JP3417494B2 - 硝子基板の表面うねり検査方法及び装置 - Google Patents
硝子基板の表面うねり検査方法及び装置Info
- Publication number
- JP3417494B2 JP3417494B2 JP27839693A JP27839693A JP3417494B2 JP 3417494 B2 JP3417494 B2 JP 3417494B2 JP 27839693 A JP27839693 A JP 27839693A JP 27839693 A JP27839693 A JP 27839693A JP 3417494 B2 JP3417494 B2 JP 3417494B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- ultraviolet light
- reflected
- fluorescent screen
- waviness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Processing Or Creating Images (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置用基板と
して使用される硝子基板等の板状材の表面うねりを輝度
分布として求める板状材の表面うねり検査方法及び装置
に関する。
して使用される硝子基板等の板状材の表面うねりを輝度
分布として求める板状材の表面うねり検査方法及び装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置に使用される硝子基板は、
表面うねりを規定範囲内に抑える必要があり、出荷検査
工程に於いて表面うねりを検査している。表面うねりの
検査方法には、接触式表面あらさ計を用いて測定される
ものがあるが、触針によるキズの発生が懸念されるこ
と、測定時間が長いことから全数検査は不可能である。
一方、レーザー変位計を使用した非接触式表面あらさ計
を用いれば、キズの発生や測定時間が長いことが解決さ
れそうだが、非接触式表面あらさ計では、測定精度が接
触式表面あらさ計ほど高精度に得られない。
表面うねりを規定範囲内に抑える必要があり、出荷検査
工程に於いて表面うねりを検査している。表面うねりの
検査方法には、接触式表面あらさ計を用いて測定される
ものがあるが、触針によるキズの発生が懸念されるこ
と、測定時間が長いことから全数検査は不可能である。
一方、レーザー変位計を使用した非接触式表面あらさ計
を用いれば、キズの発生や測定時間が長いことが解決さ
れそうだが、非接触式表面あらさ計では、測定精度が接
触式表面あらさ計ほど高精度に得られない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、点光源から
の放射光又は平行光を硝子基板に斜め方向から照射した
場合、硝子基板の表面から反射された光には、硝子基板
の表面うねりに依存して強度ムラが発生することは知ら
れている。しかしながら、液晶表示装置用硝子基板は可
視光の一部が硝子基板の表面で反射され、その他の可視
光は硝子基板を透過して裏面でも一部反射される。従っ
て、硝子基板からの反射光には表面で反射された可視光
と裏面で反射された可視光とが含まれているので、硝子
基板の表面うねりを正確に検査することが困難であると
いう問題がある。
の放射光又は平行光を硝子基板に斜め方向から照射した
場合、硝子基板の表面から反射された光には、硝子基板
の表面うねりに依存して強度ムラが発生することは知ら
れている。しかしながら、液晶表示装置用硝子基板は可
視光の一部が硝子基板の表面で反射され、その他の可視
光は硝子基板を透過して裏面でも一部反射される。従っ
て、硝子基板からの反射光には表面で反射された可視光
と裏面で反射された可視光とが含まれているので、硝子
基板の表面うねりを正確に検査することが困難であると
いう問題がある。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みて成された
もので、硝子基板の表面のみのうねりを容易に検査する
ことができる板状材の表面うねり検査方法及び装置を提
供することを目的とする。
もので、硝子基板の表面のみのうねりを容易に検査する
ことができる板状材の表面うねり検査方法及び装置を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、硝子基板の表
面で反射されるように、紫外光のうち硝子基板の表面で
反射される波長の紫外光を前記硝子基板に投光し、前記
硝子基板の表面で反射された、前記紫外光のうち硝子基
板の表面で反射される波長の紫外光で蛍光スクリーン部
材の表面を照射して、前記蛍光スクリーン部材の表面又
は裏面上に前記硝子基板の表面うねりに対応する可視光
の輝度分布を表示させ、前記蛍光スクリーン部材の表面
又は裏面上に表示された前記可視光の輝度分布を撮像手
段で撮像して得られた輝度分布信号を画像処理して前記
硝子基板の表面うねりを求めることを特徴とする硝子基
板の表面うねり検査方法、及び、それを実施するための
装置である。
面で反射されるように、紫外光のうち硝子基板の表面で
反射される波長の紫外光を前記硝子基板に投光し、前記
硝子基板の表面で反射された、前記紫外光のうち硝子基
板の表面で反射される波長の紫外光で蛍光スクリーン部
材の表面を照射して、前記蛍光スクリーン部材の表面又
は裏面上に前記硝子基板の表面うねりに対応する可視光
の輝度分布を表示させ、前記蛍光スクリーン部材の表面
又は裏面上に表示された前記可視光の輝度分布を撮像手
段で撮像して得られた輝度分布信号を画像処理して前記
硝子基板の表面うねりを求めることを特徴とする硝子基
板の表面うねり検査方法、及び、それを実施するための
装置である。
【０００６】
【作用】本発明によれば、液晶表示装置に用いられる硝
子素材は一般に、紫外線に対して不透明であるため、硝
子基板に投光された紫外線の一部が硝子基板の表面のみ
で反射され、蛍光スクリーン部材に照射される。従っ
て、蛍光スクリーン部材の表面又は裏面上には、硝子基
板の表面のみのうねりに対応する可視光の輝度分布が表
示される。撮像手段は、蛍光スクリーン部材の表面又は
裏面上に表示された可視光の輝度分布を撮像する。画像
処理部は、撮像手段から得られた輝度分布信号を画像処
理して板状材の表面うねりを求める。
子素材は一般に、紫外線に対して不透明であるため、硝
子基板に投光された紫外線の一部が硝子基板の表面のみ
で反射され、蛍光スクリーン部材に照射される。従っ
て、蛍光スクリーン部材の表面又は裏面上には、硝子基
板の表面のみのうねりに対応する可視光の輝度分布が表
示される。撮像手段は、蛍光スクリーン部材の表面又は
裏面上に表示された可視光の輝度分布を撮像する。画像
処理部は、撮像手段から得られた輝度分布信号を画像処
理して板状材の表面うねりを求める。
【０００７】このように、紫外光を光源に用いること
で、硝子基板の場合では表面のみで反射された紫外光を
得ることができ、さらに、蛍光スクリーン部材を用いる
ことで可視光用の撮像手段で紫外線強度分布を撮像する
ことができる。
で、硝子基板の場合では表面のみで反射された紫外光を
得ることができ、さらに、蛍光スクリーン部材を用いる
ことで可視光用の撮像手段で紫外線強度分布を撮像する
ことができる。
【０００８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る板状材の
表面うねり検査方法及び装置の好ましい実施例を詳説す
る。図１は本発明に係る板状材の表面うねり検査装置の
全体図である。図１に示すように板状材の表面うねり検
査装置は紫外光投光手段１２、蛍光スクリーン部材１
４、カメラ（撮像手段）１６及び画像処理部１８を備え
ている。紫外光投光手段１２はケース１９を有してし
て、ケース１９の上端部には紫外線ランプ２０が収納さ
れている。紫外線ランプ２０の周囲には球面状の反射鏡
２２が設けられている。反射鏡２２の下方にはピンホー
ル２２Ａが開口されている。これにより、紫外線ランプ
２０から投光された紫外光２１Ａがピンホール２２Ａを
介して出射されるので、紫外光２１Ａは点光源から投光
された放射光の状態になる。
表面うねり検査方法及び装置の好ましい実施例を詳説す
る。図１は本発明に係る板状材の表面うねり検査装置の
全体図である。図１に示すように板状材の表面うねり検
査装置は紫外光投光手段１２、蛍光スクリーン部材１
４、カメラ（撮像手段）１６及び画像処理部１８を備え
ている。紫外光投光手段１２はケース１９を有してし
て、ケース１９の上端部には紫外線ランプ２０が収納さ
れている。紫外線ランプ２０の周囲には球面状の反射鏡
２２が設けられている。反射鏡２２の下方にはピンホー
ル２２Ａが開口されている。これにより、紫外線ランプ
２０から投光された紫外光２１Ａがピンホール２２Ａを
介して出射されるので、紫外光２１Ａは点光源から投光
された放射光の状態になる。
【０００９】ピンホール２２Ａの下方には紫外線波長選
択フィルタ２４Ａ、２４Ｂが配設されていて、紫外線波
長選択フィルタ２４Ａ、２４Ｂの下方には反射ミラー２
６が傾斜した状態で配設されている。紫外線波長選択フ
ィルタ２４Ａ、２４Ｂは、紫外光２１Ａに含まれている
短波長（約２５０ｎｍ）の紫外光２１Ｂを抽出する。紫
外線波長選択フィルタ２４Ａ、２４Ｂで抽出された紫外
光２１Ｂは、反射ミラー２６で全反射されてケース１９
の開口穴１９Ａから、ケース１９の左方向に射出され
る。そして、開口穴１９Ａから射出された紫外光２１Ｂ
は、後述する硝子基板２７を斜め方向から照射する。ケ
ース１９の左側には硝子受け部３２が配設されていて、
検査対象の硝子基板２７が水平に載置されている。そし
て、紫外光２１Ｂは硝子基板２７に一定の傾斜角度（約
１０度）で照射される（図２参照）。
択フィルタ２４Ａ、２４Ｂが配設されていて、紫外線波
長選択フィルタ２４Ａ、２４Ｂの下方には反射ミラー２
６が傾斜した状態で配設されている。紫外線波長選択フ
ィルタ２４Ａ、２４Ｂは、紫外光２１Ａに含まれている
短波長（約２５０ｎｍ）の紫外光２１Ｂを抽出する。紫
外線波長選択フィルタ２４Ａ、２４Ｂで抽出された紫外
光２１Ｂは、反射ミラー２６で全反射されてケース１９
の開口穴１９Ａから、ケース１９の左方向に射出され
る。そして、開口穴１９Ａから射出された紫外光２１Ｂ
は、後述する硝子基板２７を斜め方向から照射する。ケ
ース１９の左側には硝子受け部３２が配設されていて、
検査対象の硝子基板２７が水平に載置されている。そし
て、紫外光２１Ｂは硝子基板２７に一定の傾斜角度（約
１０度）で照射される（図２参照）。
【００１０】硝子受け部３２の左側にはガイドレール３
４が矢印Ａ−Ｂ方向に延長して配設されている。ガイド
レール３４には移動体３６が矢印Ａ−Ｂ方向に移動自在
に支持されていて、移動体３６の右端部には蛍光スクリ
ーン１４が垂直状態に設けられている。蛍光スクリーン
１４には蛍光性物質が、この例では膜状にコーティング
されていて、硝子基板２７の表面で反射された紫外光２
１Ｂの強度分布が蛍光スクリーン１４の表面に照射され
ると、蛍光スクリーン１４上に紫外光２１Ｂの強度分布
に対応する可視光の輝度分布が抽出される。尚、蛍光ス
クリーン１４は移動体３６を介してガイドレール３４に
沿って矢印Ａ−Ｂ方向に移動するので、硝子基板２７の
表面で反射された紫外光２１Ｂが、硝子基板２７の表面
うねりの特定波長・うねり高さに対応した強度分布をシ
グナル／ノイズ比（Ｓ／Ｎ比）良く、蛍光スクリーン１
４上に照射させることができる。
４が矢印Ａ−Ｂ方向に延長して配設されている。ガイド
レール３４には移動体３６が矢印Ａ−Ｂ方向に移動自在
に支持されていて、移動体３６の右端部には蛍光スクリ
ーン１４が垂直状態に設けられている。蛍光スクリーン
１４には蛍光性物質が、この例では膜状にコーティング
されていて、硝子基板２７の表面で反射された紫外光２
１Ｂの強度分布が蛍光スクリーン１４の表面に照射され
ると、蛍光スクリーン１４上に紫外光２１Ｂの強度分布
に対応する可視光の輝度分布が抽出される。尚、蛍光ス
クリーン１４は移動体３６を介してガイドレール３４に
沿って矢印Ａ−Ｂ方向に移動するので、硝子基板２７の
表面で反射された紫外光２１Ｂが、硝子基板２７の表面
うねりの特定波長・うねり高さに対応した強度分布をシ
グナル／ノイズ比（Ｓ／Ｎ比）良く、蛍光スクリーン１
４上に照射させることができる。
【００１１】さらに、移動体３６の左端部にはカメラ１
６が設けられている。カメラ１６は蛍光スクリーン１４
上に表示されている可視光の輝度をセンシングし、蛍光
スクリーン１４の輝度を光電変換した信号を画像処理部
１８に伝達する。このように、蛍光スクリーン１４で紫
外光から可視光に変換された輝度分布をセンシングする
ので通常の可視光用のカメラが使用できる。従って、紫
外光用のカメラ及びレンズを使用する場合より低コスト
で表面うねり検査装置を提供することができる。画像処
理部１８はカメラ１６から伝達された信号に基づいて、
蛍光スクリーン１４上の輝度分布に対応する蛍光強度画
像３８（図３参照）を求め、蛍光強度画像のデータ列を
測定データとして記憶する。
６が設けられている。カメラ１６は蛍光スクリーン１４
上に表示されている可視光の輝度をセンシングし、蛍光
スクリーン１４の輝度を光電変換した信号を画像処理部
１８に伝達する。このように、蛍光スクリーン１４で紫
外光から可視光に変換された輝度分布をセンシングする
ので通常の可視光用のカメラが使用できる。従って、紫
外光用のカメラ及びレンズを使用する場合より低コスト
で表面うねり検査装置を提供することができる。画像処
理部１８はカメラ１６から伝達された信号に基づいて、
蛍光スクリーン１４上の輝度分布に対応する蛍光強度画
像３８（図３参照）を求め、蛍光強度画像のデータ列を
測定データとして記憶する。
【００１２】ここで、硝子基板２７の表面うねりの特性
について説明する。図２に示すように硝子基板２７の表
面うねりは、Ｙ軸方向に一定のうねり長さＳで直線状の
縞模様に形成される。尚、図２上でＨは硝子基板２７の
表面うねり高さを示す。このような表面うねりの特性を
備えた硝子基板２７の表面を、上述したように紫外光２
１Ｂで矢印方向から照射して、表面で反射された紫外光
２１Ｂで蛍光スクリーン１４の表面を照射する。
について説明する。図２に示すように硝子基板２７の表
面うねりは、Ｙ軸方向に一定のうねり長さＳで直線状の
縞模様に形成される。尚、図２上でＨは硝子基板２７の
表面うねり高さを示す。このような表面うねりの特性を
備えた硝子基板２７の表面を、上述したように紫外光２
１Ｂで矢印方向から照射して、表面で反射された紫外光
２１Ｂで蛍光スクリーン１４の表面を照射する。
【００１３】従って、蛍光スクリーン１４の表面上には
硝子基板２７の表面うねりに対応する紫外光２１Ｂによ
る強度分布が表示され、蛍光スクリーン１４の表面又は
裏面上には硝子基板２７の表面うねりに対応する可視光
による輝度分布が表示される（図３参照）。図３上で
「実線」は輝度の高いラインを示し、「破線」は輝度の
低いラインを示していて、輝度の高いラインと低いライ
ンとが、硝子基板２７の表面うねりに対応して一定のう
ねり長さＳで表示される。すなわち、蛍光スクリーン１
４の表面又は裏面上には、可視光による輝度変化周期及
び輝度変化量が表示されていて、硝子基板２７の表面う
ねり長さＳと蛍光スクリーン１４上の輝度変化周期とに
は強い相関があり、さらに、硝子基板２７の表面うねり
高さＨと蛍光スクリーン１４上の輝度変化量とには強い
相関がある。
硝子基板２７の表面うねりに対応する紫外光２１Ｂによ
る強度分布が表示され、蛍光スクリーン１４の表面又は
裏面上には硝子基板２７の表面うねりに対応する可視光
による輝度分布が表示される（図３参照）。図３上で
「実線」は輝度の高いラインを示し、「破線」は輝度の
低いラインを示していて、輝度の高いラインと低いライ
ンとが、硝子基板２７の表面うねりに対応して一定のう
ねり長さＳで表示される。すなわち、蛍光スクリーン１
４の表面又は裏面上には、可視光による輝度変化周期及
び輝度変化量が表示されていて、硝子基板２７の表面う
ねり長さＳと蛍光スクリーン１４上の輝度変化周期とに
は強い相関があり、さらに、硝子基板２７の表面うねり
高さＨと蛍光スクリーン１４上の輝度変化量とには強い
相関がある。
【００１４】ところで、画像処理部１８は蛍光強度画像
３８のＳ／Ｎ比を上げるために加算処理をおこなう。加
算処理の一例として、画像処理部１８は蛍光強度画像３
８を例えば４分割して、分割された画像３８Ａ、画像３
８Ｂ、画像３８Ｃ、画像３８Ｄ（図５参照）の各画像の
データ列を横加算（Ｘ方向に加算）する。これにより、
蛍光強度画像３８のデータ列のＳ／Ｎ比を上げることが
できる。尚、この加算処理では蛍光強度画像３８を４分
割したが、４分割以外に分割することも可能であり、Ｓ
／Ｎ比を上げることを考慮すると４分割〜８分割の範囲
が最適である。
３８のＳ／Ｎ比を上げるために加算処理をおこなう。加
算処理の一例として、画像処理部１８は蛍光強度画像３
８を例えば４分割して、分割された画像３８Ａ、画像３
８Ｂ、画像３８Ｃ、画像３８Ｄ（図５参照）の各画像の
データ列を横加算（Ｘ方向に加算）する。これにより、
蛍光強度画像３８のデータ列のＳ／Ｎ比を上げることが
できる。尚、この加算処理では蛍光強度画像３８を４分
割したが、４分割以外に分割することも可能であり、Ｓ
／Ｎ比を上げることを考慮すると４分割〜８分割の範囲
が最適である。
【００１５】また、画像処理部１８は、横加算したデー
タ列に対してバンドパスフィルタ処理を行う。そして、
画像処理部１８はバンドパスフィルタ処理されたデータ
列に基づいて、輝度変化周期及び輝度変化量を求める。
このように、画像処理部１８で輝度変化周期及び輝度変
化量が求められるので、輝度変化周期及び輝度変化量に
基づいて、硝子基板２７の表面うねり長さＳ及び表面う
ねり高さＨを推定することができる。
タ列に対してバンドパスフィルタ処理を行う。そして、
画像処理部１８はバンドパスフィルタ処理されたデータ
列に基づいて、輝度変化周期及び輝度変化量を求める。
このように、画像処理部１８で輝度変化周期及び輝度変
化量が求められるので、輝度変化周期及び輝度変化量に
基づいて、硝子基板２７の表面うねり長さＳ及び表面う
ねり高さＨを推定することができる。
【００１６】前記の如く構成された本発明に係る板状材
の表面うねり検査装置の作用を説明する。先ず、硝子受
け部３２に硝子基板２７を載置して、次に、紫外線ラン
プ２０から投光された紫外光２１Ａをピンホール２２Ａ
を介して射出する。ピンホール２２Ａから射出された紫
外光２１Ａは、紫外線波長選択フィルタ２４Ａ、２４Ｂ
で、紫外光２１Ａに含まれている短波長（約２５０ｎ
ｍ）の紫外光２１Ｂが抽出される。抽出された紫外光２
１Ｂは反射ミラー２６で全反射されてケース１９の開口
穴１９Ａから、ケース１９の左方向に射出される。そし
て、開口穴１９Ａから射出された紫外光２１Ｂは、硝子
基板２７を略１０度の傾斜角で照射する。
の表面うねり検査装置の作用を説明する。先ず、硝子受
け部３２に硝子基板２７を載置して、次に、紫外線ラン
プ２０から投光された紫外光２１Ａをピンホール２２Ａ
を介して射出する。ピンホール２２Ａから射出された紫
外光２１Ａは、紫外線波長選択フィルタ２４Ａ、２４Ｂ
で、紫外光２１Ａに含まれている短波長（約２５０ｎ
ｍ）の紫外光２１Ｂが抽出される。抽出された紫外光２
１Ｂは反射ミラー２６で全反射されてケース１９の開口
穴１９Ａから、ケース１９の左方向に射出される。そし
て、開口穴１９Ａから射出された紫外光２１Ｂは、硝子
基板２７を略１０度の傾斜角で照射する。
【００１７】硝子基板２７に照射した紫外光２１Ｂは硝
子基板２７の表面で反射されて、蛍光スクリーン１４の
表面を照射する。従って、蛍光スクリーン１４の表面に
は、紫外光２１Ｂで硝子基板２７の表面うねりに対応す
る強度分布が表示され、蛍光スクリーン１４の表面又は
裏面には可視光による輝度分布が表示される。この状態
で、蛍光スクリーン１４の表面又は裏面をカメラ１６で
センシングして、蛍光スクリーン１４上の輝度分布に対
応する蛍光強度画像３８を求め、蛍光強度画像３８から
求められた輝度分布を測定データとして画像処理部１８
に記憶する。尚、画像処理部１８には、高平坦度な表面
を備えたサンプル用板硝子の輝度分布が、上述した工程
で求められてリファレンスデータとして記憶されてい
る。
子基板２７の表面で反射されて、蛍光スクリーン１４の
表面を照射する。従って、蛍光スクリーン１４の表面に
は、紫外光２１Ｂで硝子基板２７の表面うねりに対応す
る強度分布が表示され、蛍光スクリーン１４の表面又は
裏面には可視光による輝度分布が表示される。この状態
で、蛍光スクリーン１４の表面又は裏面をカメラ１６で
センシングして、蛍光スクリーン１４上の輝度分布に対
応する蛍光強度画像３８を求め、蛍光強度画像３８から
求められた輝度分布を測定データとして画像処理部１８
に記憶する。尚、画像処理部１８には、高平坦度な表面
を備えたサンプル用板硝子の輝度分布が、上述した工程
で求められてリファレンスデータとして記憶されてい
る。
【００１８】次に、画像処理部１８は測定データからリ
ファレンスデータを減算して修正データを求め、求めら
れた修正データを記憶する。次に、画像処理部１８は蛍
光強度画像３８を、画像３８Ａ、画像３８Ｂ、画像３８
Ｃ、画像３８Ｄに４分割して、各々の画像を横加算し
て、Ｓ／Ｎ比を上げる。次いで、画像処理部１８は、横
加算したデータをバンドパスフィルタにかけて輝度変化
周期を求め、さらに、画像処理部１８は横加算したデー
タに基づいて輝度変化量を求める。そして、求められた
輝度変化周期及び輝度変化量に基づいて、硝子基板２７
の表面うねり長さＳ及び表面うねり高さＨを推定し、検
査した硝子基板２７の表面うねりが規定値内に入ってい
るか否かを判定する。
ファレンスデータを減算して修正データを求め、求めら
れた修正データを記憶する。次に、画像処理部１８は蛍
光強度画像３８を、画像３８Ａ、画像３８Ｂ、画像３８
Ｃ、画像３８Ｄに４分割して、各々の画像を横加算し
て、Ｓ／Ｎ比を上げる。次いで、画像処理部１８は、横
加算したデータをバンドパスフィルタにかけて輝度変化
周期を求め、さらに、画像処理部１８は横加算したデー
タに基づいて輝度変化量を求める。そして、求められた
輝度変化周期及び輝度変化量に基づいて、硝子基板２７
の表面うねり長さＳ及び表面うねり高さＨを推定し、検
査した硝子基板２７の表面うねりが規定値内に入ってい
るか否かを判定する。
【００１９】前記実施例では蛍光強度画像３８のＳ／Ｎ
比を上げるために加算処理を採用した場合について説明
したが、これに限らず、微分処理等のその他の処理でＳ
／Ｎ比を上げてもよい。尚、微分処理の場合、蛍光強度
画像３８をＹ方向に微分して輝度の変化点が山になるよ
うな輝度分布曲線３８Ａ（図３参照）を求め、求められ
た輝度分布曲線３８ＡをＸ方向に加算して、Ｓ／Ｎ比を
上げる。
比を上げるために加算処理を採用した場合について説明
したが、これに限らず、微分処理等のその他の処理でＳ
／Ｎ比を上げてもよい。尚、微分処理の場合、蛍光強度
画像３８をＹ方向に微分して輝度の変化点が山になるよ
うな輝度分布曲線３８Ａ（図３参照）を求め、求められ
た輝度分布曲線３８ＡをＸ方向に加算して、Ｓ／Ｎ比を
上げる。
【００２０】前記実施例では紫外光２１Ａを点光源から
投光された放射光とする場合について説明したが、これ
に限らず、投光された紫外光を平行光としても同様な効
果を奏する。
投光された放射光とする場合について説明したが、これ
に限らず、投光された紫外光を平行光としても同様な効
果を奏する。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る板状材
の表面うねり検査方法及び装置によれば、紫外光を板状
材の表面で反射させて、反射光を蛍光スクリーン部材に
照射させることにより、板状材が板硝子の場合でも紫外
光が板硝子の表面のみで反射された紫外光を得ることが
でき、さらに、可視光用の撮像手段で蛍光スクリーン部
材上の輝度分布を撮像することができる。従って、板状
材の表面うねりの検査を容易に行うことができ、さら
に、低コストの表面うねり検査装置を提供することがで
きる。
の表面うねり検査方法及び装置によれば、紫外光を板状
材の表面で反射させて、反射光を蛍光スクリーン部材に
照射させることにより、板状材が板硝子の場合でも紫外
光が板硝子の表面のみで反射された紫外光を得ることが
でき、さらに、可視光用の撮像手段で蛍光スクリーン部
材上の輝度分布を撮像することができる。従って、板状
材の表面うねりの検査を容易に行うことができ、さら
に、低コストの表面うねり検査装置を提供することがで
きる。
【図１】本発明に係る板状材の表面うねり検査装置の全
体図
体図
【図２】本発明に係る板状材の表面うねり検査装置で検
査される硝子基板の説明図
査される硝子基板の説明図
【図３】本発明に係る板状材の切断装置の表面うねり検
査装置に使用される蛍光スクリーン上の輝度分布を説明
した説明図
査装置に使用される蛍光スクリーン上の輝度分布を説明
した説明図
【図４】画像処理部で求められた蛍光強度画像の正面図
【図５】画像処理部で求められた蛍光強度画像を４分割
した状態を説明した図
した状態を説明した図
１０…板状材の表面うねり検査装置
１２…紫外光投光手段
１４…蛍光スクリーン（蛍光スクリーン部材）
１６…カメラ（撮像手段）
１８…画像処理部
２１Ａ、２１Ｂ…紫外光
２７…硝子基板（板状材）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 吉田 理
神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150番地
旭硝子株式会社 中央研究所内
(56)参考文献 特開 平５−256630（ＪＰ，Ａ)
特開 昭52−82260（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−58536（ＪＰ，Ａ)
実開 昭57−61549（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 11/00 - 11/30
G01N 21/88
Claims (2)
- 【請求項１】 硝子基板の表面で反射されるように、紫
外光のうち硝子基板の表面で反射される波長の紫外光を
前記硝子基板に投光し、 前記硝子基板の表面で反射された、前記紫外光のうち硝
子基板の表面で反射される波長の紫外光で蛍光スクリー
ン部材の表面を照射して、前記蛍光スクリーン部材の表
面又は裏面上に前記硝子基板の表面うねりに対応する可
視光の輝度分布を表示させ、 前記蛍光スクリーン部材の表面又は裏面上に表示された
前記可視光の輝度分布を撮像手段で撮像して得られた輝
度分布信号を画像処理して前記硝子基板の表面うねりを
求めることを特徴とする硝子基板の表面うねり検査方
法。 - 【請求項２】 硝子基板の表面で反射されるように、紫
外光のうち硝子基板の表面で反射される波長の紫外光を
前記硝子基板に投光する紫外光投光手段と、 前記硝子基板の表面で反射された、前記紫外光のうち硝
子基板の表面で反射される波長の紫外光で表面が照射さ
れるように配設され、表面又は裏面上に前記硝子基板の
表面うねりに対応する可視光の輝度分布が表示される蛍
光スクリーン部材と、 前記蛍光スクリーン部材上に表示された前記可視光の輝
度分布を撮像する撮像手段と、 該撮像手段から得られた輝度分布信号を画像処理して前
記硝子基板の表面うねりを求める画像処理部と、 を備えたことを特徴とする硝子基板の表面うねり検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27839693A JP3417494B2 (ja) | 1993-11-08 | 1993-11-08 | 硝子基板の表面うねり検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27839693A JP3417494B2 (ja) | 1993-11-08 | 1993-11-08 | 硝子基板の表面うねり検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128032A JPH07128032A (ja) | 1995-05-19 |
| JP3417494B2 true JP3417494B2 (ja) | 2003-06-16 |
Family
ID=17596764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27839693A Expired - Fee Related JP3417494B2 (ja) | 1993-11-08 | 1993-11-08 | 硝子基板の表面うねり検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3417494B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3544323B2 (ja) | 1998-08-31 | 2004-07-21 | セントラル硝子株式会社 | 透明板の表面粗さ検査方法および装置 |
| JP2007271410A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラム |
| NL1036125A1 (nl) | 2007-11-08 | 2009-05-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and method. |
| KR100953204B1 (ko) * | 2008-05-19 | 2010-04-15 | (주)쎄미시스코 | 기판의 품질 검사장치 및 그 검사방법 |
| KR101458795B1 (ko) * | 2008-06-04 | 2014-11-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 우네리 측정 장비 및 측정 방법 |
| KR101458796B1 (ko) * | 2008-06-04 | 2014-11-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 우네리 측정 장비 및 측정 방법 |
| EP2578990B1 (en) | 2010-06-07 | 2022-07-20 | AGC Inc. | Shape measuring device, shape measuring method, and method for manufacturing glass plate |
| EP2584306B1 (en) | 2010-06-15 | 2019-01-16 | AGC Inc. | Shape measuring device, shape measuring method, and glass plate manufacturing method |
| KR102690059B1 (ko) * | 2016-05-31 | 2024-07-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 타일형 표시장치의 외관 검사장치 및 그 검사방법 |
-
1993
- 1993-11-08 JP JP27839693A patent/JP3417494B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07128032A (ja) | 1995-05-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100399507B1 (ko) | 반사표면코팅부에있는결함을인식평가하는방법 | |
| US5790247A (en) | Technique for determining defect positions in three dimensions in a transparent structure | |
| TWI285737B (en) | Inspection of transparent substrates for defects | |
| JP3258385B2 (ja) | 光学式基板検査装置 | |
| JP5472096B2 (ja) | サンプルの平面の反射表面を検査する撮像光学検査装置及び方法 | |
| JPH03267745A (ja) | 表面性状検出方法 | |
| WO2006029536A1 (en) | Optical inspection of flat media using direct image technology | |
| WO1997013140A9 (en) | Technique for determining defect positions in three dimensions in a transparent structure | |
| JP3653591B2 (ja) | シュリーレン分析方法及び装置 | |
| JP3417494B2 (ja) | 硝子基板の表面うねり検査方法及び装置 | |
| JPS63261144A (ja) | 光学的ウエブモニター装置 | |
| EP0984245A2 (en) | Method of and apparatus for inspecting surface irregularities of transparent plate | |
| JP4104924B2 (ja) | 光学的測定方法およびその装置 | |
| JP3770294B2 (ja) | フィルム評価方法およびフィルム評価装置 | |
| TW200303410A (en) | Method and apparatus for measuring a line width | |
| JPH07209199A (ja) | 平面板状被検体の欠陥検出方法とその装置 | |
| JPH0868767A (ja) | 壜胴部の欠陥検査装置 | |
| JP2006003168A (ja) | 表面形状の測定方法およびその装置 | |
| JP4657700B2 (ja) | 測定装置の校正方法 | |
| CN116297337B (zh) | 一种使用暗场光学成像技术判别二维材料层数的方法 | |
| JP3385471B2 (ja) | 表面分析法 | |
| JPS61217708A (ja) | 表面性状測定方法および装置 | |
| JPH01313743A (ja) | 着色周期性パターンの検査方法 | |
| JPH10293103A (ja) | 光学測定方法および装置およびパターン付き基板用光学測定装置 | |
| JPS61294818A (ja) | フオトマスク用ブランクの欠陥検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |