JP3211769B2 - インク噴射装置 - Google Patents
インク噴射装置Info
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- JP3211769B2 JP3211769B2 JP10264298A JP10264298A JP3211769B2 JP 3211769 B2 JP3211769 B2 JP 3211769B2 JP 10264298 A JP10264298 A JP 10264298A JP 10264298 A JP10264298 A JP 10264298A JP 3211769 B2 JP3211769 B2 JP 3211769B2
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
るものである。
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が上げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。
53−12138号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭61−59914号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。
方式として提案されたのが、特開昭63−247051
号公報に開示されているせん断モード型である。
インク噴射装置600は、底壁601、天壁602及び
その間のせん断モードアクチュエータ壁603からな
る。そのアクチュエータ壁603は、底壁601に接着
され、且つ矢印611方向に分極された下部壁607
と、天壁602に接着され、且つ矢印609方向に分極
された上部壁605とからなっている。アクチュエータ
壁603は一対となってその間にインク流路613を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁603の間に
は、インク流路613よりも狭い空間615を形成して
いる。
18を有するノズルプレート617が固着され、各アク
チュエータ壁603の両側面には電極619、621が
金属化層として設けられている。各電極619、621
はインクと絶縁するための絶縁層(図示せず)で覆われ
ている。そして、空間615に面している電極619、
621はアース623に接続され、インク流路613内
に設けられている電極619、621は、アクチュエー
タ駆動回路を与えるシリコン・チップ625に接続され
ている。
法を説明する。まず、矢印611に分極された圧電セラ
ミックス層を底壁601に接着し、矢印609に分極さ
れた圧電セラミックス層を天壁602に接着する。各圧
電セラミックス層の厚みは、下部壁607、上部壁60
5の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層に、平行
な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転等によって
形成して、下部壁607、上部壁605を形成する。そ
して、真空蒸着によって下部壁607の側面に電極61
9を形成し、その電極619上に前記絶縁層を設ける。
同様にして上部壁605の側面に電極621、前記絶縁
層を設ける。
頂部とを接着してインク流路613と空間615とを形
成する。次に、ノズル618が穿孔されているノズルプ
レート617を、ノズル618がインク流路613と対
応するように、インク流路6」13及び空間615の一
端に接着し、インク流路613と空間615との他端を
シリコン・チップ625とアース623とに接続する。
9、621にシリコン・チップ625が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁603がインク流路
613の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路613
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路61
3内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル61
8から噴射される。
ク流路即ち噴射チャンネルへインクを供給するための構
成を簡単にしかつ確実にしたインク噴射装置を提供する
ことを目的とする。
に本発明の請求項1のインク噴射装置では、インクが噴
射される複数の噴射チャンネル、及び前記噴射チャンネ
ルの両側に設けられインクが噴射されない複数の非噴射
領域となる複数の溝を有するプレートと、その溝の長手
方向に沿った開放面を覆うカバープレートと、前記複数
の噴射チャンネルにインクを供給するマニホールド流路
を有するマニホールド部材とを有するインク噴射装置に
おいて、前記マニホールド部材を接合する前記プレート
の端面に、前記各噴射チャンネルの長手方向の一端部に
接続しかつそのプレートの端面に開口したスリットを形
成するとともに、前記各非噴射領域の長手方向の一端部
に対応する位置にはスリットを形成せず、前記マニホー
ルド部材内のマニホールド流路を、前記複数のスリット
を包囲する大きさに形成し、前記マニホールド流路を前
記複数のスリットに対向させた状態で、前記マニホール
ド部材を前記プレートに接合したことを特徴とする。
に記載のインク噴射装置において、前記複数の噴射チャ
ンネル及び複数の非噴射領域を前記プレートの端面に開
放して形成し、その複数の噴射チャンネル及び複数の非
噴射領域の開放面を覆って前記マニホールド部材を前記
プレートに接合したことを特徴とする。
噴射される複数の噴射チャンネルと、前記噴射チャンネ
ルの両側に設けられ、インクが噴射されない複数の非噴
射領域と、前記噴射チャンネルと前記非噴射領域とを隔
て、分極された圧電セラミックスで少なくとも一部が形
成された隔壁と、前記隔壁に形成され、電圧の印加によ
って前記圧電セラミックスに駆動電界を発生するための
電極と、前記複数の噴射チャンネルにインクを供給する
マニホールド部材とを有するインク噴射装置において、
前記マニホールド部材を接続する表面に、前記複数の噴
射チャンネルを前記マニホールド部材側に開口するとと
もに、前記複数の噴射チャンネル内の電極をその開口を
へて制御部に接続する金属電極を設け、前記複数の非噴
射領域を開口しないようにしたことを特徴とする。
は、マニホールド部材を接合するプレートの端面に、各
噴射チャンネルに接続したスリットを形成し、各非噴射
領域にはスリットを形成せず、マニホールド部材内のマ
ニホールド流路を、複数のスリットを包囲する大きさに
形成し、マニホールド流路を複数のスリットに対向させ
た状態で、マニホールド部材をプレートに接合したこと
で、マニホールド部材から供給したインクは、複数の噴
射チャンネルのみに供給され、複数の非噴射領域には供
給されない。
材を接続する表面に、噴射チャンネル内の電極を開口を
へて制御部に接続する金属電極を設け、隔壁の電極に電
圧を印加して駆動電界を発生することにより、隔壁の変
形によりインクを噴射する。
参照して説明する。
は、圧電セラミックスプレート102とカバープレート
110とノズルプレート14とマニホールド部材101
から構成されている。
チタン酸ジルコン酸鉛系(PZT)のセラミックス材料
で形成され、圧電セラミックスプレート102には、ダ
イヤモンドブレード等により切削加工され、複数の溝1
03が形成されている。また、その溝103の側面とな
る隔壁106は矢印105の方向に分極されている。そ
れらの溝103は同じ深さであり、かつ平行であり、圧
電セラミックスプレート102の対向する端面102
a、102bに開口して加工されている。そして、溝1
03の内面には、その両側面の上半分に金属電極8がス
パッタリング等によって形成されている。
で形成されており、対向する端面110a、110bに
は、スリット111a、111bが形成されている。ス
リット111a、111bのピッチは、溝103のピッ
チの2倍であり、スリット111aとスリット111b
とは、ハーフピッチずれて配置されている。尚、スリッ
ト111aは、両外側の溝103に対応するように設け
られている。また、カバープレート110の表面110
cには、パターン124、125が形成されている。
の溝103加工側の面と、カバープレート110の表面
110c反対側の面とをエポキシ系接着剤120(図
3)によって接着する。従って、インク噴射装置100
には、溝103の上面が覆われて、スリット111bと
連通する噴射チャンネルとしてのインク室104及びス
リット111aと連通する非噴射領域としての空気室1
27が構成される。インク室104及び空気室127は
長方形断面の細長い形状であり、全てのインク室104
はインクが充填され、空気室127は空気が充填される
領域である。
スパッタリング等によって、金属電極109が、カバー
プレート110の表面110cにおいてスリット111
aの底面より端面110a側の領域及びスリット111
a内面の側面の一部に形成される。このとき、スリット
111aと連通する空気室127の金属電極8上にも金
属電極109が形成されて、スリット111aの側面に
形成された金属電極109と電気的に接続される。この
ため、空気室127の片側の隔壁106に形成された金
属電極8が、その隔壁106によって構成されるインク
室104を挟む他の空気室127における該インク室1
04を構成するもう一つの隔壁106に形成された金属
電極8と電気的に接続される。また、金属電極109は
パターン124に電気的に接続される。
ト110の表面110cにおいてスリット111bの底
面よりカバープレート110の中央側から端面110b
側の領域及びスリット111b内面の側面の全部に形成
される。このとき、スリット111bと連通するインク
室104の金属電極8上にも金属電極117が形成され
て、スリット111bの側面に形成された金属電極11
7と電気的に接続される。このため、全てのインク室1
04の金属電極8が金属電極117によって電気的に接
続される。また、金属電極117はパターン125に電
気的に接続される。尚、圧電セラミックスプレート10
2の端面102a、102b及びカバープレート110
の端面110a、110bに金属電極109、117が
形成されないようにマスクしておく。
02a及びカバープレート110のスリット111a側
の端面110aに、各インク室104の位置に対応した
位置にノズル12が設けられたノズルプレート14が接
着される。このノズルプレート14は、ポリアルキレン
(例えばエチレン)テレフタレート、ポリイミド、ポリ
エーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルス
ルホン、ポリカーボネイト、酢酸セルロース等のプラス
チックによって形成されている。
セラミックスプレート102の端面102b、カバープ
レート110のスリット111b側の端面110b及び
カバープレート110の表面110cにおけるスリット
111b側に接着される。マニホールド部材101には
マニホールド122が形成されており、そのマニホール
ド122はスリット111bを包囲している。
ン124、125が図示しないフレキシブルプリント基
板(図示せず)の配線パターンと接続される。そのフレ
キシブルプリント基板の配線パターンは、後述する制御
部に接続されたリジット基板(図示せず)に接続されて
いる。
って、制御部の構成を説明する。カバープレート110
に形成されたパターン124、125は、前記フレキシ
ブルプリント基板、前記リジット基板を介して各々個々
にLSIチップ151に接続され、クロックライン15
2、データライン153、電圧ライン154及びアース
ライン155もLSIチップ151に接続されている。
LSIチップ151は、クロックライン152から供給
された連続するクロックパルスに基づいて、データライ
ン153上に現れるデータから、どのノズル12からイ
ンク滴の噴射を行うべきかを判断し、噴射するインク室
104の両側の空気室127の金属電極8に導通するパ
ターン124に、電圧ライン154の電圧Vを印加す
る。また、他のパターン124及びインク室104の金
属電極8に導通するパターン125をアースライン15
5に接続する。
動作を説明する。図3(b)のインク室104bからイ
ンク滴を噴射するために、当該インク室104bの両側
の空気室127b、127cのインク室104b側の金
属電極8c、8fに対し電圧パルスをパターン124を
介して与え、他の金属電極8には、他のパターン12
4、パターン125を介して接地する。すると、隔壁1
06bには矢印113b方向の電界が発生し、隔壁10
6cには矢印113c方向の電界が発生して、隔壁10
6bと106cとが互いに離れるように動く。インク室
104bの容積が増えて、ノズル12付近を含むインク
室104b内の圧力が減少する。この状態をL/aで示
される時間だけ維持する。すると、その間スリット11
1bを介してマニホールド122からインクが供給され
る。なお、上記L/aは、インク室104内の圧力波
が、インク室104の長手方向(スリット111bから
ノズルプレート14まで、またはその逆)に対して、片
道伝播するに必要な時間であり、インク室104の長さ
Lとインク中での音速aによって決まる。
げからちょうどL/aの時間経つとインク室104b内
の圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミング
に合わせて電極8c、8fに印加されている電圧を0V
に戻す。すると、隔壁106bと106cは変形前の状
態(図3(a))に戻り、インクに圧力が加えられる。
その時、前記正に転じた圧力と隔壁106b、106c
が変形前の状態に戻って、発生した圧力とがたし合わさ
れ、比較的高い圧力がインク室104b内のインクに与
えられて、インク滴がノズル12から噴出される。
圧をインク室104bの容積が増加する方向に印加し、
次に駆動電圧の印加を停止しインク室104bの容積を
自然状態に減少してインク室104bからインク滴を噴
射していたが、まず駆動電圧をインク室104bの容積
が減少するように印加してインク室104bからインク
滴を噴射し、次に駆動電圧の印加を停止してインク室1
04bの容積を前記減少状態から自然状態へと増加させ
てインク室104b内にインクを供給してもよい。
置100では、インクを噴射するインク室104bに対
して両側の空気室127b、127cのインク室104
b側の金属電極8c、8fに対して電圧パルスをパター
ン124を介して与え、他の金属電極8には、他のパタ
ーン124、パターン125を介して接地して、インク
室104のノズル12からインク滴を噴射させているの
で、インクが充填されたインク室104の金属電極8に
は電圧が印加されないため、金属電極8の劣化がしにく
い。従って、従来のような、インクと金属電極8とを絶
縁するための前記絶縁層が必要がなく、そのための設
備、工程が必要なく、生産性を向上することができ、コ
ストを低減することができる。また、インクが充填され
たインク室104の金属電極8には電圧が印加されない
ので、金属電極8の耐食性がよい。このため、金属電極
8の耐久が長く、インク噴射装置100の寿命が長い。
ているので、隔壁106の変形がしやすく、電圧が低く
てよい。
0の端面110bにスリット111bが形成されている
ので、インク室104のみがスリット111bを介して
マニホールド122に連通し、空気室127がマニホー
ルド122に連通しない。このため、空気室127にイ
ンクが供給されることがなく、インク室104bからイ
ンク滴を噴射するための隔壁106b、106cの変形
が、他のインク室104a、104c等に影響を及ぼす
ことがない。さらに、他のインク室104a、104c
の両側の空気室127のインク室104a、104c側
の金属電極8及びパターン124は、上記インク室10
4bのための電極8c、8f及びパターン124とは独
立しているので、不所望に他のインク室104a、10
4cの隔壁が変形することがない。従って、各インク室
104から良好にインク滴が噴射され、印字品質がよ
い。
は、カバープレート110を圧電セラミックスプレート
102に接着した後、カバープレート110の表面11
0cにおけるスリット111aの底面より端面110a
側の領域及びスリット111a内面の側面の一部に金属
電極109が形成されているので、空気室127の片側
の金属電極8が、インク室104を挟む他の空気室12
7の該インク室104側の金属電極8と電気的に接続さ
れる。また、カバープレート110の表面110cにお
けるスリット111bの底面より中央側から端面110
b側の領域及びスリット111a内面の側面の全部に金
属電極117が形成されるので、全てのインク室104
の金属電極8が電気的に接続される。
バープレート110の平面である表面110cに形成さ
れたパターン124、125に電気的に接続されるの
で、パターン124、125と、フレキシブルプリント
基板の配線パターンとを良好に且つ容易に電気的に接続
することができる。また、パターン124、125の形
状や大きさを適切にして、確実に電気的接続をすること
ができる。
に、カバープレート110のパターン124、125
を、前記制御部に接続された前記リジット基板に直接接
続することも可能である。
幅より小さくすることによって、圧電セラミックスプレ
ート102の幅を小さくすることができる。
102の片面に溝103を形成していたが、圧電セラミ
ックスプレートの厚さを厚くして両面に溝を形成して、
インク室及び空気室を設けてもよい。
噴射装置300は、圧電セラミックスプレート302と
カバープレート320とノズルプレート(図示せず)と
マニホールド部材301から構成されている。
チタン酸ジルコン酸鉛系(PZT)のセラミックス材料
で形成され、圧電セラミックスプレート302には、ダ
イヤモンドブレード等により切削加工され、複数の溝3
03が形成されている。また、その溝303の側面とな
る隔壁306は矢印305の方向に分極されている。そ
れらの溝303は同じ深さであり、かつ平行であり、圧
電セラミックスプレート302の対向する端面302
a、302bに開口して加工されている。この溝303
の長さは、従来のチャンネル溝部17の長さとほぼ同じ
である。
端面302aには、スリット311aが溝303に連通
するように1つ置きに形成されている。圧電セラミック
スプレート302の端面302bには、スリット311
bが溝303に連通するように1つ置きに形成されてい
る。そして、スリット311a、311bは交互に形成
されており、スリット311aとスリット311bと
は、隣合う溝303に形成されている。尚、スリット3
11aは、両外側の溝303に設けられている。また、
圧電セラミックプレート302の溝303加工側に対し
て反対側の面302cには、パターン324、325が
形成されている。
の溝加工面、且つ端面302aに対して斜め上方の位置
に配置された蒸着源(図示せず)から金属電極308、
309、310が形成される(矢印330a、330b
の方向から蒸着される)。尚、圧電セラミックスプレー
ト302の端面302a及び隔壁306の天頂部に金属
電極が形成されないようにマスクしておく。すると、図
4に示すように、金属電極308は溝303の両側面の
上半分の領域に形成され、金属電極309は、スリット
311aが形成されていない溝303の端面302a側
の側面の一部及び底面の一部に形成され、金属電極31
0はスリット311aの側面のうち端面302a側に形
成される。尚、金属電極308と金属電極309とは電
気的に接続され、金属電極308と金属電極310とは
電気的に接続されている。
面302c、且つ端面302bに対して斜め上方の位置
に配置された蒸着源(図示せず)から金属電極316、
317が形成される(矢印331a、331bの方向か
ら蒸着される)。尚、圧電セラミックスプレート302
の端面302b及び面302cのパターン324、32
5が形成された領域に金属電極が形成されないようにマ
スクしておく。すると、図6に示すように、その金属電
極316は、圧電セラミックスプレート302の面30
2cにおいてスリット311aの底面より端面302a
側の領域及びスリット311a内面の側面の一部に形成
される。このとき、スリット311aに形成された金属
電極310上にも金属電極316が形成されて、スリッ
ト311aの側面に形成された金属電極316が金属電
極310を介して金属電極308と電気的に接続され
る。このため、スリット311aが形成された溝303
aの片側の隔壁306に形成された金属電極308が、
その隔壁306によって構成される溝303bを挟む他
の溝303aにおける該溝303bを構成するもう一つ
の隔壁306に形成された金属電極308と電気的に接
続される。また、金属電極316はパターン324に電
気的に接続される。
電極317は、圧電セラミックスプレート302の面3
02cにおいてスリット311bの底面より圧電セラミ
ックスプレート302の中央側から端面302b側の領
域、スリット311b内面の側面の全部及びスリット3
11bの端面302b側に形成される。このとき、スリ
ット311bと連通する溝303bの金属電極308上
にも金属電極317が形成されて、スリット311bの
側面に形成された金属電極317と電気的に接続され
る。このため、スリット311bが形成された溝303
bの全ての金属電極308が金属電極317によって電
気的に接続される。また、金属電極317はパターン3
25に電気的に接続される。
形成されており、圧電セラミックスプレート302の溝
303加工側の面と、カバープレート320とをエポキ
シ系接着剤(図示せず)によって接着する。従って、イ
ンク噴射装置300には、溝303の上面が覆われて、
スリット311bと連通するインク室304及びスリッ
ト311aと連通する非噴射領域としての空気室327
が構成される。尚、インク室304は溝303aに対応
しており、空気室327は溝303bに対応している。
インク室304及び空気室327は長方形断面の細長い
形状であり、全てのインク室304はインクが充填さ
れ、空気室327は空気が充填される領域である。
02a及びカバープレート320のの端面に、各インク
室304の位置に対応した位置にノズル(図示せず)が
設けられたノズルプレート(図示せず)が接着される。
このノズルプレートは、ポリアルキレン(例えばエチレ
ン)テレフタレート、ポリイミド、ポリエーテルイミ
ド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリ
カーボネイト、酢酸セルロース等のプラスチックによっ
て形成される。
セラミックスプレート302の端面302b及び圧電セ
ラミックスプレート302の面302cにおけるスリッ
ト311b側に接着される。マニホールド部材301に
はマニホールド322が形成されており、そのマニホー
ルド322はスリット311bを包囲している。
2cに形成されたパターン324、325が図示しない
フレキシブルプリント基板(図示せず)の配線パターン
と接続される。そのフレキシブルプリント基板の配線パ
ターンは、後述する制御部に接続されたリジット基板
(図示せず)に接続されている。
の効果が得られる。
ルコン酸鉛系(PZT)のセラミックス材料で圧電セラ
ミックスプレート102、302が形成されて、隔壁1
06、306を圧電すべり変形させていたが、圧電セラ
ミックスプレートをチタン酸鉛系(PT)のセラミック
ス材料で形成し、隔壁を圧電縦変形させてインクを噴射
させてもよい。
発明のインク噴射装置によれば、マニホールド部材を接
合するプレートの端面に、各噴射チャンネルに接続した
スリットを形成し、各非噴射領域にはスリットを形成せ
ず、マニホールド部材内のマニホールド流路を、複数の
スリットを包囲する大きさに形成し、マニホールド流路
を複数のスリットに対向させた状態で、マニホールド部
材をプレートに接合したことで、マニホールド部材を複
数の噴射チャンネル及び非噴射領域に高精度に位置決め
することなく、マニホールド部材から供給したインク
を、簡単な構造でありながら確実に複数の噴射チャンネ
ルのみに供給し、複数の非噴射領域には供給しないよう
にできる。
界を発生することにより、隔壁の変形によりインクを噴
射するものにおいては、上記のように非噴射領域にはイ
ンクが供給されないことで、インクを噴射するための隔
壁の変形が容易でかつその変形が他のインク室に影響を
及ぼすことがなく、印字品質を良好にすることができ
る。さらに、マニホールド部材を接続する表面に、噴射
チャンネル内の電極を開口をへて制御部に接続する金属
電極を設けることで、噴射チャンネル内の電極を制御部
に接続するための構成も簡単にすることができる。
視図である。
すブロック図である。
説明図である。
視図である。
示す斜視図である。
である。
Claims (3)
- 【請求項1】 インクが噴射される複数の噴射チャンネ
ル、及び前記噴射チャンネルの両側に設けられインクが
噴射されない複数の非噴射領域となる複数の溝を有する
プレートと、その溝の長手方向に沿った開放面を覆うカバープレート
と 、 前記複数の噴射チャンネルにインクを供給するマニホー
ルド流路を有するマニホールド部材とを有するインク噴
射装置において、 前記マニホールド部材を接合する前記プレートの端面
に、前記各噴射チャンネルの長手方向の一端部に接続し
かつそのプレートの端面に開口したスリットを形成する
とともに、前記各非噴射領域の長手方向の一端部に対応
する位置にはスリットを形成せず、前記マニホールド部材内のマニホールド流路を、前記複
数のスリットを包囲する大きさに形成し 、前記マニホールド流路を前記複数のスリットに対向させ
た状態で、前記マニホールド部材を前記プレートに接合
したことを特徴とするインク噴射装置。 - 【請求項2】 前記複数の噴射チャンネル及び複数の非
噴射領域を前記プレートの端面に開放して形成し、その
複数の噴射チャンネル及び複数の非噴射領域の開放面を
覆って前記マニホールド部材を前記プレートに接合した
ことを特徴とする請求項1に記載のインク噴射装置。 - 【請求項3】 インクが噴射される複数の噴射チャンネ
ルと、前記噴射チャンネルの両側に設けられ、インクが
噴射されない複数の非噴射領域と、前記噴射チャンネル
と前記非噴射領域とを隔て、分極された圧電セラミック
スで少なくとも一部が形成された隔壁と、前記隔壁に形
成され、電圧の印加によって前記圧電セラミックスに駆
動電界を発生するための電極と、前記複数の噴射チャン
ネルにインクを供給するマニホールド部材とを有するイ
ンク噴射装置において、 前記マニホールド部材を接続する表面に、前記複数の噴
射チャンネルを前記マニホールド部材側に開口するとと
もに、前記複数の噴射チャンネル内の電極をその開口を
へて制御部に接続する金属電極を設け、前記複数の非噴
射領域を開口しないようにしたことを特徴とするインク
噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10264298A JP3211769B2 (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | インク噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10264298A JP3211769B2 (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | インク噴射装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28236993A Division JP3186379B2 (ja) | 1993-11-11 | 1993-11-11 | インク噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1128815A JPH1128815A (ja) | 1999-02-02 |
JP3211769B2 true JP3211769B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=14332902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10264298A Expired - Lifetime JP3211769B2 (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | インク噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3211769B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5112889B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2013-01-09 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | インクジェットヘッドチップ、インクジェットヘッドチップの製造方法、インクジェットヘッド、及びインクジェット記録装置 |
JP5689651B2 (ja) * | 2010-11-09 | 2015-03-25 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの駆動方法 |
-
1998
- 1998-04-14 JP JP10264298A patent/JP3211769B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1128815A (ja) | 1999-02-02 |
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