JP3275282B2 - 光スペクトラムアナライザ - Google Patents
光スペクトラムアナライザInfo
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- JP3275282B2 JP3275282B2 JP05701295A JP5701295A JP3275282B2 JP 3275282 B2 JP3275282 B2 JP 3275282B2 JP 05701295 A JP05701295 A JP 05701295A JP 5701295 A JP5701295 A JP 5701295A JP 3275282 B2 JP3275282 B2 JP 3275282B2
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- Japan
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- light
- light receiving
- total power
- entrance
- spectrum analyzer
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アレイ検出器を用いた
光スペクトラムアナライザに関し、特に波長確度および
パワーレベル確度を向上するための簡単に行える補間方
式に関するものである。
光スペクトラムアナライザに関し、特に波長確度および
パワーレベル確度を向上するための簡単に行える補間方
式に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の光スペクトラムアナライザは、あ
る有限のスリット幅すなわちスペクトル幅に存在する光
パワーの平均値を示すものであった。また、アレイ素子
を用いた分光器においても各素子の出力をそのまま表示
せざるを得なかった。なぜなら、被測定光のスペクトル
形状は任意のものを想定しており、このスペクトル形状
と、アレイ素子の出力とは必ずしも１対１に対応しない
からである。
る有限のスリット幅すなわちスペクトル幅に存在する光
パワーの平均値を示すものであった。また、アレイ素子
を用いた分光器においても各素子の出力をそのまま表示
せざるを得なかった。なぜなら、被測定光のスペクトル
形状は任意のものを想定しており、このスペクトル形状
と、アレイ素子の出力とは必ずしも１対１に対応しない
からである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】したがって、アレイ素
子の出力から真のスペクトル形状を推定することは困難
であるという問題があった。本発明の目的は、このよう
な点に鑑み、被測定光として単色光（レーザなどのよう
にスペクトル線幅が装置の分解能に比べてはるかに狭い
光）およびそれらの集まりを想定し、アレイ素子におけ
る隣接素子の出力をもとにして簡単な演算により該当す
る単色光の中心波長とトータルパワーを求めることがで
きる光スペクトラムアナライザを提供することにある。
子の出力から真のスペクトル形状を推定することは困難
であるという問題があった。本発明の目的は、このよう
な点に鑑み、被測定光として単色光（レーザなどのよう
にスペクトル線幅が装置の分解能に比べてはるかに狭い
光）およびそれらの集まりを想定し、アレイ素子におけ
る隣接素子の出力をもとにして簡単な演算により該当す
る単色光の中心波長とトータルパワーを求めることがで
きる光スペクトラムアナライザを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、入射口からの被測定光を分散素子
に入射し、分散素子から出射される光を集束して複数の
受光素子から成るアレイ素子に照射するように構成され
た分光装置と、前記各アレイ素子の出力と前記入射口で
の光パワー分布とから中心波長を補間し、トータルパワ
ーを演算する演算装置と、前記中心波長およびトータル
パワーの値を表示する表示装置を備えたことを特徴とす
る。
るために本発明では、入射口からの被測定光を分散素子
に入射し、分散素子から出射される光を集束して複数の
受光素子から成るアレイ素子に照射するように構成され
た分光装置と、前記各アレイ素子の出力と前記入射口で
の光パワー分布とから中心波長を補間し、トータルパワ
ーを演算する演算装置と、前記中心波長およびトータル
パワーの値を表示する表示装置を備えたことを特徴とす
る。
【０００５】
【作用】各受光素子の出力（理論値）を計算により求め
ておくと共に、アレイ素子の中で出力が最大となるｎ番
目の素子と、アレイ素子に当たる出射ビームの中心とが
Δｘだけずれた場合の、ずれΔｘと関連する受光素子の
出力との関係を予め求めておく。実測値が得られれば、
上記関係からΔｘが求められ、これにより中心波長が求
められる。また、トータルパワーも受光素子出力の理論
値と実測値から計算により求めることができる。
ておくと共に、アレイ素子の中で出力が最大となるｎ番
目の素子と、アレイ素子に当たる出射ビームの中心とが
Δｘだけずれた場合の、ずれΔｘと関連する受光素子の
出力との関係を予め求めておく。実測値が得られれば、
上記関係からΔｘが求められ、これにより中心波長が求
められる。また、トータルパワーも受光素子出力の理論
値と実測値から計算により求めることができる。
【０００６】
【実施例】以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明に係る光スペクトラムアナライザの一実施
例を示す原理構成図である。図１において、１０は分散
素子とアレイ素子を有する分光装置、２０は分光装置１
０のアレイ素子の駆動および信号読み出しを行う駆動装
置、３０は演算装置、４０は表示装置である。
図１は本発明に係る光スペクトラムアナライザの一実施
例を示す原理構成図である。図１において、１０は分散
素子とアレイ素子を有する分光装置、２０は分光装置１
０のアレイ素子の駆動および信号読み出しを行う駆動装
置、３０は演算装置、４０は表示装置である。
【０００７】分光装置１０は、スリット１１、コリメー
ティングミラー１２、回折格子などの分散素子１３、フ
ォーカシングミラー１４、アレイ素子１５から構成され
る。スリット１１の入射口を通して入射された被測定光
はコリメーティングミラー１２で平行光となり分散素子
１３に入射する。分散素子１３の出射光はフォーカシン
グミラー１４でアレイ素子１５上に集束する。この場
合、分散素子１３は固定されていて、アレイ素子１５に
当たる光スポットの位置は被測定光の波長に対応して移
動する（ずれる）。
ティングミラー１２、回折格子などの分散素子１３、フ
ォーカシングミラー１４、アレイ素子１５から構成され
る。スリット１１の入射口を通して入射された被測定光
はコリメーティングミラー１２で平行光となり分散素子
１３に入射する。分散素子１３の出射光はフォーカシン
グミラー１４でアレイ素子１５上に集束する。この場
合、分散素子１３は固定されていて、アレイ素子１５に
当たる光スポットの位置は被測定光の波長に対応して移
動する（ずれる）。
【０００８】以下特に演算装置３０が有する演算のアル
ゴリズムについて説明する。アレイ素子は、図２に示す
ように、短冊状の受光部（素子または受光素子という）
が配列されたもので、いま素子の数をｎ0 、素子の長さ
をＬ、素子の幅をｄ、素子のピッチをｒとする。このよ
うな構成のアレイ素子の中で出力が最大となるｎ番目の
素子の中心と、出射ビーム（強度分布ｆ(x,y)）の中心
（ｘ＝０）とがΔｘだけずれている場合、本発明では各
素子の出力Ｐn-2 ，Ｐn-1 ，Ｐn（ｍａｘ） ，Ｐn+1 ，
・・・からΔｘを求め、波長を補間してトータルパワー
を推定する。
ゴリズムについて説明する。アレイ素子は、図２に示す
ように、短冊状の受光部（素子または受光素子という）
が配列されたもので、いま素子の数をｎ0 、素子の長さ
をＬ、素子の幅をｄ、素子のピッチをｒとする。このよ
うな構成のアレイ素子の中で出力が最大となるｎ番目の
素子の中心と、出射ビーム（強度分布ｆ(x,y)）の中心
（ｘ＝０）とがΔｘだけずれている場合、本発明では各
素子の出力Ｐn-2 ，Ｐn-1 ，Ｐn（ｍａｘ） ，Ｐn+1 ，
・・・からΔｘを求め、波長を補間してトータルパワー
を推定する。
【０００９】ただし、前提として (1) 被測定光のスペクトル線幅は、十分小さく（ここで
はレーザ光を想定している）、出射ビームの広がり（あ
るいは形状）は主としてレンズによる回折および入射口
のパワー分布によって決まる。 (2) 受光素子の番号と波長とは予め対応が付けられてお
り、受光素子間もΔｘによって補間できるものとする。
素子番号１，・・・，n-1 ，n ，n+1 ，・・・，ｎ0 に
対し、波長λ1 ，・・・λn-1 ，λn ，λn+1 ，・・
・，λ0 が対応し、各素子間の波長差は λk −λk-1 ≒Δλ ただし、ｋ：２〜ｎ0 とする。
はレーザ光を想定している）、出射ビームの広がり（あ
るいは形状）は主としてレンズによる回折および入射口
のパワー分布によって決まる。 (2) 受光素子の番号と波長とは予め対応が付けられてお
り、受光素子間もΔｘによって補間できるものとする。
素子番号１，・・・，n-1 ，n ，n+1 ，・・・，ｎ0 に
対し、波長λ1 ，・・・λn-1 ，λn ，λn+1 ，・・
・，λ0 が対応し、各素子間の波長差は λk −λk-1 ≒Δλ ただし、ｋ：２〜ｎ0 とする。
【００１０】以上の事柄を前提とすれば、図３のフロー
チャートに示すように、実測値Ｐ1，・・・，Ｐn-1 ，
Ｐn ，Ｐn+1 ，・・・，Ｐn0を用い、Δｘを推定し、中
心波長λ0 、トータルパワーＰtotal を求めることがで
きる。以下中心波長λ0 、トータルパワーＰtotal を求
める場合の動作について説明する。
チャートに示すように、実測値Ｐ1，・・・，Ｐn-1 ，
Ｐn ，Ｐn+1 ，・・・，Ｐn0を用い、Δｘを推定し、中
心波長λ0 、トータルパワーＰtotal を求めることがで
きる。以下中心波長λ0 、トータルパワーＰtotal を求
める場合の動作について説明する。
【００１１】シングルモードファイバ入射のように、入
射口での光強度分布ｇ（ξ，η）がガウス型の場合、ト
ータルパワーを１とすれば、 ｇ（ξ，η）＝（２／πω0 2）ｅｘｐ｛−２（ξ2＋η2）／ω0 2｝……(1) ただし、ω0 はスポットサイズとなる。
射口での光強度分布ｇ（ξ，η）がガウス型の場合、ト
ータルパワーを１とすれば、 ｇ（ξ，η）＝（２／πω0 2）ｅｘｐ｛−２（ξ2＋η2）／ω0 2｝……(1) ただし、ω0 はスポットサイズとなる。
【００１２】レンズ系によってビームが変換あるいは多
少の回折の効果を受けても、アレイ素子上での光強度分
布ｆ（ｘ，ｙ）はやはりガウス型となり、損失がないも
のとすれば、 ｆ（ｘ，ｙ）＝（２／πω2）ｅｘｐ｛−２（ｘ2＋ｙ2）／ω2｝ ……(2) ただし、ωはスポットサイズとなる。
少の回折の効果を受けても、アレイ素子上での光強度分
布ｆ（ｘ，ｙ）はやはりガウス型となり、損失がないも
のとすれば、 ｆ（ｘ，ｙ）＝（２／πω2）ｅｘｐ｛−２（ｘ2＋ｙ2）／ω2｝ ……(2) ただし、ωはスポットサイズとなる。
【００１３】したがって、ｋ番目の素子に照射される光
パワーｐは、
パワーｐは、
【数１】 ただし、ｘ1 =(ｎ−ｋ）ｒ−ｄ／２＋Δｘ ｘ2 =(ｎ−ｋ）ｒ＋ｄ／２＋Δｘで表わされる。
【００１４】ここで、Ｌ／２≫ωとし、積分範囲（ｙ
軸）を
軸）を
【数２】 と置き換えることができれば、
【数３】 より、
【００１５】
【数４】 さらに、変数変換（２）1/2 ×ｘ／ω＝ｔを行えば、
【数５】 ただし、ｔ1 ＝（２）1/2 （１／ω）｛（ｎ−ｋ）ｒ−
ｄ／２＋Δｘ｝ ｔ2 ＝（２）1/2 （１／ω）｛（ｎ−ｋ）ｒ＋ｄ／２＋
Δｘ｝ となる。
ｄ／２＋Δｘ｝ ｔ2 ＝（２）1/2 （１／ω）｛（ｎ−ｋ）ｒ＋ｄ／２＋
Δｘ｝ となる。
【００１６】この積分は数値積分も容易であるが、補誤
差関数
差関数
【数６】 を用いれば、 ｐk ＝（１／２）｛Ｅrｆc（ｔ2）−Ｅrｆc（ｔ1）｝ となる。
【００１７】次に、上記のようにして求めた理論値ｐ
n-1 ，ｐn ，ｐn+1 等とΔｘの関係について述べる。図
４はｐn-1 ，ｐn ，ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）に対するΔｘ
の関係を示す図である。なお、ｐn+1 はｐn-1 を左右反
転したものである。ただし、ｄ＝３０μｍとし、ｒ＝５
０μｍ、ω＝３０，５０，７０の場合を示した。つまり
ｐn+1 ／ｐn-1 の対数値すなわちln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）
とΔｘとはほぼ直線的になり、 ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）∝Δｘ となる。
n-1 ，ｐn ，ｐn+1 等とΔｘの関係について述べる。図
４はｐn-1 ，ｐn ，ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）に対するΔｘ
の関係を示す図である。なお、ｐn+1 はｐn-1 を左右反
転したものである。ただし、ｄ＝３０μｍとし、ｒ＝５
０μｍ、ω＝３０，５０，７０の場合を示した。つまり
ｐn+1 ／ｐn-1 の対数値すなわちln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）
とΔｘとはほぼ直線的になり、 ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）∝Δｘ となる。
【００１８】したがって、実測値Ｐn-1 ，Ｐn ，Ｐn+1
が得られれば、Δｘは容易に求められ、中心波長λ0 お
よびトータルパワーＰtotal はそれぞれ次式で求められ
る。 λ0 ＝λn −Δｘ・Δλ／（ｒ／２） Ｐtotal ＝Ｐn ／ｐn
が得られれば、Δｘは容易に求められ、中心波長λ0 お
よびトータルパワーＰtotal はそれぞれ次式で求められ
る。 λ0 ＝λn −Δｘ・Δλ／（ｒ／２） Ｐtotal ＝Ｐn ／ｐn
【００１９】上記は予めln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）とΔｘの
関係を求めておき、実測したデータＰn+1 ，Ｐn-1 によ
るln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）の値からΔｘを推定するもので
あるが、本発明はこれに限らず次のようにしてもよい。
ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）とΔｘの直線性に着目し、この関
係を３点（−ｒ／２，ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）），（０，
０），（ｒ／２，ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ））を通る直線で
近似し、予め行う計算は、Δｘ＝ｒ／２または−ｒ／２
の場合のln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）のみにしている。
関係を求めておき、実測したデータＰn+1 ，Ｐn-1 によ
るln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）の値からΔｘを推定するもので
あるが、本発明はこれに限らず次のようにしてもよい。
ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）とΔｘの直線性に着目し、この関
係を３点（−ｒ／２，ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）），（０，
０），（ｒ／２，ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ））を通る直線で
近似し、予め行う計算は、Δｘ＝ｒ／２または−ｒ／２
の場合のln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）のみにしている。
【００２０】このとき厳密に求めたln（ｐn+1 ／
ｐn-1 ）と上記直線のずれは、図５に示す通りである。
ただし、ｒ＝５０μｍ、ｄ＝３０μｍである。この場合
ωが小さいほど誤差は大きくなるが、ω＝３０μｍの場
合でも誤差は±３％である。つまり、上記方法によって
中心波長を補間するとき、 λ0 ＝λn −Δｘ・Δλ／（ｒ／２） において、例えば、 λn ＝１５５０．０ｎｍ Δλ＝０．１０ｎｍ として、Δｘに±３％の誤差があっても、λ0 を０．０
１ｎｍの桁までは確定できる。実際の光学系では、ωは
使用するシングルモードファイバによって若干変化する
が、測定中は不変であるから、予め知る必要があるのは
近似に使う１本の直線の傾きのみである。
ｐn-1 ）と上記直線のずれは、図５に示す通りである。
ただし、ｒ＝５０μｍ、ｄ＝３０μｍである。この場合
ωが小さいほど誤差は大きくなるが、ω＝３０μｍの場
合でも誤差は±３％である。つまり、上記方法によって
中心波長を補間するとき、 λ0 ＝λn −Δｘ・Δλ／（ｒ／２） において、例えば、 λn ＝１５５０．０ｎｍ Δλ＝０．１０ｎｍ として、Δｘに±３％の誤差があっても、λ0 を０．０
１ｎｍの桁までは確定できる。実際の光学系では、ωは
使用するシングルモードファイバによって若干変化する
が、測定中は不変であるから、予め知る必要があるのは
近似に使う１本の直線の傾きのみである。
【００２１】考慮すべきずれの絶対値｜Δｘ｜が最大に
なるとき、すなわちΔｘ＝±ｒ／２のときのln（ｐn+1
／ｐn-1 ）のみである。図６は、ｒ＝５０μｍ、ｄ＝３
０μｍとし、Δｘ＝−ｒ／２＝−２５μｍにおけるln
（ｐn+1 ／ｐn-1 ）とωの関係を示したものである。さ
らに実用的には、理論的なｐn-1 ，ｐn ，ｐn+1 を求め
るときに補誤差関数Ｅrｆc（ｘ）を用いるよりも数値積
分を行った方が便利な場合もあり、またきざみをあまり
細かくしなくても十分な精度が得られる。
なるとき、すなわちΔｘ＝±ｒ／２のときのln（ｐn+1
／ｐn-1 ）のみである。図６は、ｒ＝５０μｍ、ｄ＝３
０μｍとし、Δｘ＝−ｒ／２＝−２５μｍにおけるln
（ｐn+1 ／ｐn-1 ）とωの関係を示したものである。さ
らに実用的には、理論的なｐn-1 ，ｐn ，ｐn+1 を求め
るときに補誤差関数Ｅrｆc（ｘ）を用いるよりも数値積
分を行った方が便利な場合もあり、またきざみをあまり
細かくしなくても十分な精度が得られる。
【００２２】図７はＥrｆc（ｘ）およびシンプソンの１
／３公式（ｍ＝１）で求めたln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）の比
較である。ただし、ω＝５０μｍ、ｒ＝５０μｍ、ｄ＝
３０μｍの場合である。
／３公式（ｍ＝１）で求めたln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）の比
較である。ただし、ω＝５０μｍ、ｒ＝５０μｍ、ｄ＝
３０μｍの場合である。
【００２３】一方トータルパワーはＰn ／ｐn で求めら
れるが、上記条件のときシンプソンの１／３公式で求め
たｐn の誤差は役０．２５％であり、実用上問題はな
い。
れるが、上記条件のときシンプソンの１／３公式で求め
たｐn の誤差は役０．２５％であり、実用上問題はな
い。
【００２４】 図８は実測値（Ｐn で規格化） ： ： Ｐn-1 ＝０．４８９ Ｐn ＝１ （λn ＝１５５４．６ｎｍ） Ｐn+1 ＝０．１３０ ： ： と、本発明の演算装置３０のアルゴリズムにより求めた
Δｘ＝１２．１２μｍによる理論値ｐn-1 ，ｐn ，ｐ
n+1 との比較である（実際にはｐn ＝０．３６５で規格
化した値をプロット）。
Δｘ＝１２．１２μｍによる理論値ｐn-1 ，ｐn ，ｐ
n+1 との比較である（実際にはｐn ＝０．３６５で規格
化した値をプロット）。
【００２５】このとき λ0 ＝１５５４．６−（１２．１２／２５）×０．１ ＝１５５４．５５２（ｎｍ） と求まる。
【００２６】また、トータルパワーＰtotal は予め測定
し１１．６ｎＷと求められているため、実測値の縦軸の
目盛としては、Ｐn の値が Ｐn ／ｐn ＝１１．６ｎＷ すなわち Ｐn ＝１１．６ｎＷ×０．３６５＝４．２３ｎＷ と表示されるようにしておけばよい。
し１１．６ｎＷと求められているため、実測値の縦軸の
目盛としては、Ｐn の値が Ｐn ／ｐn ＝１１．６ｎＷ すなわち Ｐn ＝１１．６ｎＷ×０．３６５＝４．２３ｎＷ と表示されるようにしておけばよい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば次の
ような効果がある。光スペクトラムアナライザで単色光
（レーザ光）を測定する場合、中心波長とパワーレベル
の確度が要求されるが、アレイ素子の出力そのものでは
中心波長の確度は受光素子間波長差Δλより良くはなら
ず、トータルパワーについても何らかの演算が不可欠で
あった。しかし本発明によれば、アレイ素子上のビーム
位置を正確に求めることにより、容易に中心波長λ0 お
よびトータルパワーＰtotalの確度を向上することがで
きる。
ような効果がある。光スペクトラムアナライザで単色光
（レーザ光）を測定する場合、中心波長とパワーレベル
の確度が要求されるが、アレイ素子の出力そのものでは
中心波長の確度は受光素子間波長差Δλより良くはなら
ず、トータルパワーについても何らかの演算が不可欠で
あった。しかし本発明によれば、アレイ素子上のビーム
位置を正確に求めることにより、容易に中心波長λ0 お
よびトータルパワーＰtotalの確度を向上することがで
きる。
【図１】本発明に係る光スペクトラムアナライザの一実
施例を示す要部構成図
施例を示す要部構成図
【図２】アレイ素子と出射ビームの関係を示す図
【図３】動作説明のためのフローチャート
【図４】ｐn-1 ，ｐn ，ｐn+1 とΔｘの関係を示す図
【図５】ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）と直線近似とのずれを示
す図
す図
【図６】ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）とωの関係を示す図
【図７】ln（ｐn+1 ／ｐn-1 ）とΔｘの関係を示す図
【図８】実測値Ｐk と理論値ｐk との比較図である。
１０ 分光装置 １１ スリット １２ コリメーティングミラー １３ 分散素子 １４ フォーカシングミラー １５ アレイ素子 ２０ 駆動装置 ３０ 演算装置 ４０ 表示装置
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−252924（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−135331（ＪＰ，Ａ) 国際公開96／28713（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 3/02 - 3/36
Claims (3)
- 【請求項１】入射口からの被測定光を分散素子に入射
し、分散素子から出射される光を集束して複数の受光素
子から成るアレイ素子に照射するように構成された分光
装置と、 前記各受光素子の出力と前記入射口での光パワー分布と
から中心波長を補間し、トータルパワーを演算する演算
装置と、 前記中心波長およびトータルパワーの値を表示する表示
装置を備えたことを特徴とする光スペクトルアナライ
ザ。 - 【請求項２】前記入射口にシングルモードファイバを用
い、前記演算装置は入射口での光パワー分布をガウス型
として前記中心波長とトータルパワーを演算により求め
るように構成されたことを特徴とする請求項１記載の光
スペクトラムアナライザ。 - 【請求項３】前記演算装置は、最大出力を示す受光素子
の両側の受光素子の出力の比の対数の値が、最大出力を
示す受光素子の中心と入射ビームの中心とのずれに実質
上直線になると近似して、中心波長およびトータルパワ
ーを演算により求めるように構成されたことを特徴とす
る請求項１記載の光スペクトラムアナライザ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05701295A JP3275282B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 光スペクトラムアナライザ |
| PCT/JP1996/000612 WO1996028713A1 (fr) | 1995-03-15 | 1996-03-12 | Analyseur du spectre optique et spectroscope |
| DE0760469T DE760469T1 (de) | 1995-03-15 | 1996-03-12 | Optischer spektrumanalysator und spektroskop |
| EP96905069A EP0760469B1 (en) | 1995-03-15 | 1996-03-12 | Optical spectrum analyser and spectroscope |
| DE69634321T DE69634321T2 (de) | 1995-03-15 | 1996-03-12 | Optischer spektrumanalysator und spektroskop |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05701295A JP3275282B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 光スペクトラムアナライザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08254465A JPH08254465A (ja) | 1996-10-01 |
| JP3275282B2 true JP3275282B2 (ja) | 2002-04-15 |
Family
ID=13043539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05701295A Expired - Fee Related JP3275282B2 (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-16 | 光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3275282B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5115796B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2013-01-09 | 横河電機株式会社 | 分光器 |
-
1995
- 1995-03-16 JP JP05701295A patent/JP3275282B2/ja not_active Expired - Fee Related
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