JP3176489B2 - Vacuum valve - Google Patents
Vacuum valveInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、絶縁容器内に接離可
能な一対の電極と、この電極を囲むバリアとを有する真
空バルブに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum valve having a pair of electrodes which can be brought into contact with and separated from an insulating container, and a barrier surrounding the electrodes.
【0002】[0002]
【従来の技術】真空バルブは、円筒状の絶縁容器の両端
開口を覆着した金属蓋により密閉容器とされ、その内部
は真空状態とされている。そして両金属蓋から可動電極
と固定電極とを突き合わせ状に対向して設け、この両電
極の先端を接離することにより電路の開閉を行ってい
る。この真空バルブにおいて、両電極間に縦磁界を付与
して、発生するアークの局所的集中を防いで遮断容量を
向上する技術が知られており、例えば特開平2ー278
627号公報には、両電極の突き合わせ面に形成された
凹部に永久磁石を収容した上で前面に磁性体を配設し
て、両電極間に縦磁界を付与する発明が開示されてい
る。2. Description of the Related Art A vacuum valve is a hermetically sealed container having a metal lid covering both ends of a cylindrical insulating container, and the inside thereof is kept in a vacuum state. Then, a movable electrode and a fixed electrode are provided facing each other from both metal lids in abutting manner, and the electric circuit is opened and closed by bringing the tips of both electrodes into and out of contact. In this vacuum valve, a technique is known in which a vertical magnetic field is applied between both electrodes to prevent local concentration of the generated arc, thereby improving the breaking capacity.
Japanese Patent No. 627 discloses an invention in which a permanent magnet is accommodated in a concave portion formed on the abutting surface of both electrodes and a magnetic body is disposed on the front surface to apply a vertical magnetic field between the two electrodes.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この従来の発明では、
磁性体を介して永久磁石が対向配置されているので、両
電極間に作用する縦磁界を十分に強化することができ
ず、これを強化するにはさらに強力な磁力を有する永久
磁石を封入する必要がある。しかし、強力な磁力を有す
る永久磁石とすると、絶縁容器外にもこの磁界が及んで
しまい、粉塵として大気中に浮遊する鉄粉などの強磁性
物質が、絶縁容器の外面に吸着し、絶縁容器の外面の絶
縁が低下するという問題点があった。SUMMARY OF THE INVENTION In this conventional invention,
Since the permanent magnets are opposed to each other with the magnetic material interposed therebetween, the longitudinal magnetic field acting between the two electrodes cannot be sufficiently strengthened. To reinforce this, a permanent magnet having a stronger magnetic force is sealed. There is a need. However, if a permanent magnet with a strong magnetic force is used, this magnetic field also extends outside the insulating container, and ferromagnetic substances such as iron powder floating in the air as dust adsorb to the outer surface of the insulating container, and However, there is a problem that insulation on the outer surface is reduced.
【0004】そこで、この発明では、両電極間の縦磁界
を強化して遮断性能を高めるとともに、外部絶縁を維持
するようにした真空バルブを提供することを目的として
いる。Accordingly, an object of the present invention is to provide a vacuum valve which enhances a vertical magnetic field between both electrodes to enhance a breaking performance and maintain external insulation.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】このため、この発明で
は、両電極の各先端部に凹設した収容部の底面に強磁性
体からなる金属スペーサを固着し、さらに金属スペーサ
の前面に両電極間に縦磁界を付与する永久磁石を固着し
て、永久磁石のその周面及び前部を非接触状態に収容さ
れ、また、絶縁容器の内面に両電極間を包囲する強磁性
体からなる筒状のバリアが設けられている。Therefore, according to the present invention, a metal spacer made of a ferromagnetic material is fixed to the bottom surface of a housing recessed at each end of both electrodes, and further, both electrodes are attached to the front surface of the metal spacer. A cylinder made of a ferromagnetic material that has a permanent magnet that provides a longitudinal magnetic field between the two electrodes, and that has a peripheral surface and a front portion of the permanent magnet in a non-contact state, and that has an inner surface of an insulating container that surrounds between the two electrodes. Barrier is provided.
【0006】[0006]
【作用】電路を開くために両電極間を開離すると、両電
極間にアークが発生する。この際両電極の先端部に凹設
された収容部内に永久磁石が封入されており、この両永
久磁石により磁界が付与されている。この磁界の磁気回
路は、一方の永久磁石の後側に封入された強磁性体から
なる金属スペーサから、この両電極間を筒状に包囲する
強磁性体のバリア、他方の金属スペーサ、他方の永久磁
石を経由する磁気回路が形成される。そして強磁性体か
らなる金属スペーサ及びバリアは透磁性に優れているの
で、磁気抵抗の小さな磁気回路となり、両電極間に付与
される縦磁界の強度が高まる。これによりアークは大き
な縦磁界中に発生することになるので、局所集中するこ
と無く均等に分散したアークとなり、遮断性能が高めら
れる。When the electrodes are separated to open the electric circuit, an arc is generated between the electrodes. At this time, a permanent magnet is sealed in a housing recessed at the tips of both electrodes, and a magnetic field is applied by the permanent magnets. The magnetic circuit of this magnetic field is composed of a ferromagnetic barrier enclosing the space between the two electrodes in a cylindrical shape, the other metal spacer, and the other, from a ferromagnetic metal spacer sealed behind one of the permanent magnets. A magnetic circuit is formed via the permanent magnet. Since the metal spacer and the barrier made of a ferromagnetic material are excellent in magnetic permeability, the metal spacer and the barrier form a magnetic circuit having a small magnetic resistance, and the strength of the vertical magnetic field applied between both electrodes is increased. As a result, the arc is generated in a large vertical magnetic field, so that the arc is uniformly dispersed without being locally concentrated, and the breaking performance is enhanced.
【0007】また、バリアは磁気回路の磁気抵抗を減少
するのみならず、絶縁容器外にその磁界が漏れることを
防止する。このため、大気中に浮遊する強磁性物質が磁
界により引きつけられて絶縁容器の表面に吸着すること
がない。また、両電極の各先端部に凹設した収容部の底
面に強磁性体からなる金属スペーサを固着し、さらに金
属スペーサの前面に両電極間に縦磁界を付与する永久磁
石を固着して、永久磁石のその周面及び前部を非接触状
態に収容されているために、アーク発生に伴う永久磁石
の温度上昇は緩慢であり、また、アーク消滅とともに熱
は急速に放熱されるので、永久磁石の磁力が低下するほ
どに加熱されることが防止される。The barrier not only reduces the magnetic resistance of the magnetic circuit, but also prevents the magnetic field from leaking out of the insulating container. Therefore, the ferromagnetic substance floating in the atmosphere is not attracted by the magnetic field and does not adhere to the surface of the insulating container. Also, a metal spacer made of a ferromagnetic material is fixed to the bottom surface of the accommodation portion recessed at each end of both electrodes, and a permanent magnet that applies a vertical magnetic field between both electrodes is fixed to the front surface of the metal spacer, Since the peripheral surface and the front part of the permanent magnet are housed in a non-contact state, the temperature of the permanent magnet rises slowly with the occurrence of the arc, and the heat is rapidly radiated with the disappearance of the arc. It is prevented that the magnet is heated to such an extent that the magnetic force of the magnet decreases.
【0008】[0008]
【発明の効果】この発明では、両電極の各先端部に凹設
した収容部の底面に強磁性体からなる金属スペーサを固
着し、さらに金属スペーサの前面に両電極間に縦磁界を
付与する永久磁石を固着して、永久磁石のその周面及び
前部を非接触状態に収容され、また、絶縁容器の内面に
両電極間を包囲する強磁性体からなる筒状のバリアが設
けられて、磁気抵抗の少ない磁気回路を構成するととも
に、絶縁容器の外部への磁気作用を遮蔽するようにした
ので、縦磁界を大きくするとともに、絶縁容器の外部絶
縁を保護して真空バルブの絶縁の信頼性を高める効果を
奏する。According to the present invention, a metal spacer made of a ferromagnetic material is fixed to the bottom surface of the housing recessed at each end of both electrodes, and a vertical magnetic field is applied between the two electrodes on the front surface of the metal spacer. A permanent magnet is fixed, the peripheral surface and the front part of the permanent magnet are accommodated in a non-contact state, and a cylindrical barrier made of a ferromagnetic material surrounding the two electrodes is provided on the inner surface of the insulating container. In addition, a magnetic circuit with low magnetic resistance is constructed, and the magnetic action to the outside of the insulating container is shielded, so that the vertical magnetic field is increased and the external insulation of the insulating container is protected to ensure the reliability of vacuum valve insulation It has the effect of enhancing the character.
【0009】[0009]
【実施例】以下、この発明の一実施例を、図1〜図3に
基づいて詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS.
【0010】この実施例の真空バルブは、図1に示すよ
うに、磁器等の絶縁性セラミックスよりなる円筒形の絶
縁容器1の両開口端に金属蓋2,3をろう付けにより固
着した密閉容器とされている。この一方の金属蓋2には
導電軸5の先端に接触板6を固着してなる可動電極4
が、他方の金属蓋3には導電軸9の先端に接触板6を固
着してなる固定電極8がそれぞれ貫通して設けられ、そ
れぞれの先端の接触板6,6が絶縁容器1の中央で同軸
線上に対向して突合わせ状に配置されている。そして図
示しない駆動装置により可動電極4を進退して、接触板
6,6を接触又は開離するように構成されている。な
お、可動電極4にはベローズ7と、このベローズ7に固
設した軸受12が設けられ、真空状態が保持されてい
る。As shown in FIG. 1, the vacuum valve of this embodiment is a sealed container in which metal lids 2 and 3 are fixed to both open ends of a cylindrical insulating container 1 made of insulating ceramics such as porcelain by brazing. It has been. A movable electrode 4 having a contact plate 6 fixed to the tip of a conductive shaft 5 is attached to the one metal cover 2.
However, the other metal lid 3 is provided with a fixed electrode 8 formed by fixing a contact plate 6 to the tip of a conductive shaft 9 so as to penetrate therethrough. They are arranged facing each other on a coaxial line. The movable electrode 4 is moved forward and backward by a driving device (not shown) to contact or separate the contact plates 6 and 6. The movable electrode 4 is provided with a bellows 7 and a bearing 12 fixed to the bellows 7 to maintain a vacuum state.
【0011】各導電軸5,9は、熱伝導率が約3.5J/
cm.S.Kの銅合金からなり、この各導電軸5,9の先端面
には収容部5a,9aが凹設されている。以下各電極
4,8の先端は同一構造とされているの、図2に示す可
動電極4について説明すると、収容部5a内には厚めの
円柱形をなす金属スペーサ11が収容部5aの底面に固
着されている。この金属スペーサ11は、純鉄、マルテ
ンサイト系あるいはフェライト系の高い透磁率を有する
強磁性金属であって、かつ保磁力の小さい、いわゆる軟
磁性材料が用いられている。さらに収容部5a内には、
金属スペーサ11に同径の円柱形状の永久磁石10が積
層して固着されている。そして、この収容部5aの開口
は接触板6により覆着されている。この接触板6は、導
電軸5の先端面より大径の円盤とされ、ろう付け13に
より導電軸5の先端に溶着されている。Each of the conductive shafts 5 and 9 has a thermal conductivity of about 3.5 J /
The conductive shafts 5 and 9 are provided with recesses 5a and 9a at the end surfaces thereof. Hereinafter, the movable electrode 4 shown in FIG. 2 will be described. Although the tips of the electrodes 4 and 8 have the same structure, a thick cylindrical metal spacer 11 is provided on the bottom of the housing 5a in the housing 5a. It is fixed. The metal spacer 11 is a ferromagnetic metal having a high magnetic permeability, such as pure iron, martensite or ferrite, and a so-called soft magnetic material having a small coercive force. Furthermore, in the accommodation part 5a,
The columnar permanent magnets 10 having the same diameter are laminated and fixed to the metal spacer 11. The opening of the housing 5a is covered with a contact plate 6. The contact plate 6 is a disk having a larger diameter than the tip surface of the conductive shaft 5, and is welded to the tip of the conductive shaft 5 by brazing 13.
【0012】これにより収容部5a内の底面に固着され
た金属スペーサ11及び永久磁石10はその周面及び収
容部5aの開口部に間隙Sにより非接触状態とされ、永
久磁石10は金属スペーサ11を介して収容部5aの底
面にのみ接触している。このため、アーク発生時に接触
板6が急激に加熱されても、その熱は収容部5aの底面
から熱伝導率が0.1J/cm.S.K程度の金属スペーサ11
を介して熱伝導により加熱されるに止まり、永久磁石1
0が急激加熱されることが防止されている。永久磁石1
0は、例えばサマリウムーコバルト系或いは鉄ーボロン
系の異方性磁石材料等の磁性材料を収容部5a,9a内
に収容し、金属蓋2,3をろう付けにより固着して密閉
容器とした後に絶縁容器1の外部から軸方向に外部磁界
を付与して着磁されて永久磁石とされている。これは、
高温に曝されると磁力を低下する場合があるため、密閉
容器を構成した後に着磁され、また着磁された永久磁石
の磁力を失わないように、前述したようにアーク発生時
においても永久磁石10は急激に加熱されることがない
ようにされている。As a result, the metal spacer 11 and the permanent magnet 10 fixed to the bottom surface in the housing 5a are brought into non-contact with the peripheral surface thereof and the opening of the housing 5a by the gap S. And only contacts the bottom surface of the housing portion 5a via the. Therefore, even if the contact plate 6 is rapidly heated when an arc is generated, the heat is transferred from the bottom surface of the housing portion 5a to the metal spacer 11 having a thermal conductivity of about 0.1 J / cm.SK.
Only by the heat conduction through the permanent magnet 1
0 is prevented from being rapidly heated. Permanent magnet 1
Reference numeral 0 denotes a case where a magnetic material such as a samarium-cobalt-based or iron-boron-based anisotropic magnet material is housed in the housing portions 5a and 9a, and the metal lids 2 and 3 are fixed by brazing to form a closed container. An external magnetic field is applied in the axial direction from the outside of the insulating container 1 to be magnetized to form a permanent magnet. this is,
Since the magnetic force may be reduced when exposed to high temperatures, the magnet is magnetized after forming the closed container, and as described above, even when an arc is generated, the permanent magnet is magnetized so as not to lose the magnetic force of the magnetized permanent magnet. The magnet 10 is prevented from being rapidly heated.
【0013】図1において14は、金属製のバリアであ
って、絶縁容器1の内面に設けられた突起1aに取着さ
れて、両電極4,8を囲む筒形に形成され、遮断時のア
ークにより両電極4,8から発生する金属ガスが絶縁容
器1の内周面に蒸着するのを防ぐアークシールドとされ
ている。この実施例のバリア14では図1及び図3に示
すように、前記金属スペーサ11と同じ純鉄、マルテン
サイト系あるいはフェライト系の強磁性金属であって、
保磁力が小さい、いわゆる軟磁性材料が用いられてい
る。このようにしてバリア14により両永久磁石10,
10の周囲に磁気回路が構成されている。なお、バリヤ
14は前記金属スペーサ11の後端面からの磁界がこの
バリア14の端部に吸収されるように若干長目とされて
両電極4,8の周囲を囲む筒形に形成されている。In FIG. 1, reference numeral 14 denotes a metal barrier, which is attached to a projection 1a provided on the inner surface of the insulating container 1 and is formed in a cylindrical shape surrounding both electrodes 4 and 8, and is used for shutting off when shut off. An arc shield is provided to prevent metal gas generated from the electrodes 4 and 8 due to the arc from being deposited on the inner peripheral surface of the insulating container 1. As shown in FIGS. 1 and 3, the barrier 14 of this embodiment is made of the same pure iron, martensite or ferrite ferromagnetic metal as the metal spacer 11,
A so-called soft magnetic material having a small coercive force is used. In this way, the two permanent magnets 10,
A magnetic circuit is formed around the reference numeral 10. The barrier 14 has a slightly longer length so that the magnetic field from the rear end face of the metal spacer 11 is absorbed by the end of the barrier 14 and is formed in a cylindrical shape surrounding the electrodes 4 and 8. .
【0014】以上によりこの実施例では、可動電極4側
の永久磁石10により金属スペーサ11からバリア1
4、固定電極8側の金属スペーサ11及び永久磁石10
を経由して両永久磁石10,10間に縦磁界を発生する
磁気回路Rが形成される。As described above, in this embodiment, the barrier 1 is separated from the metal spacer 11 by the permanent magnet 10 on the movable electrode 4 side.
4. Metal spacer 11 and permanent magnet 10 on fixed electrode 8 side
A magnetic circuit R for generating a vertical magnetic field is formed between the two permanent magnets 10 and 10.
【0015】次にこの実施例の作用を図3に基づいて説
明すると、今、閉路状態から可動電極4が後退して両接
触板6,6間に小間隙が形成されると、両接触板6,6
間にアークが発生する。この際、両電極4,8に封入さ
れた永久磁石10,10により、磁気回路Rが形成され
ており、この磁気回路Rは強磁性体である金属スペーサ
11及びバリア14によって高透磁率の磁気経路が長く
なるように形成している。このため、単に非磁性金属で
ある導電軸5,9や真空空間を磁気経路とする場合に較
べて磁気抵抗の小さい金属スペーサ11及びバリア14
を磁気経路としているため磁気抵抗の少ない磁気回路R
が構成されている。特に、永久磁石10に積層して金属
スペーサ11が設けられ、また、このバリヤ14は金属
スペーサ11の後端面から発する磁界が最短の磁気経路
を通ってバリア14の端部に吸収されるように若干長目
に筒形に形成されているので、さらに磁気抵抗の小さな
磁気回路とされている。このように磁気抵抗の小さな磁
気回路Rにより両電極4,8間に大きな縦磁界が付与さ
れ、アークは大きな縦磁界中で局部集中すること無く均
等に分散したアークとなり、遮断性能が高められる。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIG. 3. Now, when the movable electrode 4 is retracted from the closed state and a small gap is formed between the contact plates 6, 6, both contact plates will be described. 6,6
An arc occurs between them. At this time, a magnetic circuit R is formed by the permanent magnets 10 and 10 sealed in the electrodes 4 and 8, and the magnetic circuit R is formed by a metal spacer 11 and a barrier 14 which are ferromagnetic and has a high magnetic permeability. The path is formed to be long. For this reason, the metal spacers 11 and the barriers 14 having a lower magnetic resistance than the case where the conductive shafts 5 and 9 or the vacuum space, which is a nonmagnetic metal, are used as magnetic paths.
Circuit R having a low magnetic resistance because the
Is configured. In particular, a metal spacer 11 is provided so as to be laminated on the permanent magnet 10, and the barrier 14 is formed so that the magnetic field generated from the rear end face of the metal spacer 11 is absorbed by the end of the barrier 14 through the shortest magnetic path. Since it is formed in a slightly longer cylindrical shape, it is a magnetic circuit having a smaller magnetic resistance. As described above, a large vertical magnetic field is applied between the electrodes 4 and 8 by the magnetic circuit R having a small magnetic resistance, and the arc becomes an evenly dispersed arc without local concentration in the large vertical magnetic field, thereby improving the breaking performance.
【0016】また、この磁気回路Rは、この永久磁石1
0の外周に設けられている強磁性体のバリア14により
シールドされて外域に対する磁気作用が防止されている
ので、絶縁容器1の外方に磁界が作用することが少な
い。これにより大気中に浮遊する強磁性物質が絶縁容器
1の外面に吸着することが防止され、強磁性物質による
外部の絶縁低下をもたらすことがない。The magnetic circuit R is composed of the permanent magnet 1
Since a magnetic effect on the outer region is prevented by being shielded by the ferromagnetic barrier 14 provided on the outer periphery of the insulating container 1, the magnetic field hardly acts on the outside of the insulating container 1. This prevents the ferromagnetic substance floating in the atmosphere from adsorbing to the outer surface of the insulating container 1, and does not cause a decrease in external insulation due to the ferromagnetic substance.
【0017】なお、この実施例では、収容部5a,9a
内に永久磁石10を金属スペーサ11を介して取付けて
おり、その周面及び前部は間隙Sにより両電極4,8と
非接触状態とされているので、アーク発生に伴う接触板
6の急激な加熱によっても、永久磁石10の温度上昇は
緩慢であり、また、アーク消滅とともに熱は導電軸5,
9から急速に放熱されるので、永久磁石10の磁力が低
下するほどに加熱されることが防止される。In this embodiment, the housings 5a, 9a
A permanent magnet 10 is mounted via a metal spacer 11, and the peripheral surface and the front portion of the permanent magnet 10 are not in contact with the electrodes 4 and 8 due to the gap S. The temperature of the permanent magnet 10 rises slowly due to the excessive heating.
Since the heat is rapidly radiated from 9, the permanent magnet 10 is prevented from being heated to such an extent that its magnetic force decreases.
【0018】また、この実施例では、アークシールドを
強磁性体により形成して、構造の簡単なバリアとしてい
る例を示しているが、アークシールドとは別にバリアを
設ける構成としても実施することができる。Further, in this embodiment, an example is shown in which the arc shield is formed of a ferromagnetic material to provide a barrier having a simple structure. However, the present invention may be practiced as a configuration in which a barrier is provided separately from the arc shield. it can.
【図1】 一部切欠正面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front view.
【図2】 可動電極の拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a movable electrode.
【図3】 磁界の分布図である。FIG. 3 is a distribution diagram of a magnetic field.
1…絶縁容器 4…可動電極 8…固定電極 10…永
久磁石 11…金属スペーサ 14…バリアDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Insulating container 4 ... Movable electrode 8 ... Fixed electrode 10 ... Permanent magnet 11 ... Metal spacer 14 ... Barrier
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 和明 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 日本碍子株式会社内 (72)発明者 入江 孝 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 日本碍子株式会社内 (72)発明者 向坂 節男 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 日本碍子株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−66324(JP,A) 特開 昭59−207523(JP,A) 特開 昭60−12628(JP,A) 特開 昭62−206726(JP,A) 特開 昭60−3823(JP,A) 実開 昭52−100166(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01H 33/66 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Kazuaki Kato 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi Japan Inside Insulator Co., Ltd. (72) Takashi Irie 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi No. Japan Insulator Co., Ltd. (72) Inventor Setsuo Kosaka 2-6, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi Japan Insulator Co., Ltd. (56) References JP-A-61-66324 (JP, A) JP-A-59 JP-A-207523 (JP, A) JP-A-60-12628 (JP, A) JP-A-62-206726 (JP, A) JP-A-60-3823 (JP, A) JP-A-52-100166 (JP, U (58) Fields surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H01H 33/66
Claims (1)
電極を突き合わせ状に接離可能に設けた真空バルブにお
いて、 前記両電極の各先端部に凹設した収容部の底面に強磁性
体からなる金属スペーサを固着し、さらに該金属スペー
サの前面に両電極間に縦磁界を付与する永久磁石を固着
して、該永久磁石のその周面及び前部を非接触状態に収
容され、また、前記絶縁容器の内面に両電極間を包囲す
る強磁性体からなる筒状のバリアが設けられていること
を特徴とする真空バルブ。1. A vacuum valve having a pair of opposed rod-shaped electrodes provided in a cylindrical insulating container so as to be able to contact and separate in abutting manner, wherein a ferromagnetic material is provided on a bottom surface of a housing recessed at each end of the two electrodes. A metal spacer made of a body is fixed, and a permanent magnet that applies a vertical magnetic field between both electrodes is fixed to the front surface of the metal spacer, and the peripheral surface and the front part of the permanent magnet are housed in a non-contact state, A vacuum valve, wherein a cylindrical barrier made of a ferromagnetic material surrounding the two electrodes is provided on an inner surface of the insulating container.
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1993
- 1993-07-22 JP JP20271793A patent/JP3176489B2/en not_active Expired - Fee Related
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