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JP3443358B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

半導体装置の製造方法

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JP3443358B2
JP3443358B2 JP07876699A JP7876699A JP3443358B2 JP 3443358 B2 JP3443358 B2 JP 3443358B2 JP 07876699 A JP07876699 A JP 07876699A JP 7876699 A JP7876699 A JP 7876699A JP 3443358 B2 JP3443358 B2 JP 3443358B2
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    • H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
    • H01L21/76—Making of isolation regions between components
    • H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
    • H01L21/76224—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using trench refilling with dielectric materials
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    • A44B6/00—Retainers or tethers for neckties, cravats, neckerchiefs, or the like, e.g. tie-clips, spring clips with attached tie-tethers, woggles, pins with associated sheathing members tetherable to clothing

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
方法に関し、更に詳しくはトレンチ素子分離領域形成を
行う半導体装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、トレンチ素子分離領域形成方法の
１つに、特開平９−１５３５４３号公報に記載の方法が
開示されている。以下、図５を用いて、上記従来技術を
説明する。
【０００３】まず、シリコンウエハ３１の表面に所定の
フォトリソグラフィプロセスを用いて、所定の幅、所定
の深さのトレンチ３２を所定の位置に形成する（図５
（ａ））。次に、このシリコンウエハ３１表面をシリコ
ン酸化膜３３で覆う。シリコン酸化膜３３でトレンチ３
２を埋めるとともに、シリコンウエハ３１の表面全面を
所定厚さのシリコン酸化膜３３で被覆するものである
（図５（ｂ））。
【０００４】そして、このシリコン酸化膜３３の表面を
平坦に加工する（図５（ｃ））。ＣｅＯ2（酸化セリウ
ム）を含む研摩剤を使用して化学的機械研磨を行う。更
に、この後、ヒュームドシリカを含む研磨剤を使用し
て、この平坦なシリコン酸化膜を研磨し、シリコンウエ
ハ３１の表面を露出させる（図５（ｄ））。この場合の
化学的機械研磨の終点は、疎水性のシリコン表面が露出
することで、容易に判断することができる。
【０００５】次に、アミンの入ったシリコンの研摩剤を
用いて、このシリコンウエハ表面に仕上げ研磨を施す。
この結果、ディッシングが生じなく、平坦なシリコン表
面と、角が丸みを帯びたシリコン酸化膜の分離部分とが
形成されたトレンチ分離構造を有するシリコンウエハを
得ることができる（図５（ｅ））。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の特開平
９−１５３５４３号公報に記載の、酸化セリウムを含む
研磨剤を用いた研磨の後、ヒュームドシリカを含む研磨
剤を用いた研磨を行う方法でシリコン酸化膜で埋め込ま
れたトレンチ素子分離領域を形成する場合、シリコン酸
化膜を研磨して活性領域のシリコン表面が露出させるた
めに、研磨剤をして、ヒュームドシリカを使用する。と
ころが、ヒュームドシリカはシリコン酸化膜に対するシ
リコンの選択比が小さいので、シリコンは研磨ストッパ
とはならない。このため、シリコン表面が必要以上に研
磨され、結果としてトレンチの深さが浅くなるという問
題点がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
の半導体装置の製造方法は、複数の第１の島状領域から
なる島状領域群と、該島状領域群端から所定の距離離れ
た、少なくとも１つの、前記第１の島状領域より幅の広
い第２の島状領域とを有する半導体装置の製造方法にお
いて、半導体基板上に第１のシリコン窒化膜を形成する
工程と、パターニングにより、前記シリコン窒化膜を所
定の形状にした後、前記シリコン窒化膜をマスクに上記
半導体基板をエッチングすることにより、前記第１の島
状領域及び前記第２の島状領域を形成し、且つ、前記第
１の島状領域間に第１の溝及び前記島状領域群端と第２
の島状領域との間に第２の溝を形成する工程と、少なく
とも、前記第１の溝と第２の溝とを埋設するように全面
にシリコン酸化膜を堆積する工程と、全面に第２のシリ
コン窒化膜を形成する工程と、第１のスラリーを用いた
ＣＭＰ法により、前記第２の島状領域上の第１のシリコ
ン窒化膜上表面が露出するまで、前記第２のシリコン窒
化膜及びシリコン酸化膜を研磨する工程と、第２のスラ
リーを用いたＣＭＰ法により、前記第１の島状領域上の
第１のシリコン窒化膜上表面が露出するまで、前記第２
のシリコン窒化膜及びシリコン酸化膜を研磨する工程
と、前記シリコン酸化膜を所定の量だけエッチングする
工程と、前記第１のシリコン窒化膜と前記第２のシリコ
ン窒化膜とを除去する工程とを有することを特徴とする
ものである。
【０００８】また、請求項２に記載の本発明の半導体装
置の製造方法は、前記第２の溝上平坦領域における前記
第２のシリコン窒化膜表面が前記第１の島状領域におけ
る第１のシリコン窒化膜表面と同一面上になるように、
前記第２のシリコン窒化膜を形成することを特徴とす
る、請求項１に記載の半導体装置の製造方法である。
【０００９】また、請求項３に記載の本発明の半導体装
置の製造方法は、前記第２のシリコン窒化膜の膜厚が第
１のシリコン窒化膜の膜厚より薄くなるように、前記第
２のシリコン窒化膜を形成することを特徴とする、請求
項２に記載の半導体装置の製造方法である。
【００１０】また、請求項４に記載の本発明の半導体装
置の製造方法は、前記第２のシリコン窒化膜形成後、マ
スクを用いて、前記第１のシリコン窒化膜が露出するま
で前記第２の島状領域上の前記第２のシリコン窒化膜及
び前記シリコン酸化膜をエッチングして、前記第２の島
状領域上に開口部を設けることを特徴とする、請求項１
乃至請求項３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法
である。
【００１１】更に、請求項５に記載の本発明の半導体装
置の製造方法は、前記第１のスラリーとしてシリカ系ス
ラリーを用い、且つ、前記第２のスラリーとしてセリウ
ム系スラリーを用いたことを特徴とする、請求項１乃至
請求項４のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、一実施の形態に基づいて、
本発明の半導体装置の製造方法を詳細に説明する。図１
乃至図４は本発明の半導体装置の製造工程の第１ステッ
プ乃至第４ステップを示す製造工程説明図である。
【００１３】まず、シリコン基板１上にパッド酸化膜２
を熱酸化にて、１４０Å形成した上に、１６００Åの第
１のシリコン窒化膜３を形成する（図１（ａ））。この
第１のシリコン窒化膜３は、後の工程での熱処理の際
に、活性領域となるシリコン基板１表面が酸化されるの
を防止するためのものである。
【００１４】次に、素子分離領域を形成するために、レ
ジストを塗布し、露光、現像する。次に、素子分離領域
領域のシリコン窒化膜３とパッド酸化膜２のエッチング
を、ガス流量をＣＨＦ3が１０ｓｃｃｍ、ＣＦ4が２２ｓ
ｃｃｍ、Ｏ2が８ｓｃｃｍとして行う。その後、シリコ
ン基板１をエッチングすることにより、深さ３５００Å
の複数の溝部を形成する（図１（ｂ））。本実施の形態
では、複数の活性領域となる第１の島状領域１ａと素子
分離領域となる第１の溝部１ｂとからなる領域とこの領
域端の第１の島状領域１ａに隣接して設けられた第１の
溝部１ｂより幅の広い、素子分離領域となる第２の溝部
１ｃ及び第２の溝部１ｃに囲まれた活性領域となる第２
の島状領域１ｄとが形成される。本実施の形態において
は、第１の島状領域１ａの幅を０．２２〜０．４μｍ、
第１の溝部１ｂの幅を０．２８〜０．７μｍ、第２の島
状領域１ｄの幅を第１の島状領域１ａよりも広い幅、第
２の溝部１ｃの幅を２〜４ｍｍとする。
【００１５】次に、レジストのアッシング工程及び洗浄
工程の後、第１の溝部１ｂ及び第２の溝部１ｃに埋め込
み酸化膜を埋設する。このとき、第２の溝部１ｃの埋め
込み酸化膜４の膜厚は、シリコン基板の第１の島状領域
１ａ表面と同一の高さ又は、それ以上となるようにする
必要がある。このため、埋め込み酸化膜４を膜厚３５０
０〜５１００Å、例えば、４０００Å形成する。
【００１６】次に、第２のシリコン窒化膜５を１０００
Å形成する。この第２のシリコン窒化膜５は、第２の溝
部１ｃ上の平坦部の第２のシリコン窒化膜５表面が第２
の島状領域１ｄ上の第１のシリコン窒化膜３表面と同一
面上にあることが、均一に表面研磨を行う上で望まし
い。すなわち、第１のシリコン窒化膜３の方が、第２の
シリコン窒化膜５に比べて厚くなるようにすることが望
ましい。
【００１７】次に、レジストを塗布し、露光、現像した
所定の形状のレジストパターン６を形成した（図２
（ａ））後、第２の島状領域上の第２のシリコン窒化膜
５及び埋め込み酸化膜４をエッチングし、第２の島状領
域１ｄ上の第１のシリコン窒化膜３上表面を露出させる
（図２（ｂ））。この際、第２の島状領域１ｄ上におい
て、第２のシリコン窒化膜５が平坦である領域をエッチ
ングすることが望ましい。第２の島状領域１ｄ内の外周
領域では、埋め込み酸化膜４の膜厚が変化しているた
め、第２の島状領域１ｄ内の外側に行くにつれてオーバ
ーエッチングの量が増加するという問題が生じるからで
ある。例えば、所定の形状のレジストパターンによる開
口部を形成する必要があるのは、第２の島状領域１ｄの
両側それぞれ０．３μｍの部分では、酸化膜の厚さが一
定でないため、避ける必要があること、開口部の最小加
工寸法０．５５μｍを考慮すると、第２の島状領域１ｄ
の幅が１．１５μｍ以上の場合となる。
【００１８】次に、第１のＣＭＰ法による研磨には、Ｐ
Ｈ１０．３、濃度１２ｗｔ％、ＳｉＯ2の粒子径が５０
〜２００ｎｍのシリカ系スラリーであるフュームドシリ
カスラリー、圧力を３５０ｇＦ／ｃｍ2、研磨盤の回転
数５０ｒｐｍ、ウエハ側の定盤の回転数６．９ｒｐｍ、
スラリー流量２０００ｓｃｃｍの研磨条件を用いて、第
２の島状領域１ｄ上の第１のシリコン窒化膜３全上表面
が露出するまで、本実施の形態では２５００Å（シリコ
ン窒化膜とシリコン酸化膜との積層膜をシリコン酸化膜
の単一層に換算した場合の研磨量）相当の研磨を行う
（図３（ａ））。この研磨によって、第２の島状領域１
ｄ上の第１のシリコン窒化膜３表面と第２の溝部１ｃ上
の第２のシリコン窒化膜５表面との第１の段差は２００
Å以下、第１の島状領域１ａ上の第２のシリコン窒化膜
５表面と第１の溝部１ｂ上の第２のシリコン窒化膜５表
面との第２の段差は１０００Å程度まで平坦化される。
この第１のＣＭＰ法に用いるスラリーは機械的研磨作用
の方が、化学的研磨作用より強く作用するものであり、
段差の解消に効果が大きい。
【００１９】このとき、第２の溝部１ｃの研磨ストッパ
ー膜としての第２のシリコン窒化膜の残膜は５００〜９
００Å、第２の島状領域１ｄにおける第１のシリコン窒
化膜３の残膜は１０００〜１３００Åである。
【００２０】次に、第２のＣＭＰ法による研磨には、シ
リコン窒化膜のシリコン酸化膜に対する選択比を１５０
より大きく、ＰＨは６〜６．２５、粒子径を２５０ｎｍ
の、セリウム系スラリーである酸化セリウム系スラリー
を用いて、第１の島状領域１ａ上の第１のシリコン窒化
膜３の上表面が露出するまで、本実施の形態では４００
０〜６０００Å（シリコン窒化膜とシリコン酸化膜との
積層膜をシリコン酸化膜の単一層に換算した場合の研磨
量）相当の研磨を行う（図３（ｂ））。研磨条件は、第
１の研磨と同じ条件である。この研磨によって、上述の
第１の段差及び第２の段差は２００Å以下となる。この
第２のＣＭＰ法に用いるスラリーはシリコン酸化膜に対
するシリコン窒化膜の選択比が１５０以上のものが望ま
しい。これにより、シリコン窒化膜の研磨を抑えつつ、
シリコン酸化膜の研磨を行うことができる。
【００２１】このときの第２の溝部１ｃ上の第２のシリ
コン窒化膜５の残膜は４００〜６００Å、第２の島状領
域１ｄの残膜は７５０〜８００Å、第１の島状領域１ａ
の残膜は９００〜１０００Åである。その後、ＨＦ処理
を行い、島状領域近傍の埋め込み酸化膜を４００Å程度
エッチングして、次工程の為に段差を低減する（図４
（ａ））。
【００２２】その後、第１及び第２の島状領域１ａ、１
ｄ上の第１のシリコン窒化膜３を熱リン酸を用いて除去
する（図４（ｂ））。
【００２３】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明を
用いることにより、トレンチ構造の素子分離領域の酸化
膜を膜減りなく基板表面を平坦化することができるの
で、ディッシングによる素子特性を劣化を抑制すること
ができる。
【００２４】また、請求項２乃至請求項５に記載の本発
明を用いることにより、更に基板表面を平坦化すること
ができるので、素子特性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の一実施例の製造工程の第１ス
テップの前半を示す製造工程説明図であり、（ｂ）は同
後半を示す製造工程説明図である。
【図２】（ａ）は本発明の一実施例の製造工程の第２ス
テップの前半を示す製造工程説明図であり、（ｂ）は同
後半を示す製造工程説明図である。
【図３】（ａ）は本発明の一実施例の製造工程の第３ス
テップの前半を示す製造工程説明図であり、（ｂ）は同
後半を示す製造工程説明図である。
【図４】（ａ）は本発明の一実施例の製造工程の第４ス
テップの前半を示す製造工程説明図であり、（ｂ）は同
後半を示す製造工程説明図である。
【図５】従来例の製造工程説明図である。
【符号の説明】
１ シリコン基板 １ａ 第１の島状領域 １ｂ 第１の溝部 １ｃ 第２の溝部 １ｄ 第２の島状領域 ２ パッド酸化膜 ３ 第１のシリコン窒化膜 ４ 埋め込み酸化膜 ５ 第２のシリコン窒化膜 ６ レジストパターン
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/76 H01L 21/304 601 H01L 21/304 621 H01L 21/304 622

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数の第１の島状領域からなる島状領域
    群と、該島状領域群端から所定の距離離れた、少なくと
    も１つの、前記第１の島状領域より幅の広い第２の島状
    領域とを有する半導体装置の製造方法において、 半導体基板上に第１のシリコン窒化膜を形成する工程
    と、 パターニングにより、前記シリコン窒化膜を所定の形状
    にした後、前記シリコン窒化膜をマスクに上記半導体基
    板をエッチングすることにより、前記第１の島状領域及
    び前記第２の島状領域を形成し、且つ、前記第１の島状
    領域間に第１の溝及び前記島状領域群端と第２の島状領
    域との間に第２の溝を形成する工程と、少なくとも、前
    記第１の溝と第２の溝とを埋設するように全面にシリコ
    ン酸化膜を堆積する工程と、 全面に第２のシリコン窒化膜を形成する工程と、 第１のスラリーを用いたＣＭＰ法により、前記第２の島
    状領域上の第１のシリコン窒化膜上表面が露出するま
    で、前記第２のシリコン窒化膜及びシリコン酸化膜を研
    磨する工程と、 第２のスラリーを用いたＣＭＰ法により、前記第１の島
    状領域上の第１のシリコン窒化膜上表面が露出するま
    で、前記第２のシリコン窒化膜及びシリコン酸化膜を研
    磨する工程と、 前記シリコン酸化膜を所定の量だけエッチングする工程
    と、 前記第１のシリコン窒化膜と前記第２のシリコン窒化膜
    とを除去する工程とを有することを特徴とする、半導体
    装置の製造方法。
  2. 【請求項２】 前記第２の溝上平坦領域における前記第
    ２のシリコン窒化膜表面が前記第１の島状領域における
    第１のシリコン窒化膜表面と同一面上になるように、前
    記第２のシリコン窒化膜を形成することを特徴とする、
    請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
  3. 【請求項３】 前記第２のシリコン窒化膜の膜厚が第１
    のシリコン窒化膜の膜厚より薄くなるように、前記第２
    のシリコン窒化膜を形成することを特徴とする、請求項
    ２に記載の半導体装置の製造方法。
  4. 【請求項４】 前記第２のシリコン窒化膜形成後、マス
    クを用いて、前記第１のシリコン窒化膜が露出するまで
    前記第２の島状領域上の前記第２のシリコン窒化膜及び
    前記シリコン酸化膜をエッチングして、前記第２の島状
    領域上に開口部を設けることを特徴とする、請求項１乃
    至請求項３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
  5. 【請求項５】 前記第１のスラリーとしてシリカ系スラ
    リーを用い、且つ、前記第２のスラリーとしてセリウム
    系スラリーを用いたことを特徴とする、請求項１乃至請
    求項４のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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