JP3141698B2 - Driving method of image sensor - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 218
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 11
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 9
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 8
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 7
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 101000741396 Chlamydia muridarum (strain MoPn / Nigg) Probable oxidoreductase TC_0900 Proteins 0.000 description 2
- 101000741399 Chlamydia pneumoniae Probable oxidoreductase CPn_0761/CP_1111/CPj0761/CpB0789 Proteins 0.000 description 2
- 101000741400 Chlamydia trachomatis (strain D/UW-3/Cx) Probable oxidoreductase CT_610 Proteins 0.000 description 2
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- Facsimile Heads (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、イメージスキャナやフ
ァクシミリ等に用いられるイメージセンサに係り、特
に、安定且つ正確な画像信号を得るようにしたイメージ
センサの駆動方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image sensor used for an image scanner, a facsimile, and the like, and more particularly, to a method for driving an image sensor to obtain a stable and accurate image signal.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、この種のイメージセンサとして
は、原稿等の画像情報を一対一に投影し、電気信号に変
換するようにした密着型イメージセンサがある。このイ
メージセンサは、画像を多数の画素(受光素子)に分割
し、各受光素子で発生した電荷を薄膜トランジスタスイ
ッチング素子(TFT)を用いて、特定のブロック単位
で、配線間の容量に一次蓄積して、電気信号として数百
KHzから数百MHzまでの速度で時系列的に順次読み
出すいわゆるTFT駆動型イメージセンサがある(例え
ば、特開平2−265362号公報参照)。このよう
に、TFTを用いた場合、単一の駆動用ICで読み取り
が可能となり、イメージセンサを駆動する駆動用ICの
使用個数を少なくすることができるという利点があり、
この種のイメージセンサにおいては、TFT駆動型が多
く用いられている。2. Description of the Related Art Conventionally, as this type of image sensor, there is a contact type image sensor which projects image information of a document or the like one-to-one and converts it into an electric signal. This image sensor divides an image into a large number of pixels (light receiving elements), and temporarily stores the charge generated in each light receiving element in the capacity between wirings in a specific block unit using a thin film transistor switching element (TFT). There is a so-called TFT-driven image sensor that sequentially reads out an electric signal in a time-series manner at a speed of several hundred KHz to several hundred MHz (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-265362). As described above, when a TFT is used, reading can be performed with a single driving IC, and there is an advantage that the number of driving ICs for driving an image sensor can be reduced,
In this type of image sensor, a TFT drive type is often used.
【0003】図8には、このようなTFT駆動型イメー
ジセンサの等価回路例が示されており、以下、同図を参
照しつつこのイメージセンサについて説明する。このイ
メージセンサは、原稿幅と略同じ長さに複数の受光素子
11″をライン状に配列してなる受光素子アレイ11
と、各受光素子11″に一対一に対応する複数個の第1
の薄膜トランジスタTTi,j(i=1〜N,J=1〜n)及び各
受光素子11″に一対一に対応する複数の第2の薄膜ト
ランジスタTRi,j(i=1〜N,J=1〜n)からなる電荷転
送部12と、マトリックス状の多層配線群13とから構
成されてなるものである。FIG. 8 shows an example of an equivalent circuit of such a TFT drive type image sensor. Hereinafter, this image sensor will be described with reference to FIG. This image sensor has a light-receiving element array 11 in which a plurality of light-receiving elements 11 ″ are arranged in a line at substantially the same length as the document width.
And a plurality of first light-receiving elements 11 "corresponding to each light-receiving element 11".
Of thin film transistors TTi, j (i = 1 to N, J = 1 to n) and a plurality of second thin film transistors TRi, j (i = 1 to N, J = 1 to 1) corresponding to each light receiving element 11 ″ one-to-one. n) and a matrix-shaped multilayer wiring group 13.
【0004】ここで、第1の薄膜トランジスタTTi,j
は電荷転送用のものであり、第2の薄膜トランジスタT
Ri,jは受光素子11″に残留する電荷をリセットする
ためのものである。そして、受光素子アレイ11は、N
個のブロックの受光素子群11′に分割され、一つの受
光素子群11′を形成するn個の受光素子11″は、フ
ォトダイオードPi,j(i=1〜N,J=1〜n)により等価的
に表すことができるものである。各受光素子11″は、
各第1の薄膜トランジスタTTi,jのドレイン電極にそ
れぞれ接続され、更に、各第2の薄膜トランジスタTR
i,jのドレイン電極にも、それぞれ接続されている。Here, the first thin film transistor TTi, j
Is for charge transfer, and the second thin film transistor T
Ri, j is for resetting the electric charge remaining in the light receiving element 11 ″.
The n light-receiving elements 11 ″ divided into light-receiving element groups 11 ′ of one block and forming one light-receiving element group 11 ′ are photodiodes Pi, j (i = 1 to N, J = 1 to n). The respective light receiving elements 11 ″ can be equivalently expressed by
Each of the first thin film transistors TTi, j is connected to a drain electrode of the first thin film transistor TTi, j.
They are also connected to the drain electrodes i and j, respectively.
【0005】また、第2の薄膜トランジスタTRi,jの
ソース電極は接地されており、第1の薄膜トランジスタ
TTi,jのソース電極はマトリックス状に接続された多
層配線群13を介して受光素子毎にn本の共通信号線1
4にそれぞれ接続され、更に共通信号線14は駆動用I
C15に接続されている。一方、各第1の薄膜トランジ
スタTTi,jのゲート電極及び第2の薄膜トランジスタ
TRi,jのゲート電極は、ブロック毎に導通するように
ゲートパルス発生回路16に接続されている。The source electrode of the second thin-film transistor TRi, j is grounded, and the source electrode of the first thin-film transistor TTi, j is connected to the n-th light-receiving element via a multi-layer wiring group 13 connected in a matrix. Book common signal line 1
4 and the common signal line 14 is connected to the driving I
It is connected to C15. On the other hand, the gate electrode of each of the first thin film transistors TTi, j and the gate electrode of the second thin film transistor TRi, j are connected to the gate pulse generation circuit 16 so as to conduct for each block.
【0006】そして、各受光素子11″で発生する光電
荷は、一定時間受光素子の寄生容量と第1の薄膜トラン
ジスタTTi,jのドレイン・ゲート間のオーバラップ容
量に蓄積された後、第1の薄膜トランジスタTTi,jを
電荷転送用のスイッチとして用いてブロック毎に多層配
線群13の配線容量CLi(i=1〜n)に順次転送、蓄積
されるようになっている。すなわち、ゲートパルス発生
回路16からゲート線GTi(i=1〜n)を経由して、先
ずゲートパルスΦGT1が伝送され、第1のブロック内
の第1の薄膜トランジスタTT1,1〜1,nをオンにし、第
1のブロックの各受光素子11″で発生した電荷が各配
線容量CLiに転送、蓄積される。そして、各配線容量C
Liに蓄積された電荷により、各共通信号線14の電位が
変化し、駆動用IC15内のアナログスイッチ(図示せ
ず)を順次オンして先の電位を時系列的に出力線17に
出力するようになっている。[0006] The photocharge generated in each light receiving element 11 "is accumulated for a certain period of time in the parasitic capacitance of the light receiving element and the overlap capacitance between the drain and gate of the first thin film transistor TTi, j. The thin-film transistor TTi, j is used as a charge transfer switch to sequentially transfer and store the wiring capacitance CLi (i = 1 to n) of the multilayer wiring group 13 for each block. First, a gate pulse .PHI.GT1 is transmitted from 16 via a gate line GTi (i = 1 to n) to turn on the first thin film transistors TT1,1-1 to1, n in the first block, and to turn on the first block. The charge generated in each light receiving element 11 ″ is transferred and accumulated in each wiring capacitance CLi. And each wiring capacitance C
The potential of each common signal line 14 changes due to the charge accumulated in Li, and an analog switch (not shown) in the driving IC 15 is sequentially turned on to output the preceding potential to the output line 17 in time series. It has become.
【0007】さらに、ゲートパルス発生回路16からの
ゲート線GRi(i=1〜n)を経由してゲートパルスΦG
R1が伝送され、第1ブロック内の第2の薄膜トランジ
スタTR1,1〜TR1,nをオンにし、各受光素子の寄生容
量と薄膜トランジスタのドレイン・ゲート間のオーバラ
ップ容量に残留された未転送電荷(残留電荷)をリセッ
トする。Further, a gate pulse .PHI.G is supplied via a gate line GRi (i = 1 to n) from the gate pulse generating circuit 16.
R1 is transmitted, and the second thin film transistors TR1,1 to TR1, n in the first block are turned on, and the untransferred charges remaining in the parasitic capacitance of each light receiving element and the overlap capacitance between the drain and the gate of the thin film transistor ( Reset).
【0008】そして、ゲートパルスΦGT2〜ΦGTn
により第2乃至第Nブロックの第1の薄膜トランジスタ
TT2,1〜2,nからTTN,1〜TTN,nまでがそれぞれオン
して、ブロック毎に受光素子側の電荷が転送され、ゲー
トパルスΦGR2〜ΦGRnにより、第2の薄膜トラン
ジスタTR2,1〜TR2,nからTRN,1〜TRN,nまでが、
それぞれオンしてブロック毎に受光素子側の残留電荷が
リセットされる。さらに、共通信号線14に転送された
電荷によって変化した電位が、駆動用IC15によって
順次読み出されることにより、原稿の主走査方向の1ラ
インの画像信号が得られ、ローラ等の原稿送り手段(図
示せず)により原稿を移動させて前記動作を繰り返し、
原稿全体の画像信号を得るようになっている。Then, the gate pulses ΦGT2 to ΦGTn
As a result, the first thin film transistors TT2,1 to 2, n to TTN, 1 to TTN, n of the second to Nth blocks are respectively turned on, and the charge on the light receiving element side is transferred for each block, and the gate pulse ΦGR2 By ΦGRn, the second thin film transistors TR2,1 to TR2, n to TRN, 1 to TRN, n are
Each is turned on, and the residual charge on the light receiving element side is reset for each block. Further, the potential changed by the electric charge transferred to the common signal line 14 is sequentially read out by the driving IC 15, so that an image signal of one line in the main scanning direction of the original is obtained, and original feeding means such as a roller (FIG. (Not shown) to move the original and repeat the above operation,
An image signal of the entire document is obtained.
【0009】図9には上記構成におけるイメージセンサ
の主要部におけるタイミング図が示されており、同図を
参照しつつ主要部における波形、タイミング等について
説明する。第1の薄膜トランジスタTTのドレイン電位
は、いわゆる暗状態における光電荷蓄積時には徐々に上
昇する一方、いわゆる明状態における光電荷蓄積時に
は、暗状態に比して大きく上昇し(図9(c)参照)、
ゲートパルスΦGTの印加(図9(a)参照)によって
第1の薄膜トランジスタTTがオンとなると、いわゆる
フィードスルー電圧分急峻に上昇することとなる(図9
(c)参照)。FIG. 9 is a timing chart of the main part of the image sensor having the above-described configuration, and the waveforms and timings of the main part will be described with reference to FIG. The drain potential of the first thin film transistor TT gradually rises during the accumulation of photocharges in a so-called dark state, while it largely increases in the accumulation of photocharges in a so-called bright state as compared to the dark state (see FIG. 9C). ,
When the first thin film transistor TT is turned on by the application of the gate pulse ΦGT (see FIG. 9A), the first thin film transistor TT sharply rises by a so-called feed-through voltage (FIG. 9).
(C)).
【0010】そして、第1の薄膜トランジスタTTのソ
ース電極の電位に対して平行状態となるようにドレイン
電極側から電荷が転送されることにより、ドレイン電位
は下降し、第1の薄膜トランジスタTTがオフとなると
フィードスルー電圧分急峻に下降する(図9(c)参
照)。この時、第1の薄膜トランジスタTTのドレイン
電極側に現れる電位は、残留電荷に起因するものとな
る。続いて、第2の薄膜トランジスタTRが、ゲートパ
ルスΦGRの印加によってオンとなると、第1の薄膜ト
ランジスタTTのドレイン電位は、再びフィードスルー
電圧分急峻に上昇し(図9(c)参照)、第2の薄膜ト
ランジスタTRのソース電位すなわちVRとなるまで電
荷が転送されることにより電位は下降し、第2の薄膜ト
ランジスタTRがオフとなることによりフィードスルー
電圧分急峻に下降することとなる(図9(c)参照)。
そして、このときの第1の薄膜トランジスタTTのドレ
イン電位は、新たな光電荷蓄積の開始時における電位と
なる。Then, by transferring charges from the drain electrode side so as to be in a state parallel to the potential of the source electrode of the first thin film transistor TT, the drain potential is lowered and the first thin film transistor TT is turned off. Then, the voltage drops sharply by the feedthrough voltage (see FIG. 9C). At this time, the potential appearing on the drain electrode side of the first thin film transistor TT is caused by residual charges. Subsequently, when the second thin film transistor TR is turned on by application of the gate pulse ΦGR, the drain potential of the first thin film transistor TT sharply rises again by the feedthrough voltage (see FIG. 9C), When the charge is transferred to the source potential of the thin film transistor TR, that is, VR, the potential drops, and when the second thin film transistor TR is turned off, the potential drops sharply by the feedthrough voltage (FIG. 9C )reference).
Then, the drain potential of the first thin film transistor TT at this time becomes the potential at the start of new photocharge accumulation.
【0011】一方、第1の薄膜トランジスタTTのソー
ス電極における電位変化は、光電荷蓄積の間は、一定電
位であり(図9(d)参照)、ゲートパルスΦGTの印
加により第1の薄膜トランジスタTTがオンとなるとフ
ィードスルー電圧分急峻に上昇する(図9(d)参
照)。そして、このときのドレイン電位に対して、平行
状態となるようにソース電極側に電荷が転送されてソー
ス電位は上昇し、第1の薄膜トランジスタTTがオフと
なるとフィードスルー電圧分急峻に下降することとなる
(図9(d)参照)。この時のソース電位は、転送され
た電荷量を反映しており、駆動回IC15ではこの電位
を検出するようになっている。On the other hand, the potential change at the source electrode of the first thin film transistor TT is constant during the accumulation of photocharge (see FIG. 9D), and the first thin film transistor TT is turned on by the application of the gate pulse ΦGT. When it is turned on, it rises sharply by the feedthrough voltage (see FIG. 9D). Then, charges are transferred to the source electrode side so as to be in parallel with the drain potential at this time, and the source potential rises, and when the first thin film transistor TT is turned off, it falls sharply by the feedthrough voltage. (See FIG. 9D). The source potential at this time reflects the amount of transferred charges, and the driving circuit 15 detects this potential.
【0012】この後、駆動用IC15内の図示しないM
OSトランジスタがオンとなることにより、第1の薄膜
トランジスタTTのソース電位はフィードスルー電圧分
急峻に下降し、電荷がリセットされた結果として電位V
ICとなる(図9(d)参照)。そして、駆動用IC15
のMOSトランジスタ(図示せず)がオフとなると、第
1の薄膜トランジスタTTのソース電位は、フィードス
ルー電圧分急峻に上昇する。このときの電位は、基準電
位となるもので、駆動用IC15により検知される結
果、先に第1の薄膜トランジスタTTがオフとなった際
に、この駆動用IC15により検出された電位との差が
最終的なセンサ出力として出力されるようになってい
る。Thereafter, M (not shown) in the driving IC 15
When the OS transistor is turned on, the source potential of the first thin film transistor TT sharply drops by the feed-through voltage, and as a result of resetting the charge, the potential V
It becomes an IC (see FIG. 9D). And the driving IC 15
When the MOS transistor (not shown) is turned off, the source potential of the first thin film transistor TT sharply rises by the feedthrough voltage. The potential at this time is a reference potential, and as a result of detection by the driving IC 15, a difference from the potential detected by the driving IC 15 when the first thin-film transistor TT is turned off first. This is output as a final sensor output.
【0013】ところで、かかる構成のイメージセンサの
オフセット出力V0は、 V0=(CP/(CP+CL))×(Vf1−Vf2−Vf3−V
f4+VR−VIC) で表される。CPは受光素子の寄生容量であり、CLは配
線容量である。ここで、Vf1は第1の薄膜トランジスタ
TTのドレイン側におけるフィードスルー電圧(図9
(c)参照)、Vf2は第2の薄膜トランジスタTRのド
レイン側におけるフィードスルー電圧(図9(c)参
照)、Vf3は第1の薄膜トランジスタによるソース側に
おけるフィードスルー電圧(図9(d)参照)、Vf4は
駆動用IC15内の図示されないMOSトランジスタに
よる第1の薄膜トランジスタのソース側におけるフィー
ドスルー電圧(図9(d)参照)である。ここで各容量
値の関係から、Vf1,Vf2>Vf3、Vf3はVf4に比べて
十分に大きい、という関係が成り立ち、Vf1,Vf2,V
f3のみを考慮すればよい。By the way, the offset output V0 of the image sensor having such a configuration is as follows: V0 = (CP / (CP + CL)). Times. (Vf1-Vf2-Vf3-V)
f4 + VR-VIC). CP is a parasitic capacitance of the light receiving element, and CL is a wiring capacitance. Here, Vf1 is a feedthrough voltage on the drain side of the first thin film transistor TT (FIG. 9).
(C), Vf2 is a feedthrough voltage on the drain side of the second thin film transistor TR (see FIG. 9C), and Vf3 is a feedthrough voltage on the source side of the first thin film transistor TR (see FIG. 9D). , Vf4 are feedthrough voltages (see FIG. 9D) on the source side of the first thin film transistor by a MOS transistor (not shown) in the driving IC 15. Here, from the relationship between the capacitance values, the relationship that Vf1, Vf2> Vf3, and Vf3 is sufficiently larger than Vf4 holds, and Vf1, Vf2, Vf
Only f3 needs to be considered.
【0014】イメージセンサにおいて多階調出力を得る
ためには前記オフセット電圧V0を小さくすることが必
要である。前記した式を検討すると、オフセット電圧V
0を小さくするために、各フィードスルー電圧及び電圧
VR,VICの値を調整すればよいことが理解できる。電
圧VR,VICの値を調整する場合、高精度な電圧源が必
要となり、望ましくはグランド(GND)電位として用
いたい。前記した式から、電圧VR,VICの値を調整す
ることなく、オフセット電圧V0を小さくするために
は、第1薄膜トランジスタTTと第2薄膜トランジスタ
TRの各サイズ(W(ゲート幅)/L(ゲート長))を
調整することでフィードスルー電圧を変化させればよ
い。すなわち、薄膜トランジスタTRのサイズを小さく
すると、オーバーラップ容量が小さくなるのでVf1>V
f2が成り立ち、オフセット電圧V0を小さくすることが
できる。In order to obtain a multi-tone output in an image sensor, it is necessary to reduce the offset voltage V0. Considering the above equation, the offset voltage V
It can be understood that the value of each feedthrough voltage and the values of the voltages VR and VIC may be adjusted to reduce 0. When adjusting the values of the voltages VR and VIC, a high-precision voltage source is required, and it is desirable to use it as a ground (GND) potential. From the above equations, adjust the values of the voltages VR and VIC.
To reduce the offset voltage V0
Are the first thin film transistor TT and the second thin film transistor
TR size (W (gate width) / L (gate length))
Adjust the feedthrough voltage by adjusting
No. That is, when the size of the thin film transistor TR is reduced, the overlap capacitance is reduced, so that Vf1> V
f2 holds, and the offset voltage V0 can be reduced.
【0015】[0015]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第2の
薄膜トランジスタTRのサイズを第1の薄膜トランジス
タTTに比べて小さくした場合において、サイズ(W/
L)が小さいためにドレイン/ソース間に流れるオン電
流が小さくなるので、電荷転送用の薄膜トランジスタT
Tとリセット用の薄膜トランジスタTRの駆動条件(導
通時間)を同一とした場合には、リセット用の薄膜トラ
ンジスタTRによる転送時間が不足し、残像が大きくな
ってしまうという問題があった。そこで、それぞれの薄
膜トランジスタTT,TRともに電荷転送に十分な駆動
条件を設定すると、今度は読み取り速度の低下を招くこ
ととなるという新たな問題を生ずる。かかる不都合を回
避するため、第2の薄膜トランジスタTRのサイズを第
1の薄膜トランジスタTTに比べて小さくした構成を維
持したまま、両薄膜トランジスタTT,TRのサイズを
それぞれ大きくすることが考えられるが、読み取り速度
の低下を招くことは回避できるものの、イメージセンサ
の幅が大きくなってしまい、製造コストの上昇を招き実
用的ではない。However, when the size of the second thin film transistor TR is smaller than that of the first thin film transistor TT, the size (W /
L) is small, the on-current flowing between the drain and the source is small, so that the charge transfer thin film transistor T
When the driving conditions (conduction time) of T and the resetting thin film transistor TR are the same, there is a problem that the transfer time by the resetting thin film transistor TR becomes insufficient and the afterimage becomes large. Therefore, if a driving condition sufficient for charge transfer is set for each of the thin film transistors TT and TR, a new problem arises in that the reading speed is reduced. In order to avoid such inconvenience, it is conceivable to increase the size of both thin film transistors TT and TR while maintaining the configuration in which the size of second thin film transistor TR is smaller than that of first thin film transistor TT. Although it is possible to avoid a decrease in the size of the image sensor, the width of the image sensor is increased, and the manufacturing cost is increased, which is not practical.
【0016】本発明は上記実情に鑑みてなされたもの
で、リセット用の薄膜トランジスタTRのサイズを電荷
転送用の薄膜トランジスタTTに比べて小さくてオフセ
ット電圧を小さくした構成のイメージセンサにおいて
も、読み取り速度の低下を招くことなく残像が生じるの
を防止することができるイメージセンサの駆動方法を提
供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances. Even in an image sensor having a configuration in which the size of the reset thin film transistor TR is smaller than that of the charge transfer thin film transistor TT and the offset voltage is reduced, the reading speed can be reduced. It is an object of the present invention to provide a method for driving an image sensor that can prevent an afterimage from occurring without causing deterioration.
【0017】[0017]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明に係
るイメージセンサの駆動方法は、複数の受光素子を1ブ
ロックとして複数ブロックをライン状に配列してなる受
光素子アレイと、前記受光素子毎に接続されて前記受光
素子で発生した電荷を転送する複数の第1の薄膜トラン
ジスタと、前記受光素子毎に接続されて前記電荷転送後
に前記受光素子に残留する電荷をリセットする複数の第
2の薄膜トランジスタと、前記第1の薄膜トランジスタ
に接続されて前記第1の薄膜トランジスタを介して転送
された電荷を蓄積する容量部と、各ブロックの対応する
ビット毎に前記第1の薄膜トランジスタを共通に接続す
る共通接続線と、前記第1の薄膜トランジスタをブロッ
ク毎に導通状態とするためのパルス及び前記第2の薄膜
トランジスタをブロック毎に導通状態とするためのパル
スをそれぞれ発生するパルス発生手段と、前記共通信号
線を介して前記容量部の電荷を画像信号として出力する
駆動ICと、を具備し、前記第2の薄膜トランジスタの
サイズ(W/L)が前記第1の薄膜トランジスタのサイ
ズ(W/L)に比べて小さく設定されたイメージセンサ
の駆動方法において、前記第2の薄膜トランジスタの導
通時間を前記第1の薄膜トランジスタの導通時間より長
くすることを特徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for driving an image sensor, comprising: a light receiving element array in which a plurality of light receiving elements are arranged as one block; A plurality of first thin film transistors connected to each of the plurality of thin film transistors for transferring the charge generated in the light receiving element, and a plurality of second thin film transistors connected to each of the light receiving elements for resetting the charge remaining in the light receiving element after the charge transfer A thin film transistor, a capacitor unit connected to the first thin film transistor for storing the electric charge transferred through the first thin film transistor, and a common unit commonly connecting the first thin film transistor for each corresponding bit of each block. A connection line, a pulse for turning on the first thin film transistor for each block, and a pulse for turning on the second thin film transistor. A pulse generating means for generating a pulse for turning on each of the circuits, and a driving IC for outputting a charge of the capacitor portion as an image signal through the common signal line, In the image sensor driving method in which the size (W / L) of the thin film transistor is set to be smaller than the size (W / L) of the first thin film transistor, the conduction time of the second thin film transistor is set to be smaller than that of the first thin film transistor. It is characterized in that it is longer than the conduction time.
【0018】請求項2記載の発明に係るイメージセンサ
の駆動方法は、複数の受光素子を1ブロックとして複数
ブロックをライン状に配列してなる受光素子アレイと、
前記受光素子アレイで発生した電荷を全ビット分一括に
転送するため前記各受光素子に接続された複数の第1の
薄膜トランジスタと、前記電荷転送後に前記各受光素子
に残留する電荷を全ビット分一括にリセットするための
前記各受光素子に接続された複数の第2の薄膜トランジ
スタと、前記第1の薄膜トランジスタを介して転送され
た電荷を保持するため前記第1の薄膜トランジスタに接
続された複数の容量部と、前記各容量部に保持された電
荷を転送するための前記第1の薄膜トランジスタに接続
された複数の第3の薄膜トランジスタと、前記第3の薄
膜トランジスタによって転送された電荷を保持するため
前記第3の薄膜トランジスタに接続された配線容量部
と、各ブロックの対応するビット毎に前記各第3の薄膜
トランジスタを共通に接続する共通信号線と、前記共通
信号線を介して前記配線容量部の電荷を画像信号として
出力する駆動用ICと、を具備し、前記第1及び第2の
薄膜トランジスタのサイズ(W/L)が前記第3の薄膜
トランジスタのサイズ(W/L)に比べて小さく設定さ
れたイメージセンサの駆動方法において、第1の薄膜ト
ランジスタの導通時間を第3の薄膜トランジスタの導通
時間より長くすることを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of driving an image sensor, comprising: a light receiving element array in which a plurality of light receiving elements are arranged as one block;
A plurality of first thin film transistors connected to the respective light receiving elements for collectively transferring charges generated in the light receiving element array for all bits; and collectively transferring charges remaining in the respective light receiving elements for all bits after the charge transfer. A plurality of second thin-film transistors connected to the respective light-receiving elements for resetting the plurality of light-receiving elements, and a plurality of capacitance units connected to the first thin-film transistors for holding electric charges transferred via the first thin-film transistors A plurality of third thin-film transistors connected to the first thin-film transistor for transferring the charge held in each of the capacitance units; and a third thin-film transistor for holding the charge transferred by the third thin-film transistor. And the third thin film transistor is shared by the wiring capacitance portion connected to the thin film transistor and the corresponding bit of each block. A common signal line to be connected; and a driving IC for outputting an electric charge of the wiring capacitance portion as an image signal via the common signal line. The size (W / L) of the first and second thin film transistors Is a method for driving an image sensor set to be smaller than the size (W / L) of the third thin film transistor, wherein the conduction time of the first thin film transistor is made longer than the conduction time of the third thin film transistor. .
【0019】請求項3記載の発明に係るイメージセンサ
の駆動方法は、請求項2において、第2の薄膜トランジ
スタの導通時間を第3の薄膜トランジスタの導通時間よ
り長くすることを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, in the driving method of the image sensor according to the second aspect, the conduction time of the second thin film transistor is made longer than the conduction time of the third thin film transistor.
【0020】[0020]
【作用】請求項1記載の発明においては、リセット用の
第2の薄膜トランジスタのサイズを電荷転送用の第1の
薄膜トランジスタのサイズより小さく設定することによ
り、第2の薄膜トランジスタのフィードスルー電圧を調
整してオフセット電圧を小さくすることができ、しか
も、第2の薄膜トランジスタの導通時間を第1の薄膜ト
ランジスタの導通時間より長くすることにより、画像信
号の読み取り速度を低下させることなく、残留電荷が確
実に一掃されて残像が生じるのを防止する。According to the first aspect of the present invention, the size of the reset second thin film transistor is set smaller than the size of the charge transfer first thin film transistor to adjust the feedthrough voltage of the second thin film transistor. In addition, the offset voltage can be reduced, and the conduction time of the second thin-film transistor is made longer than the conduction time of the first thin-film transistor. To prevent an afterimage from occurring.
【0021】請求項2記載の発明においては、電荷一括
転送用の第1の薄膜トランジスタのサイズを順次転送用
の第3の薄膜トランジスタのサイズより小さく設定する
ことにより、第1の薄膜トランジスタのフィードスルー
電圧を調整してオフセット電圧を小さくすることがで
き、しかも、第1の薄膜トランジスタの導通時間を第3
の薄膜トランジスタの導通時間より長くすることによ
り、画像信号の読み取り速度を低下させることなく、受
光素子アレイに発生した電荷を確実に転送することがで
きる。According to the second aspect of the present invention, the size of the first thin film transistor for collective charge transfer is set smaller than the size of the third thin film transistor for sequential transfer, so that the feedthrough voltage of the first thin film transistor is reduced. By adjusting the offset voltage, the offset time can be reduced.
By making the conduction time longer than that of the thin film transistor, the charge generated in the light receiving element array can be reliably transferred without lowering the reading speed of the image signal.
【0022】請求項3記載の発明においては、リセット
用の第2の薄膜トランジスタのサイズを順次転送用の第
3の薄膜トランジスタのサイズより小さく設定すること
により、第2の薄膜トランジスタのフィードスルー電圧
を調整してオフセット電圧を小さくすることができ、し
かも、第2の薄膜トランジスタの導通時間を第3の薄膜
トランジスタの導通時間より長くすることにより、画像
信号の読み取り速度を低下させることなく、残留電荷が
確実に一掃されて残像が生じるのを防止する。According to the third aspect of the present invention, the feedthrough voltage of the second thin film transistor is adjusted by setting the size of the second thin film transistor for reset to be smaller than the size of the third thin film transistor for sequential transfer. In addition, the offset voltage can be reduced, and the conduction time of the second thin film transistor is made longer than that of the third thin film transistor. To prevent an afterimage from occurring.
【0023】[0023]
【実施例】以下、本発明に係るイメージセンサの駆動方
法について、図1乃至図7を参照しつつ説明する。ここ
で、図1は本発明に係るイメージセンサの駆動方法が用
いられるイメージセンサの一構成例を示す構成図、図2
は図1のイメージセンサの一画素あたりの等価回路図、
図3は本実施例のイメージセンサの主要部におけるタイ
ミング図、図4はリセット用の薄膜トランジスタTR及
び電荷転送用の薄膜トランジスタTTの平面説明図、図
5は第2の実施例におけるイメージセンサの一構成例を
示す構成図、図6は第2の実施例のイメージセンサの一
画素当たりの等価回路図、図7は第2の実施例のイメー
ジセンサの主要部におけるタイミング図である。尚、以
下に説明する部材、配置等は本発明を限定するものでは
なく、本発明の趣旨の範囲内で種々改変することができ
るものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a method for driving an image sensor according to the present invention will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 1 is a configuration diagram showing one configuration example of an image sensor using the image sensor driving method according to the present invention, and FIG.
Is an equivalent circuit diagram per pixel of the image sensor of FIG. 1,
FIG. 3 is a timing chart of a main part of the image sensor according to the present embodiment, FIG. 4 is a plan explanatory view of a reset thin film transistor TR and a charge transfer thin film transistor TT, and FIG. 5 is a configuration of the image sensor according to the second embodiment. FIG. 6 is an equivalent circuit diagram for one pixel of the image sensor of the second embodiment, and FIG. 7 is a timing chart of a main part of the image sensor of the second embodiment. The members, arrangements, and the like described below do not limit the present invention, and can be variously modified within the scope of the present invention.
【0024】本実施例におけるイメージセンサの電気的
等価回路は、図8で示されたものと基本的に同一である
ので、この図8の構成を概略的に示した図1の構成図に
より先ず全体構成を概略的に説明することとする。尚、
図8に示された構成要素と同一構成要素には同一の符号
を付するものとする。このイメージセンサは、受光素子
11″をライン状に配列してなる受光素子アレイ11
と、各受光素子11″に一対一に対応する複数個の第1
の薄膜トランジスタTT及び各受光素子11″に一対一
に対応する複数の第2の薄膜トランジスタTRからなる
電荷転送部12と、マトリックス状の多層配線群13
と、多層配線群13を駆動用IC15へ接続する共通信
号線14と、共通配線14とアース間に形成された配線
容量CLの電位変化を読み取る駆動用IC15と、各薄
膜トランジスタTT,TRにゲートパルスΦGT及びΦ
GRを発生するゲートパルス発生回路16と、を主要構
成要素としてなるものである。Since the electrical equivalent circuit of the image sensor in this embodiment is basically the same as that shown in FIG. 8, first, FIG. 1 schematically shows the configuration of FIG. The overall configuration will be schematically described. still,
The same components as those shown in FIG. 8 are denoted by the same reference numerals. This image sensor has a light receiving element array 11 in which light receiving elements 11 ″ are arranged in a line.
And a plurality of first light-receiving elements 11 "corresponding to each light-receiving element 11".
Charge transfer section 12 composed of a plurality of second thin film transistors TR corresponding one-to-one to thin film transistors TT and light receiving elements 11 ″, and a matrix-like multilayer wiring group 13
A common signal line 14 for connecting the multilayer wiring group 13 to the driving IC 15; a driving IC 15 for reading a potential change of a wiring capacitance CL formed between the common wiring 14 and the ground; and a gate pulse for each of the thin film transistors TT and TR. ΦGT and Φ
And a gate pulse generating circuit 16 for generating GR as a main component.
【0025】図2には一画素当たりの等価回路が示され
ており、以下、同図を参照しつつこの等価回路について
説明する。一画素当たりの等価回路は、受光素子として
のフォトダイオードPと、その寄生容量CPと、電荷転
送用の第1の薄膜トランジスタTTと、リセット用の第
2の薄膜トランジスタTRと、配線容量CLと、駆動用
IC15に設けられた検出用アンプ18と、配線容量C
Lのリセットを行うMOSトランジスタ19と、を有し
てなるものである。FIG. 2 shows an equivalent circuit for one pixel. The equivalent circuit will be described below with reference to FIG. The equivalent circuit per pixel includes a photodiode P as a light receiving element, its parasitic capacitance CP, a first thin film transistor TT for charge transfer, a second thin film transistor TR for reset, a wiring capacitance CL, Amplifier 18 provided in the IC 15 for wiring and the wiring capacitance C
And a MOS transistor 19 for resetting L.
【0026】そして、第1の薄膜トランジスタTTのゲ
ート電極とドレイン電極との間にはオーバーラップ容量
CGD(TT)が、ゲート電極とソース電極との間にはオーバ
ーラップ容量CGS(TT)が形成され、また、第2の薄膜ト
ランジスタTRのゲート電極とドレイン電極との間には
オーバーラップ容量CGD(TR)が、ゲート電極とソース電
極との間にはオーバーラップ容量CGS(TR)が形成されて
いる。An overlap capacitance CGD (TT) is formed between the gate electrode and the drain electrode of the first thin film transistor TT, and an overlap capacitance CGS (TT) is formed between the gate electrode and the source electrode. Further, an overlap capacitance CGD (TR) is formed between the gate electrode and the drain electrode of the second thin film transistor TR, and an overlap capacitance CGS (TR) is formed between the gate electrode and the source electrode. .
【0027】さらに、本実施例においては、第1の薄膜
トランジスタTT及び第2の薄膜トランジスタTRのサ
イズ(W(ゲート幅)/L(ゲート長))は次のように
設定されている。すなわち、ソース・ドレイン電極の副
走査方向の長さをW、ゲート電極の主走査方向の長さを
L、とした場合、図4(a)(b)に示すように、第1
の薄膜トランジスタTTにおいては、W/L=180乃
至240/12(μm)と、第2の薄膜トランジスタT
Rにおいては、W/L=162乃至216/12(μ
m)と、それぞれ設定してあり、第2の薄膜トランジス
タTRのサイズが第1の薄膜トランジスタTTより小さ
く構成している。Further, in this embodiment, the size (W (gate width) / L (gate length)) of the first thin film transistor TT and the second thin film transistor TR is set as follows. That is, assuming that the length of the source / drain electrode in the sub-scanning direction is W and the length of the gate electrode in the main scanning direction is L, as shown in FIGS.
In the thin film transistor TT, W / L = 180 to 240/12 (μm) and the second thin film transistor TT
In R, W / L = 162 to 216/12 (μ
m), and the size of the second thin film transistor TR is smaller than that of the first thin film transistor TT.
【0028】次に、上記構成における動作について図3
のタイミング図を参照しつつ説明する。第1の薄膜トラ
ンジスタTTのドレイン電位は、いわゆる暗状態におけ
る光電荷蓄積時には徐々に上昇する(図3(c)参照)
一方、いわゆる明状態における光電荷蓄積時には、暗状
態に比して大きく上昇し、ゲートパルスΦGTの印加
(図3(a)参照)によって第1の薄膜トランジスタT
Tがオンとなると、いわゆるフィードスルー電圧分急峻
に上昇することとなる(図3(c)参照)。Next, the operation in the above configuration will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to the timing chart of FIG. The drain potential of the first thin film transistor TT gradually rises during photocharge accumulation in a so-called dark state (see FIG. 3C).
On the other hand, at the time of accumulating photocharges in a so-called bright state, it rises greatly as compared with the dark state, and the first thin-film transistor Tg is applied by application of a gate pulse φGT (see FIG. 3A).
When T is turned on, it rises sharply by the so-called feed-through voltage (see FIG. 3C).
【0029】そして、第1の薄膜トランジスタTTのソ
ース電極の電位に対して平衡状態となるようにドレイン
電極側から電荷が転送されることにより、ドレイン電位
は下降し、第1の薄膜トランジスタTTがオフとなると
フィードスルー電圧分急峻に下降する(図3(c)参
照)。この時、第1の薄膜トランジスタTTのドレイン
電極側に現れる電位は、残留電位となる。ここで、本実
施例におけるゲートパルスΦGTのパルス幅は、上述の
第1の薄膜トランジスタTTのドレイン電極とソース電
極における電荷転送時間で表現するならば3.4〜4.
5μsの転送時間となるように設定されている。Then, by transferring charges from the drain electrode side so as to be in equilibrium with the potential of the source electrode of the first thin film transistor TT, the drain potential is lowered and the first thin film transistor TT is turned off. Then, the voltage drops sharply by the feedthrough voltage (see FIG. 3C). At this time, the potential appearing on the drain electrode side of the first thin film transistor TT is a residual potential. Here, if the pulse width of the gate pulse ΦGT in the present embodiment is expressed by the charge transfer time at the drain electrode and the source electrode of the above-mentioned first thin film transistor TT, 3.4 to 4.
The transfer time is set to 5 μs.
【0030】続いて、第2の薄膜トランジスタTRが、
ゲートパルスΦGR(図3(b)参照)の印加によって
オンとなると、第1の薄膜トランジスタTTのドレイン
電位は、再びフィードスルー電圧分急峻に上昇し(図3
(c)参照)、第2の薄膜トランジスタTRのソース電
位すなわちVRとなるまで電荷が転送されることにより
電位は下降し、第2の薄膜トランジスタTRがオフとな
ることによりフィードスルー電圧分急峻に下降すること
となる(図3(c)参照)。そして、このときの第1の
薄膜トランジスタTTの電位は、新たな光電荷蓄積の開
始時における電位となる。ここで、本実施例におけるゲ
ートパルスΦGRのパルス幅は、前記したゲートパルス
ΦGTのパルス幅より長く設定されており、残留電荷を
放電させるのに十分な導通時間となるように設定されて
いる(図3(a)及び(b)参照)。Subsequently, the second thin film transistor TR
When turned on by the application of the gate pulse ΦGR (see FIG. 3B), the drain potential of the first thin film transistor TT sharply rises again by the feedthrough voltage (FIG. 3).
(See (c)), the potential is lowered by transferring the charges until the source potential of the second thin film transistor TR, ie, VR, is reached, and the potential sharply drops by the feedthrough voltage when the second thin film transistor TR is turned off. (See FIG. 3C). Then, the potential of the first thin film transistor TT at this time becomes the potential at the start of the new photocharge accumulation. Here, the pulse width of the gate pulse ΦGR in the present embodiment is set to be longer than the pulse width of the gate pulse ΦGT described above, and is set to be a conduction time sufficient to discharge the residual charges ( (See FIGS. 3A and 3B).
【0031】一方、第1の薄膜トランジスタTTのソー
ス電極における電位変化は、光電荷蓄積の間は、一定電
位であり(図3(d)参照)、ゲートパルスΦGTの印
加により第1の薄膜トランジスタTTがオンとなるとフ
ィードスルー電圧分急峻に上昇する(図3(d)参
照)。そして、このときのドレイン電位に対して、平衡
状態となるようにソース電極側に電荷が転送されてソー
ス電位は上昇し、第1の薄膜トランジスタTTがオフと
なるとフィードスルー電圧分急峻に下降することとなる
(図3(d)参照)。この時のソース電位は、転送され
た電荷量を反映しており、駆動用IC15ではこの電位
を検出するようになっている。この後、MOSトランジ
スタ19がオンとなり、ソース電位はフィードスルー電
圧分急峻に下降し、VIC電位となるまで電荷が転送され
電位が下降する(図3(c)参照)。尚、この時、MO
Sトランジスタ19のオン抵抗は、薄膜トランジスタに
比べて小さいので、フィードスルー電圧により下降と重
なることとなる。On the other hand, the potential change at the source electrode of the first thin film transistor TT is constant during the accumulation of the photocharge (see FIG. 3D), and the first thin film transistor TT is turned on by the application of the gate pulse ΦGT. When turned on, the voltage rises sharply by the feedthrough voltage (see FIG. 3D). Then, charges are transferred to the source electrode side so as to be in equilibrium with the drain potential at this time, and the source potential rises, and when the first thin film transistor TT is turned off, it drops sharply by the feedthrough voltage. (See FIG. 3D). The source potential at this time reflects the amount of transferred charges, and the driving IC 15 detects this potential. Thereafter, the MOS transistor 19 is turned on, the source potential drops sharply by the feed-through voltage, charges are transferred until the VIC potential is reached, and the potential drops (see FIG. 3C). At this time, MO
Since the ON resistance of the S transistor 19 is smaller than that of the thin film transistor, the decrease is overlapped by the feedthrough voltage.
【0032】そして、MOSトランジスタ19がオフと
なると、第1の薄膜トランジスタTTのソース電位は、
フィードスルー電圧分急峻に上昇する。このときの電位
は、基準電位となるもので、駆動用IC15により検知
される結果、先に第1の薄膜トランジスタTTがオフと
なった際に、この駆動用IC15により検出された電位
との差が最終的なセンサ出力として出力されるようにな
っている。結局、本実施例においては、リセット用の第
2の薄膜トランジスタTRのサイズを電荷転送用の第1
の薄膜トランジスタTTより小さくすることで、オフセ
ット電圧がゼロとする構成を得る一方、第2の薄膜トラ
ンジスタTRの導通時間を第1の薄膜トランジスタTT
の導通時間に比して長くすることで、リセットのための
十分な時間を確保することによって、読み取り速度の低
下を招くことなく残像が生じるのを防止するようになっ
ている。When the MOS transistor 19 is turned off, the source potential of the first thin film transistor TT becomes
It rises sharply by the feedthrough voltage. The potential at this time is a reference potential, and as a result of detection by the driving IC 15, a difference from the potential detected by the driving IC 15 when the first thin-film transistor TT is turned off first. This is output as a final sensor output. After all, in the present embodiment, the size of the reset second thin film transistor TR is changed to the first charge transfer thin film transistor TR.
By setting it smaller than the thin film transistor TT, the configuration in which the offset voltage is zero is obtained, while the conduction time of the second thin film transistor TR is reduced by the first thin film transistor TT.
By ensuring a sufficient time for resetting by making the conduction time longer than the conduction time, it is possible to prevent the occurrence of an afterimage without lowering the reading speed.
【0033】上述の実施例においては、第1の薄膜トラ
ンジスタTTを介して読み出された光電荷を駆動用IC
15へ転送するのにマトリックス配線された多層配線群
13を用いた構成としたが、このマトリックス配線をゲ
ートパルス発生回路16と各薄膜トランジスタTT,T
Rのゲート電極とを接続する配線部分に用いた構成とし
たものであってもよい。In the above-described embodiment, the photoelectric charge read out via the first thin film transistor TT is used for driving ICs.
Although the configuration using the multi-layer wiring group 13 arranged in a matrix to transfer the data to the matrix wiring 15 is used, the matrix wiring is connected to the gate pulse generation circuit 16 and the thin film transistors TT, T
The configuration may be such that it is used for a wiring portion connecting the gate electrode of R.
【0034】次に、第2の実施例について図5乃至図7
を参照しつつ説明する。この第2の実施例は、上述の第
1の実施例におけるイメージセンサが一画素当たり2つ
のTFTを使用したものであるのに対し、3つのTFT
を用いてなるものにおける例である。尚、図1及び図2
に示された第1の実施例と同一の構成要素に、同一の符
号を用いるものとする。すなわち、このイメージセンサ
は、図5にその概略全体構成が示されたように、受光素
子11′をライン状に配列してなる受光素子アレイ11
と、電荷転送部20と、マトリックス状の多層配線群2
1と、多層配線群21を駆動用IC22へ接続する共通
信号線23と、共通信号線23とアース間に形成された
配線容量CLの電位変化を読み取る駆動用IC22と、
後述する各薄膜トランジスタTT,TR、TMにゲート
パルスΦGT、ΦGR、ΦGMを発生するゲートパルス
発生回路24と、を主要構成要素としてなるものであ
る。Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. In the second embodiment, the image sensor in the first embodiment uses two TFTs per pixel, whereas three TFTs are used.
This is an example in the case of using. 1 and 2
The same reference numerals are used for the same components as those in the first embodiment shown in FIG. That is, as shown in FIG. 5, the image sensor has a light receiving element array 11 in which light receiving elements 11 'are arranged in a line.
, The charge transfer section 20, and the matrix-like multilayer wiring group 2
1, a common signal line 23 connecting the multilayer wiring group 21 to the driving IC 22, a driving IC 22 for reading a potential change of a wiring capacitance CL formed between the common signal line 23 and the ground,
A gate pulse generation circuit 24 that generates gate pulses ΦGT, ΦGR, ΦGM for each of the thin film transistors TT, TR, TM described below is a main component.
【0035】そして、電荷転送部20は、各受光素子1
1′に一対一に対応する複数個の電荷一括転送用の第1
の薄膜トランジスタTT、各受光素子11′に一対一に
対応する複数のリセット用の第2の薄膜トランジスタT
R及び同じく各受光素子11′に一対一に対応する複数
の順次転送用の第3の薄膜トランジスタTMとからなる
ものである。The charge transfer section 20 is connected to each light receiving element 1
1 ′ for a batch transfer of a plurality of charges corresponding to
Thin film transistor TT and a plurality of resetting second thin film transistors T corresponding to each light receiving element 11 ′ one to one.
R and a plurality of third thin film transistors TM for sequential transfer corresponding to each light receiving element 11 '.
【0036】かかるイメージセンサの一画素当たりの等
価回路構成は、図6に示されたように、受光素子として
のフォトダイオードPと、その寄生容量CPと、電荷一
括転送用の第1の薄膜トランジスタTTと、リセット用
の第2の薄膜トランジスタTRと、順次転送用の第3の
薄膜トランジスタTMと、負荷容量CADDと、一時蓄積
用容量CTと、配線容量CLと、駆動用IC22に設けら
れた検出用アンプ25と、配線容量CLのリセットを行
うMOSトランジスタ26とを有してなるものである。As shown in FIG. 6, the equivalent circuit configuration per pixel of such an image sensor is a photodiode P as a light receiving element, its parasitic capacitance CP, and a first thin film transistor TT for collective charge transfer. A second thin film transistor TR for reset, a third thin film transistor TM for sequential transfer, a load capacitance CADD, a temporary storage capacitance CT, a wiring capacitance CL, and a detection amplifier provided in the driving IC 22. 25, and a MOS transistor 26 for resetting the wiring capacitance CL.
【0037】そして、第1の薄膜トランジスタTTのゲ
ート電極とドレイン電極との間にはオーバーラップ容量
CGD(TT)が、ゲート電極とソース電極との間にはオーバ
ーラップ容量CGS(TT)がそれぞれ形成され、また、第2
の薄膜トランジスタTRのゲート電極とドレイン電極と
の間にはオーバーラップ容量CGD(TR)が、ゲート電極と
ソース電極との間にはオーバーラップ容量CGS(TR)がそ
れぞれ形成され、さらに、第3の薄膜トランジスタTM
のゲート電極とドレイン電極との間にはオーバーラップ
容量CGD(TM)GAが、ゲート電極とソース電極との間には
オーバーラップ容量CGS(TM)がそれぞれ形成されている
ものである。An overlap capacitance CGD (TT) is formed between the gate electrode and the drain electrode of the first thin film transistor TT, and an overlap capacitance CGS (TT) is formed between the gate electrode and the source electrode. And the second
An overlap capacitance CGD (TR) is formed between the gate electrode and the drain electrode of the thin film transistor TR, and an overlap capacitance CGS (TR) is formed between the gate electrode and the source electrode. Thin film transistor TM
The overlap capacitance CGD (TM) GA is formed between the gate electrode and the drain electrode, and the overlap capacitance CGS (TM) is formed between the gate electrode and the source electrode.
【0038】上記構成のイメージセンサのオフセット出
力V0は、 V0=(CPCT/(CPCL+CPCT+CTCL))×(Vf
1−Vf2−Vf3+Vf4−Vf5−Vf6+VR−VIC) で表される。CPは受光素子の寄生容量、CTは一時蓄積
用容量、CLは配線容量である。ここで、Vf1は第1の
薄膜トランジスタTTのドレイン側におけるフィードス
ルー電圧(図7(d)参照)、Vf2は第2の薄膜トラン
ジスタTRのドレイン側におけるフィードスルー電圧
(図7(d)参照)、Vf3は第1の薄膜トランジスタT
Tによるソース側におけるフィードスルー電圧(図7
(e)参照)、Vf4は第3の薄膜トランジスタTMのド
レイン側におけるフィードスルー電圧(図7(e)参
照)、Vf5は第3の薄膜トランジスタTMによるソース
側におけるフィードスルー電圧(図7(f)参照)、V
f6は駆動用IC15内の図示されないMOSトランジス
タによる第3の薄膜トランジスタのソース側におけるフ
ィードスルー電圧(図7(f)参照)である。The offset output V0 of the image sensor having the above configuration is as follows: V0 = (CPCT / (CPCL + CPCT + CTCL)) × (Vf
1−Vf2−Vf3 + Vf4−Vf5−Vf6 + VR−VIC). CP is a parasitic capacitance of the light receiving element, CT is a temporary storage capacitance, and CL is a wiring capacitance. Here, Vf1 is the feedthrough voltage on the drain side of the first thin film transistor TT (see FIG. 7D), Vf2 is the feedthrough voltage on the drain side of the second thin film transistor TR (see FIG. 7D), Vf3 Is the first thin film transistor T
The feedthrough voltage on the source side due to T (see FIG. 7)
(F), Vf4 is the feedthrough voltage on the drain side of the third thin film transistor TM (see FIG. 7 (e)), and Vf5 is the feedthrough voltage on the source side of the third thin film transistor TM (see FIG. 7 (f)). ), V
f6 is a feedthrough voltage (see FIG. 7 (f)) on the source side of the third thin film transistor by a MOS transistor (not shown) in the driving IC 15.
【0039】上記したオフセット電圧V0を小さくする
ためには、(Vf1−Vf2−Vf3+Vf4−Vf5−Vf6+V
R−VIC)=0を満たせばよいが、VR,VICを変化させ
るには高精度電源を付加しなければならないことを考慮
すると、VR=VIC=0Vとするのが望ましいため、
(Vf1−Vf2−Vf3+Vf4−Vf5−Vf6)=0とするの
がよい。ここで各容量値の関係から、概略的にVf1,V
f2,Vf3,Vf4>Vf5であり、Vf5はVf6に比べて十分
大きいという関係が成り立つので、(Vf1−Vf2−Vf3
+Vf4−Vf5)=0とすればよく、そのためには、第1
及び第2の薄膜トランジスタTT,TRのサイズ(W/
L)を、順次転送用の第3の薄膜トランジスタTMより
小さく設定すればよいことが理解できる。また、電荷一
括転送用の第1の薄膜トランジスタTTと、リセット用
の第2の薄膜トランジスタTRのサイズ(W/L)の大
小関係は、イメージセンサの容量部等の設計により異な
り、オフセット電圧V0を小さくする場合にどちらのサ
イズが小さくなるかについては一定していない。In order to reduce the offset voltage V0, it is necessary to make (Vf1-Vf2-Vf3 + Vf4-Vf5-Vf6 + V
R−VIC) = 0, but considering that a high-precision power supply must be added to change VR and VIC, it is desirable to set VR = VIC = 0V.
(Vf1-Vf2-Vf3 + Vf4-Vf5-Vf6) = 0. Here, from the relationship of each capacitance value, Vf1, V
f2, Vf3, Vf4> Vf5, and the relationship that Vf5 is sufficiently larger than Vf6 holds, so that (Vf1−Vf2−Vf3)
+ Vf4−Vf5) = 0, and the first
And the size of the second thin film transistor TT, TR (W /
It can be understood that L) may be set smaller than the third thin film transistor TM for sequential transfer. In addition, the size relationship (W / L) of the first thin film transistor TT for collective charge transfer and the second thin film transistor TR for reset differs depending on the design of the capacitor of the image sensor and the like, and the offset voltage V0 is reduced. It is not certain which size will be smaller when doing so.
【0040】次に、上記構成における動作について図6
及び図7を参照しつつ説明する。フォトダイオードPで
発生した光電荷は、一定時間、フォトダイオードPの寄
生容量CPと、電荷一括転送用の第1の薄膜トランジス
タTT及びリセット用の第2の薄膜トランジスタTRの
各々のドレイン・ゲート間のオーバーラップ容量CGD(T
T)、CGD(TR)にそれぞれ蓄積される。この後、ゲートパ
ルスΦGTが電荷一括転送用の第1の薄膜トランジスタ
TTのゲート電極に印加される(図7(a)参照)こと
により、第1の薄膜トランジスタTTがゲートパルスΦ
GTが印加されている間導通状態となり、一括転送用容
量CTへの電荷転送が行われる。Next, the operation in the above configuration will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. The photocharge generated by the photodiode P is generated for a certain period of time by the parasitic capacitance CP of the photodiode P and the over-charge between the drain and gate of each of the first thin film transistor TT for collective charge transfer and the second thin film transistor TR for reset. Wrap capacity CGD (T
T) and CGD (TR). Thereafter, the gate pulse ΦGT is applied to the gate electrode of the first thin film transistor TT for collective transfer of charges (see FIG. 7A), so that the first thin film transistor TT causes the gate pulse Φ
While the GT is applied, the conduction state is established, and the charge transfer to the batch transfer capacitor CT is performed.
【0041】第1の薄膜トランジスタTTの導通によ
り、同トランジスタTTのドレイン電位及びソース電位
は、導通時にはいわゆるフィードスルー電圧分急峻に上
昇する一方、導通状態から非導通状態となる時には、フ
ィードスルー電圧分急峻に下降することとなる(図7
(d),(e)参照)。The conduction of the first thin film transistor TT causes the drain potential and the source potential of the transistor TT to rise sharply by a so-called feed-through voltage when the transistor is turned on. It will drop steeply (Fig. 7
(See (d) and (e)).
【0042】次に、ゲートパルスΦGRが第2の薄膜ト
ランジスタTRのゲート電極に印加されることにより
(図7(b)参照)、第2の薄膜トランジスタTRがゲ
ートパルスΦGRが印加されている間導通状態となり、
寄生容量Cp、付加容量CADD、オーバーラップ容量CGD
(TT),CGD(TR)に残された未転送電荷がリセットされる
こととなる。この後、ゲートパルスΦGMが第3の薄膜
トランジスタTMのゲート電極に印加されることによ
り、第3の薄膜トランジスタTMはこのゲートパルスΦ
GMが印加されている間、導通状態となり(図7
(c),(f)参照)、一括転送用容量CTに蓄積され
ていた電荷がこの第3の薄膜トランジスタTMを介して
配線容量CLに転送されることとなる。Next, when the gate pulse ΦGR is applied to the gate electrode of the second thin film transistor TR (see FIG. 7B), the second thin film transistor TR is turned on while the gate pulse ΦGR is applied. Becomes
Parasitic capacitance Cp, additional capacitance CADD, overlap capacitance CGD
The untransferred charges remaining in (TT) and CGD (TR) are reset. Thereafter, when the gate pulse ΦGM is applied to the gate electrode of the third thin film transistor TM, the third thin film transistor TM generates the gate pulse ΦGM.
While the GM is being applied, the conduction state occurs (see FIG. 7).
(See (c) and (f)), the electric charge stored in the batch transfer capacitor CT is transferred to the wiring capacitor CL via the third thin film transistor TM.
【0043】ここで、本実施例のゲートパルスΦGT,
ΦGRのパルス幅は、ゲートパルスΦGMより大きく設
定されている(図7(a),(b),(c)参照)。す
なわち、電荷一括転送用の第1の薄膜トランジスタTT
及びリセット用の第2の薄膜トランジスタTRによる各
々の電荷転送時間は、順次転送用の第3の薄膜トランジ
スタTMによる電荷の転送時間より長くなるように設定
し、残留電荷による残像の発生を防止している。Here, the gate pulse ΦGT,
The pulse width of ΦGR is set to be larger than the gate pulse ΦGM (see FIGS. 7A, 7B, and 7C). That is, the first thin film transistor TT for collective charge transfer
In addition, each charge transfer time by the reset second thin film transistor TR is set to be longer than the charge transfer time by the third transfer thin film transistor TM in order to prevent generation of an afterimage due to residual charge. .
【0044】この第3の薄膜トランジスタTMが非導通
状態から導通状態になる時、第3の薄膜トランジスタT
Mのソース電位はいわゆるフィードスルー電圧分急峻に
上昇する一方、導通状態から非導通状態となる時には、
フィードスルー電圧分急峻に下降することとなる(図7
(f)参照)。ここで、ドレイン電極側のフィードスル
ー電圧は、第3の薄膜トランジスタTMのドレイン電極
側の容量に比べソース電極側の容量が数倍乃至数百倍で
あるため、ソース電極側のフィードスルー電圧に対して
数倍乃至数百倍となる。When the third thin film transistor TM changes from a non-conductive state to a conductive state, the third thin film transistor T
While the source potential of M rises sharply by the so-called feed-through voltage, when it changes from the conductive state to the non-conductive state,
The voltage drops sharply by the feedthrough voltage (see FIG. 7).
(F)). Here, the feed-through voltage on the drain electrode side is several times to several hundred times larger than the capacitance on the drain electrode side of the third thin film transistor TM, so that it is higher than the feed-through voltage on the source electrode side. Several to several hundred times.
【0045】そして、配線容量CLに蓄積された電荷に
より共通信号線23の電位が変化するので、第3の薄膜
トランジスタTMがオフとなった後に、この電位が駆動
用IC22により読み取られる。電圧検知後は、MOS
トランジスタ26の導通により配線容量CLはリセット
され、リセット終了後の電位が基準電圧として駆動用I
C22に検知され、先に読み取られた電位との差がセン
サ出力として出力されるようになっている。尚、図7
(c)においてゲートパルスΦGMは、ゲートパルスΦ
GTとゲートパルスΦGTとの間に、一つ出力されるよ
うに表されているが、これは説明の便宜上のためであ
り、実際にはゲートパルスΦGTとゲートパルスΦGT
との間において、ゲートパルスΦGM1〜ΦGMNが順に
出力されて、全画素の光電荷の読み出しが行われるよう
になっている。Since the potential of the common signal line 23 changes due to the electric charge accumulated in the wiring capacitance CL, this potential is read by the driving IC 22 after the third thin film transistor TM is turned off. After voltage detection, MOS
The wiring capacitance CL is reset by the conduction of the transistor 26, and the potential after the reset is used as a reference voltage for the drive I
The difference between the potential detected by C22 and the previously read potential is output as a sensor output. FIG. 7
In (c), the gate pulse ΦGM is equal to the gate pulse Φ
Although one output is shown between the GT and the gate pulse ΦGT, this is for convenience of explanation, and in practice, the gate pulse ΦGT and the gate pulse ΦGT are actually output.
During this period, the gate pulses ΦGM1 to ΦGMN are sequentially output to read out the photoelectric charges of all the pixels.
【0046】結局、この第2実施例においては、電荷一
括転送用の第1の薄膜トランジスタTT、リセット用の
第2の薄膜トランジスタTRのサイズを、順次転送用の
第3の薄膜トランジスタTMより小さくすることによ
り、オフセット電圧がゼロとする構成を得る一方、第1
の薄膜トランジスタTT、第2の薄膜トランジスタTR
の導通時間を、第3の薄膜トランジスタTMの導通時間
に比してそれぞれ長くすることで、一括転送及びリセッ
トのための十分な時間を確保することによって、読み取
り速度の低下を招くことなく残像が生じるのを防止する
ようになっている。After all, in the second embodiment, the size of the first thin film transistor TT for batch transfer of charges and the second thin film transistor TR for reset is made smaller than that of the third thin film transistor TM for sequential transfer. , While obtaining a configuration in which the offset voltage is zero,
Thin film transistor TT, second thin film transistor TR
Is made longer than the conduction time of the third thin film transistor TM, thereby securing a sufficient time for batch transfer and resetting, thereby causing an afterimage without lowering the reading speed. It is designed to prevent that.
【0047】尚、この第2の実施例においては、第3の
薄膜トランジスタTMを介して読み出された光電荷を駆
動用IC22へ転送するのにマトリックス配線された多
層配線群21を用いた構成としたが、このマトリックス
配線をゲートパルス発生回路24と薄膜トランジスタT
Mのゲート電極とを接続する配線部分に用いた構成とし
たものであってもよい。In the second embodiment, a structure is used in which a multilayer wiring group 21 arranged in a matrix is used to transfer photocharges read out via a third thin film transistor TM to a driving IC 22. However, this matrix wiring is connected to the gate pulse generating circuit 24 and the thin film transistor T.
It may be configured to be used for a wiring portion connecting to the M gate electrode.
【0048】[0048]
【発明の効果】請求項1記載の発明方法によれば、リセ
ット用の薄膜トランジスタのサイズを順次転送用の薄膜
トランジスタのサイズより小さくしたイメージセンサに
おいて、リセット用の薄膜トランジスタの導通時間を順
次転送用の薄膜トランジスタの導通時間より長くしたの
で、画素信号の読み取り速度を低下させることなくオフ
セット電圧をなくすることができ、残像の少ない画像信
号を得ることができるという効果を奏するものである。According to the first aspect of the present invention, in the image sensor in which the size of the reset thin film transistor is smaller than the size of the sequential transfer thin film transistor, the conduction time of the reset thin film transistor is sequentially reduced. , The offset voltage can be eliminated without lowering the reading speed of the pixel signal, and an image signal with less afterimage can be obtained.
【0049】請求項2及び請求項3記載の発明方法によ
れば、一括転送用の薄膜トランジスタ及びリセット用の
薄膜トランジスタのサイズを順次転送用の薄膜トランジ
スタのサイズより小さく設定されたイメージセンサにお
いて、リセット用の薄膜トランジスタの導通時間及び一
括転送用の薄膜トランジスタの導通時間を順次転送用の
薄膜トランジスタの導通時間より長くしたので、画素信
号の読み取り速度を低下させることなくオフセット電圧
をなくすることができ、残像の少ない画像信号を得るこ
とができるという効果を奏するものである。According to the second and third aspects of the present invention, in the image sensor in which the size of the thin film transistor for batch transfer and the size of the thin film transistor for reset are set smaller than the size of the thin film transistor for sequential transfer, Since the conduction time of the thin film transistor and the conduction time of the thin film transistor for batch transfer are made longer than the conduction time of the thin film transistor for sequential transfer, the offset voltage can be eliminated without lowering the reading speed of the pixel signal, and an image with less afterimage can be obtained. This has an effect that a signal can be obtained.
【図1】 本発明に係るイメージセンサの駆動方法が用
いられるイメージセンサの一構成例を示す構成図であ
る。FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a configuration example of an image sensor in which a method for driving an image sensor according to the present invention is used.
【図2】 図1のイメージセンサの一画素あたりの等価
回路図である。FIG. 2 is an equivalent circuit diagram for one pixel of the image sensor of FIG. 1;
【図3】 本実施例のイメージセンサの主要部における
タイミング図である。FIG. 3 is a timing chart of a main part of the image sensor of the present embodiment.
【図4】 (a)及び(b)は順次転送用の薄膜トラン
ジスタTT及びリセット用の薄膜トランジスタTRのサ
イズを表わす平面説明図である。FIGS. 4A and 4B are plan views showing the sizes of a thin film transistor TT for sequential transfer and a thin film transistor TR for reset.
【図5】 第2の実施例におけるイメージセンサの一構
成例を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a configuration example of an image sensor according to a second embodiment.
【図6】 第2の実施例のイメージセンサの一画素当た
りの等価回路図である。FIG. 6 is an equivalent circuit diagram for one pixel of the image sensor of the second embodiment.
【図7】 第2の実施例のイメージセンサの主要部にお
けるタイミング図である。FIG. 7 is a timing chart of a main part of the image sensor according to the second embodiment.
【図8】 従来の駆動方法が用いられたイメージセンサ
の一構成例を示す構成説明図である。FIG. 8 is a configuration explanatory view showing one configuration example of an image sensor using a conventional driving method.
【図9】 従来の駆動方法を説明するためのタイミング
図である。FIG. 9 is a timing chart for explaining a conventional driving method.
11…受光素子アレイ、 12…電荷転送部、 13…
多層配線群、 14…共通信号線、 15…駆動用I
C、 16…ゲートパルス発生回路11: light receiving element array, 12: charge transfer section, 13:
Multi-layer wiring group, 14: common signal line, 15: driving I
C, 16: Gate pulse generation circuit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上床 弘毅 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社内 (72)発明者 小笠原 文彦 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−328010(JP,A) 特開 平6−164828(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04N 1/024 - 1/031 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Hiroki Uesoko 2274 Hongo, Fujigo Rocks, Ebina-shi, Kanagawa Prefecture (72) Inventor Fumihiko Ogasawara 2274 Hongo, Hongo, Ebina-shi, Kanagawa Fujitsu Rocks (56) References JP-A-5-328010 (JP, A) JP-A-6-164828 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H04N 1/024-1/031
Claims (3)
ブロックをライン状に配列してなる受光素子アレイと、 前記受光素子毎に接続されて前記受光素子で発生した電
荷を転送する複数の第1の薄膜トランジスタと、 前記受光素子毎に接続されて前記電荷転送後に前記受光
素子に残留する電荷をリセットする複数の第2の薄膜ト
ランジスタと、 前記第1の薄膜トランジスタに接続されて前記第1の薄
膜トランジスタを介して転送された電荷を蓄積する容量
部と、 各ブロックの対応するビット毎に前記第1の薄膜トラン
ジスタを共通に接続する共通接続線と、 前記第1の薄膜トランジスタをブロック毎に導通状態と
するためのパルス及び前記第2の薄膜トランジスタをブ
ロック毎に導通状態とするためのパルスをそれぞれ発生
するパルス発生手段と、 前記共通信号線を介して前記容量部の電荷を画像信号と
して出力する駆動用ICと、を具備し、 前記第2の薄膜トランジスタのサイズ(W/L)が前記
第1の薄膜トランジスタのサイズ(W/L)に比べて小
さく設定されたイメージセンサの駆動方法において、 前記第2の薄膜トランジスタの導通時間を前記第1の薄
膜トランジスタの導通時間より長くすることを特徴とす
るイメージセンサの駆動方法。1. A light-receiving element array in which a plurality of light-receiving elements are arranged as a block and a plurality of blocks are arranged in a line, and a plurality of first light-receiving elements connected to each of the light-receiving elements and transferring charges generated in the light-receiving elements. A plurality of second thin film transistors connected to each of the light receiving elements and resetting the charge remaining in the light receiving elements after the charge transfer; and a plurality of second thin film transistors connected to the first thin film transistor through the first thin film transistor A capacitor portion for storing the transferred electric charges, a common connection line for commonly connecting the first thin film transistors for each corresponding bit of each block, and a conductive portion for making the first thin film transistors conductive for each block. Pulse generation for generating a pulse and a pulse for making the second thin film transistor conductive for each block And a driving IC for outputting the charge of the capacitor portion as an image signal via the common signal line, wherein the size (W / L) of the second thin film transistor is the size of the first thin film transistor An image sensor driving method set to be smaller than (W / L), wherein the conduction time of the second thin film transistor is made longer than the conduction time of the first thin film transistor.
ブロックをライン状に配列してなる受光素子アレイと、 前記受光素子アレイで発生した電荷を全ビット分一括に
転送するため前記各受光素子に接続された複数の第1の
薄膜トランジスタと、 前記電荷転送後に前記各受光素子に残留する電荷を全ビ
ット分一括にリセットするための前記各受光素子に接続
された複数の第2の薄膜トランジスタと、 前記第1の薄膜トランジスタを介して転送された電荷を
保持するため前記第1の薄膜トランジスタに接続された
複数の容量部と、 前記各容量部に保持された電荷を転送するための前記第
1の薄膜トランジスタに接続された複数の第3の薄膜ト
ランジスタと、 前記第3の薄膜トランジスタによって転送された電荷を
保持するため前記第3の薄膜トランジスタに接続された
配線容量部と、 各ブロックの対応するビット毎に前記各第3の薄膜トラ
ンジスタを共通に接続する共通信号線と、 前記共通信号線を介して前記配線容量部の電荷を画像信
号として出力する駆動用ICと、を具備し、 前記第1及び第2の薄膜トランジスタのサイズ(W/
L)が前記第3の薄膜トランジスタのサイズ(W/L)
より小さく設定されたイメージセンサの駆動方法におい
て、 第1の薄膜トランジスタの導通時間を第3の薄膜トラン
ジスタの導通時間より長くすること特徴とするイメージ
センサの駆動方法。2. A light-receiving element array in which a plurality of light-receiving elements are arranged as a block and a plurality of blocks are arranged in a line, and each of the light-receiving elements for transferring charges generated in the light-receiving element array for all bits at a time. A plurality of first thin film transistors connected to each other; a plurality of second thin film transistors connected to each light receiving element for collectively resetting charges remaining in each light receiving element for all bits after the charge transfer; A plurality of capacitors connected to the first thin film transistor for holding the charges transferred via the first thin film transistor; and a plurality of capacitor units connected to the first thin film transistor for transferring the charges held in the respective capacitor units. A plurality of third thin film transistors connected to each other, and the third thin film for holding electric charges transferred by the third thin film transistors A wiring capacitance portion connected to the transistor, a common signal line commonly connecting the third thin film transistors for each corresponding bit of each block, and a charge of the wiring capacitance portion via the common signal line to an image signal. And a driving IC that outputs the data as the size of the first and second thin film transistors (W /
L) is the size (W / L) of the third thin film transistor
A method for driving an image sensor, wherein the conduction time of the first thin film transistor is made longer than the conduction time of the third thin film transistor.
の薄膜トランジスタの導通時間より長くすることを特徴
とする請求項2に記載のイメージセンサの駆動方法。3. The conduction time of the second thin-film transistor is set to a third value.
3. The method according to claim 2, wherein the conduction time of the thin film transistor is longer than the conduction time of the thin film transistor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06210726A JP3141698B2 (en) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | Driving method of image sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06210726A JP3141698B2 (en) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | Driving method of image sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0856278A JPH0856278A (en) | 1996-02-27 |
JP3141698B2 true JP3141698B2 (en) | 2001-03-05 |
Family
ID=16594094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06210726A Expired - Fee Related JP3141698B2 (en) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | Driving method of image sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3141698B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100656667B1 (en) * | 2000-12-20 | 2006-12-12 | 매그나칩 반도체 유한회사 | Unit pixel driving controller for improving image quality and sensitivity |
-
1994
- 1994-08-12 JP JP06210726A patent/JP3141698B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0856278A (en) | 1996-02-27 |
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