JP3394091B2 - 変位計 - Google Patents
変位計Info
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- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は変位計に係り、さらに
詳しくは、発光素子と半導体光位置検出素子（ＰＳＤ；
Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔ
ｏｒ）とからなるセンサ部を備えて三角測量方式により
被測定面の変位量を測定するようにした変位計に関する
ものである。 【０００２】 【従来の技術】図４に示すように発光素子１２と半導体
光位置検出素子（ＰＳＤ）１４とからなるセンサ部１１
を備えて三角測量方式により被測定面１６の変位量を測
定するようにした変位計は、発光素子１２である半導体
レーザからのレーザ光１３を測定対象物１５の被測定面
１６に照射し、その散乱光を受光レンズによって半導体
光位置検出素子１４の側に光スポットとして結像させ、
その際の光スポットの位置により、例えばＣを基準位置
とする測定対象物１５の被測定面１６がＡからＢまでの
間を移動した際の変位量を振幅Ｄとして測定することが
できるようになっている。 【０００３】ところで、上記変位計は、測定対象物１５
の被測定面１６にレーザ光１３を照射し、その散乱光を
半導体光位置検出素子１４の側に光スポットとして結像
させるものであるため、測定対象物１５の色や材質など
との関係で反射光量に変化が生じ、これが測定値に影響
を及ぼすことになる。 【０００４】このため、上記変位計については、従来よ
り製品出荷前に例えば白色拡散反射物を標準測定対象物
として用い、その際に得られる測定がを図３に実線で示
すような標準測定値となるように出力特性の調整を行っ
たうえでユーザー側に引き渡されていた。 【０００５】一方、ユーザー側が変位計を用いる場合に
は、上記標準測定対象物とは色や材質などの異なるもの
を実際の測定対象物１５とするのが一般的であり、メー
カー側で調整した標準仕様のもとで測定しようとすると
図３に破線で示すように出力特性にずれが生ずることか
ら、得られる測定値をずれが生じた分だけ補正してやる
必要があった。 【０００６】この場合における出力特性の補正は、通
常、ソフトウエアにより行う手法とハードウエアにより
行う手法とのいずれかを採用することで行われており、
特に、ハードウエアにより行う手法を採用するものであ
るときは、外部からの調整操作ができる補正回路を変位
計に組み込むことで行われていた。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】ところで、ハードウエ
アのもとで出力特性の補正を行う場合には、変位計に組
み込まれている上記補正回路を操作することでユーザー
側にて必要な調整を行うことはできる。 【０００８】しかし、上記補正回路を操作することで出
力特性の補正を行ってしまった場合には、ユーザー側で
再度、標準仕様としての出荷前の出力特性に復帰させる
ことができず、メーカー側の手を借りて標準仕様へとそ
の出力特性を復帰させる調整を行う必要があり、煩雑で
操作上の融通性に欠ける不都合があった。 【０００９】 【課題を解決するための手段】この発明は従来技術にみ
られた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構成
上の特徴は、発光素子と、この発光素子からの照射光を
測定対象物の被測定面にて反射させて受光される光スポ
ットの位置により前記被測定面の変位状況を変位信号と
して出力する半導体光位置検出素子とからなるセンサ部
を少なくとも有して三角測量方式により前記被測定面の
変位量を測定する変位計において、前記センサ部が検出
して出力側に送出される変位信号は、標準となる測定対
象物が示す出力特性に対応させた測定値を得るために必
要な補正を行う第１補正回路と、標準となる測定対象物
に対し実測される測定対象物の側が示す出力特性のずれ
を修正した測定値を得るために必要な補正を行う第２補
正回路との択一的な切替えを自在に配設される測定値補
正手段を経由させることで、必要な補正処理を行った測
定値として出力させるようにしたことにある。 【００１０】 【作用】このため、センサ部が検出して出力側に送出さ
れる変位信号を測定値補正手段を構成している第１補正
回路と第２補正回路とのいずれかを経由させることで、
出荷時に調整されている出力特性に対応する測定値と、
標準となる測定対象物に対しユーザー側で実測される測
定対象物が示す出力特性のずれを修正するための補正処
理を行った後の測定値とを選択的に出力させることがで
きる。 【００１１】したがって、ユーザー側では、所望に応じ
第１補正回路と第２補正回路とのいずれかに自由に切り
替えることができるので、簡便かつ柔軟な操作性を確保
することができる。 【００１２】 【実施例】この発明に係る変位計は、既に述べた図４の
説明からも明らかなように半導体レーザからなる発光素
子１２と、この発光素子１２からの照射光であるレーザ
光１３を測定対象物１５の被測定面１６にて反射させて
受光される光スポットの位置により前記被測定面１６の
変位状況を変位信号として出力する半導体光位置検出素
子（ＰＳＤ）１４とからなるセンサ部１１を少なくとも
有しており、三角測量法により前記被測定面１６の変位
量を測定することができるようにして形成されており、
しかも、実測される測定対象物１５の色や材質の違いに
対応して出力特性にずれが生じた分だけ測定値を補正す
るための測定値補正手段を備えて形成されている。 【００１３】図１は、この発明に係る変位計が備える上
記測定値補正手段の構成例を示すブロック図であり、こ
の場合の測定値補正手段２１は、第１補正回路２２と第
２補正回路２３と、これら第１補正回路２２と第２補正
回路２３とを択一的に切り替えるためのスイッチ２４と
を少なくとも備えて構成されている。 【００１４】このうち、第１補正回路２２は、標準とな
る測定対象物が示す出力特性に対応させた測定値を得る
ために必要な補正を行うものであり、出荷時に予め調整
されており、ユーザー側がこれを自由に調整操作するこ
とができないようにして配設されている。 【００１５】また、第２補正回路２３は、標準となる測
定対象物に対し実測される測定対象物１５の側が示す出
力特性のずれを修正した測定値を得るために必要な補正
を行うものであり、ユーザー側にて外部から自由に調整
操作することができるようにして配設されている。 【００１６】図２は、図１に示す測定値補正手段２１の
具体的な構成例を示すものであり、変位信号の入力側と
出力側との間には演算増幅器２５が配設されており、こ
の演算増幅器２５からの出力信号は負帰還回路２６の側
に配設されている測定値補正手段２１を経由することで
負帰還されるようになっている。 【００１７】この場合における上記測定値補正手段２１
は、可変抵抗器からなる第１補正回路２２と、同じく可
変抵抗器からなる第２補正回路２３とが少なくとも並列
接続され、かつ、前記負帰還回路２６の入力側に配設さ
れているスイッチ２４を第１接点ｔ1 又は第２接点ｔ2
のいずれかの側に接続させて回路を閉成することにより
第１補正回路２２と第２補正回路２３との択一的な切替
えが自在となって形成されている。なお、第１補正回路
２２を形成している可変抵抗器自体はユーザー側で操作
することができないようになっている。 【００１８】この発明は上述したようにして構成されて
いるので、センサ部１１が検出して出力側に送出される
変位信号は、演算増幅器２５の負帰還回路２６の側に並
列接続させた第１補正回路２２と第２補正回路２３とを
備える測定値補正手段２１を経由して負帰還されること
になる。 【００１９】しかも、上記測定値補正手段２１は、スイ
ッチ２４を第１接点ｔと第２接点ｔ2 とのいずれかの側
に接続させることで、第１補正回路２２と第２補正回路
２３とを択一的に切り替えることができるので、演算増
幅器２５からの出力信号は第１補正回路２２又は第２補
正回路２３のいずれかを経由させることで負帰還させる
ことができる。 【００２０】このため、ユーザー側では、出荷時に調整
されている出力特性に基づく測定値を得たい場合、スイ
ッチ２４を第１接点ｔ1 の側に接続させて第１補正回路
２２を閉成することで直ちにその対応を図ることができ
る。 【００２１】また、標準となる測定対象物とは異なる測
定対象物１５をユーザー側で実測しようとする場合に
は、スイッチ２４を第２点ｔ2 の側に接続させて第２補
正回路２３を閉成することで直ち第１補正回路２２から
切り替えることができる。 【００２２】しかも、第２補正回路２３は、例えば可変
抵抗器などのようにユーザー側にて外部から自由に調整
操作することができようにして形成されているので、実
測しようとする測定対象物１５が示す出力特性に応じて
個別に調整することができるので、標準となる測定対象
物との関係で生ずる出力特性のずれを修正するための補
正処理を行った後、測定値として出力させることができ
る。 【００２３】したがって、ユーザー側では、必要に応じ
第１補正回路と第２補正回路とのいずれかに自由に切り
替えることで、変位計を現場ニーズに簡便かつ柔軟に対
応させながら操作して測定作業を遂行することができ
る。 【００２４】 【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、セ
ンサ部が検出して出力側に送出される変位信号を測定値
補正手段を構成している第１補正回路と第２補正回路と
のいずれかを経由させることで、出荷時に調整済みの標
準的な出力特性に対応する測定値と、標準となる測定対
象物に対しユーザー側で実測される測定対象物が示す出
力特性のずれを修正するための補正処理を行った後の測
定値とを選択的に出力させることができる。 【００２５】したがって、ユーザー側では、所望に応じ
第１補正回路と第２補正回路とのいずれかに自由に切り
替えることができるので、簡便かつ柔軟な操作性を確保
することができる。
詳しくは、発光素子と半導体光位置検出素子（ＰＳＤ；
Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔ
ｏｒ）とからなるセンサ部を備えて三角測量方式により
被測定面の変位量を測定するようにした変位計に関する
ものである。 【０００２】 【従来の技術】図４に示すように発光素子１２と半導体
光位置検出素子（ＰＳＤ）１４とからなるセンサ部１１
を備えて三角測量方式により被測定面１６の変位量を測
定するようにした変位計は、発光素子１２である半導体
レーザからのレーザ光１３を測定対象物１５の被測定面
１６に照射し、その散乱光を受光レンズによって半導体
光位置検出素子１４の側に光スポットとして結像させ、
その際の光スポットの位置により、例えばＣを基準位置
とする測定対象物１５の被測定面１６がＡからＢまでの
間を移動した際の変位量を振幅Ｄとして測定することが
できるようになっている。 【０００３】ところで、上記変位計は、測定対象物１５
の被測定面１６にレーザ光１３を照射し、その散乱光を
半導体光位置検出素子１４の側に光スポットとして結像
させるものであるため、測定対象物１５の色や材質など
との関係で反射光量に変化が生じ、これが測定値に影響
を及ぼすことになる。 【０００４】このため、上記変位計については、従来よ
り製品出荷前に例えば白色拡散反射物を標準測定対象物
として用い、その際に得られる測定がを図３に実線で示
すような標準測定値となるように出力特性の調整を行っ
たうえでユーザー側に引き渡されていた。 【０００５】一方、ユーザー側が変位計を用いる場合に
は、上記標準測定対象物とは色や材質などの異なるもの
を実際の測定対象物１５とするのが一般的であり、メー
カー側で調整した標準仕様のもとで測定しようとすると
図３に破線で示すように出力特性にずれが生ずることか
ら、得られる測定値をずれが生じた分だけ補正してやる
必要があった。 【０００６】この場合における出力特性の補正は、通
常、ソフトウエアにより行う手法とハードウエアにより
行う手法とのいずれかを採用することで行われており、
特に、ハードウエアにより行う手法を採用するものであ
るときは、外部からの調整操作ができる補正回路を変位
計に組み込むことで行われていた。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】ところで、ハードウエ
アのもとで出力特性の補正を行う場合には、変位計に組
み込まれている上記補正回路を操作することでユーザー
側にて必要な調整を行うことはできる。 【０００８】しかし、上記補正回路を操作することで出
力特性の補正を行ってしまった場合には、ユーザー側で
再度、標準仕様としての出荷前の出力特性に復帰させる
ことができず、メーカー側の手を借りて標準仕様へとそ
の出力特性を復帰させる調整を行う必要があり、煩雑で
操作上の融通性に欠ける不都合があった。 【０００９】 【課題を解決するための手段】この発明は従来技術にみ
られた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構成
上の特徴は、発光素子と、この発光素子からの照射光を
測定対象物の被測定面にて反射させて受光される光スポ
ットの位置により前記被測定面の変位状況を変位信号と
して出力する半導体光位置検出素子とからなるセンサ部
を少なくとも有して三角測量方式により前記被測定面の
変位量を測定する変位計において、前記センサ部が検出
して出力側に送出される変位信号は、標準となる測定対
象物が示す出力特性に対応させた測定値を得るために必
要な補正を行う第１補正回路と、標準となる測定対象物
に対し実測される測定対象物の側が示す出力特性のずれ
を修正した測定値を得るために必要な補正を行う第２補
正回路との択一的な切替えを自在に配設される測定値補
正手段を経由させることで、必要な補正処理を行った測
定値として出力させるようにしたことにある。 【００１０】 【作用】このため、センサ部が検出して出力側に送出さ
れる変位信号を測定値補正手段を構成している第１補正
回路と第２補正回路とのいずれかを経由させることで、
出荷時に調整されている出力特性に対応する測定値と、
標準となる測定対象物に対しユーザー側で実測される測
定対象物が示す出力特性のずれを修正するための補正処
理を行った後の測定値とを選択的に出力させることがで
きる。 【００１１】したがって、ユーザー側では、所望に応じ
第１補正回路と第２補正回路とのいずれかに自由に切り
替えることができるので、簡便かつ柔軟な操作性を確保
することができる。 【００１２】 【実施例】この発明に係る変位計は、既に述べた図４の
説明からも明らかなように半導体レーザからなる発光素
子１２と、この発光素子１２からの照射光であるレーザ
光１３を測定対象物１５の被測定面１６にて反射させて
受光される光スポットの位置により前記被測定面１６の
変位状況を変位信号として出力する半導体光位置検出素
子（ＰＳＤ）１４とからなるセンサ部１１を少なくとも
有しており、三角測量法により前記被測定面１６の変位
量を測定することができるようにして形成されており、
しかも、実測される測定対象物１５の色や材質の違いに
対応して出力特性にずれが生じた分だけ測定値を補正す
るための測定値補正手段を備えて形成されている。 【００１３】図１は、この発明に係る変位計が備える上
記測定値補正手段の構成例を示すブロック図であり、こ
の場合の測定値補正手段２１は、第１補正回路２２と第
２補正回路２３と、これら第１補正回路２２と第２補正
回路２３とを択一的に切り替えるためのスイッチ２４と
を少なくとも備えて構成されている。 【００１４】このうち、第１補正回路２２は、標準とな
る測定対象物が示す出力特性に対応させた測定値を得る
ために必要な補正を行うものであり、出荷時に予め調整
されており、ユーザー側がこれを自由に調整操作するこ
とができないようにして配設されている。 【００１５】また、第２補正回路２３は、標準となる測
定対象物に対し実測される測定対象物１５の側が示す出
力特性のずれを修正した測定値を得るために必要な補正
を行うものであり、ユーザー側にて外部から自由に調整
操作することができるようにして配設されている。 【００１６】図２は、図１に示す測定値補正手段２１の
具体的な構成例を示すものであり、変位信号の入力側と
出力側との間には演算増幅器２５が配設されており、こ
の演算増幅器２５からの出力信号は負帰還回路２６の側
に配設されている測定値補正手段２１を経由することで
負帰還されるようになっている。 【００１７】この場合における上記測定値補正手段２１
は、可変抵抗器からなる第１補正回路２２と、同じく可
変抵抗器からなる第２補正回路２３とが少なくとも並列
接続され、かつ、前記負帰還回路２６の入力側に配設さ
れているスイッチ２４を第１接点ｔ1 又は第２接点ｔ2
のいずれかの側に接続させて回路を閉成することにより
第１補正回路２２と第２補正回路２３との択一的な切替
えが自在となって形成されている。なお、第１補正回路
２２を形成している可変抵抗器自体はユーザー側で操作
することができないようになっている。 【００１８】この発明は上述したようにして構成されて
いるので、センサ部１１が検出して出力側に送出される
変位信号は、演算増幅器２５の負帰還回路２６の側に並
列接続させた第１補正回路２２と第２補正回路２３とを
備える測定値補正手段２１を経由して負帰還されること
になる。 【００１９】しかも、上記測定値補正手段２１は、スイ
ッチ２４を第１接点ｔと第２接点ｔ2 とのいずれかの側
に接続させることで、第１補正回路２２と第２補正回路
２３とを択一的に切り替えることができるので、演算増
幅器２５からの出力信号は第１補正回路２２又は第２補
正回路２３のいずれかを経由させることで負帰還させる
ことができる。 【００２０】このため、ユーザー側では、出荷時に調整
されている出力特性に基づく測定値を得たい場合、スイ
ッチ２４を第１接点ｔ1 の側に接続させて第１補正回路
２２を閉成することで直ちにその対応を図ることができ
る。 【００２１】また、標準となる測定対象物とは異なる測
定対象物１５をユーザー側で実測しようとする場合に
は、スイッチ２４を第２点ｔ2 の側に接続させて第２補
正回路２３を閉成することで直ち第１補正回路２２から
切り替えることができる。 【００２２】しかも、第２補正回路２３は、例えば可変
抵抗器などのようにユーザー側にて外部から自由に調整
操作することができようにして形成されているので、実
測しようとする測定対象物１５が示す出力特性に応じて
個別に調整することができるので、標準となる測定対象
物との関係で生ずる出力特性のずれを修正するための補
正処理を行った後、測定値として出力させることができ
る。 【００２３】したがって、ユーザー側では、必要に応じ
第１補正回路と第２補正回路とのいずれかに自由に切り
替えることで、変位計を現場ニーズに簡便かつ柔軟に対
応させながら操作して測定作業を遂行することができ
る。 【００２４】 【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、セ
ンサ部が検出して出力側に送出される変位信号を測定値
補正手段を構成している第１補正回路と第２補正回路と
のいずれかを経由させることで、出荷時に調整済みの標
準的な出力特性に対応する測定値と、標準となる測定対
象物に対しユーザー側で実測される測定対象物が示す出
力特性のずれを修正するための補正処理を行った後の測
定値とを選択的に出力させることができる。 【００２５】したがって、ユーザー側では、所望に応じ
第１補正回路と第２補正回路とのいずれかに自由に切り
替えることができるので、簡便かつ柔軟な操作性を確保
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る変位計が備える測定値補正手段
の構成例を示すブロック図である。 【図２】この発明に係る変位計が備える測定値補正手段
の具体的な構成例を示す回路図である。 【図３】この発明に係る変位計を用いた場合における出
力特性を標準となる測定対象物とそれ以外の測定対象物
とに場合分けして例示する説明図である。 【図４】測定対象物の被測定面に対し変位計を用いて行
われる測定状態を示す説明図である。 【符号の説明】 １１ センサ部 １２ 発光素子 １３ レーザ光 １４ 半導体光位置検出素子（ＰＳＤ） １５ 測定対象物 １６ 被測定面 １７ 被測定波形 ２１ 測定値補正手段 ２２ 第１補正回路 ２３ 第２補正回路 ２４ スイッチ ２５ 演算増幅器 ２６ 負帰還回路 ｔ1 第１接点 ｔ2 第２接点
の構成例を示すブロック図である。 【図２】この発明に係る変位計が備える測定値補正手段
の具体的な構成例を示す回路図である。 【図３】この発明に係る変位計を用いた場合における出
力特性を標準となる測定対象物とそれ以外の測定対象物
とに場合分けして例示する説明図である。 【図４】測定対象物の被測定面に対し変位計を用いて行
われる測定状態を示す説明図である。 【符号の説明】 １１ センサ部 １２ 発光素子 １３ レーザ光 １４ 半導体光位置検出素子（ＰＳＤ） １５ 測定対象物 １６ 被測定面 １７ 被測定波形 ２１ 測定値補正手段 ２２ 第１補正回路 ２３ 第２補正回路 ２４ スイッチ ２５ 演算増幅器 ２６ 負帰還回路 ｔ1 第１接点 ｔ2 第２接点
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 発光素子と、この発光素子からの照射光
を測定対象物の被測定面にて反射させて受光される光ス
ポットの位置により前記被測定面の変位状況を変位信号
として出力する半導体光位置検出素子とからなるセンサ
部を少なくとも有して三角測量方式により前記被測定面
の変位量を測定する変位計において、前記センサ部が検
出して出力側に送出される変位信号は、標準となる測定
対象物が示す出力特性に対応させた測定値を得るために
必要な補正を行う第１補正回路と、標準となる測定対象
物に対し実測される測定対象物の側が示す出力特性のず
れを修正した測定値を得るために必要な補正を行う第２
補正回路との択一的な切替えを自在に配設される測定値
補正手段を経由させることで、必要な補正処理を行った
測定値として出力させるようにしたことを特徴とする変
位計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10476994A JP3394091B2 (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10476994A JP3394091B2 (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 変位計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07286812A JPH07286812A (ja) | 1995-10-31 |
| JP3394091B2 true JP3394091B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=14389688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10476994A Expired - Fee Related JP3394091B2 (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 変位計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3394091B2 (ja) |
-
1994
- 1994-04-19 JP JP10476994A patent/JP3394091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07286812A (ja) | 1995-10-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100131 Year of fee payment: 7 |
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