JP3282823B2 - マルチピース一体型サスペンション・アセンブリ、その作成方法および磁気記憶システム - Google Patents
マルチピース一体型サスペンション・アセンブリ、その作成方法および磁気記憶システムInfo
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- JP3282823B2 JP3282823B2 JP54060797A JP54060797A JP3282823B2 JP 3282823 B2 JP3282823 B2 JP 3282823B2 JP 54060797 A JP54060797 A JP 54060797A JP 54060797 A JP54060797 A JP 54060797A JP 3282823 B2 JP3282823 B2 JP 3282823B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4853—Constructional details of the electrical connection between head and arm
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は、磁気記憶システムのためのスライダ・サ
スペンション・アセンブリに関するものであり、より具
体的には、磁気ディスク記憶システムにおいて使用され
るマルチピース一体型サスペンション・アセンブリに関
する。
スペンション・アセンブリに関するものであり、より具
体的には、磁気ディスク記憶システムにおいて使用され
るマルチピース一体型サスペンション・アセンブリに関
する。
［関連する背景技術の記述］ 磁気ディスク・ドライブは、情報を含む同心状のデー
タ・トラックをもつ少なくとも１枚の回転可能なディス
ク、このような数々のトラックからデータを読み取ると
ともにデータを書き込むヘッド（または“トランスデュ
ーサ”）、及び、このヘッドに接続されて所望のトラッ
クにヘッドを移動させるとともに読み取り操作や書き込
み操作の間にそのトラックのセンターライン上に維持さ
れるヘッド位置決めアクチュエータ、を利用している情
報記憶装置である。トランスデューサは、空気ベアリン
グ・スライダに取り付けられていて、回転するディスク
によって発生される空気のクッションによってディスク
のデータ表面に近接して支持される。スライダは、サス
ペンションの手段によって、ヘッド位置決めアクチュエ
ータの支持アームに取付けられる。
タ・トラックをもつ少なくとも１枚の回転可能なディス
ク、このような数々のトラックからデータを読み取ると
ともにデータを書き込むヘッド（または“トランスデュ
ーサ”）、及び、このヘッドに接続されて所望のトラッ
クにヘッドを移動させるとともに読み取り操作や書き込
み操作の間にそのトラックのセンターライン上に維持さ
れるヘッド位置決めアクチュエータ、を利用している情
報記憶装置である。トランスデューサは、空気ベアリン
グ・スライダに取り付けられていて、回転するディスク
によって発生される空気のクッションによってディスク
のデータ表面に近接して支持される。スライダは、サス
ペンションの手段によって、ヘッド位置決めアクチュエ
ータの支持アームに取付けられる。
このサスペンションは、回転する磁気ディスク表面上
における相対運動の間中、スライダとアクチュエータ・
アームの間の寸法的な安定を与えるとともに、スライダ
のピッチ・アンド・ロール運動（ジンバル運動）のよう
な僅かな上下方向を柔軟に制御している。サスペンショ
ンは一般的に、ヘッド位置決めアクチュエータのアクチ
ュエータ・アームに取り付けられるロード・ビーム、ロ
ード・ビームによって支持されてスライダを支持するフ
レキシャ要素、を有している。ロード・ビームは、スラ
イダをディスク表面に向かってバイアスさせる弾性スプ
リングを与え、一方、フレキシャは、回転するディスク
に近接してスライダが空気のクッションにうまく乗るよ
うにスライダに柔軟性を与える。過去においても、様々
なサスペンション構造が提案されてきた。それらの中に
は、そこに取り付けられるスライダに対して電気的接続
をとるための一体型導電リードをもったフレキシャをも
つものがあり、それらは、トレース・サスペンション・
アセンブリ又は一体型サスペンション・アセンブリとし
て言及される。
における相対運動の間中、スライダとアクチュエータ・
アームの間の寸法的な安定を与えるとともに、スライダ
のピッチ・アンド・ロール運動（ジンバル運動）のよう
な僅かな上下方向を柔軟に制御している。サスペンショ
ンは一般的に、ヘッド位置決めアクチュエータのアクチ
ュエータ・アームに取り付けられるロード・ビーム、ロ
ード・ビームによって支持されてスライダを支持するフ
レキシャ要素、を有している。ロード・ビームは、スラ
イダをディスク表面に向かってバイアスさせる弾性スプ
リングを与え、一方、フレキシャは、回転するディスク
に近接してスライダが空気のクッションにうまく乗るよ
うにスライダに柔軟性を与える。過去においても、様々
なサスペンション構造が提案されてきた。それらの中に
は、そこに取り付けられるスライダに対して電気的接続
をとるための一体型導電リードをもったフレキシャをも
つものがあり、それらは、トレース・サスペンション・
アセンブリ又は一体型サスペンション・アセンブリとし
て言及される。
より高い記録密度を推し進めていくことは、ディスク
表面上により多くのデータ・トラックを詰め込むため
に、ディスク表面をより狭いデータ・トラック及びより
狭いデータ・トラック間隔でもってフォーマットするこ
とに挑戦することになる。かかる挑戦のためには、フレ
キシャについての性能仕様の要求がより厳格になってく
ると同時に、比較的容易に達成されて制御されるではあ
ろうが、ディスク・ドライブ・システムの他の構造的及
び機械的コンポーネントについても追加的に要求がなさ
れてくる。例えば、寸法的に安定している軽量構造。こ
の一体型サスペンションのフレキシャは、スライダをデ
ィスク表面に対して正確にかつ繰り返して位置決めして
も柔軟性や信頼性が維持されるという点で、耐久性のあ
るものである必要があり、これは、密集して詰め込まれ
たデータ・トラックがスライダ／トラックのアライメン
トにおいて厳しい交差の下でアクセスできるようにする
ためである。さらに、より小さい物理サイズのディスク
・ドライブ・システムの要求を満たすために、より小さ
い一体型サスペンションを開発することが望まれてい
る。サスペンション・アセンブリが比較的小さいサイズ
になってきて壊れやすい構造になってくるので、所望の
性能仕様及び歩留り要求を達成する製造容易性について
設計がなされているような一体型サスペンション構造を
開発することに挑戦することになる。
表面上により多くのデータ・トラックを詰め込むため
に、ディスク表面をより狭いデータ・トラック及びより
狭いデータ・トラック間隔でもってフォーマットするこ
とに挑戦することになる。かかる挑戦のためには、フレ
キシャについての性能仕様の要求がより厳格になってく
ると同時に、比較的容易に達成されて制御されるではあ
ろうが、ディスク・ドライブ・システムの他の構造的及
び機械的コンポーネントについても追加的に要求がなさ
れてくる。例えば、寸法的に安定している軽量構造。こ
の一体型サスペンションのフレキシャは、スライダをデ
ィスク表面に対して正確にかつ繰り返して位置決めして
も柔軟性や信頼性が維持されるという点で、耐久性のあ
るものである必要があり、これは、密集して詰め込まれ
たデータ・トラックがスライダ／トラックのアライメン
トにおいて厳しい交差の下でアクセスできるようにする
ためである。さらに、より小さい物理サイズのディスク
・ドライブ・システムの要求を満たすために、より小さ
い一体型サスペンションを開発することが望まれてい
る。サスペンション・アセンブリが比較的小さいサイズ
になってきて壊れやすい構造になってくるので、所望の
性能仕様及び歩留り要求を達成する製造容易性について
設計がなされているような一体型サスペンション構造を
開発することに挑戦することになる。
欧州特許出願0 412 739号は、パターン化された金属
層の両側に接着された平らなフレキシブル・シート材料
をもつ“ワイヤレス”ラミネート状サスペンションを開
示している。このサスペンションは、アクチュエータ支
持アームに取付けるためのアーム部分、スライダが取付
けられるスライダ部分、及び、スライダ部分が端部にお
いてアクチュエータ支持アームをこえて延びるようにこ
れらアーム部分とスライダ部分とを接続するリンク部
分、を含む。
層の両側に接着された平らなフレキシブル・シート材料
をもつ“ワイヤレス”ラミネート状サスペンションを開
示している。このサスペンションは、アクチュエータ支
持アームに取付けるためのアーム部分、スライダが取付
けられるスライダ部分、及び、スライダ部分が端部にお
いてアクチュエータ支持アームをこえて延びるようにこ
れらアーム部分とスライダ部分とを接続するリンク部
分、を含む。
欧州特許出願0 700 034号は、ロード部材とスライダ
が取付けられたフレキシャ部材とをもつ“ワイヤード”
サスペンションを開示している。ワイヤはヘッドとシス
テムとを接続するために用いられる。
が取付けられたフレキシャ部材とをもつ“ワイヤード”
サスペンションを開示している。ワイヤはヘッドとシス
テムとを接続するために用いられる。
図１は、特願平８−205936号（米国特許出願第08/36
5,123号：出願人整理番号SA994135）において開示され
た一体型サスペンション20を描いたものである。この一
体型サスペンション20は、ロード・ビーム22、このロー
ド・ビーム22から厚さを薄くして一体となって延びるフ
レキシャ24、導電リード26、及び、フレキシャ24の表面
に取り付けられたスライダ30、を含む。絶縁材料27から
成る中間層は、リード26をロード・ビーム22及びフレキ
シャ材料から分離し（図２参照）、リード26をその部位
の幾つかに沿って吊り下げられた態様で支持する（図３
参照）。リード26は、スライダ30内に含まれる読み取り
及び書き込みセンサに電気的に接続されているが、スラ
イダ30上に終端する。リード26の終端は、フレキシャ24
の端部にわたって経路付けられていて、スライダの端部
面32上において終端するが、このことは、一体型サスペ
ンション20の製造とその後の取扱いの間において、より
損傷を受け易くしている。また、複数のディスクについ
て一体型サスペンション20のスタックを与えるようなデ
ィスク・ドライブ・システムにおいては、ディスク・ド
ライブ・システムの制御電子回路からのリードの相互接
続とフレックス・ケーブルを融通するためには、アクチ
ュエータ・スタックにおいてより一層の上下高さが必要
とされてくる。
5,123号：出願人整理番号SA994135）において開示され
た一体型サスペンション20を描いたものである。この一
体型サスペンション20は、ロード・ビーム22、このロー
ド・ビーム22から厚さを薄くして一体となって延びるフ
レキシャ24、導電リード26、及び、フレキシャ24の表面
に取り付けられたスライダ30、を含む。絶縁材料27から
成る中間層は、リード26をロード・ビーム22及びフレキ
シャ材料から分離し（図２参照）、リード26をその部位
の幾つかに沿って吊り下げられた態様で支持する（図３
参照）。リード26は、スライダ30内に含まれる読み取り
及び書き込みセンサに電気的に接続されているが、スラ
イダ30上に終端する。リード26の終端は、フレキシャ24
の端部にわたって経路付けられていて、スライダの端部
面32上において終端するが、このことは、一体型サスペ
ンション20の製造とその後の取扱いの間において、より
損傷を受け易くしている。また、複数のディスクについ
て一体型サスペンション20のスタックを与えるようなデ
ィスク・ドライブ・システムにおいては、ディスク・ド
ライブ・システムの制御電子回路からのリードの相互接
続とフレックス・ケーブルを融通するためには、アクチ
ュエータ・スタックにおいてより一層の上下高さが必要
とされてくる。
［発明の開示］ 本発明は、比較的製造が容易である単純化された一体
型サスペンション構造を提供する。この新規な一体型サ
スペンションは、分離された複数のピースである、ロー
ド・ビーム、フレキシャ、及び、マウント・プレート、
からアセンブルできる。ロード・ビームは、フレキシャ
の堅固な構造支持を与える。このフレキシャは、フレキ
シブル部材とその上に一体的に形成された複数のリード
を含む。フレキシブル部材の一の部位は、ロード部材に
固定的に取り付けられ、取り付けられるスライダを持つ
フレキシブル部材の他の部位は、ジンバル運動のために
ロード・ビームにおけるピボット突出部を押すようにす
る。インターロック構造は、フレキシブル部材のジンバ
ル運動の範囲を制限し、フレキシブル部材から延びてロ
ード・ビーム中の開孔に至るタブを有する。代替的に、
タングがフレキシブル部材に形成されて、ロード・ビー
ムとの間で相互作用をしてジンバル運動を制限するクリ
ップを形成するために用いられる。
型サスペンション構造を提供する。この新規な一体型サ
スペンションは、分離された複数のピースである、ロー
ド・ビーム、フレキシャ、及び、マウント・プレート、
からアセンブルできる。ロード・ビームは、フレキシャ
の堅固な構造支持を与える。このフレキシャは、フレキ
シブル部材とその上に一体的に形成された複数のリード
を含む。フレキシブル部材の一の部位は、ロード部材に
固定的に取り付けられ、取り付けられるスライダを持つ
フレキシブル部材の他の部位は、ジンバル運動のために
ロード・ビームにおけるピボット突出部を押すようにす
る。インターロック構造は、フレキシブル部材のジンバ
ル運動の範囲を制限し、フレキシブル部材から延びてロ
ード・ビーム中の開孔に至るタブを有する。代替的に、
タングがフレキシブル部材に形成されて、ロード・ビー
ムとの間で相互作用をしてジンバル運動を制限するクリ
ップを形成するために用いられる。
［図面の簡単な説明］ 図１は、従来技術である一体型サスペンション・アセ
ンブリのスライダ領域の斜視図である。
ンブリのスライダ領域の斜視図である。
図２は、図１の線２−２に沿った断面図である。
図３は、図１の線３−３に沿った断面図である。
図４は、本発明の一体型サスペンションが実施される
磁気ディスク記憶システムの略ブロック図である。
磁気ディスク記憶システムの略ブロック図である。
図５は、本発明の一実施例に従って一体型サスペンシ
ョン・アセンブリの斜視図である。
ョン・アセンブリの斜視図である。
図６は、図５に示される一体型サスペンション・アセ
ンブリの分解斜視図である。
ンブリの分解斜視図である。
図７は、図５に示される一体型サスペンション・アセ
ンブリのスライダ領域の斜視図である。
ンブリのスライダ領域の斜視図である。
図８（ａ）〜（ｄ）は、図５に示される一体型サスペ
ンション・アセンブリにおける、ロード・アーム及びフ
レキシャの異なる層のシーケンスの上部平面図である。
ンション・アセンブリにおける、ロード・アーム及びフ
レキシャの異なる層のシーケンスの上部平面図である。
図９は、図７の線９−９に沿った断面図である。
図10は、図７の線10−10に沿った断面図である。
図11は、図７の線11−11に沿った断面図である。
図12は、図７の線12−12に沿った断面図である。
図13は、図７の線13−13に沿った断面図である。
図14は、本発明の他の実施例に従った一体型サスペン
ション・アセンブリのスライダ領域の底部斜視図であ
る。
ション・アセンブリのスライダ領域の底部斜視図であ
る。
図15は、図14に示されるスライダ領域の上部斜視図で
ある。
ある。
図16（ａ）及び図16（ｂ）は、図15に示されるスライ
ダ領域におけるロード・ビームとフレキシャとの上面図
である。
ダ領域におけるロード・ビームとフレキシャとの上面図
である。
図17は、図16（ｂ）の線17−17に沿った断面図であ
る。
る。
図18は、図16（ｂ）の線18−18に沿った断面図であ
る。
る。
図19は、図14の線19−19に沿った断面図である。
［発明の詳細な説明］ 本発明は、磁気ディスク記憶システムに言及して、そ
の中でも磁気抵抗（“MR"）センサを含むスライダにお
いて実施されている。しかし、本発明は、一体型ヘッド
・サスペンション・アセンブリとしての利点が得られ
る、磁気テープ記録システムや他のアプリケーションの
ような記録システムを含んだ他の磁気記憶システムにお
いても適用が可能であることが明白である。
の中でも磁気抵抗（“MR"）センサを含むスライダにお
いて実施されている。しかし、本発明は、一体型ヘッド
・サスペンション・アセンブリとしての利点が得られ
る、磁気テープ記録システムや他のアプリケーションの
ような記録システムを含んだ他の磁気記憶システムにお
いても適用が可能であることが明白である。
図４は、本発明の実施例である、磁気ディスク記憶シ
ステム40の単純化された略ブロック図を例示する。磁気
ディスク記憶システム40は、スピンドル44上に支持され
てディスク・ドライブ・モータ46によって回転される少
なくとも１枚の回転可能な磁気ディスク42と、ディスク
表面43において磁気記録媒体に近接して位置付けられる
少なくとも１つのスライダ48とを有する。データは、各
ディスク42上の磁気記録媒体上において、同心状のデー
タ・トラックの環状パターンの形式（図示せず）で記憶
される。各スライダ48は、一体型サスペンション50に取
り付けられていて、アクチュエータ・アーム52を介して
アクチュエータ手段54に接続される。ディスク42が回転
すると、スライダ48がアクチュエータ手段54によってデ
ィスク表面43を横切って移動するように制御され、スラ
イダ48が所望のデータが記録されていて読み取られるデ
ィスク表面43の異なる部分をアクセスできる。一体型サ
スペンション50は、ディスク表面43に対してスライダ48
をバイアスする僅かなスプリング力を与え、回転するデ
ィスク表面43と相対的にスライダ48のピッチ・アンド・
ロール運動のような僅かな上下の柔軟性を制御する。図
４に見られるアクチュエータ手段は、例えば、ボイス・
コイル・モータ（VCM）である。磁気ディスク記憶シス
テム40の様々なコンポーネントが、制御ユニット56によ
って発生される制御信号によって動作を制御される。例
えば、アクチュエータ手段54、駆動モータ46、及び、デ
ータの読み取り／書き込みの制御のようなものである。
ステム40の単純化された略ブロック図を例示する。磁気
ディスク記憶システム40は、スピンドル44上に支持され
てディスク・ドライブ・モータ46によって回転される少
なくとも１枚の回転可能な磁気ディスク42と、ディスク
表面43において磁気記録媒体に近接して位置付けられる
少なくとも１つのスライダ48とを有する。データは、各
ディスク42上の磁気記録媒体上において、同心状のデー
タ・トラックの環状パターンの形式（図示せず）で記憶
される。各スライダ48は、一体型サスペンション50に取
り付けられていて、アクチュエータ・アーム52を介して
アクチュエータ手段54に接続される。ディスク42が回転
すると、スライダ48がアクチュエータ手段54によってデ
ィスク表面43を横切って移動するように制御され、スラ
イダ48が所望のデータが記録されていて読み取られるデ
ィスク表面43の異なる部分をアクセスできる。一体型サ
スペンション50は、ディスク表面43に対してスライダ48
をバイアスする僅かなスプリング力を与え、回転するデ
ィスク表面43と相対的にスライダ48のピッチ・アンド・
ロール運動のような僅かな上下の柔軟性を制御する。図
４に見られるアクチュエータ手段は、例えば、ボイス・
コイル・モータ（VCM）である。磁気ディスク記憶シス
テム40の様々なコンポーネントが、制御ユニット56によ
って発生される制御信号によって動作を制御される。例
えば、アクチュエータ手段54、駆動モータ46、及び、デ
ータの読み取り／書き込みの制御のようなものである。
図５は、本発明の一実施例に従ったマルチ・ピース一
体型サスペンション50の斜視図である。図６は、一体型
サスペンション50を作り上げる主要なコンポーネント、
及び、一体型サスペンション50が取り付けられるアクチ
ュエータ・アーム52の分解斜視図である。アクチュエー
タ・アーム52は、ディスク・ドライブ・システム40にお
けるアクチュエータ手段54のスピンドル（図示せず）の
軸Ｓの周りに旋回可能に軸着されている。一体型サスペ
ンション50の主要なピースは、ロード・ビーム58、フレ
キシャ60、及び、マウント・プレート62を含む。ロード
・ビーム58の一端は、マウント・プレート62を使用し
て、アクチュエータ・アーム52に固定的に取り付けら
れ、他端は、その表面上においてフレキシャ60を支持す
る。フレキシャ60は、その表面上に、一体型の導電リー
ド64又はトレースを持つ。スライダ48は、フレキシャ60
の先端に接続されている。スライダ48は、一体型MR読み
取りセンサ65及び誘導書き込みトランスデューサ48を含
むタイプのものでよい。（読み取りセンサ及び書き込み
トランスデューサは、例示目的のためにのみ、点線で描
かれている。これらのコンポーネントの実際のサイズと
位置とは、ここで見られるものとは異なっているが、本
発明を理解する上においては影響がないものである。）
マウント・プレート62は、リード64の端部を支持する。
リードは、スライダ48の一端において終端し、他端にお
いてはマウント・プレート62上のマルチコネクタ63にお
いて終端してフレックス・ケーブル（図示せず）を通じ
て制御ユニット56（図４参照）の電子回路と電気的に接
続している。
体型サスペンション50の斜視図である。図６は、一体型
サスペンション50を作り上げる主要なコンポーネント、
及び、一体型サスペンション50が取り付けられるアクチ
ュエータ・アーム52の分解斜視図である。アクチュエー
タ・アーム52は、ディスク・ドライブ・システム40にお
けるアクチュエータ手段54のスピンドル（図示せず）の
軸Ｓの周りに旋回可能に軸着されている。一体型サスペ
ンション50の主要なピースは、ロード・ビーム58、フレ
キシャ60、及び、マウント・プレート62を含む。ロード
・ビーム58の一端は、マウント・プレート62を使用し
て、アクチュエータ・アーム52に固定的に取り付けら
れ、他端は、その表面上においてフレキシャ60を支持す
る。フレキシャ60は、その表面上に、一体型の導電リー
ド64又はトレースを持つ。スライダ48は、フレキシャ60
の先端に接続されている。スライダ48は、一体型MR読み
取りセンサ65及び誘導書き込みトランスデューサ48を含
むタイプのものでよい。（読み取りセンサ及び書き込み
トランスデューサは、例示目的のためにのみ、点線で描
かれている。これらのコンポーネントの実際のサイズと
位置とは、ここで見られるものとは異なっているが、本
発明を理解する上においては影響がないものである。）
マウント・プレート62は、リード64の端部を支持する。
リードは、スライダ48の一端において終端し、他端にお
いてはマウント・プレート62上のマルチコネクタ63にお
いて終端してフレックス・ケーブル（図示せず）を通じ
て制御ユニット56（図４参照）の電子回路と電気的に接
続している。
図７は、フレキシャ60上のスライダ領域をより詳細に
例示するものである。リード64は、スライダ48の端面上
の接触パッド78上において終端し；リード64の一対は、
MR読み取りセンサ65と電気的に接続されていて、リード
64の他の一対は、書き込みトランスデューサ66と電気的
に接続されている。リードの終端部は、通常の超音波接
着プロセス又ははんだ付けによって、スライダ・パッド
78に接着される。複数のリード64は、接着のために接着
パッドに対して平らな面をもって位置付けできるよう
に、それらの端部は曲げられていることに注目された
い。リード64は、フレキシャ60がロード・ビーム58に取
り付けられる前又は取り付けられた後に、曲げることが
できる。後で、ロード・ビーム58中の開孔80及びフレキ
シャ60中の開孔82が、曲げられた末端部を形成するため
のアクセスを与える。また、これら開孔80及び開孔82
は、スライダ・パッドへのリードの（例えば、超音波接
着のオペレーションによる）接着の間中にスライダを堅
固に保持できるように、スライダへのアクセスを与え
る。様々なコンポーネント及びアセンブリの構造のより
詳細については、以下に説明を続ける。
例示するものである。リード64は、スライダ48の端面上
の接触パッド78上において終端し；リード64の一対は、
MR読み取りセンサ65と電気的に接続されていて、リード
64の他の一対は、書き込みトランスデューサ66と電気的
に接続されている。リードの終端部は、通常の超音波接
着プロセス又ははんだ付けによって、スライダ・パッド
78に接着される。複数のリード64は、接着のために接着
パッドに対して平らな面をもって位置付けできるよう
に、それらの端部は曲げられていることに注目された
い。リード64は、フレキシャ60がロード・ビーム58に取
り付けられる前又は取り付けられた後に、曲げることが
できる。後で、ロード・ビーム58中の開孔80及びフレキ
シャ60中の開孔82が、曲げられた末端部を形成するため
のアクセスを与える。また、これら開孔80及び開孔82
は、スライダ・パッドへのリードの（例えば、超音波接
着のオペレーションによる）接着の間中にスライダを堅
固に保持できるように、スライダへのアクセスを与え
る。様々なコンポーネント及びアセンブリの構造のより
詳細については、以下に説明を続ける。
図８（ｄ）を参照すると、ロード・ビーム58が、例え
ば、ステンレス鋼又はセラミック材料から作られてい
て、ほぼ平らで堅固にされている。例示的な実施態様で
は、ロード・ビームは約0.04mmから0.05mmの厚さであ
る。ディスク・ドライブ・システム40においてより高速
にスライダの位置決め応答を行なうためには、構造的な
剛性については妥協することなく、より薄い材料を使用
して、ロード・ビーム58の質量及び慣性を維持すること
が望ましい。薄いロード・ビーム58のねじり剛性を改善
するためには、三角形状の凹地又はウエル68のようにし
て、平らな構造上に表面フィーチャがスタンプ処理され
る。以下の説明から明らかになるように、フレキシャ60
と共に設けられたこのウエル68は、完全に平らなロード
・ビーム58（図９参照）よりも堅固なボックス構造を形
成する。さらに、ロード・ビームの長さ方向に沿った縁
（エッジ）では、カールされてフランジ70が形成され
る。これらのフランジ70によれば、製造プロセスの間に
おける取扱い損傷を避けることができるため、この一体
型サスペンション50を取り扱うには便利である。さら
に、タング（舌状のもの）72が、ロード・ビーム58の端
部から延びていて、ディスク・ドライブ・システム40中
でのそのアセンブリの間に、一体型サスペンション50の
取扱いを容易にしている。このタング（舌状のもの）72
は、また、ディスク42上にスライダ48をロードし又はア
ンロードするためにも用いられる。
ば、ステンレス鋼又はセラミック材料から作られてい
て、ほぼ平らで堅固にされている。例示的な実施態様で
は、ロード・ビームは約0.04mmから0.05mmの厚さであ
る。ディスク・ドライブ・システム40においてより高速
にスライダの位置決め応答を行なうためには、構造的な
剛性については妥協することなく、より薄い材料を使用
して、ロード・ビーム58の質量及び慣性を維持すること
が望ましい。薄いロード・ビーム58のねじり剛性を改善
するためには、三角形状の凹地又はウエル68のようにし
て、平らな構造上に表面フィーチャがスタンプ処理され
る。以下の説明から明らかになるように、フレキシャ60
と共に設けられたこのウエル68は、完全に平らなロード
・ビーム58（図９参照）よりも堅固なボックス構造を形
成する。さらに、ロード・ビームの長さ方向に沿った縁
（エッジ）では、カールされてフランジ70が形成され
る。これらのフランジ70によれば、製造プロセスの間に
おける取扱い損傷を避けることができるため、この一体
型サスペンション50を取り扱うには便利である。さら
に、タング（舌状のもの）72が、ロード・ビーム58の端
部から延びていて、ディスク・ドライブ・システム40中
でのそのアセンブリの間に、一体型サスペンション50の
取扱いを容易にしている。このタング（舌状のもの）72
は、また、ディスク42上にスライダ48をロードし又はア
ンロードするためにも用いられる。
フレキシャ60は、一体構造中に、異なる材料から成る
数種の層を含む（図９参照）。図８（ａ）〜（ｃ）を参
照すると、フレキシャ60の様々な層が、平面図において
トップ・ダウンのシーケンスで示される。フレキシャ60
の層構造は、フレキシブル材料のシート（後にスプリン
グ層74として言及される）であり、ステンレス鋼、又は
他の適当なスプリング材料から成り、所望の弾性たわみ
を与えるような厚さ（例示された実施例では約18乃至20
ミクロン）にされる。これはエッチング又はスタンピン
グ処理によって形作られる。絶縁材料（例えば、ポリイ
ミド）の層76は、スプリング層74とリード64（例えば、
銅から成る）の層とを分離する中間層である。絶縁材料
の層及びリードの層は、周知である通常のフォトリソグ
ラフィック・プロセスを使用して形作られる。マウント
・プレート62は、スプリング層74と同じ材料で作ってよ
く、スプリング層74と同じプロセスで形作ることができ
る。リード64の部位84は、スプリング層74の縁を超えて
位置づけられていることに注目されたい。これらリード
の部位84は、これら部位84に沿って幾つかのポイント86
で、絶縁材料によって固定されて間隔をおいた関係に維
持される（図10及び図11参照）。かかるリードの形状
は、スプリング層74との接触を排除することを意図した
ものである。以下の議論から理解されるように、スプリ
ング層74は、ロール軸及びピッチ軸の周りについて、ス
ライダのジンバル支持のための柔軟性を維持することを
必要とする。
数種の層を含む（図９参照）。図８（ａ）〜（ｃ）を参
照すると、フレキシャ60の様々な層が、平面図において
トップ・ダウンのシーケンスで示される。フレキシャ60
の層構造は、フレキシブル材料のシート（後にスプリン
グ層74として言及される）であり、ステンレス鋼、又は
他の適当なスプリング材料から成り、所望の弾性たわみ
を与えるような厚さ（例示された実施例では約18乃至20
ミクロン）にされる。これはエッチング又はスタンピン
グ処理によって形作られる。絶縁材料（例えば、ポリイ
ミド）の層76は、スプリング層74とリード64（例えば、
銅から成る）の層とを分離する中間層である。絶縁材料
の層及びリードの層は、周知である通常のフォトリソグ
ラフィック・プロセスを使用して形作られる。マウント
・プレート62は、スプリング層74と同じ材料で作ってよ
く、スプリング層74と同じプロセスで形作ることができ
る。リード64の部位84は、スプリング層74の縁を超えて
位置づけられていることに注目されたい。これらリード
の部位84は、これら部位84に沿って幾つかのポイント86
で、絶縁材料によって固定されて間隔をおいた関係に維
持される（図10及び図11参照）。かかるリードの形状
は、スプリング層74との接触を排除することを意図した
ものである。以下の議論から理解されるように、スプリ
ング層74は、ロール軸及びピッチ軸の周りについて、ス
ライダのジンバル支持のための柔軟性を維持することを
必要とする。
フレキシャ60は、所望のジンバル運動を与えるような
態様で、構成されてロード・ビーム58に取り付けられ
る。特に、スプリング層74の部位88は、溶接、リベット
又はエポキシ等の手段によって、ロード・ビーム58に堅
固に取り付けられる。前に述べたように、フレキシャの
スプリング層74は、ロード・ビーム58上の凹み68と共
に、堅固なボックス構造を形成する（図９参照）。フレ
キシャ60の部位90については、その上にスライダ48を伴
なうが、ロード・ビーム58へ固定的には取り付けられて
おらず、スプリング層74によってバイアスされて、ロー
ド・ビーム58上のジンバル・ピボット92に対して静止す
る。一体型サスペンション50のジンバルのフィーチャ
は、図12及び図13を参照することによって、より一層明
瞭に説明される。ジンバル・ピボット92は、スライダ領
域においてロード・ビーム58上に位置していて、フレキ
シャ60のスプリング層74が静止している。
態様で、構成されてロード・ビーム58に取り付けられ
る。特に、スプリング層74の部位88は、溶接、リベット
又はエポキシ等の手段によって、ロード・ビーム58に堅
固に取り付けられる。前に述べたように、フレキシャの
スプリング層74は、ロード・ビーム58上の凹み68と共
に、堅固なボックス構造を形成する（図９参照）。フレ
キシャ60の部位90については、その上にスライダ48を伴
なうが、ロード・ビーム58へ固定的には取り付けられて
おらず、スプリング層74によってバイアスされて、ロー
ド・ビーム58上のジンバル・ピボット92に対して静止す
る。一体型サスペンション50のジンバルのフィーチャ
は、図12及び図13を参照することによって、より一層明
瞭に説明される。ジンバル・ピボット92は、スライダ領
域においてロード・ビーム58上に位置していて、フレキ
シャ60のスプリング層74が静止している。
上にスライダ48が取り付けられているスプリング層74
は、このジンバル・ピボット92において、ピッチ（ｘ）
軸アンド・ロール（ｙ）軸の周りに、弾性的に自由にピ
ボットできるが、これは部位90においてスプリング層74
がロード・ビーム58へ固定的には取り付けられていない
からである。フレキシャ60の平らなラミネート状構造の
ために、ｙ軸に沿った動きは制限されている。フレキシ
ャ60への損傷を防ぐようにピッチ・アンド・ロール運動
の範囲を制限するために、フレキシャ60のスプリング層
74において、タブ94が与えられており、これらは、ロー
ド・ビーム58上の開孔80を通って延びている（図13参
照）。これらのタブ94の一方又は両方は、開孔80の縁96
に対してインターロックするようにされており、ピッチ
・アンド／オア・ロール運動が設計された範囲を超える
ことがないようにされていて、そのような運動を制限す
る。
は、このジンバル・ピボット92において、ピッチ（ｘ）
軸アンド・ロール（ｙ）軸の周りに、弾性的に自由にピ
ボットできるが、これは部位90においてスプリング層74
がロード・ビーム58へ固定的には取り付けられていない
からである。フレキシャ60の平らなラミネート状構造の
ために、ｙ軸に沿った動きは制限されている。フレキシ
ャ60への損傷を防ぐようにピッチ・アンド・ロール運動
の範囲を制限するために、フレキシャ60のスプリング層
74において、タブ94が与えられており、これらは、ロー
ド・ビーム58上の開孔80を通って延びている（図13参
照）。これらのタブ94の一方又は両方は、開孔80の縁96
に対してインターロックするようにされており、ピッチ
・アンド／オア・ロール運動が設計された範囲を超える
ことがないようにされていて、そのような運動を制限す
る。
本発明に従った一体型サスペンション100の第２の実
施例が、図14乃至図19を参照して例示される。説明を単
純にするために、図には一体型サスペンション100のス
ライダ側の端部のみが示されるが、サスペンション100
の他の端部については前の実施例のものと同様のもので
ある。この第２の実施例において、ロード・ビーム102
は、その長手方向の縁に沿ったフランジ103を持ってい
る。さらには、スライダ領域におけるロード・ビーム10
2の端部において、バンパ104が設けられていて、この一
体型サスペンションの取扱いをさらに容易にしている。
前の実施例におけるように、タング106がロード・ビー
ムの端部から延びている。ジンバル・ピボット108がロ
ード・ビーム102上に与えられて、スライダ48のジンバ
ル運動をピボット支持する。フレキシャ110は、スプリ
ング層112と、その上に中間一体型絶縁層116を伴なった
一体型リード114とを有する。リード114のうちの幾つか
の部位は、これらの部位に沿ってフレキシャのスプリン
グ層112に支持されることなく、吊り下げられる（図18
参照）。スライダ48は、例えば、接着剤によってフレキ
シャのスプリング層112に接着される。前の実施例と同
様に、リードの複数の終端部は、スライダ・パッド78へ
接着するために曲げられる。ロード・ビーム102及びフ
レキシャ110における開孔118及び120は、そのような接
着を容易にする。ここでは図に示さないが、前の実施例
と同様にして、フレキシャ110は端部においてロード・
ビーム102へ固定的に取り付けられる。フレキシャ112の
スライダ端部は、ロード・ビーム102上のジンバル・ピ
ボット108に対してスプリング層によってバイアスされ
て静止する。
施例が、図14乃至図19を参照して例示される。説明を単
純にするために、図には一体型サスペンション100のス
ライダ側の端部のみが示されるが、サスペンション100
の他の端部については前の実施例のものと同様のもので
ある。この第２の実施例において、ロード・ビーム102
は、その長手方向の縁に沿ったフランジ103を持ってい
る。さらには、スライダ領域におけるロード・ビーム10
2の端部において、バンパ104が設けられていて、この一
体型サスペンションの取扱いをさらに容易にしている。
前の実施例におけるように、タング106がロード・ビー
ムの端部から延びている。ジンバル・ピボット108がロ
ード・ビーム102上に与えられて、スライダ48のジンバ
ル運動をピボット支持する。フレキシャ110は、スプリ
ング層112と、その上に中間一体型絶縁層116を伴なった
一体型リード114とを有する。リード114のうちの幾つか
の部位は、これらの部位に沿ってフレキシャのスプリン
グ層112に支持されることなく、吊り下げられる（図18
参照）。スライダ48は、例えば、接着剤によってフレキ
シャのスプリング層112に接着される。前の実施例と同
様に、リードの複数の終端部は、スライダ・パッド78へ
接着するために曲げられる。ロード・ビーム102及びフ
レキシャ110における開孔118及び120は、そのような接
着を容易にする。ここでは図に示さないが、前の実施例
と同様にして、フレキシャ110は端部においてロード・
ビーム102へ固定的に取り付けられる。フレキシャ112の
スライダ端部は、ロード・ビーム102上のジンバル・ピ
ボット108に対してスプリング層によってバイアスされ
て静止する。
本実施例においては、タング122は、スプリング層112
においてエッチング処理されて、Ｕ型クリップ124を形
成するようにループにされていることに注目されたい。
このクリップ124は、ジンバル・ピボット108の周りに行
き過ぎたロール・アンド・ピッチ運動を制限するように
働く（図19参照）。クリップ124は、ロード・ビーム102
へ取り付けられる前に、フレキシャ110上に前もって形
成されてもよい。このフレキシャは、開孔126を通じ
て、ロード・ビーム102上にクリップできる。
においてエッチング処理されて、Ｕ型クリップ124を形
成するようにループにされていることに注目されたい。
このクリップ124は、ジンバル・ピボット108の周りに行
き過ぎたロール・アンド・ピッチ運動を制限するように
働く（図19参照）。クリップ124は、ロード・ビーム102
へ取り付けられる前に、フレキシャ110上に前もって形
成されてもよい。このフレキシャは、開孔126を通じ
て、ロード・ビーム102上にクリップできる。
以上に例示された実施例を通じた本発明の記載から明
らかなように、新規な一体型サスペンション・アセンブ
リの構造は、従来技術におけるものと比較して複雑でな
くなっている一方で、所望のジンバル特性を与えてい
る。この新規な構造は比較的製造が容易であって、サス
ペンション・アセンブリの分離したピース（すなわち、
フレキシャ及びロード・ビーム）が分離して形成され
て、最終的にアセンブルされる。
らかなように、新規な一体型サスペンション・アセンブ
リの構造は、従来技術におけるものと比較して複雑でな
くなっている一方で、所望のジンバル特性を与えてい
る。この新規な構造は比較的製造が容易であって、サス
ペンション・アセンブリの分離したピース（すなわち、
フレキシャ及びロード・ビーム）が分離して形成され
て、最終的にアセンブルされる。
本発明は、磁気ディスク記憶システムを参照して記述
されて、特に、磁気抵抗（“MR"）センサを含むスライ
ダを実施するものについて説明されてきたが、本発明
が、磁気テープ記録システム又は他のアプリケーション
のような記録システムを含む他の磁気記憶システムにお
いて実施できることは明白であり、それらでも一体型ヘ
ッド・サスペンション・アセンブリの利点を得ることが
できる。
されて、特に、磁気抵抗（“MR"）センサを含むスライ
ダを実施するものについて説明されてきたが、本発明
が、磁気テープ記録システム又は他のアプリケーション
のような記録システムを含む他の磁気記憶システムにお
いて実施できることは明白であり、それらでも一体型ヘ
ッド・サスペンション・アセンブリの利点を得ることが
できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 パルマー、ダーレル、デイーン アメリカ合衆国カリフォルニア州サン・ ホセ、フォックスオースト・ウエイ 1090 (72)発明者 シモンズ、ランダール、ジョージ アメリカ合衆国カリフォルニア州サン・ ホセ、ストーサー・コート 7180 (72)発明者 ヴォス、ステイブン、ハリイ アメリカ合衆国ミネソタ州ロチェスタ ー、75ストリート エヌ．イー．，2841 (72)発明者 シュー、ウイング、チャン アメリカ合衆国カリフォルニア州サン・ ホセ、デイードハン・ドライブ 3589 (56)参考文献 特開 平６−203506（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−71477（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−87846（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−30311（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−89587（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−287827（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−102158（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/60 G11B 21/21
Claims (27)
- 【請求項１】磁気記憶システム（40）においてスライダ
（48）を支持する、マルチピース一体型サスペンション
・アセンブリ（50,100）であって、 堅固なロード部材（58,102）と、 フレキシブル部材（74,112）を含み、スライダが当該フ
レキシブル部材の一端に取付けられる、フレキシャ（6
0,110）と、 前記フレキシブル部材のジンバル運動をピボット支持す
るために、前記フレキシブル部材と前記ロード部材との
間に、ピボット手段（108）とを有していて、 前記フレキシブル部材の一の部位が前記ロード部材に固
定的に取付けられて、前記フレキシブル部材の他の部位
が、ジンバル運動のために前記ピボット手段の周りに自
由にピボットできるようにされていて、 導電リード（64）が前記フレキシブル部材上に一体的に
形成されていて、 スライダ上のリードの終端の下方の位置において、フレ
キシブル部材（74）の第１の部位において開孔（82）が
与えられて、フレキシブル部材上に一体的に形成される
導電リードの曲げを容易にしている、 前記マルチピース一体型サスペンション・アセンブリ。 - 【請求項２】前記ロード部材（58,102）は、ほぼ平らで
あって、当該ロード部材の第１の部位及び第２の部位に
わたって第１の表面及び第２の表面を含んでいて、 前記フレキシブル部材（74,112）は、ほぼ平らであっ
て、フレキシブルな部位の第１の部位及び第２の部位に
わたって第１の表面及び第２の表面を含んでいて、前記
導電リードは、当該第１の部位及び第２の部位上に一体
的に形成されていて、前記スライダ（48）は、当該フレ
キシブル部材の第１の部位における前記第１の表面に取
付けられていて、 前記フレキシブル部材の第２の部位は、前記ロード部材
の第１の表面に向かって前記フレキシブル部材の第２の
表面をもって前記ロード部材の第２の部位に固定的に取
付けられ、 前記ピボット手段（108）は、前記ロード部材の第１の
部位の第１の表面と前記フレキシブル部材の第１の部位
の第２の表面との間に位置しており、 前記フレキシブル部材の第１の部位は、前記スライダが
ジンバル運動することができるように、前記ピボット手
段の周りにピボットできるようにされている、 請求項１に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項３】前記ピボット手段（108）は、前記ロード
部材の第１の部位において前記第１の表面上にある突出
部であって、前記フレキシブル部材（74）の第１の部位
をピボット支持しており、前記フレキシブル部材の第１
の部位の第２の面が当該突出部を押すようにしている、 請求項２に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項４】導電リード（64）がフレキシブル部材（7
4）の第１の部位及び第２の部位の第１の面に形成され
ている、 請求項２に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項５】フレキシャ（60）が、さらに、導電リード
（64）とフレキシブル部材（74）との間に絶縁材料（7
6）から成る一体型中間層を含む、 請求項４に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項６】導電リード（64）が、スライダ（48）の一
端において終端しており、スライダに接触する平らな面
をもつように曲げられた端部を有する、 請求項５に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項７】導電リードが、フォトリソグラフィック・
プロセスによって前記フレキシブル部材（74）上に一体
的に形成される、 請求項４に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項８】導電リード（64）が、前記フレキシブル部
材（74）の第１の部位の縁を超えて延びるような部位を
含んでいる、 請求項４に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項９】導電リード（64）が、前記フレキシブル部
材（74）の第２の部位に対してのスライダ（48）の遠い
方の縁において、スライダ（48）上で終端する、 請求項４に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１０】導電リード（64）が、前記スライダ（4
8）の横手方向側面の周りに形成されて、かつ、前記フ
レキシブル部材（74）の第１の部位及び第２の部位に沿
って形成される、 請求項９に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１１】さらに、ロード部材（58）の第２の部位
の第１の表面に取付けられるマウント・プレート（62）
を有していて、導電リード（64）の部分が当該マウント
・プレート上に一体的に形成される、 請求項３に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１２】前記ロード部材（58）が、当該ロード部
材の第１の部位から遠い方の端部から延びるタング（7
2）をもつ、 請求項３に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１３】前記ロード部材へ構造的な剛性を増すた
めに曲げられていて、前記ロード部材（58）が、第１の
部位及び第２の部位に沿っている縁をもつ、 請求項３に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１４】開孔（82）が、スライダ（48）のリード
（64）の終端の下方において、フレキシブル部材（74）
の第１の部位に与えられ、フレキシブル部材に一体的に
形成される導電リードを曲げることを容易にする、 請求項４に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１５】前記フレキシャが、さらに、フレキシブ
ル部材（112）の第１の部位のジンバル運動を制限する
ための制限手段を含む、 請求項２に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１６】前記制限手段が、ロード部材（102）上
に与えられた開孔（126）を含み、当該開孔を通してフ
レキシブル部材の第１の部位から延びる一体型タング
（122）を含み、当該タングは当該開孔の縁と相互作用
をしてフレキシブル部材（112）の第１の部位のジンバ
ル運動を制限する、 請求項15に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１７】前記一体型タング（122）は、前記開孔
（126）を通して前記ロード・ビーム（102）にクリップ
するＵ型クリップを形成する、 請求項16に記載のマルチピース一体型サスペンション・
アセンブリ。 - 【請求項１８】データを受け取る複数のトラックをも
つ、磁気記憶媒体と、 当該磁気記憶媒体を移動させる、駆動手段と、 読み取りセンサと書き込みトランスデューサとを含み、
前記磁気記憶媒体との間での相対運動の間に前記磁気記
憶媒体に対して近接して所定の間隔を置いた位置に維持
される、スライダと、 当該スライダに接続されていて、前記磁気記憶媒体に対
して前記スライダを前記磁気記憶媒体上の選択されたト
ラックに移動させるものであって、請求項１乃至請求項
17のいずれかに記載の一体型サスペンション・アセンブ
リを含む、アクチュエータ手段と、 駆動手段の操作を制御し、アクチュエータ手段の操作を
制御し、及び、磁気記憶媒体に対してデータを読み取り
書き込むことの操作を制御するための、制御手段とを有
する、 磁気記憶システム。 - 【請求項１９】スライダ（48）を支持する一体型サスペ
ンション・アセンブリ（50,100）を作成する方法であっ
て、 堅固なロード部材（58,102）を形成するステップと、 フレキシブル部材（74,112）とその上の導電リード（6
4）とを含む一体型フレキシャ（60,110）を、前記スラ
イダが一端でフレキシブル部材に取付けられて導電リー
ドと電気的に接続するように、形成するステップと、 前記フレキシブル部材のジンバル運動のために、前記フ
レキシブル部材と前記ロード・ビームとの間にピボット
手段（108）を形成するステップと、 前記フレキシブル部材の導電リード（64）を形成するス
テップと、 フレキシブル部材の一の部位をロード部材に取り付け
て、前記フレキシブル部材の他の部位をジンバル運動の
ためにピボット手段の周りに自由にピボットするように
するステップと、 スライダ上においてリードの終端の下方の位置におい
て、フレキシブル部材（74）の第１の部位において開孔
（82）を形成して、フレキシブル部材上に一体的に形成
される導電リードの曲げを容易にするステップとを有す
る、 前記方法。 - 【請求項２０】前記ロード部材（58,102）は、ほぼ平ら
に形成されていて、当該ロード部材にわたって第１の表
面及び第２の表面をもつ第１の部位及び第２の部位を含
んでおり、 前記フレキシブル部材（74,112）は、ほぼ平らに形成さ
れていて、フレキシブルな部位にわたって第１の表面及
び第２の表面をもつ第１の部位及び第２の部位を含んで
おり、前記導電リードは、当該第１の部位及び第２の部
位上に一体的に形成されていて、前記スライダは、当該
フレキシブル部材の第１の部位において前記第１の表面
に取付けられていて、 前記フレキシブル部材のロード部材への取り付けは、前
記フレキシブル部材の第２の部位を、前記ロード部材の
第１の表面に向かって前記フレキシブル部材の第２の表
面をもって前記ロード部材の第２の部位に固定的に取付
けられることを含んでいて、 前記ピボット手段（108）は、前記ロード部材の第１の
部位の第１の表面と、前記フレキシブル部材の第１の部
位の第２の表面との間に位置付けられており、前記フレ
キシブル部材の第１の部位は、取り付けられている前記
スライダがジンバル運動することができるように、前記
ピボット手段の周りにピボットできるようにされてい
る、 請求項19に記載の方法。 - 【請求項２１】前記ピボット手段（108）は、前記ロー
ド部材の第１の部位において前記第１の表面上にある突
出部であって、前記フレキシブル部材（74）の第１の部
位をピボット支持しており、前記フレキシブル部材の第
１の部位の第２の表面が当該突出部を押すようにしてい
る、 請求項20に記載の方法。 - 【請求項２２】前記導電リード（64）が、フレキシブル
部材（74）の第１の部位及び第２の部位の第１の表面に
形成されている、 請求項20に記載の方法。 - 【請求項２３】前記フレキシャが、導電リード（64）と
フレキシブル部材（74）との間に絶縁材料から成る一体
型中間層（76）を含むように形成されている、 請求項22に記載の方法。 - 【請求項２４】前記導電リード（64）が、フォトリソグ
ラフィック・プロセスによってフレキシブル部材（74）
上に一体的に形成されている、 請求項22に記載の方法。 - 【請求項２５】前記フレキシャ（110）が、前記ロード
部材（102）と相互作用してフレキシブル部材（112）の
第１の部位のジンバル運動を制限する制限手段を含むよ
うに形成されている、 請求項20に記載の方法。 - 【請求項２６】前記制限手段が、ロード部材（102）上
に与えられた開孔（126）を含み、当該開孔を通してフ
レキシブル部材（112）の第１の部位から延びる一体型
タング（122）を含み、当該タングは当該開孔の縁と相
互作用をしてフレキシブル部材の第１の部位のジンバル
運動を制限する、 請求項25に記載の方法。 - 【請求項２７】前記一体型タング（122）は、前記開孔
（126）を通して前記ロード・ビーム（102）にクリップ
するＵ型クリップを形成する、 請求項26記載の方法。
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