JP3394516B2 - 樹脂封止金型 - Google Patents
樹脂封止金型Info
- Publication number
- JP3394516B2 JP3394516B2 JP2000307789A JP2000307789A JP3394516B2 JP 3394516 B2 JP3394516 B2 JP 3394516B2 JP 2000307789 A JP2000307789 A JP 2000307789A JP 2000307789 A JP2000307789 A JP 2000307789A JP 3394516 B2 JP3394516 B2 JP 3394516B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- mold
- eject
- cavity
- eject pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/40—Removing or ejecting moulded articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
- B29C45/14655—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リ−ドフレ−ムに
搭載されたチップ状の半導体装置を樹脂封止する樹脂封
止金型に関する。
搭載されたチップ状の半導体装置を樹脂封止する樹脂封
止金型に関する。
【0002】
【従来の技術】通常、リ−ドフレ−ムに搭載されリ−ド
フレ−ムのリ−ドと電極パッドとがワイヤリングされた
チップ状の半導体装置は、樹脂封止金型によって樹脂封
止され樹脂外郭体であるパッケ−ジ体に形成される。ま
た、昨今の半導体装置は、パッケ−ジ体が肉厚が薄く外
形が大型化し、外部リ−ドであるピンも多ピン化しその
ピッチもますます狭くなる傾向である。
フレ−ムのリ−ドと電極パッドとがワイヤリングされた
チップ状の半導体装置は、樹脂封止金型によって樹脂封
止され樹脂外郭体であるパッケ−ジ体に形成される。ま
た、昨今の半導体装置は、パッケ−ジ体が肉厚が薄く外
形が大型化し、外部リ−ドであるピンも多ピン化しその
ピッチもますます狭くなる傾向である。
【0003】このような半導体装置にたいして、樹脂封
止金型は、パッケ−ジ体である樹脂外郭体を気泡や欠け
あるいはひびなど発生しないように樹脂の注入構造や成
形された樹脂外郭体の脱離機構や型締めの速度コントロ
−ルなど種々の改造提案がなされてきた。
止金型は、パッケ−ジ体である樹脂外郭体を気泡や欠け
あるいはひびなど発生しないように樹脂の注入構造や成
形された樹脂外郭体の脱離機構や型締めの速度コントロ
−ルなど種々の改造提案がなされてきた。
【0004】このような問題を解消する半導体装置の製
造装置の一例が特開平11−87378号公報に開示さ
れている。この半導体装置の製造装置である樹脂封止金
型は、下型にスケ−ルを固定し、スケ−ルの下端の位置
が所定の位置よりも上にあるか、下にあるか検知させ、
この検知結果に基づいて、下型の下降速度を変化させ、
上型および下型から半導体装置が離型する際の半導体装
置への荷重を軽減させ、樹脂パッケ−ジ体の欠けやひび
など解消している。
造装置の一例が特開平11−87378号公報に開示さ
れている。この半導体装置の製造装置である樹脂封止金
型は、下型にスケ−ルを固定し、スケ−ルの下端の位置
が所定の位置よりも上にあるか、下にあるか検知させ、
この検知結果に基づいて、下型の下降速度を変化させ、
上型および下型から半導体装置が離型する際の半導体装
置への荷重を軽減させ、樹脂パッケ−ジ体の欠けやひび
など解消している。
【0005】また、ロ−ドセルにより離型の際の荷重を
検出し、この検出した値が所定の値以上である場合は、
アラ−ム等により警告を発し、装置を停止し、金型の汚
れを除去し、金型の汚れによる上記課題を解消すること
を特徴としている。
検出し、この検出した値が所定の値以上である場合は、
アラ−ム等により警告を発し、装置を停止し、金型の汚
れを除去し、金型の汚れによる上記課題を解消すること
を特徴としている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した半導体装置の
製造装置では、型離れのときに生ずる樹脂パッケ−ジ体
の欠損、ひび、および割れなど解消するものの、樹脂注
入時におけるエジェクタピン付近に生ずる気泡の発生の
問題を避けることはできない。薄く大型の半導体チップ
を樹脂封入するために、配線であるワイヤにダメ−ジを
与えないように、注入樹脂の粘度は低いものが使用され
ている。その代わりに樹脂注入速度は非常に早くなって
いる。
製造装置では、型離れのときに生ずる樹脂パッケ−ジ体
の欠損、ひび、および割れなど解消するものの、樹脂注
入時におけるエジェクタピン付近に生ずる気泡の発生の
問題を避けることはできない。薄く大型の半導体チップ
を樹脂封入するために、配線であるワイヤにダメ−ジを
与えないように、注入樹脂の粘度は低いものが使用され
ている。その代わりに樹脂注入速度は非常に早くなって
いる。
【0007】しかしながら、ゲ−トから樹脂注入時にお
ける樹脂の早い流れに対しキャビティの内壁より突出す
るエジェクタピンは障害となる。すなわち、図6に示す
ように、ゲ−トから注入された溶融樹脂がキャビティ6
に流れ込むとき、溶融樹脂がエジェクトピン7に衝突
し、エジェクトピン7の背部に空隙が生じ、その空隙が
溶融樹脂に包まれ気泡として残るという問題がある。
ける樹脂の早い流れに対しキャビティの内壁より突出す
るエジェクタピンは障害となる。すなわち、図6に示す
ように、ゲ−トから注入された溶融樹脂がキャビティ6
に流れ込むとき、溶融樹脂がエジェクトピン7に衝突
し、エジェクトピン7の背部に空隙が生じ、その空隙が
溶融樹脂に包まれ気泡として残るという問題がある。
【0008】この気泡を生じさせないためには、エジェ
クタピンの先端面がキャビティの内壁面と同一面であれ
ば、キャビテ−ションが起きなく気泡が残ることはない
が、エジェクトピンの長さを精密に加工して、精密に組
立てても、エジェクトピンの突出量はばらついてしま
う。例えば、各キャビティに4本のエジェクトピンがあ
ると仮定し、同じ金型内に8個の半導体装置を樹脂封止
するキャビティがある場合、エジェクトピンの数が32
本と実に多くなる。このようなエジェクトピンの全ての
先端面を金型の窪みの低部面と同一の面に組み立てるこ
とは困難である。
クタピンの先端面がキャビティの内壁面と同一面であれ
ば、キャビテ−ションが起きなく気泡が残ることはない
が、エジェクトピンの長さを精密に加工して、精密に組
立てても、エジェクトピンの突出量はばらついてしま
う。例えば、各キャビティに4本のエジェクトピンがあ
ると仮定し、同じ金型内に8個の半導体装置を樹脂封止
するキャビティがある場合、エジェクトピンの数が32
本と実に多くなる。このようなエジェクトピンの全ての
先端面を金型の窪みの低部面と同一の面に組み立てるこ
とは困難である。
【0009】例えば、エジェクトピンの長さの精度を数
ミクロンメ−タ以内に製作し、組立ても、金型部材の平
坦度における製作誤差や金型の組立精度により、全ての
エジェクトピン8の窪み9,10の底面から突出量が1
00ミクロンメ−タ以上の範囲でばらつきが生じる。中
には同じキャビティ内でも突出量が100ミクロンのも
のが生ずることがある。
ミクロンメ−タ以内に製作し、組立ても、金型部材の平
坦度における製作誤差や金型の組立精度により、全ての
エジェクトピン8の窪み9,10の底面から突出量が1
00ミクロンメ−タ以上の範囲でばらつきが生じる。中
には同じキャビティ内でも突出量が100ミクロンのも
のが生ずることがある。
【0010】従って、本発明の目的は、エジェクトピン
の近傍に気泡を発生させることなく半導体装置を樹脂封
止できる樹脂封止金型を提供することにある。
の近傍に気泡を発生させることなく半導体装置を樹脂封
止できる樹脂封止金型を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の特徴は、
リ−ドフレ−ムに搭載された半導体装置が入れられる窪
みを有するとともに樹脂が注入するゲ−トが形成される
下型と、該下型の窪みに対向して前記半導体装置を収納
するキャビティを構成する窪みが形成される上型と、前
記樹脂が前記ゲ−トから前記キャビティに注入されて形
成される樹脂パッケ−ジ体を前記上型の窪みの底面と前
記下型の窪みの底面から突出し前記樹脂パッケ−ジ体を
離脱させる複数本のエジェクトピンと、前記上型と前記
下型とを当接させたり離間させたりする上下駆動機構と
を備える樹脂封止金型において、前記キャビティに樹脂
が注入されるとき前記キャビティをなす前記下型および
上型の窪みの低部より突出する複数の前記エジェクトピ
ンの先端部の突出量を調整するエジェクトピン突出量調
整手段を備え、複数の前記エジェクトピンの突出量は0
乃至60ミクロンメ−タの範囲にある樹脂封止金型であ
る。
リ−ドフレ−ムに搭載された半導体装置が入れられる窪
みを有するとともに樹脂が注入するゲ−トが形成される
下型と、該下型の窪みに対向して前記半導体装置を収納
するキャビティを構成する窪みが形成される上型と、前
記樹脂が前記ゲ−トから前記キャビティに注入されて形
成される樹脂パッケ−ジ体を前記上型の窪みの底面と前
記下型の窪みの底面から突出し前記樹脂パッケ−ジ体を
離脱させる複数本のエジェクトピンと、前記上型と前記
下型とを当接させたり離間させたりする上下駆動機構と
を備える樹脂封止金型において、前記キャビティに樹脂
が注入されるとき前記キャビティをなす前記下型および
上型の窪みの低部より突出する複数の前記エジェクトピ
ンの先端部の突出量を調整するエジェクトピン突出量調
整手段を備え、複数の前記エジェクトピンの突出量は0
乃至60ミクロンメ−タの範囲にある樹脂封止金型であ
る。
【0012】また、前記突出量調整手段は、前記エジェ
クトピンをその表面上に衝立てるとともに金型部材の案
内孔内に上下に摺動させるピンプレ−ト部材と、前記エ
ジェクトピンに前記キャビティの該底部より引込める力
を与えるスプリングとを備えるエジェクトピンの保持機
構において、前記プレ−ト部材と前記エジェクトピンと
接する部位に挿入されるスペ−サ部材であることが望ま
しい。
クトピンをその表面上に衝立てるとともに金型部材の案
内孔内に上下に摺動させるピンプレ−ト部材と、前記エ
ジェクトピンに前記キャビティの該底部より引込める力
を与えるスプリングとを備えるエジェクトピンの保持機
構において、前記プレ−ト部材と前記エジェクトピンと
接する部位に挿入されるスペ−サ部材であることが望ま
しい。
【0013】さらに、前記上型および下型の窪みの隅部
にある複数のエジェクトピンにおいて、前記ゲ−トから
の樹脂注入方向に対向する前記エジェクトピンが対応す
る前記隅部から前記窪みの中心に向け所定の距離だけ寄
せられているか、あるいは、前記上型および下型の窪み
の隅部にある複数のエジェクトピンにおいて、前記ゲ−
トからの樹脂注入方向に対向する前記エジェクトピンが
ないことが望ましい。
にある複数のエジェクトピンにおいて、前記ゲ−トから
の樹脂注入方向に対向する前記エジェクトピンが対応す
る前記隅部から前記窪みの中心に向け所定の距離だけ寄
せられているか、あるいは、前記上型および下型の窪み
の隅部にある複数のエジェクトピンにおいて、前記ゲ−
トからの樹脂注入方向に対向する前記エジェクトピンが
ないことが望ましい。
【0014】
【0015】
【0016】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【0017】図1(a)および(b)は本発明の一実施
の形態における樹脂封止金型の開閉状態のそれぞれを示
す断面図である。この樹脂封止金型は、図1に示すよう
に、リ−ドフレ−ム25に搭載された半導体装置である
チップ26が入れられる窪み3を有するとともに樹脂が
注入するゲ−ト5が形成される下型1と、下型1の窪み
3に対向してチップ26を収納するキャビティ6を構成
する窪み4が形成される上型2と、樹脂27がゲ−ト5
からキャビティ6に注入されて形成される樹脂パッケ−
ジ体を上型2の窪み4の底面と下型1の窪み3の底面か
ら突出し樹脂パッケ−ジ体を離脱させる複数本のエジェ
クトピン7a,7b,7e,7fと、上型2と下型1と
を当接させたり離間させたりする上下駆動機構8とを備
えている。
の形態における樹脂封止金型の開閉状態のそれぞれを示
す断面図である。この樹脂封止金型は、図1に示すよう
に、リ−ドフレ−ム25に搭載された半導体装置である
チップ26が入れられる窪み3を有するとともに樹脂が
注入するゲ−ト5が形成される下型1と、下型1の窪み
3に対向してチップ26を収納するキャビティ6を構成
する窪み4が形成される上型2と、樹脂27がゲ−ト5
からキャビティ6に注入されて形成される樹脂パッケ−
ジ体を上型2の窪み4の底面と下型1の窪み3の底面か
ら突出し樹脂パッケ−ジ体を離脱させる複数本のエジェ
クトピン7a,7b,7e,7fと、上型2と下型1と
を当接させたり離間させたりする上下駆動機構8とを備
えている。
【0018】また、下型1のエジェクトピンの保持機構
9aは、下型1の窪み3の低部より突出する複数のエジ
ェクトピン7e,7fが衝立られるプレ−ト10と、エ
ジェクトピン7e,7fを窪み3の底部から引き込ませ
る力を与えるスプリングとを備えている。一方、上型2
のエジェクトピンの保持機構9bは、エジェクトピン7
a,7bが衝立られるプレ−ト14と、エジェクトピン
7a,7bを窪み4の底部から引き込ませる力を与える
スプリング12とを備えている。
9aは、下型1の窪み3の低部より突出する複数のエジ
ェクトピン7e,7fが衝立られるプレ−ト10と、エ
ジェクトピン7e,7fを窪み3の底部から引き込ませ
る力を与えるスプリングとを備えている。一方、上型2
のエジェクトピンの保持機構9bは、エジェクトピン7
a,7bが衝立られるプレ−ト14と、エジェクトピン
7a,7bを窪み4の底部から引き込ませる力を与える
スプリング12とを備えている。
【0019】図2(a)および(b)はエジェクトピン
の窪みの底面からの突出量と気泡発生を説明するための
図である。ここで、エジェクトピンの窪みの底面からの
突出量dと空隙の発生および持続時間並びに気泡発生を
調査するのに、透明な樹脂を用いて可視金型を製作し実
験してみた。
の窪みの底面からの突出量と気泡発生を説明するための
図である。ここで、エジェクトピンの窪みの底面からの
突出量dと空隙の発生および持続時間並びに気泡発生を
調査するのに、透明な樹脂を用いて可視金型を製作し実
験してみた。
【0020】この実験では、エジェクトピンは、通常の
軟鋼で製作し、図2(a)に示す突出量dが0から10
0ミクロンメ−タになるようにその長さにしたものを多
数本準備した。また、それらのエジェクトピンを組み合
わせてキャビティに差込み、ゲ−トから溶融樹脂を実際
の速度で流し込み、高速度カメラにより連続撮影し、空
隙および気泡の発生度を観察した。
軟鋼で製作し、図2(a)に示す突出量dが0から10
0ミクロンメ−タになるようにその長さにしたものを多
数本準備した。また、それらのエジェクトピンを組み合
わせてキャビティに差込み、ゲ−トから溶融樹脂を実際
の速度で流し込み、高速度カメラにより連続撮影し、空
隙および気泡の発生度を観察した。
【0021】その結果、図2(b)に示すように、エジ
ェクトピンの突出量dが30ミクロンメ−タ以下であれ
ば、空隙も気泡も全く発生しなかった。また、突出量が
30ミクロンメ−タ乃至60ミクロンメ−タのときは、
空隙が生じても、1乃至2秒後消えたが、微小な気泡は
残ったものがあった。さらに、突出量が60から100
ミクロンメ−タになると、空隙が発生し気泡は消えるこ
となく、成形されたパッケ−ジ体に気泡として残った。
ェクトピンの突出量dが30ミクロンメ−タ以下であれ
ば、空隙も気泡も全く発生しなかった。また、突出量が
30ミクロンメ−タ乃至60ミクロンメ−タのときは、
空隙が生じても、1乃至2秒後消えたが、微小な気泡は
残ったものがあった。さらに、突出量が60から100
ミクロンメ−タになると、空隙が発生し気泡は消えるこ
となく、成形されたパッケ−ジ体に気泡として残った。
【0022】図3(a)および(b)は図1のエジェク
トピンの保持機構を抽出して示す断面図である。前述の
実験による知見を得てエジェクトピンの突出量を調整す
ることで気泡の発生の問題を解消することである。
トピンの保持機構を抽出して示す断面図である。前述の
実験による知見を得てエジェクトピンの突出量を調整す
ることで気泡の発生の問題を解消することである。
【0023】まず、上型の保持機構においては、図3
(a)に示すように、スプリング12に予圧されるプレ
−ト14と金型部材15との間に、適宜な厚さをもつス
ペ−サ16aおよび16bを挿入し、エジェクトピン7
aおよび7bの先端面の突出量d1,d2を理想的には
30ミクロンメ−タ以内にすることである。しかし、3
0ミクロンメ−タ以内にばらつきを抑えることは、スペ
−サ調整時間がかかるので、60ミクロンメ−タ以内に
収めた。
(a)に示すように、スプリング12に予圧されるプレ
−ト14と金型部材15との間に、適宜な厚さをもつス
ペ−サ16aおよび16bを挿入し、エジェクトピン7
aおよび7bの先端面の突出量d1,d2を理想的には
30ミクロンメ−タ以内にすることである。しかし、3
0ミクロンメ−タ以内にばらつきを抑えることは、スペ
−サ調整時間がかかるので、60ミクロンメ−タ以内に
収めた。
【0024】一方、下型の保持機構においては、図3
(b)に示すように、金型部材18からスプリング11
により予圧されエジェクトピン7eおよび7fを衝立て
るプレ−ト10とプレ−トに取り付けられるブロック1
7との間に、適宜な厚さのスペ−サ16eおよび16f
を挿入し、エジェクトピン7eおよび7fの突出量d
3,d4を上型と同様に60ミクロンメ−タ以内に調整
することである。
(b)に示すように、金型部材18からスプリング11
により予圧されエジェクトピン7eおよび7fを衝立て
るプレ−ト10とプレ−トに取り付けられるブロック1
7との間に、適宜な厚さのスペ−サ16eおよび16f
を挿入し、エジェクトピン7eおよび7fの突出量d
3,d4を上型と同様に60ミクロンメ−タ以内に調整
することである。
【0025】このように上型および下型のエジェクトピ
ンの突出量を調整したのち、実際の半導体装置の樹脂封
止を行ったところ、気泡の発生が皆無といかないもの
の、歩留まりとしては満足な結果であった。
ンの突出量を調整したのち、実際の半導体装置の樹脂封
止を行ったところ、気泡の発生が皆無といかないもの
の、歩留まりとしては満足な結果であった。
【0026】図4(a)および(b)は本発明のその他
の実施の形態における樹脂封止金型を説明するための平
面図である。前述のように、エジェクトピンの突出量が
60ミクロンメ−タ以内に調整したとき、僅かに発生す
る気泡を再度検討する意味で実験を繰りかえして行って
みた。
の実施の形態における樹脂封止金型を説明するための平
面図である。前述のように、エジェクトピンの突出量が
60ミクロンメ−タ以内に調整したとき、僅かに発生す
る気泡を再度検討する意味で実験を繰りかえして行って
みた。
【0027】その結果、ゲ−トに近いエジェクトピンに
発生する気泡は数秒後消滅するものの、ゲ−トから最も
離れた位置(ゲ−トと対向する隅部の位置)あるエジェ
クトピンの周囲に僅かに気泡が発生することが判明し
た。これは、ゲ−トから高速に流れる樹脂がゲ−トと反
対側のキャビティの内壁と衝突し逆流し、逆流した樹脂
が隅にあるエジェクトピンに衝突し空気を巻き込むもの
と考えられる。
発生する気泡は数秒後消滅するものの、ゲ−トから最も
離れた位置(ゲ−トと対向する隅部の位置)あるエジェ
クトピンの周囲に僅かに気泡が発生することが判明し
た。これは、ゲ−トから高速に流れる樹脂がゲ−トと反
対側のキャビティの内壁と衝突し逆流し、逆流した樹脂
が隅にあるエジェクトピンに衝突し空気を巻き込むもの
と考えられる。
【0028】そこで、図4(a)に示すように、下型の
窪み3の四隅の内ゲ−ト5に対向する隅部3aにあるエ
ジェクトピン7dを隅部3aからLだけ離した位置に移
した。実験用の金型では、例えば、10cm以上離し、
実験を行ってみた。その結果、逆流する樹脂のエジェク
トピン7dへの衝突は、やわらぎ空気を巻き込みが無く
なり、気泡の発生は皆無となった。
窪み3の四隅の内ゲ−ト5に対向する隅部3aにあるエ
ジェクトピン7dを隅部3aからLだけ離した位置に移
した。実験用の金型では、例えば、10cm以上離し、
実験を行ってみた。その結果、逆流する樹脂のエジェク
トピン7dへの衝突は、やわらぎ空気を巻き込みが無く
なり、気泡の発生は皆無となった。
【0029】また、さらに、この考えを飛躍させ、図4
(b)に示すように、ゲ−ト5に対向する隅部3aにあ
ったエジェクトピンを取り外し、同様に実験してみたと
ころ、気泡が発生せず満足な結果が得られた。ここで
は、下型について説明したが、勿論、上型についても同
様にエジェクトピンの配置およびエジェクトピンの取り
除きを行う必要がある。
(b)に示すように、ゲ−ト5に対向する隅部3aにあ
ったエジェクトピンを取り外し、同様に実験してみたと
ころ、気泡が発生せず満足な結果が得られた。ここで
は、下型について説明したが、勿論、上型についても同
様にエジェクトピンの配置およびエジェクトピンの取り
除きを行う必要がある。
【0030】図5は本発明のその他のその他の実施の形
態における樹脂封止金型を説明するためのエジェクトピ
ンの保持機構を示す平面図およびAA断面矢視図であ
る。エジェクタピンの突出量の調整機構のない通常の組
立では、図2(b)の表に示すように、エジェクタピン
の突出量は、60乃至100ミクロンメ−タ程度ばらつ
いている。そこで、このような突出量のばらつきがあっ
ても、気泡を発生させない方法がないかと再度考察して
みた。
態における樹脂封止金型を説明するためのエジェクトピ
ンの保持機構を示す平面図およびAA断面矢視図であ
る。エジェクタピンの突出量の調整機構のない通常の組
立では、図2(b)の表に示すように、エジェクタピン
の突出量は、60乃至100ミクロンメ−タ程度ばらつ
いている。そこで、このような突出量のばらつきがあっ
ても、気泡を発生させない方法がないかと再度考察して
みた。
【0031】そこで、図5に示すように、エジェクタピ
ン7c,7d,7e,7fを樹脂注入時に回転させれ
ば、回転によるキャビテ−ションを起きないと着想し、
実験用の金型に簡単な回転機構を取付け、実験を試み
た。その結果、気泡が発生がなかった。
ン7c,7d,7e,7fを樹脂注入時に回転させれ
ば、回転によるキャビテ−ションを起きないと着想し、
実験用の金型に簡単な回転機構を取付け、実験を試み
た。その結果、気泡が発生がなかった。
【0032】このエジェクトピン回転機構は、図5に示
すように、エジェクトピン7c,7d,7e,7fの下
端にピニオン19を取付け、これらピニオン19と噛み
合う歯車21を設け、この歯車21の内側にロ−タリソ
レノイド20の外輪をはめ込み、ロ−タリソレノイド2
0の回転軸をブロック17に固定している。
すように、エジェクトピン7c,7d,7e,7fの下
端にピニオン19を取付け、これらピニオン19と噛み
合う歯車21を設け、この歯車21の内側にロ−タリソ
レノイド20の外輪をはめ込み、ロ−タリソレノイド2
0の回転軸をブロック17に固定している。
【0033】勿論、この回転機構を上型にも適用してい
る。そして、図1の上下駆動機構8によってプランジャ
−22によって樹脂ペレットが押され溶融し、溶融した
樹脂がゲ−トよりキャビティに注入されると同時にエジ
ェクトピン7c,7d,7e,7fは回転する。この回
転の開始および停止は、ロ−タリソレノイドのソレノイ
ドへの通電のオン・オフで制御する。
る。そして、図1の上下駆動機構8によってプランジャ
−22によって樹脂ペレットが押され溶融し、溶融した
樹脂がゲ−トよりキャビティに注入されると同時にエジ
ェクトピン7c,7d,7e,7fは回転する。この回
転の開始および停止は、ロ−タリソレノイドのソレノイ
ドへの通電のオン・オフで制御する。
【0034】なお、このときのエジェクトピンの回転数
はピニオン19と歯車21の歯数比で決められる。勿
論、ロ−タリソレノイド20の回転角によっても決める
ことができる。いずれにしても樹脂がキャビティに満た
すまで、エジェクトピン7c,7d,7e,7fの回転
は持続することが望ましい。そして、樹脂がキャビティ
に充填されたら、ロ−タリソレノイド20の回転を停止
する。
はピニオン19と歯車21の歯数比で決められる。勿
論、ロ−タリソレノイド20の回転角によっても決める
ことができる。いずれにしても樹脂がキャビティに満た
すまで、エジェクトピン7c,7d,7e,7fの回転
は持続することが望ましい。そして、樹脂がキャビティ
に充填されたら、ロ−タリソレノイド20の回転を停止
する。
【0035】なお、プランジャ22の位置、あるいは離
型時のエジェクトピンの突き出し量など精密な位置決め
が必要であるので、図1の上下駆動機構は油圧駆動でな
く、ねじ送り機構が望ましい。例えば、この送りねじ機
構には、市販のボ−ルスクリュウとボ−ルナットを用い
れば良い。
型時のエジェクトピンの突き出し量など精密な位置決め
が必要であるので、図1の上下駆動機構は油圧駆動でな
く、ねじ送り機構が望ましい。例えば、この送りねじ機
構には、市販のボ−ルスクリュウとボ−ルナットを用い
れば良い。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、樹脂封止
された半導体装置の樹脂外郭体を突き出す複数のエジェ
クトピンにおいて、高速にキャビティに流れ込む溶融樹
脂がエジェクトピンに衝突しキャビテ−ションを生じさ
せないように、エジェクトピンのキャビティの底面から
突出する突出量を調整する手段あるいはエジェクトピン
を回転させる機構を設け、複数のエジェクトピンの突出
量を60ミクロンメ−タ以内に調整するか、または樹脂
注入時にエジェクトピンを回転させることによって、気
泡の発生が無くかつ気泡が樹脂外郭体に残ることなく成
形でき、品質の歩留まり向上するという効果がある。
された半導体装置の樹脂外郭体を突き出す複数のエジェ
クトピンにおいて、高速にキャビティに流れ込む溶融樹
脂がエジェクトピンに衝突しキャビテ−ションを生じさ
せないように、エジェクトピンのキャビティの底面から
突出する突出量を調整する手段あるいはエジェクトピン
を回転させる機構を設け、複数のエジェクトピンの突出
量を60ミクロンメ−タ以内に調整するか、または樹脂
注入時にエジェクトピンを回転させることによって、気
泡の発生が無くかつ気泡が樹脂外郭体に残ることなく成
形でき、品質の歩留まり向上するという効果がある。
【図1】本発明の一実施の形態における樹脂封止金型の
開閉状態のそれぞれを示す断面図である。
開閉状態のそれぞれを示す断面図である。
【図2】エジェクトピンの窪みの底面からの突出量と気
泡発生を説明するための図である。
泡発生を説明するための図である。
【図3】図1のエジェクトピンの保持機構を抽出して示
す断面図である。
す断面図である。
【図4】本発明のその他の実施の形態における樹脂封止
金型を説明するための平面図である。
金型を説明するための平面図である。
【図5】本発明のその他のその他の実施の形態における
樹脂封止金型を説明するためのエジェクトピンの保持機
構を示す平面図およびAA断面矢視図である。
樹脂封止金型を説明するためのエジェクトピンの保持機
構を示す平面図およびAA断面矢視図である。
【図6】従来の樹脂封止金型における課題を説明するた
めの図である。
めの図である。
1 下型
2 上型
3,4 窪み
5 ゲ−ト
6 キャビティ
7,7a,7b,7c,7d,7e,7f エジェク
トピン 8 上下駆動機構 9a,9b 保持機構 10,14 プレ−ト 11,12 スプリング 19 ピニオン 20 ロ−タリソレノイド 21 歯車
トピン 8 上下駆動機構 9a,9b 保持機構 10,14 プレ−ト 11,12 スプリング 19 ピニオン 20 ロ−タリソレノイド 21 歯車
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−92032(JP,A)
特開 平4−251723(JP,A)
特開 昭59−33839(JP,A)
特開2000−334760(JP,A)
特開2002−1777(JP,A)
特開2001−30311(JP,A)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
B29C 45/00 - 45/84
H01L 21/56
Claims (4)
- 【請求項1】 リ−ドフレ−ムに搭載された半導体装置
が入れられる窪みを有するとともに樹脂が注入されるゲ
−トが形成される下型と、該下型の窪みに対向して前記
半導体装置を収納するキャビティを構成する窪みが形成
される上型と、前記樹脂が前記ゲ−トから前記キャビテ
ィに注入されて形成される樹脂パッケ−ジ体を前記上型
の窪みの底面と前記下型の窪みの底面から突出し前記樹
脂パッケ−ジ体を離脱させたる複数のエジェクトピン
と、前記上型と前記下型とを当接させたり離間させたり
する上下駆動機構とを備える樹脂封止金型において、前
記キャビティに樹脂が注入されるとき前記キャビティを
なす前記下型および上型の窪みの底部より突出する複数
の前記エジェクトピンのそれぞれの先端部の突出量を調
整する突出量調整手段を備え、複数の前記エジェクトピ
ンの突出量は0乃至60ミクロンメ−タの範囲にあるこ
とを特徴とする樹脂封止金型。 - 【請求項2】 前記突出量調整手段は、前記エジェクト
ピンをその表面上に衝立てるとともに金型部材の案内孔
内に上下に摺動させるピンプレ−ト部材と、前記エジェ
クトピンに前記キャビティの該底部より引込める力を与
えるスプリングとを備えるエジェクトピンの保持機構に
おいて、前記プレ−ト部材と前記エジェクトピンと接す
る部位に挿入されるスペ−サ部材であることを特徴とす
る請求項1記載の樹脂封止金型。 - 【請求項3】 前記上型および下型の窪みの隅部にある
複数のエジェクトピンにおいて、前記ゲ−トからの樹脂
注入方向に対向する前記エジェクトピンが対応する前記
隅部から前記窪みの中心に向け所定の距離だけ寄せられ
ていることを特徴とする請求項1または請求項2の樹脂
封止金型。 - 【請求項4】 前記上型および下型の窪みの隅部にある
複数のエジェクトピンにおいて、前記ゲ−トからの樹脂
注入方向に対向する前記エジェクトピンがないことを特
徴とする請求項1または請求項2の樹脂封止金型
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000307789A JP3394516B2 (ja) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | 樹脂封止金型 |
US09/969,587 US6641382B2 (en) | 2000-10-06 | 2001-10-04 | Resin encapsulation mold |
TW090124732A TW506023B (en) | 2000-10-06 | 2001-10-05 | Resin encapsulation mold |
KR1020010061662A KR20020027291A (ko) | 2000-10-06 | 2001-10-06 | 수지 캡슐화 금형 |
CN01136091A CN1348206A (zh) | 2000-10-06 | 2001-10-08 | 树脂封装模具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000307789A JP3394516B2 (ja) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | 樹脂封止金型 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002113752A JP2002113752A (ja) | 2002-04-16 |
JP3394516B2 true JP3394516B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=18788235
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000307789A Expired - Fee Related JP3394516B2 (ja) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | 樹脂封止金型 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6641382B2 (ja) |
JP (1) | JP3394516B2 (ja) |
KR (1) | KR20020027291A (ja) |
CN (1) | CN1348206A (ja) |
TW (1) | TW506023B (ja) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG103364A1 (en) * | 2002-10-11 | 2004-04-29 | Tung Jung Chen | Mold article ejecting device used for an injection molding apparatus |
US20040113240A1 (en) * | 2002-10-11 | 2004-06-17 | Wolfgang Hauser | An electronic component with a leadframe |
JP4094515B2 (ja) * | 2003-09-26 | 2008-06-04 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
CA2481143A1 (en) * | 2004-09-10 | 2006-03-10 | Axiom Group Inc. | Plastic filter |
KR100738730B1 (ko) | 2005-03-16 | 2007-07-12 | 야마하 가부시키가이샤 | 반도체 장치의 제조방법 및 반도체 장치 |
CN100454506C (zh) * | 2005-04-29 | 2009-01-21 | 铜陵三佳科技股份有限公司 | 一种防溢料塑料封装模具 |
US9422968B2 (en) | 2005-07-21 | 2016-08-23 | Steven L. Thompson | Encapsulated fastener and method and tooling for manufacturing same |
US7250003B2 (en) * | 2005-07-21 | 2007-07-31 | Thompson Steven L | Encapsulated fastener and method and tooling for manufacturing same |
US20080206016A1 (en) * | 2005-07-21 | 2008-08-28 | Thompson Steven L | Encapsulated fastener and method and tooling for manufacturing same |
CN100463129C (zh) * | 2006-02-09 | 2009-02-18 | 夏普株式会社 | 半导体装置的制造方法及半导体装置的制造装置 |
TWM295577U (en) * | 2006-02-21 | 2006-08-11 | Techwin Opto Electronics Co Lt | Structure of mold of led lamp mask |
US7618249B2 (en) * | 2006-09-22 | 2009-11-17 | Asm Technology Singapore Pte Ltd. | Memory card molding apparatus and process |
KR100869123B1 (ko) | 2007-07-23 | 2008-11-17 | 주식회사 티에스피 | 반도체 장치 제조용 금형 |
KR100865473B1 (ko) | 2007-07-30 | 2008-10-28 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 패키지 제조용 몰딩 장치 |
CN101540289B (zh) * | 2008-03-19 | 2012-12-19 | 飞思卡尔半导体公司 | 半导体集成电路封装及封装半导体集成电路的方法和模具 |
KR101000626B1 (ko) * | 2008-08-26 | 2010-12-10 | 엘에스엠트론 주식회사 | 사출 성형기의 분리형 이젝터 및 이를 포함하는 이동 형판 |
KR101242441B1 (ko) * | 2008-12-19 | 2013-03-12 | 세메스 주식회사 | 반도체소자 몰딩시스템용 금형장치 |
CN102361740B (zh) * | 2009-03-27 | 2015-04-29 | 柯尼卡美能达精密光学株式会社 | 注射模塑成形用模具、注射模塑成形方法和注射模塑成形品 |
KR101708272B1 (ko) * | 2009-10-28 | 2017-02-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지의 제조 장치 및 반도체 패키지의 제조 방법 |
US20120076888A1 (en) * | 2010-09-28 | 2012-03-29 | Cheng Uei Precision Industry Co., Ltd. | Mould with the contact prepressing and positioning function |
JP6321482B2 (ja) * | 2013-09-26 | 2018-05-09 | エイブリック株式会社 | 半導体製造装置 |
KR102455987B1 (ko) * | 2014-07-22 | 2022-10-18 | 아피쿠 야마다 가부시키가이샤 | 성형 금형, 성형 장치, 성형품의 제조 방법 및 수지 몰드 방법 |
JP6420671B2 (ja) * | 2015-01-21 | 2018-11-07 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
KR101865287B1 (ko) | 2016-06-23 | 2018-06-07 | 낙우산업(주) | 고온성형을 위한 세라믹 금형 시스템 |
CN109016330B (zh) * | 2018-06-22 | 2020-12-29 | 江苏长电科技股份有限公司 | 一种包封模具及其包封方法 |
JP7255415B2 (ja) * | 2019-08-02 | 2023-04-11 | コニカミノルタ株式会社 | 射出成形用金型および製造方法 |
CN114999940B (zh) * | 2022-06-29 | 2023-08-04 | 江苏爱矽半导体科技有限公司 | 一种引线框架及芯片封装结构 |
CN115602590B (zh) * | 2022-12-14 | 2023-03-24 | 四川九州光电子技术有限公司 | 一种to-can组件pin引脚插接装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5933839A (ja) * | 1982-08-19 | 1984-02-23 | Toshiba Corp | 半導体樹脂封止用金型 |
JPS59127842A (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-23 | Toshiba Corp | 樹脂モ−ルド装置 |
JPH06104329B2 (ja) * | 1986-10-13 | 1994-12-21 | フアナツク株式会社 | コアキシヤル・エジエクタ装置 |
JP2635193B2 (ja) * | 1990-01-23 | 1997-07-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の樹脂封止装置、樹脂封止方法及び樹脂封止型半導体装置 |
JP2547894B2 (ja) * | 1990-07-27 | 1996-10-23 | 株式会社東芝 | 半導体樹脂封止用金型機構 |
JPH04133711A (ja) * | 1990-09-26 | 1992-05-07 | Fanuc Ltd | エジェクト方式 |
JPH04134837A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-08 | Nippon Steel Corp | トランスファモールド金型 |
JP2982319B2 (ja) * | 1991-01-29 | 1999-11-22 | 株式会社デンソー | 樹脂成形装置 |
JPH05129353A (ja) * | 1991-11-06 | 1993-05-25 | Sony Corp | 半導体製造装置 |
US5476629A (en) * | 1992-12-25 | 1995-12-19 | Citizen Watch Co. Ltd. | Method for manufacturing IC card substrate |
NL1004460C2 (nl) * | 1996-11-06 | 1998-05-08 | Fico Bv | Ejectorpen, vormdeel en mal voor het omhullen van electronische componenten alsmede een werkwijze voor het afdichten van een tussenruimte. |
JP3248462B2 (ja) | 1997-09-04 | 2002-01-21 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2000003923A (ja) * | 1998-06-16 | 2000-01-07 | Hitachi Ltd | 半導体装置の樹脂封止方法及びその樹脂封止装置 |
JP2000012582A (ja) * | 1998-06-23 | 2000-01-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | モールド装置とその制御方法 |
JP2000334760A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-05 | Kumamoto Nippon Denki Kk | 樹脂成形用の金型装置及びこれを備えた樹脂成形装置 |
-
2000
- 2000-10-06 JP JP2000307789A patent/JP3394516B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-10-04 US US09/969,587 patent/US6641382B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-10-05 TW TW090124732A patent/TW506023B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-10-06 KR KR1020010061662A patent/KR20020027291A/ko not_active Application Discontinuation
- 2001-10-08 CN CN01136091A patent/CN1348206A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6641382B2 (en) | 2003-11-04 |
KR20020027291A (ko) | 2002-04-13 |
US20020041911A1 (en) | 2002-04-11 |
CN1348206A (zh) | 2002-05-08 |
JP2002113752A (ja) | 2002-04-16 |
TW506023B (en) | 2002-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3394516B2 (ja) | 樹脂封止金型 | |
JPH09167781A (ja) | 半導体装置用樹脂封止金型 | |
US6863516B2 (en) | Transfer molding and underfilling apparatus | |
JP2009152507A (ja) | 樹脂封止金型および半導体パッケージの樹脂封止成形方法 | |
JP3924457B2 (ja) | 樹脂封止装置および樹脂封止方法 | |
JP4388789B2 (ja) | 半導体装置の樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
JP2004235530A (ja) | 封止成形装置及びそれを用いた封止成形体の製造方法 | |
JPH1126488A (ja) | 半導体樹脂封止用金型 | |
JPH091596A (ja) | モールド装置 | |
JP7360374B2 (ja) | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 | |
JP3195840B2 (ja) | 樹脂モールド装置及びその制御方法 | |
JP3711333B2 (ja) | 半導体装置の製造方法および樹脂封止装置 | |
JP3844195B2 (ja) | ウェハーの樹脂封止装置 | |
JP4451338B2 (ja) | 樹脂封止金型、それを用いた樹脂封止装置、および、樹脂封止方法 | |
KR20220006117A (ko) | 성형 몰드, 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 | |
JP4104711B2 (ja) | カード基材の成形用金型及びicカード製造方法 | |
JP3368328B2 (ja) | 熱可塑性樹脂の射出圧縮成形用金型、及びその金型を使用した射出圧縮成形方法 | |
JP3605405B1 (ja) | 樹脂封止用金型 | |
JP3280634B2 (ja) | 半導体パッケージの製造方法及び半導体パッケージ製造用の金型及び半導体パッケージ | |
JP3200212B2 (ja) | 樹脂モールド装置 | |
JP4226023B2 (ja) | 樹脂封止金型および樹脂封止方法 | |
JP3489055B2 (ja) | 射出成形金型用ガス抜き構造 | |
JP3003735B2 (ja) | 電子部品の樹脂封止部成形用金型装置 | |
JP2536418B2 (ja) | 半導体素子の樹脂封止用金型 | |
JPH08323813A (ja) | 熱可塑性樹脂の射出圧縮成形用金型、及びその金型を使用した射出圧縮成形方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030107 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |