JP3114434B2 - 圧電アクチュエータの駆動方法 - Google Patents
圧電アクチュエータの駆動方法Info
- Publication number
- JP3114434B2 JP3114434B2 JP05161519A JP16151993A JP3114434B2 JP 3114434 B2 JP3114434 B2 JP 3114434B2 JP 05161519 A JP05161519 A JP 05161519A JP 16151993 A JP16151993 A JP 16151993A JP 3114434 B2 JP3114434 B2 JP 3114434B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driving
- electric field
- piezoelectric
- polarization
- ceramic material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 50
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 49
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 45
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 46
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 5
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002336 repolarization Effects 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電アクチュエータの
駆動方法に関するものであり、更に詳細には圧電材料の
分極軸方向と直交する方向に電界を印加して使用する圧
電アクチュエータの駆動方法に関するものである。
駆動方法に関するものであり、更に詳細には圧電材料の
分極軸方向と直交する方向に電界を印加して使用する圧
電アクチュエータの駆動方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、セラミックス圧電材料、有機圧電
材料、複合圧電材料等を利用した各種圧電アクチュエー
タが実用化されている。圧電アクチュエータとは該圧電
アクチュエータを構成する圧電材料に駆動用電極を通し
て駆動電界を印加することにより該圧電材料の圧電・電
歪効果によって生じる変位や発生力を利用したアクチュ
エータである。
材料、複合圧電材料等を利用した各種圧電アクチュエー
タが実用化されている。圧電アクチュエータとは該圧電
アクチュエータを構成する圧電材料に駆動用電極を通し
て駆動電界を印加することにより該圧電材料の圧電・電
歪効果によって生じる変位や発生力を利用したアクチュ
エータである。
【０００３】前記圧電材料には代表的な変形モードとし
て、縦変形モード（縦効果）、横変形モード（横効
果）、及びせん断変形モード（厚み滑り効果）の三つが
ある。従来の圧電アクチュエータは、圧電材料の縦効果
を利用した積層圧電アクチュエータや横効果を利用した
ユニモルフ、バイモルフ圧電アクチュエータが主流であ
った。縦効果や横効果を利用した圧電アクチュエータで
は、使用される圧電材料の分極軸と駆動の為の駆動電界
の印加軸が一致している。つまり圧電材料は分極時の電
界方向と順方向に駆動電界を印加した場合電界印加軸方
向に伸び（縦効果）、それと直交する軸方向には縮む
（横効果）。また分極時の電界方向と逆方向に駆動電界
を印加した場合電界印加軸方向に縮み（縦効果）、それ
と直交する軸方向には伸びる（横効果）。従って該効果
を利用した圧電アクチュエータでは、駆動時の温度や駆
動電圧等で分極状態の劣化が起こった最悪の場合でも、
駆動用電極を利用した再分極処理により初期状態への復
帰が可能である。
て、縦変形モード（縦効果）、横変形モード（横効
果）、及びせん断変形モード（厚み滑り効果）の三つが
ある。従来の圧電アクチュエータは、圧電材料の縦効果
を利用した積層圧電アクチュエータや横効果を利用した
ユニモルフ、バイモルフ圧電アクチュエータが主流であ
った。縦効果や横効果を利用した圧電アクチュエータで
は、使用される圧電材料の分極軸と駆動の為の駆動電界
の印加軸が一致している。つまり圧電材料は分極時の電
界方向と順方向に駆動電界を印加した場合電界印加軸方
向に伸び（縦効果）、それと直交する軸方向には縮む
（横効果）。また分極時の電界方向と逆方向に駆動電界
を印加した場合電界印加軸方向に縮み（縦効果）、それ
と直交する軸方向には伸びる（横効果）。従って該効果
を利用した圧電アクチュエータでは、駆動時の温度や駆
動電圧等で分極状態の劣化が起こった最悪の場合でも、
駆動用電極を利用した再分極処理により初期状態への復
帰が可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、もう一
つの圧電材料の代表的変形モードであるせん断変形モー
ドを利用した圧電アクチュエータでは、分極処理された
圧電材料の該分極軸方向と直交する方向に電界を印加し
て使用されるため、駆動時の温度や駆動電圧等で分極状
態の劣化が起こった場合、再分極処理等による初期状態
への復帰がほとんど不可能である。にもかかわらずせん
断変形モードを利用した圧電アクチュエータの駆動条件
に関して記載された文献・特許は少なく、該圧電アクチ
ュエータ駆動条件は明確化されていなかった。
つの圧電材料の代表的変形モードであるせん断変形モー
ドを利用した圧電アクチュエータでは、分極処理された
圧電材料の該分極軸方向と直交する方向に電界を印加し
て使用されるため、駆動時の温度や駆動電圧等で分極状
態の劣化が起こった場合、再分極処理等による初期状態
への復帰がほとんど不可能である。にもかかわらずせん
断変形モードを利用した圧電アクチュエータの駆動条件
に関して記載された文献・特許は少なく、該圧電アクチ
ュエータ駆動条件は明確化されていなかった。
【０００５】本発明はせん断変形モードを利用した圧電
アクチュエータを構成する圧電材料の初期分極状態を劣
化させることなく安定的に使用するための駆動条件を提
示することを目的とする。
アクチュエータを構成する圧電材料の初期分極状態を劣
化させることなく安定的に使用するための駆動条件を提
示することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電アクチュエータの駆動方法では、分極処
理された圧電材料に該分極軸方向と直交する方向に電界
を印加して使用する圧電アクチュエータの駆動方法に於
て、前記電界を、一周期内での電圧印加時間が１００ｍ
ｓ以下であるパルス電圧により印加するとともに、前記
圧電材料のキュリー温度をＴｃ（単位Ｋ）、分極方向と
直交する方向に電界を印加した場合の坑電界をＥｃと
し、駆動時の圧電材料の温度及び電界を各々Ｔｄ（単位
Ｋ）、Ｅｄとした場合に、パルス電圧駆動の一周期内で
の電圧印加時間のデューティ比ｄｒが、ｄｒ＜［｛（Ｔ
ｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・｛（｜Ｅｃ｜−｜Ｅ
ｄ｜）／｜Ｅｃ｜｝］1/2の条件を満足するパルス電圧
にて駆動することを特徴としている。
に本発明の圧電アクチュエータの駆動方法では、分極処
理された圧電材料に該分極軸方向と直交する方向に電界
を印加して使用する圧電アクチュエータの駆動方法に於
て、前記電界を、一周期内での電圧印加時間が１００ｍ
ｓ以下であるパルス電圧により印加するとともに、前記
圧電材料のキュリー温度をＴｃ（単位Ｋ）、分極方向と
直交する方向に電界を印加した場合の坑電界をＥｃと
し、駆動時の圧電材料の温度及び電界を各々Ｔｄ（単位
Ｋ）、Ｅｄとした場合に、パルス電圧駆動の一周期内で
の電圧印加時間のデューティ比ｄｒが、ｄｒ＜［｛（Ｔ
ｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・｛（｜Ｅｃ｜−｜Ｅ
ｄ｜）／｜Ｅｃ｜｝］1/2の条件を満足するパルス電圧
にて駆動することを特徴としている。
【０００７】
【作用】本発明の圧電アクチュエータの駆動方法では、
パルス電圧駆動の一周期内での電圧印加時間のデューテ
ィ比を上記のように求めれば、圧電アクチュエータの分
極状態の劣化が生じることなく長時間の安定駆動が出来
る。
パルス電圧駆動の一周期内での電圧印加時間のデューテ
ィ比を上記のように求めれば、圧電アクチュエータの分
極状態の劣化が生じることなく長時間の安定駆動が出来
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を具体化した実施例を説明する
前に、本発明に於て提案した式でのデューティ比ｄｒと
各変数の関係を説明する。
前に、本発明に於て提案した式でのデューティ比ｄｒと
各変数の関係を説明する。
【０００９】一般に圧電アクチュエータに使用される圧
電セラミックス材料は、自発分極を有する強誘電体材料
であることが多い。図１（ａ）で示すように多結晶焼結
体であるセラミックス材料は、焼結後の状態では、前記
自発分極の向き５２が、焼結体内部残留応力の関係で各
分域５１毎に三次元的に様々な方向を向いている。この
状態の材料に強い電界を印加し、自発分極の向き５２を
一方向に揃えることを分極処理という。図１（ｂ）で示
した分極後の状態を乱す要因としては、温度と電界があ
る。温度について説明すると、チタン酸ジルコン酸鉛系
材料で代表される圧電セラミックス材料は各々の材料に
特有な強誘電性の消失する温度（キュリー温度）を有す
る。この温度以上の温度になると圧電セラミックスは強
誘電性を消失し常誘電性を示す。一旦キュリー温度以上
にさらされた圧電セラミックス材料は、その後温度を下
げることで可逆的に再び強誘電性を示すが、分極処理後
の状態には復帰せず、材料の持つ自発分極の向きはアト
ランダムになる。さらに分極後の材料がキュリー温度以
下の温度にさらされた場合でも、他の様々な要因によっ
ては、分極状態の変化が起こることが知られている。
電セラミックス材料は、自発分極を有する強誘電体材料
であることが多い。図１（ａ）で示すように多結晶焼結
体であるセラミックス材料は、焼結後の状態では、前記
自発分極の向き５２が、焼結体内部残留応力の関係で各
分域５１毎に三次元的に様々な方向を向いている。この
状態の材料に強い電界を印加し、自発分極の向き５２を
一方向に揃えることを分極処理という。図１（ｂ）で示
した分極後の状態を乱す要因としては、温度と電界があ
る。温度について説明すると、チタン酸ジルコン酸鉛系
材料で代表される圧電セラミックス材料は各々の材料に
特有な強誘電性の消失する温度（キュリー温度）を有す
る。この温度以上の温度になると圧電セラミックスは強
誘電性を消失し常誘電性を示す。一旦キュリー温度以上
にさらされた圧電セラミックス材料は、その後温度を下
げることで可逆的に再び強誘電性を示すが、分極処理後
の状態には復帰せず、材料の持つ自発分極の向きはアト
ランダムになる。さらに分極後の材料がキュリー温度以
下の温度にさらされた場合でも、他の様々な要因によっ
ては、分極状態の変化が起こることが知られている。
【００１０】さて、分極処理された材料に分極時に印加
された電界方向と異なる電界が印加された場合、その印
加される電界強度が材料の持つ坑電界以上の電界であれ
ば、分極処理で一方向に揃えられた自発分極の向きが反
転し、分極処理後の状態が変化する。またこの分極反転
は温度が高いほど起こりやすくなる。分極反転は通常ｍ
ｓｅｃオーダーの直流電界が印加された場合に起こると
言われているが、後に示すようにμｓｅｃオーダーのパ
ルス信号でもそれが連続的に印加された場合、充分起こ
り得るということが分かった。
された電界方向と異なる電界が印加された場合、その印
加される電界強度が材料の持つ坑電界以上の電界であれ
ば、分極処理で一方向に揃えられた自発分極の向きが反
転し、分極処理後の状態が変化する。またこの分極反転
は温度が高いほど起こりやすくなる。分極反転は通常ｍ
ｓｅｃオーダーの直流電界が印加された場合に起こると
言われているが、後に示すようにμｓｅｃオーダーのパ
ルス信号でもそれが連続的に印加された場合、充分起こ
り得るということが分かった。
【００１１】従って、このような圧電アクチュエータを
駆動させる場合、一周期内での電圧印加時間が１００ｍ
ｓ以下であるパルス電圧により駆動させるとともに、用
いた圧電セラミックス材料の初期分極状態は、駆動時の
温度と電界強度によりその劣化状態が左右されるため、
その条件に合わせた駆動条件を設定することが必要であ
ることが分かった。従って、本発明の圧電アクチュエー
タの駆動方法では、圧電材料のキュリー温度をＴｃ（単
位Ｋ）、分極方向と直交する方向に電界を印加した場合
の坑電界をＥｃとし、駆動時の圧電材料の温度及び電界
を各々Ｔｄ（単位Ｋ）、Ｅｄとした場合の、パルス電圧
駆動の一周期内での電圧印加時間のデューティ比ｄｒ
を、ｄｒ＜［｛（Ｔｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・
｛（｜Ｅｃ｜−｜Ｅｄ｜）／｜Ｅｃ｜｝］1/2と規定し
た。即ち、パルス電圧駆動を行うときの電圧印加時間
に、駆動時の温度と電界強度との両者のパラメータを反
映させることが出来るため、圧電セラミックス材料の分
極状態の劣化を防止することが出来るのである。
駆動させる場合、一周期内での電圧印加時間が１００ｍ
ｓ以下であるパルス電圧により駆動させるとともに、用
いた圧電セラミックス材料の初期分極状態は、駆動時の
温度と電界強度によりその劣化状態が左右されるため、
その条件に合わせた駆動条件を設定することが必要であ
ることが分かった。従って、本発明の圧電アクチュエー
タの駆動方法では、圧電材料のキュリー温度をＴｃ（単
位Ｋ）、分極方向と直交する方向に電界を印加した場合
の坑電界をＥｃとし、駆動時の圧電材料の温度及び電界
を各々Ｔｄ（単位Ｋ）、Ｅｄとした場合の、パルス電圧
駆動の一周期内での電圧印加時間のデューティ比ｄｒ
を、ｄｒ＜［｛（Ｔｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・
｛（｜Ｅｃ｜−｜Ｅｄ｜）／｜Ｅｃ｜｝］1/2と規定し
た。即ち、パルス電圧駆動を行うときの電圧印加時間
に、駆動時の温度と電界強度との両者のパラメータを反
映させることが出来るため、圧電セラミックス材料の分
極状態の劣化を防止することが出来るのである。
【００１２】以下、本発明を具体化した実施例を図面を
参照して説明する。図２乃至図４を用いて、本実施例に
用いたチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス材料の
キュリー温度Ｔｃ及び、分極方向と直交する方向に電界
を印加した場合の坑電界をＥｃの測定方法を説明する。
尚、説明を簡略化するために、温度の単位系は以下につ
いては摂氏を用いることとする。
参照して説明する。図２乃至図４を用いて、本実施例に
用いたチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス材料の
キュリー温度Ｔｃ及び、分極方向と直交する方向に電界
を印加した場合の坑電界をＥｃの測定方法を説明する。
尚、説明を簡略化するために、温度の単位系は以下につ
いては摂氏を用いることとする。
【００１３】図２に示すように幅寸法１ｍｍ、高さ寸法
１０ｍｍ、奥行き寸法２０ｍｍの圧電セラミックス材料
１１を準備する。該圧電セラミックス材料１１は高さ方
向１４に分極処理されており、その両側面には駆動電極
１３ａ、１３ｂが形成されている。上記圧電セラミック
ス１１を用いて、キュリー温度を測定した。
１０ｍｍ、奥行き寸法２０ｍｍの圧電セラミックス材料
１１を準備する。該圧電セラミックス材料１１は高さ方
向１４に分極処理されており、その両側面には駆動電極
１３ａ、１３ｂが形成されている。上記圧電セラミック
ス１１を用いて、キュリー温度を測定した。
【００１４】以下にそのキュリー温度の測定方法を記載
する。圧電セラミックス材料は一般に常温では強誘電体
材料であり、個々の圧電セラミックス材料が有するキュ
リー温度以上の温度領域では常誘電体となる。図３で示
したように温度を横軸、静電容量を縦軸にとると、キュ
リー温度近傍で強誘電体相から常誘電体相への相転移に
基づいて、静電容量が極大値となる。本実施例では各圧
電セラミックス材料１１のキュリー温度Ｔｃを、静電容
量が極大値を示す温度として測定した。
する。圧電セラミックス材料は一般に常温では強誘電体
材料であり、個々の圧電セラミックス材料が有するキュ
リー温度以上の温度領域では常誘電体となる。図３で示
したように温度を横軸、静電容量を縦軸にとると、キュ
リー温度近傍で強誘電体相から常誘電体相への相転移に
基づいて、静電容量が極大値となる。本実施例では各圧
電セラミックス材料１１のキュリー温度Ｔｃを、静電容
量が極大値を示す温度として測定した。
【００１５】次に、分極方向と直交する方向に電界を印
加した場合の坑電界Ｅｃの測定方法を説明する。図４ａ
に示すように、アルミナ製プレート１２に接着された圧
電セラミックス材料１１のせん断モードの共振周波数ｆ
ｒ及び反共振周波数ｆａを、インピーダンスアナライザ
を用いて測定した。この時、周波数を横軸に、インピー
ダンスを縦軸にグラフ化したものを図４ｂに示した。こ
の時インピーダンスの極小値を示す周波数及び極大値を
示す周波数を、それぞれ個々の圧電セラミックス材料１
１の共振周波数ｆｒ及び反共振周波数ｆａとした。初期
値としての共振周波数ｆｒおよび反共振周波数ｆａを測
定した後、図２で示すように、圧電セラミックス材料１
１の分極方向１４と直交する方向１５に直流電界を１０
分間印加し、各直流電界値印加後の共振周波数ｆｒを測
定した。本実施例においては、せん断モードの共振周波
数ｆｒがほぼ消失する直流電界値を、個々の圧電セラミ
ックス材料１１の分極方向と直交する方向に電界を印加
した場合の坑電界Ｅｃとした。
加した場合の坑電界Ｅｃの測定方法を説明する。図４ａ
に示すように、アルミナ製プレート１２に接着された圧
電セラミックス材料１１のせん断モードの共振周波数ｆ
ｒ及び反共振周波数ｆａを、インピーダンスアナライザ
を用いて測定した。この時、周波数を横軸に、インピー
ダンスを縦軸にグラフ化したものを図４ｂに示した。こ
の時インピーダンスの極小値を示す周波数及び極大値を
示す周波数を、それぞれ個々の圧電セラミックス材料１
１の共振周波数ｆｒ及び反共振周波数ｆａとした。初期
値としての共振周波数ｆｒおよび反共振周波数ｆａを測
定した後、図２で示すように、圧電セラミックス材料１
１の分極方向１４と直交する方向１５に直流電界を１０
分間印加し、各直流電界値印加後の共振周波数ｆｒを測
定した。本実施例においては、せん断モードの共振周波
数ｆｒがほぼ消失する直流電界値を、個々の圧電セラミ
ックス材料１１の分極方向と直交する方向に電界を印加
した場合の坑電界Ｅｃとした。
【００１６】次に、本実施例で用いた各圧電セラミック
ス材料のキュリー温度Ｔｃ及び、分極方向と直交する方
向に電界を印加した場合の坑電界をＥｃの測定結果を図
５に示した。圧電セラミックス材料Ａは高キュリー温度
のいわゆるハード系の圧電セラミックス材料であり、Ｃ
は圧電定数は大きいがキュリー温度の低いいわゆるソフ
ト系の圧電セラミックス材料であり、Ｂは前記材料の中
間的な特性を示す圧電セラミックス材料である。
ス材料のキュリー温度Ｔｃ及び、分極方向と直交する方
向に電界を印加した場合の坑電界をＥｃの測定結果を図
５に示した。圧電セラミックス材料Ａは高キュリー温度
のいわゆるハード系の圧電セラミックス材料であり、Ｃ
は圧電定数は大きいがキュリー温度の低いいわゆるソフ
ト系の圧電セラミックス材料であり、Ｂは前記材料の中
間的な特性を示す圧電セラミックス材料である。
【００１７】次に、各々の圧電セラミックス材料Ａ、
Ｂ、Ｃをもちいて、図２に示したような形状のサンプル
を作製し、その圧電セラミックス材料のせん断モードで
の周波数−インピーダンス特性、及びその時の位相差の
変化を、インピーダンスアナライザーをもちいて測定し
た。図６にその典型的な測定結果の例を示す。共振周波
数でのインピーダンス及び位相角変化Δθの絶対値は、
材質及びサンプル形状等によって決まる。ここで、圧電
材料の分極状態が劣化すると、圧電材料そのものの部分
的な分極方向の乱れが生じ、共振モードの単一性が失わ
れることに起因し、インピーダンス変化が緩やかになる
とともに、位相角変化Δθもその絶対値が減少する。さ
らに、分極劣化がすすむとついには、せん断モードの共
振が消失し、インピーダンス変化も位相角変化も消失す
ることとなる。従って、本実施例においては、図６のよ
うに求めた位相角変化Δθの値の変化率を、圧電セラミ
ックス材料の劣化率と規定した。
Ｂ、Ｃをもちいて、図２に示したような形状のサンプル
を作製し、その圧電セラミックス材料のせん断モードで
の周波数−インピーダンス特性、及びその時の位相差の
変化を、インピーダンスアナライザーをもちいて測定し
た。図６にその典型的な測定結果の例を示す。共振周波
数でのインピーダンス及び位相角変化Δθの絶対値は、
材質及びサンプル形状等によって決まる。ここで、圧電
材料の分極状態が劣化すると、圧電材料そのものの部分
的な分極方向の乱れが生じ、共振モードの単一性が失わ
れることに起因し、インピーダンス変化が緩やかになる
とともに、位相角変化Δθもその絶対値が減少する。さ
らに、分極劣化がすすむとついには、せん断モードの共
振が消失し、インピーダンス変化も位相角変化も消失す
ることとなる。従って、本実施例においては、図６のよ
うに求めた位相角変化Δθの値の変化率を、圧電セラミ
ックス材料の劣化率と規定した。
【００１８】次に各圧電セラミックス材料Ａ、Ｂ、Ｃの
駆動電極１３ａ、ｂを通じて、様々な種類の駆動パルス
を８時間印加した。駆動パルスとしては、図７におけ
る、パルス電圧値Ｖを変化させることで圧電セラミック
ス材料に印加する駆動電界を変化させ、パルス周期Ｐを
変化させることで駆動周波数ｆを変化させた。またパル
ス幅Ｗを変化させることでパルス電圧駆動の一周期内で
の電圧印加時間のデューティ比ｄｒを変化させた。
駆動電極１３ａ、ｂを通じて、様々な種類の駆動パルス
を８時間印加した。駆動パルスとしては、図７におけ
る、パルス電圧値Ｖを変化させることで圧電セラミック
ス材料に印加する駆動電界を変化させ、パルス周期Ｐを
変化させることで駆動周波数ｆを変化させた。またパル
ス幅Ｗを変化させることでパルス電圧駆動の一周期内で
の電圧印加時間のデューティ比ｄｒを変化させた。
【００１９】そして、各圧電セラミックス材料Ａ、Ｂ、
Ｃの、各パラメータ、即ち駆動電界Ｅｄ、駆動温度Ｔ
ｄ、デューティー比ｄｒ、及び周波数ｆにおける、劣化
率の測定をそれぞれ行った。その結果を各々図８乃至図
１３に示した。
Ｃの、各パラメータ、即ち駆動電界Ｅｄ、駆動温度Ｔ
ｄ、デューティー比ｄｒ、及び周波数ｆにおける、劣化
率の測定をそれぞれ行った。その結果を各々図８乃至図
１３に示した。
【００２０】この実験結果は、本発明の条件式から求め
られる計算値とほぼ一致しており、パルス電圧駆動の一
周期内での電圧印加時間のデューティ比ｄｒが、ｄｒ＜
［｛（Ｔｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・｛（｜Ｅｃ
｜−｜Ｅｄ｜）／｜Ｅｃ｜｝］1/2の条件を満たす場合
は、８時間の連続駆動後も劣化が少ないことが実験によ
っても明確になった。
られる計算値とほぼ一致しており、パルス電圧駆動の一
周期内での電圧印加時間のデューティ比ｄｒが、ｄｒ＜
［｛（Ｔｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・｛（｜Ｅｃ
｜−｜Ｅｄ｜）／｜Ｅｃ｜｝］1/2の条件を満たす場合
は、８時間の連続駆動後も劣化が少ないことが実験によ
っても明確になった。
【００２１】従って、分極処理された圧電材料の該分極
軸方向と直交する方向に電界を印加して使用される、圧
電材料の代表的変形モードであるせん断変形モードを利
用した圧電アクチュエータでは、分極処理された圧電材
料の該分極軸方向と直交する方向に電界を印加して使用
されるため、駆動時の温度や駆動電圧等で分極状態の劣
化が起こる場合が考えられ、また劣化してしまった後は
再分極が不可能であるが、上記の条件式の範囲内で駆動
することにより、用いた圧電セラミックス材料の初期特
性を劣化させることなく、長時間の安定駆動が出来るこ
とが確認された。
軸方向と直交する方向に電界を印加して使用される、圧
電材料の代表的変形モードであるせん断変形モードを利
用した圧電アクチュエータでは、分極処理された圧電材
料の該分極軸方向と直交する方向に電界を印加して使用
されるため、駆動時の温度や駆動電圧等で分極状態の劣
化が起こる場合が考えられ、また劣化してしまった後は
再分極が不可能であるが、上記の条件式の範囲内で駆動
することにより、用いた圧電セラミックス材料の初期特
性を劣化させることなく、長時間の安定駆動が出来るこ
とが確認された。
【００２２】次に、せん断変形モードの圧電アクチュエ
ータを、例えば特開平２−１５０３５５号公報に記載さ
れたインクジェットヘッドに利用した場合の、具体的な
圧電アクチュエータの駆動条件決定の実施例を示す。
ータを、例えば特開平２−１５０３５５号公報に記載さ
れたインクジェットヘッドに利用した場合の、具体的な
圧電アクチュエータの駆動条件決定の実施例を示す。
【００２３】まず図１４に圧電アクチュエータの形状を
示す。壁高さ方向に分極処理された圧電セラミックス材
料で構成された壁２１の、幅寸法ｗは０．１ｍｍ、壁高
さ寸法ｈは０．５ｍｍである。該圧電セラミックス材料
としては、上記の圧電セラミックス材料Ａをもちいた。
壁２１はその上面が蓋２３と接合されている。壁２１の
両側面の上半分に形成された駆動電極２２ａ、ｂ間に駆
動電界が印加されることで壁２１は壁上面を固定端とし
て、側面に駆動電極２２が形成された部分がせん断変形
を生じる。駆動電極２２のない壁の下の部分は上の部分
のせん断変形にともなって弾性的に変形を生じる。従っ
て壁２１全体変形はいわゆるくの字形変形となる。この
インクジェットヘッドの圧電アクチュエータの駆動条件
は２０μｓｅｃのパルスオンタイムが必要で、駆動電界
は０．５ｋＶ／ｍｍ、駆動温度条件は２０℃である。駆
動波形は、単純な矩形波のパルス駆動、即ち図１６の上
段のものを用いた。
示す。壁高さ方向に分極処理された圧電セラミックス材
料で構成された壁２１の、幅寸法ｗは０．１ｍｍ、壁高
さ寸法ｈは０．５ｍｍである。該圧電セラミックス材料
としては、上記の圧電セラミックス材料Ａをもちいた。
壁２１はその上面が蓋２３と接合されている。壁２１の
両側面の上半分に形成された駆動電極２２ａ、ｂ間に駆
動電界が印加されることで壁２１は壁上面を固定端とし
て、側面に駆動電極２２が形成された部分がせん断変形
を生じる。駆動電極２２のない壁の下の部分は上の部分
のせん断変形にともなって弾性的に変形を生じる。従っ
て壁２１全体変形はいわゆるくの字形変形となる。この
インクジェットヘッドの圧電アクチュエータの駆動条件
は２０μｓｅｃのパルスオンタイムが必要で、駆動電界
は０．５ｋＶ／ｍｍ、駆動温度条件は２０℃である。駆
動波形は、単純な矩形波のパルス駆動、即ち図１６の上
段のものを用いた。
【００２４】この条件に基づいて駆動条件を計算してみ
ると、用いた圧電セラミックス材料Ａのキュリー温度Ｔ
ｃ＝３２５℃、坑電界Ｅｃ＝１．０ｋＶ／ｍｍであるの
で、デューティ比ｄｒ＜０．６８となる。従って単純な
矩形波のパルス駆動の場合、許容できる最大周波数は約
３４ｋＨｚとなる。つまり上記のアクチュエータの駆動
周波数は実質３４ｋＨｚ以下にして設計を行う必要があ
ることがわかる。
ると、用いた圧電セラミックス材料Ａのキュリー温度Ｔ
ｃ＝３２５℃、坑電界Ｅｃ＝１．０ｋＶ／ｍｍであるの
で、デューティ比ｄｒ＜０．６８となる。従って単純な
矩形波のパルス駆動の場合、許容できる最大周波数は約
３４ｋＨｚとなる。つまり上記のアクチュエータの駆動
周波数は実質３４ｋＨｚ以下にして設計を行う必要があ
ることがわかる。
【００２５】次に別の駆動波形の例を示す。図１５に示
した様な駆動波形が必要な場合一つ目のパルスの電圧を
電界換算した値をＥｄ1、二つ目をＥｄ2とし、各々のパ
ルス幅をｔ1及びｔ2とすると、まず各々のパルスに対し
て求められた限界デューティー比ｄｒ1，ｄｒ2を用いて
ｔ1／ｄｒ1とｔ2／ｄｒ2を求める。その結果、最大駆動
周波数＝１／｛（ｔ1／ｄｒ1）＋（ｔ2／ｄｒ2）｝と計
算できる。実例として温度２０℃で圧電セラミックス材
料Ａを用い、Ｅｄ1＝０．５ｋＶ／ｍｍ、ｔ1＝２０μｓ
ｅｃ、Ｅｄ2＝０．２ｋＶ／ｍｍ、ｔ2＝４０μｓｅｃの
場合、ｄｒ1＜０．６８、ｄｒ2＜０．８６となりｔ1／
ｄｒ1＞２９．４μｓｅｃ、ｔ2／ｄｒ2＞４６．５μｓ
ｅｃとなる。従って最大駆動周波数は約１３．２ｋＨｚ
であることが判る。
した様な駆動波形が必要な場合一つ目のパルスの電圧を
電界換算した値をＥｄ1、二つ目をＥｄ2とし、各々のパ
ルス幅をｔ1及びｔ2とすると、まず各々のパルスに対し
て求められた限界デューティー比ｄｒ1，ｄｒ2を用いて
ｔ1／ｄｒ1とｔ2／ｄｒ2を求める。その結果、最大駆動
周波数＝１／｛（ｔ1／ｄｒ1）＋（ｔ2／ｄｒ2）｝と計
算できる。実例として温度２０℃で圧電セラミックス材
料Ａを用い、Ｅｄ1＝０．５ｋＶ／ｍｍ、ｔ1＝２０μｓ
ｅｃ、Ｅｄ2＝０．２ｋＶ／ｍｍ、ｔ2＝４０μｓｅｃの
場合、ｄｒ1＜０．６８、ｄｒ2＜０．８６となりｔ1／
ｄｒ1＞２９．４μｓｅｃ、ｔ2／ｄｒ2＞４６．５μｓ
ｅｃとなる。従って最大駆動周波数は約１３．２ｋＨｚ
であることが判る。
【００２６】図１６に、上記二つの実施例の各周波数で
の８時間の連続駆動実験の結果を、共振時の位相角変化
の変化率を用いて示した。実験結果は本発明の計算結果
とよく一致した。
の８時間の連続駆動実験の結果を、共振時の位相角変化
の変化率を用いて示した。実験結果は本発明の計算結果
とよく一致した。
【００２７】尚、上記の実施例においては、駆動時の温
度が正の場合について説明したため、温度の単位系が摂
氏となっていたが、負の場合にも同様の結果となること
が判明している。従って、上記の条件式はｄｒ＜
［｛（Ｔｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・｛（｜Ｅｃ
｜−｜Ｅｄ｜）／｜Ｅｃ｜｝］1/2、（但し単位Ｋ）と
表わすことが出来る。
度が正の場合について説明したため、温度の単位系が摂
氏となっていたが、負の場合にも同様の結果となること
が判明している。従って、上記の条件式はｄｒ＜
［｛（Ｔｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・｛（｜Ｅｃ
｜−｜Ｅｄ｜）／｜Ｅｃ｜｝］1/2、（但し単位Ｋ）と
表わすことが出来る。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、分
極処理された圧電材料の該分極軸方向と直交する方向に
電界を印加して使用されるせん断変形モードを利用した
圧電アクチュエータでは、分極処理された圧電材料の該
分極軸方向と直交する方向に電界を印加して使用される
ため、駆動時の温度や駆動電圧等で分極状態の劣化が起
こる場合が考えられるが、パルス電圧駆動の一周期内で
の電圧印加時間のデューティ比を、圧電材料のキュリー
温度、分極方向と直交する方向に電界を印加した場合の
坑電界、駆動時の圧電材料の温度及び電界にもとづいて
求め、そのデューティ比で駆動することにより、用いた
圧電材料の初期特性を劣化させることなく長時間の安定
駆動が出来る。
極処理された圧電材料の該分極軸方向と直交する方向に
電界を印加して使用されるせん断変形モードを利用した
圧電アクチュエータでは、分極処理された圧電材料の該
分極軸方向と直交する方向に電界を印加して使用される
ため、駆動時の温度や駆動電圧等で分極状態の劣化が起
こる場合が考えられるが、パルス電圧駆動の一周期内で
の電圧印加時間のデューティ比を、圧電材料のキュリー
温度、分極方向と直交する方向に電界を印加した場合の
坑電界、駆動時の圧電材料の温度及び電界にもとづいて
求め、そのデューティ比で駆動することにより、用いた
圧電材料の初期特性を劣化させることなく長時間の安定
駆動が出来る。
【図１】セラミックス材料の分極状態を表わす概念図で
ある。
ある。
【図２】本実施例の圧電セラミックス材料の概略図であ
る。
る。
【図３】圧電セラミックス材料の温度と静電容量の関係
を表すグラフである。
を表すグラフである。
【図４】圧電セラミックス材料の共振及び反共振周波数
の測定方法を示す図、及び周波数とインピーダンスの関
係を表すグラフである。
の測定方法を示す図、及び周波数とインピーダンスの関
係を表すグラフである。
【図５】本実施例の圧電セラミックス材料のキュリー温
度及び坑電界の測定結果を示す図である。
度及び坑電界の測定結果を示す図である。
【図６】圧電セラミックス材料の共振時の位相角変化の
測定結果の一例を示す図である。
測定結果の一例を示す図である。
【図７】本実施例に用いた駆動波形の概略図である。
【図８】各駆動条件での圧電セラミックス材料の劣化率
の測定結果を示す図である。
の測定結果を示す図である。
【図９】各駆動条件での圧電セラミックス材料の劣化率
の測定結果を示す図である。
の測定結果を示す図である。
【図１０】各駆動条件での圧電セラミックス材料の劣化
率の測定結果を示す図である。
率の測定結果を示す図である。
【図１１】各駆動条件での圧電セラミックス材料の劣化
率の測定結果を示す図である。
率の測定結果を示す図である。
【図１２】各駆動条件での圧電セラミックス材料の劣化
率の測定結果を示す図である。
率の測定結果を示す図である。
【図１３】各駆動条件での圧電セラミックス材料の劣化
率の測定結果を示す図である。
率の測定結果を示す図である。
【図１４】本実施例の圧電アクチュエータの構成概略図
である。
である。
【図１５】圧電アクチュエータの駆動波形を示す概略図
である。
である。
【図１６】各駆動条件での圧電セラミックス材料の劣化
率の測定結果を示す図である。
率の測定結果を示す図である。
１１ 圧電セラミックス材料 １４ 分極方向 １５ 駆動方向
Claims (1)
- 【請求項１】 分極処理された圧電材料に該分極軸方向
と直交する方向に電界を印加して使用する圧電アクチュ
エータの駆動方法に於て、前記電界を、一周期内での電
圧印加時間が１００ｍｓ以下であるパルス電圧により印
加するとともに、前記圧電材料のキュリー温度をＴｃ
（単位Ｋ）、分極方向と直交する方向に電界を印加した
場合の坑電界をＥｃとし、駆動時の圧電材料の温度及び
電界を各々Ｔｄ（単位Ｋ）、Ｅｄとした場合に、パルス
電圧駆動の一周期内での電圧印加時間のデューティ比ｄ
ｒが、 ｄｒ＜［｛（Ｔｃ−Ｔｄ）／（Ｔｃ−２７３）｝・｛（｜Ｅｃ｜−｜Ｅｄ｜） ／｜Ｅｃ｜｝］1/2 の条件を満足するパルス電圧にて駆動することを特徴と
する圧電アクチュエータの駆動方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05161519A JP3114434B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 圧電アクチュエータの駆動方法 |
| US08/405,400 US5466985A (en) | 1993-06-30 | 1995-03-15 | Method for non-destructively driving a thickness shear mode piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05161519A JP3114434B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 圧電アクチュエータの駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0766464A JPH0766464A (ja) | 1995-03-10 |
| JP3114434B2 true JP3114434B2 (ja) | 2000-12-04 |
Family
ID=15736622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05161519A Expired - Lifetime JP3114434B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 圧電アクチュエータの駆動方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5466985A (ja) |
| JP (1) | JP3114434B2 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW241352B (en) * | 1994-03-30 | 1995-02-21 | Whitaker Corp | Reflective mode ultrasonic touch sensitive switch |
| JP3274047B2 (ja) * | 1995-10-05 | 2002-04-15 | 株式会社豊田中央研究所 | 圧電アクチュエータの駆動装置および駆動方法 |
| DE19614044C1 (de) * | 1996-04-10 | 1997-10-23 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Aktuator mit einem ansteuerbaren längenveränderlichen Element aus einem multifunktionalen Werkstoff |
| US6327120B1 (en) * | 1997-04-17 | 2001-12-04 | Fujitsu Limited | Actuator using piezoelectric element and head-positioning mechanism using the actuator |
| JPH1197755A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の駆動方法 |
| US6478412B1 (en) * | 1999-01-22 | 2002-11-12 | Kansai Research Institute | Piezoelectric thin film device, its production method, and ink-jet recording head |
| JP3478227B2 (ja) * | 1999-08-03 | 2003-12-15 | 株式会社村田製作所 | 圧電体の分極方法 |
| FR2801644B1 (fr) * | 1999-11-29 | 2002-06-21 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Systeme de commande de l'alimentation electrique d'un actionneur d'un injecteur de carburant dans un cylindre de moteur de vehicule |
| DE60142818D1 (de) * | 2000-05-31 | 2010-09-30 | Denso Corp | Piezoelektrisches Bauelement für eine Einspritzvorrichtung |
| US6807332B1 (en) | 2000-11-06 | 2004-10-19 | Western Digital (Fremont), Inc. | Piezoelectric actuated optical switch |
| US6848763B2 (en) * | 2001-03-30 | 2005-02-01 | Seiko Epson Corporation | Drive unit for liquid ejection head |
| US6376964B1 (en) | 2001-05-16 | 2002-04-23 | Read-Rite Corporation | Collocated rotating flexure microactuator for dual-stage servo in disk drives |
| US6704158B2 (en) | 2001-06-05 | 2004-03-09 | Western Digital (Fremont), Inc. | Shear mode multilayered collocated micro-actuator for dual-stage servo controllers in disk drives |
| US6749407B2 (en) * | 2002-08-22 | 2004-06-15 | Motorola, Inc. | Method of installing valves in a micro-pump |
| US20040046484A1 (en) * | 2002-09-04 | 2004-03-11 | Schiller Peter J. | Interface electronics for piezoelectric devices |
| EP1564001B1 (en) * | 2004-02-12 | 2009-11-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head manufacturing method |
| US7281778B2 (en) | 2004-03-15 | 2007-10-16 | Fujifilm Dimatix, Inc. | High frequency droplet ejection device and method |
| US8491076B2 (en) | 2004-03-15 | 2013-07-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Fluid droplet ejection devices and methods |
| US8708441B2 (en) | 2004-12-30 | 2014-04-29 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ink jet printing |
| US7988247B2 (en) | 2007-01-11 | 2011-08-02 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ejection of drops having variable drop size from an ink jet printer |
| EP2270754B1 (en) | 2008-04-25 | 2014-03-12 | Glory Ltd. | Coin processing device |
| GB0905692D0 (en) * | 2009-04-02 | 2009-05-20 | Tno | Touch sensitive device |
| US8393702B2 (en) | 2009-12-10 | 2013-03-12 | Fujifilm Corporation | Separation of drive pulses for fluid ejector |
| US8912707B2 (en) * | 2011-07-13 | 2014-12-16 | Academia Sinica | Friction-driven actuator |
| DE102015013553B4 (de) * | 2015-10-20 | 2018-03-08 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Ansteuerung eines Stellelements |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3623795A (en) * | 1970-04-24 | 1971-11-30 | Rca Corp | Electro-optical system |
| JPS56131979A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-15 | Hitachi Ltd | Piezoelectric material for transparent vibrator and transparent vibrator |
| DE3378966D1 (en) * | 1982-05-28 | 1989-02-23 | Xerox Corp | Pressure pulse droplet ejector and array |
| US4879568A (en) * | 1987-01-10 | 1989-11-07 | Am International, Inc. | Droplet deposition apparatus |
| GB8802506D0 (en) * | 1988-02-04 | 1988-03-02 | Am Int | Piezo-electric laminate |
| US4825227A (en) * | 1988-02-29 | 1989-04-25 | Spectra, Inc. | Shear mode transducer for ink jet systems |
| GB8824014D0 (en) * | 1988-10-13 | 1988-11-23 | Am Int | High density multi-channel array electrically pulsed droplet deposition apparatus |
| GB8830399D0 (en) * | 1988-12-30 | 1989-03-01 | Am Int | Method of testing components of pulsed droplet deposition apparatus |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP05161519A patent/JP3114434B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-03-15 US US08/405,400 patent/US5466985A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0766464A (ja) | 1995-03-10 |
| US5466985A (en) | 1995-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3114434B2 (ja) | 圧電アクチュエータの駆動方法 | |
| Uchino et al. | High power characterization of piezoelectric materials | |
| US5998910A (en) | Relaxor ferroelectric single crystals for ultrasound transducers | |
| Trolier-McKinstry et al. | Thin film piezoelectrics for MEMS | |
| Oakley et al. | Single crystal piezoelectrics: A revolutionary development for transducers | |
| JP2007019302A (ja) | 圧電薄膜素子及びそれを用いたアクチュエータ並びにセンサ | |
| JP2010034154A (ja) | 薄膜圧電素子の製造方法 | |
| JP6179669B2 (ja) | 圧電薄膜及び圧電薄膜素子 | |
| JP2010004007A (ja) | 強誘電性酸化物とその製造方法、圧電体、圧電素子 | |
| CA1125343A (en) | Dielectric electro-mechanical transducer | |
| Ogawa | Acoustic wave velocity measurement on piezoelectric ceramics | |
| Viehland et al. | Effect of uniaxial stress on the large-signal electromechanical properties of electrostrictive and piezoelectric lead magnesium niobate lead titanate ceramics | |
| JP3907628B2 (ja) | 圧電アクチュエーターおよびその製造方法ならびに液体吐出ヘッド | |
| Ren et al. | Nonlinear behavior of piezoelectric lead zinc niobate–lead titanate single crystals under ac electric fields and dc bias | |
| JP6325280B2 (ja) | 圧電ｍｅｍｓデバイスおよびその製造方法 | |
| JP4934924B2 (ja) | 強誘電体アクチュエータ素子およびその製造方法 | |
| Koh et al. | Degradation and cracking behavior of 0.2 (PbMg1/3Nb2/3O3)–0.8 (PbZr0. 475Ti0. 525O3) multilayer ceramic actuators | |
| Tashiro et al. | Comparison of nonlinearity between lead magnesium niobate electrostrictive and lead zirconate titanate piezoelectric ceramics | |
| JP4689482B2 (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターの製造方法、液体吐出ヘッド | |
| JPWO2021131121A5 (ja) | ||
| Rajapurkar et al. | Piezoelectric Loss Performance in Pb (Mg1/3Nb2/3) O3–PbTiO3 Single Crystals | |
| JP3521379B2 (ja) | 圧電素子の製造方法及びそれにより製造された圧電素子 | |
| JPH06260696A (ja) | 圧電体の部分分極方法 | |
| JP2956316B2 (ja) | 圧電アクチュエータの駆動方法 | |
| JP6244865B2 (ja) | 振動ミラー素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070929 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080929 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090929 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090929 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100929 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100929 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110929 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110929 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120929 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130929 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |