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JP3419478B2 - bearing - Google Patents

bearing

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JP3419478B2
JP3419478B2 JP25057392A JP25057392A JP3419478B2 JP 3419478 B2 JP3419478 B2 JP 3419478B2 JP 25057392 A JP25057392 A JP 25057392A JP 25057392 A JP25057392 A JP 25057392A JP 3419478 B2 JP3419478 B2 JP 3419478B2
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JP
Japan
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sliding surface
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sliding
oxide
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和久 北村
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Koyo Seiko Co Ltd
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Koyo Seiko Co Ltd
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/66Special parts or details in view of lubrication
    • F16C33/6696Special parts or details in view of lubrication with solids as lubricant, e.g. dry coatings, powder

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、転がり軸受や滑り軸
受等の軸受に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to bearings such as rolling bearings and sliding bearings.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、高温環境下や腐食環境下等、金属
材料を使用できない特殊環境下において使用される転が
り軸受として、軌道輪や転動体等の軸受部品を、アルミ
ナ系セラミックスや非酸化物Si系セラミックス等によ
って形成したセラミックス軸受が提供されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as rolling bearings used in special environments where metal materials cannot be used, such as high temperature environments and corrosive environments, bearing parts such as races and rolling elements are made of alumina ceramics or non-oxide. Ceramic bearings formed of Si-based ceramics or the like are provided.

【0003】ところが、上記高温環境下においては、セ
ラミックス軸受の潤滑として、油潤滑を採用することが
できないので、軸受の軌道面や転動体の表面に、二硫化
モリブデン、金、銀、四弗化エチレン樹脂(PTF
E)、グラファイト等の固体潤滑をコーティングする
ことが行われている。
However, under the above high temperature environment, oil lubrication cannot be adopted as lubrication for ceramic bearings, so molybdenum disulfide, gold, silver and tetrafluoride are formed on the bearing raceway and rolling element surface. Ethylene resin (PTF
E), have been made to coat a solid lubricant such as graphite.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記固
体潤滑はセラミックスとの密着性が悪く、母材から剥
離し易いので、セラミックス軸受を高温環境下で使用し
た場合には、比較的早期に潤滑不良を生じ、軸受寿命が
低下するという問題があった。この発明は、上記問題点
に鑑みてなされたものであり、高温環境下において長期
間良好な潤滑状態を維持することができ、ひいては長寿
命化を達成することができる軸受を提供することを目的
とする。
[SUMMARY OF THE INVENTION However, the solid lubricant is poor in adhesion to the ceramic, so easily peeled off from the base material, when using ceramic bearings in a high temperature environment, relatively early in the lubricating There is a problem in that a defect occurs and the bearing life is shortened. The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a bearing that can maintain a good lubrication state for a long period of time in a high temperature environment and that can achieve a long life. And

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の、この発明の軸受としては、相対的に摺動する二つの
部品の少なくとも一方が、非酸化物Si系セラミックス
を母材として形成されている軸受において、上記非酸化
物Si系セラミックスからなる軸受部品の摺動面に、3
00°C近辺の高温下においてカーボン系潤滑を供給
しながら母材表面を摺動させることにより、同摺動面に
Si酸化膜を生成させた状態で前記カーボン系潤滑剤を
コーティングしたことを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, the bearing of the present invention has at least one of two relatively sliding parts formed of a non-oxide Si-based ceramic as a base material. Bearings, the sliding surface of the bearing component made of the non-oxide Si ceramics has
By 00 slides the surface of the base material while supplying carbon-based lubricant at a high temperature of ° around C, and that was coated with the carbon-based lubricant in a state in which to produce a Si oxide film on the sliding surface It is a feature.

【0006】[0006]

【作用】上記の構成の軸受によれば、非酸化物Si系セ
ラミックスからなる軸受部品の摺動面に、300°C近
辺の高温下においてカーボン系潤滑を供給しながら母
材表面を摺動させることにより、同摺動面にSi酸化膜
を生成させた状態で当該カーボン系潤滑をコーティン
グしているので、そのようなSi酸化膜を形成しない場
合よりも、摺動面に対してカーボン系潤滑を強固に密
着させることができる。このため、特に300°C近辺
の高温環境下において、カーボン系潤滑による良好な
潤滑性を確保することができる。
SUMMARY OF] According to the bearing of the above construction, the sliding surface of the bearing component formed of non-oxide Si-based ceramics, sliding surface of the base material while supplying carbon-based lubricant at a high temperature of around 300 ° C by, since the coating the carbon-based lubricant in a state in which to produce a Si oxide film on the sliding surface, than without forming such Si oxide film, a carbon with respect to the sliding surface the system lubricant can be firmly adhered. Therefore, especially in the high temperature environment of around 300 ° C, it is possible to ensure good lubricity due to carbon-based lubricant.

【0007】[0007]

【実施例】以下実施例を示す添付図面により詳細に説明
する。図1は、この発明の一実施例を示す転がり軸受の
拡大断面図である。この転がり軸受は、軸受部品を構成
する軌道輪としての内輪1と外輪2との間に、同じく軸
受部品を構成する転動体としてのボール3を複数個介在
したものであり、各ボール3は、図示しない保持器によ
って保持されている。
Embodiments will be described in detail below with reference to the accompanying drawings showing embodiments. FIG. 1 is an enlarged sectional view of a rolling bearing showing an embodiment of the present invention. In this rolling bearing, a plurality of balls 3 as rolling elements also constituting bearing components are interposed between an inner ring 1 and an outer ring 2 as bearing rings constituting bearing components, and each ball 3 is It is held by a holder (not shown).

【0008】上記軸受部品としての内輪1、外輪2、及
びボール3は、それぞれ非酸化物Si(珪素)系セラミ
ックスを母材として形成されている。この非酸化物Si
系セラミックスとしては、SiC、Si3 N4 、Si3
N4 −TiC等を例示することができる。また、上記内
外輪1,2の少なくとも軌道部1a,2aの母材表面に
は、Si酸化膜4が形成されており、このSi酸化膜4
の表面には、カーボン系固体潤滑としてのグラファイ
ト5がコーティングされている。
The inner ring 1, the outer ring 2 and the balls 3 as the bearing parts are each formed of a non-oxide Si (silicon) type ceramic as a base material. This non-oxide Si
As ceramics, SiC, Si3 N4, Si3
N4 -TiC and the like can be exemplified. Further, a Si oxide film 4 is formed on at least the surface of the base material of at least the race portions 1a, 2a of the inner and outer rings 1, 2, and the Si oxide film 4
On the surface of the graphite 5 as carbon-based solid lubricant is coated.

【0009】さらに、各ボール3の母材表面にも、Si
酸化膜4が形成されており、このSi酸化膜4の表面
に、グラファイト5がコーティングされている。このS
i酸化膜4の形成とグラファイト5のコーティングは、
後述する試験1及び2にもあるように、高温下において
当該グラファイト5を供給しながら母材表面同士を摺動
させることによって行われる。上記の構成の転がり軸受
において、各ボール3は、内外輪1、2のそれぞれの軌
道部1a,1aに対して微小な滑り(摺動)を伴って転
がり接触する。従って、上記軌道部1a,2aの表面及
びボール3の表面は、転走面としての機能だけでなく、
摺動面としての機能も有する。そして、上記微小な滑り
に対して、内外輪1,2及びボール3のそれぞれの表面
にコーティングされたグラファイト5が、良好な潤滑
として作用する。しかも、このグラファイト5は、Si
酸化膜4によって、母材表面に対して強固に密着される
ので、特に300°C程度の高温環境下において長期間
良好な潤滑性能を発揮する。
Further, Si is also formed on the surface of the base material of each ball 3.
An oxide film 4 is formed, and the surface of this Si oxide film 4 is coated with graphite 5. This S
The formation of the i-oxide film 4 and the coating of the graphite 5 are
As in Tests 1 and 2 described later, the test is performed by sliding the base material surfaces while supplying the graphite 5 at high temperature. In the rolling bearing configured as described above, each ball 3 makes rolling contact with the respective track portions 1a, 1a of the inner and outer races 1, 2 with a slight slip (sliding). Therefore, the surfaces of the track portions 1a and 2a and the surface of the ball 3 have not only a function as a rolling surface,
It also has a function as a sliding surface. Then, with respect to the minute slip, graphite 5 coated on the surface of each of the inner and outer rings 1, 2 and ball 3 acts as a good lubricant <br/>. Moreover, this graphite 5 is Si
Since the oxide film 4 firmly adheres to the surface of the base material, it exhibits good lubricating performance for a long period of time, especially in a high temperature environment of about 300 ° C.

【0010】試験1 上記Si酸化膜4によってグラファイト5等のカーボン
系潤滑の密着性が向上することを確認するために以下
の摩擦試験を行った。 1.試験方法 SiCからなる試料どうしを、カーボンブラックを供給
しながら摩擦し、摩擦後の摺動面におけるカーボンの付
着状態を観察した。ただし、上記カーボンブラックは、
ベンゼンとエタノールとを燃焼させることによって発生
させたものであり、グラファイトと同等の潤滑特性を示
すものである。また、雰囲気温度は400°Cで行っ
た。 2.試験結果 図4は、カーボンブラックを供給しながら摩擦した試料
の摺動面を、EPMAにより観察した結果を示すもので
あり、そのうち(a)はSEM像であり、(b)はC−
Kα像であり、(c)はO−Kα像であり、(d)はS
i−Kα像である。同図(a)及び(c)より、摺動面
に島状にてSiO2 (写真中の白い部分が相当する)が
形成されていることが分かる。また、同図(b)より明
らかなように、SiO2 の部分で強いC−Kα線が得ら
れており、SiO2 とカーボンとが良好な密着性を示し
ていることが分かる。
[0010] was subjected to the following friction test to ensure that the improved adhesion of the carbon-based lubricants such as graphite 5 by Test 1 above Si oxide film 4. 1. Test method Samples made of SiC were rubbed while supplying carbon black, and the adhered state of carbon on the sliding surface after rubbing was observed. However, the above carbon black is
It is generated by burning benzene and ethanol, and exhibits the same lubricating characteristics as graphite. The ambient temperature was 400 ° C. 2. Test Results FIG. 4 shows the results of observing the sliding surface of the sample rubbed while supplying carbon black by EPMA, of which (a) is an SEM image and (b) is C-.
Kα image, (c) is an O-Kα image, and (d) is an S image.
It is an i-Kα image. It can be seen from FIGS. 10A and 10C that SiO2 (corresponding to the white portion in the photograph) is formed in an island shape on the sliding surface. Further, as is clear from FIG. 9B, a strong C-Kα ray was obtained in the SiO2 portion, and it is understood that SiO2 and carbon exhibit good adhesion.

【0011】上記摩擦試験においては、摩擦初期におい
てまずSiO2 が形成され、その後、当該SiO2 の表
面にカーボンが密着されると考えられる。この点を確認
するために、SiCからなる試料どうしを、無潤滑状態
で摩擦して、試料の摺動面と非摺動面とを、FT−IR
スペクトル測定した。この結果を図3に示す。但し、同
図(a)が非摺動面の測定結果であり、(b)が摺動面
の測定結果である。同図より摺動面にSiO2 (写真中
の白い部分が相当する)が形成されていることが分か
る。
In the above friction test, it is considered that SiO2 is first formed in the initial stage of friction, and then carbon is adhered to the surface of the SiO2. In order to confirm this point, samples made of SiC were rubbed with each other in an unlubricated state, and the sliding surface and the non-sliding surface of the samples were FT-IR.
The spectrum was measured. The result is shown in FIG. However, (a) of the figure shows the measurement result of the non-sliding surface, and (b) shows the measurement result of the sliding surface. From the figure, it can be seen that SiO2 (the white part in the photograph corresponds) is formed on the sliding surface.

【0012】図2は上記試料の摺動面をEPMAにより
さらに観察した結果を示すものであり、そのうち(a)
はSEM像であり、(b)はC−Kα像であり、(c)
はO−Kα像であり、(d)はSi−Kα像である。同
図(a)及び(c)より、摺動面に島状にてSiO2 が
生成されていることが分かる。また、同図(b)より、
SiO2 の部分で、母材の分解によりC−Kα線の強度
が弱くなっていることが分かる。
FIG. 2 shows the result of further observation of the sliding surface of the above sample by EPMA, in which (a)
Is an SEM image, (b) is a C-Kα image, (c)
Is an O-Kα image, and (d) is a Si-Kα image. It can be seen from FIGS. 11A and 11C that island-shaped SiO2 is produced on the sliding surface. Further, from FIG.
It can be seen that the strength of the C-Kα ray is weakened in the SiO2 portion due to the decomposition of the base material.

【0013】試験2 表1に示す5種類のセラミックスからなる試料について
以下の摩擦試験を行って、室温から400°Cの雰囲気
温度における摩擦係数を求めた。 1.試験方法 同種類のセラミックスからなる試料どうしを、カーボン
ブラックを供給しながら荷重をかけた状態で相対的に回
転させて摩擦し、このときの摩擦力をロードセルによっ
て測定した。上記カーボンブラックは、ベンゼンとエタ
ノールとを燃焼させることによって発生させたものであ
る。 2.試験条件 (1) 試験片荷重 53.9N (2) 滑り速度 0.1mm/sec (3) 雰囲気温度 室温〜400℃
Test 2 The following friction test was conducted on the samples consisting of the five types of ceramics shown in Table 1 to determine the friction coefficient at ambient temperature from room temperature to 400 ° C. 1. Test method Samples made of the same type of ceramic were frictionally rotated by relatively rotating while applying a load while supplying carbon black, and the frictional force at this time was measured by a load cell. The carbon black is generated by burning benzene and ethanol. 2. Test conditions (1) Test piece load 53.9N (2) Sliding speed 0.1mm / sec (3) Atmosphere temperature Room temperature to 400 ° C

【0014】[0014]

【表1】 上記摩擦試験の結果を図5に示す。図5より、アルミナ
系セラミックスについては、雰囲気温度による摩擦係数
の大きな変動は見られないが、非酸化物Si系セラミッ
クスについては、特に300°Cの温度領域で良好な潤
滑特性を示すことが分かる。また、SiCについての雰
囲気温度と比摩耗量との関係は図6に示す通りであり、
300°Cの温度領域で比摩耗量が少ないことが分か
る。
[Table 1] The results of the friction test are shown in FIG. From FIG. 5, it can be seen that the alumina-based ceramics do not show a large change in the friction coefficient depending on the ambient temperature, but the non-oxide Si-based ceramics show good lubricating characteristics particularly in the temperature range of 300 ° C. . The relationship between the ambient temperature and the specific wear amount of SiC is as shown in FIG.
It can be seen that the specific wear amount is small in the temperature range of 300 ° C.

【0015】以上により、非酸化物Si系セラミックス
の摺動面にSiO2 を形成し、その表面にカーボン系潤
をコーティングすれば、潤滑特性を改善できること
が明らかである。なお、この発明は、相対的に摺動する
二つの軸受部品の少なくとも一方が、非酸化物Si系セ
ラミックスで形成されていれば、滑り軸受を含めた全て
の軸受について適用することができる。また、カーボン
系潤滑としては、グラファイトやカーボンブラックの
他、ガラス状炭素繊維を例示することができる。
The [0015] above, the SiO2 was formed on the sliding surface of the non-oxide Si-based ceramics, if coating the carbon-based lubricant on the surface, it is clear that can improve the lubricating properties. The present invention can be applied to all bearings including sliding bearings, as long as at least one of the two relatively sliding bearing components is made of non-oxide Si ceramics. Examples of the carbon-based lubricant include graphite and carbon black, and glassy carbon fiber.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上のように、この発明の軸受によれ
ば、非酸化物Si系セラミックスからなる部品の摺動面
に、300°C近辺の高温下においてカーボン系潤滑
を供給しながら母材表面を摺動させることにより、同摺
動面にSi酸化膜を生成させた状態でカーボン系潤滑
をコーティングしているので、当該摺動面に対しカーボ
ン系潤滑を強固に密着させることができ、長期間に亘
って良好な潤滑状態を維持することができる。このた
め、軸受の長寿命化を達成することができるという特有
の効果を奏する。
As described above, according to the bearing of the present invention, the carbon-based lubricant is applied to the sliding surface of the component made of non-oxide Si-based ceramics at a high temperature around 300 ° C. by sliding the base material surface while supplying, since coating the carbon-based lubricant <br/> in a state to produce a Si oxide film on the sliding surface, the carbon-based to the sliding surface The lubricant can be firmly adhered, and a good lubrication state can be maintained for a long period of time. Therefore, there is a peculiar effect that the life of the bearing can be extended.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す転がり軸受の断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of a rolling bearing showing an embodiment of the present invention.

【図2】セラミックスの摺動面の組織写真であり、その
うち(a)はSEM像であり、(b)はC−Kα像であ
り、(c)はO−Kα像であり、(d)はSi−Kα像
である。
FIG. 2 is a photograph of a structure of a sliding surface of ceramics, in which (a) is a SEM image, (b) is a C-Kα image, (c) is an O-Kα image, and (d). Is a Si-Kα image.

【図3】セラミックスの摺動面の、FT−IRスペクト
ル測定結果を示すグラフ図であり、そのうち(a)が非
摺動面の測定結果であり、(b)が摺動面の測定結果で
ある。
FIG. 3 is a graph showing FT-IR spectrum measurement results of a sliding surface of ceramics, of which (a) is a non-sliding surface measurement result and (b) is a sliding surface measurement result. is there.

【図4】セラミックスの摺動面の組織写真であり、その
うち(a)はSEM像であり、(b)はC−Kα像であ
り、(c)はO−Kα像であり、(d)はSi−Kα像
である。
FIG. 4 is a microstructure photograph of a sliding surface of ceramics, in which (a) is a SEM image, (b) is a C-Kα image, (c) is an O-Kα image, and (d). Is a Si-Kα image.

【図5】雰囲気温度と摩擦係数との関係を示すグラフ図
である。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between ambient temperature and friction coefficient.

【図6】雰囲気温度と比摩耗量との関係を示すグラフ図
である。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between ambient temperature and specific wear amount.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 内輪(軌道輪) 2 外輪(軌道輪) 3 ボール(転動体) 4 Si酸化膜 5 グラファイト 1 Inner ring (race ring) 2 outer ring (race ring) 3 balls (rolling elements) 4 Si oxide film 5 graphite

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F16C 33/00 - 33/66 C04B 41/87 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) F16C 33/00-33/66 C04B 41/87

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】相対的に摺動する二つの軸受部品の少なく
とも一方が、非酸化物Si系セラミックスを母材として
形成されている軸受において、 上記非酸化物Si系セラミックスからなる軸受部品の摺
動面に、300°C近辺の高温下においてカーボン系潤
を供給しながら母材表面を摺動させることにより、
同摺動面にSi酸化膜を生成させた状態で前記カーボン
系潤滑剤をコーティングしたことを特徴とする軸受。
1. A bearing in which at least one of two relatively sliding bearing components is formed of a non-oxide Si-based ceramic as a base material, and a bearing component made of the non-oxide Si-based ceramic is slidable. the sliding surface, by sliding the base material surface while supplying a carbon-based lubricant at a high temperature of around 300 ° C,
A bearing, wherein the sliding surface is coated with the carbon-based lubricant in a state where a Si oxide film is formed.
【請求項2】上記相対的に摺動する二つの軸受部品が、
転がり軸受の軌道輪と転動体である請求項1記載の軸
受。
2. The two bearing parts which slide relative to each other,
The bearing according to claim 1, which is a bearing ring and a rolling element of a rolling bearing.
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