JP3003172B2 - Solid state laser oscillator - Google Patents
Solid state laser oscillatorInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は固体レーザー発振器に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a solid-state laser oscillator.
本発明は、1対のミラー及びその1対のミラー間に配
された固体レーザー媒質から成るレーザー共振器と、固
体レーザー媒質を励起するポンピング光を発生する励起
光源とを有する固体レーザー発振器において、複数の励
起光源を設け、その複数の励起光源からの複数のポンピ
ング光を、固体レーザー媒質の複数個所に照射して、そ
のレーザー媒質に複数の熱レンズを形成し、1対のミラ
ー及びその1対のミラー間に配された固体レーザー媒質
並びに複数の熱レンズにて、複数のレーザー共振器部を
形成したことにより、簡単な構成にして高励起効率且つ
高出力と成る。The present invention relates to a solid-state laser oscillator including a laser resonator including a pair of mirrors and a solid-state laser medium disposed between the pair of mirrors, and an excitation light source that generates pumping light for exciting the solid-state laser medium. A plurality of pumping light sources are provided, a plurality of pumping lights from the plurality of pumping light sources are irradiated to a plurality of portions of the solid-state laser medium, a plurality of thermal lenses are formed on the laser medium, and a pair of mirrors and a pair of mirrors are formed. By forming a plurality of laser resonator sections with a solid laser medium and a plurality of thermal lenses disposed between a pair of mirrors, a simple configuration can be achieved with high excitation efficiency and high output.
固体レーザー発振器において、1対のミラー及びその
1対のミラー間に配された固体レーザー媒質から成るレ
ーザー共振器の固体レーザー媒質を、半導体レーザー
(レーザーダイオード)からのポンピング光によって励
起するものがあるがこれはレーザー媒質の励起準位だけ
を励起し、且つ、レーザー媒質の発振領域のみを選択的
に励起するため、励起効率が頗る高く成る。Some solid-state laser oscillators excite a solid-state laser medium of a laser resonator comprising a pair of mirrors and a solid-state laser medium disposed between the pair of mirrors by pumping light from a semiconductor laser (laser diode). However, this excites only the excitation level of the laser medium and selectively excites only the oscillation region of the laser medium, so that the excitation efficiency becomes extremely high.
又、複数のレーザーダイオードからのレーザー光を光
ファイババンドルを構成する各光ファイバに入射せし
め、光ファイババンドルの他端からのレーザー光の束
を、ポンピング光としてレーザー媒質に照射せしめるよ
うにした、高出力の固体レーザー発振器もある。Further, the laser light from a plurality of laser diodes is made incident on each optical fiber constituting the optical fiber bundle, and a bundle of laser light from the other end of the optical fiber bundle is irradiated on the laser medium as pumping light. There are also high-power solid-state laser oscillators.
かかる固体レーザー発振器において、光ファイババン
ドルを構成する光ファイバを増やし、多数のレーザーダ
イオードからの出射レーザー光を束にし、この束のレー
ザー光をポンピング光としてレーザー媒質に照射すれ
ば、出力が高く成るが、ポンピング光の径の増大に応じ
て、レーザー発振の基本モードの励起効率が悪化するこ
とに成る。In such a solid-state laser oscillator, if the number of optical fibers constituting an optical fiber bundle is increased, laser light emitted from a large number of laser diodes is bundled, and the laser light of this bundle is irradiated on a laser medium as pumping light, the output increases. However, as the diameter of the pumping light increases, the excitation efficiency of the fundamental mode of laser oscillation deteriorates.
そこで、レーザー媒質を励起するポンピング光を太い
1本の光束にする代わりに、複数本の光束に分けて、レ
ーザー媒質を励起してやれば、レーザー発振の基本モー
ドの励起効率が悪化することはない。Therefore, if the laser medium is excited by dividing the pumping light for exciting the laser medium into a plurality of light beams instead of one thick light beam, the excitation efficiency of the fundamental mode of laser oscillation does not deteriorate.
ところが、そのようにすると、ポンピング光の光束の
数に応じた出力ミラー(凹面ミラー)を設けることが必
要と成り、実用的ではない。However, in such a case, it is necessary to provide output mirrors (concave mirrors) corresponding to the number of light beams of the pumping light, which is not practical.
かかる点に鑑み、本発明は、簡単な構成にして、高励
起効率且つ高効率の固体レーザー発振器を提案しようと
するものである。In view of such a point, the present invention intends to propose a solid-state laser oscillator having high excitation efficiency and high efficiency with a simple configuration.
本発明は、第1及び第2のミラー並びに該第1及び第
2のミラー間に配された固体レーザー媒質からなるレー
ザー共振器と、第1のミラー側から照射して固体レーザ
ー媒質を励起するポンピング光を発生する励起光源とを
有し、第2のミラー側から出力レーザー光が出射する固
体レーザー発振器において、レーザー媒質の第1のミラ
ー側に設けた光透過性ヒートシンクと、それぞれ複数の
レーザー光源及びその複数のレーザー光源よりのレーザ
ー光が一端に入射される光ファイバ手段を備え、その光
ファイバ手段の他端からポンピング光を出射する複数の
励起光源とを有し、複数の励起光源よりの複数のポンピ
ング光を、光透過性ヒートシンク及び第1のミラーを透
過して、レーザー媒質の複数箇所に照射して、レーザー
媒質に複数の熱レンズを形成せしめて、第1及び第2の
ミラー並びにその第1及び第2のミラー間に配された固
体レーザー媒質並びに複数の熱レンズにて、複数のレー
ザー共振器部を構成すると共に、複数の出力レーザー光
間の間隔が、複数の出力レーザー光の各ガウス分布の裾
が重なるような間隔になるように、その複数のポンピン
グ光のレーザー媒質に対する複数箇所の照射位置間の間
隔を設定するようにした固体レーザー発振器である。The present invention provides a laser resonator including first and second mirrors and a solid-state laser medium disposed between the first and second mirrors, and irradiates from the first mirror to excite the solid-state laser medium. A solid-state laser oscillator having an excitation light source for generating pumping light and emitting output laser light from a second mirror side, wherein a light-transmissive heat sink provided on the first mirror side of the laser medium; A light source and a plurality of excitation light sources for emitting laser light from the plurality of laser light sources to one end thereof; and a plurality of excitation light sources for emitting pump light from the other end of the optical fiber means. Are transmitted through the light-transmitting heat sink and the first mirror, and are applied to a plurality of portions of the laser medium, so that the laser medium has a plurality of heat pumps. Is formed, a plurality of laser resonators are formed by the first and second mirrors, the solid-state laser medium disposed between the first and second mirrors, and the plurality of thermal lenses, and the plurality of laser resonators are formed. The interval between the plurality of irradiation positions of the plurality of pumping lights with respect to the laser medium is set so that the interval between the output laser lights is such that the tails of the respective Gaussian distributions of the plurality of output laser lights overlap. This is a solid-state laser oscillator.
かかる本発明によれば、それぞれ複数のレーザー光源
及びその複数のレーザー光源よりのレーザー光が一端に
入射される光ファイバ手段を備え、その光ファイバ手段
の他端からポンピング光を出射する複数の励起光源より
の複数のポンピング光を、光透過性ヒートシンク及び第
1のミラーを透過して、レーザー媒質の複数箇所に照射
して、そのレーザー媒質に複数の熱レンズを形成せしめ
て、第1及び第2のミラー並びにその第1及び第2のミ
ラー間に配された固体レーザー媒質並びに複数の熱レン
ズにて、複数のレーザー共振器部を構成すると共に、複
数の出力レーザー光間の間隔が、その複数の出力レーザ
ー光の各ガウス分布の裾が重なるような間隔になるよう
に、複数のポンピング光のレーザー媒質に対する複数箇
所の照射位置間の間隔を設定する。According to the present invention, a plurality of laser light sources and a plurality of pumps for emitting pumping light from the other end of the optical fiber means are provided with the plurality of laser light sources and the optical fiber means to which laser light from the plurality of laser light sources is incident on one end. A plurality of pumping lights from a light source are transmitted through the light-transmitting heat sink and the first mirror, and are applied to a plurality of portions of the laser medium to form a plurality of thermal lenses on the laser medium. The two mirrors, the solid-state laser medium disposed between the first and second mirrors, and the plurality of thermal lenses constitute a plurality of laser resonators, and the interval between the plurality of output laser beams is The interval between the irradiation positions of the plurality of pumping lights on the laser medium at a plurality of positions is set so that the intervals of the Gaussian distributions of the plurality of output laser lights overlap. To set.
以下に、第1図を参照して、本発明の実施例を詳細に
説明する。(23)は円柱状の固体レーザー媒質(レーザ
ーロッド)(Nd:YAG)で、その両端面には平面状のミラ
ーコート(24)、(25)が形成されている。ミラーコー
ト(24)はポンピング光L1、L2、L3を略100%透過さ
せ、発振レーザー光を略100%反射するミラーである。
ミラーコート(25)は、発振レーザー光の数%〜10数%
を反射し、残りの部分を透過するミラーである。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. (23) is a cylindrical solid laser medium (laser rod) (Nd: YAG), and flat mirror coats (24) and (25) are formed on both end surfaces thereof. Mirror coat (24) is a pumping light L 1, L 2, L 3 is transmitted through substantially 100%, is a mirror that reflects substantially 100% of the oscillation laser beam.
Mirror coat (25) is a few percent to 10 percent of the oscillating laser light
Is a mirror that reflects light and transmits the rest.
レーザー媒質(23)のポンピング光の入射側に、ミラ
ーコート(24)を介して、レーザー媒質(23)より熱伝
導率の高いダイアモンド、サファイア等からなる円板状
の光透過性のヒートシンク(30)が貼付されている。こ
の円板状のヒートシンク(30)の表面には、ヒートシン
ク(30)による光学損失を低減するために、無反射コー
ト(31)が形成されている。A disc-shaped light transmissive heat sink (30) made of diamond, sapphire, or the like having a higher thermal conductivity than the laser medium (23) is provided on the incident side of the pumping light of the laser medium (23) via a mirror coat (24). ) Is attached. An anti-reflection coating (31) is formed on the surface of the disc-shaped heat sink (30) in order to reduce optical loss due to the heat sink (30).
このようにヒートシンク(30)を設けたことにより、
レーザ媒質(23)の半径方向の温度分布が低減されて、
不要な熱吸収差、熱複屈折等の発生が抑制されるので、
一層高出力となる。By providing the heat sink (30) in this way,
The temperature distribution in the radial direction of the laser medium (23) is reduced,
Since unnecessary heat absorption difference, thermal birefringence, etc. are suppressed,
The output becomes even higher.
(35)、(36)、(37)は3個の励起光源で、夫々半
導体レーザー(レーザーダイオード)(1)〜(5)、
(6)〜(10)、(11)〜(15)及びこれら各レーザー
ダイオードからの出射レーザー光を夫々伝送し、夫々5
本ずつ束ねられて、3本の光ファイババンドル(18)、
(19)、(20)を構成する15本の光ファイバ(17)及び
その光ファイババンドル(18)、(19)、(20)から構
成される。(35), (36) and (37) are three pumping light sources, which are semiconductor lasers (laser diodes) (1) to (5), respectively.
(6) to (10), (11) to (15) and the laser light emitted from each of these laser diodes are transmitted,
Bundled together, three optical fiber bundles (18),
It is composed of 15 optical fibers (17) constituting (19) and (20) and their optical fiber bundles (18), (19) and (20).
そして、各励起光源(35)、(36)、(37)の各光フ
ァイババンドル(18)、(19)、(20)の各端部からの
発散レーザー光(ポンピング光)L1、L2、L3が、凸レン
ズ(21)に入射して、略平行光に成された後、他の凸レ
ンズ(22)に入射することによって、集束せしめられ、
レーザー媒質(23)内の異なる部分に焦点を結ぶよう
に、ミラーコート(24)を通じて、レーザー媒質(23)
に照射される。Then, divergent laser light (pumping light) L 1 , L 2 from each end of each optical fiber bundle (18), (19), (20) of each excitation light source (35), (36), (37) , L 3 are incident on the convex lens (21), are converted into substantially parallel light, and then are focused by being incident on the other convex lens (22),
Laser medium (23) through mirror coat (24) to focus on different parts of laser medium (23)
Is irradiated.
かくすると、このレーザー媒質(23)の各ポンピング
光が照射された部分付近が加熱されて、夫々熱レンズ
(26)、(27)、(28)が形成される。そして、レーザ
ー媒質(23)、ミラーコート(24)、(25)及び熱レン
ズ(26)、(27)及び(28)にて3個の共振器部(3
9)、(40)、(41)が形成される。Thus, the vicinity of the portion of the laser medium (23) irradiated with each pumping light is heated to form thermal lenses (26), (27) and (28), respectively. The laser medium (23), the mirror coats (24) and (25) and the thermal lenses (26), (27) and (28) form three resonators (3).
9), (40) and (41) are formed.
そして、レーザー媒質(23)内には、そのレーザー媒
質(23)に固有の3本の基本モード発振レーザ光が発生
し、これがミラーコート(24)、(25)によって、繰り
返し反射されて往復伝送されると共に、熱レンズ(2
6)、(27)、(28)を繰り返し通過せしめられ、その
一部が出力レーザー光L4、L5、L6として、出力ミラーコ
ート(25)を通過して外部に出力される。尚、このと
き、熱レンズ(26)、(27)、(28)及びミラーコート
(25)が共同して、恰も平面状の出力ミラーコート(2
5)の代わり3個の凹面ミラーコートが設けられたのと
等価に成る。Then, in the laser medium (23), three fundamental mode oscillation laser lights unique to the laser medium (23) are generated, and are repeatedly reflected by the mirror coats (24) and (25) and transmitted back and forth. And the thermal lens (2
6), (27), and (28) are repeatedly passed, and a part of the laser light is output to the outside as output laser light L 4 , L 5 , and L 6 through the output mirror coat (25). At this time, the thermal lenses (26), (27), (28) and the mirror coat (25) work together to form a flat output mirror coat (2).
This is equivalent to providing three concave mirror coats instead of 5).
レーザー媒質(23)のミラーコート(25)側からの3
本の出力レーザー光L4、L5、L6(基本モード発振レンズ
光)の光軸間の間隔lを、その各出力レーザー光(基本
モード発振レーザー光)のガウス分布の裾がある程度重
なるような間隔となるように、3本のポンピング光L1、
L2 L3のレーザー媒質(23)に対する3箇所の照射位置
間の間隔を設定すれば、3個の共振器部(39)、(4
0)、(41)間で、位相引き込みが生じ、位相同期が可
能に成り、回折限界の出力レーザー光が出力される。
尚、この場合、3個の共振器部(39)、(40)、(41)
の共振器光路長が等しいことが必要であるが、多少の差
異がある場合には、励起光源(35)、(36)、(37)か
らのポンピング光の出力を、レーザーダイオードの駆動
電流の調整によって、可変すれば良い。3 from the mirror coat (25) side of the laser medium (23)
The interval l between the optical axes of the output laser lights L 4 , L 5 , L 6 (fundamental mode oscillation lens light) is set so that the Gaussian distribution of each output laser light (fundamental mode oscillation laser light) overlaps to some extent. Three pumping lights L 1 ,
If the distance between the three irradiation positions with respect to the L 2 L 3 laser medium (23) is set, the three resonator units (39), (4
A phase pull-in occurs between 0) and (41), phase synchronization becomes possible, and a diffraction-limited output laser beam is output.
In this case, three resonator units (39), (40), and (41)
It is necessary that the optical path lengths of the lasers are equal, but if there is some difference, the output of the pumping light from the pump light sources (35), (36) and (37) is It may be changed by adjustment.
かかる実施例の固体レーザー発振器によれば、簡単な
構成にして、高励起効率且つ高出力と成る。According to the solid-state laser oscillator of this embodiment, the pumping efficiency is high and the output is high with a simple configuration.
上述せる本発明によれば、第1及び第2のミラー並び
にその第1及び第2のミラー間に配された固体レーザー
媒質からなるレーザー共振器と、第1のミラー側から照
射して固体レーザー媒質を励起するポンピング光を発生
する励起光源とを有し、第2のミラー側から出力レーザ
ー光が出射する固体レーザー発振器において、レーザー
媒質の第1のミラー側に設けた光透過性ヒートシンク
と、それぞれ複数のレーザー光源及びその複数のレーザ
ー光源よりのレーザー光が一端に入射される光ファイバ
手段を備え、その光ファイバ手段の他端からポンピング
光を出射する複数の励起光源とを有し、その複数の励起
光源よりの複数のポンピング光を、光透過性ヒートシン
ク及び第1のミラーを透過して、レーザー媒質の複数箇
所に照射して、そのレーザー媒質に複数の熱レンズを形
成せしめて、第1及び第2のミラー並びにその第1及び
第2のミラー間に配された固体レーザー媒質並びに複数
の熱レンズにて、複数のレーザー共振器部を構成すると
共に、複数の出力レーザー光間の間隔が、その複数の出
力レーザー光の各ガウス分布の裾が重なるような間隔に
なるように、複数のポンピング光のレーザー媒質に対す
る複数箇所の照射位置間の間隔を設定するようにしたの
で、簡単な構成にして、高励起効率且つ高出力となり、
しかも、光透過性ヒートシンクを設けたことによって、
レーザ媒質の半径方向の温度分布が低減されて、不要な
熱吸収差、熱複屈折等の発生が抑制されるので、一層高
出力となり、しかも、複数の共振器部間で、位相引き込
みが生じ、位相同期が可能となり、回折限界の出力レー
ザー光が出力される固体レーザー発振器を得ることがで
きる。According to the present invention described above, a laser resonator including a first and a second mirror and a solid-state laser medium disposed between the first and the second mirrors, and a solid-state laser irradiated from the first mirror side A solid-state laser oscillator having an excitation light source that generates pumping light for exciting the medium, and an output laser light emitted from the second mirror side; a light-transmitting heat sink provided on the first mirror side of the laser medium; Each comprising a plurality of laser light sources and optical fiber means to which laser light from the plurality of laser light sources is incident on one end, and having a plurality of excitation light sources for emitting pumping light from the other end of the optical fiber means, A plurality of pumping lights from a plurality of excitation light sources are transmitted through the light-transmitting heat sink and the first mirror, and are applied to a plurality of portions of the laser medium. A plurality of thermal lenses formed in the heat medium, and a plurality of laser resonators formed by the first and second mirrors, the solid-state laser medium disposed between the first and second mirrors, and the plurality of thermal lenses. And irradiating positions of the plurality of pumping lights on the laser medium at a plurality of positions so that the interval between the plurality of output laser lights is such that the skirts of the respective Gaussian distributions of the plurality of output laser lights overlap. Since the interval between them is set, the simple configuration, high excitation efficiency and high output,
Moreover, by providing a light transmissive heat sink,
Since the temperature distribution in the radial direction of the laser medium is reduced and unnecessary heat absorption difference, thermal birefringence, etc. are suppressed, the output becomes higher, and phase pull-in occurs between a plurality of resonators. Thus, a solid-state laser oscillator capable of performing phase synchronization and outputting a diffraction-limited output laser beam can be obtained.
第1図は本発明の実施例を示す配置図である。 (1)〜(15)はレーザーダイオード、(16)は基板、
(17)は光ファイバ、(18)、(19)、(20)は光ファ
イババンドル、(21)、(22)は凸レンズ、(23)はレ
ーザー媒質、(24)、(25)はミラーコート、(26)〜
(28)は熱レンズ、(30)はヒートシンク、(31)は無
反射コートである。FIG. 1 is a layout diagram showing an embodiment of the present invention. (1) to (15) are laser diodes, (16) is a substrate,
(17) is an optical fiber, (18), (19) and (20) are optical fiber bundles, (21) and (22) are convex lenses, (23) is a laser medium, (24) and (25) are mirror coats , (26)-
(28) is a thermal lens, (30) is a heat sink, and (31) is a non-reflective coating.
Claims (1)
2のミラー間に配された固体レーザー媒質からなるレー
ザー共振器と、上記第1のミラー側から照射して上記固
体レーザー媒質を励起するポンピング光を発生する励起
光源とを有し、上記第2のミラー側から出力レーザー光
が出射する固体レーザー発振器において、 上記レーザー媒質の上記第1のミラー側に設けた光透過
性ヒートシンクと、 それぞれ複数のレーザー光源及び該複数のレーザー光源
よりのレーザー光が一端に入射される光ファイバ手段を
備え、該光ファイバ手段の他端からポンピング光を出射
する複数の励起光源とを有し、 該複数の励起光源よりの複数のポンピング光を、上記光
透過性ヒートシンク及び上記第1のミラーを透過して、
上記レーザー媒質の複数箇所に照射して、該レーザー媒
質に複数の熱レンズを形成せしめて、上記第1及び第2
のミラー並びに該第1及び第2のミラー間に配された上
記固体レーザー媒質並びに上記複数の熱レンズにて、複
数のレーザー共振器部を構成すると共に、 上記複数の出力レーザー光間の間隔が、該複数の出力レ
ーザー光の各ガウス分布の裾が重なるような間隔になる
ように、上記複数のポンピング光の上記レーザー媒質に
対する上記複数箇所の照射位置間の間隔を設定するよう
にしたことを特徴とする固体レーザー発振器。1. A laser resonator comprising first and second mirrors and a solid-state laser medium disposed between said first and second mirrors, and said solid-state laser medium irradiated from said first mirror side. A solid-state laser oscillator having an excitation light source for generating pumping light for exciting light, and an output laser light emitted from the second mirror side, wherein a light-transmitting heat sink provided on the first mirror side of the laser medium. And a plurality of excitation light sources, each comprising a plurality of laser light sources and optical fiber means to which laser light from the plurality of laser light sources is incident at one end, and emitting pump light from the other end of the optical fiber means. Transmitting a plurality of pumping lights from the plurality of excitation light sources through the light-transmitting heat sink and the first mirror,
By irradiating a plurality of portions of the laser medium to form a plurality of thermal lenses on the laser medium, the first and second thermal lenses are formed.
And a plurality of laser resonators formed by the solid laser medium and the plurality of thermal lenses disposed between the first and second mirrors, and the distance between the plurality of output laser beams is An interval between the plurality of irradiation positions of the plurality of pumping lights with respect to the laser medium is set such that the intervals of the Gaussian distributions of the plurality of output laser lights overlap with each other. Characterized solid-state laser oscillator.
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- 1990-07-26 JP JP19844190A patent/JP3003172B2/en not_active Expired - Fee Related
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