する電磁変換部とを具備する薄膜磁気ヘッドであって、前記トラック幅方向は、前記電磁変換部が情報を伝達するときに、媒体に対して前記磁気ヘッドの移動方向と実質的に垂直であり、さらに前記第１および第２のセラミック基板はそれぞれ電磁変換部の両側に、前記第１および第２のセラミック基板が電磁変換部からの熱を放散するように、配置されていることを特徴としている。
【００２０】
本発明の第２の薄膜磁気ヘッドは、請求項９に記載したように、高い熱伝導率を有する第１のセラミック基板と、高い熱伝導率を有する第２のセラミック基板と、前記第１のセラミック基板と前記第２のセラミック基板との間に、電磁変換部に従って決定されるトラック幅方向に保持されている磁気抵抗効果素子を有する電磁変換部とを具備する薄膜磁気ヘッドであって、前記トラック幅方向は、前記電磁変換部が情報を伝達するときに、媒体に対して前記磁気ヘッドの移動方向と実質的に垂直であり、さらに前記第１および第２のセラミック基板はそれぞれ電磁変換部の両側に、前記第１および第２のセラミック基板が電磁変換部からの熱を放散するように、配置されていることを特徴としている。
【００２１】
本発明の第３の薄膜磁気ヘッドは、請求項１４に記載したように、媒体対向面側に磁気ギャップを挟んで形成された少なくとも１対の磁気コアと、前記１対の磁気コアを介して記録媒体から信号磁界が導かれる磁気抵抗効果素子とを有する電磁変換部と、前記電磁変換部を厚さ方向から挟持する、高い熱伝導率を有する第１および第２のセラミック基板からなる薄膜磁気ヘッドであって、前記厚さ方向は、電磁変換部が情報を伝達する時、媒体に対する磁気ヘッドの移動方向と実質的に垂直な方向であり、また前記第１および第２のセラミック基板は、前記第１および第２のセラミック基板が電磁変換部から熱を放散するように、電磁変換部のそれぞれの両側に配置されていることを特徴としている。
【００２２】
本発明の薄膜磁気ヘッドは、請求項２、１１および１９に記載したように、第１セラミック基板および第２セラミック基板の少なくとも一方が、熱伝導率が10W/mKないし270W/mKの範囲のセラミック基板からなることを特徴としている。さらに請求項３、１２および１８に記載したように、第１セラミック基板および第２セラミック基板の少なくとも一方が、熱伝導率がビッカース硬度が800 Hvないし3000 Hvの範囲のセラミック基板からなることを特徴としている。
【００２３】
さらにまた、第１の薄膜磁気ヘッドは、電磁変換部は、請求項４記載のように、第１セラミック基板および第２セラミック基板の間に保持された絶縁層内に配置されていることを特徴とし、さらに請求項５記載のように、第１および第２のセラミック基板のうち少なくとも一方が絶縁層よりも高い熱伝導率を有することを特徴とし、さらにまた請求項６記載のように、電磁変換部は第１のセラミック基板の上に形成され、且つ絶縁部および第２のセラミック基板はその間を無機材料の接合層で接合されており、さらに請求項７記載のように、接合層は不活性の金属からなる接着剤層を有していることを特徴としている。
第２および第３の薄膜磁気ヘッドでは、請求項１３および１９に記載のように、電磁変換部は第１セラミック基板の上に形成され無機接合層を介して第２セラミック基板に接合されていることわ特徴としている。
【００２４】
本発明の薄膜磁気ヘッドにおいては、電磁変換部を第１および第２のセラミックス基板で挟持している。従って、電磁変換部などが記録媒体表面の突起部と接触して温度が上昇しても、第１および第２のセラミックス基板に効率よく放熱される。これにより、サーマルアスペリティの発生を低減することができる。センス電流による電磁変換部の温度上昇なども抑制することができる。さらに、電磁変換部と記録媒体との接触による摩耗は、電磁変換部を挟持する第１および第２のセラミックス基板により抑制される。
【００２５】
さらに、電磁変換部を薄膜磁気ヘッドの略中央部に配置した場合、走行時の安定性が増大する。従って、記録媒体との接触による摩耗量が低減でき、薄膜磁気ヘッドと磁気記録媒体との距離が大きくなって記録再生分解能が低減するなどの問題を解消することができる。これらによって、磁気ヘッドの浮上量が１００ｎｍ以下であっても良好な特性が得られる。
【００２６】
本発明の薄膜磁気ヘッドの他の好ましい形態としては、以下に示すような構成が挙げられる。すなわち、第３の薄膜磁気ヘッドにおいて、電磁変換部はさらに一対の磁気コアに記録磁界を供給するコイルを有する。第２および第３の薄膜磁気ヘッドにおいて、電磁変換部はトラック幅方向に対して略中央部に位置している。本発明の薄膜磁気ヘッドにおいて、第１のセラミックス基板および第２のセラミックス基板の少なくとも一方は熱伝導率が１０Ｗ／ｍＫ以上のセラミックス基板からなる。あるいは、第１のセラミックス基板および第２のセラミックス基板の少なくとも一方はビッカース硬度が８００Ｈｖ以上のセラミックス基板からなる。
【００２７】
本発明の磁気記録装置は、上述したような本発明の薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘッドスライダを具備するものである。
【００２８】
本発明第１の磁気記録装置は、請求項２０に記載のように、磁気記録媒体と薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘッドスライダーからなる磁気記録装置であって、前記薄膜磁気ヘッドが、高い熱伝導率を有する第１のセラミック基板と、高い熱伝導率を有する第２のセラミック基板と、および磁気抵抗素子を有する電磁変換部からなり、前記電磁変換部は、前記第１のセラミック基板と前記第２のセラミック基板との間に、その膜厚方向から、それにより前記電磁変換部が変換素子に従って決定される前記磁気記録媒体のトラック幅方向に対して前記ヘッドスライダーの略中央部に位置するよう、保持されおり、さらに前記トラック幅方向は、電磁変換部が情報を伝達する時、媒体に対する磁気ヘッドの移動方向と実質的に垂直な方向であり、また前記第１および第２のセラミック基板は、前記第１および第２のセラミック基板が電磁変換部から熱を放散するように、電磁変換部のそれぞれの両側に配置されていることを特徴としている。また
請求項２１に記載のように、前記磁気ヘッドスライダーの前記磁気記録媒体からの浮上量は 100 nm 以下であることを特徴としている。また本発明第２の磁気記録装置は、請求項２２に記載のように、磁気記録媒体および薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘッドスライダーからなる磁気記録装置において、前記薄膜磁気ヘッドが高い熱伝導率を有する第１のセラミック基板、高い熱伝導率を有する第２のセラミック基板、および磁気抵抗効果素子を有する電磁変換部からなり、前記電磁変換部は、前記第１のセラミック基板と前記第２のセラミック基板との間に、電磁変換部に従って決められるトラック幅方向に保持されており、前記トラック幅方向は、前記電磁変換部が情報を伝達するときに、媒体に対して前記磁気ヘッドの移動方向と実質的に垂直であり、さらに前記第１および第２ののセラミック基板はそれぞれ電磁変換部の両側に、前記第１および第２のセラミック基板が電磁変換部からの熱を放散するように、配置されていることを特徴としている。さらにこの第２の磁気記録装置は、請求項２３に記載のように、電磁変換部は実質的に前記トラック幅方向に対して前記薄膜磁気ヘッドの中央に位置することを特徴とする、また請求項２４に記載のように、前記磁気ヘッドスライダーの前記磁気記録媒体からの浮上量は 100 nm 以下であることを特徴としている。
【００２９】
本発明の磁気記録再生装置は、請求項２５に記載のように、磁気記録媒体および薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘッドスライダーからなる磁気記録再生装置であって、前記薄膜磁気ヘッドが前記磁気記録媒体からの発生する磁界により信号を読み取りまたは前記磁気媒体に磁界により信号を書き込みする磁気抵抗効果素子を有する電磁変換部であって、媒体対向面側に磁気ギャップが介在された一対の磁気コアと、前記一対の磁気コアを介して前記記録媒体から信号磁束が導かれる前記磁気抵抗効果素子とを有する前記電磁変換部と、前記電磁変換部を膜厚方向から保持する高い熱伝導率を有する第１のセラミック基板と第２のセラミック基板を備えることを特徴としている。
【００３０】
本発明の磁気記録再生装置の好ましい形態としては、請求項２６に記載のように、前記電磁変換部は、前記一対の磁気コアに記録磁界を供給するフラットコイルを有すること、さらに請求項２７記載のように、前記電磁変換部は、実質的に前記磁気記録媒体のトラック幅方向に対して前記薄膜磁気ヘッドの中央に位置すること、さらにまた、請求項２８記載のように、前記磁気ヘッドスライダーの前記磁気記録媒体からの浮上量は 100 nm 以下であることである。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
【００３２】
図１は本発明の薄膜磁気ヘッドを適用した磁気ヘッド（スライダ）の第１の実施形態の概略構成を示す斜視図である。図１に示す磁気ヘッド（スライダ）２１は、記録トラック幅方向の略中央部に、記録部および再生部を備える電磁変換部２２を有している。電磁変換部２２はＡｌＯ_ｘ（１≦ｘ ≦１．５）などからなる絶縁層２３内に配置されている。電磁変換部２２は、媒体対向面（図１では磁気ヘッド（スライダ）２１の下面）に露出面を有している。磁気ヘッド（スライダ）２１は、記録媒体の回転に応じて進行方向Ｐに向けて記録媒体から浮上している。
【００３３】
絶縁層２３内に配置されている電磁変換部２２は、絶縁層２３の一方の側面に設けられた接合層２４を介して、第１のセラミックス基板２５と第２のセラミックス基板２６とによって、その膜厚方向から挟持されている。第１および第２のセラミックス基板２５、２６は、それらの積層方向が記録トラックの幅方向（図中Ｔ_ｗ）と平行となるように配置されている。言い換えると、第１および第２のセラミックス基板２６は、絶縁層２３内に配置された電磁変換部２２を記録トラック幅方向Ｔ_ｗから挟持している。電磁変換部２２は第１および第２のセラミックス基板２５、２６に挟持されることによって、トラック幅方向Ｔ_ｗの略中央部に位置している。
【００３４】
図２は磁気ヘッド（スライダ）２１の電磁変換部２２近傍を媒体対向面側から見た断面図である。図２を参照して、電磁変換部２２の形成位置について詳述する。すなわち、第１のセラミックス基板２５の主表面には、絶縁性のＡｌＯ_ｘ膜２３ａなどが設けられている。電磁変換部２２はＡｌＯ_ｘ膜２３ａ上に形成されており、さらに保護絶縁層としてのＡｌＯ_ｘ膜２３ｂで覆われている。電磁変換部２２は、これらＡｌＯ_ｘ膜２３ａ、２３ｂからなる絶縁層２３内に配置されている。
【００３５】
電磁変換部２２が形成された第１のセラミックス基板２５は、接合層２４を介して第２のセラミックス基板２６と接合されている。第１および第２のセラミックス基板２５、２６の接合面には、それぞれ接合下地膜２７、２８が設けられている。これら接合下地膜２７、２８間に、水ガラスや低融点ガラスなどからなる接着剤層２９を介在させて、第１のセラミックス基板２５と第２のセラミックス基板２６とを接合している。第２のセラミックス基板２６の接合面側にも、必要に応じてＡｌＯ_ｘ膜などの絶縁層が設けられる。
【００３６】
接着剤層２９には水ガラスや低融点ガラスなどに限らず、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｉｒ、Ｃｏなどの不活性な金属を用いることもできる。各セラミックス基板２５、２６の接合下地膜２７、２８上に不活性な金属の薄膜を形成し、これら不活性な金属の薄膜を突き合わせて熱処理することにより、第１のセラミックス基板２５と第２のセラミックス基板２６とを接合することができる。第２のセラミックス基板２６側への放熱性を考慮した場合、接着剤層２９には金属材料を使用することが好ましい。接合方法については後に詳述する。
【００３７】
図１および図２に示す磁気ヘッド（スライダ）２１において、電磁変換部２２近傍の媒体対向面（ＡＢＳ）には、電磁変換部２２、絶縁層２３、接合層２４、第１および第２のセラミックス基板２５、２６が露出している。絶縁層２３にはダイヤモンドライクカーボンを使用してもよい。ダイヤモンドライクカーボンは電磁変換部２２近傍の放熱性の向上および高硬度化に寄与する。
【００３８】
第１および第２のセラミックス基板２５、２６には、電磁変換部２２近傍の放熱性を高めるという目的からは熱伝導率が薄膜アルミナ（ＡｌＯ_ｘ）以上、具体的には熱伝導率が１０Ｗ／ｍＫ以上の基板材料を用いることが好ましい。このような熱伝導率を有するセラミックス基板としては、Ａｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ基板（熱伝導率：２０〜５０Ｗ／ｍＫ）、ＳｉＣ基板（熱伝導率：２７０Ｗ／ｍＫ）、ＡｌＮ基板（熱伝導率：１００〜２５０Ｗ／ｍＫ）、Ｓｉ_３Ｎ_４基板（５０〜１００Ｗ／ｍＫ）、Ｎｉ−Ｚｎフェライト基板（熱伝導率：３０Ｗ／ｍＫ）、Ａｌ_２Ｏ_３基板（熱伝導率：１０〜３０Ｗ／ｍＫ）などが挙げられる。第１および第２のセラミックス基板２５、２６の熱伝導率は、特に２０Ｗ／ｍＫ以上であることが好ましい。
【００３９】
一方、電磁変換部２２近傍の摩耗を抑制するという観点からは、第１および第２のセラミックス基板２５、２６には硬高度のセラミックス基板を用いることが好ましい。具体的には、ビッカーズ硬度が８００Ｈｖ以上のセラミックス基板を用いることが好ましい。このようなセラミックス基板としては、Ａｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ基板（ビッカーズ硬度：２０００〜２５００Ｈｖ）、ＳｉＣ基板（ビッカーズ硬度：２０００〜３０００Ｈｖ）、Ｓｉ_３Ｎ_４基板（ビッカーズ硬度：１２００〜１９００Ｈｖ）、Ｎｉ−Ｚｎフェライト基板（ビッカーズ硬度：８００Ｈｖ）、Ａｌ_２Ｏ_３基板（ビッカーズ硬度：２０００〜２１００Ｈｖ）、ＺｒＯ_２（ビッカーズ硬度：１２００〜１６００Ｈｖ）などが挙げられる。
【００４０】
第１および第２のセラミックス基板２５、２６には、同材質のセラミックス基板を用いてもよいし、また異なる材質のセラミックス基板を使用することもできる。例えば、第１のセラミックス基板２５に高硬度のセラミックス基板を適用し、第２のセラミックス基板２６に高熱伝導性のセラミックス基板を適用することも可能である。
【００４１】
電磁変換部２２の再生部には、高出力が得られるＭＲ素子を適用することが好ましい。ＭＲ素子を再生部に適用した電磁変換部２２としては、例えば記録部と再生部を一体化したヨーク型記録再生部や、記録部と再生部を分離形成したシールド型記録再生部が挙げられる。特に、図３に示すような平面ヨーク型記録再生部が好ましく用いられる。なお、再生部のみを適用した平面ヨーク型再生部であってもよい。
【００４２】
図３に示す平面ヨーク型記録再生部において、一対の磁気コア（磁性体層）３１、３２は、第１のセラミックス基板（図３では図示せず）上のＡｌＯ_ｘ膜２３ａ上に形成されている。これら一対の磁気コア３１、３２は、それらの主表面がＡｌＯ_ｘ膜２３ａの表面と略平行となるように並列配置されている。また、磁気コア３１、３２の膜厚がトラック幅に略一致する。一対の磁気コア３１、３２の媒体対向面（ＡＢＳ）側には磁気ギャップ３３が介在されており、これらにより平面型磁気ヨーク３４が構成されている。
【００４３】
図３に示す構成では、磁気ギャップ３３はトラック幅方向から媒体進行方向に傾いて形成されている（アジマス角の付与）。角度θは、隣接するトラックとのクロストークを効果的に防止するために適宜付与されるものである。
【００４４】
一対の磁気コア３１、３２上には、絶縁膜３５を介してＭＲ膜３６が形成されている。ＭＲ膜３６は、媒体対向面（ＡＢＳ）から後退したヘッド内部に配置されており、その両端部にはＭＲ膜３６にセンス電流を供給する一対の電極３７が形成されている。これらＭＲ膜３６および一対の電極３７はＭＲ素子３８を構成している。媒体対向面（ＡＢＳ）には、磁気ギャップ３３を介して配置された一対の磁気コア３１、３２からなる平面型磁気ヨーク３４のみが露出している。
【００４５】
ＭＲ膜３６には、例えば電流方向と磁性層の磁化モーメントの成す角度に依存して電気抵抗が変化する異方性磁気抵抗効果膜（ＡＭＲ膜）、磁性層と非磁性層との積層構造を有し、各磁性層の磁化の成す角度に依存して電気抵抗が変化するスピンバルブ膜や人工格子膜などの巨大磁気抵抗効果膜（ＧＭＲ）が用いられる。ＡＭＲ膜の構成材料としてはＮｉ_８０Ｆｅ_２０などが挙げられる。スピンバルブ膜にはＣｏ_９０Ｆｅ_１０／Ｃｕ／Ｃｏ_９０Ｆｅ_１０積層膜などが用いられる。スピンバルブ膜では、一方のＣｏ_９０Ｆｅ_１０膜（強磁性膜）に隣接させてＦｅＭｎやＩｒＭｎなどからなる反強磁性膜が配置され、一方のＣｏ_９０Ｆｅ_１０膜の磁化が固着される。
【００４６】
平面型磁気ヨーク３４の媒体対向面（ＡＢＳ）から見て後方部側、すなわちバックギャップ３９上には、絶縁膜３５を一部除去して一対の磁気コア３１、３２と磁気的に結合させたバックコア４０が形成されている。これらは記録磁気ループを形成している。この記録磁気ループを横切るように、記録コイル４１が平面的に巻かれている。記録媒体は磁気コア３１、３２を横切る方向で走査される。すなわち、トラック幅は磁気コア３１、３２の厚さに相当し、記録および再生ビット長はギャップ３３の幅に相当する。
【００４７】
上述したような磁気ヘッド（スライダ）２１は、例えば図４および図５に示す磁気ディスク装置などの磁気記録装置に搭載される。図４および図５はロータリーアクチュエータを用いた磁気ディスク装置５０の概略構造を示している。
【００４８】
磁気ディスク５１はスピンドル５２に装着され、駆動装置制御源（図示せず）からの制御信号に応答するモータ５３により回転する。磁気ディスク５１上を浮上した状態で情報の記録再生を行う電磁変換部を有するヘッドスライダ５４は、薄膜状のサスペンション５５の先端に取り付けられている。磁気ディスク５１が回転すると、ヘッドスライダ５４の媒体対向面（ＡＢＳ）は磁気ディスク５１の表面から所定の浮上量ｄ（０以上１００ｎｍ以下）をもって保持される。
【００４９】
ヘッドスライダ５４は、上述した実施形態の磁気ヘッドスライダ２１により構成されたものであり、上述した平面ヨーク型記録再生部などの電磁変換部２２（図４および図５では図示せず）を有している。ヘッドスライダ５４は、磁気ディスク５１の回転方向に対して第１および第２のセラミックス基板２５、２６の積層方向がおおよそ直交するように配置される。図６に磁気ディスク５１の記録トラック５１ａとヘッドスライダ５４の電磁変換部２２との相対的な位置関係を示す。
【００５０】
サスペンション５５は、図示しない駆動コイルを保持するボビン部等を有するアクチュエータアーム５６の一端に接続されている。アクチュエータアーム５６の他端には、リニアモータの１種であるボイスコイルモータ５７が設けられている。ボイスコイルモータ５７は、アクチュエータアーム５６のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークからなる磁気回路とから構成される。アクチュエータアーム５６は、固定軸５８の上下２カ所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ５７により回転摺動が自在にできるようになっている。
【００５１】
上述した実施形態の磁気ヘッド（スライダ）２１では、電磁変換部２２をその膜厚方向の両側から第１および第２のセラミックス基板２５、２６で挟持している。従って、磁気ディスク５１などの記録媒体と電磁変換部２２とが接触した際に発生する熱を、第１および第２のセラミックス基板２５、２６にそれぞれ放出することができる。図１２に示した電磁変換部の片側にのみ基板を有する従来の磁気へッドスライダと比べて約２倍の熱放出効率が得られる。特に第１および第２のセラミックス基板２５、２６として熱伝導率が１０Ｗ／ｍＫ以上、さらには２０Ｗ／ｍＫ以上のセラミックス基板を使用することによって、電磁変換部２２からの熱放出効率を高めることができる。
【００５２】
このように、電磁変換部２２近傍の放熱性を高め、電磁変換部２２からの熱放出効率を向上させることによって、電磁変換部２２の温度上昇を抑制することが可能となる。従って、グライドハイトと呼ばれる記録媒体表面の突起との接触により電磁変換部２２の温度が局部的に上昇しても、サーマルアスペリティと呼ばれる再生電圧出力レベルの変動は生じず、読み出しエラーの発生を低減することができる。電磁変換部２２近傍の放熱性の向上は、センス電流によるＭＲ膜３６の温度上昇の抑制にも寄与する。これにより、ＭＲ膜３６を構成する磁性層の特性劣化なども抑制される。
【００５３】
さらに、電磁変換部２２近傍の媒体対向面（ＡＢＳ）には、電磁変換部２２と絶縁層２３のみならず、第１および第２のセラミックス基板２５、２６が露出している。電磁変換部２２と磁気ディスク５１などの記録媒体とが接触した場合、摩耗しやすい電磁変換部２２やＡｌＯ_ｘなどからなる絶縁層２３は記録媒体と接触するが、耐摩耗性に優れる第１および第２のセラミックス基板２５、２６も同時に記録媒体と接触する。従って、電磁変換部２２や絶縁層２３の摩耗の進行を抑制することができる。特に、第１および第２のセラミックス基板２５、２６としてビッカース硬度が８００Ｈｖ以上のセラミックス基板を使用することによって、電磁変換部２２近傍の摩耗を大幅に抑制することが可能となる。
【００５４】
このように、電磁変換部２２近傍の摩耗を抑制することによって、電磁変換部２２と記録媒体との距離を安定に保つことができる。従って、記録および再生分解能の劣化を抑制することができる。さらに、記録媒体側の潤滑層の摩耗なども抑制することが可能となる。
【００５５】
電磁変換部２２近傍の摩耗抑制効果は、電磁変換部２２に平面ヨーク型記録再生部（もしくは平面ヨーク型再生部）を適用した場合に顕著である。図３に示したような平面ヨーク型記録再生部では、磁気ヨーク３４の一主面が記録媒体から一方の磁気コア３１、ＭＲ膜３６、他方の磁気コア３２へと流れる磁束と実質的に平行である。言い換えると、磁束の流れがＭＲ膜３６の膜面方向と実質的に平行である。このため、電磁変換部２２の媒体対向面（ＡＢＳ）に露出している厚さが１０〜５０μｍ程度と薄く、摩耗が進行しやすい。シールド型再生部の場合、流れる磁束がＭＲ膜の膜面方向と実質的に垂直であるために電磁変換部の厚さは２００μｍ程度と厚い。本発明によれば、媒体対向面（ＡＢＳ）への露出部の厚さが薄い平面ヨーク型記録再生部（もしくは平面ヨーク型再生部）の膜減りを効果的に抑制することができる。
【００５６】
図７に、この実施形態の磁気ヘッド（スライダ）および従来の平面ヨーク型再生部を使用した磁気ヘッド（スライダ）を低浮上走行させた後の記録媒体表面の観察結果を示す。測定結果Ａに示すように、保護絶縁膜やＡＢＳ保護膜として用いたＡｌＯ_ｘ膜が媒体対向面に露出する従来の磁気ヘッドスライダでは、記録媒体表面の潤滑材に傷が観察された。一方、本発明の実施形態による磁気ヘッド（スライダ）では安定性が向上し、かつ媒体対向面にＡｌＯ_ｘ膜よりも硬度の大きいセラミックス基板２５、２６が露出しているため、測定結果Ｂに示すように、そのような傷は観察されなかった。
【００５７】
上述した実施形態の磁気ヘッド（スライダ）２１では、記録トラック幅方向の略中央部に電磁変換部２２を配置している。従って、電磁変換部が一方の側面側に形成されている従来の磁気ヘッド（スライダ）に比べて、アクチュエータアーム５６へのヘッドスライダ５４の取付け誤差による電磁変換部２２と記録媒体との接触頻度などを低減することができる。さらに、記録トラック幅方向の略中央部に配置されていると共に、その両側からセラミックス基板２５、２６により挟持されている電磁変換部２２は、走行安定性や記録トラックのトレース精度などを向上させる。このような効果は電磁変換部２２を両側からセラミックス基板２５、２６で挟持することにより容易に得ることができる。
【００５８】
本発明を適用した磁気ヘッド（スライダ）を採用することによって、磁気記録密度を高めることができ、大容量で信頼性の高い磁気ディスク装置などの磁気記録装置を提供することが可能となる。本発明は磁気ヘッド（スライダ）の浮上高さｄを１００ｎｍ以下の低浮上走行させる場合に、特に効果を発揮するものである。なお、上述した実施形態では電磁変換部の記録再生部に平面ヨーク型記録再生部を適用した場合について説明した。本発明はこの他に、図１３に示したようなシールド型再生部（もしくはシールド型記録再生部）などの各種の再生部および記録部を適用することができる。図１３に示したシールド型再生部は、その膜厚方向から第１および第２のセラミックス基板により挟持することができる。
【００５９】
図８は、図１に示した磁気ヘッド（スライダ）２１の変形例の概略構成を示す斜視図である。図８に示す磁気ヘッド（スライダ）２１において、電磁変換部２２近傍の媒体対向面（ＡＢＳ）には、電磁変換部２２とＡｌＯ_ｘなどからなる絶縁層２３が露出している。このようなヘッド構造においても、電磁変換部２２近傍の放熱性を高めることができる。ただし、電磁変換部２２近傍の摩耗は大きくなりやすいことから、耐摩耗性に関しては図１に示した磁気ヘッド（スライダ）２１の方が優れている。図８に示した磁気ヘッド（スライダ）２１においては、絶縁層２３としてダイヤモンドライクカーボンを使用することが効果的である。これにより、電磁変換部２２近傍の摩耗が抑制される。
【００６０】
次に、上述した実施形態で示した電磁変換部２２としての平面ヨーク型記録再生部、およびそれを用いた磁気ヘッド（スライダ）２１の製造方法について説明する。まず、図９を参照して電磁変換部２２としての平面ヨーク型記録再生部の製造工程について述べる。
【００６１】
図９（ａ）に示すように、第１のセラミックス基板２５の表面にＡｌＯ_ｘ（１≦ ｘ≦１．５）膜などの絶縁膜２３ａを、２極ＲＦダイオードスパッタ法などで形成する。次いで、絶縁膜２３ａ上にＮｉＦｅ、ＣｏＺｒＮｂのような軟磁性材料膜を成膜後、レジストマスクを用いたイオンビームエッチングなどで第１の磁気コア（ヨーク半体）３１を形成する。
【００６２】
続いて、図９（ｂ）に示すように、第１の磁気コア３１上を含む絶縁膜２３ａ上に、磁気ギャップ３３となるＡｌＯ_ｘやＳｉＯ_ｘなどの非磁性膜と、第２の磁気コア３２となるＮｉＦｅ、ＣｏＺｒＮｂのような軟磁性材料膜３２′を連続して成膜する。この後、図９（ｃ）に示すように、分子量の小さいレジスト６１を塗布し、ベークさせてその表面を平坦化する。
【００６３】
そして、図９（ｄ）に示すように、レジスト６１と軟磁性材料膜３２′とが同一のエッチングレートでエッチングされるように、例えばイオン入射角を設定する。このような条件で、第１の磁気コア３１上の磁気ギャップ３３が露出するまでイオンビームによりエッチングして、第２の磁気コア３２を形成する。
【００６４】
この後、図９（ｅ）に示すように、第１および第２の磁気コア３１、３２の表面にＡｌＯ_ｘなどの絶縁膜３５を形成した後、ＭＲ膜３６およびその長手方向両端に接続する一対の電極３７を形成する。このようにして、平面ヨーク型再生部を有する電磁変換部２２が完成する。さらに、ＭＲ膜３６の後方側にバックコアや記録コイル（図９（ｅ）では図示せず）を形成し、これらの表面を保護絶縁膜で覆うことによって、平面ヨーク型記録再生部を有する電磁変換部２２が完成する。この電磁変換部２２の厚さは約１０〜５０μｍ程度の薄膜である。
【００６５】
なお、記録部は再生部の平面ヨークとは別に一対の磁極を形成して構成することも可能である。この場合、再生部の平面ヨークと記録部の磁極とを、非磁性絶縁膜を介して積層した構造とすることができる。
【００６６】
次に、図１０を参照して電磁変換部２２としての平面ヨーク型記録再生部の製造工程について述べる。
【００６７】
まず、図１０（ａ）に示すように、電磁変換部２２が形成された第１のセラミックス基板２５表面に、ＡｌＯ_ｘなどの保護絶縁膜２３ｂを２極ＲＦダイオードスパッタ法などで形成し、その表面をポリッシング法などにより平坦化させる。電磁変換部２２は絶縁層２３内に配置されている。次いで、平坦化した絶縁層２３の表面にパッシベーション膜や後に用いる接合材料との密着性の高い材料、例えばＴｉなどからなる接合下地膜２７を形成する。
【００６８】
一方、図１０（ｂ）に示すように、表面に同様な接合下地膜２８を形成した第２のセラミックス基板２６を準備する。第２のセラミックス基板２６は、表面に絶縁層２３ｃを有するものであってもよい。
【００６９】
次に、図１０（ｃ）に示すように、第１のセラミックス基板２５と第２のセラミックス基板２６とを接合下地膜２７、２８間に水ガラスや低融点ガラスなどからなる接着剤層２９を介在させて積層する。この状態で約３００℃の熱処理を行って、第１のセラミックス基板２５と第２のセラミックス基板２６とを接合する。この基板の接合体を、電磁変換部２２を媒体対向面（ＡＢＳ）に露出するよう切断すると共に、ヘッドスライダ形状に加工することによって、この実施形態の磁気ヘッドスライダ１が完成する。
【００７０】
接合下地膜２８と接着剤層２９との好ましい組み合わせとしては、Ｔｉ／Ｓｉ／接着剤層、Ｓｉ／接着剤層、Ｓｉ／ＳｉＯ_ｘ／接着剤層、Ｔｉ／Ｓｉ／ＳｉＯ_ｘ／接着剤層などが挙げられる。ＳｉやＳｉＯ_ｘは、Ｔｉなどと密着性が高く、さらに水ガラスなどに対しても高い密着性を示す。Ｔｉに代えてＣｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｚｒ、およびこれらの混合層を用いることもできる。
【００７１】
接合を良好に行うために、加熱の際に数Ｖ程度の静電界をセラミックス基板に印加することが好ましい。加熱温度は、Ｎｉ_８０Ｆｅ_２０などの耐熱性の低い材料を用いたＭＲ膜を使用している場合には２５０〜３２０℃程度とすることが好ましい。Ｃｏ_９０Ｆｅ_１０／Ｃｕ／Ｃｏ_９０Ｆｅ_１０などの比較的耐熱性の高い材料には２５０〜３５０℃程度の温度で接合することができる。接着剤層２９として水ガラスなどを用いた場合、２５０〜３５０℃程度の熱処理温度を要するため、Ｃｏ_９０Ｆｅ_ｌ０／Ｃｕ／Ｃｏ_９０Ｆｅ_１０などの比較的耐熱性の高い材料を使用することが好ましい。
【００７２】
さらに、接着剤層２９には水ガラスなどの他に、例えばＡｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｉｒ、Ｃｏなどの不活性な金属を使用することができる。
【００７３】
不活性な金属を用いて接合する場合には、まず各セラミックス基板２５、２６の接合下地金属２７、２８の表面に、スパッタ法などで不活性な金属の薄膜をそれぞれ形成する。この際、不活性な金属の薄膜は、チャンバ内を真空に保って形成したり、あるいはチャンバ内の雰囲気を水素などの還元性雰囲気として形成することが好ましい。このようにして形成した不活性な金属の薄膜は、その表面に酸化物を有しておらず、良好な接合特性を示す。次いで、形成した不活性な金属の薄膜を突き合わせて、第１および第２のセラミックス基板２５、２６を積層する。この状態で２５０〜３５０℃に加熱して、第１のセラミックス基板２５と第２のセラミックス基板２６とを接合する。
【００７４】
不活性な金属を用いた接合は２５０〜３５０℃程度の温度で実施することができるため、耐熱性に乏しい薄膜磁気ヘッドを電磁変換部に備えていても、薄膜磁気ヘッドの磁気特性などを劣化させることがない。特に、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒなどの白金族元素はビッカーズ硬度も高く、摩耗の抑制にも効果を発揮する。さらに、ガラス系の接着剤に比べて熱伝導率が大きいため、電磁変換部２２から第２のセラミックス基板２６への熱放出効率を高めることができる。
【００７５】
次に、本発明の薄膜磁気ヘッドを適用した磁気ヘッド（スライダ）の第２の実施形態について説明する。図１１は本発明の薄膜磁気ヘッドを適用した磁気ヘッド（スライダ）の第２の実施形態の概略構成を示す斜視図である。
【００７６】
図１１に示す磁気ヘッド（スライダ）７０は、ＡｌＯ_ｘ（１≦ｘ ≦１．５）などからなる絶縁層７２が主表面に形成された第１のセラミックス基板７１を有している。電磁変換部７３は絶縁層７２内に埋め込み形成されている。電磁変換部７３の形成位置は、記録トラック幅方向の略中央部とされている。そして、絶縁層７２内に配置された電磁変換部７３を有する第１のセラミックス基板７１と、第２のセラミックス基板７２とを、媒体進行方向と平行となるように積層および接合することによって、磁気ヘッド（スライダ）７０が構成されている。
【００７７】
すなわち、絶縁層７２内に配置されている電磁変換部７３は、その膜厚方向から第１のセラミックス７１と第２のセラミックス基板７４とによって挟持されている。言い換えると、第１および第２のセラミックス基板７１、７４は、絶縁層７２内に配置された電磁変換部７３を媒体進行方向から挟持している。電磁変換部７３は、予め第１のセラミックス基板７１上に形成しておくことによって、記録トラック幅方向の略中央部に位置している。
【００７８】
なお、この第２の実施形態におけるセラミックス基板７１、７２の材質や接合方法、電磁変換部７３の構成などは、前述した第１の実施形態と同様とすることが好ましい。
【００７９】
この第２の実施形態による磁気ヘッド（スライダ）７０においても、電磁変換部７３で発生した熱を第１のセラミックス基板７１および第２のセラミックス基板７４に効率よく放出することができる。特に、電磁変換部７３を記録トラック幅方向に対して略中央部に配置することによって、より一層熱放出効率を高めることができる。電磁変換部７３近傍の摩耗についても、電磁変換部７３近傍の媒体対向面に第１および第２のセラミックス基板７１、７４が露出する構造とすることによって、電磁変換部７３の摩耗を抑制することができる。さらに、電磁変換部７３を記録トラック幅方向の略中央部に配置することにより、走行安定性や記録トラックのトレース精度などを向上させる。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば薄膜磁気ヘッドを低浮上走行させた場合に、媒体表面の突起部との接触による発熱を効率よく放散させることができる。従って、サーマルアスペリティなどによる問題を低減することができる。浮上量が記録媒体の平滑限界以下であっても、再生・記録分解能の劣化を低減することができる。さらに、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面の摩耗、薄膜磁気ヘッドの摩耗に伴う記録媒体の潤滑層の摩耗なども抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態による磁気ヘッド（スライダ）の概略構造を示す斜視図である。
【図２】図１に示す磁気ヘッド（スライダ）の電磁変換部近傍を媒体対向面から見た断面図である。
【図３】図１に示す磁気ヘッド（スライダ）に電磁変換部として適用した平面ヨーク型記録再生部の構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態による磁気ディスク装置の構造を示す斜視図である。
【図５】図４に示す磁気ディスク装置の概略構造を模式的に示す側面図である。
【図６】図４に示す磁気ディスク装置の磁気ヘッド（スライダ）と記録トラックとの位置関係を示す図である。
【図７】本発明の実施形態による磁気ヘッド（スライダ）と従来の磁気ヘッド（スライダ）とを比較した特性図である。
【図８】図１に示す磁気ヘッド（スライダ）の変形例を示す斜視図である。
【図９】図１に示す磁気ヘッド（スライダ）に電磁変換部として適用した平面ヨーク型記録再生部の製造工程を示す断面図である。
【図１０】図１に示す磁気ヘッド（スライダ）の製造工程を示す断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態による磁気ヘッド（スライダ）の概略構造を示す斜視図である。
【図１２】従来の磁気ヘッド（スライダ）の一構成例を示す斜視図である。
【図１３】従来の磁気ヘッドの電磁変換部としてのシールド型ＭＲヘッドの構造を示す斜視図である。
【符号の説明】
２１、７０……磁気ヘッド（スライダ）
２２、７３……電磁変換部
２４……接合層
２５、７１……第１のセラミックス基板
２６、７４……第２のセラミックス基板
３１、３２……磁気コア
３３……磁気ギャップ
３８……磁気抵抗効果素子[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a thin film magnetic head and a magnetic recording device such as a magnetic disk device, and more particularly to a thin film magnetic head and a magnetic recording device having a low flying height from a magnetic recording medium.
[0002]
[Prior art]
In a magnetic disk drive (HDD), a magnetic head (slider) 1 using a thin-film magnetic head as shown in FIG. 12 is used. The magnetic head (slider) 1 shown in FIG._xAl provided with an insulating layer such as a film 3₂O₃-It has a TiC substrate 2.
[0003]
Al₂O₃A slider section 4 is provided on both sides of the medium facing surface of the TiC substrate 2. The medium facing surfaces of the slider section 4 are each made of an ABS (Air Bearing Surface), and the magnetic head (slider) 1 flies above the magnetic disk. The electromagnetic conversion unit 5 as a recording / reproducing unit is made of AlO_xIt is located in the membrane 3. A so-called thin-film magnetic head is used for the electromagnetic conversion unit 5. In the figure, reference numeral 6 denotes a coil for supplying a recording magnetic field to the electromagnetic conversion unit 5. The electromagnetic conversion section 5 is arranged on one of the slider sections 4 in view of the relationship with the medium traveling direction and the manufacturing process.
[0004]
By the way, in magnetic recording devices such as HDDs, it is strongly desired to increase the density of recorded information. To achieve high-density recording, narrowing the track and narrowing the gap are essential technologies. For example, when the recording density is 200 Mb / inch²In the (bpsi) HDD, the recording track width is 7 μm, and the track-to-track distance and track width tolerance are about 2 μm. In order to achieve a recording density of 1 Gbpsi or more, and more preferably 5 Gbpsi or more, it is desired that the recording track width be 3 to 5 μm or less and the track width tolerance be 0.5 μm or less.
[0005]
As the density of recorded information increases, the amount of signal magnetic flux decreases. In order to compensate for this or to improve the resolution, it is necessary to reduce the flying height of the magnetic head from the magnetic recording medium. The flying height of a magnetic head, which has exceeded 100 nm in a conventional HDD, has been generally reduced to 100 nm or less. In particular, the flying height of the magnetic head may be about 50 nm or less at 1 Gbpsi or more and 20 nm or less at 5 Gbpsi or more. On the other hand, as for the reproducing head, a magnetic head (MR head) to which a high-sensitivity magnetoresistive element (MR element) is applied has been used in order to compensate for a decrease in the reproducing output due to the reduction of the recording track width. Is coming. FIG. 13 shows a configuration of a shield type MR head used as a reproducing unit of the electromagnetic conversion unit 5.
[0006]
Al₂O₃AlO on the main surface of the TiC substrate 2_xA lower magnetic shield layer 11 made of permalloy or the like is formed via the film 3 '. Al₂O₃The TiC substrate 2 is a substrate constituting the magnetic head slider 1. On the lower magnetic shield layer 11, a magnetoresistive film (MR film) 13 is formed via a nonmagnetic insulating film 12 constituting a reproducing magnetic gap. The MR element 14 includes an MR film 13 and a pair of leads 15 connected to both ends thereof.
[0007]
On the MR element 14, an upper magnetic shield layer 17 is disposed via a non-magnetic insulating film 16 constituting a reproducing magnetic gap. These constitute a shield type MR head as a reproducing unit. The detection of the signal magnetic field in the shielded MR head is performed, for example, by flowing a sense current to the pair of leads 15 and measuring the element resistance accompanying a change in the average magnetization direction of the MR film 13.
[0008]
The recording section of the electromagnetic conversion section 5 is formed following the upper magnetic shield layer 17. The recording unit has a pair of upper and lower magnetic poles (not shown) forming a magnetic circuit via a recording magnetic gap. The coil 6 is for generating a recording magnetic field between a pair of magnetic poles. AlO on the recording part_xAn insulating protective film such as a film is formed. This insulating protective film is made of AlO_xIt constitutes a part of the film 2.
[0009]
In an HDD in which the magnetic head slider 1 is levitated from the magnetic disk using the ABS, the problem that the magnetic head slider 1 contacts the magnetic disk should not basically occur. However, a contact between the electromagnetic conversion unit 5 and the recording medium occurs due to a protrusion on the medium surface called a glide height. This becomes remarkable due to the low flying height of the magnetic head slider 1. The contact between the electromagnetic conversion unit 5 and the recording medium locally increases the temperature of the MR film 13 in the reproducing unit. The rise in the temperature of the MR film 13 causes the read voltage output level to fluctuate, deteriorating the read output waveform called thermal asperity and causing an error.
[0010]
In addition, in the reproducing section to which the MR element 14 is applied, there is a temperature rise of about 40 ° C. due to a sense current (〜5 mA) for measuring a resistance change. At an ambient temperature of 80 ° C., the temperature of the MR element 14 rises to about 120 to 130 ° C. Such a rise in the temperature of the MR element 14 causes interfacial diffusion of the MR film 13 and deterioration of characteristics of a magnetic layer constituting the MR film 13 in a long term.
[0011]
When the flying height of the magnetic head slider 1 is set to about 20 nm or less, which is the smoothing limit of the recording medium, the probability of contact between the electromagnetic transducer 5 and the recording medium sharply increases. Furthermore, the fact that the electromagnetic transducer 5 is disposed on one side of the magnetic head slider 1 also causes an increase in the probability of contact between the electromagnetic transducer 5 and the recording medium during seeking. As a result, the magnetic head and the magnetic recording medium come into contact with each other over a wide area including the vicinity of the MR film 13. Thus, the AlO having low hardness is formed on the medium facing surface of the magnetic head in contact with a large area._xIf the film 2 or the like is exposed, uneven wear occurs. The uneven wear of the medium facing surface increases the distance between the magnetic head and the recording medium, and deteriorates the recording resolution and the reproducing resolution. When the abrasion amount is large, constituent materials deeper than the medium facing surface are sequentially exposed. As a result, the particles of the lubricating layer of the recording medium are absorbed and consumed, causing wear of the lubricating layer. Further, the magnetic head slider 1 in which the electromagnetic conversion section 5 is disposed on the side surface has a problem that when the recording density is increased, the tracing accuracy of the recording track tends to be reduced.
[0012]
On the other hand, as a head structure for avoiding direct contact between the MR film and the recording medium, a yoke type MR head that allows a signal magnetic field to flow into the MR film via a magnetic yoke has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 8-138215). Etc.). In a yoke type MR head, for example, Al₂O₃-A pair of magnetic cores serving as a magnetic yoke are arranged on the TiC substrate via an insulating film. The pair of magnetic cores are arranged via a magnetic gap so as to form the same plane. An MR element is arranged on such a planar magnetic yoke. The coil of the recording unit is formed so that the magnetic yoke is a pair of magnetic poles.
[0013]
In a magnetic head (slider) to which a yoke type MR head is applied, the width of the ABS of the slider unit having the electromagnetic conversion unit is set to be smaller than the width of the ABS of the other slider unit. Further, the flying height of the slider portion having the electromagnetic conversion portion is set lower than the flying height of the other slider portion. With these arrangements, the leading end of the electromagnetic conversion section comes into near contact with the recording medium.
[0014]
A magnetic head (slider) using such a yoke type MR head may have the same problem as a magnetic head (slider) using a shield type MR head. Further, in the yoke type MR head, since a pair of magnetic cores are arranged in a plane direction, the thickness of the electromagnetic conversion portion exposed on the medium facing surface is smaller than that of the shield type MR head. Although the MR film is not directly exposed to the medium facing surface, it has a problem that the electromagnetic conversion portion is more likely to be worn.
[0015]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, when the magnetic head (slider) is caused to fly low, the electromagnetic transducer exposed on the medium facing surface generates heat due to contact with the recording medium, causing a problem of thermal asperity. Characteristic degradation also occurs due to a temperature rise due to a sense current to the MR film. For this reason, it is strongly desired to enhance the heat dissipation near the electromagnetic conversion section including the MR film.
[0016]
Further, when the flying height of the magnetic head (slider) is less than the smoothing limit of the recording medium, abrasion occurs in a large area near the electromagnetic conversion part, and there is a problem that the recording and reproducing resolution is deteriorated. If the amount of wear is large, it also causes wear of the lubricating layer on the recording medium side. For this reason, it is desired to suppress wear near the electromagnetic conversion part when the magnetic head (slider) is caused to fly low.
[0017]
The magnetic head (slider) in which the electromagnetic conversion unit is arranged on the side surface causes an increase in the probability of contact between the electromagnetic conversion unit and the recording medium. Further, when the recording density is increased, there is a problem that the tracing accuracy of the recording track is apt to be reduced. For these reasons, there is a need for a technology that enables a magnetic head (slider) to run stably.
[0018]
The present invention has been made to address such a problem, and in order to suppress the occurrence of thermal asperity and the deterioration of the characteristics of the electromagnetic conversion unit due to a rise in temperature, a thin film with improved heat dissipation near the electromagnetic conversion unit. It is an object of the present invention to provide a magnetic head and a magnetic recording device using the same. Another object of the present invention is to provide a thin-film magnetic head capable of suppressing wear near an electromagnetic conversion portion in order to suppress deterioration of recording and reproduction resolution and wear of a lubricating layer on a recording medium side, and use of the thin-film magnetic head. To provide a magnetic recording device. It is still another object of the present invention to provide a thin-film magnetic head that realizes stable running of a head slider, and a magnetic recording device using the same.
[0019]
The first thin-film magnetic head according to the present invention has the following features.A first ceramic substrate having a high thermal conductivity, a second ceramic substrate having a high thermal conductivity, and the first ceramic substrate and the second ceramic substrate sandwiched in a film thickness direction. A thin-film magnetic head comprising: an electromagnetic transducer having a magnetoresistive element positioned substantially at the center with respect to the track width direction.,The track width direction is substantially perpendicular to a moving direction of the magnetic head with respect to a medium when the electromagnetic conversion unit transmits information, and the first and second ceramic substrates are respectively provided with electromagnetic conversion parts. The first and second ceramic substrates are arranged on both sides of the unit so as to dissipate heat from the electromagnetic conversion unit..
[0020]
According to a second thin-film magnetic head of the present invention,A first ceramic substrate having a high thermal conductivity, a second ceramic substrate having a high thermal conductivity, and a value determined between the first ceramic substrate and the second ceramic substrate according to the electromagnetic conversion unit. A magnetic conversion unit having a magnetoresistive element held in a track width direction, wherein the track width direction is relative to a medium when the electromagnetic conversion unit transmits information. The magnetic head is substantially perpendicular to the moving direction of the magnetic head, and the first and second ceramic substrates are provided on both sides of the electromagnetic converter, respectively, and the first and second ceramic substrates are provided with heat from the electromagnetic converter. Are arranged so as to dissipate.
[0021]
A third thin-film magnetic head according to the present invention has the following features.An electromagnetic conversion unit having at least one pair of magnetic cores formed on the medium facing surface side with a magnetic gap interposed therebetween, and a magnetoresistive element through which a signal magnetic field is guided from a recording medium via the pair of magnetic cores; What is claimed is: 1. A thin-film magnetic head comprising a first and a second ceramic substrate having a high thermal conductivity and sandwiching said electromagnetic transducer from a thickness direction, wherein said thickness direction is determined when said electromagnetic transducer transmits information. A direction substantially perpendicular to a moving direction of the magnetic head with respect to the medium, and the first and second ceramic substrates are arranged so that the first and second ceramic substrates dissipate heat from the electromagnetic transducer. , Are disposed on both sides of each of the electromagnetic conversion units.
[0022]
In the thin film magnetic head according to the present invention, at least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate has a thermal conductivity in the range of 10 W / mK to 270 W / mK. It is characterized by being composed of a substrate. Further, as set forth in claims 3, 12 and 18, at least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate is made of a ceramic substrate having a thermal conductivity in the range of 800 Hv to 3000 Hv in Vickers hardness. And
[0023]
Furthermore, in the first thin-film magnetic head, the electromagnetic conversion section is disposed in an insulating layer held between the first ceramic substrate and the second ceramic substrate. According to a fifth aspect of the present invention, at least one of the first and second ceramic substrates has a higher thermal conductivity than the insulating layer. The conversion part is formed on the first ceramic substrate, and the insulating part and the second ceramic substrate are bonded between them with a bonding layer of an inorganic material. It is characterized by having an adhesive layer made of an active metal.
In the second and third thin-film magnetic heads, the electromagnetic converter is formed on the first ceramic substrate and is bonded to the second ceramic substrate via the inorganic bonding layer. It has a proverbial feature.
[0024]
In the thin-film magnetic head of the present invention, the electromagnetic transducer is sandwiched between the first and second ceramic substrates. Therefore, even if the temperature rises due to the electromagnetic converter or the like coming into contact with the protrusion on the surface of the recording medium, heat is efficiently radiated to the first and second ceramic substrates. Thereby, the occurrence of thermal asperity can be reduced. A rise in the temperature of the electromagnetic conversion unit due to the sense current can also be suppressed. Further, abrasion due to contact between the electromagnetic converter and the recording medium is suppressed by the first and second ceramic substrates sandwiching the electromagnetic converter.
[0025]
Further, when the electromagnetic conversion unit is disposed substantially at the center of the thin-film magnetic head, stability during traveling increases. Therefore, it is possible to reduce the amount of abrasion caused by contact with the recording medium, and to solve the problem that the distance between the thin-film magnetic head and the magnetic recording medium increases and the recording / reproducing resolution decreases. As a result, good characteristics can be obtained even when the flying height of the magnetic head is 100 nm or less.
[0026]
Other preferred embodiments of the thin-film magnetic head of the present invention include the following configurations. That is, in the third thin-film magnetic head, the electromagnetic conversion unit further includes a coil for supplying a recording magnetic field to the pair of magnetic cores. In the second and third thin-film magnetic heads, the electromagnetic conversion section is located substantially at the center in the track width direction. In the thin-film magnetic head of the present invention, at least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate is formed of a ceramic substrate having a thermal conductivity of 10 W / mK or more. Alternatively, at least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate is made of a ceramic substrate having a Vickers hardness of 800 Hv or more.
[0027]
The magnetic recording device of the present invention includes a magnetic head slider having the above-described thin-film magnetic head of the present invention.
[0028]
According to a first magnetic recording apparatus of the present invention,A magnetic recording device comprising a magnetic recording medium and a magnetic head slider having a thin-film magnetic head, wherein the thin-film magnetic head has a first ceramic substrate having a high thermal conductivity and a second ceramic having a high thermal conductivity. A substrate, and an electromagnetic conversion unit having a magnetoresistive element, wherein the electromagnetic conversion unit is disposed between the first ceramic substrate and the second ceramic substrate in a thickness direction thereof, thereby forming the electromagnetic conversion unit. The head is positioned so as to be located substantially at the center of the head slider with respect to the track width direction of the magnetic recording medium determined according to the conversion element, and further, in the track width direction, the electromagnetic conversion unit transmits information. At this time, the direction is substantially perpendicular to the moving direction of the magnetic head with respect to the medium, and the first and second ceramic substrates are The ceramic substrate so as to dissipate heat from the electromagnetic conversion unit, is characterized in that it is arranged on both sides of each of the electromagnetic conversion unit. Also
As described in claim 21, the flying height of the magnetic head slider from the magnetic recording medium is 100 nm It is characterized as follows. According to a second aspect of the present invention, there is provided a magnetic recording apparatus comprising a magnetic head slider having a magnetic recording medium and a thin-film magnetic head according to the present invention. Thin film magnetic head It comprises a first ceramic substrate having a high thermal conductivity, a second ceramic substrate having a high thermal conductivity, and an electromagnetic conversion unit having a magnetoresistive element, wherein the electromagnetic conversion unit is provided with the first ceramic substrate and It is held between the second ceramic substrate and a track width direction determined according to an electromagnetic conversion unit, and the track width direction is such that when the electromagnetic conversion unit transmits information, the magnetic field is applied to a medium. The first and second ceramic substrates are substantially perpendicular to the moving direction of the head, and the first and second ceramic substrates dissipate heat from the electromagnetic conversion unit on both sides of the electromagnetic conversion unit, respectively. It is characterized by being arranged so that Further, in the second magnetic recording apparatus, as set forth in claim 23, the electromagnetic transducer is substantially located at the center of the thin-film magnetic head in the track width direction. As described in Item 24, the flying height of the magnetic head slider from the magnetic recording medium is: 100 nm It is characterized as follows.
[0029]
According to the magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention,A magnetic recording and reproducing apparatus comprising a magnetic recording medium and a magnetic head slider having a thin-film magnetic head, Thin film magnetic head An electromagnetic conversion unit having a magnetoresistive element for reading a signal by a magnetic field generated from the magnetic recording medium or writing a signal to the magnetic medium by a magnetic field, and a pair of magnetic transducers having a magnetic gap on a medium facing surface side. An electromagnetic conversion unit having a magnetic core, and the magnetoresistive element through which a signal magnetic flux is guided from the recording medium via the pair of magnetic cores; and a high thermal conductivity for holding the electromagnetic conversion unit in a film thickness direction. And a second ceramic substrate having the following characteristics.
[0030]
Preferred embodiments of the magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention include:As set forth in claim 26, the electromagnetic conversion section has a flat coil for supplying a recording magnetic field to the pair of magnetic cores. Further, as set forth in claim 27, the electromagnetic conversion section substantially includes It is located at the center of the thin film magnetic head with respect to the track width direction of the magnetic recording medium, and furthermore, as described in claim 28, the flying height of the magnetic head slider from the magnetic recording medium is 100 nm It is as follows.
[0031]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described.
[0032]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a first embodiment of a magnetic head (slider) to which the thin-film magnetic head of the present invention is applied. The magnetic head (slider) 21 shown in FIG. 1 has an electromagnetic conversion unit 22 having a recording unit and a reproducing unit at a substantially central portion in the recording track width direction. The electromagnetic converter 22 is made of AlO_x(1 ≦ x ≦ 1.5) and the like. The electromagnetic converter 22 has an exposed surface on the medium facing surface (the lower surface of the magnetic head (slider) 21 in FIG. 1). The magnetic head (slider) 21 floats from the recording medium in the traveling direction P according to the rotation of the recording medium.
[0033]
The electromagnetic conversion unit 22 disposed in the insulating layer 23 is formed by a first ceramic substrate 25 and a second ceramic substrate 26 via a bonding layer 24 provided on one side surface of the insulating layer 23. It is sandwiched from the film thickness direction. The lamination direction of the first and second ceramic substrates 25 and 26 is the width direction of the recording track (T_w) Are arranged in parallel. In other words, the first and second ceramic substrates 26 are arranged so that the electromagnetic conversion section 22 disposed in the insulating layer 23 is_wIt is pinched from. The electromagnetic conversion section 22 is sandwiched between the first and second ceramic substrates 25 and 26 so that_wIs located in the approximate center.
[0034]
FIG. 2 is a sectional view of the vicinity of the electromagnetic conversion section 22 of the magnetic head (slider) 21 as viewed from the medium facing surface side. With reference to FIG. 2, the formation position of the electromagnetic conversion part 22 will be described in detail. That is, the main surface of the first ceramic substrate 25 is provided with an insulating AlO_xA film 23a and the like are provided. The electromagnetic converter 22 is made of AlO_xAlO as a protective insulating layer is formed on the film 23a._xIt is covered with the film 23b. The electromagnetic conversion unit 22 uses these AlO_xIt is arranged in an insulating layer 23 composed of films 23a and 23b.
[0035]
The first ceramic substrate 25 on which the electromagnetic conversion section 22 is formed is bonded to a second ceramic substrate 26 via a bonding layer 24. Bonding base films 27 and 28 are provided on the bonding surfaces of the first and second ceramic substrates 25 and 26, respectively. The first ceramic substrate 25 and the second ceramic substrate 26 are bonded to each other with an adhesive layer 29 made of water glass, low melting point glass, or the like interposed between the bonding base films 27 and 28. If necessary, AlO may be provided on the bonding surface side of the second ceramics substrate 26 as well._xAn insulating layer such as a film is provided.
[0036]
The adhesive layer 29 is not limited to water glass or low melting point glass, but may be an inert metal such as Au, Pt, Ag, Cu, Ni, Ir, or Co. An inert metal thin film is formed on the joining base films 27 and 28 of the ceramic substrates 25 and 26, and the inert ceramic thin films are abutted and heat-treated, so that the first ceramic substrate 25 and the second The ceramic substrate 26 can be joined. In consideration of the heat radiation to the second ceramic substrate 26 side, it is preferable to use a metal material for the adhesive layer 29. The joining method will be described later in detail.
[0037]
In the magnetic head (slider) 21 shown in FIGS. 1 and 2, an electromagnetic conversion part 22, an insulating layer 23, a bonding layer 24, and first and second ceramics are provided on a medium facing surface (ABS) near the electromagnetic conversion part 22. The substrates 25 and 26 are exposed. Diamond-like carbon may be used for the insulating layer 23. The diamond-like carbon contributes to the improvement of the heat radiation near the electromagnetic conversion part 22 and the increase in hardness.
[0038]
The first and second ceramic substrates 25 and 26 have a thermal conductivity of thin-film alumina (AlO) for the purpose of enhancing heat dissipation near the electromagnetic conversion section 22._xAs described above, specifically, it is preferable to use a substrate material having a thermal conductivity of 10 W / m K or more. As a ceramic substrate having such thermal conductivity, Al₂O₃-TiC substrate (thermal conductivity: 20 to 50 W / mK), SiC substrate (thermal conductivity: 270 W / mK), AlN substrate (thermal conductivity: 100 to 250 W / mK), Si₃N₄Substrate (50-100 W / m K), Ni-Zn ferrite substrate (thermal conductivity: 30 W / m K), Al₂O₃Substrates (thermal conductivity: 10 to 30 W / m K) and the like. The first and second ceramic substrates 25 and 26 preferably have a thermal conductivity of 20 W / m K or more.
[0039]
On the other hand, from the viewpoint of suppressing abrasion near the electromagnetic conversion section 22, it is preferable to use ceramic substrates of high hardness for the first and second ceramic substrates 25 and 26. Specifically, it is preferable to use a ceramics substrate having a Vickers hardness of 800 Hv or more. Examples of such a ceramic substrate include Al₂O₃-TiC substrate (Vickers hardness: 2000 to 2500 Hv), SiC substrate (Vickers hardness: 2000 to 3000 Hv), Si₃N₄Substrate (Vickers hardness: 1200 to 1900 Hv), Ni-Zn ferrite substrate (Vickers hardness: 800 Hv), Al₂O₃Substrate (Vickers hardness: 2000-2100Hv), ZrO₂(Vickers hardness: 1200 to 1600 Hv).
[0040]
As the first and second ceramic substrates 25 and 26, ceramic substrates of the same material may be used, or ceramic substrates of different materials may be used. For example, a ceramic substrate having high hardness may be used as the first ceramic substrate 25, and a ceramic substrate having high thermal conductivity may be used as the second ceramic substrate 26.
[0041]
It is preferable to apply an MR element capable of obtaining high output to the reproducing unit of the electromagnetic conversion unit 22. Examples of the electromagnetic conversion unit 22 in which the MR element is applied to the reproducing unit include a yoke type recording / reproducing unit in which the recording unit and the reproducing unit are integrated, and a shield type recording / reproducing unit in which the recording unit and the reproducing unit are separately formed. In particular, a plane yoke type recording / reproducing section as shown in FIG. 3 is preferably used. It should be noted that a flat yoke-type reproducing unit to which only the reproducing unit is applied may be used.
[0042]
In the plane yoke type recording / reproducing unit shown in FIG. 3, a pair of magnetic cores (magnetic layers) 31 and 32 are formed of AlO on a first ceramic substrate (not shown in FIG. 3)._xIt is formed on the film 23a. These paired magnetic cores 31 and 32 have their main surfaces formed of AlO._xThey are arranged in parallel so as to be substantially parallel to the surface of the film 23a. Further, the film thickness of the magnetic cores 31 and 32 substantially matches the track width. A magnetic gap 33 is interposed on the medium facing surface (ABS) side of the pair of magnetic cores 31 and 32, and these form a planar magnetic yoke.
[0043]
In the configuration shown in FIG. 3, the magnetic gap 33 is formed to be inclined in the medium traveling direction from the track width direction (giving an azimuth angle). Is appropriately given in order to effectively prevent crosstalk between adjacent tracks.
[0044]
An MR film 36 is formed on the pair of magnetic cores 31 and 32 via an insulating film 35. The MR film 36 is disposed inside the head receding from the medium facing surface (ABS), and a pair of electrodes 37 for supplying a sense current to the MR film 36 are formed at both ends thereof. The MR film 36 and the pair of electrodes 37 constitute an MR element 38. On the medium facing surface (ABS), only a planar magnetic yoke 34 composed of a pair of magnetic cores 31 and 32 disposed via a magnetic gap 33 is exposed.
[0045]
The MR film 36 includes, for example, an anisotropic magnetoresistive film (AMR film) whose electric resistance changes depending on the angle between the current direction and the magnetization moment of the magnetic layer, and a laminated structure of a magnetic layer and a nonmagnetic layer. A giant magnetoresistive film (GMR) such as a spin-valve film or an artificial lattice film, which has an electric resistance that changes depending on the angle formed by the magnetization of each magnetic layer, is used. The constituent material of the AMR film is Ni₈₀Fe₂₀And the like. Co for spin valve film₉₀Fe₁₀/ Cu / Co₉₀Fe₁₀A laminated film or the like is used. In the spin valve film, one of Co₉₀Fe₁₀An antiferromagnetic film made of FeMn, IrMn, or the like is disposed adjacent to the film (ferromagnetic film).₉₀Fe₁₀The magnetization of the film is fixed.
[0046]
The insulating film 35 is partially removed on the rear side of the planar magnetic yoke 34 as viewed from the medium facing surface (ABS), that is, on the back gap 39, and is magnetically coupled to the pair of magnetic cores 31 and 32. A back core 40 is formed. These form a recording magnetic loop. A recording coil 41 is wound in a plane so as to cross the recording magnetic loop. The recording medium is scanned in a direction crossing the magnetic cores 31 and 32. That is, the track width corresponds to the thickness of the magnetic cores 31 and 32, and the recording and reproducing bit length corresponds to the width of the gap 33.
[0047]
The magnetic head (slider) 21 as described above is mounted on a magnetic recording device such as a magnetic disk device shown in FIGS. 4 and 5, for example. 4 and 5 show a schematic structure of a magnetic disk drive 50 using a rotary actuator.
[0048]
The magnetic disk 51 is mounted on a spindle 52 and is rotated by a motor 53 responding to a control signal from a drive control source (not shown). A head slider 54 having an electromagnetic transducer for recording and reproducing information while flying above the magnetic disk 51 is attached to the tip of a thin-film suspension 55. When the magnetic disk 51 rotates, the medium facing surface (ABS) of the head slider 54 is held at a predetermined flying height d (0 to 100 nm) from the surface of the magnetic disk 51.
[0049]
The head slider 54 is configured by the magnetic head slider 21 of the above-described embodiment, and has the electromagnetic conversion unit 22 (not shown in FIGS. 4 and 5) such as the above-described flat yoke type recording / reproducing unit. ing. The head slider 54 is arranged such that the laminating direction of the first and second ceramic substrates 25 and 26 is substantially orthogonal to the rotation direction of the magnetic disk 51. FIG. 6 shows a relative positional relationship between the recording track 51 a of the magnetic disk 51 and the electromagnetic conversion section 22 of the head slider 54.
[0050]
The suspension 55 is connected to one end of an actuator arm 56 having a bobbin for holding a drive coil (not shown). At the other end of the actuator arm 56, a voice coil motor 57, which is a type of linear motor, is provided. The voice coil motor 57 includes a drive coil (not shown) wound around a bobbin portion of the actuator arm 56, and a magnetic circuit including a permanent magnet and a facing yoke, which are opposed to each other so as to sandwich the drive coil. The actuator arm 56 is held by ball bearings (not shown) provided at two positions above and below the fixed shaft 58, and can be rotated and slid by a voice coil motor 57.
[0051]
In the magnetic head (slider) 21 of the above-described embodiment, the electromagnetic transducer 22 is sandwiched between the first and second ceramic substrates 25 and 26 from both sides in the film thickness direction. Therefore, the heat generated when the recording medium such as the magnetic disk 51 contacts the electromagnetic converter 22 can be released to the first and second ceramic substrates 25 and 26, respectively. As compared with the conventional magnetic head slider having a substrate only on one side of the electromagnetic conversion portion shown in FIG. 12, the heat emission efficiency is about twice as high. In particular, by using ceramic substrates having a thermal conductivity of 10 W / m K or more, and more preferably 20 W / m K or more as the first and second ceramic substrates 25 and 26, the efficiency of heat release from the electromagnetic conversion unit 22 is increased. be able to.
[0052]
As described above, by increasing the heat radiation in the vicinity of the electromagnetic conversion unit 22 and improving the efficiency of heat release from the electromagnetic conversion unit 22, it is possible to suppress a rise in the temperature of the electromagnetic conversion unit 22. Therefore, even if the temperature of the electromagnetic conversion unit 22 locally rises due to contact with a projection on the surface of the recording medium called glide height, a fluctuation in the reproduction voltage output level called thermal asperity does not occur, and the occurrence of read errors is reduced. can do. The improvement in the heat dissipation near the electromagnetic conversion part 22 also contributes to the suppression of the temperature rise of the MR film 36 due to the sense current. As a result, characteristic deterioration of the magnetic layer constituting the MR film 36 is also suppressed.
[0053]
Further, on the medium facing surface (ABS) near the electromagnetic converter 22, not only the electromagnetic converter 22 and the insulating layer 23 but also the first and second ceramic substrates 25 and 26 are exposed. When the electromagnetic conversion section 22 comes into contact with a recording medium such as the magnetic disk 51, the electromagnetic conversion section 22 and the AlO_xAlthough the insulating layer 23 made of, for example, comes into contact with the recording medium, the first and second ceramic substrates 25 and 26 having excellent wear resistance also come into contact with the recording medium at the same time. Therefore, it is possible to suppress the progress of wear of the electromagnetic converter 22 and the insulating layer 23. In particular, by using a ceramics substrate having a Vickers hardness of 800 Hv or more as the first and second ceramics substrates 25 and 26, it is possible to greatly reduce wear near the electromagnetic conversion unit 22.
[0054]
As described above, by suppressing wear near the electromagnetic conversion unit 22, the distance between the electromagnetic conversion unit 22 and the recording medium can be stably maintained. Therefore, it is possible to suppress deterioration of the recording and reproduction resolution. Further, it is possible to suppress wear of the lubricating layer on the recording medium side.
[0055]
The wear suppressing effect in the vicinity of the electromagnetic conversion unit 22 is remarkable when a flat yoke recording / reproducing unit (or a flat yoke reproducing unit) is applied to the electromagnetic conversion unit 22. In the plane yoke type recording / reproducing unit as shown in FIG. 3, one main surface of the magnetic yoke 34 is substantially parallel to the magnetic flux flowing from the recording medium to one magnetic core 31, the MR film 36, and the other magnetic core 32. It is. In other words, the flow of the magnetic flux is substantially parallel to the direction of the film surface of the MR film 36. For this reason, the thickness of the electromagnetic conversion unit 22 exposed on the medium facing surface (ABS) is as thin as about 10 to 50 μm, and wear is apt to progress. In the case of the shield type reproducing unit, the thickness of the electromagnetic conversion unit is as large as about 200 μm because the flowing magnetic flux is substantially perpendicular to the direction of the film surface of the MR film. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the thickness reduction of the exposed part to a medium facing surface (ABS) can reduce effectively the film thickness reduction of the plane yoke type recording / reproducing part (or plane yoke type reproducing part).
[0056]
FIG. 7 shows the results of observation of the surface of the recording medium after the magnetic head (slider) of this embodiment and the magnetic head (slider) using the conventional plane yoke type reproducing unit are caused to fly low and fly. As shown in measurement result A, AlO used as a protective insulating film or an ABS protective film_xIn the conventional magnetic head slider in which the film was exposed on the medium facing surface, scratches were observed on the lubricant on the recording medium surface. On the other hand, in the magnetic head (slider) according to the embodiment of the present invention, stability is improved, and AlO_xSince the ceramic substrates 25 and 26 having a higher hardness than the film were exposed, no such flaw was observed as shown in the measurement result B.
[0057]
In the magnetic head (slider) 21 of the above-described embodiment, the electromagnetic conversion section 22 is disposed at a substantially central portion in the recording track width direction. Therefore, as compared with a conventional magnetic head (slider) in which the electromagnetic conversion unit is formed on one side, the frequency of contact between the electromagnetic conversion unit 22 and the recording medium due to an error in mounting the head slider 54 to the actuator arm 56, and the like. Can be reduced. Further, the electromagnetic converter 22, which is disposed at a substantially central portion in the recording track width direction and is sandwiched between the ceramic substrates 25 and 26 from both sides thereof, improves running stability, tracing accuracy of the recording track, and the like. Such an effect can be easily obtained by sandwiching the electromagnetic conversion portion 22 between the ceramic substrates 25 and 26 from both sides.
[0058]
By employing a magnetic head (slider) to which the present invention is applied, the magnetic recording density can be increased, and a large-capacity and high-reliability magnetic recording device such as a magnetic disk device can be provided. The present invention is particularly effective when the flying height d of the magnetic head (slider) is 100 nm or less and the flying height is low. In the above-described embodiment, the case where the plane yoke recording / reproducing unit is applied to the recording / reproducing unit of the electromagnetic conversion unit has been described. In addition to the above, the present invention can apply various reproducing units and recording units such as a shield type reproducing unit (or a shield type recording / reproducing unit) as shown in FIG. The shield-type reproducing section shown in FIG. 13 can be sandwiched between the first and second ceramic substrates in the film thickness direction.
[0059]
FIG. 8 is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the magnetic head (slider) 21 shown in FIG. In the magnetic head (slider) 21 shown in FIG. 8, an electromagnetic conversion unit 22 and an AlO_xThe insulating layer 23 made of, for example, is exposed. Also in such a head structure, the heat radiation in the vicinity of the electromagnetic conversion section 22 can be improved. However, the magnetic head (slider) 21 shown in FIG. 1 is more excellent in abrasion resistance because the abrasion near the electromagnetic conversion portion 22 tends to increase. In the magnetic head (slider) 21 shown in FIG. 8, it is effective to use diamond-like carbon as the insulating layer 23. Thereby, abrasion near the electromagnetic conversion part 22 is suppressed.
[0060]
Next, a method of manufacturing the flat yoke type recording / reproducing unit as the electromagnetic conversion unit 22 and the magnetic head (slider) 21 using the same will be described. First, a manufacturing process of the plane yoke type recording / reproducing unit as the electromagnetic conversion unit 22 will be described with reference to FIG.
[0061]
As shown in FIG. 9A, the surface of the first ceramic substrate 25 is made of AlO._xAn insulating film 23a such as a (1 ≦ x ≦ 1.5) film is formed by a two-pole RF diode sputtering method or the like. Next, after forming a soft magnetic material film such as NiFe or CoZrNb on the insulating film 23a, a first magnetic core (yoke half) 31 is formed by ion beam etching using a resist mask or the like.
[0062]
Subsequently, as shown in FIG. 9B, an AlO film serving as a magnetic gap 33 is formed on the insulating film 23a including the first magnetic core 31._xAnd SiO_xAnd a soft magnetic material film 32 'such as NiFe or CoZrNb to be the second magnetic core 32 are continuously formed. Thereafter, as shown in FIG. 9C, a low molecular weight resist 61 is applied and baked to flatten the surface.
[0063]
Then, as shown in FIG. 9D, for example, the ion incidence angle is set so that the resist 61 and the soft magnetic material film 32 'are etched at the same etching rate. Under such conditions, the second magnetic core 32 is formed by etching with an ion beam until the magnetic gap 33 on the first magnetic core 31 is exposed.
[0064]
Thereafter, as shown in FIG. 9E, the surfaces of the first and second magnetic cores 31 and 32 are coated with AlO._xAfter the formation of the insulating film 35, an MR film 36 and a pair of electrodes 37 connected to both ends in the longitudinal direction are formed. Thus, the electromagnetic conversion unit 22 having the plane yoke-type reproducing unit is completed. Further, a back core and a recording coil (not shown in FIG. 9E) are formed on the rear side of the MR film 36, and the surfaces thereof are covered with a protective insulating film, so that an electromagnetic wave having a plane yoke type recording / reproducing unit is provided. The conversion unit 22 is completed. The thickness of the electromagnetic conversion part 22 is a thin film of about 10 to 50 μm.
[0065]
The recording section may be formed by forming a pair of magnetic poles separately from the plane yoke of the reproducing section. In this case, a structure in which the plane yoke of the reproducing unit and the magnetic pole of the recording unit are laminated via a nonmagnetic insulating film can be adopted.
[0066]
Next, a manufacturing process of the plane yoke type recording / reproducing unit as the electromagnetic conversion unit 22 will be described with reference to FIG.
[0067]
First, as shown in FIG. 10A, an AlO layer is formed on the surface of the first ceramic substrate 25 on which the electromagnetic conversion section 22 is formed._xIs formed by a two-pole RF diode sputtering method or the like, and its surface is flattened by a polishing method or the like. The electromagnetic conversion unit 22 is disposed in the insulating layer 23. Next, on the flattened surface of the insulating layer 23, a passivation film and a bonding base film 27 made of a material having high adhesion to a bonding material to be used later, such as Ti, are formed.
[0068]
On the other hand, as shown in FIG. 10B, a second ceramic substrate 26 having a similar bonding base film 28 formed on the surface is prepared. The second ceramics substrate 26 may have an insulating layer 23c on the surface.
[0069]
Next, as shown in FIG. 10C, an adhesive layer 29 made of water glass, low melting point glass, or the like is formed between the bonding base films 27 and 28 by bonding the first ceramic substrate 25 and the second ceramic substrate 26 to each other. Laminate with interposition. In this state, a heat treatment at about 300 ° C. is performed to join the first ceramic substrate 25 and the second ceramic substrate 26. The joined body of the substrates is cut so that the electromagnetic conversion part 22 is exposed on the medium facing surface (ABS) and processed into a head slider shape, thereby completing the magnetic head slider 1 of this embodiment.
[0070]
Preferred combinations of the bonding base film 28 and the adhesive layer 29 include Ti / Si / adhesive layer, Si / adhesive layer, and Si / SiO_x/ Adhesive layer, Ti / Si / SiO_x/ Adhesive layer and the like. Si or SiO_xHas high adhesion to Ti and the like, and also exhibits high adhesion to water glass and the like. Instead of Ti, Cr, Nb, Ta, Zr, and a mixed layer thereof can also be used.
[0071]
For good bonding, it is preferable to apply an electrostatic field of about several volts to the ceramic substrate during heating. The heating temperature is Ni₈₀Fe₂₀In the case where an MR film using a material having low heat resistance such as, for example, is used, the temperature is preferably set to about 250 to 320 ° C. Co₉₀Fe₁₀/ Cu / Co₉₀Fe₁₀For a material having relatively high heat resistance such as, for example, bonding can be performed at a temperature of about 250 to 350 ° C. When water glass or the like is used as the adhesive layer 29, a heat treatment temperature of about 250 to 350 ° C. is required.₉₀Fe₁₀/ Cu / Co₉₀Fe₁₀It is preferable to use a material having relatively high heat resistance such as.
[0072]
Further, for the adhesive layer 29, in addition to water glass or the like, an inert metal such as Au, Pt, Ag, Cu, Ni, Ir, or Co can be used.
[0073]
When bonding is performed using an inert metal, first, an inert metal thin film is formed on the surfaces of the bonding base metals 27 and 28 of the ceramic substrates 25 and 26 by sputtering or the like. At this time, it is preferable that the inert metal thin film be formed while keeping the inside of the chamber under vacuum, or that the atmosphere in the chamber be formed as a reducing atmosphere such as hydrogen. The inert metal thin film thus formed does not have an oxide on its surface, and exhibits good bonding characteristics. Next, the first and second ceramic substrates 25 and 26 are laminated by abutting the formed inert metal thin films. In this state, the first ceramic substrate 25 and the second ceramic substrate 26 are joined by heating to 250 to 350 ° C.
[0074]
Since bonding using an inert metal can be performed at a temperature of about 250 to 350 ° C., the magnetic characteristics of the thin-film magnetic head deteriorate even if a thin-film magnetic head with poor heat resistance is provided in the electromagnetic conversion unit. I will not let you. In particular, platinum group elements such as Pt, Rh, Ru, Pd, Os, and Ir have high Vickers hardness and exhibit an effect of suppressing wear. Further, since the thermal conductivity is higher than that of a glass-based adhesive, the efficiency of heat release from the electromagnetic conversion unit 22 to the second ceramic substrate 26 can be increased.
[0075]
Next, a second embodiment of a magnetic head (slider) to which the thin-film magnetic head of the present invention is applied will be described. FIG. 11 is a perspective view showing a schematic configuration of a second embodiment of a magnetic head (slider) to which the thin film magnetic head of the present invention is applied.
[0076]
The magnetic head (slider) 70 shown in FIG._xAn insulating layer 72 made of (1 ≦ x ≦ 1.5) or the like has a first ceramic substrate 71 formed on a main surface. The electromagnetic converter 73 is embedded in the insulating layer 72. The position where the electromagnetic transducer 73 is formed is substantially at the center in the recording track width direction. Then, the first ceramic substrate 71 having the electromagnetic conversion portion 73 disposed in the insulating layer 72 and the second ceramic substrate 72 are laminated and joined so as to be parallel to the medium traveling direction, so that the magnetic field is increased. A head (slider) 70 is configured.
[0077]
That is, the electromagnetic conversion portion 73 arranged in the insulating layer 72 is sandwiched between the first ceramics 71 and the second ceramics substrate 74 in the thickness direction thereof. In other words, the first and second ceramic substrates 71 and 74 sandwich the electromagnetic converter 73 disposed in the insulating layer 72 from the medium traveling direction. The electromagnetic conversion section 73 is formed at the first ceramics substrate 71 in advance, so that it is located at a substantially central portion in the recording track width direction.
[0078]
It is preferable that the materials and joining methods of the ceramic substrates 71 and 72 and the configuration of the electromagnetic conversion section 73 in the second embodiment are the same as those in the first embodiment.
[0079]
Also in the magnetic head (slider) 70 according to the second embodiment, the heat generated in the electromagnetic converter 73 can be efficiently released to the first ceramic substrate 71 and the second ceramic substrate 74. In particular, by arranging the electromagnetic conversion unit 73 substantially at the center in the recording track width direction, the heat emission efficiency can be further improved. Regarding the wear near the electromagnetic conversion part 73, the wear of the electromagnetic conversion part 73 is suppressed by adopting a structure in which the first and second ceramic substrates 71 and 74 are exposed on the medium facing surface near the electromagnetic conversion part 73. Can be. Further, by arranging the electromagnetic conversion section 73 at a substantially central portion in the recording track width direction, running stability, tracing accuracy of the recording track, and the like are improved.
[0080]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, when the thin-film magnetic head is run at a low flying height, heat generated by contact with the protrusions on the medium surface can be efficiently dissipated. Therefore, problems due to thermal asperity and the like can be reduced. Even if the flying height is equal to or less than the smoothing limit of the recording medium, it is possible to reduce the deterioration of the reproduction / recording resolution. Further, wear of the medium facing surface of the thin film magnetic head, wear of the lubricating layer of the recording medium due to wear of the thin film magnetic head, and the like can be suppressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic structure of a magnetic head (slider) according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the vicinity of an electromagnetic conversion portion of the magnetic head (slider) shown in FIG. 1 as viewed from a medium facing surface.
FIG. 3 is a perspective view showing a configuration of a plane yoke type recording / reproducing unit applied to the magnetic head (slider) shown in FIG. 1 as an electromagnetic conversion unit.
FIG. 4 is a perspective view showing the structure of the magnetic disk drive according to one embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a side view schematically showing a schematic structure of the magnetic disk device shown in FIG. 4;
FIG. 6 is a diagram showing a positional relationship between a magnetic head (slider) and a recording track of the magnetic disk device shown in FIG.
FIG. 7 is a characteristic diagram comparing a magnetic head (slider) according to an embodiment of the present invention with a conventional magnetic head (slider).
FIG. 8 is a perspective view showing a modification of the magnetic head (slider) shown in FIG.
9 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of a plane yoke type recording / reproducing unit applied to the magnetic head (slider) shown in FIG. 1 as an electromagnetic conversion unit.
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a step of manufacturing the magnetic head (slider) shown in FIG.
FIG. 11 is a perspective view showing a schematic structure of a magnetic head (slider) according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a perspective view showing a configuration example of a conventional magnetic head (slider).
FIG. 13 is a perspective view showing a structure of a shield type MR head as an electromagnetic conversion unit of a conventional magnetic head.
[Explanation of symbols]
21, 70 ... magnetic head (slider)
22, 73 ... Electromagnetic converter
24 ... bonding layer
25, 71: First ceramic substrate
26, 74 ... second ceramic substrate
31, 32 ... magnetic core
33 Magnetic gap
38 …… Magnetoresistance effect element

Claims

A first ceramic substrate having a high thermal conductivity, a second ceramic substrate having a high thermal conductivity, and the first ceramic substrate and the second ceramic substrate sandwiched in a film thickness direction. By doing so, in a thin-film magnetic head comprising: an electromagnetic conversion portion having a magnetoresistive element positioned substantially at the center with respect to the track width direction ,
The track width direction is substantially perpendicular to a moving direction of the magnetic head with respect to a medium when the electromagnetic conversion unit transmits information, and the first and second ceramic substrates are respectively provided with electromagnetic conversion parts. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein said first and second ceramic substrates are disposed on both sides of said portion so as to dissipate heat from said electromagnetic conversion portion .

2. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein at least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate is formed of a ceramic substrate having a thermal conductivity in a range of 10 W / mK to 270 W / mK .

At least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate has a Vickers hardness. 800 Hv Not 3000 Hv 2. A thin-film magnetic head according to claim 1, wherein said thin-film magnetic head comprises a ceramic substrate.

2. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein the electromagnetic converter is disposed in an insulating layer held between the first and second ceramic substrates.

5. The thin-film magnetic head according to claim 4, wherein at least one of the first and second ceramic substrates has a higher thermal conductivity than the insulating layer.

6. The thin film magnetic device according to claim 5, wherein the electromagnetic conversion portion is formed on the first ceramic substrate, and the insulating layer and the second ceramic substrate are joined therebetween by a joining layer of an inorganic material. head.

7. The thin-film magnetic head according to claim 6, wherein the bonding layer has an adhesive layer made of an inert metal.

The magnetoresistive elements face each other Co System magnetic layer and Cu 2. A thin-film magnetic head according to claim 1, comprising a non-magnetic layer.

A first ceramic substrate having a high thermal conductivity, a second ceramic substrate having a high thermal conductivity, and a value determined between the first ceramic substrate and the second ceramic substrate according to the electromagnetic conversion unit. A magnetic conversion unit having a magnetoresistive effect element held in the track width direction.
The track width direction is substantially perpendicular to a moving direction of the magnetic head with respect to a medium when the electromagnetic conversion unit transmits information, and the first and second ceramic substrates are respectively provided with electromagnetic conversion parts. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein said first and second ceramic substrates are disposed on both sides of said portion so as to dissipate heat from said electromagnetic conversion portion.

10. The thin-film magnetic head according to claim 9, wherein the electromagnetic converter is substantially at the center of the magnetic head in the track width direction.

At least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate has a thermal conductivity. 10W / mK Not 270W / mK 10. The thin-film magnetic head according to claim 9, wherein said thin-film magnetic head is made of a ceramic substrate.

At least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate has a Vickers hardness. 800 Hv Not 3000 Hv 10. The thin-film magnetic head according to claim 9, wherein said thin-film magnetic head is made of a ceramic substrate.

10. The thin film according to claim 9, wherein the electromagnetic conversion unit is formed on the first ceramic substrate, and the electromagnetic conversion unit is bonded to the second ceramic substrate via an inorganic bonding layer. Magnetic head.

An electromagnetic conversion unit having at least one pair of magnetic cores formed on the medium facing surface side with a magnetic gap interposed therebetween, and a magnetoresistive element through which a signal magnetic field is guided from a recording medium via the pair of magnetic cores; A thin-film magnetic head, comprising a first and a second ceramic substrate having high thermal conductivity, sandwiching the electromagnetic conversion unit in a thickness direction,
The thickness direction is a moving direction of the magnetic head relative to the medium when the electromagnetic transducer transmits information. And a direction substantially perpendicular to
The thin film, wherein the first and second ceramic substrates are disposed on both sides of an electromagnetic conversion unit such that the first and second ceramic substrates dissipate heat from the electromagnetic conversion unit. Magnetic head.

15. The thin-film magnetic head according to claim 14, wherein the electromagnetic conversion unit has a coil that supplies a recording magnetic field to the pair of magnetic cores.

15. The thin-film magnetic head according to claim 14, wherein the electromagnetic converter is located substantially at the center of the thin-film magnetic head in the track width direction.

At least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate has a thermal conductivity. 10W / mK Not 270W / mK 15. The thin-film magnetic head according to claim 14, wherein the thin-film magnetic head comprises a ceramic substrate.

At least one of the first ceramic substrate and the second ceramic substrate has a Vickers hardness. 800 Hv Not 3000 Hv 15. The thin-film magnetic head according to claim 14, wherein the thin-film magnetic head comprises a ceramic substrate.

The thin film according to claim 14, wherein the electromagnetic conversion unit is formed on the first ceramic substrate, and the electromagnetic conversion unit is bonded to the second ceramic substrate via an inorganic bonding layer. Magnetic head.

In a magnetic recording device including a magnetic recording medium and a magnetic head slider having a thin film magnetic head,
  The thin-film magnetic head includes a first ceramic substrate having a high thermal conductivity, a second ceramic substrate having a high thermal conductivity, and an electromagnetic conversion unit having a magnetoresistive element. The head is disposed between the first ceramic substrate and the second ceramic substrate in a thickness direction of the head and in a track width direction of the magnetic recording medium in which the electromagnetic conversion unit is determined according to a conversion element. It is held so that it is located almost at the center of the slider,
  Further, the track width direction is a direction substantially perpendicular to the moving direction of the magnetic head with respect to the medium when the electromagnetic transducer transmits information,
  The first and second ceramic substrates are disposed on both sides of an electromagnetic conversion unit such that the first and second ceramic substrates dissipate heat from the electromagnetic conversion unit. Recording device.

The flying height of the magnetic head slider from the magnetic recording medium is 100 nm 21. The magnetic recording apparatus according to claim 20, wherein:

In a magnetic recording device comprising a magnetic recording medium and a magnetic head slider having a thin film magnetic head,
Said Thin film magnetic head It comprises a first ceramic substrate having a high thermal conductivity, a second ceramic substrate having a high thermal conductivity, and an electromagnetic conversion unit having a magnetoresistive element, wherein the electromagnetic conversion unit is provided with the first ceramic substrate and Between the second ceramic substrate and the track width direction determined according to the electromagnetic conversion portion,
The track width direction is substantially perpendicular to a moving direction of the magnetic head with respect to a medium when the electromagnetic transducer transmits information, and further, the first and second ceramic substrates are respectively provided with electromagnetic waves. A magnetic recording apparatus, wherein the first and second ceramic substrates are arranged on both sides of the conversion unit so as to dissipate heat from the electromagnetic conversion unit.

23. The magnetic recording apparatus according to claim 22, wherein the electromagnetic conversion unit is located substantially at the center of the thin-film magnetic head in the track width direction.

The flying height of the magnetic head slider from the magnetic recording medium is 100 nm 23. The magnetic recording apparatus according to claim 22, wherein:

In a magnetic recording and reproducing apparatus comprising a magnetic recording medium and a magnetic head slider having a thin film magnetic head,
Said Thin film magnetic head An electromagnetic conversion unit having a magnetoresistive element for reading a signal by a magnetic field generated from the magnetic recording medium or writing a signal to the magnetic medium by a magnetic field The electromagnetic conversion unit, comprising: a pair of magnetic cores having a magnetic gap on the medium facing surface side; and the magnetoresistive element through which signal magnetic flux is guided from the recording medium via the pair of magnetic cores. When,
A magnetic recording / reproducing apparatus comprising: a first ceramic substrate and a second ceramic substrate having a high thermal conductivity for holding the electromagnetic conversion section in a film thickness direction.

26. The magnetic recording / reproducing apparatus according to claim 25, wherein the electromagnetic conversion unit has a flat coil that supplies a recording magnetic field to the pair of magnetic cores.

26. The magnetic recording / reproducing apparatus according to claim 25, wherein the electromagnetic conversion unit is located substantially at a center of the thin-film magnetic head with respect to a track width direction of the magnetic recording medium.

26. The magnetic recording / reproducing apparatus according to claim 25 , wherein a flying height of the magnetic head slider from the magnetic recording medium is 100 nm or less .