JP3369136B2 - 顕微鏡の明暗視野切換装置 - Google Patents
顕微鏡の明暗視野切換装置Info
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B21/12—Condensers affording bright-field illumination
- G02B21/125—Condensers affording bright-field illumination affording both dark- and bright-field illumination
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡の明暗視野
切換装置に関する。詳しくは、照明光学系の光路上に配
置され、明視野照明と暗視野照明とを切り換え可能な顕
微鏡の明暗視野切換装置に関する。
切換装置に関する。詳しくは、照明光学系の光路上に配
置され、明視野照明と暗視野照明とを切り換え可能な顕
微鏡の明暗視野切換装置に関する。
【０００２】
【背景技術】顕微鏡での観察にあたり、観察対象が比較
的粗い部位の検査については明視野照明が用いられる
が、観察対象が比較的細かな部位の検査、たとえば、Ｉ
Ｃの回路パターンや傷、ゴミの有無などの検査について
は暗視野照明が必要とされる。そのため、顕微鏡の中に
は、明視野照明と暗視野照明とに切り換えできるように
した明暗視野切換装置を備えているものが知られてい
る。
的粗い部位の検査については明視野照明が用いられる
が、観察対象が比較的細かな部位の検査、たとえば、Ｉ
Ｃの回路パターンや傷、ゴミの有無などの検査について
は暗視野照明が必要とされる。そのため、顕微鏡の中に
は、明視野照明と暗視野照明とに切り換えできるように
した明暗視野切換装置を備えているものが知られてい
る。
【０００３】従来の明暗視野切換装置は、図７に示すよ
うな、スライドユニット１００を用いて明視野照明と暗
視野照明とを切り換えるようにしていた。スライドユニ
ット１００は、矩形状本体部１０１と操作ノブ１０２と
を備え、本体部１０２に３種のフィルタ、具体的には、
明視野観察用フィルタ１０３、防眩フィルタ１０４およ
び暗視野観察用フィルタ１０５が直線状に配置された構
造である。
うな、スライドユニット１００を用いて明視野照明と暗
視野照明とを切り換えるようにしていた。スライドユニ
ット１００は、矩形状本体部１０１と操作ノブ１０２と
を備え、本体部１０２に３種のフィルタ、具体的には、
明視野観察用フィルタ１０３、防眩フィルタ１０４およ
び暗視野観察用フィルタ１０５が直線状に配置された構
造である。
【０００４】使用にあたっては、顕微鏡の照明光路内に
スライドユニット１００を挿入し、押込量（あるいは、
引出量）を変えることによって、スライドユニット１０
０に設けられた明視野観察用フィルタ１０３および暗視
野観察用フィルタ１０５のいずれかを照明光路上に選択
的に位置させて、観察を行う。この際、暗視野観察用フ
ィルタ１０５から明視野観察用フィルタ１０３に切り換
えるとき、途中に防眩フィルタ１０４が介在されること
により、暗視野観察から明視野観察に切り替わっても目
が眩まないような対策が採られている。
スライドユニット１００を挿入し、押込量（あるいは、
引出量）を変えることによって、スライドユニット１０
０に設けられた明視野観察用フィルタ１０３および暗視
野観察用フィルタ１０５のいずれかを照明光路上に選択
的に位置させて、観察を行う。この際、暗視野観察用フ
ィルタ１０５から明視野観察用フィルタ１０３に切り換
えるとき、途中に防眩フィルタ１０４が介在されること
により、暗視野観察から明視野観察に切り替わっても目
が眩まないような対策が採られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の構造
では、切り換えに伴うスライドユニット１００の移動量
が大きくなり、最も引き出したときには、操作ノブ１０
２に近いフィルタ１０５が顕微鏡本体から外に出てしま
い、フィルタ面にごみやほこりなどが付着する原因とな
る。そこで、スライドユニット１００を最も引き出して
も、フィルタ１０５が顕微鏡本体から外に出ないように
しようとすると、顕微鏡本体の大きさを大きくしなけれ
ばならないから、コストアップにつながるとともに、操
作性にも欠ける。
では、切り換えに伴うスライドユニット１００の移動量
が大きくなり、最も引き出したときには、操作ノブ１０
２に近いフィルタ１０５が顕微鏡本体から外に出てしま
い、フィルタ面にごみやほこりなどが付着する原因とな
る。そこで、スライドユニット１００を最も引き出して
も、フィルタ１０５が顕微鏡本体から外に出ないように
しようとすると、顕微鏡本体の大きさを大きくしなけれ
ばならないから、コストアップにつながるとともに、操
作性にも欠ける。
【０００６】このような従来の課題に対して、明視野観
察用フィルタおよび暗視野観察用フィルタを有するユニ
ットと、防眩フィルタを有するユニットとを別々に設
け、これらをそれぞれ独立的に操作するようにすること
も考えられる。しかし、このような構造では、２つのユ
ニットをそれぞれ別位置で操作しなければならないか
ら、持ち替え操作が必要となり、操作性がより悪化す
る。
察用フィルタおよび暗視野観察用フィルタを有するユニ
ットと、防眩フィルタを有するユニットとを別々に設
け、これらをそれぞれ独立的に操作するようにすること
も考えられる。しかし、このような構造では、２つのユ
ニットをそれぞれ別位置で操作しなければならないか
ら、持ち替え操作が必要となり、操作性がより悪化す
る。
【０００７】本発明の目的は、従来の課題を解消し、小
型化を維持し、かつ、操作性を損なうことなく、上述し
た明視野照明、暗視野照明および防眩照明の３種の状態
に切り換えることができる顕微鏡の明暗視野切換装置を
提供することにある。
型化を維持し、かつ、操作性を損なうことなく、上述し
た明視野照明、暗視野照明および防眩照明の３種の状態
に切り換えることができる顕微鏡の明暗視野切換装置を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡の明暗視
野切換装置は、上記目的を達成するため、次の構成を採
用する。即ち、本発明の顕微鏡の明暗視野切換装置は、
照明光学系の光路上に配置された顕微鏡の明暗視野切換
装置であって、防眩光学部品および暗視野観察用光学部
品と、前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を
前記光路に移動可能かつ光路から退避可能に保持するガ
イド機構と、前記防眩光学部品および暗視野観察用光学
部品を前記光路に移動させかつ光路から退避させるとと
もに、前記暗視野観察用光学部品を前記光路上から退避
させるときのみ防眩光学部品を一緒に移動させて光路上
に位置させる切換機構とを備えたことを特徴とする。こ
こにおいて、防眩光学部品とは、照明光学系からの光量
を制限するもの、また、暗視野観察用光学部品とは、暗
視野用集光レンズや暗視野用フィルタ、あるいは、金属
製の遮光マスクなどを指す。
野切換装置は、上記目的を達成するため、次の構成を採
用する。即ち、本発明の顕微鏡の明暗視野切換装置は、
照明光学系の光路上に配置された顕微鏡の明暗視野切換
装置であって、防眩光学部品および暗視野観察用光学部
品と、前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を
前記光路に移動可能かつ光路から退避可能に保持するガ
イド機構と、前記防眩光学部品および暗視野観察用光学
部品を前記光路に移動させかつ光路から退避させるとと
もに、前記暗視野観察用光学部品を前記光路上から退避
させるときのみ防眩光学部品を一緒に移動させて光路上
に位置させる切換機構とを備えたことを特徴とする。こ
こにおいて、防眩光学部品とは、照明光学系からの光量
を制限するもの、また、暗視野観察用光学部品とは、暗
視野用集光レンズや暗視野用フィルタ、あるいは、金属
製の遮光マスクなどを指す。
【０００９】この構成によれば、ガイド機構を介して、
防眩光学部品および暗視野観察用光学部品が光路に移動
可能かつ光路から退避可能に配置され、これらの移動お
よび退避を切換機構によって行うようにしたので、従来
の３種のフィルタを直線状に配置したスライドユニット
の構造に比べ、移動量が少なくて済むから、装置自体を
大型化しなくてもフィルタが本体の外部へ出ることがな
い。従って、装置の小型化を維持できる。また、切換機
構は、防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を光路
に移動させかつ光路から退避させるとともに、暗視野観
察用光学部品を光路上から退避させるときのみ防眩光学
部品を一緒に移動させて光路上に位置させることができ
るから、暗視野観察から明視野観察へ切り換える際に
も、一旦、防眩光学部品が光路上に位置するから、観察
者の目を眩ますことがない。従って、観察者は、暗視野
観察から明視野観察へ切り換える際にも、接眼レンズか
ら目を離さなくてもよいから、操作性を損なうこともな
く、上述した明視野照明から暗視野照明の状態に切り換
えることができる。
防眩光学部品および暗視野観察用光学部品が光路に移動
可能かつ光路から退避可能に配置され、これらの移動お
よび退避を切換機構によって行うようにしたので、従来
の３種のフィルタを直線状に配置したスライドユニット
の構造に比べ、移動量が少なくて済むから、装置自体を
大型化しなくてもフィルタが本体の外部へ出ることがな
い。従って、装置の小型化を維持できる。また、切換機
構は、防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を光路
に移動させかつ光路から退避させるとともに、暗視野観
察用光学部品を光路上から退避させるときのみ防眩光学
部品を一緒に移動させて光路上に位置させることができ
るから、暗視野観察から明視野観察へ切り換える際に
も、一旦、防眩光学部品が光路上に位置するから、観察
者の目を眩ますことがない。従って、観察者は、暗視野
観察から明視野観察へ切り換える際にも、接眼レンズか
ら目を離さなくてもよいから、操作性を損なうこともな
く、上述した明視野照明から暗視野照明の状態に切り換
えることができる。
【００１０】また、前記ガイド機構は、顕微鏡本体に前
記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品の移動およ
び退避方向と平行な方向へ移動可能に設けられそれぞれ
前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を有する
第１および第２のスライダと、前記防眩光学部品および
暗視野観察用光学部品が前記光路上に移動した位置およ
び光路から退避した位置に前記各スライダを位置決めす
る位置決め機構とを備えていることを特徴とする。
記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品の移動およ
び退避方向と平行な方向へ移動可能に設けられそれぞれ
前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を有する
第１および第２のスライダと、前記防眩光学部品および
暗視野観察用光学部品が前記光路上に移動した位置およ
び光路から退避した位置に前記各スライダを位置決めす
る位置決め機構とを備えていることを特徴とする。
【００１１】この構成によれば、防眩光学部品および暗
視野観察用光学部品は、光学部品の移動および退避方向
と平行な方向へ移動可能に設けられた第１および第２の
スライダに保持されているから、移動および退避動作を
スムーズに行うことができる。しかも、防眩光学部品お
よび暗視野観察用光学部品が光路上に移動した位置およ
び光路から退避した位置に、各スライダを位置決めする
位置決め機構が設けられているから、防眩光学部品およ
び暗視野観察用光学部品を光路上に正確に位置決めする
ことができる。
視野観察用光学部品は、光学部品の移動および退避方向
と平行な方向へ移動可能に設けられた第１および第２の
スライダに保持されているから、移動および退避動作を
スムーズに行うことができる。しかも、防眩光学部品お
よび暗視野観察用光学部品が光路上に移動した位置およ
び光路から退避した位置に、各スライダを位置決めする
位置決め機構が設けられているから、防眩光学部品およ
び暗視野観察用光学部品を光路上に正確に位置決めする
ことができる。
【００１２】また、前記切換機構は、顕微鏡本体に前記
防眩光学部品および暗視野観察光学部品の移動および退
避方向と平行にかつ軸方向へスライド可能に設けられ外
端部に第１操作ノブを有するスリーブと、このスリーブ
内にスライド可能に設けられ外端部に第２操作ノブを有
するシャフトと、前記スリーブを前記第１のスライダに
連結する第１連結部材と、前記シャフトを前記第２のス
ライダに連結する第２連結部材とを備え、前記第２操作
ノブが前記第１操作ノブ内に収納可能で、かつ、第１操
作ノブを一方向へスライド操作したときに第２操作ノブ
が係合して一緒にスライドするとともに、第１操作ノブ
を他方向へスライド操作したときに第１操作ノブと第２
操作ノブとの係合が解除されるように構成されているこ
とを特徴とする。
防眩光学部品および暗視野観察光学部品の移動および退
避方向と平行にかつ軸方向へスライド可能に設けられ外
端部に第１操作ノブを有するスリーブと、このスリーブ
内にスライド可能に設けられ外端部に第２操作ノブを有
するシャフトと、前記スリーブを前記第１のスライダに
連結する第１連結部材と、前記シャフトを前記第２のス
ライダに連結する第２連結部材とを備え、前記第２操作
ノブが前記第１操作ノブ内に収納可能で、かつ、第１操
作ノブを一方向へスライド操作したときに第２操作ノブ
が係合して一緒にスライドするとともに、第１操作ノブ
を他方向へスライド操作したときに第１操作ノブと第２
操作ノブとの係合が解除されるように構成されているこ
とを特徴とする。
【００１３】この構成によれば、たとえば、暗視野観察
用光学部品が光路上に位置している状態において、第１
操作ノブ（スリーブ）を一方向（たとえば、引出方向）
へスライド操作すると、第１操作ノブに第２操作ノブが
係合するから、第２操作ノブ（シャフト）も一緒に一方
向へスライドされる。すると、暗視野観察用光学部品が
光路上から退避され、防眩光学部品が光路上に位置され
る。続いて、第１操作ノブ（スリーブ）を他方向（たと
えば、押込方向）へスライド操作すると、第１操作ノブ
と第２操作ノブとの係合が解除されるから、第２操作ノ
ブ（シャフト）はスライドすることなく、第１操作ノブ
（スリーブ）のみが他方向へスライドされる。すると、
防眩光学部品が光路上から退避されるから、光路上には
いずれの光学部品も位置しない状態、つまり、明視野観
察に切り換えられる。次に、第２操作ノブ（シャフト）
を他方向へスライド操作すると、暗視野観察用光学部品
が光路上に位置、つまり、暗視野観察に切り換えられ
る。従って、同軸上に位置する第１操作ノブおよび第２
操作ノブをスライド操作するだけで、明視野観察から暗
視野観察に切り換えることができ、その際も、一旦、防
眩光学部品が光路上に位置するから観察者の目を眩ます
ことなく切り換え操作できる。
用光学部品が光路上に位置している状態において、第１
操作ノブ（スリーブ）を一方向（たとえば、引出方向）
へスライド操作すると、第１操作ノブに第２操作ノブが
係合するから、第２操作ノブ（シャフト）も一緒に一方
向へスライドされる。すると、暗視野観察用光学部品が
光路上から退避され、防眩光学部品が光路上に位置され
る。続いて、第１操作ノブ（スリーブ）を他方向（たと
えば、押込方向）へスライド操作すると、第１操作ノブ
と第２操作ノブとの係合が解除されるから、第２操作ノ
ブ（シャフト）はスライドすることなく、第１操作ノブ
（スリーブ）のみが他方向へスライドされる。すると、
防眩光学部品が光路上から退避されるから、光路上には
いずれの光学部品も位置しない状態、つまり、明視野観
察に切り換えられる。次に、第２操作ノブ（シャフト）
を他方向へスライド操作すると、暗視野観察用光学部品
が光路上に位置、つまり、暗視野観察に切り換えられ
る。従って、同軸上に位置する第１操作ノブおよび第２
操作ノブをスライド操作するだけで、明視野観察から暗
視野観察に切り換えることができ、その際も、一旦、防
眩光学部品が光路上に位置するから観察者の目を眩ます
ことなく切り換え操作できる。
【００１４】本発明において、前記第１操作ノブは、外
端面に凹部を備え、前記第２操作ノブは、前記凹部内に
略収納される大きさの鍔部を備えていることが望まし
い。この構成によれば、第１操作ノブと第２操作ノブと
の係合および解除を、第１操作ノブの外端面に設けられ
た凹部と、第２操作ノブに設けられた鍔部とから構成し
たので、極めて簡単かつ安価な構造で上記係合および解
除を実現できる。
端面に凹部を備え、前記第２操作ノブは、前記凹部内に
略収納される大きさの鍔部を備えていることが望まし
い。この構成によれば、第１操作ノブと第２操作ノブと
の係合および解除を、第１操作ノブの外端面に設けられ
た凹部と、第２操作ノブに設けられた鍔部とから構成し
たので、極めて簡単かつ安価な構造で上記係合および解
除を実現できる。
【００１５】本発明において、前記第２のスライダに
は、前記暗視野観察用光学部品が前記光路から退避した
ときに前記光路上に位置する明視野観察用光学部品が取
り付けられていることが望ましい。ここにおいて、明視
野観察用光学部品とは、明視野用集光レンズや明視野用
フィルタなどを指す。この構成によれば、第２のスライ
ダには明視野観察用光学部品が取り付けられているか
ら、これを光路上に位置させることによって、その明視
野観察用光学部品を介して明視野観察を行うことができ
る。
は、前記暗視野観察用光学部品が前記光路から退避した
ときに前記光路上に位置する明視野観察用光学部品が取
り付けられていることが望ましい。ここにおいて、明視
野観察用光学部品とは、明視野用集光レンズや明視野用
フィルタなどを指す。この構成によれば、第２のスライ
ダには明視野観察用光学部品が取り付けられているか
ら、これを光路上に位置させることによって、その明視
野観察用光学部品を介して明視野観察を行うことができ
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は本実施形態の明暗視野切換
装置を備えた顕微鏡の斜視図である。同顕微鏡は、ベー
ス部１と、そのベース部１の後部からベース部１の上方
に伸びるコラム部２とを備えている。ベース部１の上に
は、被測定物を載置するステージ３が左右、前後および
上下方向へ移動可能に設けられている。コラム部２に
は、被測定物に対して光を照射する照明光学系１０、被
測定物からの光を観察する観察光学系２０および明暗視
野切換装置３０がそれぞれ設けられている。
に基づいて説明する。図１は本実施形態の明暗視野切換
装置を備えた顕微鏡の斜視図である。同顕微鏡は、ベー
ス部１と、そのベース部１の後部からベース部１の上方
に伸びるコラム部２とを備えている。ベース部１の上に
は、被測定物を載置するステージ３が左右、前後および
上下方向へ移動可能に設けられている。コラム部２に
は、被測定物に対して光を照射する照明光学系１０、被
測定物からの光を観察する観察光学系２０および明暗視
野切換装置３０がそれぞれ設けられている。
【００１７】前記照明光学系１０は、図２に示すよう
に、光源装置１１と、レボルバ（図１参照）に取り付け
られる対物レンズ１２と、前記光源装置１１からの光を
反射させ対物レンズ１２を通して被測定物に照射すると
ともに被測定物からの反射光を透過するビームスプリッ
タ１３とを備える。
に、光源装置１１と、レボルバ（図１参照）に取り付け
られる対物レンズ１２と、前記光源装置１１からの光を
反射させ対物レンズ１２を通して被測定物に照射すると
ともに被測定物からの反射光を透過するビームスプリッ
タ１３とを備える。
【００１８】前記観察光学系２０は、図２に示すよう
に、前記ビームスプリッタ１３および対物レンズ１２の
光軸上に配置されたチューブレンズ２１および光路切換
ミラー２２と、この光路切換ミラー２２の反射光路上に
配置されたフィールドレンズ２３およびリレー用ミラー
２４と、このリレー用ミラー２４の反射光路上に配置さ
れたリレーレンズ２５およびプリズム２６と、このプリ
ズム２６で分離された各光を観察する観察用光学部品２
７，２８とを備える。
に、前記ビームスプリッタ１３および対物レンズ１２の
光軸上に配置されたチューブレンズ２１および光路切換
ミラー２２と、この光路切換ミラー２２の反射光路上に
配置されたフィールドレンズ２３およびリレー用ミラー
２４と、このリレー用ミラー２４の反射光路上に配置さ
れたリレーレンズ２５およびプリズム２６と、このプリ
ズム２６で分離された各光を観察する観察用光学部品２
７，２８とを備える。
【００１９】前記明暗視野切換装置３０は、図３および
図４に示すように、防眩光学部品としての防眩フィルタ
３１および暗視野観察用光学部品としての暗視野用集光
レンズ３２と、防眩フィルタ３１および暗視野用集光レ
ンズ３２を前記照明光学系１０の光路Ｌ（光源装置１１
からビームスプリッタ１３へ向かう光路）に移動可能か
つ光路Ｌから退避可能に保持するガイド機構４０と、前
記防眩フィルタ３１および暗視野用集光レンズ３２を前
記光路Ｌに移動させかつ光路Ｌから退避させるととも
に、前記暗視野用集光レンズ３２を前記光路Ｌ上から退
避させるときのみ防眩フィルタ３１を一緒に移動させて
光路Ｌ上に位置させる切換機構６０とを備えている。
図４に示すように、防眩光学部品としての防眩フィルタ
３１および暗視野観察用光学部品としての暗視野用集光
レンズ３２と、防眩フィルタ３１および暗視野用集光レ
ンズ３２を前記照明光学系１０の光路Ｌ（光源装置１１
からビームスプリッタ１３へ向かう光路）に移動可能か
つ光路Ｌから退避可能に保持するガイド機構４０と、前
記防眩フィルタ３１および暗視野用集光レンズ３２を前
記光路Ｌに移動させかつ光路Ｌから退避させるととも
に、前記暗視野用集光レンズ３２を前記光路Ｌ上から退
避させるときのみ防眩フィルタ３１を一緒に移動させて
光路Ｌ上に位置させる切換機構６０とを備えている。
【００２０】前記ガイド機構４０は、顕微鏡本体として
のコラム部２に前記防眩フィルタ３１および暗視野用集
光レンズ３２の移動および退避方向と平行に設けられた
ガイド部材４１，４２と、このガイド部材４１，４２に
沿って移動可能に設けられそれぞれ前記防眩フィルタ３
１および暗視野用集光レンズ３２を有する第１および第
２のスライダ４３，４４と、前記防眩フィルタ３１およ
び暗視野用集光レンズ３２が前記光路Ｌ上に移動した位
置および光路Ｌから退避した位置に前記各スライダ４
３，４４を位置決めする位置決め機構５０Ａ，５０Ｂと
を備えている。
のコラム部２に前記防眩フィルタ３１および暗視野用集
光レンズ３２の移動および退避方向と平行に設けられた
ガイド部材４１，４２と、このガイド部材４１，４２に
沿って移動可能に設けられそれぞれ前記防眩フィルタ３
１および暗視野用集光レンズ３２を有する第１および第
２のスライダ４３，４４と、前記防眩フィルタ３１およ
び暗視野用集光レンズ３２が前記光路Ｌ上に移動した位
置および光路Ｌから退避した位置に前記各スライダ４
３，４４を位置決めする位置決め機構５０Ａ，５０Ｂと
を備えている。
【００２１】位置決め機構５０Ａ，５０Ｂは、各スライ
ダ４３，４４にその移動方向に間隔を隔てて設けられた
一対のＶ溝５１と、前記コラム部２側に取付プレート５
２を介して設けられた保持ブロック５３と、この保持ブ
ロック５３に保持され前記Ｖ溝５１に対して係脱するコ
ロ５４と、このコロ５４を前記スライダ４３，４４に向
かって付勢する板ばね５４とから構成されている。
ダ４３，４４にその移動方向に間隔を隔てて設けられた
一対のＶ溝５１と、前記コラム部２側に取付プレート５
２を介して設けられた保持ブロック５３と、この保持ブ
ロック５３に保持され前記Ｖ溝５１に対して係脱するコ
ロ５４と、このコロ５４を前記スライダ４３，４４に向
かって付勢する板ばね５４とから構成されている。
【００２２】前記切換機構６０は、顕微鏡本体としての
コラム部２に前記防眩フィルタ３１および暗視野用集光
レンズ３２の移動および退避方向と平行にかつ軸方向へ
スライド可能に設けられ外端部に第１操作ノブ６１を有
するスリーブ６３と、このスリーブ６３内にスライド可
能に設けられ外端部に第２操作ノブ６２を有するシャフ
ト６４と、前記スリーブ６３を前記第１のスライダ４３
に連結する第１連結部材６５と、前記シャフト６４を前
記第２のスライダ４４に連結する第２連結部材６６とを
備えている。
コラム部２に前記防眩フィルタ３１および暗視野用集光
レンズ３２の移動および退避方向と平行にかつ軸方向へ
スライド可能に設けられ外端部に第１操作ノブ６１を有
するスリーブ６３と、このスリーブ６３内にスライド可
能に設けられ外端部に第２操作ノブ６２を有するシャフ
ト６４と、前記スリーブ６３を前記第１のスライダ４３
に連結する第１連結部材６５と、前記シャフト６４を前
記第２のスライダ４４に連結する第２連結部材６６とを
備えている。
【００２３】前記第２操作ノブ６２は、前記第１操作ノ
ブ６１内に収納可能で、かつ、第１操作ノブ６１を一方
向（引出方向）へスライド操作したときに第１操作ノブ
６１と係合して一緒にスライドするとともに、第１操作
ノブ６１を他方向（押込方向）へスライド操作したとき
に第１操作ノブ６１との係合が解除されるように構成さ
れている。具体的には、第１操作ノブ６１の外端面には
円盤状の凹部６１Ａが形成されているとともに、第２操
作ノブ６２は、凹部６１Ａ内に略収納される大きさの円
盤状の鍔部６２Ａを備えている。
ブ６１内に収納可能で、かつ、第１操作ノブ６１を一方
向（引出方向）へスライド操作したときに第１操作ノブ
６１と係合して一緒にスライドするとともに、第１操作
ノブ６１を他方向（押込方向）へスライド操作したとき
に第１操作ノブ６１との係合が解除されるように構成さ
れている。具体的には、第１操作ノブ６１の外端面には
円盤状の凹部６１Ａが形成されているとともに、第２操
作ノブ６２は、凹部６１Ａ内に略収納される大きさの円
盤状の鍔部６２Ａを備えている。
【００２４】次に、本実施形態の作用を説明する。い
ま、暗視野用集光レンズ３２が光路Ｌ上に位置している
状態、つまり、図３および図４の状態において、第１操
作ノブ６１を一方向（引出方向）へスライド操作する
と、第１操作ノブ６１の凹部６１Ａに第２操作ノブ６２
の鍔部６２Ａが係合しているから、第２操作ノブ６２
（シャフト６４）も一緒に一方向へスライドされる。す
ると、図５に示すように、暗視野用集光レンズ３２が光
路Ｌ上から退避され、防眩フィルタ３１が光路Ｌ上に位
置される。
ま、暗視野用集光レンズ３２が光路Ｌ上に位置している
状態、つまり、図３および図４の状態において、第１操
作ノブ６１を一方向（引出方向）へスライド操作する
と、第１操作ノブ６１の凹部６１Ａに第２操作ノブ６２
の鍔部６２Ａが係合しているから、第２操作ノブ６２
（シャフト６４）も一緒に一方向へスライドされる。す
ると、図５に示すように、暗視野用集光レンズ３２が光
路Ｌ上から退避され、防眩フィルタ３１が光路Ｌ上に位
置される。
【００２５】続いて、第１操作ノブ６１を他方向（押込
方向）へスライド操作すると、第１操作ノブ６１と第２
操作ノブ６２との係合が解除されるから、第２操作ノブ
６２（シャフト６４）はスライドすることなく、第１操
作ノブ６１（スリーブ６３）のみが他方向へスライドさ
れる。すると、図６に示すように、防眩フィルタ３１が
光路Ｌ上から退避されるから、光路Ｌ上にはいずれの光
学部品も位置しない状態、つまり、明視野観察に切り換
えられる。
方向）へスライド操作すると、第１操作ノブ６１と第２
操作ノブ６２との係合が解除されるから、第２操作ノブ
６２（シャフト６４）はスライドすることなく、第１操
作ノブ６１（スリーブ６３）のみが他方向へスライドさ
れる。すると、図６に示すように、防眩フィルタ３１が
光路Ｌ上から退避されるから、光路Ｌ上にはいずれの光
学部品も位置しない状態、つまり、明視野観察に切り換
えられる。
【００２６】次に、第２操作ノブ６２（シャフト６４）
を他方向（押込方向）へスライド操作すると、暗視野用
集光レンズ３２が光路Ｌ上に位置、つまり、暗視野観察
に切り換えられる。これにより、図３および図４に示す
基の状態に復帰される。このようにして、光路Ｌ上に対
して、暗視野用集光レンズ３２、防眩フィルタ３１、何
もレンズやフィルタがない状態にそれぞれ切り換えるこ
とで、暗視野観察から明視野観察、または、その逆の観
察に切り換えることができる。
を他方向（押込方向）へスライド操作すると、暗視野用
集光レンズ３２が光路Ｌ上に位置、つまり、暗視野観察
に切り換えられる。これにより、図３および図４に示す
基の状態に復帰される。このようにして、光路Ｌ上に対
して、暗視野用集光レンズ３２、防眩フィルタ３１、何
もレンズやフィルタがない状態にそれぞれ切り換えるこ
とで、暗視野観察から明視野観察、または、その逆の観
察に切り換えることができる。
【００２７】従って、本実施形態の明暗視野切換装置に
よれば、照明光学系１０の光路Ｌを挟んで両側に、ガイ
ド機構４０を介して、防眩フィルタ３１および暗視野用
集光レンズ３２が光路Ｌに移動可能かつ光路Ｌから退避
可能に配置され、これらの移動および退避を切換機構６
０によって行うようにしたので、従来の３種のフィルタ
を直線状に配置したスライドユニットの構造の比べ、移
動量が少なくて済むから、装置自体を大型化しなくても
フィルタ（あるいはレンズ）が顕微鏡本体の外部へ出る
ことがない。よって、装置の小型化を維持できる。
よれば、照明光学系１０の光路Ｌを挟んで両側に、ガイ
ド機構４０を介して、防眩フィルタ３１および暗視野用
集光レンズ３２が光路Ｌに移動可能かつ光路Ｌから退避
可能に配置され、これらの移動および退避を切換機構６
０によって行うようにしたので、従来の３種のフィルタ
を直線状に配置したスライドユニットの構造の比べ、移
動量が少なくて済むから、装置自体を大型化しなくても
フィルタ（あるいはレンズ）が顕微鏡本体の外部へ出る
ことがない。よって、装置の小型化を維持できる。
【００２８】また、切換機構６０は、防眩フィルタ３１
および暗視野用集光レンズ３２を光路Ｌに移動させかつ
光路Ｌから退避させるとともに、暗視野用集光レンズ３
２を光路Ｌ上から退避させるときのみ防眩フィルタ３１
を一緒に移動させて光路Ｌ上に位置させる構造であるか
ら、暗視野観察から明視野観察へ切り換える際にも、一
旦、防眩フィルタ３１が光路Ｌ上に位置するから、観察
者の目を眩ますことがない。よって、観察者は、暗視野
観察から明視野観察へ切り換える際にも、接眼レンズか
ら目を離さなくてもよいから、操作性を損なうこともな
く、明視野照明から暗視野照明の状態に切り換えること
ができる。
および暗視野用集光レンズ３２を光路Ｌに移動させかつ
光路Ｌから退避させるとともに、暗視野用集光レンズ３
２を光路Ｌ上から退避させるときのみ防眩フィルタ３１
を一緒に移動させて光路Ｌ上に位置させる構造であるか
ら、暗視野観察から明視野観察へ切り換える際にも、一
旦、防眩フィルタ３１が光路Ｌ上に位置するから、観察
者の目を眩ますことがない。よって、観察者は、暗視野
観察から明視野観察へ切り換える際にも、接眼レンズか
ら目を離さなくてもよいから、操作性を損なうこともな
く、明視野照明から暗視野照明の状態に切り換えること
ができる。
【００２９】具体的には、切換機構６０は、防眩フィル
タ３１および暗視野用集光レンズ３２の移動および退避
方向と平行にかつ軸方向へスライド可能に設けられ第１
操作ノブ６１を有するスリーブ６３と、このスリーブ６
３内にスライド可能に設けられ第２操作ノブ６２を有す
るシャフト６４と、スリーブ６３を第１のスライダ４３
に連結する第１連結部材６５と、シャフト６４を第２の
スライダ４４に連結する第２連結部材６６とを備え、第
２操作ノブ６２が第１操作ノブ６１内に収納可能で、か
つ、第１操作ノブ６１を一方向へスライド操作したとき
に第２操作ノブ６２が係合して一緒にスライドするとと
もに、第１操作ノブ６１を他方向へスライド操作したと
きに第１操作ノブ６１と第２操作ノブ６２との係合が解
除されるように構成されているから、同軸上に位置する
第１操作ノブ６１および第２操作ノブ６２をスライド操
作するだけで、明視野観察から暗視野観察に切り換える
ことができ、その際も、一旦、防眩フィルタ３１が光路
Ｌ上に位置するから観察者の目を眩ますことなく切り換
え操作できる。
タ３１および暗視野用集光レンズ３２の移動および退避
方向と平行にかつ軸方向へスライド可能に設けられ第１
操作ノブ６１を有するスリーブ６３と、このスリーブ６
３内にスライド可能に設けられ第２操作ノブ６２を有す
るシャフト６４と、スリーブ６３を第１のスライダ４３
に連結する第１連結部材６５と、シャフト６４を第２の
スライダ４４に連結する第２連結部材６６とを備え、第
２操作ノブ６２が第１操作ノブ６１内に収納可能で、か
つ、第１操作ノブ６１を一方向へスライド操作したとき
に第２操作ノブ６２が係合して一緒にスライドするとと
もに、第１操作ノブ６１を他方向へスライド操作したと
きに第１操作ノブ６１と第２操作ノブ６２との係合が解
除されるように構成されているから、同軸上に位置する
第１操作ノブ６１および第２操作ノブ６２をスライド操
作するだけで、明視野観察から暗視野観察に切り換える
ことができ、その際も、一旦、防眩フィルタ３１が光路
Ｌ上に位置するから観察者の目を眩ますことなく切り換
え操作できる。
【００３０】とくに、第１操作ノブ６１と第２操作ノブ
６２との係合および解除を、第１操作ノブ６１の外端面
に設けられた凹部６１Ａと、第２操作ノブ６２に設けら
れた鍔部６２Ａとから構成したので、極めて簡単かつ安
価な構造で上記係合および解除を実現できる。しかも、
このような構造であれば、暗視野観察の状態、つまり、
第操作ノブ６１および第２操作ノブ６２が共に押し込ま
れた状態においては、第２操作ノブ６２の鍔部６２Ａが
第１操作ノブ６１の凹部６１Ａ内に入って、そこから引
き出せないから、不用意に暗視野観察から防眩フィルタ
３１が介在することなく明視野観察に切り換えられると
いう不安感を与える虞もない。
６２との係合および解除を、第１操作ノブ６１の外端面
に設けられた凹部６１Ａと、第２操作ノブ６２に設けら
れた鍔部６２Ａとから構成したので、極めて簡単かつ安
価な構造で上記係合および解除を実現できる。しかも、
このような構造であれば、暗視野観察の状態、つまり、
第操作ノブ６１および第２操作ノブ６２が共に押し込ま
れた状態においては、第２操作ノブ６２の鍔部６２Ａが
第１操作ノブ６１の凹部６１Ａ内に入って、そこから引
き出せないから、不用意に暗視野観察から防眩フィルタ
３１が介在することなく明視野観察に切り換えられると
いう不安感を与える虞もない。
【００３１】また、防眩フィルタ３１および暗視野用集
光レンズ３２は、ガイド部材４１，４２を介してこれら
光学部品３１，３２の移動および退避方向と平行な方向
へ移動可能に設けられた第１および第２のスライダ４
３，４４に保持されているから、移動および退避動作を
スムーズに行うことができる。しかも、防眩フィルタ３
１および暗視野用集光レンズ３２が光路Ｌ上に移動した
位置および光路Ｌから退避した位置に、各スライダ４
３，４４を位置決めする位置決め機構５０Ａ，５０Ｂを
備えているから、防眩フィルタ３１および暗視野用集光
レンズ３２を光路Ｌ上に正確に位置決めすることができ
る。
光レンズ３２は、ガイド部材４１，４２を介してこれら
光学部品３１，３２の移動および退避方向と平行な方向
へ移動可能に設けられた第１および第２のスライダ４
３，４４に保持されているから、移動および退避動作を
スムーズに行うことができる。しかも、防眩フィルタ３
１および暗視野用集光レンズ３２が光路Ｌ上に移動した
位置および光路Ｌから退避した位置に、各スライダ４
３，４４を位置決めする位置決め機構５０Ａ，５０Ｂを
備えているから、防眩フィルタ３１および暗視野用集光
レンズ３２を光路Ｌ上に正確に位置決めすることができ
る。
【００３２】なお、上記実施形態では、第１のスライダ
４３に防眩フィルタ３１を、第２のスライダ４４に暗視
野用集光レンズ３２を取り付けたが、これに限られな
い。たとえば、第２のスライダ４４に、暗視野用集光レ
ンズ３２が光路Ｌから退避したときに光路Ｌ上に位置す
る明視野観察用光学部品３３（たとえば、明視野用集光
レンズや明視野用フィルタなど）を取り付けるようにし
てもよい。このようにすれば、第２のスライダ４４のス
ライドによって、明視野観察用光学部品３３を光路Ｌ上
に位置させることによって、その明視野観察用光学部品
３３を介して明視野観察を行うことができる。
４３に防眩フィルタ３１を、第２のスライダ４４に暗視
野用集光レンズ３２を取り付けたが、これに限られな
い。たとえば、第２のスライダ４４に、暗視野用集光レ
ンズ３２が光路Ｌから退避したときに光路Ｌ上に位置す
る明視野観察用光学部品３３（たとえば、明視野用集光
レンズや明視野用フィルタなど）を取り付けるようにし
てもよい。このようにすれば、第２のスライダ４４のス
ライドによって、明視野観察用光学部品３３を光路Ｌ上
に位置させることによって、その明視野観察用光学部品
３３を介して明視野観察を行うことができる。
【００３３】また、上記実施形態では、第１操作ノブ６
１の外端面に凹部６１Ａを設け、この凹部６１Ａ内に第
２操作ノブ６２の鍔部６２Ａが入り込んで、第２操作ノ
ブ６２を第１操作ノブ６１から引き出せない構造とした
が、これに限られない。たとえば、第１操作ノブ６１と
第２操作ノブ６２との間にばねを掛け、第２操作ノブ６
２が第１操作ノブ６１から引き出されたときにばねによ
って第１操作ノブ６１も一緒に追従してスライドするよ
うに構成すれば、同様な効果が期待できる。
１の外端面に凹部６１Ａを設け、この凹部６１Ａ内に第
２操作ノブ６２の鍔部６２Ａが入り込んで、第２操作ノ
ブ６２を第１操作ノブ６１から引き出せない構造とした
が、これに限られない。たとえば、第１操作ノブ６１と
第２操作ノブ６２との間にばねを掛け、第２操作ノブ６
２が第１操作ノブ６１から引き出されたときにばねによ
って第１操作ノブ６１も一緒に追従してスライドするよ
うに構成すれば、同様な効果が期待できる。
【００３４】また、シャフト６４にスプリングを掛け、
シャフト６４が常に本体内に押し込まれる方向へ付勢し
ておけば、図６の状態に切り換えた状態において、第２
操作ノブ６２の押し込んで暗視野観察に切り換える際、
第２操作ノブ６２に軽く指を触れるだけで切り換えるこ
とができる。
シャフト６４が常に本体内に押し込まれる方向へ付勢し
ておけば、図６の状態に切り換えた状態において、第２
操作ノブ６２の押し込んで暗視野観察に切り換える際、
第２操作ノブ６２に軽く指を触れるだけで切り換えるこ
とができる。
【００３５】また、上記実施形態において、防眩フィル
タ３１および暗視野用集光レンズ３２と、防眩フィルタ
３１および暗視野用集光レンズ３２を光路Ｌに移動可能
かつ光路Ｌから退避可能に保持するガイド機構４０と、
防眩フィルタ３１および暗視野用集光レンズ３２を光路
Ｌに移動させかつ光路Ｌから退避させるとともに、前記
暗視野用集光レンズ３２を前記光路Ｌ上から退避させる
ときのみ防眩フィルタ３１を一緒に移動させて光路Ｌ上
に位置させる切換機構６０とを一体的に構成してユニッ
ト化しておけば、既存の顕微鏡に後付けすることもでき
る。
タ３１および暗視野用集光レンズ３２と、防眩フィルタ
３１および暗視野用集光レンズ３２を光路Ｌに移動可能
かつ光路Ｌから退避可能に保持するガイド機構４０と、
防眩フィルタ３１および暗視野用集光レンズ３２を光路
Ｌに移動させかつ光路Ｌから退避させるとともに、前記
暗視野用集光レンズ３２を前記光路Ｌ上から退避させる
ときのみ防眩フィルタ３１を一緒に移動させて光路Ｌ上
に位置させる切換機構６０とを一体的に構成してユニッ
ト化しておけば、既存の顕微鏡に後付けすることもでき
る。
【００３６】
【発明の効果】本発明の顕微鏡の明暗視野切換装置によ
れば、小型化を維持し、かつ、操作性を損なうことな
く、明視野照明、暗視野照明および防眩照明の３種の状
態に切り換えることができる。
れば、小型化を維持し、かつ、操作性を損なうことな
く、明視野照明、暗視野照明および防眩照明の３種の状
態に切り換えることができる。
【図１】本発明の明暗視野切換装置を適用した顕微鏡の
一実施形態を示す斜視図である。
一実施形態を示す斜視図である。
【図２】同上実施形態の光学部品の配置を示す図であ
る。
る。
【図３】同上実施形態の明暗視野切換装置（暗視野観察
状態）を示す正面図である。
状態）を示す正面図である。
【図４】同上実施形態の明暗視野切換装置（暗視野観察
状態）を示す平面図である。
状態）を示す平面図である。
【図５】同上実施形態において、防眩フィルタが光路上
に位置している状態を示す平面図である。
に位置している状態を示す平面図である。
【図６】同上実施形態の明暗視野切換装置（明視野観察
状態）を示す平面図である。
状態）を示す平面図である。
【図７】従来の明暗視野切換ユニットを示す斜視図であ
る。
る。
２ コラム部（顕微鏡本体）
１０ 照明光学系
３０ 明暗視野切換装置
３１ 防眩フィルタ（防眩光学部品）
３２ 暗視野用集光レンズ（暗視野観察用光学部品）
３３ 明視野観察用光学部品
４０ ガイド機構
４３ 第１のスライダ
４４ 第２のスライダ
５０Ａ，５０Ｂ 位置決め機構
６０ 切換機構
６１ 第１操作ノブ
６１Ａ 凹部
６２ 第２操作ノブ
６２Ａ 鍔部
６３ スリーブ
６４ シャフト
６５ 第１連結部材
６６ 第２連結部材
Ｌ 光路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭58−18613（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 21/10
Claims (3)
- 【請求項１】 照明光学系の光路上に配置された顕微鏡
の明暗視野切換装置であって、防 眩光学部品および暗視野観察用光学部品と、 前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を前記光
路に移動可能かつ光路から退避可能に保持するガイド機
構と、 前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部品を前記光
路に移動させかつ光路から退避させるとともに、前記暗
視野観察用光学部品を前記光路上から退避させるときの
み防眩光学部品を一緒に移動させて光路上に位置させる
切換機構とを備え、 前記ガイド機構は、顕微鏡本体に前記防眩光学部品およ
び暗視野観察用光学部品の移動および退避方向と平行な
方向へ移動可能に設けられそれぞれ前記防眩光学部品お
よび暗視野観察用光学部品を有する第１および第２のス
ライダと、前記防眩光学部品および暗視野観察用光学部
品が前記光路上に移動した位置および光路から退避した
位置に前記各スライダを位置決めする位置決め機構とを
備え、 前記切換機構は、顕微鏡本体に前記防眩光学部品および
暗視野観察光学部品の移動および退避方向と平行にかつ
軸方向へスライド可能に設けられ外端部に第１操作ノブ
を有するスリーブと、このスリーブ内にスライド可能に
設けられ外端部に第２操作ノブを有するシャフトと、前
記スリーブを前記第１のスライダに連結する第１連結部
材と、前記シャフトを前記第２のスライダに連結する第
２連結部材とを備え、 前記第２操作ノブが前記第１操作ノブ内に収納可能で、
かつ、第１操作ノブを一方向へスライド操作したときに
第２操作ノブが係合して一緒にスライドするとともに、
第１操作ノブを他方向へスライド操作したときに第１操
作ノブと第２操作ノブとの係合が解除されるように構成
されている ことを特徴とする顕微鏡の明暗視野切換装
置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の顕微鏡の明暗視野切換
装置において、 前記第１操作ノブは、外端面に凹部を備え、 前記第２操作ノブは、前記凹部内に略収納される大きさ
の鍔部を備えていることを特徴とする顕微鏡の明暗視野
切換装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の顕微鏡
の明暗視野切換装置において、 前記第２のスライダには、前記暗視野観察用光学部品が
前記光路から退避したときに前記光路上に位置する明視
野観察用光学部品が取り付けられていることを特徴とす
る顕微鏡の明暗視野切換装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33410999A JP3369136B2 (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 顕微鏡の明暗視野切換装置 |
| US09/708,626 US6373626B1 (en) | 1999-11-25 | 2000-11-09 | Bright and dark field switching device and microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33410999A JP3369136B2 (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 顕微鏡の明暗視野切換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001154102A JP2001154102A (ja) | 2001-06-08 |
| JP3369136B2 true JP3369136B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=18273635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33410999A Expired - Fee Related JP3369136B2 (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 顕微鏡の明暗視野切換装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6373626B1 (ja) |
| JP (1) | JP3369136B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10101711A1 (de) * | 2000-01-26 | 2001-08-02 | Leica Microsystems | Vorrichtung zum Positionieren eines optischen Bauteils in einem Strahlengang |
| DE10148782A1 (de) * | 2001-09-28 | 2003-04-24 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Optisches Modulationselement |
| US6804050B2 (en) * | 2002-12-23 | 2004-10-12 | Leica Microsystems Inc. | Multiple phase contrast annulus slider |
| US20070153372A1 (en) * | 2006-01-03 | 2007-07-05 | Physical Sciences, Inc. | Fluorescence illumination method and apparatus for stereomicroscopes |
| US9999350B2 (en) | 2014-09-25 | 2018-06-19 | Novartis Ag | Reduced glare surgical microscope and associated devices, systems, and methods |
| CN114609148B (zh) * | 2022-05-11 | 2022-07-19 | 昂坤视觉(北京)科技有限公司 | 一种晶圆检测设备 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4407569A (en) * | 1981-07-07 | 1983-10-04 | Carl Zeiss-Stiftung | Device for selectively available phase-contrast and relief observation in microscopes |
| US4487486A (en) | 1981-07-28 | 1984-12-11 | Olympus Optical Co., Ltd. | Vertical illuminator for microscope |
| DE3442218A1 (de) * | 1984-11-19 | 1986-05-28 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Auflichtbeleuchtungsapparat fuer mikroskope |
| DE3610692A1 (de) * | 1986-03-29 | 1987-10-01 | Leitz Ernst Gmbh | Modulare einrichtung |
| JP3861363B2 (ja) * | 1996-11-12 | 2006-12-20 | 株式会社ニコン | 光学素子切換機構 |
| US6226118B1 (en) * | 1997-06-18 | 2001-05-01 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical microscope |
-
1999
- 1999-11-25 JP JP33410999A patent/JP3369136B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-11-09 US US09/708,626 patent/US6373626B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001154102A (ja) | 2001-06-08 |
| US6373626B1 (en) | 2002-04-16 |
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