JP3396890B2 - ホログラム、これを用いた光ヘッド装置及び光学系 - Google Patents
ホログラム、これを用いた光ヘッド装置及び光学系Info
- Publication number
- JP3396890B2 JP3396890B2 JP03465792A JP3465792A JP3396890B2 JP 3396890 B2 JP3396890 B2 JP 3396890B2 JP 03465792 A JP03465792 A JP 03465792A JP 3465792 A JP3465792 A JP 3465792A JP 3396890 B2 JP3396890 B2 JP 3396890B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hologram
- light
- head device
- light beam
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 87
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/02—Details of features involved during the holographic process; Replication of holograms without interference recording
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1876—Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1876—Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms
- G02B5/188—Plurality of such optical elements formed in or on a supporting substrate
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/32—Holograms used as optical elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1353—Diffractive elements, e.g. holograms or gratings
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H2240/00—Hologram nature or properties
- G03H2240/20—Details of physical variations exhibited in the hologram
- G03H2240/40—Dynamic of the variations
- G03H2240/42—Discrete level
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H2260/00—Recording materials or recording processes
- G03H2260/50—Reactivity or recording processes
- G03H2260/63—Indirect etching, e.g. lithography
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクあるいは光
カードなど、光媒体もしくは光磁気媒体上に記憶される
情報の記録・再生あるいは消去を行う光ヘッド装置、及
び、電気配線に代わって非常に多くの信号を伝達する光
インターコネクションの光学系、及びこれらの光学系に
おいてキーデバイスとなるホログラム（回折格子を含
む）に関するものである。
カードなど、光媒体もしくは光磁気媒体上に記憶される
情報の記録・再生あるいは消去を行う光ヘッド装置、及
び、電気配線に代わって非常に多くの信号を伝達する光
インターコネクションの光学系、及びこれらの光学系に
おいてキーデバイスとなるホログラム（回折格子を含
む）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高密度・大容量の記憶媒体として、ピッ
ト状パターンを有する光ディスクを用いる光メモリ技術
は、ディジタルオーディオディスク、ビデオディスク、
文書ファイルディスク、さらにはデータファイルと用途
を拡張しつつ、実用化されてきている。微小に絞られた
光ビームを介して光ディスクへの情報の記録再生が高い
信頼性のもとに首尾よく遂行されるメカニズムは、ひと
えにその光学系に因っている。その光学系の主要部であ
る光ヘッド装置の基本的な機能は、回折限界の微小スポ
ットを形成する集光性、前記光学系の焦点制御とトラッ
キング制御、及びピット信号の検出に大別される。これ
らは、目的、用途に応じて、各種の光学系ならびに光電
変換検出方式の組合せによって現わされており、特に近
年、光ピックアップヘッド装置を小型化、薄型化するた
めに、ホログラムを用いた光ピックアップヘッド装置が
開示されている。
ト状パターンを有する光ディスクを用いる光メモリ技術
は、ディジタルオーディオディスク、ビデオディスク、
文書ファイルディスク、さらにはデータファイルと用途
を拡張しつつ、実用化されてきている。微小に絞られた
光ビームを介して光ディスクへの情報の記録再生が高い
信頼性のもとに首尾よく遂行されるメカニズムは、ひと
えにその光学系に因っている。その光学系の主要部であ
る光ヘッド装置の基本的な機能は、回折限界の微小スポ
ットを形成する集光性、前記光学系の焦点制御とトラッ
キング制御、及びピット信号の検出に大別される。これ
らは、目的、用途に応じて、各種の光学系ならびに光電
変換検出方式の組合せによって現わされており、特に近
年、光ピックアップヘッド装置を小型化、薄型化するた
めに、ホログラムを用いた光ピックアップヘッド装置が
開示されている。
【０００３】図１２に、我々が先に考案し特許出願した
（特願平３−４６６３０）光ヘッド装置の構成図を従来
例として示す。
（特願平３−４６６３０）光ヘッド装置の構成図を従来
例として示す。
【０００４】図１２において、２は半導体レーザ等の放
射光源である。この光源から出射した光ビーム３（レー
ザ光）は反射型ブレーズ化ホログラム１０５（以下単に
ホログラムと呼ぶ）で反射して対物レンズ４に入射し、
情報媒体５上に集光される。情報媒体５で反射した光ビ
−ムはもとの光路を逆にたどって（復路）、ホログラム
１０５に入射する。このホログラム１０５から生じる復
路の＋１次回折光６は光検出器７に入射する。光検出器
７の出力を演算することによって、サーボ信号及び、情
報信号を得ることができる。
射光源である。この光源から出射した光ビーム３（レー
ザ光）は反射型ブレーズ化ホログラム１０５（以下単に
ホログラムと呼ぶ）で反射して対物レンズ４に入射し、
情報媒体５上に集光される。情報媒体５で反射した光ビ
−ムはもとの光路を逆にたどって（復路）、ホログラム
１０５に入射する。このホログラム１０５から生じる復
路の＋１次回折光６は光検出器７に入射する。光検出器
７の出力を演算することによって、サーボ信号及び、情
報信号を得ることができる。
【０００５】ここで、ホログラム１０５がブレーズ化さ
れている理由は、放射光源２から情報媒体５へ至る往路
においてホログラム１０５から発生する不要な回折光
が、情報媒体５で反射して光検出器７に入射することを
防ぐためである。
れている理由は、放射光源２から情報媒体５へ至る往路
においてホログラム１０５から発生する不要な回折光
が、情報媒体５で反射して光検出器７に入射することを
防ぐためである。
【０００６】また、ブレーズ化ホログラムの作製にあた
っては図１３に示すように２回のエッチングによって階
段上の断面形状（図１４：ａ７＝ｂ７＝ｃ７＝ｄ７）を
もつマルチレベルホログラムを作製することにより回折
効率の制御の自由度を高くすることができる。すなわ
ち、一回目のエッチング深さと二回目のエッチング深さ
を独立に制御して不要な回折光の回折効率を低く、同時
に、往復の光の利用効率を高くすることができる。
っては図１３に示すように２回のエッチングによって階
段上の断面形状（図１４：ａ７＝ｂ７＝ｃ７＝ｄ７）を
もつマルチレベルホログラムを作製することにより回折
効率の制御の自由度を高くすることができる。すなわ
ち、一回目のエッチング深さと二回目のエッチング深さ
を独立に制御して不要な回折光の回折効率を低く、同時
に、往復の光の利用効率を高くすることができる。
【０００７】さらに、反射型ブレーズ化ホログラム１０
５は光軸の折りまげミラーの役割も兼ねているので、薄
型の光ヘッド装置を少数の部品で構成できるという効果
がある。
５は光軸の折りまげミラーの役割も兼ねているので、薄
型の光ヘッド装置を少数の部品で構成できるという効果
がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来例に示したように
光学系は有限光学系を用いた方がコリメートレンズを省
くことのできるぶんだけ小型化、軽量化、低コスト化で
きる。しかしながら、図１２においてホログラム１０５
のＡ点とＥ点では光の入射する角度が異なるために回折
効率に違い（むら）がでるという課題がある。
光学系は有限光学系を用いた方がコリメートレンズを省
くことのできるぶんだけ小型化、軽量化、低コスト化で
きる。しかしながら、図１２においてホログラム１０５
のＡ点とＥ点では光の入射する角度が異なるために回折
効率に違い（むら）がでるという課題がある。
【０００９】ここで、図１５を用いて入射角度の違いに
よって反射型ホログラムから発生する回折光の回折効率
が異なる理由を説明する。
よって反射型ホログラムから発生する回折光の回折効率
が異なる理由を説明する。
【００１０】図１５において６５ａ、６５ｂはホログラ
ムへの入射光束、６６ａ、６６ｂは回折光束、θ１は入
射角、θ２は回折角、３３ａはレリーフ型の反射型ブレ
ーズ化ホログラムの上側反射面、３３ｂは下側の反射
面、ｈは上側と下側の反射面の段差、Ｌ１、Ｌ２は段差
ｈによって生じる光路差である。このとき、光路差は、 Ｌ１＝ｈ・ｃｏｓθ１ Ｌ２＝ｈ・ｃｏｓθ２ ・・・・・（１） となる。
ムへの入射光束、６６ａ、６６ｂは回折光束、θ１は入
射角、θ２は回折角、３３ａはレリーフ型の反射型ブレ
ーズ化ホログラムの上側反射面、３３ｂは下側の反射
面、ｈは上側と下側の反射面の段差、Ｌ１、Ｌ２は段差
ｈによって生じる光路差である。このとき、光路差は、 Ｌ１＝ｈ・ｃｏｓθ１ Ｌ２＝ｈ・ｃｏｓθ２ ・・・・・（１） となる。
【００１１】式１からわかるように、光路差は入射角、
回折角の余弦に比例しているため、入射角、反射角が４
５°の時、入射角や反射角の変化に対して光路差が最も
敏感に変化して、回折効率もこれにともなって変化する
ことが分かる。
回折角の余弦に比例しているため、入射角、反射角が４
５°の時、入射角や反射角の変化に対して光路差が最も
敏感に変化して、回折効率もこれにともなって変化する
ことが分かる。
【００１２】従来例に示した光ヘッド装置では回折効率
にむらが生じるとサーボ信号オフセットが発生したり、
ＲＦ信号の周波数特性を劣化させる原因となる。
にむらが生じるとサーボ信号オフセットが発生したり、
ＲＦ信号の周波数特性を劣化させる原因となる。
【００１３】このように、ホログラム素子の回折効率の
むらは、このホログラム素子を用いて構成したシステム
の特性を劣化させるので解消する必要がある。
むらは、このホログラム素子を用いて構成したシステム
の特性を劣化させるので解消する必要がある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明のホログラムは、
階段状の断面形状を有するホログラムであって、断面形
状は４段のレベルを有し、格子ピッチに対する各階段幅
の比をホログラム面内の位置によって変化させ、断面形
状の階段の階段幅を格子ベクトルに沿った順番にそれぞ
れａｎ＋１、ｂｎ＋１、ｂｎ、ａｎとしたときに、ａｎ
＋１＝ａｎかつ、ｂｎ＋１＝ｂｎとし、かつ、ａｎとｂ
ｎの比をホログラム面内の位置によって変化させること
を特徴とする。 また本発明のホログラムは、前記ホログ
ラムへの入射光線の入射角度が大きな部分はａｎ＞ｂｎ
であることを特徴とする。 また本発明のホログラムは、
前記ホログラムへの入射光線の入射角度が小さな部分は
ａｎ＜ｂｎであることを特徴とする。
階段状の断面形状を有するホログラムであって、断面形
状は４段のレベルを有し、格子ピッチに対する各階段幅
の比をホログラム面内の位置によって変化させ、断面形
状の階段の階段幅を格子ベクトルに沿った順番にそれぞ
れａｎ＋１、ｂｎ＋１、ｂｎ、ａｎとしたときに、ａｎ
＋１＝ａｎかつ、ｂｎ＋１＝ｂｎとし、かつ、ａｎとｂ
ｎの比をホログラム面内の位置によって変化させること
を特徴とする。 また本発明のホログラムは、前記ホログ
ラムへの入射光線の入射角度が大きな部分はａｎ＞ｂｎ
であることを特徴とする。 また本発明のホログラムは、
前記ホログラムへの入射光線の入射角度が小さな部分は
ａｎ＜ｂｎであることを特徴とする。
【００１５】本発明の光ヘッド装置は、放射光源と、前
記放射光源からの光ビームを受け情報媒体上へ微小スポ
ットに収束する集光光学系と、前記情報媒体で反射、回
折した光ビームを受け光電流を出力する複数の光検出部
からなる光検出器と、前記情報媒体で反射した光ビーム
を＋１次回折光として回折させて前記光検出器へ光ビー
ムを導くためのホログラムとを具備した光ヘッド装置で
あって、前記ホログラムが請求項１から３のいずれかに
記載のホログラムであることを特徴とする。 また本発明
の光へッド装置は放射光源と、前記放射光源からの光ビ
ームを複数の回折光に分割するホログラムと、前記光ビ
ームを受け情報媒体上へ微小スポットに収束する集光光
学系と、前記情報媒体で反射、回折した光ビームを受け
光電流を出力する複数の光検出部からなる光検出器と、
前記情報媒体で反射した光ビームを前記光検出器へ導く
手段とを具備した光ヘッド装置であって、前記ホログラ
ムが請求項１から３のいずれかに記載のホログラムであ
ることを特徴とする。
記放射光源からの光ビームを受け情報媒体上へ微小スポ
ットに収束する集光光学系と、前記情報媒体で反射、回
折した光ビームを受け光電流を出力する複数の光検出部
からなる光検出器と、前記情報媒体で反射した光ビーム
を＋１次回折光として回折させて前記光検出器へ光ビー
ムを導くためのホログラムとを具備した光ヘッド装置で
あって、前記ホログラムが請求項１から３のいずれかに
記載のホログラムであることを特徴とする。 また本発明
の光へッド装置は放射光源と、前記放射光源からの光ビ
ームを複数の回折光に分割するホログラムと、前記光ビ
ームを受け情報媒体上へ微小スポットに収束する集光光
学系と、前記情報媒体で反射、回折した光ビームを受け
光電流を出力する複数の光検出部からなる光検出器と、
前記情報媒体で反射した光ビームを前記光検出器へ導く
手段とを具備した光ヘッド装置であって、前記ホログラ
ムが請求項１から３のいずれかに記載のホログラムであ
ることを特徴とする。
【００１６】
【００１７】また、本発明の光インターコネクション光
学系は、放射光源と、放射光源より出射する光ビームを
受けて回折光を発生させるホログラムと、前記ホログラ
ムより発生した回折光を受けて得られた光量に応じて光
電流を発生するように構成された光検出器とを有する光
インターコネクション光学系であって、前記ホログラム
が請求項１から３のいずれかに記載のホログラムである
ことを特徴とする。
学系は、放射光源と、放射光源より出射する光ビームを
受けて回折光を発生させるホログラムと、前記ホログラ
ムより発生した回折光を受けて得られた光量に応じて光
電流を発生するように構成された光検出器とを有する光
インターコネクション光学系であって、前記ホログラム
が請求項１から３のいずれかに記載のホログラムである
ことを特徴とする。
【００１８】
【作用】上記手段は階段状断面形状を有するホログラム
において、階段の深さを変えなくても各段の線幅を変え
ることによって回折効率を制御できることを見いだした
ものであり、これによって （１）マルチレベルホログラムの階段状断面形状を構成
する各段差の幅を変化させることにより、フォトプロセ
スとエッチングプロセスによる簡単な作製工程によっ
て、ホログラムに発散光が入射した時に生じる回折効率
のむらを解消できる。 （２）発散光が入射した時に生じる回折効率のむらを解
消したホログラムを用いて光ヘッド装置を構成すること
によって、コリメートレンズを必要とせず小型軽量で部
品点数も少なく安価な光ヘッド装置を構成できる。しか
も、フォーカスサーボ信号やトラッキングエラー信号の
オフセットも発生しにくく、ＲＦ信号の周波数特性も良
好である。 （３）発散光が入射した時に生じる回折効率のむらを解
消したホログラムを用いた光ヘッド装置においてフォー
カスサーボ信号の検出方式として、ＳＳＤ法を用いる。
これによって光ヘッド装置の組み立て許容誤差を著しく
緩和できる上に波長変動に対しても安定にサーボ信号を
得ることができる。 （４）トラッキングエラー（ＴＥ）信号検出方式として
３ビーム方を用いた光ヘッド装置において、回折格子を
反射型にして光の入射角度を４５°程度にし、回折格子
のデューティーを変化させることによって、小型の光学
系を構成でき、かつ、３ビーム用回折格子の面内で回折
効率を一定にできる、すなわち、回折効率のむらを解消
でき安定でオフセットの少ないトラッキングエラー信号
を得ることができる。 （５）ホログラムを用いた光インターコネクションの光
学系においてホログラムの回折効率のむらを補正するこ
とによって、光学系の小型化とアライメントの簡略化を
実現できる上に、光の伝達効率が向上し、不要な回折光
も抑圧できるので信号間のクロストークが減少し、Ｓ／
Ｎ比が向上する。
において、階段の深さを変えなくても各段の線幅を変え
ることによって回折効率を制御できることを見いだした
ものであり、これによって （１）マルチレベルホログラムの階段状断面形状を構成
する各段差の幅を変化させることにより、フォトプロセ
スとエッチングプロセスによる簡単な作製工程によっ
て、ホログラムに発散光が入射した時に生じる回折効率
のむらを解消できる。 （２）発散光が入射した時に生じる回折効率のむらを解
消したホログラムを用いて光ヘッド装置を構成すること
によって、コリメートレンズを必要とせず小型軽量で部
品点数も少なく安価な光ヘッド装置を構成できる。しか
も、フォーカスサーボ信号やトラッキングエラー信号の
オフセットも発生しにくく、ＲＦ信号の周波数特性も良
好である。 （３）発散光が入射した時に生じる回折効率のむらを解
消したホログラムを用いた光ヘッド装置においてフォー
カスサーボ信号の検出方式として、ＳＳＤ法を用いる。
これによって光ヘッド装置の組み立て許容誤差を著しく
緩和できる上に波長変動に対しても安定にサーボ信号を
得ることができる。 （４）トラッキングエラー（ＴＥ）信号検出方式として
３ビーム方を用いた光ヘッド装置において、回折格子を
反射型にして光の入射角度を４５°程度にし、回折格子
のデューティーを変化させることによって、小型の光学
系を構成でき、かつ、３ビーム用回折格子の面内で回折
効率を一定にできる、すなわち、回折効率のむらを解消
でき安定でオフセットの少ないトラッキングエラー信号
を得ることができる。 （５）ホログラムを用いた光インターコネクションの光
学系においてホログラムの回折効率のむらを補正するこ
とによって、光学系の小型化とアライメントの簡略化を
実現できる上に、光の伝達効率が向上し、不要な回折光
も抑圧できるので信号間のクロストークが減少し、Ｓ／
Ｎ比が向上する。
【００１９】
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００２０】前述の回折効率むらはホログラム上の位置
に応じて段差を変化させることによって解消できると考
えられるが、図１３に示したホログラム作製プロセスに
おいてホログラム上の位置に応じてエッチング深さを変
化させることは極めて難しい。そこで本発明において
は、マルチレベルホログラムの階段を構成する各段差の
幅を変化させる。
に応じて段差を変化させることによって解消できると考
えられるが、図１３に示したホログラム作製プロセスに
おいてホログラム上の位置に応じてエッチング深さを変
化させることは極めて難しい。そこで本発明において
は、マルチレベルホログラムの階段を構成する各段差の
幅を変化させる。
【００２１】図１は本発明の第１の実施例によるホログ
ラムの一部の断面図である。本実施例においては図１２
のＡ点付近は図１の（ａ）のように、図１２のＥ点付近
は図１の（ｂ）のようにマルチレベルのホログラム断面
を設計する。すなわち、（ａ）ではａ１＝ａ２＞ｂ１＝
ｂ２とし、（ｂ）ではａ３＝ａ４＜ｂ３＝ｂ４とする。
そして図１２のＡ点とＥ点の中間ではＡ点とＥ点の断面
形状を線形に変化させる。例えば、主光線の入射点付近
では各段差の線幅をほぼ等しくする。
ラムの一部の断面図である。本実施例においては図１２
のＡ点付近は図１の（ａ）のように、図１２のＥ点付近
は図１の（ｂ）のようにマルチレベルのホログラム断面
を設計する。すなわち、（ａ）ではａ１＝ａ２＞ｂ１＝
ｂ２とし、（ｂ）ではａ３＝ａ４＜ｂ３＝ｂ４とする。
そして図１２のＡ点とＥ点の中間ではＡ点とＥ点の断面
形状を線形に変化させる。例えば、主光線の入射点付近
では各段差の線幅をほぼ等しくする。
【００２２】このとき＋１次回折光の回折効率η+1は図
２（ａ）の（２）に示す計算結果のようにホログラム面
上の位置に関わらずほぼ一定になる。すなわち回折効率
のむらが解消できるという効果がある。ここで縦軸は回
折効率を表し、横軸はホログラム面上での位置を表す。
Ａ点〜Ｅ点は図２（ｂ）に示す点を表している。なお、
図２（ａ）の（１）は、従来例において説明したように
ホログラムのすべての面上で各段差の線幅を一定にした
ときの回折効率を示す。（１）に比べて（２）の方がは
るかに均一な回折特性を有していることが分かる。
２（ａ）の（２）に示す計算結果のようにホログラム面
上の位置に関わらずほぼ一定になる。すなわち回折効率
のむらが解消できるという効果がある。ここで縦軸は回
折効率を表し、横軸はホログラム面上での位置を表す。
Ａ点〜Ｅ点は図２（ｂ）に示す点を表している。なお、
図２（ａ）の（１）は、従来例において説明したように
ホログラムのすべての面上で各段差の線幅を一定にした
ときの回折効率を示す。（１）に比べて（２）の方がは
るかに均一な回折特性を有していることが分かる。
【００２３】なお、各段差の線幅の変化の方法に付いて
は、Ａ点（図１（ａ））でａ１＝ｂ１＝ｂ２＜ａ２、Ｅ
点（図１（ｂ））ではａ３＝ｂ３＝ｂ４＞ａ４として、
Ａ点とＥ点の中間ではＡ点とＥ点の断面形状を線形に変
化させても同様の効果を得ることができる。
は、Ａ点（図１（ａ））でａ１＝ｂ１＝ｂ２＜ａ２、Ｅ
点（図１（ｂ））ではａ３＝ｂ３＝ｂ４＞ａ４として、
Ａ点とＥ点の中間ではＡ点とＥ点の断面形状を線形に変
化させても同様の効果を得ることができる。
【００２４】本実施例はマルチレベルの階段状断面形状
のそれぞれの段差をホログラム面内で均一に保つので、
フォトマスク３２Ａ，Ｂの線幅を制御するだけで図１３
に示した作製プロセスによって容易にホログラムを作製
できるという効果がある。
のそれぞれの段差をホログラム面内で均一に保つので、
フォトマスク３２Ａ，Ｂの線幅を制御するだけで図１３
に示した作製プロセスによって容易にホログラムを作製
できるという効果がある。
【００２５】さらに本発明のホログラムを用いて光ヘッ
ド装置を構成した第２の実施例を図３〜図５に示す（光
学系の構成は図１２を用いて従来例において説明したも
のと同様なのでここでは省略する）。
ド装置を構成した第２の実施例を図３〜図５に示す（光
学系の構成は図１２を用いて従来例において説明したも
のと同様なのでここでは省略する）。
【００２６】本実施例ではフォーカスサーボ信号の検出
方式として、スポットサイズディテクション法（ＳＳＤ
法）を用いる。ＳＳＤ法は特開平２−１８５７２２号公
報にも開示されているように光ヘッド装置の組み立て許
容誤差を著しく緩和できる上に波長変動に対しても安定
にサーボ信号を得ることのできる検出方法である。
方式として、スポットサイズディテクション法（ＳＳＤ
法）を用いる。ＳＳＤ法は特開平２−１８５７２２号公
報にも開示されているように光ヘッド装置の組み立て許
容誤差を著しく緩和できる上に波長変動に対しても安定
にサーボ信号を得ることのできる検出方法である。
【００２７】ＳＳＤ法を実現するためには、ホログラム
の復路の＋１次回折光が曲率の異なる２種類の球面波と
なるように設計する。それぞれの球面波は図３において
光検出器７の平面の前側ｅと後ろ側ｆに焦点を持つよう
に設計し、図４に示すように復路の＋１回折光１４１と
１４２を６分割光検出器７１によって受光する。ここで
（ｂ）がジャストフォーカス状態であり、（ａ）、
（ｃ）がデフォーカス状態を表す。従って、フォーカス
エラー信号ＦＥは、 ＦＥ＝（Ｓ１０＋Ｓ３０−Ｓ２０）−（Ｓ４０＋Ｓ６０
−Ｓ５０）．．．（２） という演算によって得られる。
の復路の＋１次回折光が曲率の異なる２種類の球面波と
なるように設計する。それぞれの球面波は図３において
光検出器７の平面の前側ｅと後ろ側ｆに焦点を持つよう
に設計し、図４に示すように復路の＋１回折光１４１と
１４２を６分割光検出器７１によって受光する。ここで
（ｂ）がジャストフォーカス状態であり、（ａ）、
（ｃ）がデフォーカス状態を表す。従って、フォーカス
エラー信号ＦＥは、 ＦＥ＝（Ｓ１０＋Ｓ３０−Ｓ２０）−（Ｓ４０＋Ｓ６０
−Ｓ５０）．．．（２） という演算によって得られる。
【００２８】さらにＳＳＤ法用のブレーズ化ホログラム
を実現する例を図５に示す。図５においてＡ領域１５１
は光検出器の前側に焦点を持つ球面波１４１（図３）を
発生させ、Ｂ領域１５２は光検出器の後ろ側に焦点を持
つ球面波１４２（図３）を発生させる。図５のようなホ
ログラムパターンから回折する波面のファーフィールド
パターンはホログラムパターンが分割されていることを
反映してやはり図４に示すように一部分が欠けるが、フ
ォーカスサーボ信号には影響はない。
を実現する例を図５に示す。図５においてＡ領域１５１
は光検出器の前側に焦点を持つ球面波１４１（図３）を
発生させ、Ｂ領域１５２は光検出器の後ろ側に焦点を持
つ球面波１４２（図３）を発生させる。図５のようなホ
ログラムパターンから回折する波面のファーフィールド
パターンはホログラムパターンが分割されていることを
反映してやはり図４に示すように一部分が欠けるが、フ
ォーカスサーボ信号には影響はない。
【００２９】なお、情報媒体５の上で反射した光は、情
報媒体５上のトラック溝によって回折されることによる
回折パターンを持つ。このため、情報媒体５の上の集光
スポットとトラック溝の相対位置変化によりホログラム
上での光量分布に変化が起こる。例えば図５のＸ方向を
情報媒体のトラック溝と並行な方向として、＋Ｙ方向が
明るくなって、−Ｙ方向が暗くなったり、この逆の光量
変化が起こったりする。
報媒体５上のトラック溝によって回折されることによる
回折パターンを持つ。このため、情報媒体５の上の集光
スポットとトラック溝の相対位置変化によりホログラム
上での光量分布に変化が起こる。例えば図５のＸ方向を
情報媒体のトラック溝と並行な方向として、＋Ｙ方向が
明るくなって、−Ｙ方向が暗くなったり、この逆の光量
変化が起こったりする。
【００３０】そこで図５の領域分割はここで示したよう
に数個〜数十個程度にすることが望ましい。なぜなら
ば、このようにホログラムの領域を多分割することによ
って＋Ｙ方向と−Ｙ方向の非対称性を少なくし、情報媒
体５の上の集光スポットとトラック溝の相対位置変化に
よるホログラム上での光量分布変化の影響でフォーカス
サーボ信号にオフセットが発生することを防ぐことがで
きるからである。従って、ホログラムの領域を多分割す
れば、安定なフォーカスサーボ特性が得られる。
に数個〜数十個程度にすることが望ましい。なぜなら
ば、このようにホログラムの領域を多分割することによ
って＋Ｙ方向と−Ｙ方向の非対称性を少なくし、情報媒
体５の上の集光スポットとトラック溝の相対位置変化に
よるホログラム上での光量分布変化の影響でフォーカス
サーボ信号にオフセットが発生することを防ぐことがで
きるからである。従って、ホログラムの領域を多分割す
れば、安定なフォーカスサーボ特性が得られる。
【００３１】また、情報媒体５の上の集光スポットとト
ラック溝の相対位置変化によるホログラム上での光量分
布変化をトラッキングエラー信号ＴＥとして取り出すた
めに、第３の実施例として図６に示すようにさらに別の
回折領域１５３や１５４をホログラム１０４上に設けて
もよい。この回折領域１５３や１５４からのトラッキン
グエラー信号検出用回折光１６３をトラッキングエラー
信号検出用光検出器７２（図７）によって受光し式３に
示す演算によってトラッキングエラー信号ＴＥを得るこ
とができる。
ラック溝の相対位置変化によるホログラム上での光量分
布変化をトラッキングエラー信号ＴＥとして取り出すた
めに、第３の実施例として図６に示すようにさらに別の
回折領域１５３や１５４をホログラム１０４上に設けて
もよい。この回折領域１５３や１５４からのトラッキン
グエラー信号検出用回折光１６３をトラッキングエラー
信号検出用光検出器７２（図７）によって受光し式３に
示す演算によってトラッキングエラー信号ＴＥを得るこ
とができる。
【００３２】ＴＥ＝Ｓ７０−Ｓ８０ ．．．（３）
なお図８に示す如く、放射光源２、光検出器７、反射型
ブレーズ化ホログラム１０５、及び対物レンズ４などの
すべての光学部品をアルミ筐体などの全光学系保持手段
１４によって一体化して、一体駆動すると対物レンズ４
がトラック追従によって移動しても放射光源２に対する
相対位置が変化せず、軸外収差が発生しないという効果
がある。さらにまた、軸外収差が発生しないことから対
物レンズ４を小型化、薄型化できて、より一層小型で薄
型の光ヘッド装置を構成できるという効果がある。
ブレーズ化ホログラム１０５、及び対物レンズ４などの
すべての光学部品をアルミ筐体などの全光学系保持手段
１４によって一体化して、一体駆動すると対物レンズ４
がトラック追従によって移動しても放射光源２に対する
相対位置が変化せず、軸外収差が発生しないという効果
がある。さらにまた、軸外収差が発生しないことから対
物レンズ４を小型化、薄型化できて、より一層小型で薄
型の光ヘッド装置を構成できるという効果がある。
【００３３】さらに第４の実施例を図９、図１０を用い
て説明する。図９はトラッキングエラー（ＴＥ）信号検
出方式として３ビーム方を用いた光ヘッド装置の例であ
る。図９において２は半導体レーザ等の放射光源であ
る。この光源から出射した光ビーム３（レーザ光）は反
射型の３ビーム用回折格子２４に入射して反射する際に
０次回折光と±１次回折光の３つの光ビームに分割され
る。この３つの光ビームは反射型ブレーズ化ホログラム
１０２（以下単にホログラムと呼ぶ）で反射して対物レ
ンズ４に入射し、情報媒体５上に集光される。情報媒体
５で反射した光ビ−ムはもとの光路を逆にたどって（復
路）、ホログラム１０２に入射する。このホログラム１
０２から生じる復路の＋１次回折光６は反射ミラー２５
で反射して、光検出器７に入射する。光検出器７の出力
を演算することによって、サーボ信号及び、情報信号を
得ることができる。
て説明する。図９はトラッキングエラー（ＴＥ）信号検
出方式として３ビーム方を用いた光ヘッド装置の例であ
る。図９において２は半導体レーザ等の放射光源であ
る。この光源から出射した光ビーム３（レーザ光）は反
射型の３ビーム用回折格子２４に入射して反射する際に
０次回折光と±１次回折光の３つの光ビームに分割され
る。この３つの光ビームは反射型ブレーズ化ホログラム
１０２（以下単にホログラムと呼ぶ）で反射して対物レ
ンズ４に入射し、情報媒体５上に集光される。情報媒体
５で反射した光ビ−ムはもとの光路を逆にたどって（復
路）、ホログラム１０２に入射する。このホログラム１
０２から生じる復路の＋１次回折光６は反射ミラー２５
で反射して、光検出器７に入射する。光検出器７の出力
を演算することによって、サーボ信号及び、情報信号を
得ることができる。
【００３４】本実施例においてはホログラム（回折格子
を含む）を２つ用いている。１つはブレーズ化ホログラ
ム１０２であり、第１の実施例において図５を用いて説
明したものと同様のものである。他の１つは３ビーム用
回折格子２４である。３ビーム方では回折格子２４から
発生する＋１次回折光と−１次回折光の両方を用いてＴ
Ｅ信号を検出するので、回折格子２４はブレーズ化しな
い。しかし図９の様にして小型の光学系を構成するため
には、回折格子２４を反射型にして光の入射角度を４５
°程度にする必要があるため、第１の実施例で説明した
ブレーズ化ホログラム１０２と同様に回折効率のむらを
解消する必要がある。
を含む）を２つ用いている。１つはブレーズ化ホログラ
ム１０２であり、第１の実施例において図５を用いて説
明したものと同様のものである。他の１つは３ビーム用
回折格子２４である。３ビーム方では回折格子２４から
発生する＋１次回折光と−１次回折光の両方を用いてＴ
Ｅ信号を検出するので、回折格子２４はブレーズ化しな
い。しかし図９の様にして小型の光学系を構成するため
には、回折格子２４を反射型にして光の入射角度を４５
°程度にする必要があるため、第１の実施例で説明した
ブレーズ化ホログラム１０２と同様に回折効率のむらを
解消する必要がある。
【００３５】図１０は３ビーム用回折格子２４の概略拡
大断面図及びその部分図である。２４Ａで示した部分と
２４Ｂで示した部分の回折効率を等しくするために、２
４Ａで示した部分のデューティーをほぼ１：１とし（ａ
５：ｂ５＝１：１）、２４Ｂで示した部分のデューティ
ーは１：１とは異なる比にする（ａ６＞ｂ６またはａ６
＜ｂ６）。こうすることによって３ビーム用回折格子の
面内で回折効率を一定にできる、すなわち、回折効率の
むらを解消でき、安定でオフセットの少ないトラッキン
グエラー信号を得ることができる。
大断面図及びその部分図である。２４Ａで示した部分と
２４Ｂで示した部分の回折効率を等しくするために、２
４Ａで示した部分のデューティーをほぼ１：１とし（ａ
５：ｂ５＝１：１）、２４Ｂで示した部分のデューティ
ーは１：１とは異なる比にする（ａ６＞ｂ６またはａ６
＜ｂ６）。こうすることによって３ビーム用回折格子の
面内で回折効率を一定にできる、すなわち、回折効率の
むらを解消でき、安定でオフセットの少ないトラッキン
グエラー信号を得ることができる。
【００３６】さらに第５の実施例を図１１に示す。図１
１は光インターコネクションをホログラム２６を用いて
実現した例である。図１１において２７は放射光源アレ
イ、２８は光検出器である。放射光源アレイ２８から出
射した光ビーム３ｅはホログラム２６で回折され、光検
出器２８上の所定の分割領域に入射する。こうして放射
光源アレイ２８から出射する光ビーム３ｅの強弱やＯＮ
・ＯＦＦを光検出器２８で受光し、信号を伝える。この
とき、図１１のように放射光源アレイ２７、ホログラム
２６、光検出器２８だけから光学系を構成することによ
って、小型化を可能にし、且つ光学系のアライメントを
容易にできるが、このときやはりホログラムにコリメー
トされていない発散光が入射するため、回折効率のむら
を補正する必要がある。従って第１の従来例において説
明したブレーズ化ホログラム１０６と同様にして、本実
施例でもホログラム２６において回折効率のむらを補正
することによって光の伝達効率が向上し、不要な回折光
の抑圧によって信号のＳ／Ｎ比が向上するという格別の
効果を得ることができる。
１は光インターコネクションをホログラム２６を用いて
実現した例である。図１１において２７は放射光源アレ
イ、２８は光検出器である。放射光源アレイ２８から出
射した光ビーム３ｅはホログラム２６で回折され、光検
出器２８上の所定の分割領域に入射する。こうして放射
光源アレイ２８から出射する光ビーム３ｅの強弱やＯＮ
・ＯＦＦを光検出器２８で受光し、信号を伝える。この
とき、図１１のように放射光源アレイ２７、ホログラム
２６、光検出器２８だけから光学系を構成することによ
って、小型化を可能にし、且つ光学系のアライメントを
容易にできるが、このときやはりホログラムにコリメー
トされていない発散光が入射するため、回折効率のむら
を補正する必要がある。従って第１の従来例において説
明したブレーズ化ホログラム１０６と同様にして、本実
施例でもホログラム２６において回折効率のむらを補正
することによって光の伝達効率が向上し、不要な回折光
の抑圧によって信号のＳ／Ｎ比が向上するという格別の
効果を得ることができる。
【００３７】
【発明の効果】以上に述べたことから明らかなように、
本発明では以下のような効果が得られる。 （１）マルチレベルホログラムの階段状断面形状を構成
する各段差の幅を変化させることにより、フォトプロセ
スとエッチングプロセスによる簡単な作製工程によっ
て、ホログラムに発散光が入射した時に生じる回折効率
のむらを解消できる。 （２）発散光が入射した時に生じる回折効率のむらを解
消したホログラムを用いて光ヘッド装置を構成すること
によって、コリメートレンズを必要とせず小型軽量で部
品点数も少なく安価な光ヘッド装置を構成できる。しか
も、フォーカスサーボ信号やトラッキングエラー信号の
オフセットも発生しにくく、ＲＦ信号の周波数特性も良
好である。 （３）発散光が入射した時に生じる回折効率のむらを解
消したホログラムを用いた光ヘッド装置においてフォー
カスサーボ信号の検出方式として、ＳＳＤ法を用いる。
これによって光ヘッド装置の組み立て許容誤差を著しく
緩和できる上に波長変動に対しても安定にサーボ信号を
得ることができる。 （４）トラッキングエラー（ＴＥ）信号検出方式として
３ビーム方を用いた光ヘッド装置において、回折格子を
反射型にして光の入射角度を４５°程度にし、回折格子
のデューティーを変化させることによって、小型の光学
系を構成でき、かつ、３ビーム用回折格子の面内で回折
効率を一定にできる、すなわち、回折効率のむらを解消
でき安定でオフセットの少ないトラッキングエラー信号
を得ることができる。 （５）ホログラムを用いた光インターコネクションの光
学系においてホログラムの回折効率のむらを補正するこ
とによって、光学系の小型化とアライメントの簡略化を
実現できる上に、光の伝達効率が向上し、不要な回折光
も抑圧できるので信号間のクロストークが減少し、Ｓ／
Ｎ比が向上する。
本発明では以下のような効果が得られる。 （１）マルチレベルホログラムの階段状断面形状を構成
する各段差の幅を変化させることにより、フォトプロセ
スとエッチングプロセスによる簡単な作製工程によっ
て、ホログラムに発散光が入射した時に生じる回折効率
のむらを解消できる。 （２）発散光が入射した時に生じる回折効率のむらを解
消したホログラムを用いて光ヘッド装置を構成すること
によって、コリメートレンズを必要とせず小型軽量で部
品点数も少なく安価な光ヘッド装置を構成できる。しか
も、フォーカスサーボ信号やトラッキングエラー信号の
オフセットも発生しにくく、ＲＦ信号の周波数特性も良
好である。 （３）発散光が入射した時に生じる回折効率のむらを解
消したホログラムを用いた光ヘッド装置においてフォー
カスサーボ信号の検出方式として、ＳＳＤ法を用いる。
これによって光ヘッド装置の組み立て許容誤差を著しく
緩和できる上に波長変動に対しても安定にサーボ信号を
得ることができる。 （４）トラッキングエラー（ＴＥ）信号検出方式として
３ビーム方を用いた光ヘッド装置において、回折格子を
反射型にして光の入射角度を４５°程度にし、回折格子
のデューティーを変化させることによって、小型の光学
系を構成でき、かつ、３ビーム用回折格子の面内で回折
効率を一定にできる、すなわち、回折効率のむらを解消
でき安定でオフセットの少ないトラッキングエラー信号
を得ることができる。 （５）ホログラムを用いた光インターコネクションの光
学系においてホログラムの回折効率のむらを補正するこ
とによって、光学系の小型化とアライメントの簡略化を
実現できる上に、光の伝達効率が向上し、不要な回折光
も抑圧できるので信号間のクロストークが減少し、Ｓ／
Ｎ比が向上する。
【図１】本発明の第１の実施例のブレーズ化ホログラム
の一部分の断面図である。
の一部分の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施例のブレーズ化ホログラム
上の位置と回折効率の関係を表す説明図である。
上の位置と回折効率の関係を表す説明図である。
【図３】本発明の第２の実施例の光ヘッド装置の要部の
概略斜視図である。
概略斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施例における光検出器上での
回折光の様子を表す平面図である。
回折光の様子を表す平面図である。
【図５】本発明の第２の実施例におけるホログラムパタ
ーンを表す平面図である。
ーンを表す平面図である。
【図６】本発明の第３の実施例におけるホログラムパタ
ーンを表す平面図である。
ーンを表す平面図である。
【図７】本発明の第３の実施例の光ヘッド装置の要部の
概略斜視図である。
概略斜視図である。
【図８】本発明の第２及び第３の実施例を発展させた光
ヘッド装置の概略断面図である。
ヘッド装置の概略断面図である。
【図９】本発明の第４の実施例の光ヘッド装置の概略断
面図である。
面図である。
【図１０】本発明の第４の実施例の要件である３ビーム
用回折格子の概略断面図と一部分の詳細な断面図であ
る。
用回折格子の概略断面図と一部分の詳細な断面図であ
る。
【図１１】本発明の第５の実施例の光インターコネクシ
ョン光学系の概略斜視図である。
ョン光学系の概略斜視図である。
【図１２】従来例及び本発明の第１〜第３の実施例の光
ヘッド装置の概略断面図である。
ヘッド装置の概略断面図である。
【図１３】従来例、及び本発明の実施例の要件であるブ
レ−ズ化ホログラムの作製例の概略説明図である。
レ−ズ化ホログラムの作製例の概略説明図である。
【図１４】従来例におけるブレーズ化ホログラムの一部
分の断面図である。
分の断面図である。
【図１５】従来の光ヘッドの課題の線図的説明図であ
る。
る。
１ ブレ−ズ化ホログラム
２ 放射光源
３ 光ビーム
４ 対物レンズ
５ 情報媒体
６ 復路の＋１次回折光
７ 光検出器
６１ 往路の０次回折光
１０３ ホログラム
１０５ 反射型ブレーズ化ホログラム
１０６ 反射型ブレーズ化ホログラム
１４１ 球面波（＋１次回折光）
１４２ 球面波（＋１次回折光）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 5/32
G02B 5/18
G03H 1/22
G03H 1/08
Claims (6)
- 【請求項１】階段状の断面形状を有するホログラムであ
って、断面形状は４段のレベルを有し、格子ピッチに対
する各階段幅の比をホログラム面内の位置によって変化
させ、 断面形状の階段の階段幅を格子ベクトルに沿った順番に
それぞれａｎ＋１、ｂｎ＋１、ｂｎ、ａｎとしたとき
に、ａｎ＋１＝ａｎかつ、ｂｎ＋１＝ｂｎとし、かつ、
ａｎとｂｎの比をホログラム面内の位置によって変化さ
せることを特徴とするホログラム。 - 【請求項２】前記ホログラムへの入射光線の入射角度が
大きな部分はａｎ＞ｂｎであることを特徴とする請求項
１記載のホログラム。 - 【請求項３】前記ホログラムへの入射光線の入射角度が
小さな部分はａｎ＜ｂｎであることを特徴とする請求項
１または請求項２に記載のホログラム。 - 【請求項４】放射光源と、前記放射光源からの光ビーム
を受け情報媒体上へ微小スポットに収束する集光光学系
と、前記情報媒体で反射、回折した光ビームを受け光電
流を出力する複数の光検出部からなる光検出器と、前記
情報媒体で反射した光ビームを＋１次回折光として回折
させて前記光検出器へ光ビームを導くためのホログラム
とを具備した光ヘッド装置であって、前記ホログラムが
請求項１から３のいずれかに記載のホログラムであるこ
とを特徴とする光ヘッド装置。 - 【請求項５】放射光源と、前記放射光源からの光ビーム
を複数の回折光に分割するホログラムと、前記光ビーム
を受け情報媒体上へ微小スポットに収束する集光光学系
と、前記情報媒体で反射、回折した光ビームを受け光電
流を出力する複数の光検出部からなる光検出器と、前記
情報媒体で反射した光ビームを前記光検出器へ導く手段
とを具備した光ヘッド装置であって、前記ホログラムが
請求項１から３のいずれかに記載のホログラムであるこ
とを特徴とする光ヘッド装置。 - 【請求項６】放射光源と、放射光源より出射する光ビー
ムを受けて回折光を発生させるホログラムと、前記ホロ
グラムより発生した回折光を受けて得られた光量に応じ
て光電流を発生するように構成された光検出器とを有す
る光インターコネクション光学系であって、前記ホログ
ラムが請求項１から３のいずれかに記載のホログラムで
あることを特徴とする光インターコネクション光学系。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03465792A JP3396890B2 (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | ホログラム、これを用いた光ヘッド装置及び光学系 |
| US08/019,537 US5400311A (en) | 1992-02-21 | 1993-02-18 | Hologram and optical apparatus with hologram |
| US08/339,714 US5502707A (en) | 1992-02-21 | 1994-11-14 | Diffraction grating and optical pickup apparatus with diffracting grating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03465792A JP3396890B2 (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | ホログラム、これを用いた光ヘッド装置及び光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232321A JPH05232321A (ja) | 1993-09-10 |
| JP3396890B2 true JP3396890B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=12420517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03465792A Expired - Fee Related JP3396890B2 (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | ホログラム、これを用いた光ヘッド装置及び光学系 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5400311A (ja) |
| JP (1) | JP3396890B2 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6219015B1 (en) | 1992-04-28 | 2001-04-17 | The Board Of Directors Of The Leland Stanford, Junior University | Method and apparatus for using an array of grating light valves to produce multicolor optical images |
| JPH07182687A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Sharp Corp | 光ピックアップ |
| US5640380A (en) * | 1994-08-04 | 1997-06-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical head with a translucent plate to split a light beam |
| FR2726660B1 (fr) * | 1994-11-03 | 1997-01-10 | Bernard Sermage | Reseau reflechissant de diffraction optique et procedes de fabrication |
| JPH08221789A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光情報処理装置 |
| US5737296A (en) * | 1996-01-23 | 1998-04-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Focus and tracking error detection by using plus and minus first order diffracted light |
| US6670105B2 (en) * | 1998-09-18 | 2003-12-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing diffractive optical element |
| KR100369467B1 (ko) * | 1998-11-17 | 2003-04-03 | 삼성전자 주식회사 | 광픽업장치 |
| DE19860563C2 (de) * | 1998-12-22 | 2001-09-06 | Hertz Inst Heinrich | Optischer Abtastkopf für Datenspeicherplatten |
| TW452740B (en) * | 1999-08-09 | 2001-09-01 | Ind Tech Res Inst | Diffraction type anti-counterfeiting tag for both of bare eye reading and machine reading |
| JP2001343512A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Canon Inc | 回折光学素子及びそれを有する光学系 |
| JP2002237081A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-23 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光ヘッド装置 |
| EP1437608A4 (en) | 2001-09-13 | 2006-07-26 | Asahi Glass Co Ltd | DIFFRACTION DEVICE |
| US7245407B2 (en) * | 2002-06-10 | 2007-07-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Complex objective lens compatible with information media of different thicknesses |
| KR100584403B1 (ko) * | 2004-04-01 | 2006-05-26 | 삼성전자주식회사 | 회절 격자와 그를 이용한 레이저 텔레비젼 |
| US7251208B2 (en) * | 2004-06-01 | 2007-07-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical pick-up system for use in an optical disk device including use of improved gratings with more efficient beam diffraction |
| JP2006114165A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 光情報再生装置 |
| KR20080101516A (ko) | 2007-05-18 | 2008-11-21 | 삼성전자주식회사 | 홀로그램소자, 이를 구비하는 호환형 광픽업 및 이를채용한 광정보저장매체 시스템 |
| US8093532B2 (en) * | 2008-03-31 | 2012-01-10 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser machining of fired ceramic and other hard and/or thick materials |
| US8128160B2 (en) * | 2009-06-17 | 2012-03-06 | Honda Motor Co., Ltd. | Tower bar construction for a motor vehicle |
| US8553331B2 (en) * | 2009-12-16 | 2013-10-08 | Flir Systems, Inc. | Selective diffractive optical element and a system including the same |
| EP2534528B1 (en) * | 2010-02-10 | 2024-01-03 | Signify Holding B.V. | Lighting apparatus |
| EP2999064A1 (en) * | 2014-09-19 | 2016-03-23 | DirectPhotonics Industries GmbH | Diode laser |
| CN106920872A (zh) * | 2017-03-15 | 2017-07-04 | 海迪科（南通）光电科技有限公司 | 一种新型偏振发光二极管 |
| JP7196406B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2022-12-27 | 大日本印刷株式会社 | 回折光学素子 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63191328A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-08 | Canon Inc | 光ヘツド装置 |
| JPH01311428A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ヘッド装置及びこれを用いた光情報装置 |
| JP2672620B2 (ja) * | 1989-01-12 | 1997-11-05 | 松下電器産業株式会社 | 光ヘッド装置及びその組立方法 |
| US5113067A (en) * | 1989-02-15 | 1992-05-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Image reading apparatus having a blazed diffraction grating |
| US5227915A (en) * | 1990-02-13 | 1993-07-13 | Holo-Or Ltd. | Diffractive optical element |
| JP2796196B2 (ja) * | 1990-04-12 | 1998-09-10 | 松下電器産業株式会社 | 光ヘッド装置 |
| US5221835A (en) * | 1991-06-07 | 1993-06-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Image reading apparatus having a reflective blazed diffraction grating with varied pitch |
-
1992
- 1992-02-21 JP JP03465792A patent/JP3396890B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-02-18 US US08/019,537 patent/US5400311A/en not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-11-14 US US08/339,714 patent/US5502707A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05232321A (ja) | 1993-09-10 |
| US5400311A (en) | 1995-03-21 |
| US5502707A (en) | 1996-03-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3396890B2 (ja) | ホログラム、これを用いた光ヘッド装置及び光学系 | |
| JP3677319B2 (ja) | フォーカス制御方法および光ディスク装置 | |
| US5511059A (en) | Multi-element grating beam splitter with a reflection grating element for use in front facet substraction | |
| KR100283502B1 (ko) | 광 헤드장치 | |
| US5544143A (en) | Read/write laser-detector-grating unit (LDGU) with an orthogonally-arranged focus and tracking sensor system | |
| US5515354A (en) | Optical pickup | |
| US5737296A (en) | Focus and tracking error detection by using plus and minus first order diffracted light | |
| JP2684822B2 (ja) | 光ピックアップヘッド装置 | |
| US4924082A (en) | Optical scanning device, mirror objective suitable for use in said device and optical write and/or read apparatus provided with said device | |
| US5293038A (en) | Optical pick-up head apparatus wherein hollographic optical element and photodetector are formed on semiconductor substrate | |
| US4826270A (en) | Optical scanning apparatus | |
| US5233444A (en) | Focus error detecting apparatus | |
| KR20030019377A (ko) | 광 레코딩 매체를 판독 및/또는 기록하기 위한 장치 | |
| JP2796196B2 (ja) | 光ヘッド装置 | |
| JP2726029B2 (ja) | 二重焦点の形成方法及びその装置 | |
| US5894466A (en) | Optical pickup device for accessing each of optical disks of different types | |
| US5856961A (en) | Laser detector grating unit (LDGU) for producing focus error, a push-pull tracking error, and differential phase tracking error signals | |
| JP3484767B2 (ja) | 光ヘッド装置、光情報装置及びハイブリッド素子 | |
| JPH0750532B2 (ja) | 光ヘツド装置 | |
| JPH0630161B2 (ja) | 光ヘツド装置 | |
| JP2735062B2 (ja) | 光ヘッド装置 | |
| JPH0460931A (ja) | 光ピックアップ | |
| JP3356492B2 (ja) | 光ヘッド装置及び光学的情報再生方法ならびに光情報装置 | |
| JP3462988B2 (ja) | 複数ビーム生成用回折格子及び光ピックアップ | |
| US5353272A (en) | Apparatus and method for a modified half-aperture focus/tracking/data sensor system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080214 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090214 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100214 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100214 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110214 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120214 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |