JP3114162B2 - 電気的接続方法 - Google Patents
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Description
端子の電気的接続方法に関する。さらに詳しくは、この
発明は、回路基板に接続すべき端子が細密なピッチで多
数形成されている場合でも、端子間にショートを発生さ
せることなく2つの回路基板間の端子を確実にかつ容易
に接続できるようにする電気的接続方法、並びにこのよ
うな電気的接続方法に使用する電気的接続用フィルムお
よび電気的接続用回路基板に関する。
ように、2つの回路基板間の端子を電気的に接続する方
法としては、従来より、異方性導電性接着剤を使用する
方法が知られている。この方法においては、熱硬化性あ
るいは熱可塑性接着剤中に半田粒子、ニッケル粒子等の
金属粒子や樹脂粒子に金メッキを施した粒子等の導電粒
子を分散させた異方性導電性接着剤を使用し、このよう
な異方性導電性接着剤を2つの回路基板間に介在させ、
加熱加圧することにより相対する2端子間の電気的接続
が得られるようにする(特開昭51−114439号公
報)。
合材として、熱可塑性樹脂からなるシート状絶縁基材の
表面付近に導電粒子を埋設したものも知られている。こ
の接合材の使用方法としては、まず第1の回路基板の端
子面と接合材の導電粒子とを加熱溶着させ、次に加熱溶
着させた接合材上に第2の回路基板を加熱加圧してその
接合材のシート状絶縁基材を溶融させ、2つの回路基板
間を接合すると共に、第1の回路基板の端子に溶着して
いた導電粒子と第2の回路基板の端子とを接合させる
(特開昭64−14886号公報)。
としては、バンプ形成用基板上にメッキによって金柱を
作成し、これをTABに位置合わせして転写し、接続す
る転写バンプ方式が知られている。
性接着剤を回路基板の接続すべきパターン上のみに載せ
る方法も知られている。
異方性導電性接着剤を使用する方法では、回路基板の接
続すべき端子を含む接着領域の全面に異方性導電性接着
剤を介在させるので、接続すべき端子間だけでなく他の
隣接する端子間にも導電粒子が存在することとなる。そ
のため、端子のピッチが細密になるとショートし易くな
るという問題があった。このような問題に対しては、異
方性導電性接着剤中の導電粒子の配合量を少なくするこ
とも考えられているが、導電粒子の配合量を少なくする
と接続すべき端子間に存在する導電粒子も少なくなるの
で導通信頼性が低下するという問題があった。
表面付近に導電粒子を埋設した接合材を使用する方法
(特開昭64−14886号公報)によれば導通信頼性
をある程度向上させることはできるが、接合材中の導電
粒子の粒径のばらつきが大きい等のために、回路基板と
接合材との加熱圧着時に僅かでも圧着面が傾くと均一に
圧着圧力がかからなくなり、導通不良が生じるという問
題があった。また、この方法においても、従来の異方性
導電性接着剤を使用する方法と同様に、回路基板の接続
すべき端子を含む接着領域の全面に導電粒子が存在する
こととなるので、端子のピッチが細密になるとショート
し易くなるという問題点は解消されなかった。
によって金柱を作成する工程、及びこれをTABと位置
合わせする工程が必要となるので、工程数が多く作業性
も悪いという問題があった。
性接着剤を回路基板の接続すべきパターン上のみに載せ
る方法においては、所定のパターン上のみに導電性接着
剤を載せる技術が難しいという問題があった。また、2
つの回路基板間の接合を端子パターンどうしの接着のみ
で行うこととなるので接着強度や信頼性が低下するとい
う問題もあった。
解決しようとするものであり、2つの回路基板間の端子
を、接続すべき端子が回路基板に細密なピッチで多数形
成されている場合でも、ショートを発生させることな
く、高い導通信頼性が得られるように、均一な圧着によ
り確実にかつ容易に接続できるようにすることを目的と
している。
めに、この発明は、電気的接続方法に使用する接合材と
して、フィルム上に導電粒子と、導電粒子よりも耐熱性
でかつ導電粒子の粒径の20〜80%の粒径を有するス
ペーサー粒子とを均一に1層に保持させたことを特徴と
する電気的接続用フィルムを提供する。
として、回路基板上の端子面と、上記の電気的接続用フ
ィルムの導電粒子とスペーサー粒子が保持されている面
とを合わせ、両者を加熱圧着し、剥離することにより回
路基板の端子上に導電粒子を転写させて得られる、回路
基板の端子上のみに1層の導電粒子が融着している電気
的接続用回路基板を提供する。
て、第1の回路基板の端子面と上記の電気的接続用フィ
ルムの導電粒子とスペーサー粒子が保持されている面と
を合わせ、両者を加熱圧着し、剥離して第1の回路基板
の端子上に導電粒子を転写させ、次いで、導電粒子を転
写させた第1の回路基板の端子面と第2の回路基板の端
子面とを接着剤を介して加熱圧着することを特徴とする
電気的接続方法を提供する。
続用フィルムは、従来の異方性導電性接着剤あるいはそ
れに類する接合材と同様に、接合材中の導電粒子により
導通性を確保するものであるが、この発明の接合材は導
電粒子に加えて導電粒子よりも耐熱性のスペーサー粒子
を含有することを特徴としている。そして、導電粒子の
粒径のばらつきが大きい等のために回路基板と接合材と
の加熱圧着時に圧着面が傾いても、このスペーサー粒子
が存在することにより均一に加熱圧着がなされるように
し、回路基板間の導通信頼性を向上させる。
基づいて具体的に説明する。なお、図中、同一符号は同
一または同等の構成要素を表している。
気的接続方法の工程説明図であり、図1の(a)および
図2の(a)は共にこの発明の電気的接続用フィルム1
0の一例の断面図である。これらの図のように、この電
気的接続用フィルム10は、フィルム1上に導電粒子3
およびスペーサー粒子4を均一に1層保持させたものと
なっている。このように導電粒子3およびスペーサー粒
子4を1層保持させることにより、後述するこの電気的
接続用フィルムと回路基板との1次圧着時に回路基板の
端子に均一に導電粒子を融着させることが可能となる。
成方法としては、例えば、樹脂バインダー液中に導電粒
子3とスペーサー粒子4とを分散させ、そのバインダー
液をフィルム1上に厚さが導電粒子3の粒径以下となる
ように塗布すればよい。これにより図示したように、1
層の導電粒子3とスペーサー粒子4とがバインダー層2
によってフィルム1上に保持された形態の電気的接続用
フィルム10を得ることができる。
て、フィルム上に導電粒子およびスペーサー粒子を1層
保持させた形態としては種々の態様をとることができ、
例えば粘着テープ上に導電粒子やスペーサー粒子を付着
させたものとしてもよい。このような電気的接続用フィ
ルムの形成方法としては、剥離フィルム上に導電粒子と
スペーサー粒子を静電気により1層付着させ、これを耐
熱性粘着テープに転着させればよい。
粒子3としては、金属表面を有する種々の粒子を使用す
ることができるが、接続する回路基板の端子の素材に応
じて選択することが好ましい。例えば、図1の(a)に
示すように、回路基板5の端子5a上に金メッキ層ある
いはニッケルメッキ層5bが形成されている場合や端子
がグリコートで処理されている場合には半田粒子、錫粒
子、インジウム粒子、その他これらの合金粒子、もしく
は半田メッキ、錫メッキ、インジウムメッキ等を施した
粒子を使用する。また、回路基板の端子がアルミニウム
からなる場合には、金粒子または金メッキ粒子を使用す
る。さらに、図2の(b)に示すように、回路基板5の
端子5a上に半田メッキ層あるいは錫メッキ層5cが形
成されている場合には、導電粒子3としては半田付け可
能な金属粒子または金属メッキ粒子を使用する。
針状、柱状、板状、不定形など種々のものを使用できる
が球形のものを使用するのが好ましい。また、粒径とし
ては、0.5〜50μmのものを使用することが好まし
く、粒径分布はできるだけ均一であることが好ましい。
も耐熱性の粒子を使用する。すなわち、回路基板と電気
的接続用フィルムとの加熱圧着時に導電粒子と回路基板
の端子とが融着する際に、十分に当初の粒子形状を維持
する硬度を有するものを使用する。したがって、スペー
サー粒子4の種類は、導電粒子や回路基板の端子材料の
種類に応じて定められるが、一般には例えばポリスチレ
ン、ジビニルベンゼン、ベンゾグアナミン等の樹脂粒子
を使用することができる。また回路基板の端子に金メッ
キ、ニッケルメッキ等が施されている場合には、銅やニ
ッケル等の金属粒子を使用することができる。
は、導電粒子の粒径の20〜80%の粒径とし、好まし
くは3μm以上とするが好ましい。スペーサー粒子4の
粒径がこの範囲外であると、回路基板と接合材との加熱
圧着時に圧着面が傾いた場合に、均一に圧着することが
困難となる。
ず、上記のような電気的接続用フィルム10を用いてこ
の発明の電気的接続用回路基板を作成する。すなわち、
図1の(b)あるいは図2の(b)に示したように、第
1の回路基板5の端子5aと電気的接続用フィルム10
の導電粒子3とスペーサー粒子4が保持されている面と
を合わせ、両者を加熱圧着(1次圧着)する。この1次
圧着の加熱加圧条件は、回路基板5の端子5aや導電粒
子3の種類に応じて、端子5aと導電粒子3とが融着す
るように適宜設定すればよい。例えば図1の(b)に示
したように、金メッキ処理されている端子5aに対し
て、導電粒子3として半田粒子を保持した電気的接続用
転写フィルム10を1次圧着する場合には、半田粒子か
らなる導電粒子3が溶融して端子5aと導電粒子3とが
融着するようにすればよく、また、図2の(b)に示し
たように、半田メッキ処理されている端子5aに対して
電気的接続用転写フィルム10を1次圧着する場合に
は、端子5a上の半田層5cが溶融して端子5aと導電
粒子3とが融着するようにすればよい。
の(c)に示したように、第1の回路基板5と電気的接
続用フィルム10とを互いに剥離して第1の回路基板5
の端子5a上に導電粒子3を転写させ、端子5a上にの
み導電粒子3が存在している電気的接続用回路基板6を
得る。なお、この場合、スペーサー粒子4は電気的接続
用フィルム10のフィルム1に残存する。
(d)に示したように、端子5a上にのみ導電粒子3が
存在している電気的接続用回路基板6と第2の回路基板
7とをそれらの端子面5a、7aを内側にし、間に接着
剤として接着フィルム8を置いて重ね合わせ、加熱圧着
(本圧着)する。これにより、第1の回路基板5と第2
の回路基板7とは、その全面が接着フィルムで接着され
るので強い接着強度で接続される。しかも、第1の回路
基板5には、その端子5aにのみ導電粒子3が存在して
いるので、第1の回路基板5の端子5aと第2の回路基
板7の端子7aとはショート等の導通不良を起こすこと
無く確実に接続される。
性あるいは熱可塑性の樹脂フィルムを使用することがで
きる。また、接着剤としてこのようなフィルムを使用す
ることなく、従来の異方性導電性接着剤に使用されてい
た熱硬化性あるいは熱可塑性の樹脂液を2つの回路基板
間に塗布してもよい。
板の端子素材、導電粒子3の種類、接着剤の種類等に応
じて、適宜設定すればよい。
フィルムは、導電粒子の他にスペーサー粒子を有してい
るので、導電粒子の粒径のばらつきが大きい等のために
回路基板と接合材との加熱圧着時に圧着面が傾いた場合
でも均一に圧着がなされるようにし、導通信頼性を向上
させる。このスペーサー粒子の配合による導通信頼性の
向上の効果は、回路基板の端子が半田メッキや錫メッキ
等の柔らかい金属で処理されている場合には、導電粒子
が半田粒子のように柔らかい金属で構成されているとき
に顕著に発揮される。これは、回路基板の端子が柔らか
い金属で処理されている場合に、導電粒子が硬い粒子で
構成されていると回路基板の端子の金属が緩衝材となっ
て圧着面の傾きを吸収するが、導電粒子も柔らかい粒子
で構成されている場合には回路基板の端子の金属が緩衝
材とならないのでスペーサー粒子の果たす作用が大きく
なると考えられるからである。
は、熱可塑性樹脂からなるシート状絶縁基材の表面付近
に導電粒子を埋設した従来の接合材(特開昭64−14
886号公報)と同様に使用することができ、それによ
り従来の異方性導電性接着剤を使用していた電気的接続
方法よりも導通信頼性を向上させることが可能となる
が、この発明の電気的接続方法にしたがって使用するこ
とにより、回路基板に端子が細密なピッチで多数形成さ
れている場合でも、ショートを発生させることなく接続
することを可能とする。すなわち、この発明の電気的接
続方法によれば、フィルム上に導電粒子とスペーサー粒
子を1層に保持させた電気的接続用フィルムの導電粒子
を第1の回路基板の接続すべき端子上のみに転写し、次
いで、接着剤を介して第1の回路基板と第2の回路基板
とを接着するので、導電粒子は回路基板の接続すべき端
子以外の部分には存在しないこととなる。したがって、
ショートが起こらなくなる。また、電気的接続用フィル
ムの導電粒子の密度を上げることにより2つの回路基板
の端子間を接続する導電粒子の数を多くすることができ
るので、導通信頼性を一層向上させることが可能とな
る。
ば、従来の転写バンプ方式と異なり、ICチップにバン
プを形成することやバンプと回路基板との位置合わせを
することが不要となるので、2つの回路基板の電気的接
続工程が容易となる。
説明する。 実施例1〜3、比較例1〜3 ポリエステル樹脂(VE3220、ユニチカ製)のME
K15%溶液100重量部に、イソシアネート(コロネ
ートL、日本ポリウレタン(株)製)0.15重量部、
半田粒子(平均粒径12μm、F1−635M、千住金
属製)6重量部、表1に示した種々のスペーサー粒子1
重量部を均一に分散し、この分散液を厚さ25μmのポ
リイミドフィルムに平均厚さが5μmとなるように塗布
し、図1の(a)と同様の電気的接続用フィルムを作成
した。
な大きさにカットしてTAB(厚さ75μmのポリイミ
ドフィルム基材上、厚さ35μmの銅に厚さ1μmの半
田メッキ(錫:鉛=8:2)を施した端子が0.1mm
ピッチで形成されているもの)の上に置き、190℃、
5Kg/cm2、5秒で1次圧着した。この場合、図3
に示したようにプレスヘッド31、受け台32、マイク
ロジャッキ33からなるプレス機を使用し、プレスケー
ル(富士化学紙製)を用いて平面性を均一にした後、マ
イクロジャッキ33により図中右側を3μm上昇させ、
圧着面を傾かせた。
を剥離し、半田粒子をTABの端子に転写させた。
テム(株)製)を用いて、初期の電気的接続用フィルム
の200μm角中の半田粒子の面積率とTABへ半田粒
子を転写させた後の電気的接続用フィルムの200μm
角中の半田粒子の面積率とを測定し、次式(i) にて転写
率を測定した。結果を表1に示した。
の球形であり、転写後は円柱であるとして、転写後の半
田粒子の直径(d)を顕微鏡で測定し、次式(ii)により
その円柱の高さを求めた。結果を表1に示した。
ルムを仮圧着し、その後0.1mmピッチのITOパタ
ーンが形成されているガラス基板と170℃、40Kg
/cm2、20秒で本圧着した。
L STD 202F106Eによる1000時間のエ
ージング後の導通抵抗、および絶縁抵抗をデジタルマル
チメーターを用いて測定した。結果を表1に示した。
80%の粒径のスペーサー粒子を使用した実施例におい
ては、1次圧着時に圧着面を傾かせたにもかかわらず、
左右の転写粒子の高さがほぼ等しくなっており、均一に
圧着されたことが確認できた。また、MIL1000時
間後の導通抵抗も低く、導通信頼性の高いことが確認で
きた。
端子を接続するにあたり、接続すべき端子が回路基板に
細密なピッチで多数形成されている場合でも、ショート
を発生させることなく、高い導通信頼性が得られるよう
に確実にかつ容易に接続することが可能となる。
る。
る。
る。
Claims (3)
- 【請求項1】 フィルム上に導電粒子と、導電粒子より
も耐熱性でかつ導電粒子の粒径の20〜80%の粒径を
有するスペーサー粒子とを均一に1層保持させたことを
特徴とする電気的接続用フィルム。 - 【請求項2】 回路基板上の端子面と請求項1記載の電
気的接続用フィルムの導電粒子とスペーサー粒子が保持
されている面とを合わせ、両者を加熱圧着し、剥離する
ことにより回路基板の端子上に導電粒子を転写させて得
られる、回路基板の端子上のみに1層の導電粒子が融着
している電気的接続用回路基板。 - 【請求項3】 第1の回路基板の端子と第2の回路基板
の端子とを電気的に接続する方法において、第1の回路
基板の端子面と請求項1記載の電気的接続用フィルムの
導電粒子とスペーサー粒子が保持されている面とを合わ
せ、両者を加熱圧着し、剥離して第1の回路基板の端子
上に導電粒子を転写させ、次いで、導電粒子を転写させ
た第1の回路基板の端子面と第2の回路基板の端子面と
を接着剤を介して加熱圧着することを特徴とする電気的
接続方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3-199964 | 1991-07-14 | ||
JP19996491 | 1991-07-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0575250A JPH0575250A (ja) | 1993-03-26 |
JP3114162B2 true JP3114162B2 (ja) | 2000-12-04 |
Family
ID=16416534
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31401591A Expired - Lifetime JP3114162B2 (ja) | 1991-07-14 | 1991-10-31 | 電気的接続方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3114162B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998046811A1 (en) | 1997-04-17 | 1998-10-22 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Conductive particles and method and device for manufacturing the same, anisotropic conductive adhesive and conductive connection structure, and electronic circuit components and method of manufacturing the same |
US6663799B2 (en) | 2000-09-28 | 2003-12-16 | Jsr Corporation | Conductive metal particles, conductive composite metal particles and applied products using the same |
KR101037229B1 (ko) * | 2006-04-27 | 2011-05-25 | 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
JP5049176B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2012-10-17 | ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 | 接合体及びその製造方法、並びに、異方性導電材料及びその製造方法 |
WO2012063386A1 (ja) | 2010-11-08 | 2012-05-18 | パナソニック株式会社 | はんだ転写基材の製造方法、はんだプリコート方法、及びはんだ転写基材 |
KR101979078B1 (ko) * | 2017-04-10 | 2019-05-16 | 한국과학기술원 | 솔더 코팅된 금속 도전 입자를 사용한 이방성 전도 필름 |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP31401591A patent/JP3114162B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0575250A (ja) | 1993-03-26 |
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