JP3491610B2 - Ｘ線ｃｔ装置 - Google Patents
Ｘ線ｃｔ装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は産業用のＸ線ＣＴ装
置に関し、更に詳しくは、特に電子部品等の比較的小型
軽量の物品について、そのＣＴ像と透視像の双方を簡単
な操作のもとに得ることのできるＸ線ＣＴ装置に関す
る。
置に関し、更に詳しくは、特に電子部品等の比較的小型
軽量の物品について、そのＣＴ像と透視像の双方を簡単
な操作のもとに得ることのできるＸ線ＣＴ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】産業用のＸ線ＣＴ装置においては、一般
に、その構成例を図４に模式的斜視図で示すように、Ｘ
線発生装置４１に対向してそのＸ線光軸Ｌ上にＸ線検出
器４２を配置し、その間に、被写体となる試料Ｗを保持
してＸ線光軸Ｌに直交する軸Ａの回りに回転させる機能
を備えた試料ステージ４３を配置した構成を採る。Ｘ線
検出器４２は、ラインセンサを用いるか、あるいはエリ
アセンサを用いてそのうちのライン状に並ぶ素子の出力
のみを用いることによって実質的にラインセンサとして
機能させる。そして、試料Ｗを軸Ａの回りに回転させつ
つ、その多数の回転角度においてＸ線検出器４２からの
Ｘ線透視情報を採取し、ファン−パラ変換と称される変
換を行うことにより、ラインセンサまたはライン状に並
ぶ素子に対応するスライス面でスライスした試料Ｗの断
層像を再構成することができる。
に、その構成例を図４に模式的斜視図で示すように、Ｘ
線発生装置４１に対向してそのＸ線光軸Ｌ上にＸ線検出
器４２を配置し、その間に、被写体となる試料Ｗを保持
してＸ線光軸Ｌに直交する軸Ａの回りに回転させる機能
を備えた試料ステージ４３を配置した構成を採る。Ｘ線
検出器４２は、ラインセンサを用いるか、あるいはエリ
アセンサを用いてそのうちのライン状に並ぶ素子の出力
のみを用いることによって実質的にラインセンサとして
機能させる。そして、試料Ｗを軸Ａの回りに回転させつ
つ、その多数の回転角度においてＸ線検出器４２からの
Ｘ線透視情報を採取し、ファン−パラ変換と称される変
換を行うことにより、ラインセンサまたはライン状に並
ぶ素子に対応するスライス面でスライスした試料Ｗの断
層像を再構成することができる。
【０００３】また、試料ステージ４３を軸Ａに沿って移
動させ、その各移動位置において上記と同様に多数の回
転角度においてＸ線検出器４２からのＸ線透視情報を採
取することによって、試料Ｗの軸Ａに直交する任意の断
面位置における全部位、全方位のＸ線透過情報を得れ
ば、試料Ｗの軸Ａ上の任意の位置における断層像を得る
ことができる。従来の産業用のＸ線ＣＴ装置は、図４に
例示したように、Ｘ線光軸が水平方向に設定され、従っ
て、試料Ｗの回転軸Ａは鉛直に設定される。
動させ、その各移動位置において上記と同様に多数の回
転角度においてＸ線検出器４２からのＸ線透視情報を採
取することによって、試料Ｗの軸Ａに直交する任意の断
面位置における全部位、全方位のＸ線透過情報を得れ
ば、試料Ｗの軸Ａ上の任意の位置における断層像を得る
ことができる。従来の産業用のＸ線ＣＴ装置は、図４に
例示したように、Ｘ線光軸が水平方向に設定され、従っ
て、試料Ｗの回転軸Ａは鉛直に設定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図４に例示
したようにＸ線光軸Ｌが水平に設定されているＸ線ＣＴ
装置によると、試料Ｗを鉛直の回転軸Ａの回りに回転さ
せるが故に、その回転精度を高くするうえで都合がいい
が、この装置を、Ｘ線透視装置として使用する場合、し
かも、試料がＩＣチップ等の電子部品のように微小なも
のであって、多数の試料を一度に透視しようとすれば、
これらを別途用意された水平なテーブルないしはトレイ
上に立てて配置する必要があり、試料の固定が困難でそ
の手間もかかるという問題がある。
したようにＸ線光軸Ｌが水平に設定されているＸ線ＣＴ
装置によると、試料Ｗを鉛直の回転軸Ａの回りに回転さ
せるが故に、その回転精度を高くするうえで都合がいい
が、この装置を、Ｘ線透視装置として使用する場合、し
かも、試料がＩＣチップ等の電子部品のように微小なも
のであって、多数の試料を一度に透視しようとすれば、
これらを別途用意された水平なテーブルないしはトレイ
上に立てて配置する必要があり、試料の固定が困難でそ
の手間もかかるという問題がある。
【０００５】このような多数の小さな試料を一度に透視
することだけを考えた場合には、Ｘ線光軸を鉛直方向に
沿ったものとすれば、水平のテーブルやトレイ上に各試
料を載せるだけでよく、従って、このような用途の透視
装置にあっては、Ｘ線光軸を鉛直方向に沿った構成を採
用することが、その操作性の点において有利となる。
することだけを考えた場合には、Ｘ線光軸を鉛直方向に
沿ったものとすれば、水平のテーブルやトレイ上に各試
料を載せるだけでよく、従って、このような用途の透視
装置にあっては、Ｘ線光軸を鉛直方向に沿った構成を採
用することが、その操作性の点において有利となる。
【０００６】しかしながら、従来、このようなＩＣチッ
プをはじめとする電子部品を多数個一度に透視する際の
操作性を損なうことなく、かつ、Ｘ線ＣＴ装置としても
機能させることのできるＸ線ＣＴ装置は実現されておら
ず、また、ＣＴ用の試料ステージは、比較的大きな可動
範囲が要求される透視用の試料ステージと兼用させるに
は無理がある。従って、Ｘ線ＣＴ装置を、操作性の良好
なＸ線透視装置として兼用させる場合には、ＣＴ用の試
料ステージが邪魔になるために除去する必要が生じる
が、ＣＴ用の試料ステージとしては、精度や剛性が必要
で取り外しを前提とした設計とすると、ＣＴ用の試料ス
テージを着脱するごとにその位置や回転面の校正作業を
必要とすることになり、この点において不便となる。
プをはじめとする電子部品を多数個一度に透視する際の
操作性を損なうことなく、かつ、Ｘ線ＣＴ装置としても
機能させることのできるＸ線ＣＴ装置は実現されておら
ず、また、ＣＴ用の試料ステージは、比較的大きな可動
範囲が要求される透視用の試料ステージと兼用させるに
は無理がある。従って、Ｘ線ＣＴ装置を、操作性の良好
なＸ線透視装置として兼用させる場合には、ＣＴ用の試
料ステージが邪魔になるために除去する必要が生じる
が、ＣＴ用の試料ステージとしては、精度や剛性が必要
で取り外しを前提とした設計とすると、ＣＴ用の試料ス
テージを着脱するごとにその位置や回転面の校正作業を
必要とすることになり、この点において不便となる。
【０００７】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
もので、ＣＴ用の試料ステージを備えたＸ線ＣＴ装置
で、しかもＩＣチップをはじめとする電子部品等の比較
的小さな試料を、良好な作業性のもとに複数個一度に透
視することのできるＸ線ＣＴ装置の提供を目的としてい
る。
もので、ＣＴ用の試料ステージを備えたＸ線ＣＴ装置
で、しかもＩＣチップをはじめとする電子部品等の比較
的小さな試料を、良好な作業性のもとに複数個一度に透
視することのできるＸ線ＣＴ装置の提供を目的としてい
る。
【０００８】 上記の目的を達成するため、本発明のＸ
線ＣＴ装置は、Ｘ線発生装置とそのＸ線光軸上に配置さ
れたＸ線検出器の間に、試料を保持してＸ線光軸に直交
する軸の回りに回転させる機能を有する試料ステージが
配置され、その試料ステージにより試料を回転させつ
つ、複数の回転角度において試料のＸ線透視像を取り込
み、その複数のＸ線透視像を用いて試料の断層像を再構
成するＸ線ＣＴ装置において、上記Ｘ線光軸が鉛直方向
に沿うように上記Ｘ線発生装置、Ｘ線検出器および試料
ステージが配置されているとともに、その試料ステージ
を、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の間の測定位置から、Ｘ
線発生装置のＸ線放射口を含み、かつ、Ｘ線光軸に直交
する平面で上下に分割される２つの空間のうち、上記Ｘ
線検出器を含まない側の空間の退避位置に移動させる退
避機構と、上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器の間で、水平
の透視用試料テーブルを着脱自在に装着して３次元方向
に移動させる透視用試料ステージを備えていることによ
って特徴づけられる（請求項１）。
線ＣＴ装置は、Ｘ線発生装置とそのＸ線光軸上に配置さ
れたＸ線検出器の間に、試料を保持してＸ線光軸に直交
する軸の回りに回転させる機能を有する試料ステージが
配置され、その試料ステージにより試料を回転させつ
つ、複数の回転角度において試料のＸ線透視像を取り込
み、その複数のＸ線透視像を用いて試料の断層像を再構
成するＸ線ＣＴ装置において、上記Ｘ線光軸が鉛直方向
に沿うように上記Ｘ線発生装置、Ｘ線検出器および試料
ステージが配置されているとともに、その試料ステージ
を、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の間の測定位置から、Ｘ
線発生装置のＸ線放射口を含み、かつ、Ｘ線光軸に直交
する平面で上下に分割される２つの空間のうち、上記Ｘ
線検出器を含まない側の空間の退避位置に移動させる退
避機構と、上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器の間で、水平
の透視用試料テーブルを着脱自在に装着して３次元方向
に移動させる透視用試料ステージを備えていることによ
って特徴づけられる（請求項１）。
【０００９】ここで、本発明においては、上記退避機構
が、上記試料ステージを上記測定位置と退避位置との間
で回動させる機構と、その各位置において当該試料ステ
ージの回動を規制して位置決めする機構とした構成（請
求項２）を好適に採用することができる。
が、上記試料ステージを上記測定位置と退避位置との間
で回動させる機構と、その各位置において当該試料ステ
ージの回動を規制して位置決めする機構とした構成（請
求項２）を好適に採用することができる。
【００１０】本発明は、Ｘ線光軸を、透視装置として使
用する際の操作性を良好なものとすることのできる鉛直
方向に設定するとともに、透視装置として使用する際に
はＣＴ用の試料ステージを取り外すのではなく、退避機
構により透視作業に邪魔にならない規定の退避位置に移
動させることで、所期の目的を達成しようとするもので
ある。
用する際の操作性を良好なものとすることのできる鉛直
方向に設定するとともに、透視装置として使用する際に
はＣＴ用の試料ステージを取り外すのではなく、退避機
構により透視作業に邪魔にならない規定の退避位置に移
動させることで、所期の目的を達成しようとするもので
ある。
【００１１】 すなわち、Ｘ線光軸を鉛直方向にするこ
とにより、ＩＣチップ等の小型の試料を多数個同時に透
視する場合には、これらを水平なテーブルないしはトレ
イ上に並べて載せるだけで試料の設定を行うことがで
き、その作業性を良好なものとすることができる。そこ
で、本発明のＸ線ＣＴ装置においては、ＣＴ用の試料ス
テージとは別に、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の間で、水
平の透視用試料テーブルを着脱自在に装着して３次元方
向に移動させる透視用試料ステージを設けるとともに、
この試料ステージの用いて試料を透視する際、ＣＴ用の
試料ステージを取り外さずに、この試料ステージを、退
避機構により、測定位置から、Ｘ線発生装置のＸ線放射
口を含み、かつ、Ｘ線光軸に直交する平面で上下に分割
される２つの空間のうち、Ｘ線検出器を含まない側の空
間に設定されている退避位置、つまりＸ線照射領域から
外れた、全く邪魔にならない位置に移動させる。これに
より、ＣＴ用の試料ステージを退避位置から測定位置に
戻したとき、その位置や姿勢を、例えば適当なストッパ
等の規制部材を設けるだけで正確に再現させることがで
き、測定変更ごとの校正作業が不要となり、また、ＣＴ
用ステージの剛性を高めるべくその重量を大きくして
も、簡単な作業によって測定位置または退避位置に位置
決めすることができる。
とにより、ＩＣチップ等の小型の試料を多数個同時に透
視する場合には、これらを水平なテーブルないしはトレ
イ上に並べて載せるだけで試料の設定を行うことがで
き、その作業性を良好なものとすることができる。そこ
で、本発明のＸ線ＣＴ装置においては、ＣＴ用の試料ス
テージとは別に、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の間で、水
平の透視用試料テーブルを着脱自在に装着して３次元方
向に移動させる透視用試料ステージを設けるとともに、
この試料ステージの用いて試料を透視する際、ＣＴ用の
試料ステージを取り外さずに、この試料ステージを、退
避機構により、測定位置から、Ｘ線発生装置のＸ線放射
口を含み、かつ、Ｘ線光軸に直交する平面で上下に分割
される２つの空間のうち、Ｘ線検出器を含まない側の空
間に設定されている退避位置、つまりＸ線照射領域から
外れた、全く邪魔にならない位置に移動させる。これに
より、ＣＴ用の試料ステージを退避位置から測定位置に
戻したとき、その位置や姿勢を、例えば適当なストッパ
等の規制部材を設けるだけで正確に再現させることがで
き、測定変更ごとの校正作業が不要となり、また、ＣＴ
用ステージの剛性を高めるべくその重量を大きくして
も、簡単な作業によって測定位置または退避位置に位置
決めすることができる。
【００１２】また、請求項２に係る発明のように、ＣＴ
用の試料ステージの退避機構として、当該試料ステージ
を測定位置と退避位置間で回動させる機構と、その２位
置のそれぞれにおいて当該試料ステージを位置決めする
機構とによって構成すると、直線的に移動させる場合に
比して、ＣＴ用の試料ステージを移動させるためのスペ
ースが少なくてすみ、設置面積を殆ど増大させることく
なく上記した作用効果を奏することができる。
用の試料ステージの退避機構として、当該試料ステージ
を測定位置と退避位置間で回動させる機構と、その２位
置のそれぞれにおいて当該試料ステージを位置決めする
機構とによって構成すると、直線的に移動させる場合に
比して、ＣＴ用の試料ステージを移動させるためのスペ
ースが少なくてすみ、設置面積を殆ど増大させることく
なく上記した作用効果を奏することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。図１は本発明の実施の形
態の全体構成図で、機械的構成を表す模式図と、電気的
構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
実施の形態について説明する。図１は本発明の実施の形
態の全体構成図で、機械的構成を表す模式図と、電気的
構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００１４】Ｘ線発生装置１は、例えばマイクロフォー
カス型のＸ線管であり、Ｘ線放射口（窓）１ａを鉛直上
方に向けて配置され、鉛直方向（ｚ方向）のＸ線光軸Ｌ
に沿ってＸ線を上向きに放射する。Ｘ線発生装置１の鉛
直上方には、例えばイメージインテンシファイアと２次
元ＣＣＤからなるＸ線エリアセンサ２が配設されてい
る。そして、これらのＸ線発生装置１とＸ線エリアセン
サ２との間に、ＣＴ用試料ステージ３が設けられてい
る。また、このＣＴ用試料ステージ３の上方には、透視
用試料ステージ４が設けられており、この透視用試料ス
テージ４は、それぞれに個別のモータ（図示せず）の駆
動により、着脱自在のカーボン製テーブル４１をｘ，
ｙ，ｚ方向に移動させることができる。カーボン製プレ
ート４１は、試料のＣＴ像を採取する際には取り外さ
れ、透視像を採取する場合にのみ透視用試料ステージ４
に取り付けられる。
カス型のＸ線管であり、Ｘ線放射口（窓）１ａを鉛直上
方に向けて配置され、鉛直方向（ｚ方向）のＸ線光軸Ｌ
に沿ってＸ線を上向きに放射する。Ｘ線発生装置１の鉛
直上方には、例えばイメージインテンシファイアと２次
元ＣＣＤからなるＸ線エリアセンサ２が配設されてい
る。そして、これらのＸ線発生装置１とＸ線エリアセン
サ２との間に、ＣＴ用試料ステージ３が設けられてい
る。また、このＣＴ用試料ステージ３の上方には、透視
用試料ステージ４が設けられており、この透視用試料ス
テージ４は、それぞれに個別のモータ（図示せず）の駆
動により、着脱自在のカーボン製テーブル４１をｘ，
ｙ，ｚ方向に移動させることができる。カーボン製プレ
ート４１は、試料のＣＴ像を採取する際には取り外さ
れ、透視像を採取する場合にのみ透視用試料ステージ４
に取り付けられる。
【００１５】ＣＴ用試料ステージ３は、図２に外観図
を、図３には図１における矢視Ａで示される正面図をそ
れぞれ模式的に示すように、先端面にＩＣチップ等の試
料を貼着等の手段により保持するための平坦面が形成さ
れたｘ方向に伸びる棒状のワーク保持部材３１ａを、モ
ータ３１ｂの駆動によりその軸心（ｘ軸）の回りに回転
させる回転機構３１と、その回転機構３１を搭載して、
個別のモータ（図示せず）の求道により鉛直のｚ方向並
びに水平面上で互いに直交する２方向（ｘおよびｙ方
向）に移動させる３次元移動機構３２とを主体として構
成されている。
を、図３には図１における矢視Ａで示される正面図をそ
れぞれ模式的に示すように、先端面にＩＣチップ等の試
料を貼着等の手段により保持するための平坦面が形成さ
れたｘ方向に伸びる棒状のワーク保持部材３１ａを、モ
ータ３１ｂの駆動によりその軸心（ｘ軸）の回りに回転
させる回転機構３１と、その回転機構３１を搭載して、
個別のモータ（図示せず）の求道により鉛直のｚ方向並
びに水平面上で互いに直交する２方向（ｘおよびｙ方
向）に移動させる３次元移動機構３２とを主体として構
成されている。
【００１６】そして、この３次元移動機構３２は支持板
３３の表面に固定されているとともに、その支持板３３
は、その一辺部においてヒンジ機構３４によりベース板
３５に対してｘ軸の回りに回動自在に支持されている。
ベース板３５からｙ方向に所定の距離だけ離れた位置に
は、退避用ストッパ３６（図１において図示を省略）が
設けられており、ＣＴ用試料ステージ３は、この退避用
ストッパ３６とベース板３５の間を回動させることがで
き、試料のＣＴ像の採取時と透視像の採取時においてい
ずれかの側に倒される。
３３の表面に固定されているとともに、その支持板３３
は、その一辺部においてヒンジ機構３４によりベース板
３５に対してｘ軸の回りに回動自在に支持されている。
ベース板３５からｙ方向に所定の距離だけ離れた位置に
は、退避用ストッパ３６（図１において図示を省略）が
設けられており、ＣＴ用試料ステージ３は、この退避用
ストッパ３６とベース板３５の間を回動させることがで
き、試料のＣＴ像の採取時と透視像の採取時においてい
ずれかの側に倒される。
【００１７】試料のＣＴ像を測定する場合には、図３に
実線で示すように、支持板３３の裏面がベース板３５の
表面に当接する側に倒される。この状態では、支持板３
３の裏面がベース板３５の表面に密着し、これにより、
ＣＴ像採取時におけるＣＴ用試料ステージ３の姿勢を含
めてその位置が常に一定の状態に位置決めされる。
実線で示すように、支持板３３の裏面がベース板３５の
表面に当接する側に倒される。この状態では、支持板３
３の裏面がベース板３５の表面に密着し、これにより、
ＣＴ像採取時におけるＣＴ用試料ステージ３の姿勢を含
めてその位置が常に一定の状態に位置決めされる。
【００１８】一方、試料の透視像を採取する場合には、
ＣＴ用試料ステージ３は、図３に二点鎖線で示すよう
に、退避用ストッパ３６側に倒される。前記したヒンジ
機構３４のｚ方向位置は、Ｘ線発生装置１のＸ線放射口
１ａよりも下方に位置しており、ＣＴ用試料ステージ３
を退避用ストッパ３６側に倒した状態では、このＣＴ用
試料ステージ３の全体は、Ｘ線発生装置１のＸ線放射口
１ａを含み、かつ、Ｘ線光軸Ｌに直交する平面Ｐで上下
に分割される２つの空間のうち、Ｘ線エリアセンサ２を
含まない側の空間に位置した状態となる。
ＣＴ用試料ステージ３は、図３に二点鎖線で示すよう
に、退避用ストッパ３６側に倒される。前記したヒンジ
機構３４のｚ方向位置は、Ｘ線発生装置１のＸ線放射口
１ａよりも下方に位置しており、ＣＴ用試料ステージ３
を退避用ストッパ３６側に倒した状態では、このＣＴ用
試料ステージ３の全体は、Ｘ線発生装置１のＸ線放射口
１ａを含み、かつ、Ｘ線光軸Ｌに直交する平面Ｐで上下
に分割される２つの空間のうち、Ｘ線エリアセンサ２を
含まない側の空間に位置した状態となる。
【００１９】前記したＸ線発生装置１は、コンピュータ
５１の制御下にあるＸ線コントロール回路５２によって
駆動制御され、また、ＣＴ用試料ステージ３のワーク保
持部材３１ａを回転させるための試料回転用のモータ３
１ｂと、３次元駆動機構３２ｂの各モータ、および、透
視用試料ステージ４の各モータについても、コンピュー
タ５１の制御下にある共通のモータコントロール回路５
３によって駆動制御される。モータコントロール回路５
３の出力は、同じくコンピュータ５１の制御下にあるス
イッチ５４により、ＣＴ像の採取時にはＣＴ用試料ステ
ージ３の各モータに、また、透視像の採取時には透視用
試料ステージ４の各モータに供給されるようになってい
る。ＣＴ像を採取するか、透視像を採取するかの選択
は、コンピュータ５１に接続されているキーボード５１
ａの操作によって行われる。
５１の制御下にあるＸ線コントロール回路５２によって
駆動制御され、また、ＣＴ用試料ステージ３のワーク保
持部材３１ａを回転させるための試料回転用のモータ３
１ｂと、３次元駆動機構３２ｂの各モータ、および、透
視用試料ステージ４の各モータについても、コンピュー
タ５１の制御下にある共通のモータコントロール回路５
３によって駆動制御される。モータコントロール回路５
３の出力は、同じくコンピュータ５１の制御下にあるス
イッチ５４により、ＣＴ像の採取時にはＣＴ用試料ステ
ージ３の各モータに、また、透視像の採取時には透視用
試料ステージ４の各モータに供給されるようになってい
る。ＣＴ像を採取するか、透視像を採取するかの選択
は、コンピュータ５１に接続されているキーボード５１
ａの操作によって行われる。
【００２０】Ｘ線エリアセンサ２の各画素出力は、コン
ピュータ５１の制御下に置かれているスイッチ５５を経
由して、アンプ５６を介してＣＴ画像再構成装置５７に
取り込まれるか、あるいはキャプチャーボード５８に取
り込まれる。コンピュータ５１は、Ｘ線エリアセンサ２
の各画素出力をＣＴ像の採取時においてはＣＴ画像再構
成装置５７に、透視像の採取時にはキャプチャーボード
５８に取り込まれるようにスイッチ５５を駆動する。Ｃ
Ｔ画像再構成装置５７は、Ｘ線エリアセンサ２の各画素
出力のうち、試料のスライス方向に沿ったライン状の画
素出力を用いて試料のＣＴ像を再構成し、その画像をコ
ンピュータ５１を経由して表示モニタ５９に表示する。
また、キャプチャーボード５８は、Ｘ線エリアセンサ２
からの全ての画素出力をデジタル化してコンピュータ５
１に供給し、コンピュータ５１ではその各画素データに
基づくＸ線透視像を表示モニタ５９に表示する。
ピュータ５１の制御下に置かれているスイッチ５５を経
由して、アンプ５６を介してＣＴ画像再構成装置５７に
取り込まれるか、あるいはキャプチャーボード５８に取
り込まれる。コンピュータ５１は、Ｘ線エリアセンサ２
の各画素出力をＣＴ像の採取時においてはＣＴ画像再構
成装置５７に、透視像の採取時にはキャプチャーボード
５８に取り込まれるようにスイッチ５５を駆動する。Ｃ
Ｔ画像再構成装置５７は、Ｘ線エリアセンサ２の各画素
出力のうち、試料のスライス方向に沿ったライン状の画
素出力を用いて試料のＣＴ像を再構成し、その画像をコ
ンピュータ５１を経由して表示モニタ５９に表示する。
また、キャプチャーボード５８は、Ｘ線エリアセンサ２
からの全ての画素出力をデジタル化してコンピュータ５
１に供給し、コンピュータ５１ではその各画素データに
基づくＸ線透視像を表示モニタ５９に表示する。
【００２１】 以上の実施の形態の使用に当たり、装置
をＸ線ＣＴ装置として用いる場合、ＣＴ用試料ステージ
３を搭載した支持板３３がベース板３５に密着するよう
に位置決めして、キーボード５１ａを操作してその旨を
指示すればよい。一方、装置をＸ線透視装置として用い
る場合には、ＣＴ用試料ステージ３を退避用ストッパ３
６側に倒すとともに、透視用試料ステージ４にカーボン
製テーブル４１を装着し、キーボード５１ａを操作して
その旨を指示すればよい。
をＸ線ＣＴ装置として用いる場合、ＣＴ用試料ステージ
３を搭載した支持板３３がベース板３５に密着するよう
に位置決めして、キーボード５１ａを操作してその旨を
指示すればよい。一方、装置をＸ線透視装置として用い
る場合には、ＣＴ用試料ステージ３を退避用ストッパ３
６側に倒すとともに、透視用試料ステージ４にカーボン
製テーブル４１を装着し、キーボード５１ａを操作して
その旨を指示すればよい。
【００２２】本発明の実施の形態を透視装置として用い
る場合においては、ＣＴ用試料ステージ３がＸ線発生装
置１のＸ線放射口１ａよりも下方に退避しているため
に、その存在が全く邪魔にならず、しかも、水平のカー
ボン製テーブル４１上に試料を載せるだけでよいため、
例えばＩＣチップ等の小さな試料を多数個一度に透視す
る等の作業が極めて容易となる。
る場合においては、ＣＴ用試料ステージ３がＸ線発生装
置１のＸ線放射口１ａよりも下方に退避しているため
に、その存在が全く邪魔にならず、しかも、水平のカー
ボン製テーブル４１上に試料を載せるだけでよいため、
例えばＩＣチップ等の小さな試料を多数個一度に透視す
る等の作業が極めて容易となる。
【００２３】また、透視装置として用いた後に、ＣＴ装
置として用いる場合には、ＣＴ用試料ステージ３をベー
ス板３５側に回動させるだけで、その姿勢並びに位置が
一定となり、特に校正作業を行うことなく、直ちにＣＴ
像の採取に移行することができる。
置として用いる場合には、ＣＴ用試料ステージ３をベー
ス板３５側に回動させるだけで、その姿勢並びに位置が
一定となり、特に校正作業を行うことなく、直ちにＣＴ
像の採取に移行することができる。
【００２４】なお、以上の実施の形態においては、ＣＴ
用試料ステージ３を退避させる機構として、ヒンジ機構
３４と、そのヒンジ機構３４によるＣＴ用ステージ３の
回動をＣＴ測定位置と退避位置において規制するベース
板３５および退避用ストッパ３６からなる位置決め機構
によって構成し、これにより、少ない所要スペースでＣ
Ｔ用試料ステージ３を退避可能としたが、本発明はこれ
に限定されることなく、ＣＴ用試料ステージ３を直線運
動によって退避させる機構を採用することもできる。
用試料ステージ３を退避させる機構として、ヒンジ機構
３４と、そのヒンジ機構３４によるＣＴ用ステージ３の
回動をＣＴ測定位置と退避位置において規制するベース
板３５および退避用ストッパ３６からなる位置決め機構
によって構成し、これにより、少ない所要スペースでＣ
Ｔ用試料ステージ３を退避可能としたが、本発明はこれ
に限定されることなく、ＣＴ用試料ステージ３を直線運
動によって退避させる機構を採用することもできる。
【００２５】また、以上の実施の形態においては、Ｘ線
発生装置１のＸ線放射口１ａを鉛直上方に向けるととも
に、その上方にＸ線エリアセンサ２を配置した例を示し
たが、これらを逆転して配置した構成、つまりＸ線発生
装置１のＸ線放射口１ａを鉛直下方に向け、その下方に
Ｘ線エリアセンサ２を配置した構成を採用しても、上記
と全く同等の作用効果を奏し得ることは勿論である。
発生装置１のＸ線放射口１ａを鉛直上方に向けるととも
に、その上方にＸ線エリアセンサ２を配置した例を示し
たが、これらを逆転して配置した構成、つまりＸ線発生
装置１のＸ線放射口１ａを鉛直下方に向け、その下方に
Ｘ線エリアセンサ２を配置した構成を採用しても、上記
と全く同等の作用効果を奏し得ることは勿論である。
【００２６】 以上のように、本発明によれば、Ｘ線光
軸を鉛直方向に沿ったものとするとともに、Ｘ線発生装
置とＸ線検出器との間に配置されるＣＴ用試料ステージ
を、Ｘ線発生装置のＸ線放射口を含む水平面により上下
に分割される２つの空間のうち、Ｘ線検出器を含まない
空間側に設定されている退避位置にまで移動させる退避
機構を備え、かつ、ＣＴ用の試料ステージとは別に、Ｘ
線発生装置とＸ線検出器の間で、水平の透視用試料テー
ブルを着脱自在に装着して３次元方向に移動させる透視
用試料ステージを設けているので、Ｘ線透視装置として
用いる場合、試料を透視用試料ステージに装着した水平
の透視用試料テーブル上に載せることにより、ＩＣチッ
プ等の比較的小さな試料を多数個一度に透視することが
でき、しかもその際には、ＣＴ用試料ステージはＸ線検
出器を含まない上記の空間に退避しているので、Ｘ線光
軸を水平方向に沿わせた従来のＸ線ＣＴ装置に比して、
その作業が大幅に簡素化される。また、透視装置として
用いた後にＣＴ装置として用いるに当たり、ＣＴ用試料
ステージを測定位置に復帰させる場合においても、ＣＴ
用試料ステージを取り外す場合に比して、校正作業を行
う必要がないなど、その復帰作業が極めて容易である。
軸を鉛直方向に沿ったものとするとともに、Ｘ線発生装
置とＸ線検出器との間に配置されるＣＴ用試料ステージ
を、Ｘ線発生装置のＸ線放射口を含む水平面により上下
に分割される２つの空間のうち、Ｘ線検出器を含まない
空間側に設定されている退避位置にまで移動させる退避
機構を備え、かつ、ＣＴ用の試料ステージとは別に、Ｘ
線発生装置とＸ線検出器の間で、水平の透視用試料テー
ブルを着脱自在に装着して３次元方向に移動させる透視
用試料ステージを設けているので、Ｘ線透視装置として
用いる場合、試料を透視用試料ステージに装着した水平
の透視用試料テーブル上に載せることにより、ＩＣチッ
プ等の比較的小さな試料を多数個一度に透視することが
でき、しかもその際には、ＣＴ用試料ステージはＸ線検
出器を含まない上記の空間に退避しているので、Ｘ線光
軸を水平方向に沿わせた従来のＸ線ＣＴ装置に比して、
その作業が大幅に簡素化される。また、透視装置として
用いた後にＣＴ装置として用いるに当たり、ＣＴ用試料
ステージを測定位置に復帰させる場合においても、ＣＴ
用試料ステージを取り外す場合に比して、校正作業を行
う必要がないなど、その復帰作業が極めて容易である。
【００２７】また、ＣＴ用試料ステージの退避機構とし
て、ヒンジ機構等の回動機構と、その回動端を規制し
て、ＣＴ用試料ステージを測定位置と退避位置に位置決
めする機構を採用すれば、少ない所要スペースのもとに
上記の効果を奏することができる。
て、ヒンジ機構等の回動機構と、その回動端を規制し
て、ＣＴ用試料ステージを測定位置と退避位置に位置決
めする機構を採用すれば、少ない所要スペースのもとに
上記の効果を奏することができる。
【図１】本発明の実施の形態の全体構成図で、機械的構
成を表す模式図と、電気的構成を表すブロック図とを併
記して示す図である。
成を表す模式図と、電気的構成を表すブロック図とを併
記して示す図である。
【図２】図１におけるＣＴ用試料ステージ３の模式的な
斜視図である。
斜視図である。
【図３】図１におけるＣＴ用試料ステージ３のＡ矢視で
示す模式的な正面図である。
示す模式的な正面図である。
【図４】従来の産業用Ｘ線ＣＴ装置の構成例を示す模式
的斜視図である。
的斜視図である。
１ Ｘ線発生装置
１ａ Ｘ線放射口
２ Ｘ線エリアセンサ
３ ＣＴ用試料ステージ
３１ 回転機構
３１ａ ワーク保持部材
３１ｂ モータ
３２ ３次元移動機構
３３ 支持板
３４ ヒンジ機構
３５ ベース板
３６ 退避用ストッパ
４ 透視用試料ステージ
４１ カーボン製テーブル
５１ コンピュータ
５１ａ キーボード
５２ Ｘ線コントロール回路
５３ モータコントロール回路
５７ ＣＴ画像再構成装置
５８ キャプチャーボード
５９ 表示モニタ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−249948（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−307341（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−181742（ＪＰ，Ａ)
特開2001−21505（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 23/00 - 23/227
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線発生装置とそのＸ線光軸上に配置さ
れたＸ線検出器の間に、試料を保持してＸ線光軸に直交
する軸の回りに回転させる機能を有する試料ステージが
配置され、その試料ステージにより試料を回転させつ
つ、複数の回転角度において試料のＸ線透視像を取り込
み、その複数のＸ線透視像を用いて試料の断層像を再構
成するＸ線ＣＴ装置において、 上記Ｘ線光軸が鉛直方向に沿うように上記Ｘ線発生装
置、Ｘ線検出器および試料ステージが配置されていると
ともに、その試料ステージを、Ｘ線発生装置とＸ線検出
器の間の測定位置から、Ｘ線発生装置のＸ線放射口を含
み、かつ、Ｘ線光軸に直交する平面で上下に分割される
２つの空間のうち、上記Ｘ線検出器を含まない側の空間
の退避位置に移動させる退避機構と、上記Ｘ線発生装置
とＸ線検出器の間で、水平の透視用試料テーブルを着脱
自在に装着して３次元方向に移動させる透視用試料ステ
ージを備えていることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。 - 【請求項２】 上記退避機構が、上記試料ステージを上
記測定位置と退避位置との間で回動させる機構と、その
各位置において当該試料ステージの回動を規制して位置
決めする機構であることを特徴とする請求項１に記載の
Ｘ線ＣＴ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000379662A JP3491610B2 (ja) | 2000-12-14 | 2000-12-14 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000379662A JP3491610B2 (ja) | 2000-12-14 | 2000-12-14 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002181737A JP2002181737A (ja) | 2002-06-26 |
| JP3491610B2 true JP3491610B2 (ja) | 2004-01-26 |
Family
ID=18847979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000379662A Expired - Fee Related JP3491610B2 (ja) | 2000-12-14 | 2000-12-14 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3491610B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9314218B2 (en) | 2011-06-20 | 2016-04-19 | Caliper Life Sciences, Inc. | Integrated microtomography and optical imaging systems |
| JP7195090B2 (ja) | 2018-09-12 | 2022-12-23 | 東芝Ｉｔコントロールシステム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
-
2000
- 2000-12-14 JP JP2000379662A patent/JP3491610B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002181737A (ja) | 2002-06-26 |
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