JP3412638B2 - レンズの保持具 - Google Patents
レンズの保持具Info
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- JP3412638B2 JP3412638B2 JP00653193A JP653193A JP3412638B2 JP 3412638 B2 JP3412638 B2 JP 3412638B2 JP 00653193 A JP00653193 A JP 00653193A JP 653193 A JP653193 A JP 653193A JP 3412638 B2 JP3412638 B2 JP 3412638B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレンズの保持具に関する
ものであり、特にスキャン露光方式の投影露光方式に用
いられる光学系の構成に含まれる半円状のレンズの保持
具に関するものである。
ものであり、特にスキャン露光方式の投影露光方式に用
いられる光学系の構成に含まれる半円状のレンズの保持
具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より一般的に用いられているレンズ
は、その外周が円状のものであった。それ故、図５に断
面図を示すように、レンズ１２の外径に見合った径の環
状の座を有するレンズ枠１３に対してレンズを装填し、
押さえ環１４をレンズ枠１３に対してねじ込む等してレ
ンズ１２を保持していた。
は、その外周が円状のものであった。それ故、図５に断
面図を示すように、レンズ１２の外径に見合った径の環
状の座を有するレンズ枠１３に対してレンズを装填し、
押さえ環１４をレンズ枠１３に対してねじ込む等してレ
ンズ１２を保持していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、露光装
置の光学系の仕様によっては、例えば図６に示すように
入射光ＩＬの光路と反射鏡１０で反射した反射光ＲＬの
光路が互いに近接する場合が生じてくる。この場合、レ
ンズ１１は入射光の光路のみに必要なレンズであるとす
ると、従来の円形のレンズでは反射光の光路に悪影響を
及ぼすことになる。従ってこの場合には、図３に示すよ
うな半円状のレンズ、即ち外周の一部のみを円弧状に形
成したレンズを使用して、図６の反射光ＲＬの光路とレ
ンズ１１とが干渉しないようにすることが考えられる。
置の光学系の仕様によっては、例えば図６に示すように
入射光ＩＬの光路と反射鏡１０で反射した反射光ＲＬの
光路が互いに近接する場合が生じてくる。この場合、レ
ンズ１１は入射光の光路のみに必要なレンズであるとす
ると、従来の円形のレンズでは反射光の光路に悪影響を
及ぼすことになる。従ってこの場合には、図３に示すよ
うな半円状のレンズ、即ち外周の一部のみを円弧状に形
成したレンズを使用して、図６の反射光ＲＬの光路とレ
ンズ１１とが干渉しないようにすることが考えられる。
【０００４】ところで、図３に示す半円状レンズは、図
５に示すような従来のレンズと同様の保持方法を採るこ
とはできない。これは、半円状レンズがその全側面にわ
たって円周を有していないため、押さえ環１４をねじ込
むことによって破線で示す円周の中心方向にレンズが偏
心してしまうためである。また、半円状レンズのカット
された部分は光束が通過するためのものであり、円弧状
に形成された外周部以外に保持具等を設けることができ
ないといった問題点もある。
５に示すような従来のレンズと同様の保持方法を採るこ
とはできない。これは、半円状レンズがその全側面にわ
たって円周を有していないため、押さえ環１４をねじ込
むことによって破線で示す円周の中心方向にレンズが偏
心してしまうためである。また、半円状レンズのカット
された部分は光束が通過するためのものであり、円弧状
に形成された外周部以外に保持具等を設けることができ
ないといった問題点もある。
【０００５】さらに、高精度が要求される露光装置の光
学系においては、光学系を構成するレンズのそれぞれに
対して高い位置安定性とレンズ面精度が要求される。位
置安定性を高くするためには強くレンズを保持する必要
がある反面、レンズ面精度を高くするためにはレンズ面
に応力がかからないような保持力でレンズを保持する必
要があるといった相反する問題があった。
学系においては、光学系を構成するレンズのそれぞれに
対して高い位置安定性とレンズ面精度が要求される。位
置安定性を高くするためには強くレンズを保持する必要
がある反面、レンズ面精度を高くするためにはレンズ面
に応力がかからないような保持力でレンズを保持する必
要があるといった相反する問題があった。
【０００６】本発明は、上記問題点に鑑み、レンズに不
必要な応力を与えないレンズの保持具を提供することを
目的とする。
必要な応力を与えないレンズの保持具を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記問題点解決のため請
求項１に記載の本発明では、円形レンズ（１）を保持す
るレンズ保持具において、前記円形レンズの外周部は、
該レンズの厚さ方向に互いに平行な面（１ａ、１ｂ）を
有し、前記互いに平行な面の一方（１ｂ）に面で接触
し、前記円形レンズ（１）を支持する３つの支持部材
（２ａ）と、前記互いに平行な面の他方（１ａ）側に配
置され、前記円形レンズ（１）を前記３つの支持部材
（２ａ）に押しつける弾性部材（４）と、前記弾性部材
（４）と前記互いに平行な面の他方（１ａ）との間に配
置され、かつ該互いに平行な面の他方（１ａ）に面接触
する平面を備えるレンズ押さえ部材（５）とを備えるこ
とした。
求項１に記載の本発明では、円形レンズ（１）を保持す
るレンズ保持具において、前記円形レンズの外周部は、
該レンズの厚さ方向に互いに平行な面（１ａ、１ｂ）を
有し、前記互いに平行な面の一方（１ｂ）に面で接触
し、前記円形レンズ（１）を支持する３つの支持部材
（２ａ）と、前記互いに平行な面の他方（１ａ）側に配
置され、前記円形レンズ（１）を前記３つの支持部材
（２ａ）に押しつける弾性部材（４）と、前記弾性部材
（４）と前記互いに平行な面の他方（１ａ）との間に配
置され、かつ該互いに平行な面の他方（１ａ）に面接触
する平面を備えるレンズ押さえ部材（５）とを備えるこ
とした。
【０００８】
【作用】本発明では、円形レンズの外周部に、レンズの
厚さ方向に互いに平行な面を形成し、この平行な面を、
３つの支持部材とレンズ押さえ部材とで両側から挟み、
且つ弾性部材で３つの支持部材のそれぞれに対して、レ
ンズ押さえ部材を付勢する構成としたため、レンズの面
に不必要な応力を加えることなく、且つ確実にレンズを
保持することができる。この際、レンズ押さえ部材の平
面の部分でレンズを保持するため、レンズに対する接触
面積が常に一定となり、レンズを締め付ける力が分散す
る。
厚さ方向に互いに平行な面を形成し、この平行な面を、
３つの支持部材とレンズ押さえ部材とで両側から挟み、
且つ弾性部材で３つの支持部材のそれぞれに対して、レ
ンズ押さえ部材を付勢する構成としたため、レンズの面
に不必要な応力を加えることなく、且つ確実にレンズを
保持することができる。この際、レンズ押さえ部材の平
面の部分でレンズを保持するため、レンズに対する接触
面積が常に一定となり、レンズを締め付ける力が分散す
る。
【０００９】また、円形レンズの外周部に、円形レンズ
の厚さ方向に互いに平行な面を形成し、この平行な面を
両側から挟むように保持する構成としたため、レンズの
面に不必要な応力を加えることなく、且つ確実にレンズ
を保持することができる。
の厚さ方向に互いに平行な面を形成し、この平行な面を
両側から挟むように保持する構成としたため、レンズの
面に不必要な応力を加えることなく、且つ確実にレンズ
を保持することができる。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の実施例によるレンズの保持
具の構成を表す図であり、（ａ）は平面図を、（ｂ）は
側面図をそれぞれ表す。レンズ１は、その周辺部を支持
する環状のレンズ枠２と、同じく周辺部をレンズ枠２に
対して付勢する押さえ金具３とによって保持されてい
る。またレンズ１は、押さえ金具３とレンズ枠２との間
に平行に挟むことができるように、その周辺部にレンズ
の厚さ方向に互いに平行な面１ａ，１ｂを形成してあ
る。レンズ枠２は、この平行な面１ａ，１ｂを有するレ
ンズの周辺部を支持するために３つの座２ａを備えてい
る。これら３つの座２ａは、水平に設置したときの自重
による撓みを等分割させるため、図示のようにレンズの
円弧状の外周に相当する位置にほぼ等間隔で配置されて
いる。押さえ金具３は、３つの座２ａに対応する位置に
配置され、座２ａとともに平行な面１ａ，１ｂを挟み込
んで支持する。また、この押さえ金具３は３ヶ所とも同
一のものが使用されているが、通常の円形レンズの保持
具と異なり押さえ金具３が独立しているので、レンズの
直径の大小に係わらず使用できる。
具の構成を表す図であり、（ａ）は平面図を、（ｂ）は
側面図をそれぞれ表す。レンズ１は、その周辺部を支持
する環状のレンズ枠２と、同じく周辺部をレンズ枠２に
対して付勢する押さえ金具３とによって保持されてい
る。またレンズ１は、押さえ金具３とレンズ枠２との間
に平行に挟むことができるように、その周辺部にレンズ
の厚さ方向に互いに平行な面１ａ，１ｂを形成してあ
る。レンズ枠２は、この平行な面１ａ，１ｂを有するレ
ンズの周辺部を支持するために３つの座２ａを備えてい
る。これら３つの座２ａは、水平に設置したときの自重
による撓みを等分割させるため、図示のようにレンズの
円弧状の外周に相当する位置にほぼ等間隔で配置されて
いる。押さえ金具３は、３つの座２ａに対応する位置に
配置され、座２ａとともに平行な面１ａ，１ｂを挟み込
んで支持する。また、この押さえ金具３は３ヶ所とも同
一のものが使用されているが、通常の円形レンズの保持
具と異なり押さえ金具３が独立しているので、レンズの
直径の大小に係わらず使用できる。
【００１１】図２はレンズを挟み込む押さえ金具と座の
構成を示す詳細図である。（ａ）は平面図を、（ｂ）は
側面図をそれぞれ表す。押さえ金具３は、押さえ板４、
ピボット金具５、２点受け板６、ボルト７等で構成され
ている。この押さえ板４は長辺と短辺とを交互に有する
六角形状となっており、中心をボルト７によってレンズ
枠２に対して取り付けてある。押さえ板４とレンズ枠２
との間には２点受け板６が設けられ、押さえ板４の３つ
の短辺部ｃ，ｄ，ｅのうち２辺を支持している。また残
りの短辺部ｃはレンズ１との間に配置されたピボット金
具５によって支持されている。これら３つの短辺部ｃ，
ｄ，ｅはそれぞれ同じ長さ、等分割の幾何学位置にある
ため、ボルト７の軸力の１／３ずつをそれぞれ受けるこ
とになる。また、押さえ板４は弾性部材であり、この弾
性力によってレンズ１を座２ａに対して付勢している。
構成を示す詳細図である。（ａ）は平面図を、（ｂ）は
側面図をそれぞれ表す。押さえ金具３は、押さえ板４、
ピボット金具５、２点受け板６、ボルト７等で構成され
ている。この押さえ板４は長辺と短辺とを交互に有する
六角形状となっており、中心をボルト７によってレンズ
枠２に対して取り付けてある。押さえ板４とレンズ枠２
との間には２点受け板６が設けられ、押さえ板４の３つ
の短辺部ｃ，ｄ，ｅのうち２辺を支持している。また残
りの短辺部ｃはレンズ１との間に配置されたピボット金
具５によって支持されている。これら３つの短辺部ｃ，
ｄ，ｅはそれぞれ同じ長さ、等分割の幾何学位置にある
ため、ボルト７の軸力の１／３ずつをそれぞれ受けるこ
とになる。また、押さえ板４は弾性部材であり、この弾
性力によってレンズ１を座２ａに対して付勢している。
【００１２】一般に、ボルトで直接レンズを締め付ける
ことは応力集中になり、レンズを破壊する原因となり得
る。本発明では、押さえ板の形状を上述のようにしたこ
とにより、レンズにかかる力をボルトで直接締め付ける
場合の１／３にすることができる。尚、ピボット金具５
は、レンズ１の平行な面１ａに接触する面を平面に、短
辺部ｃに接触する面を凸状の円筒面に形成してあり、押
さえ板４の短辺部ｃはピボット金具に対して線接触する
とともに、円筒面の範囲で回転できるようになってい
る。このピボット金具５と弾性部材である押さえ板４と
を用いたことにより、レンズ周辺部に形成した平行な面
１ａ，１ｂが図４に示すようなレンズの円周方向や半径
方向にうねりθa ，θb を持っている場合でも、確実に
ピボット金具５と平行な面１ａ，１ｂとを接触させるこ
とができる。また、２点受け板６は２つの短辺部ｄ，ｅ
のみが接触するよう座が加工されている。押さえ板４は
２点受け板６と共にレンズ枠２上で動かないように支持
されている。
ことは応力集中になり、レンズを破壊する原因となり得
る。本発明では、押さえ板の形状を上述のようにしたこ
とにより、レンズにかかる力をボルトで直接締め付ける
場合の１／３にすることができる。尚、ピボット金具５
は、レンズ１の平行な面１ａに接触する面を平面に、短
辺部ｃに接触する面を凸状の円筒面に形成してあり、押
さえ板４の短辺部ｃはピボット金具に対して線接触する
とともに、円筒面の範囲で回転できるようになってい
る。このピボット金具５と弾性部材である押さえ板４と
を用いたことにより、レンズ周辺部に形成した平行な面
１ａ，１ｂが図４に示すようなレンズの円周方向や半径
方向にうねりθa ，θb を持っている場合でも、確実に
ピボット金具５と平行な面１ａ，１ｂとを接触させるこ
とができる。また、２点受け板６は２つの短辺部ｄ，ｅ
のみが接触するよう座が加工されている。押さえ板４は
２点受け板６と共にレンズ枠２上で動かないように支持
されている。
【００１３】本実施例では、保持具によって保持するレ
ンズが半円状のレンズである場合についてのみ述べた
が、これに限定されず、従来の円形のレンズを保持する
場合に用いても何ら問題ない。
ンズが半円状のレンズである場合についてのみ述べた
が、これに限定されず、従来の円形のレンズを保持する
場合に用いても何ら問題ない。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、レンズの
自重による撓みを等分割することができ、かつレンズの
面精度を悪化させることなく、確実にレンズを保持する
ことのできる保持具を得ることができる。
自重による撓みを等分割することができ、かつレンズの
面精度を悪化させることなく、確実にレンズを保持する
ことのできる保持具を得ることができる。
【図１】本発明の実施例によるレンズの保持具の構成を
表す図
表す図
【図２】レンズを挟み込む押さえ金具と座の構成を示す
詳細図
詳細図
【図３】半円状レンズの例を示す図
【図４】本発明の実施例に用いられるレンズの周辺部の
面のうねりを示す図
面のうねりを示す図
【図５】従来の技術によるレンズの保持具の構成を示す
図
図
【図６】露光装置の光学系に半円状レンズを用いた場合
の例を示す図
の例を示す図
１ 半円状レンズ
１ａ，１ｂ 平行な面
２ レンズ枠
２ａ 座
３ 押さえ金具
４ 押さえ板
５ ピボット金具
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭59−171916（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−84513（ＪＰ，Ａ)
実開 昭61−73112（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭64−34606（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭61−185023（ＪＰ，Ｕ)
実開 平４−37912（ＪＰ，Ｕ)
実開 平２−83513（ＪＰ，Ｕ)
Claims (4)
- 【請求項１】円形レンズを保持するレンズ保持具におい
て、 前記円形レンズの外周部は、該レンズの厚さ方向に互い
に平行な面を有し、 前記互いに平行な面の一方に面で接触し、前記円形レン
ズを支持する３つの支持部材と、前記互いに平行な面の他方側に配置され、前記円形レン
ズを前記３つの支持部材に押しつける弾性部材と、 前記弾性部材と前記互いに平行な面の他方との間に配置
され、かつ該互いに平行な面の他方に面接触する平面を
備えるレンズ押さえ部材 とを備えたことを特徴とするレ
ンズの保持具。 - 【請求項２】前記レンズ押さえ部材は、前記弾性部材に
対して回転可能であることを特徴とする請求項１に記載
のレンズ保持具。 - 【請求項３】前記レンズ押さえ部材は、前記３つの支持
部材のぞれぞれに対応する位置に配置されることを特徴
とする請求項１又は請求項２に記載のレンズ保持具。 - 【請求項４】請求項１から請求項３のいずれかに記載の
レンズ保持具で保持されたレンズを備える露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00653193A JP3412638B2 (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | レンズの保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00653193A JP3412638B2 (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | レンズの保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06214142A JPH06214142A (ja) | 1994-08-05 |
| JP3412638B2 true JP3412638B2 (ja) | 2003-06-03 |
Family
ID=11640943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00653193A Expired - Fee Related JP3412638B2 (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | レンズの保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3412638B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6239924B1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-05-29 | Nikon Corporation | Kinematic lens mounting with distributed support and radial flexure |
| US7324148B2 (en) | 2002-04-26 | 2008-01-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pickup device unit used therefor having a sealing structure between a dust proofing member and an image pick up device |
| US7324149B2 (en) | 2002-05-20 | 2008-01-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera and image pick-up device unit having an optical member that is vibrated to remove dust |
| JP2004064554A (ja) | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Olympus Corp | カメラ及びこれに用いる撮像素子ユニット |
| JP5469437B2 (ja) * | 2009-11-18 | 2014-04-16 | リコー光学株式会社 | レンズ保持部材、レンズユニット及びプロジェクタ装置 |
| JP5610827B2 (ja) * | 2010-04-21 | 2014-10-22 | キヤノン株式会社 | 保持装置、光学装置及び天体望遠鏡 |
| JP2014006360A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 光学部材、光学装置、露光装置、およびデバイスの製造方法 |
| CN110471152A (zh) * | 2018-05-09 | 2019-11-19 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 光学元件固定结构及镜片组件及照度检测装置 |
-
1993
- 1993-01-19 JP JP00653193A patent/JP3412638B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06214142A (ja) | 1994-08-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |