JP3163265B2 - フラットケーブルと多層基板の検査装置及び検査方法 - Google Patents
フラットケーブルと多層基板の検査装置及び検査方法Info
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Description
ル,ワイヤーハーネス,プリント配線基板,又は半導体
チップをプリント配線基板に接続するフィルムテープな
どの良否を判定する検査装置に関し、より詳しくは配線
又はパターンが所定の経路で正しく導通しているか、ま
た他の経路と短絡していることがないかを検査する配線
又はパターンの検査装置に関する。
便に行うためには、図4に示す如く導通テスタ101を
用い、フラットケーブル102や、プリント基板(図示
せず)等の配線パターンの各々の配線の両端が導通して
いるか、また隣接する他の配線と短絡していることがな
いかを順々に手作業で検査確認することができる。
数が増加するにつれ、検査コストが著しく上昇してしま
うため、生産工程に適用するには不向きである。
図5に示すような検査装置110が用いられている。こ
の検査装置110は、前記導通テスタに相当する測定回
路である導通絶縁判別部103を有しており、検査対象
であるワイヤーハーネス105とその導通絶縁判別部と
の間を、切替回路104を介して接続するように構成さ
れている。その切替回路104は制御回路106によっ
て制御されており、その制御により、切替回路104
は、前述の手作業の手順通り、導通絶縁判別部103に
よって、ワイヤーハーネス105を構成する導線の検査
を順番に行うように構成されている。
回路106の自動測定により、大量の検査対象物の良・
不良を迅速に検出することができ、そのような検査結果
は表示部107に表示されるので、不良品を除去するこ
とが可能になっている。
業の場合と同様に、1本、又は複数本のワイヤーハーネ
スを選択し、切替回路104によって切り替えながら導
通絶縁判別部103と接続させるものであり、接続順序
を工夫することにより、手作業に比べると検査速度は格
段に早くなるものの、増々多ピン化する半導体デバイス
に対応したプリント基板上の配線検査には、長時間を要
していた。
価な部品が多用されているため、検査装置110が大型
化し、更に制御回路106により、その構成が複雑で高
価になってしまうという欠点がある。
で、全ての配線又はパターンについてのオープン不良
と、隣接し合う配線又はパターン間のショート不良とを
1パスで瞬時に検査することができる配線又はパターン
の検査装置を提供することにある。
に、請求項1記載の発明は、フラットケーブルの複数の
配線に電圧を印加する電圧印加手段と、前記各配線の他
端の電圧を検出する電圧検出手段とを有し、前記フラッ
トケーブルのオープン不良とショート不良を検査する検
査装置であって、前記電圧印加手段は、前記複数の配線
のうち、1本おきの配線の一端に電源電圧を印加すると
共に、他端を第1のプルダウン抵抗を介して接地電位に
接続し、且つ、その配線の間に位置する配線の一端をプ
ルアップ抵抗を介して前記電源電圧に接続させると共に
他端を第2のプルダウン抵抗を介して接地電位に接続さ
せるように構成され、前記フラットケーブルが良品であ
った場合には、前記各配線のうち、前記第2のプルダウ
ン抵抗が接続された部分には、互いに等しい電圧が現れ
るように構成され、前記電圧検査手段は、前記電源電圧
が一端に印加された配線の他端の電圧と、他の配線の前
記プルダウン抵抗を介して接地電位に接続された部分の
電圧とを検出し、前記フラットケーブルが良品であった
場合の電圧と比較し、測定対象のフラットケーブルの良
否を判定するフラットケーブル検査装置である。また、
請求項2記載の発明は、多層基板の表面に位置する複数
のコンタクトパターンを有する多層プリント配線板の、
前記コンタクトパターン間のオープン不良とショート不
良を検査する多層基板検査装置であって、前記各コンタ
クトパターンは、中心に位置する1個のコンタクトパタ
ーンに対し、隣接するコンタクトパターンが4個存する
格子状に配置されている場合に、前記多層基板が良品で
あれば、隣り合うコンタクトパターンの一方に電源電圧
が現れ、他方に電源電圧とは異なる一の電圧が現れるよ
うに、前記各コンタクトパターンに電圧を印加する電圧
印加手段と、前記各コンタクトパターンに現れる電圧を
検出する電圧検査手段とを有し、前記電圧検査手段が検
出した電圧により、測定対象の多層基板の良否を判定す
る多層基板検査装置である。また、請求項3記載の発明
は、多層基板の表面に位置する複数のコンタクトパター
ンを有する多層プリント配線板の、前記コンタクトパタ
ーン間のオープン不良とショート不良を検査する多層基
板検査装置であって、前記各コンタクトパターンは、中
心に位置する1個のコンタクトパターンに対し、隣接す
るコンタクトパターンが6個存する最密状に配置されて
いる場合に、前記多層基板が良品であれば、互いに隣接
する3個のコンタクトパターンのそれぞれに、互いに電
圧が異なる第1、第2、第3の電圧が現れるように、前
記各コンタクトパターンに電圧を印加する電圧印加手段
と、前記各コンタクトパターンに現れる電圧を検出する
電圧検査手段とを有し、前記電圧検査手段が検出した電
圧により、測定対象の多層基板の良否を判定する多層基
板検査装置である。
ーブルの複数の配線に電圧を印加し、前記各配線の他端
の電圧を検出し、前記フラットケーブルのオープン不良
とショート不良を検査するフラットケーブル検査方法で
あって、前記複数の配線のうち、1本おきの配線の一端
に電源電圧を印加すると共に、他端を第1のプルダウン
抵抗を介して接地電位に接続し、且つ、その配線の間に
位置する配線の一端をプルアップ抵抗を介して前記電源
電圧に接続すると共に、他端を第2のプルダウン抵抗を
介して接地電位に接続し、前記フラットケーブルが良品
であった場合には、前記各配線のうち、前記第2のプル
ダウン抵抗が接続された部分には、互いに等しい電圧が
現れるようにし、前記第1のプルダウン抵抗が接続され
た部分の電圧と、前記第2のプルダウン抵抗が接続され
た部分の電圧とを検出し、前記フラットケーブルが良品
であった場合の電圧と比較し、測定対象のフラットケー
ブルの良否を判定するフラットケーブル検査方法であ
る。請求項5記載の発明は、多層基板の表面に位置する
複数のコンタクトパターンを有する多層プリント配線板
の、前記コンタクトパターン間のオープン不良とショー
ト不良を検査する多層基板検査方法であって、前記各コ
ンタクトパターンは、中心に位置する1個のコンタクト
パターンに対し、隣接するコンタクトパターンが4個存
する格子状に配置されている場合に、前記多層基板が良
品であれば、隣り合うコンタクトパターンの一方に電源
電圧が現れ、他方に電源電圧とは異なる一の電圧が現れ
るように、前記各コンタクトパターンに電圧を印加し、
前記各コンタクトパターンに現れる電圧を検出し、測定
対象の多層基板の良否を判定する多層基板検査方法であ
る。請求項6記載の発明は、多層基板の表面に位置する
複数のコンタクトパターンを有する多層プリント配線板
の、前記コンタクトパターン間のオープン不良とショー
ト不良を検査する検査方法であって、前記各コンタクト
パターンは、中心に位置する1個のコンタクトパターン
に対し、隣接するコンタクトパターンが6個存する最密
状に配置されている場合に、前記多層基板が良品であれ
ば、互いに隣接する3個のコンタクトパターンのそれぞ
れに、互いに電圧が異なる第1、第2、第3の電圧が現
れるように、前記各コンタクトパターンに電圧を印加
し、前記各コンタクトパターンに現れる電圧を検出し、
測定対象の多層基板の良否を判定する多層基板検査方法
である。
線又はパターンを有する検査対象について、各配線又は
パターンのオープン不良と、互いに隣接し合う配線又は
パターン間のショート不良とを検出し、検査対象の選別
作業を行う際に、検査装置によって良品と不良品を判断
することができる。
に電圧を印加する電圧印加手段と、各配線又はパターン
の電圧を検出する電圧検出手段とを有しており、その電
圧印加手段は、互いに隣接し合う配線又はパターン間に
異なる電圧を印加している。
ート不良があった場合には、各配線又はパターンの電圧
が良品であった場合の電圧とは異なる大きさの電圧にな
るように構成されている。例えば、電圧印加手段の出力
インピーダンスを大きくしたり、後記詳述するように、
電源電圧を抵抗分圧して電圧印加を行うようにすると、
ショート不良があった場合には、その配線又はパターン
の電圧値が良品である場合の電圧値とは異なるようにす
ることができる。
電圧を印加し、他端をプルダウン又はプルアップして電
圧を検出するようにすれば、オープン不良があった場合
に直ちに検出することが可能となる。このように、各配
線又はパターンの電圧を検出することで、ショート不良
やオープン不良を検出することができる。
れた検査対象は選別の際に除去する必要があるので、1
箇所でもショート不良やオープン不良があった場合に
は、良否判定手段によって不良と判定できるようにして
おくと、選別作業を迅速に行うことが可能となる。
の実施形態を説明する。図2の回路図を参照し、符号1
は、配線又はパターンの良否を判定する本発明の検査装
置であり、検査対象であるフラットケーブル10を中心
として、図面左側が奇数ピンのオープンモードを検査す
る奇数ピン検査回路であり、右側が偶数ピンのオープン
モードと、奇数ピンと偶数ピン間のショートモードを検
査する偶数ピン検査回路である。
ついて説明する。フラットケーブル10の奇数ピン10
1,103,105には、図中右側の端子111,113,
115において電源電圧Vccが印加されており、図中左
側の端子121,123,125は、プルダウン抵抗1
31,133,135の一端と、多入力NANDゲート1
4の入力側に接続されている。各プルダウン抵抗1
31,133,135の他端はグラウンド電位に接続さ
れ、他方、多入力NANDゲート14の出力は、電流制
限抵抗を介して、エミッタ接地のNPNトランジスタT
r1のベース端子に入力されている。
には、良否判定手段である発光ダイオードLED1が接
続されており、NANDゲート14の出力がハイ状態に
なり、NPNトランジスタTr1が導通すると、電源電
圧Vccから発光ダイオードLED1に電流が供給され、
発光するように構成されている。
01,103,105がオープン不良になっておらず、全
て正常に導通しているものとする。この場合には、多入
力NANDゲート14の入力側はすべて電源電圧Vccに
保持されており、その電圧レベルはハイ状態にある。従
って、NANDゲート14の出力はロー状態となり、N
PNトランジスタTr1は導通せず、発光ダイオードL
ED1は発光しない。
01,103,105が断線してオープン不良になったも
のとすると、端子121、123、125のうちのオープ
ン不良となった奇数ピンに接続されたものがプルダウン
抵抗131、133、135のいずれかによってグラウン
ド電位に接続され、ロー状態になる
一つでもロー状態であると出力はハイ状態になることか
ら、奇数ピン101、103、105のいずれか一つでも
オープン不良があった場合には、出力はハイ状態にな
り、発光ダイオードLED1は発光する。その発光ダイ
オードLED1は視認できるように構成されており、従
って、奇数ピン101〜105にオープン不良があるか否
かは、発光ダイオードLED1を観察することで判定す
ることができる。
ついて説明する。フラットケーブル10の偶数ピン10
2,104は、図中右側の端子112,114において一端
がグラウンド電位に接続されたプルダウン抵抗162,
164の他端に接続されており、図中左側の端子122,
124において、一端が電源電圧Vccに接続されたプル
アップ抵抗172,174の他端に接続されている。
ルアップ抵抗172,174の値はすべて等しく設定され
ているので、2本の偶数ピン102,104の電位は電源
電圧Vccの半分の電圧Vcc/2となっている。その2本
の偶数ピン102,104のうち、一方の偶数ピン102
は一組を成すコンパレータ18a2,18b2の反転入力
端子と非反転入力端子にそれぞれ接続されており、他方
の偶数ピン104は、同様に、他の一組を成すコンパレ
ータ18a4,18b4の反転入力端子と非反転入力端子
にそれぞれ接続されている。
力端子は、可変抵抗19a2、19a4によって、Vcc/
2よりも僅かに高い電圧(例えば、Vcc/2+0.2V)
がそれぞれ入力されており、一方、コンパレータ18b
2、18b4の反転入力端子には、可変抵抗19b2、1
9b4によってVcc/2よりも僅かに低い電圧(例えば、
Vcc/2−0.2V)がそれぞれ入力されている。
の出力は、それぞれ反転されて一つのNORゲート20
2に入力されており、他の一組を成すコンパレータ18
a4、18b4の出力は、それぞれ反転されて他のNOR
ゲート204に入力されている。それら2個のNORゲ
ート202、204の出力はNANDゲート21に入力さ
れており、そのNANDゲート21の出力は、電流制限
抵抗を介してNPNトランジスタTr2のベース端子に
接続されている。
には発光ダイオードLED2が接続されており、NPN
トランジスタTr2が導通すると、電源電圧Vccから発
光ダイオードLED2に電流が供給され、発光するよう
に構成されている。従って、2個のNORゲート2
02、204の出力のうち、いずれか一方の出力がロー状
態のときに、発光ダイオードLED2が発光する。
02、104がオープン不良ではなく正常に導通している
ものとすると、1本の偶数ピン102からの電圧Vcc/
2の入力により、一組を成すコンパレータ18a2、18
b2の出力は両方ともハイ状態となり、各出力が反転さ
れてNORゲート202に入力される。また、偶数ピン
104からの入力により、他の一組を成すコンパレータ
18a4、18b4の出力も、両方ともハイ状態となり、
各反転されてNORゲート204に入力される。従っ
て、2個のNORゲート202、204の出力は共にハイ
状態となり、後段のNANDゲート21の出力はロー状
態となるので、NPNトランジスタTr2は導通せず、
発光ダイオードLED2は発光しない。
ち、少なくとも一つのピン、例えば符号102で示すピ
ンが断線してオープン不良になっているものとすると、
端子112から一組を成すコンパレータ18a2,18b
2への入力はプルダウン抵抗162によって、グラウンド
電位に置かれ、その電圧が非反転入力端子に入力される
コンパレータ18b2の出力はロー状態となる。
02に入力され、NORゲート202の出力はロー状態と
なるから、後段のNANDゲート21の出力がハイ状態
となり、NPNトランジスタTr2が導通し、発光ダイ
オードLED2が発光する。このように、フラットケー
ブル10の偶数ピン102,104のオープン不良は発光
ダイオードLED2の発光によって判定することができ
る。
フラットケーブル10の隣接し合うピンのうち、偶数ピ
ン102と、同奇数ピン101,103のいずれとかが短
絡し、ショート不良になっているものとする。このよう
なショート不良があった場合には、プルアップ抵抗12
2両端は短絡され、偶数ピン102には電源電圧Vccが印
加されることになる。
介して反転入力端子に入力されるので、コンパレータ1
8a2の出力はロー状態となり、後段のNORゲート2
02の出力はロー状態となり、NANDゲート21の出
力はハイ状態となり、NPNトランジスタTr2が導通
し、発光ダイオードLED2が発光する。
ピン同士のショート不良も、発光ダイオードLED2の
発光によって知ることができる。なお偶数ピン104と
奇数ピン103,105の間のショート不良があった場合
についても同様に、発光ダイオードLED2が発光す
る。
線又はパターンについてのオープン不良と、隣接し合う
配線又はパターン間のショート不良とを瞬時に検査する
ことができる。
1、103、105に電源電圧Vccを印加し、偶数ピン1
02、104に電源電圧Vccの半分のVcc/2の電圧を印
加したが、電圧はその値に限定されるものではない。ま
た、用いる電圧値も二種類に限定されるものではなく、
三種類以上の電圧値を用いてもよい。但し、フラットケ
ーブル10のように、配線又はパターンが平行に配置さ
れているものは、ショート不良は、隣り合う配線又はパ
ターン同士の間でしか発生しないので、最小では二種類
の電圧値で済む。
ドLED1、発光ダイオードLED2を良否判定手段とし
たが、2個のNANDゲート14、21の出力をORゲ
ートで受けて一つのNPNトランジスタのベース端子に
接続し、奇数ピン側と偶数ピン側のいずれか一方に不良
があった場合、そのコレクタ端子に接続された発光ダイ
オードが発光するようにしてもよい。
定されるものではなく、自動的に不良品と良品とを振り
分けるもの、不良品を除去するもの、不良品にマーキン
グを行うもの等、不良品を特定できるものであれば本発
明に含まれる。
ーブルケーブル10の測定にのみ用いられるものではな
い。例えば、図3(a)の符号50で示す、多層プリント
基板の表面の銅薄膜で構成されたコンタクトパターン間
のオープン不良やショート不良を検出するのにも用いる
ことができる。
ール53によって下層の配線51に接続されるものと、
スルーホール53を有さず、表面の配線52に接続され
るものがあるが、各コンタクトパターン50は格子状に
配置されており、正方形の頂点上に位置するようにされ
ている。
えば、一つのコンタクトパターン50を符号Aで特定す
ると、その符号Aのコンタクトパターン50は、符号B
1〜B4の位置にある4個のコンタクトパターン50と互
いに隣接し合っている。
ーン50同士は互いに隣接し合っていない。従って、例
えば、符号Aの位置をフラットケーブル10の奇数ピン
に見立て、符号B1〜B4の位置を偶数ピンと見立て、配
線52、51によって接続された図示しない外部接続側
のパターンを用い、良品である場合、符号Aの位置コン
タクトパターン50に電源電圧Vccが現れ、符号B1〜
B4の位置のコンタクトパターン50に電圧Vcc/2が
現れるようにすると(全体では、一個おきに電源電圧Vc
cと電圧Vcc/2が現れるようにする)、各コンタクトパ
ターン50間のオープン不良とショート不良とを、上述
の検査装置1を用いて選別することができる。
置されたコンタクトパターン60(コンタクトホールを
有さないコンタクトパターンと配線パターンとは省略し
てある)同士のオープン不良とショート不良を検出する
場合には、例えば、一つのコンタクトパターン60を符
号Cで特定すると、その符号Cのコンタクトパターン6
0は、符号D1〜D6の位置にある6個のコンタクトパタ
ーン60と隣接し合っている。
60では、上述の格子状配置のコンタクトパターン50
と異なって、符号D1と符号D2、符号D2と符号D3‥‥
符号D6と符号D1の位置にある2個のコンタクトパター
ン60同士も隣接し合っている。
ンと符号D1、D3、D5の位置(奇数位置)にあるコンタ
クトパターン60の間に異なる電圧を印加した場合、符
号D2、D4、D6の位置(偶数位置)にあるコンタクトパ
ターン60には、それらとは異なる電圧を印加する必要
がある。
第1の電圧、第2の電圧、第3の電圧の3種類の異なる
電圧を印加する必要がある。例えば、電源電圧Vccを三
等分し、第1の電圧をVcc、第2の電圧をVcc・2/
3、第3の電圧をVcc/3とし、良品である場合、符号
Cの位置のコンタクトパターン60に第1の電圧が、符
号D1、D3、D5の位置のコンタクトパターン60に第
2の電圧が、符号D2、D4、D6の位置のコンタクトパ
ターン60に第3の電圧が現れるようにする(全体で
は、正三角形の頂点位置にあるコンタクトパターン60
間に異なる電圧が現れるようにする)と、本発明の検査
装置を用いて、ショート不良とオープン不良とを同時に
検出することが可能となる。
た電圧は3種類であるが、4種類以上の電圧を用いる場
合も本発明に含まれる。要するに、本発明は、互いに隣
接し合う配線又はパターン間に異なる電圧を印加し、オ
ープン不良やショート不良があった場合には、それら各
配線又はパターンに現れる電圧が、良品であった場合の
電圧とは異なる値の電圧になるようにすればよい。
の検査装置によれば、リレーを設ける必要がなくなるの
で、制御回路も不要となり、検査装置のコストが低減す
る。また、配線又はパターンと測定回路間との接続をリ
レーにより切換える必要がなくなるので、測定時間が短
縮する。
例 (b):そのパターンの他の例
‥‥右側端子 12‥‥左側端子 13‥‥プルダ
ウン抵抗(奇数ピン) 14‥‥多入力NANDゲート
(奇数ピン) 16‥‥プルダウン抵抗(偶数ピン)
17‥‥プルアップ抵抗(偶数ピン) 18a,18b
‥‥コンパレータ 19a,19b‥‥可変抵抗
20‥‥NORゲート 21‥‥NANDゲート
Tr1、2‥‥NPNトランジスタ LED1、2‥‥表
示装置(発光ダイオード)
Claims (6)
- 【請求項1】フラットケーブルの複数の配線に電圧を印
加する電圧印加手段と、前記各配線の他端の電圧を検出
する電圧検出手段とを有し、 前記フラットケーブルのオープン不良とショート不良を
検査する検査装置であって、 前記電圧印加手段は、前記複数の配線のうち、1本おき
の配線の一端に電源電圧を印加すると共に、他端を第1
のプルダウン抵抗を介して接地電位に接続し、且つ、そ
の配線の間に位置する配線の一端をプルアップ抵抗を介
して前記電源電圧に接続させると共に他端を第2のプル
ダウン抵抗を介して接地電位に接続させるように構成さ
れ、 前記フラットケーブルが良品であった場合には、前記各
配線のうち、前記第2のプルダウン抵抗が接続された部
分には、互いに等しい電圧が現れるように構成され、 前記電圧検査手段は、前記第1のプルダウン抵抗が接続
された部分の電圧と、前記第2のプルダウン抵抗が接続
された部分の電圧とを検出し、前記フラットケーブルが
良品であった場合の電圧と比較し、測定対象のフラット
ケーブルの良否を判定するフラットケーブル検査装置。 - 【請求項2】多層基板の表面に位置する複数のコンタク
トパターンを有する多層プリント配線板の、前記コンタ
クトパターン間のオープン不良とショート不良を検査す
る多層基板検査装置であって、 前記各コンタクトパターンは、中心に位置する1個のコ
ンタクトパターンに対し、隣接するコンタクトパターン
が4個存する格子状に配置されている場合に、 前記多層基板が良品であれば、隣り合うコンタクトパタ
ーンの一方に電源電圧が現れ、他方に電源電圧とは異な
る一の電圧が現れるように、前記各コンタクトパターン
に電圧を印加する電圧印加手段と、 前記各コンタクトパターンに現れる電圧を検出する電圧
検査手段とを有し、 前記電圧検査手段が検出した電圧により、測定対象の多
層基板の良否を判定する多層基板検査装置。 - 【請求項3】多層基板の表面に位置する複数のコンタク
トパターンを有する多層プリント配線板の、前記コンタ
クトパターン間のオープン不良とショート不良を検査す
る多層基板検査装置であって、 前記各コンタクトパターンは、中心に位置する1個のコ
ンタクトパターンに対し、隣接するコンタクトパターン
が6個存する最密状に配置されている場合に、 前記多層基板が良品であれば、互いに隣接する3個のコ
ンタクトパターンのそれぞれに、互いに電圧が異なる第
1、第2、第3の電圧が現れるように、前記各コンタク
トパターンに電圧を印加する電圧印加手段と、 前記各コンタクトパターンに現れる電圧を検出する電圧
検査手段とを有し、 前記電圧検査手段が検出した電圧により、測定対象の多
層基板の良否を判定する多層基板検査装置。 - 【請求項4】フラットケーブルの複数の配線に電圧を印
加し、前記各配線の他端の電圧を検出し、前記フラット
ケーブルのオープン不良とショート不良を検査するフラ
ットケーブル検査方法であって、 前記複数の配線のうち、1本おきの配線の一端に電源電
圧を印加すると共に、他端を第1のプルダウン抵抗を介
して接地電位に接続し、且つ、その配線の間に位置する
配線の一端をプルアップ抵抗を介して前記電源電圧に接
続すると共に、他端を第2のプルダウン抵抗を介して接
地電位に接続し、 前記フラットケーブルが良品であった場合には、前記各
配線のうち、前記第2のプルダウン抵抗が接続された部
分には、互いに等しい電圧が現れるようにし、 前記第1のプルダウン抵抗が接続された部分の電圧と、
前記第2のプルダウン抵抗が接続された部分の電圧とを
検出し、前記フラットケーブルが良品であった場合の電
圧と比較し、測定対象のフラットケーブルの良否を判定
するフラットケーブル検査方法。 - 【請求項5】多層基板の表面に位置する複数のコンタク
トパターンを有する多層プリント配線板の、前記コンタ
クトパターン間のオープン不良とショート不良を検査す
る多層基板検査方法であって、 前記各コンタクトパターンは、中心に位置する1個のコ
ンタクトパターンに対し、隣接するコンタクトパターン
が4個存する格子状に配置されている場合に、 前記多層基板が良品であれば、隣り合うコンタクトパタ
ーンの一方に電源電圧が現れ、他方に電源電圧とは異な
る一の電圧が現れるように、前記各コンタクトパターン
に電圧を印加し、 前記各コンタクトパターンに現れる電圧を検出し、測定
対象の多層基板の良否を判定する多層基板検査方法。 - 【請求項6】多層基板の表面に位置する複数のコンタク
トパターンを有する多層プリント配線板の、前記コンタ
クトパターン間のオープン不良とショート不良を検査す
る検査方法であって、 前記各コンタクトパターンは、中心に位置する1個のコ
ンタクトパターンに対し、隣接するコンタクトパターン
が6個存する最密状に配置されている場合に、 前記多層基板が良品であれば、互いに隣接する3個のコ
ンタクトパターンのそれぞれに、互いに電圧が異なる第
1、第2、第3の電圧が現れるように、前記各コンタク
トパターンに電圧を印加し、 前記各コンタクトパターンに現れる電圧を検出し、測定
対象の多層基板の良否を判定する多層基板検査方法。
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