JP3148902B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JP3148902B2 JP3148902B2 JP5431592A JP5431592A JP3148902B2 JP 3148902 B2 JP3148902 B2 JP 3148902B2 JP 5431592 A JP5431592 A JP 5431592A JP 5431592 A JP5431592 A JP 5431592A JP 3148902 B2 JP3148902 B2 JP 3148902B2
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- Japan
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- substrate
- conductive material
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置製造用のウ
ェハやガラス板等の基板の搬送装置に係り、特に非導電
性材質製のカセットを用いる搬送装置のカセット内に収
納されている基板からの静電気の除去に関する。
ェハやガラス板等の基板の搬送装置に係り、特に非導電
性材質製のカセットを用いる搬送装置のカセット内に収
納されている基板からの静電気の除去に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造用のウェハやガラス板等
の基板は、カセットに多数枚収納されて各処理装置間を
搬送され、それぞれの処理装置においてカセットから順
次取出されて処理されることが多い。カセットは、処理
液等による腐蝕対策及び金属等の導電性物質による基板
の汚染対策上、一般的にはテフロン等によって作製され
ている。
の基板は、カセットに多数枚収納されて各処理装置間を
搬送され、それぞれの処理装置においてカセットから順
次取出されて処理されることが多い。カセットは、処理
液等による腐蝕対策及び金属等の導電性物質による基板
の汚染対策上、一般的にはテフロン等によって作製され
ている。
【０００３】カセットをテフロン等の非導電性材質によ
り作製した場合、カセット及びそれに収納された基板
は、例えば純水による洗浄などの処理によって静電気を
帯びてしまう。この静電気は、個々の装置によって値は
異なるが、高電圧に達すると、ロボット等により基板を
カセットから取出す際、ロボット等に静電気が流れ、異
常動作を引起こすことがある。また、この静電気は、パ
ーティクルの静電吸着による表面汚染、基板に形成され
つつあるデバイスの静電破壊や性能劣化及び人体への電
撃ショック等、種々の問題を生じる。
り作製した場合、カセット及びそれに収納された基板
は、例えば純水による洗浄などの処理によって静電気を
帯びてしまう。この静電気は、個々の装置によって値は
異なるが、高電圧に達すると、ロボット等により基板を
カセットから取出す際、ロボット等に静電気が流れ、異
常動作を引起こすことがある。また、この静電気は、パ
ーティクルの静電吸着による表面汚染、基板に形成され
つつあるデバイスの静電破壊や性能劣化及び人体への電
撃ショック等、種々の問題を生じる。
【０００４】そこで、従来、カセットの表面に導電性被
膜を設けて静電気をアースに逃がす等の提案がなされて
いるが、上記のようにカセットの材質は自由に選択する
ことができず、テフロンのような非導電性材質製のもの
を用いなければならない場合が少なくない。
膜を設けて静電気をアースに逃がす等の提案がなされて
いるが、上記のようにカセットの材質は自由に選択する
ことができず、テフロンのような非導電性材質製のもの
を用いなければならない場合が少なくない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、非導電性材質からなるカセット内に収納さ
れている基板の静電気の電圧を実害が生じない程度に低
下させることにある。また、他の課題は、導電性物質に
よる基板の汚染等の問題をほとんど生じさせることな
く、静電気を低減させることにある。
する課題は、非導電性材質からなるカセット内に収納さ
れている基板の静電気の電圧を実害が生じない程度に低
下させることにある。また、他の課題は、導電性物質に
よる基板の汚染等の問題をほとんど生じさせることな
く、静電気を低減させることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、複数の基板を収納するとともに低部に開口
を有する非導電性材質製のカセットを載置する支持台
と、少なくとも外周部が導電性材質で形成されるととも
に前記支持台上に載置されたカセットの前記開口内にあ
る基板のオリエンテーションフラット部の中央部を除く
外周に接触可能に配置されたオリエンテーションフラッ
ト合わせ用の回転ローラと、同回転ローラの導電性材質
部に接続されたアース取り手段と、を具備する基板搬送
装置にある。
の本発明は、複数の基板を収納するとともに低部に開口
を有する非導電性材質製のカセットを載置する支持台
と、少なくとも外周部が導電性材質で形成されるととも
に前記支持台上に載置されたカセットの前記開口内にあ
る基板のオリエンテーションフラット部の中央部を除く
外周に接触可能に配置されたオリエンテーションフラッ
ト合わせ用の回転ローラと、同回転ローラの導電性材質
部に接続されたアース取り手段と、を具備する基板搬送
装置にある。
【０００７】なお、前記回転ローラは、オリエンテーシ
ョンフラット合わせ用の位置と、同位置より前記開口に
対し奥側の位置であって前記オリエンテーションフラッ
ト部の中央部にも接触可能な位置と、にそれぞれ移動可
能に配置されていることが好ましく、また、前記支持台
は、前記カセットの一側端部及び底部にそれぞれ沿うよ
うにＬ字形状に形成されるとともに、カセットの少なく
とも一側端部及び底部の両側面に沿うように伸びこれら
の両側面をそれぞれ嵌入保持する導電性材質製のガイド
を備え、同ガイドがアース取り手段に接続されているこ
とが好ましい。
ョンフラット合わせ用の位置と、同位置より前記開口に
対し奥側の位置であって前記オリエンテーションフラッ
ト部の中央部にも接触可能な位置と、にそれぞれ移動可
能に配置されていることが好ましく、また、前記支持台
は、前記カセットの一側端部及び底部にそれぞれ沿うよ
うにＬ字形状に形成されるとともに、カセットの少なく
とも一側端部及び底部の両側面に沿うように伸びこれら
の両側面をそれぞれ嵌入保持する導電性材質製のガイド
を備え、同ガイドがアース取り手段に接続されているこ
とが好ましい。
【０００８】カセット内に収納されている基板のオリエ
ンテーションフラット部の中央部を除く外周を回転ロー
ラの外周に接触させ、基板を回転させてオリエンテーシ
ョンフラット合わせを行うと同時に基板に帯電している
静電気をアースへ逃がす。このとき、基板は、外周のみ
が回転ローラに接触するため、回転ローラの外周部を形
成する導電性材質による汚染等の問題はほとんど生じな
い。
ンテーションフラット部の中央部を除く外周を回転ロー
ラの外周に接触させ、基板を回転させてオリエンテーシ
ョンフラット合わせを行うと同時に基板に帯電している
静電気をアースへ逃がす。このとき、基板は、外周のみ
が回転ローラに接触するため、回転ローラの外周部を形
成する導電性材質による汚染等の問題はほとんど生じな
い。
【０００９】また、前記回転ローラを、前記位置と、同
位置より前記開口内の深い位置であって前記オリエンテ
ーションフラット部の中央部にも接触可能な位置と、に
それぞれ移動可能に配置することにより、オリエンテー
ションフラット合わせを行う前に、オリエンテーション
フラット部を含む基板の全周を回転ローラに接触させて
静電気をより確実に逃がすことができる。さらにまた、
カセット内の基板の静電気は、カセット自身に帯電して
いる静電気の影響を受けるため、カセットの支持台に上
記のようなガイドを設けてカセットの静電気を低減させ
ることにより、基板の静電気の電圧はより低く押えられ
る。
位置より前記開口内の深い位置であって前記オリエンテ
ーションフラット部の中央部にも接触可能な位置と、に
それぞれ移動可能に配置することにより、オリエンテー
ションフラット合わせを行う前に、オリエンテーション
フラット部を含む基板の全周を回転ローラに接触させて
静電気をより確実に逃がすことができる。さらにまた、
カセット内の基板の静電気は、カセット自身に帯電して
いる静電気の影響を受けるため、カセットの支持台に上
記のようなガイドを設けてカセットの静電気を低減させ
ることにより、基板の静電気の電圧はより低く押えられ
る。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例について図１ないし図３
を参照して説明する。１０はＬ字形状の支持台で、回転
駆動装置１１により軸１２を中心として、図２に実線と
仮想線で示すように、９０°旋回可能に取付けられてい
る。
を参照して説明する。１０はＬ字形状の支持台で、回転
駆動装置１１により軸１２を中心として、図２に実線と
仮想線で示すように、９０°旋回可能に取付けられてい
る。
【００１２】支持台１０は、互いに直角に配置された底
部用ベース１０Ａと側部用ベース１０Ｂとを有してい
る。底部用ベース１０Ａは、支持台１０が図２に仮想線
で示す位置にあるとき水平に位置し、実線で示す位置に
あるとき鉛直に位置し、他方、側部用ベース１０Ｂは、
支持台１０が仮想線で示す位置にあるとき鉛直に位置
し、実線で示す位置にあるとき水平に位置するように形
成されている。
部用ベース１０Ａと側部用ベース１０Ｂとを有してい
る。底部用ベース１０Ａは、支持台１０が図２に仮想線
で示す位置にあるとき水平に位置し、実線で示す位置に
あるとき鉛直に位置し、他方、側部用ベース１０Ｂは、
支持台１０が仮想線で示す位置にあるとき鉛直に位置
し、実線で示す位置にあるとき水平に位置するように形
成されている。
【００１３】支持台１０は、図２に仮想線で示す状態に
あるとき、図３に示すように、カセット３０の底部３０
Ａを底部用ベース１０Ａ上に位置させ、図２に仮想線で
示すカセット３０の右側端部３０Ｂを側部用ベース１０
Ｂに押付けて、カセット３０を載置される。
あるとき、図３に示すように、カセット３０の底部３０
Ａを底部用ベース１０Ａ上に位置させ、図２に仮想線で
示すカセット３０の右側端部３０Ｂを側部用ベース１０
Ｂに押付けて、カセット３０を載置される。
【００１４】支持台１０には、上記のように載置された
カセット３０の底部３０Ａと側端部３０Ｂとの両側面を
それぞれ嵌入保持するガイド１３，１４がねじ１５，１
６によって取付けられている。ガイド１３，１４は銅な
どの導電性材質で作られ、電路１７によりアース１８に
接続されている。
カセット３０の底部３０Ａと側端部３０Ｂとの両側面を
それぞれ嵌入保持するガイド１３，１４がねじ１５，１
６によって取付けられている。ガイド１３，１４は銅な
どの導電性材質で作られ、電路１７によりアース１８に
接続されている。
【００１５】底部用ベース１０Ａには、カセット３０の
底部開口３１に対応する開口１９が設けられている。支
持台１０が図２に仮想線で示す位置にあるとき、導電性
部材としての回転ローラ２０が下方から前記開口１９内
に進入可能に配置されている。
底部開口３１に対応する開口１９が設けられている。支
持台１０が図２に仮想線で示す位置にあるとき、導電性
部材としての回転ローラ２０が下方から前記開口１９内
に進入可能に配置されている。
【００１６】回転ローラ２０は、公知の回転ローラ型の
オリエンテーションフラット合わせ装置と同様のもので
あり、基板３１の円弧部３１Ａに接触し、オリエンテー
ションフラット部３１Ｂの中央部には非接触となること
により、オリエンテーションフラット部３１Ｂを図３に
おいて下方に位置させるようになっている。
オリエンテーションフラット合わせ装置と同様のもので
あり、基板３１の円弧部３１Ａに接触し、オリエンテー
ションフラット部３１Ｂの中央部には非接触となること
により、オリエンテーションフラット部３１Ｂを図３に
おいて下方に位置させるようになっている。
【００１７】回転ローラ２０は、少なくとも外周部、本
実施例では回転ーラ２０の全体と軸２１が、導電性材質
で形成され、この導電性材質部が電路２２によりアース
２３に接続されている。
実施例では回転ーラ２０の全体と軸２１が、導電性材質
で形成され、この導電性材質部が電路２２によりアース
２３に接続されている。
【００１８】支持台１０は、図２に実線で示す位置にあ
るとき、カセット３０の一方の側端部３０Ｂを下に位置
させて、カセット３０内の基板３１を水平に位置させる
ようになっている。この状態に置かれた基板３１に対
し、図１に示すように、ロボット（ハンドのみ示す）４
０がアクセス可能に設けられ、カセット３０と図示しな
い処理装置との間で基板３１を搬送するようになってい
る。
るとき、カセット３０の一方の側端部３０Ｂを下に位置
させて、カセット３０内の基板３１を水平に位置させる
ようになっている。この状態に置かれた基板３１に対
し、図１に示すように、ロボット（ハンドのみ示す）４
０がアクセス可能に設けられ、カセット３０と図示しな
い処理装置との間で基板３１を搬送するようになってい
る。
【００１９】次いで本装置の作用について説明する。支
持台１０を、図２に仮想線で示すように、その底部用ベ
ース１０Ａが水平になる位置に置き、底部用ベース１０
Ａ上に、図３に示すように、カセット３０をセットす
る。
持台１０を、図２に仮想線で示すように、その底部用ベ
ース１０Ａが水平になる位置に置き、底部用ベース１０
Ａ上に、図３に示すように、カセット３０をセットす
る。
【００２０】このとき、カセット３０の底部３０Ａの両
側面はガイド１３，１３に嵌入され、カセット３０の一
側端部３０Ｂ（図２参照）の両側面はガイド１４，１４
に嵌入される。ガイド１３，１４は導電性材質製であ
り、電路１７を介してアース１８に接続されているた
め、カセット３０に帯電している静電気は、カセット３
０が非導電性材質であるため、完全ではないがアース１
８へ逃げ、静電気の電圧を低下させる。
側面はガイド１３，１３に嵌入され、カセット３０の一
側端部３０Ｂ（図２参照）の両側面はガイド１４，１４
に嵌入される。ガイド１３，１４は導電性材質製であ
り、電路１７を介してアース１８に接続されているた
め、カセット３０に帯電している静電気は、カセット３
０が非導電性材質であるため、完全ではないがアース１
８へ逃げ、静電気の電圧を低下させる。
【００２１】実験によれば、ガイド１３，１４を設けて
静電気を除去することにより、カセット３０の図１にお
いて上面Ｘの静電気の電圧は、２０〜３０％低下した。
静電気を除去することにより、カセット３０の図１にお
いて上面Ｘの静電気の電圧は、２０〜３０％低下した。
【００２２】また、上記のように支持台１０上にカセッ
ト３０をセットした後、回転ローラ２０を、図３に示す
ように、オリエンテーションフラット合わせ位置まで上
昇させる。これにより、回転ローラ２０は、基板３１の
オリエンテーションフラット３１Ｂが、図３に示すよう
に、最下位置にあるとき、オリエンテーションフラット
３１Ｂの中央部とは非接触となるが、基板３１が上記角
度位置にない状態では、基板３１の外周に接触して、基
板３１を押上げる。
ト３０をセットした後、回転ローラ２０を、図３に示す
ように、オリエンテーションフラット合わせ位置まで上
昇させる。これにより、回転ローラ２０は、基板３１の
オリエンテーションフラット３１Ｂが、図３に示すよう
に、最下位置にあるとき、オリエンテーションフラット
３１Ｂの中央部とは非接触となるが、基板３１が上記角
度位置にない状態では、基板３１の外周に接触して、基
板３１を押上げる。
【００２３】すなわち、ランダムな角度位置でカセット
３０内に収納されている基板３１は、そのほとんどが回
転ローラ２０に接触して押上げられる。
３０内に収納されている基板３１は、そのほとんどが回
転ローラ２０に接触して押上げられる。
【００２４】次いで回転ローラ２０を回転させ、図３に
示すように、基板３１のオリエンテーションフラット３
１Ｂの位置合わせを行う。この位置合わせ過程におい
て、基板３１は回転ローラ２０によって回転され、基板
３０の外周のある範囲が回転ローラ２０に接触し、基板
３１に帯電している静電気が回転ローラ２０，軸２１及
び電路２２を介してアース２３へ逃がされる。
示すように、基板３１のオリエンテーションフラット３
１Ｂの位置合わせを行う。この位置合わせ過程におい
て、基板３１は回転ローラ２０によって回転され、基板
３０の外周のある範囲が回転ローラ２０に接触し、基板
３１に帯電している静電気が回転ローラ２０，軸２１及
び電路２２を介してアース２３へ逃がされる。
【００２５】このとき、基板３１が半導体ウェハの表面
にレジストを塗布したものやガラス板等の非導電性材質
である場合、基板３１の静電気は、完全に除去されない
が、回転ローラ２０によって基板３１を回転させ、基板
３１の外周のより広範囲を回転ローラ２０に接触させる
ことにより、より多くの静電気を除去することができ
る。この意味から、回転ローラ２０をオリエンテーショ
ンフラット合わせ位置より所定量高い位置に置いて、基
板３１を１ないし数回転させた後に、回転ローラ２０を
オリエンテーションフラット合わせ位置に位置決めして
オリエンテーションフラット合わせを行い得るように構
成しておくことが好ましい。
にレジストを塗布したものやガラス板等の非導電性材質
である場合、基板３１の静電気は、完全に除去されない
が、回転ローラ２０によって基板３１を回転させ、基板
３１の外周のより広範囲を回転ローラ２０に接触させる
ことにより、より多くの静電気を除去することができ
る。この意味から、回転ローラ２０をオリエンテーショ
ンフラット合わせ位置より所定量高い位置に置いて、基
板３１を１ないし数回転させた後に、回転ローラ２０を
オリエンテーションフラット合わせ位置に位置決めして
オリエンテーションフラット合わせを行い得るように構
成しておくことが好ましい。
【００２６】この基板３１の静電気除去は、上記のよう
に基板３１の外周部で行うため、導電性物質による基板
３１の汚染や基板３１の表裏面の損傷はほとんどなく、
実験によれば、基板３１が半導体ウェハであるとき、静
電気の電圧を７０〜８０％低下させることができた。な
お、この基板３１の電圧を完全に除去することができな
い理由は、カセット３０の静電気によるものである。
に基板３１の外周部で行うため、導電性物質による基板
３１の汚染や基板３１の表裏面の損傷はほとんどなく、
実験によれば、基板３１が半導体ウェハであるとき、静
電気の電圧を７０〜８０％低下させることができた。な
お、この基板３１の電圧を完全に除去することができな
い理由は、カセット３０の静電気によるものである。
【００２７】
【００２８】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、非導
電性材質のカセット内に収納されている基板に帯電した
静電気を、導電性物質による汚染等の問題をほとんど生
じさせることなく大幅に除去することができる。また、
カセットの少なくとも底部及び一側端部の両側面を導電
性材質のガイドで嵌入保持して、カセット自身の静電気
の電圧を低下させれば、カセット内に収納されている基
板の静電気の電圧をより低下させることができる。
電性材質のカセット内に収納されている基板に帯電した
静電気を、導電性物質による汚染等の問題をほとんど生
じさせることなく大幅に除去することができる。また、
カセットの少なくとも底部及び一側端部の両側面を導電
性材質のガイドで嵌入保持して、カセット自身の静電気
の電圧を低下させれば、カセット内に収納されている基
板の静電気の電圧をより低下させることができる。
【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例の要部側面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線による断面図で、オリエンテー
ションフラット合わせ時の状態を示す図である。
ションフラット合わせ時の状態を示す図である。
１０ 支持台 １３，１４ ガイド １７ 電路 １８，２３ アース ２０ 回転ローラ（導電性部材） ３０ カセット ３１ 基板 ４０ ロボット
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の基板を収納するとともに低部に開
口を有する非導電性材質製のカセットを載置する支持台
と、少なくとも外周部が導電性材質で形成されるととも
に前記支持台上に載置されたカセットの前記開口内にあ
る基板のオリエンテーションフラット部の中央部を除く
外周に接触可能に配置されたオリエンテーションフラッ
ト合わせ用の回転ローラと、同回転ローラの導電性材質
部に接続されたアース取り手段と、を具備する基板搬送
装置。 - 【請求項２】 前記回転ローラが、オリエンテーション
フラット合わせ用の位置と、同位置より前記開口に対し
奥側の位置であって前記オリエンテーションフラット部
の中央部にも接触可能な位置と、にそれぞれ移動可能に
配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板
搬送装置。 - 【請求項３】 前記支持台が、 前記カセットの一側端部
及び底部にそれぞれ沿うようにＬ字形状に形成されると
ともに、カセットの少なくとも一側端部及び底部の両側
面に沿うように伸び該両側面をそれぞれ嵌入保持する導
電性材質製のガイドを備え、同ガイドがアース取り手段
に接続されていることを特徴とする請求項１または２に
記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5431592A JP3148902B2 (ja) | 1992-02-05 | 1992-02-05 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5431592A JP3148902B2 (ja) | 1992-02-05 | 1992-02-05 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05218175A JPH05218175A (ja) | 1993-08-27 |
| JP3148902B2 true JP3148902B2 (ja) | 2001-03-26 |
Family
ID=12967155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5431592A Expired - Lifetime JP3148902B2 (ja) | 1992-02-05 | 1992-02-05 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3148902B2 (ja) |
-
1992
- 1992-02-05 JP JP5431592A patent/JP3148902B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05218175A (ja) | 1993-08-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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