JP3497991B2 - 駆動系の総合剛性測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サーボモータによ
り制御対象の位置を制御する位置制御システムに関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は、サーボモータにより制御対象の
位置を制御する位置制御システムの制御対象の一例であ
るボールネジ駆動系の概略機構を１軸分示したものであ
り、以下この動作について説明する。サーボモータ１０
０が回転すると、モータに結合され減速機構をなすギヤ
列１０１ａ，１０１ｂ、ボールネジのネジ部１０２（以
降単にボールネジと称す）が回転する。この回転運動は
ボールネジナット１０３により直線運動に変換され、ナ
ットに結合されたテーブル１０４は、この変換によりボ
ールネジ軸方向（以降単に軸方向と称す）上を移動す
る。ボールネジは、モータ側及び反モータ側のベアリン
グ（１０５ａと１０５ｂ）とブラケット（１０６ａと１
０６ｂ）により支持されており、ブラケットは機械本体
にリジットに結合されている。モータ位置検出器１０７
はモータに結合されてモータ位置ｘｍを検出している。

【０００３】ここで、ボールネジ駆動系にはバックラッ
シュが無く、且つサーボモータ１００からの出力トルク
及び駆動系外部からの外力が一切働かない状態で、モー
タ位置ｘｍとモータ軸換算された制御対象位置ｘｉ（以
降テーブル位置ｘｉと称す）は一致していると仮定す
る。この仮定下でのボールネジ駆動系において、サーボ
モータ１００がトルクを出力すると、トルクは各機構部
を伝達しテーブル１０４の駆動トルクτｒになるが、機
構各部の剛性よりなる総合剛性のため、駆動トルクτｒ
の大きさに応じて、モータ軸換算されたテーブル位置ｘ
ｉとモータ位置ｘｍの間に位置偏差つまり橈みが発生す
る。

【０００４】図６及び図７は、図５のボールネジ駆動系
の総合剛性を測定する従来の測定方法を説明する図であ
る。前述した図５と同一部分については同一名称及び同
一番号を付して説明を省略する。図６において、固定部
１０８は機械本体にリジットに結合されており、機械本
体同様に剛体とする。ここで、サーボモータ１００から
テーブル１０４が固定部１０８を押しつける方向（図中
の正方向）のトルクを出力させる。この場合、出力トル
クτはモータ軸換算されたテーブル１０４の駆動トルク
τｒになるから、図７に示す様に出力トルクτと、モー
タ位置ｘｍの関係を数点測定すれば、モータ軸換算され
た総合剛性Ｋは、数１として算出できる。

【数１】Ｋ＝Δτ／Δｘｍ 尚、総合剛性Ｋは、一般にテーブル位置ｘｉにより変化
するため、固定部１０８の結合位置を軸方向に変えなが
ら上述の測定を繰り返し行なえば、テーブル位置に対応
した総合剛性Ｋが測定できる。

【０００５】図８は、前述の方法で測定された総合剛性
を用いて、前述の橈みの影響を軽減する制御を行なうこ
とにより、高精度の位置制御を実現する従来位置制御装
置の構成例を示したブロック図である。本例は、リニア
エンコーダ等の直接位置検出器（図示しない）を装着し
て、テーブル位置ｘｉを直接検出して位置帰還とするフ
ルクローズド位置制御装置になっている。以下、この位
置制御装置の動作について説明する。位置制御装置に
は、上位装置（図示しない）より位置指令値Ｘが指令さ
れる。減算器５０は位置偏差Ｘ−ｘｉを算出し、増幅器
５１で位置ループゲインＫｖ倍される。この増幅器５１
の出力は、位置指令値Ｘを微分器５７で微分した速度指
令値Ｖ及び後述する橈み速度補償値Ｖｄｆと加算器５２
で加算され速度指令入力Ｖｍとなる。減算器５４は、速
度指令入力Ｖｍからモータ位置ｘｍを微分器５３で微分
して得たモータ速度ｖｍを減算し、速度偏差Ｖｍ−ｖｍ
を算出する。速度ＡＭＰ部５５により、速度偏差はＰＩ
（比例積分）増幅され、微分器５８で速度指令値Ｖを微
分し得た加速度指令値Ａを増幅器５９でトルク指令変換
定数Ｋ１倍した結果と加算器５６で加算され、トルク指
令値τｃとなる。

【０００６】加速度指令値Ａは、テーブル位置ｘｉの目
標加速度であり、増幅器６３で、モータ軸換算テーブル
慣性モーメントＩＬ倍されテーブル駆動トルクτｒとな
る。総合剛性決定部６２には、予め前述の方法で複数の
測定テーブル位置Ｐ（Ｘ）（Ｘ＝ａ，ｂ，・・・，ｎ）
に対応して測定した総合剛性Ｋ（Ｘ）が設定されてい
る。総合剛性決定部６２は位置指令値Ｘに隣接する２点
のＫ（Ｘ）を直線補間して実際の総合剛性Ｋを決定す
る。ここでは、位置指令値Ｘとテーブル位置ｘｉの間の
位置偏差による総合剛性Ｋの変化量が極めて微小である
ために、テーブル位置ｘｉに代えて位置指令値Ｘを用い
ることで総合剛性Ｋを決定している。増幅器６４ではテ
ーブル駆動トルクτｒが１／Ｋ倍されて橈み量が算出さ
れ、次に微分器６５で微分されて橈み速度補償値Ｖｄｆ
になる。この様に、この位置制御装置では、加減速トル
クにより発生する橈みの時間微分値を加算した速度指令
入力Ｖｍを作成し、これに従ってモータ速度ｖｍを制御
することで、モータ位置ｘｍに橈み分重畳した動作を実
行させ、加減速時の位置制御の高精度化を目指した構成
をとっている。

【０００７】パワー増幅部６０は、電力増幅器（図示し
ない）とサーボモータ（ここでは図示しない）で構成さ
れており、トルク指令値τｃをモータ出力トルクτに増
幅するもので、その増幅率はトルク変換定数Ｃｔで表さ
れる。対象システム６６は、例えば図５のボールネジ駆
動系を示している。直接位置検出器の位置検出値ｘｉ’
は位置制御装置に取り込まれ、増幅器６１で数２に示す
モータ軸位置換算定数Ｃ１倍されてテーブル位置ｘｉと
なる。

【数２】ｘｉ＝Ｃ１・ｘｉ’＝（ｘｉ’／Ｐ）・２π・
（Ｎ２／Ｎ１） ここで、Ｐはボールネジ１０２の１回転送り量、Ｎ１，
Ｎ２は、ギヤ列１０１ａ，１０１ｂの歯数を示す。尚、
図８中の微分器のＳは、微分動作を示すラプラス変換の
演算子である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】以上述べてきた従来の
総合剛性の測定方法によれば、テーブルを固定するため
の図６の固定部１０８の取付け作業を始めとするセッテ
ィングに多大な時間を要し、且つこの時間は軸方向上の
測定点数に比例して増大する問題があった。また、この
方法で測定した総合剛性を予め設定した前述の位置制御
装置では、総合剛性の経年変化に起因した橈みの変動に
対応し、これを補償する位置制御が不可能であった。

【０００９】本発明は、これらの問題を解消するために
なされたもので、本発明の目的は、リアルタイムで総合
剛性の測定を可能にする総合剛性測定装置の提供と、こ
の測定装置を搭載した位置制御により、総合剛性の経年
変化に追従可能な橈み補償動作を有するフルクローズド
位置制御装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、サーボモータ
により制御対象の位置を制御する位置制御システムに関
するもので、本発明の前記目的は、演算周期Ｔの演算周
期信号を発生し、当該演算周期信号に同期して位置制御
装置のトルク指令値τｃとモータ位置ｘｍ及び位置制御
装置から入力あるいは位置制御システム外部から入力算
出される制御対象位置ｘｉを用いて、前記演算周期信号
に同期して駆動系の総合剛性を測定出力する総合剛性測
定装置と、当該総合剛性測定装置を搭載した位置制御装
置によって達成される。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明における総合剛性測定装置
は、図８に示した様なフルクローズド位置制御装置によ
り制御される制御対象に対しては、予め搭載されている
直接位置検出器（図示しない）を用いて位置制御装置で
算出されるテーブル位置ｘｉを利用するが、直接位置検
出器が搭載されないセミクローズド位置制御される制御
対象に対しては、図５の駆動系のテーブル位置ｘｉを検
出するため、機械外部にレーザー測長器（図示しない）
を設置する。レーザー測長器より出力される位置検出値
を前述同様にｘｉ’とすると、モータ軸換算したテーブ
ル位置ｘｉは同様に数２で得られる。次に、図５で示し
たモータ位置ｘｍとテーブル位置ｘｉの数値間には、通
常、サーボモータの出力トルク及び駆動系外部からの外
力が一切働かない状態で、オフセット値が存在するが、
今、図５において、負方向に駆動系のバックラッシュが
つまっている状態でのオフセット値をＯｆと定義し、ト
ルクの符号も位置の符号と同方向にとれば、テーブル駆
動トルクτｒとモータ位置ｘｍとテーブル位置ｘｉの間
には次の関係が成立する。

【数３】（ｘｍ−ｘｉ）−Ｏｆ＝τｒ／Ｋ （τｒ
＜−αの場合）

【数４】（ｘｍ−ｘｉ）−Ｏｆ−Ｂ＝τｒ／Ｋ （τｒ
＞αの場合）但し、Ｂは駆動系のバックラッシュを示
し、測定トルクリミットαはバックラッシュが一方向に
つまった状態を保証するための正符号を持つ定数であ
る。

【００１２】一方、テーブル駆動トルクτｒは、モータ
軸換算したモータ側慣性モーメント（モータ＋ギヤ列＋
ボールネジ）Ｉａと、モータ出力トルクτ及びモータ位
置ｘｍの２階微分値であるモータ加速度ａｍにより、

【数５】τｒ＝τ−Ｉａ・ａｍ＝Ｃｔ・τｃ−Ｉａ・ａ
ｍ と表わすことができる。

【００１３】図１は直接位置検出器が搭載されないセミ
クローズド位置制御される制御対象に対する、本発明に
よる総合剛性測定装置の構成を示すブロック図である。
総合剛性測定装置１には、モータ位置ｘｍと前述のレー
ザー測長器からの位置検出値ｘｉ’及び位置制御装置の
トルク指令値τｃが入力される。演算周期信号発生部３
は、外部から予め設定された演算周期Ｔ毎に、演算周期
信号を発生させる。ｘｍ，ｘｉ’，τｃは、演算周期信
号に同期して動作するサンプルホールド部２ａ,２ｂ，
２ｃによりラッチされ、ｘｍ［ｉ］，ｘｉ’［ｉ］，τ
ｃ［ｉ］となり総合剛性演算部４に入力される。総合剛
性演算部４には予め全て正値を持つ、モータ側慣性モー
メントＩａ，測定トルクリミットα，測定速度ａリミッ
トβａ,測定速度ｂリミットβｂ，トルク変換定数Ｃ
ｔ，モータ軸位置換算定数Ｃ１が設定されており、前述
の演算周期信号に同期して総合剛性算出演算を実行し、
測定テーブル位置Ｐ（Ｘ）と対応する総合剛性Ｋ（Ｘ）
を出力する。

【００１４】図２は、総合剛性演算部４の演算周期毎の
動作を説明するフローチャートである。演算周期信号が
与えられｘｍ［ｉ］，ｘｉ’［ｉ］，τｃ［ｉ］が入力
されると、ステップｓ１で（ｘｍ［ｉ−１］−ｘｉ［ｉ
−１］）が算出される。但し、ｘｍ［ｉ−１］及びｘｉ
［ｉ−１］は先回の演算周期で算出され、後述するステ
ップｓ９で保持された諸量である。合わせてステップｓ
１では、下式により、モータ速度ｖｍ［ｉ］，モータ加
速度ａｍ［ｉ−１］，テーブル位置ｘｉ［ｉ］が算出さ
れる。

【数６】 ｖｍ［ｉ］＝（ｘｍ［ｉ］−ｘｍ［ｉ−１］）／Ｔ ａｍ［ｉ−１］＝（ｘｍ［ｉ］−２・ｘｍ［ｉ−１］＋
ｘｍ［ｉ−２］）／（Ｔ＾２） ｘｉ［ｉ］＝Ｃ１・ｘｉ’［ｉ］ 但し、ｘｍ［ｉ−２］は先々回の演算周期で入力され、
後述するステップｓ９で保持された量である。また、＾
２は２乗を示す。

【００１５】ステップｓ２は、粘性抵抗の影響に配慮し
た動作である。粘性抵抗トルクは速度に比例して増大す
るが、数５ではこれを考慮していない。このため、粘性
抵抗による総合剛性演算の演算誤差の発生を抑えるた
め、モータ速度ｖｍ［ｉ］の絶対値が、測定速度ａリミ
ットβａ以下であり、且つ（ｖｍ［ｉ］−ｖｉ［ｉ］）
の絶対値が、測定速度ｂリミットβｂ以下である場合に
ついてのみ演算を行なう様にしている。数７はテーブル
速度Ｖｉ［ｉ］の算出式を示す。

【数７】 Ｖｉ［ｉ］＝（ｘｉ［ｉ］−ｘｉ［ｉ−１］）／Ｔ ステップｓ２では以上の条件を満たさない場合は、ステ
ップｓ９に動作が飛ぶ。一方、制御対象の粘性抵抗が十
分小さく、その影響が全ての駆動速度範囲で無視できる
場合は斜線矢印のごとくステップｓ２は除去され無条件
にステップｓ３に進む。尚、この場合は測定速度ａリミ
ットβａ及び測定速度ｂリミットβｂの初期設定は不要
となる。

【００１６】ステップｓ３は、前述の数５に対応するも
ので、次の数８によりテーブル駆動トルクτｒ［ｉ−
１］を算出する。

【数８】τｒ［ｉ−１］＝Ｃｔ・τｃ［ｉ−１］−Ｉａ
・ａｍ［ｉ−１］ ステップｓ４は、駆動系のバックラッシュが一方向につ
まった状態を保証し、前述の数３または数４の成立条件
を得るための動作である。τｒ［ｉ−１］＞αが成立す
る場合は１を、τｒ［ｉ−１］＜−αが成立する場合は
２を、共に成立しない場合は０を、レジスタＳＱにセッ
トする。

【００１７】ステップｓ５は、総合剛性算出演算の実行
条件を確認するステップである。先回の演算周期までに
レジスタＳＱ＝１または２が成立しており、今回演算周
期で全く同じ条件が再度成立する場合は、ステップｓ７
に進み後述のステップｓ６で過去に保持されたτｒ［ｉ
−１］とｘｍ［ｉ−１］−ｘｉ［ｉ−１］を用いて後述
のステップｓ８に示す総合剛性算出演算実行条件とな
る。また今回の演算周期で、レジスタＳＱ＝１または２
が成立しているが、先回の演算周期までに全く同じ条件
が成立していない場合は、ステップｓ６に進む。尚、今
回の演算周期でレジスタＳＱ＝０の場合はステップｓ９
に動作が飛ぶ。ステップｓ６では、ステップｓ３とステ
ップｓ１で算出されたτｒ［ｉ−１］と（ｘｍ［ｉ−
１］−ｘｉ［ｉ−１］）をバッファに保持し、レジスタ
ＳＱをレジスタＳＱＢに移す。

【００１８】ステップｓ７で演算可能と判定されると、
ステップｓ８では総合剛性算出演算を実行し、測定テー
ブル位置Ｐ（Ｘ）と対応する総合剛性Ｋ（Ｘ）を出力す
る。ステップｓ８に進む前述の条件より、過去（ｉ＝ｊ
とする）の演算周期において、ステップｓ６で保持され
たτｒ［ｊ−１］，（ｘｍ［ｊ−１］−ｘｉ［ｊ−
１］）と、今回（ｉ＝ｈとする）演算周期で算出された
τｒ［ｈ−１］，（ｘｍ［ｈ−１］−ｘｉ［ｈ−１］）
の間には、

【数９】（ｘｍ［ｊ−１］−ｘｉ［ｊ−１］）−Ｏｆ＝
τｒ［ｊ−１］／Ｋ （τｒ＜−αの場合） （ｘｍ［ｈ−１］−ｘｉ［ｈ−１］）−Ｏｆ＝τｒ［ｈ
−１］／Ｋ または、

【数１０】（ｘｍ［ｊ−１］−ｘｉ［ｊ−１］）−Ｏｆ
−Ｂ＝τｒ［ｊ−１］／Ｋ （τｒ＞αの場合） （ｘｍ［ｈ−１］−ｘｉ［ｈ−１］）−Ｏｆ−Ｂ＝τｒ
［ｈ−１］／Ｋ が成立する。つまり、どちらの場合も各式内の２式を減
算することで、オフセット値Ｏｆ及び駆動系のバックラ
ッシュＢを相殺することができる。このためステップｓ
８では、測定テーブル位置Ｐ（Ｘ）と対応する総合剛性
Ｋ（Ｘ）を

【数１１】 Ｐ（Ｘ）＝（ｘｉ［ｊ−１］＋ｘｉ［ｈ−１］）／２ Ｋ（Ｘ）＝（τｒ［ｊ−１］−τｒ［ｈ−１］）／
｛（ｘｍ［ｊ−１］−ｘｉ［ｊ−１］）−（ｘｍ［ｈ−
１］−ｘｉ［ｈ−１］）｝ として算出及び出力する。

【００１９】以上より、ステップｓ７の演算可能判定条
件は、ステップｓ８に先行して、

【数１２】（τｒ［ｊ−１］−τｒ［ｈ−１］）≠０ ｛（ｘｍ［ｊ−１］−ｘｉ［ｊ−１］）−（ｘｍ［ｈ−
１］−ｘｉ［ｈ−１］）｝≠０ の２条件をチェックすることになる。ステップｓ８で
は、総合剛性算出演算を実行後、同演算が１回終了した
ことを示すために演算レジスタＳＱＢに０をセットす
る。ステップｓ９では、次回以降の演算周期で利用する
ため、今回演算周期で検出または算出されたｘｍ［ｉ−
１］,ｘｍ［ｉ］,ｘｉ［ｉ］,τｃ［ｉ］を各々ｘｍ
［ｉ−２］,ｘｍ［ｉ−１］,ｘｉ［ｉ−１］,τｃ［ｉ
−１］に保持しておく。

【００２０】以上は、直接位置検出器が搭載されないセ
ミクローズド位置制御される制御対象に対する総合剛性
測定装置の動作を説明してきたが、直接位置検出器が搭
載されフルクローズド位置制御される制御対象に対して
は、位置制御装置のモータ軸換算されたテーブル位置ｘ
ｉを図１の位置検出値ｘｉ’に代えて利用できるから、
総合剛性測定装置の動作に関して前述のステップ１数６
におけるｘｉ［ｉ］の算出は不要になり、合わせて総合
剛性演算部４に対するモータ軸位置換算定数Ｃ１の初期
設定も不要になる。

【００２１】図３は、本発明による総合剛性測定装置１
を搭載したフルクローズド位置制御装置を示すブロック
図である。前述した図８と同一部分については同一名称
及び同一番号を付して説明を省略する。本例では、総合
剛性測定装置には、位置制御装置で算出されるテーブル
位置ｘｉが直接入力されるため、総合剛性演算部４のス
テップｓ１における数６で示したテーブル位置ｘｉ
［ｉ］の算出は不要になる。一方、総合剛性測定装置の
出力である測定テーブル位置Ｐ（Ｘ）と対応する総合剛
性Ｋ（Ｘ）が総合剛性決定部６２に出力されている。こ
れにより総合剛性決定部６２は、総合剛性測定装置より
総合剛性算出演算が１回終了毎に入力される測定テーブ
ル位置Ｐ（Ｘ）と対応する総合剛性Ｋ（Ｘ）に基づい
て、位置指令値Ｘに隣接する２点のＫ（Ｘ）を直線補間
して実際の総合剛性Ｋを決定することになり、従来不可
能であった総合剛性の経年変化に起因した橈みの変動に
対応し、これを補償する位置制御が可能になる。

【００２２】図４は、本発明による総合剛性測定装置を
搭載したフルクローズド位置制御装置の他例を示すブロ
ック図である。前述した図３と同一部分については同一
名称及び同一番号を付して説明を省略する。本例では、
総合剛性決定部６２を除去し、総合剛性測定装置１の出
力である総合剛性Ｋ（Ｘ）を実際の総合剛性Ｋとする構
成をとっている。このため、総合剛性測定装置内で総合
剛性算出演算の条件未成立がある時間継続して、総合剛
性の測定テーブル位置と現在のテーブル位置ｘｉが離れ
てしまうことがあるため、制御対象の総合剛性がテーブ
ル位置により変動する度合いが小さい駆動系に適してい
る。

【００２３】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明による総合剛
性測定装置によれば、モータ位置ｘｍとテーブル位置ｘ
ｉ及び位置制御装置のトルク指令値τｃから、駆動系の
総合剛性を演算するため、予め搭載されている直接位置
検出器を利用できるフルクローズド位置制御装置により
制御される制御対象に対しては、ほとんどセッティング
に時間を要さず総合剛性の測定ができる。また、制御対
象を実際に駆動しながらリアルタイムでテーブル位置に
応じた総合剛性を測定できるため、直接位置検出器が搭
載されないセミクローズド位置制御される制御対象に対
しても、複数の測定点毎に従来必要であったセッティン
グ作業を全く不要にでき、結果として総合剛性測定時間
を大幅に短縮できる。加えて、特にフルクローズド位置
制御装置により制御される制御対象に対しては、位置制
御装置内に本発明による総合剛性測定装置を搭載するこ
とで、従来不可能であった総合剛性の経年変化に起因し
た橈みの変動に対応し、これを補償する位置制御が可能
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による総合剛性測定装置の構成の１例
を示すブロック図である。

【図２】 本発明による総合剛性演算部４の演算周期毎
の動作を説明するフローチャートである。

【図３】 本発明による総合剛性測定装置を搭載したフ
ルクローズド位置制御装置構成の１例を示すブロック図
である。

【図４】 本発明による総合剛性測定装置を搭載したフ
ルクローズド位置制御装置構成の他の１例を示すブロッ
ク図である。

【図５】 位置制御システムの制御対象の一例であるボ
ールネジ駆動系の概略機構を１軸分示した図である。

【図６】 ボールネジ駆動系の総合剛性を測定する従来
の測定方法を説明する図である。

【図７】 ボールネジ駆動系の総合剛性を測定する従来
の測定方法を説明する図である。

【図８】 従来フルクローズド位置制御装置構成の１例
を示すブロック図である。

【符号の説明】

１ 総合剛性測定装置、２ａ，２ｂ，２ｃ サンプルホ
ールド部、３ 演算周期信号発生部、４ 総合剛性演算
部、５０ 減算器、５１ 増幅器、５２ 加算器、５３
微分器、５４ 減算器、５５ 速度ＡＭＰ部、５６
加算器、５７微分器、５８ 微分器、５９ 増幅器、６
０ パワー増幅部、６１ 増幅器、６２ 総合剛性決定
部、６３ 増幅器、６４ 増幅器、６５ 微分器、６６
対象システム、１００ サーボモータ、１０１ａ，１
０１ｂ ギヤ列、１０２ ボールネジのネジ部、１０３
ボールネジナット、１０４ テーブル、１０５ａ，１
０５ｂ ベアリング、１０６ａ，１０６ｂ ブラケッ
ト、１０７ モータ位置検出器、１０８ 固定部。

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 サーボモータにより制御対象の位置を制
   御するフルクローズド位置制御システムにおいて、予め
   設定された演算周期Ｔにより演算周期信号を発生する演
   算周期信号発生部と、前記演算周期信号に同期して位置
   制御装置のサーボモータに対するトルク指令値とモータ
   位置及び制御対象位置をサンプルホールドするサンプル
   ホールド部と、予め設定されたモータ側慣性モーメント
   Ｉａとトルク換算定数Ｃｔと測定トルクリミットαを用
   いて前記演算周期信号に同期して駆動系の総合剛性演算
   を実行し測定制御対象位置Ｐ（Ｘ）と当該位置に対応す
   る総合剛性Ｋ（Ｘ）を出力する総合剛性演算部よりなる
   総合剛性測定装置。
2. 【請求項２】 サーボモータにより制御対象の位置を制
   御するセミクローズド位置制御システムにおいて、予め
   設定された演算周期Ｔにより演算周期信号を発生する演
   算周期信号発生部と、前記演算周期信号に同期して位置
   制御装置のサーボモータに対するトルク指令値とモータ
   位置及び位置制御システム外部からの制御対象位置をサ
   ンプルホールドするサンプルホールド部と、予め設定さ
   れたモータ側慣性モーメントＩａとトルク換算定数Ｃｔ
   と測定トルクリミットαとモータ軸位置換算定数Ｃ１を
   用いて前記演算周期信号に同期して駆動系の総合剛性演
   算を実行し測定制御対象位置Ｐ（Ｘ）と当該位置に対応
   する総合剛性Ｋ（Ｘ）を出力する総合剛性演算部よりな
   る総合剛性測定装置。
3. 【請求項３】 サーボモータにより制御対象の位置を制
   御するフルクローズド位置制御システムにおいて、請求
   項１記載の総合剛性演算部に予め測定速度ａリミットβ
   ａ及び測定速度ｂリミットβｂを設定したことを特徴と
   する請求項１記載の総合剛性測定装置。
4. 【請求項４】 サーボモータにより制御対象の位置を制
   御するセミクローズド位置制御システムにおいて、請求
   項２記載の総合剛性演算部に予め測定速度ａリミットβ
   ａ及び測定速度ｂリミットβｂを設定したことを特徴と
   する請求項２記載の総合剛性測定装置。
5. 【請求項５】 サーボモータにより制御対象の位置を制
   御するフルクローズド位置制御システムにおいて、請求
   項１または請求項３記載の総合剛性測定装置を搭載した
   ことを特徴とする位置制御装置。