JP3381298B2 - 磁気ヘッド研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばフロッピーディ
スク用磁気ヘッドの摺動面の研磨に適用して好適な磁気
ヘッド研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
データストレージ用磁気ヘッドのメディア摺動面の研磨
装置としては、ディスク型ラッピングテープ方式の研磨
装置が用いられていた。これは、ラッピングテープをφ
１５０ｍｍぐらいの円盤状に加工した物を水で研磨面に
貼り付け、磁気ヘッドを１個１個研磨するものであった
（図６及び図７参照）。

【０００３】しかしながら、上述した従来の磁気ヘッド
研磨装置では、１枚のラッピングテープで磁気ヘッドが
１０〜２０個ぐらいしか研磨できず、その都度ラッピン
グテープを交換しなければならなかった。また、最初か
ら最後まで同じ条件で研磨すると、１個目の製品と２０
個目の製品の形状には、大きなばらつきが発生してしま
うという問題があった。

【０００４】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであり、ラッピングテープの入れ替え作業の工数を
大幅に低減することができるとともに、磁気ヘッドの斜
面とり形状を安定化させることができる磁気ヘッド研磨
装置を得ることを目的とする。

【０００５】一方、従来、データストレージ用磁気ヘッ
ドのメディア摺動面の研磨装置においては、図８に示す
ように、磁気ヘッドを固定するための磁気ヘッド支持部
２６は、自転軸３に直接固定されているものが用いられ
ていた。

【０００６】この場合、自転軸３の回転に伴い磁気ヘッ
ド支持部２６が回転し、磁気ヘッド２２のメディア摺動
面が研磨されることになる。

【０００７】しかしながら、上述した従来の磁気ヘッド
研磨装置では、研磨の際に、磁気ヘッドへの研磨衝撃な
どで、磁気ヘッドの欠け、ひび、及び割れなどを発生さ
せてしまい、さらには、研磨時間の短縮も容易に行えな
いという問題があった。

【０００８】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであり、磁気ヘッドの欠け、ひび、及び割れを大幅
に低減することができるとともに、加工時間を短縮する
ことができる磁気ヘッド研磨装置を得ることを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッド研磨
装置は、例えば図１に示すように、磁気ヘッドを先端に
支持し、該磁気ヘッドをラッピングテープに押圧しかつ
自転する磁気ヘッド支持手段を備える磁気ヘッド研磨装
置において、上記ラッピングテープ１を平面上で保持す
るラッピングテープ保持台と、上記ラッピングテープ１
をこのラッピングテープ保持台に供給するラッピングテ
ープ供給手段とを一体化したテープユニットを備え、上
記テープユニットを、上記ラッピングテープ保持台の平
面に垂直な方向を回転軸として、上記磁気ヘッド研磨装
置本体に対して自転させる回転手段と、テープユニット
を上記磁気ヘッド研磨装置本体に対して揺動する揺動手
段とを有し、上記磁気ヘッド支持手段は、先端に磁気ヘ
ッド支持部を持ち、上記磁気ヘッド支持手段の押圧方向
を回転軸とする自転軸を有し、該自転軸が回転駆動さ
れ、該自転軸と平行な上記磁気ヘッド支持手段の公転軸
と該公転軸を共有する複数の磁気ヘッド支持手段の自転
軸とを取付けたワークユニットを有し、上記複数の磁気
ヘッド支持手段が上記公転軸を中心に公転駆動されるも
のである。

【００１０】また、本発明の磁気ヘッド研磨装置は、複
数のワークユニットが上記磁気ヘッド支持手段の公転軸
と平行に回転自在な回転軸を有するインデックステーブ
ルに等間隔で固定され、該インデックステーブルが該回
転軸を中心に上記磁気ヘッド研磨装置本体に対して自転
駆動され、それにより該複数のワークユニットが該回転
軸を中心に公転駆動され、かつ、複数のテープユニット
を有する上記構成の装置である。

【００１１】また、本発明の磁気ヘッド研磨装置は、上
記テープユニットの回転軸と上記磁気ヘッド支持手段の
公転軸とは、インデックステーブルの中心軸を通る放射
線上の方向に位置がずれている上述構成の装置である。

【００１２】また、本発明の磁気ヘッド研磨装置は、磁
気ヘッド支持部が、ボールベアリングを介して支持さ
れ、かつバネ材を介して保持される上述構成の装置であ
る。

【００１３】また、本発明の磁気ヘッド研磨装置は、バ
ネ圧を調整するためのバネ圧調整ねじを備える上述構成
の装置である。

【００１４】

【００１５】

【００１６】

【００１７】また、本発明の磁気ヘッド研磨装置は、磁
気ヘッドをラッピングテープに押圧する磁気ヘッド支持
手段を有する磁気ヘッド研磨装置において、上記磁気ヘ
ッド支持手段は、磁気ヘッドを固定する磁気ヘッド支持
部と、該磁気ヘッド支持部に連結する自転軸からなり、
上記自転軸は、その中心軸方向に拘束されずフリーとな
っており、上記磁気ヘッド支持部は、上記自転軸に対し
て、上記中心軸方向に所定範囲で移動でき、上記磁気ヘ
ッド支持部と上記自転軸は、バネ材を介して、互いに反
対方向に押され、上記バネ材の弾性力は、上記磁気ヘッ
ド支持手段の重量より小さいものである。

【００１８】また、本発明の磁気ヘッド研磨装置は、バ
ネ材の長さを変えてバネ圧を調整する手段を有する上述
構成の装置である。

【００１９】

【作用】本発明の磁気ヘッド研磨装置によれば、磁気ヘ
ッドを先端に支持し、該磁気ヘッドをラッピングテープ
に押圧しかつ自転させる磁気ヘッド支持手段を備える磁
気ヘッド研磨装置において、上記ラッピングテープ１を
平面上で保持するラッピングテープ保持台と、ラッピン
グテープ１をこのラッピングテープ保持台に供給するラ
ッピングテープ供給手段とを一体化したテープユニット
を備え、上記テープユニットを、上記ラッピングテープ
保持台に垂直な方向を回転軸として、上記磁気ヘッド研
磨装置本体に対して自転させる回転手段と、テープユニ
ットを上記磁気ヘッド研磨装置本体に対して揺動する揺
動手段とを有し、上記磁気ヘッド支持手段は、先端に磁
気ヘッド支持部を持ち、上記磁気ヘッド支持手段の押圧
方向を回転軸とする自転軸を有し、該自転軸が回転駆動
され、該自転軸と平行な上記磁気ヘッド支持手段の公転
軸と該公転軸を共有する複数の磁気ヘッド支持手段の自
転軸とを取付けたワークユニットを有し、上記複数の磁
気ヘッド支持手段が上記公転軸を中心に公転駆動される
ものであるので、磁気ヘッド支持手段を自転と共に公転
させ、ラッピングテープ上のできるだけ新しい面で磁気
ヘッドを研磨できるようにして、より効率の良い研磨が
可能である。

【００２０】また、本発明の磁気ヘッド研磨装置によれ
ば、磁気ヘッドをラッピングテープに押圧する磁気ヘッ
ド支持手段を有する磁気ヘッド研磨装置において、上記
磁気ヘッド支持手段は、磁気ヘッドを固定する磁気ヘッ
ド支持部と、該磁気ヘッド支持部に連結する自転軸から
なり、上記自転軸は、その中心軸方向に拘束されずフリ
ーとなっており、上記磁気ヘッド支持部は、上記自転軸
に対して、上記中心軸方向に所定範囲で移動でき、上記
磁気ヘッド支持部と上記自転軸は、バネ材を介して、互
いに反対方向に押され、上記バネ材の弾性力は、上記磁
気ヘッド支持手段の重量より小さいので、磁気ヘッドの
欠け、ひび、及び割れを大幅に低減することができる。

【００２１】

【実施例】以下、本発明磁気ヘッド研磨装置の一実施例
について図１〜図３、及び図８を参照しながら説明しよ
う。

【００２２】図１は、本例磁気ヘッド研磨装置の主要部
を斜視図として表したものである。

【００２３】ここで、２２は磁気ヘッドであり、メディ
アと接触する摺動面をこれから研磨しようとするもので
ある（図６参照）。摺動面は下側に向くようにセットし
てあり、この摺動面はラッピングテープ１と直接接する
ようになっている。

【００２４】磁気ヘッド２２は、磁気ヘッド支持部２６
により固定されている。この磁気ヘッド支持部２６は、
図８に示すように、自転軸３に固定されている。磁気ヘ
ッド支持部２６は、自転軸３の軸を中心とする回転に対
しても、また、上下方向に対してもずれたり外れたりし
ないように固定されている。

【００２５】自転軸３は、図１に示すように、中心軸の
まわりを一定方向に回転駆動され、結果として磁気ヘッ
ド２２も回転されることになる。また、この自転軸３
は、回転方向には拘束されているが、上下方向には拘束
されずフリーとなっているので、自転軸３の重量及び磁
気ヘッド支持部２６の重量の合計の重量は磁気ヘッド２
２に直接掛かることになり、磁気ヘッド２２の研磨の際
の圧力として作用する。

【００２６】上述した磁気ヘッド２２、磁気ヘッド支持
部２６、及び自転軸３の組み合わせからなる機構は、図
１にも示すように、６個設置してあり、それぞれ同様に
回転し、同様に磁気ヘッド２２を下の方向に押しつけて
いる。

【００２７】これらの自転軸３は、それぞれ相対向する
自転軸の中心を結ぶ直線上の中点を通り、自転軸と平行
な公転軸を共有しており、全ての自転軸３はこの公転軸
のまわりを回転駆動されることになる。すなわち、全て
の自転軸３は、それぞれ自転軸３の中心軸のまわりと公
転軸のまわりを同時に回転駆動されることになる。この
公転により、研磨を均一にすることができる。

【００２８】上述の公転軸は、ワークユニット４に支持
されており、さらにこのワークユニット４は、インデッ
クステーブル５に固定されている。

【００２９】インデックステーブル５は、図２に示すよ
うに、円板状の形をしており、その円周上には６個のワ
ークユニット４が等間隔に設置されている。また、この
インデックステーブル５の中心には公転軸と平行な回転
軸を持っており、この回転軸を中心にインデックステー
ブル５は、自由に回転駆動されるようになっている。

【００３０】次に、テープユニット２について説明しよ
う。テープユニット２の詳細は図３に示すとおりであ
る。

【００３１】ここで、１４はテープストック軸を示すも
のであり、まだ使っていないロール状に巻かれているラ
ッピングテープ１を保持している軸である。また、この
テープストック軸１４は、ブレーキ１５により回転方向
にブレーキが常に掛けられており、ロールから送り出さ
れたテープ１に張力が掛かるようになっている。

【００３２】このテープストック軸１４から送り出され
たテープ１は、次にテープ供給軸１６に導かれる。この
テープ供給軸１６は、テープストック軸１４からのテー
プ１をラッピングテープ保持台６の上に案内するための
軸である。

【００３３】テープ供給軸１６から送り出されたテープ
１は、ラッピングテープ保持台６の上に接することにな
る。このラッピングテープ保持台６で支えられているテ
ープ１によって磁気ヘッド２２が研磨されるのである。
ラッピングテープ保持台６はシリコンゴム、またはフロ
ーグラスからなり、その弾力によって、研磨の際、磁気
ヘッドがバウンドによって欠けるのを防止しているもの
である。また、このラッピングテープ保持台６は、金属
製の補強板１７の上に設置され、機械的強度を補ってい
る。

【００３４】ラッピングテープ保持台６の上で磁気ヘッ
ド２２を研磨して、使い終わったラッピングテープ１
は、次に、テープ送り軸１８ａに導かれた後、テープ送
り軸１８ａ及び１８ｂの間に挟み込まれる。テープ送り
軸１８ａとテープ送り軸１８ｂとはお互いに反対方向に
同じ角度だけ回転するようになっており、また、双方の
軸が互いに押しあう方向に圧力が掛かっている。このよ
うにしてテープ送り軸１８ａ及び１８ｂに挟み込まれた
ラッピングテープ１が滑って抜けないようにしている。

【００３５】また、テープ送り軸１８ａは、ワンウェー
クラッチが設置してあり、図面からみて時計回りには自
由に回転するが、反時計回りには回転しないようにして
ある。一方、テープ送り軸１８ｂにも、ワンウェークラ
ッチが設置してあり、図面からみて反時計回りには自由
に回転するが、時計回りには回転しないようにしてあ
る。

【００３６】また、このテープ送り軸１８ａには、ワン
ウェークラッチを介してテープ送りレバー１０が連結さ
れている。テープ送りレバー１０が時計回りに回転する
ときには、クラッチが働きテープ送りレバー１０とテー
プ送り軸１８ａとは連動するが、反時計回りに回転する
ときにはクラッチが働かず、テープ送りレバー１０のみ
が回転するようになっている。

【００３７】テープ送りレバー１０には、バネ２１ａが
ついており、常に反時計回りにテープ送りレバー１０を
戻すように作用している。

【００３８】テープ送りレバー１０の近くにはテープ送
りシリンダ１２があり、このテープ送りシリンダ１２の
ピン１２ａが左側に突き出ることにより、テープ送りレ
バー１０がたたかれ、このテープ送りレバー１０を時計
回りに回転することになる。また、ピン１２ａが右側に
戻ると、テープ送りレバー１０はバネ２１ａの作用によ
り反時計回りに回転し、もとの位置まで戻ることにな
る。

【００３９】この結果として、ラッピングテープ１が一
定の長さ分だけ、テープ送り軸１８ａおよび１８ｂに挟
まれて引っ張り込まれることになる。また、この引っ張
り込まれた長さの分だけラッピングテープ１に、テープ
送り軸１８ａおよび１８ｂの左側にたるみが生じること
になる。

【００４０】テープ巻取軸２０は、テープ送り軸１８ａ
および１８ｂからのラッピングテープ１を最終的に巻き
取っておく軸である。

【００４１】このテープ巻取り軸２０には、ワンウェー
クラッチを介してテープ巻取りレバー１１が連結されて
いる。テープ巻取りレバー１１が時計回りに回転すると
きには、クラッチが働きテープ巻取りレバー１１とテー
プ巻取り軸２０とは連動するが、反時計回りに回転する
ときにはクラッチが働かず、テープ巻取りレバー１１の
みが回転するようになっている。

【００４２】テープ巻取りレバー１１には、バネ２１ｂ
がついており、常に反時計回りにテープ巻取りレバー１
１を戻すように作用している。

【００４３】テープ巻取りレバー１１の近くにはテープ
巻取りシリンダ１３があり、このテープ巻取りシリンダ
１３のピン１３ａが左側に突き出ることにより、テープ
巻取りレバー１１がたたかれ、このテープ巻取りレバー
１１を時計回りに回転することになる。また、ピン１３
ａが右側に戻ると、テープ巻取りレバー１１はバネ２１
ｂの作用により反時計回りに回転し、もとの位置まで戻
ることになる。

【００４４】この結果として、ラッピングテープ１が一
定の長さ分だけ、テープ巻取り軸２０に巻き込まれるこ
とになる。

【００４５】テープユニット２は、図１に示すように、
矢印の方向に回転している。回転速度は自由に調整する
ことができ、矢印と反対の方向に回転させることもでき
る。これにより、磁気ヘッド２２の研磨速度を調整する
ことができる。

【００４６】また、ラッピングテープ上における、テー
プユニット２の回転中心と自転軸３の公転軸とは、イン
デックステーブル５の中心軸を通る放射線上の方向に位
置がずれているので、ラッピングテープ１の研磨面を広
く採ることができる。

【００４７】また、テープユニット２は、図１に示すよ
うに、矢印の方向にシーソーのように揺動するようにな
っている。これにより、研磨面を曲面とすることができ
る。

【００４８】テープユニット２は、図２に示すように、
全部で４個設置してある。これにより連続的な研磨がで
きるようになる。

【００４９】次に、上述の実施例の動作について詳しく
説明する。

【００５０】まず、図２に示すワークユニット４が４ａ
の位置において、まだ研磨していない磁気ヘッド２２を
固定した磁気ヘッド支持部２６が、６個自転軸３にセッ
トされる。

【００５１】ワークユニット４は、４ａの位置から４ｂ
の位置に移動する。磁気ヘッド２２は、ラッピングテー
プ１に接触し、磁気ヘッド支持部２６と自転軸３の重量
によりラッピングテープ１に押圧される。

【００５２】次に、自転軸が回転駆動されるとともに、
公転軸が回転駆動される。

【００５３】一方、テープユニットは、回転するととも
に、揺動する。この時、研磨面に研磨液をかけながら研
磨する。

【００５４】ワークユニット４の自転・公転とテープユ
ニット２の回転と揺動動作により磁気ヘッドを研磨し、
所定時間研磨する。

【００５５】研磨が終了すると、テープ送りシリンダ１
２が動作し、テープ送りレバー１０を回転させ、テープ
の新しい面を送り出す。１つのテープユニット上で、１
つのワークユニットの研磨が終了するごとに新しいラッ
ピングテープが所定長さ送り出されるように供給する。
ロール状ラッピングテープのため、テープがなくなるま
で使用でき、連続的な研磨が可能となる。

【００５６】インデックステーブル５により、次の工程
へ移る。第１のワークユニットが、第１のテープユニッ
ト上で研磨を終了した後に、インデックステーブルを所
定回転角だけ回転させて、第１のワークユニットが、第
１のテープユニットより細かい研磨粒を持つラッピング
テープを備える第２のテープユニット上に移動する。

【００５７】このように、順次研磨を行い、順次荒研磨
から仕上げ研磨まで行う。なお、ワークユニット４が４
ｄの位置にあるときは、研磨屑を洗い流すために、磁気
ヘッドを洗うようにしている。

【００５８】最後に、ワークユニット４が４ａの位置に
戻ってきたときに、研磨を終了した磁気ヘッドを取り出
すのである。

【００５９】以上のことから、本例によれば、ラッピン
グテープの入れ替え作業の工数を大幅に低減することが
できるので、生産性が向上する。また、研磨の条件を連
続的に一定に設定できるので、磁気ヘッドの斜面とり形
状を安定化させることができる。また、多数個の磁気ヘ
ッドを同時に研磨することができる。また、ラッピング
テープは、円板状に打ち抜かなくても良いので、費用低
減、すなわち１個の磁気ヘッドを研磨するのに必要な費
用を低く抑えることができるとともに、加工の際捨てる
部分が少なく、省資源につなげることができる。

【００６０】次に、本発明磁気ヘッド研磨装置の他の実
施例について図４を参照しながら説明しよう。

【００６１】図４は、磁気ヘッド支持部２６の支持機構
を示したものであり、磁気ヘッド支持部２６は、スライ
ドシャフト２７に固定されている。

【００６２】スライドシャフト２７には、これに貫通す
るピン２８が設置されている。このピン２８は自転軸溝
３ａと外輪溝２９ａに入っている。

【００６３】この自転軸溝３ａと外輪溝２９ａは、自転
軸３の中心軸に対象に縦方向にカットした溝であり、そ
の幅はピン２８の直径よりも少し大きく、高さは図４に
示した通りである。このような構造とすることにより、
ピン２８は、自転軸３の回転方向にはこの溝により拘束
されるが、縦方向にはこの溝の高さとピンの直径の差の
分だけ自由に移動することができる。

【００６４】ボールベアリング７は、スライドシャフト
の上下の動きをスムーズにするものである。

【００６５】スライドシャフト２７の上端にはバネ材８
が設置してある。このバネ材８により、磁気ヘッド２２
に荷重が掛かっていないときには、スライドシャフト２
７が一番下まで移動し、磁気ヘッド２２に荷重が掛かっ
ているときには、バネの弾性力は荷重より小さくしてあ
るので、スライドシャフト２７は、一番上まで移動する
ことになる。

【００６６】従来の磁気ヘッド支持部では、さいころ状
の磁気ヘッドを回転しながら研磨すると四隅が次々と当
たりバウンド現象を引き起こす。バウンドすると研磨面
と磁気ヘッドが離れ再び着地する。着地した時に自転軸
の自重（衝撃）で磁気ヘッドが割れてしまう。

【００６７】バネを介して自転軸と磁気ヘッド支持部２
６を切り離すことにより、バウンドした時の衝撃を吸収
することができ、割れが発生しない。

【００６８】以上のことから、本例によれば、磁気ヘッ
ドの欠け、ひび、及び割れを大幅に低減することができ
る。 また、加工時間を大幅に短縮することができる。
また、磁気ヘッドの斜面とり形状の安定化を図ることが
できる。また、ラッピングテープの塗布膜の剥がれを防
止し、磁気ヘッドのきずの発生を防ぐことができる。

【００６９】次に、本発明磁気ヘッド研磨装置の他の実
施例について図５を参照しながら説明しよう。

【００７０】図５に示すように、スライドシャフト２７
の上部には、ネジ溝が切ってあると同時にバネ圧調整ネ
ジ９が設置してある。このバネ圧調整ネジ９の下面に
は、六角レンチ用の溝が刻んである。

【００７１】スライドシャフト２７の中心には、ネジ溝
に続いてネジ操作用孔３０が設けられている。

【００７２】六角レンチをネジ操作用孔３０に通しバネ
調整ネジ９を回すことにより、このバネ圧調整ネジ９の
上端をスライドシャフト２７の上端より突出させること
ができる。その突出の高さも自由に調整することができ
る。こうして、バネ材８のバネ圧を調整することができ
る。

【００７３】上述の実施例においては、磁気ヘッドのメ
ディア摺動面の研磨装置において、磁気ヘッド支持部
が、バネとベアリングによって本体部に連結されてい
た。

【００７４】この場合は、バネにより研磨衝撃を吸収し
ながら、磁気ヘッドのメディア摺動面を研磨するが、バ
ネ圧のばらつき及び摺動抵抗により、研磨衝撃を吸収し
きれず磁気ヘッドの欠け、割れ、ひびを発生させてしま
う。

【００７５】本例においては、調整機構により最適バネ
圧に調整することにより、そのようなばらつきをなくす
ることができる。

【００７６】以上のことから、本例によれば、磁気ヘッ
ドの欠け、ひび、及び割れを上述の実施例に比較して、
さらに低減することができる。また、加工時間を大幅に
短縮することができる。また、磁気ヘッドの斜面とり形
状の安定化を図ることができる。また、ラッピングテー
プの塗布膜の剥がれを防止し、磁気ヘッドのきずの発生
を防ぐことができる。

【００７７】なお、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成を採り得
ることはもちろんである。

【００７８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ラッピングテープの入れ替え作業の工数を大幅に低減す
ることができるので、生産性が向上する。また、研磨の
条件を連続的に一定に設定できるので、磁気ヘッドの斜
面とり形状を安定化させることができる。また、多数個
の磁気ヘッドを同時に研磨することができる。また、ラ
ッピングテープは、円板状に打ち抜かなくても良いの
で、費用低減、すなわち１個の磁気ヘッドを研磨するの
に必要な費用を低く抑えることができるとともに、加工
の際捨てる部分が少なく、省資源につなげることができ
る。

【００７９】また、本発明によれば、磁気ヘッドの欠
け、ひび、及び割れを大幅に低減することができる。ま
た、加工時間を大幅に短縮することができる。また、磁
気ヘッドの斜面とり形状の安定化を図ることができる。
また、ラッピングテープの塗布膜の剥がれを防止し、磁
気ヘッドのきずの発生を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明磁気ヘッド研磨装置の一実施例を示す構
成図である。

【図２】本発明磁気ヘッド研磨装置の一実施例を示す平
面図である。

【図３】本例で用いたテープユニットを示す構成図であ
る。

【図４】磁気ヘッド支持部の支持機構を示す断面図であ
る。

【図５】磁気ヘッド支持部の支持機構を示す断面図であ
る。

【図６】磁気ヘッドの摺動面の研磨した状態を示す斜視
図である。

【図７】従来の磁気ヘッド研磨装置の例を示す斜視図で
ある。

【図８】従来の磁気ヘッド支持部を示す断面図である。

【符号の説明】

１ ラッピングテープ ２ テープユニット ３ 自転軸 ４ ワークユニット ５ インデックステーブル ２２ 磁気ヘッド ２５ 揺動部 ２６ 磁気ヘッド支持部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 正治 宮城県登米郡中田町宝江新井田字加賀野 境30 ソニー・プレシジョン・マグネ株 式会社内 (72)発明者 千坂 卓俊 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (72)発明者 高橋 豊一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−242953（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−14852（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−1151（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−242954（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 21/00 G11B 5/187

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ヘッドを先端に支持し、該磁気ヘッ
   ドをラッピングテープに押圧しかつ自転する磁気ヘッド
   支持手段を備える磁気ヘッド研磨装置において、 上記ラッピングテープを平面上で保持するラッピングテ
   ープ保持台と、上記ラッピングテープを上記ラッピング
   テープ保持台に供給するラッピングテープ供給手段とを
   一体化したテープユニットを備え、 上記テープユニットを、上記ラッピングテープ保持台の
   平面に垂直な方向を回転軸として、上記磁気ヘッド研磨
   装置本体に対して自転させる回転手段と、 上記テープユニットを上記磁気ヘッド研磨装置本体に対
   して揺動する揺動手段とを有し、 上記磁気ヘッド支持手段は、先端に磁気ヘッド支持部を
   持ち、上記磁気ヘッド支持手段の押圧方向を回転軸とす
   る自転軸を有し、該自転軸が回転駆動され、 該自転軸と平行な上記磁気ヘッド支持手段の公転軸と該
   公転軸を共有する複数の磁気ヘッド支持手段の自転軸と
   を取付けたワークユニットを有し、 上記複数の磁気ヘッド支持手段が上記公転軸を中心に公
   転駆動されることを特徴とする磁気ヘッド研磨装置。
2. 【請求項２】 複数のワークユニットが上記磁気ヘッド
   支持手段の公転軸と平行に回転自在な回転軸を有するイ
   ンデックステーブルに等間隔で固定され、該インデック
   ステーブルが該回転軸を中心に上記磁気ヘッド研磨装置
   本体に対して自転駆動され、それにより該複数のワーク
   ユニットが該回転軸を中心に公転駆動され、かつ、複数
   のテープユニットを有することを特徴とする請求項１記
   載の磁気ヘッド研磨装置。
3. 【請求項３】 上記テープユニットの回転軸と上記磁気
   ヘッド支持手段の公転軸とは、インデックステーブルの
   中心軸を通る放射線上の方向に位置がずれていることを
   特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド研磨装置。
4. 【請求項４】 磁気ヘッド支持部は、ボールベアリング
   を介して支持され、かつバネ材を介して保持されること
   を特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド研磨装置。
5. 【請求項５】 バネ圧を調整するためのバネ圧調整ねじ
   を備えることを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッド研
   磨装置。
6. 【請求項６】 磁気ヘッドをラッピングテープに押圧す
   る磁気ヘッド支持手段を有する磁気ヘッド研磨装置にお
   いて、 上記磁気ヘッド支持手段は、磁気ヘッドを固定する磁気
   ヘッド支持部と、該磁気ヘッド支持部に連結する自転軸
   からなり、 上記自転軸は、その中心軸方向に拘束されずフリーとな
   っており、 上記磁気ヘッド支持部は、上記自転軸に対して、上記中
   心軸方向に所定範囲で移動でき、 上記磁気ヘッド支持部と上記自転軸は、バネ材を介し
   て、互いに反対方向に押され、 上記バネ材の弾性力は、上記磁気ヘッド支持手段の重量
   より小さいことを特徴とする磁気ヘッド研磨装置。
7. 【請求項７】 バネ材の長さを変えてバネ圧を調整する
   手段を有することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッ
   ド研磨装置。