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JP3082741B2 - Solder ball mounting method - Google Patents

Solder ball mounting method

Info

Publication number
JP3082741B2
JP3082741B2 JP10114658A JP11465898A JP3082741B2 JP 3082741 B2 JP3082741 B2 JP 3082741B2 JP 10114658 A JP10114658 A JP 10114658A JP 11465898 A JP11465898 A JP 11465898A JP 3082741 B2 JP3082741 B2 JP 3082741B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solder ball
head
solder
vacuum
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP10114658A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH10284528A (en
Inventor
真一 中里
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP10114658A priority Critical patent/JP3082741B2/en
Publication of JPH10284528A publication Critical patent/JPH10284528A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3082741B2 publication Critical patent/JP3082741B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、バンプを形成する
ための半田ボールを基板などのワークに搭載するための
半田ボールの搭載方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder ball mounting method for mounting a solder ball for forming a bump on a work such as a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】基板やチップなどのワークの電極にバン
プ(突出電極)を形成する手段として、半田ボールをワ
ークに搭載した後、半田ボールを加熱して溶融固化させ
る方法が知られている。一般に、ワークには多数個のバ
ンプが形成されるものであり、したがって半田ボールは
ワークに多数個搭載される。多数個の半田ボールを同時
に搭載する方法として真空吸着を用いた半田ボールの搭
載装置による方法が知られている。この半田ボールの搭
載装置は、多数の吸着孔が下面に設けられたヘッドを多
数の半田ボールが貯溜された容器の上方で下降・上昇さ
せることにより、半田ボールをヘッドの吸着孔に真空吸
着してピックアップするものである。
2. Description of the Related Art As means for forming bumps (protruding electrodes) on electrodes of a work such as a substrate and a chip, there is known a method of mounting a solder ball on a work and then heating and melting and solidifying the solder ball. Generally, many bumps are formed on a work, and thus a large number of solder balls are mounted on the work. As a method for mounting a large number of solder balls at the same time, a method using a solder ball mounting apparatus using vacuum suction is known. This solder ball mounting device vacuum-adsorbs the solder balls to the suction holes of the head by lowering and ascending a head having a large number of suction holes on the lower surface above a container in which a large number of solder balls are stored. To pick up.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半田ボールの搭載方法では、ヘッドはその下面が半田ボ
ール3の上面すれすれになるレベルまで下降して半田ボ
ールを真空吸着するが、このレベルではすべての吸着孔
に確実に半田ボールを真空吸着しにくく、ピックアップ
ミスが発生しやすいという問題点があった。
However, in the conventional solder ball mounting method, the head descends to a level at which the lower surface thereof is slightly over the upper surface of the solder ball 3, and the head is vacuum-sucked. However, there is a problem that it is difficult to surely suck the solder ball into the suction hole in vacuum, and a pickup error is likely to occur.

【0004】そこで本発明は、ヘッドの下面のすべての
吸着孔に供給部の半田ボールを確実に真空吸着してピッ
クアップできる半田ボールの搭載方法を提供することを
目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a solder ball mounting method capable of reliably sucking and picking up a solder ball of a supply portion in all suction holes on a lower surface of a head.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このために本発明の半田
ボールの搭載方法は、供給部に備えられた半田ボールに
対してヘッドを下降・上昇させることによりこのヘッド
の下面に形成された吸着孔に半田ボールを真空吸着して
ピックアップし、次にこのヘッドをワークの上方へ移動
させてそこで再度下降・上昇させることにより、ピック
アップした半田ボールをワークに搭載するようにした半
田ボールの搭載方法であって、前記ヘッドの下面が前記
供給部内の半田ボールの上面以下に沈み込むまでヘッド
を下降させて前記吸着孔に半田ボールを真空吸着した
後、前記ヘッドを上昇させることにより半田ボールをピ
ックアップするようにした。
For this purpose, a method of mounting a solder ball according to the present invention comprises lowering and raising a head with respect to a solder ball provided in a supply portion, thereby forming a suction ball formed on a lower surface of the head. A solder ball mounting method in which the solder ball is vacuum-adsorbed and picked up in the hole, and then the head is moved above the work, and then lowered and raised again, so that the picked-up solder ball is mounted on the work. Picking up the solder ball by lowering the head until the lower surface of the head sinks below the upper surface of the solder ball in the supply unit, vacuum-sucking the solder ball into the suction hole, and then raising the head. I did it.

【0006】上記構成によれば、ヘッドの下面が半田ボ
ールの上面以下に沈み込むまでヘッドを下降させて吸着
孔に半田ボールを真空吸着した後、ヘッドを上昇させる
ことにより、半田ボールを確実に真空吸着してピックア
ップできる。
According to the above construction, the head is lowered until the lower surface of the head sinks below the upper surface of the solder ball to vacuum-suction the solder ball into the suction hole, and then the head is raised to ensure that the solder ball is lifted. Can be picked up by vacuum suction.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら本発明
の実施の形態を説明する。図1は本発明の一実施の形態
の半田ボールの搭載装置の側面図、図2は同半田ボール
をピックアップ中のヘッドと容器の側面図である。以
下、半田ボールをワークに一括して多数個搭載するため
の半田ボールの搭載装置について説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view of a solder ball mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of a head and a container during pickup of the solder ball. Hereinafter, a solder ball mounting apparatus for mounting a large number of solder balls on a work at once will be described.

【0008】1は半田ボールの供給部であって、以下の
ように構成されている。2は容器であって、半田ボール
3が貯溜されている。4は容器2の支柱である。容器2
の下面には振動器5が装着されている。振動器5が駆動
すると容器2は振動し、内部の半田ボール3は流動化す
る。
Reference numeral 1 denotes a solder ball supply unit, which is configured as follows. Reference numeral 2 denotes a container in which solder balls 3 are stored. 4 is a column of the container 2. Container 2
A vibrator 5 is mounted on the lower surface of the. When the vibrator 5 is driven, the container 2 vibrates, and the solder balls 3 inside are fluidized.

【0009】6は基板の位置決め部としての可動テーブ
ルであって、基板7を位置決めしている。可動テーブル
6が駆動して基板7を水平方向に移動させることによ
り、基板7の位置調整を行う。11はヘッドであって、
昇降板12の下部に保持されている。13はブロックで
あり、垂直なボールねじ22とボールねじ22を回転さ
せるモータ23が設けられている。昇降板12にはナッ
ト24が結合さており、ボールねじ22はナット24に
螺入している。したがってモータ23が正逆駆動してボ
ールねじ22が正逆回転すると、昇降板12はボールね
じ22に沿って上下動し、これと一体のヘッド11も上
下動する。
Reference numeral 6 denotes a movable table as a positioning portion for the substrate, which positions the substrate 7. The position of the substrate 7 is adjusted by driving the movable table 6 to move the substrate 7 in the horizontal direction. 11 is a head,
It is held at the lower part of the lifting plate 12. Reference numeral 13 denotes a block provided with a vertical ball screw 22 and a motor 23 for rotating the ball screw 22. A nut 24 is coupled to the lifting plate 12, and the ball screw 22 is screwed into the nut 24. Therefore, when the motor 23 is driven forward and reverse to rotate the ball screw 22 forward and backward, the elevating plate 12 moves up and down along the ball screw 22 and the head 11 integrated therewith also moves up and down.

【0010】14は横長の移動テーブルであって、供給
部1と可動テーブル6の間に架設されている。移動テー
ブル14には水平な送りねじ15が備えられている。ブ
ロック13の背面に設けられたナット16は送りねじ1
5に螺合している。したがってモータ17が駆動して送
りねじ15が回転すると、ブロック13やヘッド11は
移動テーブル14に沿って横方向に移動する。18はバ
キューム装置であって、チューブ19を介してヘッド1
1に接続されている。図示しないが、ヘッド11の下面
には半田ボール3の吸着孔が開孔されており、バキュー
ム装置18が駆動することにより、吸着孔に半田ボール
3を真空吸着する。25は半田ボール3の補給部であっ
て、容器2内の半田ボール3の量が少なくなれば、容器
2に半田ボール3を補給する。
Reference numeral 14 denotes a horizontally long movable table, which is installed between the supply section 1 and the movable table 6. The moving table 14 is provided with a horizontal feed screw 15. The nut 16 provided on the back of the block 13 is a feed screw 1
5 is screwed. Therefore, when the motor 17 is driven and the feed screw 15 is rotated, the block 13 and the head 11 move laterally along the moving table 14. Reference numeral 18 denotes a vacuum device, which is a head 1 via a tube 19.
1 connected. Although not shown, a suction hole for the solder ball 3 is formed on the lower surface of the head 11, and the vacuum ball 18 drives the vacuum device 18 to vacuum-suck the solder ball 3 into the suction hole. Reference numeral 25 denotes a replenishing portion for the solder balls 3, and replenishes the container 2 with the solder balls 3 when the amount of the solder balls 3 in the container 2 becomes small.

【0011】この半田ボールの搭載装置は上記のように
構成されており、次に動作を説明する。モータ17を駆
動してヘッド11を容器2の上方へ移動させる。次にモ
ータ23を駆動してヘッド11を、補給部25により容
器2内に補給される半田ボール3のレベル、すなわち図
2において示す半田ボール3の上面のレベル以下まで
(図2において鎖線で示している)下降させるが、この
とき、振動器5を駆動して容器2を振動させることによ
り、容器2内の半田ボール3を流動させている。
This solder ball mounting device is configured as described above, and the operation will be described next. The motor 11 is driven to move the head 11 above the container 2. Next, the motor 23 is driven to move the head 11 to a level lower than the level of the solder balls 3 supplied into the container 2 by the supply unit 25, that is, the level of the upper surface of the solder balls 3 shown in FIG. At this time, the solder ball 3 in the container 2 is caused to flow by driving the vibrator 5 to vibrate the container 2.

【0012】このようにヘッド11を半田ボール3の上
面以下まで沈み込ませれば、半田ボール3をより確実に
吸着孔21に真空吸着することができる。次にモータ2
3を逆駆動してヘッド11を上昇させることにより、半
田ボール3をピックアップする。次にモータ17を駆動
してヘッド11を基板10の上方へ移動させる。次にヘ
ッド11を下降させてその下面の半田ボール3を基板1
0の上面に着地させ、そこでバキューム装置18による
半田ボール3の真空吸着状態を解除する。次にヘッド1
1を上昇させれば、半田ボール3は吸着孔から脱落して
基板10に搭載される。次にヘッド11は容器2の上方
へ移動し、上述した動作が繰り返される。
If the head 11 is sunk below the upper surface of the solder ball 3 as described above, the solder ball 3 can be more reliably vacuum-sucked into the suction hole 21. Next, motor 2
The solder ball 3 is picked up by driving the head 3 in reverse to raise the head 11. Next, the motor 17 is driven to move the head 11 above the substrate 10. Next, the head 11 is lowered, and the solder balls 3 on the lower surface thereof are
Then, the vacuum suction state of the solder ball 3 by the vacuum device 18 is released. Then head 1
When 1 is raised, the solder balls 3 fall from the suction holes and are mounted on the substrate 10. Next, the head 11 moves above the container 2, and the above-described operation is repeated.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、ヘッドの
下面が半田ボールの上面以下に沈み込むまでヘッドを下
降させることにより、ヘッドの吸着孔により確実に半田
ボールを真空吸着できる。
As described above, according to the present invention, by lowering the head until the lower surface of the head sinks below the upper surface of the solder ball, the solder ball can be reliably sucked by the suction hole of the head.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の半田ボールの搭載装置
の側面図
FIG. 1 is a side view of a solder ball mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態の半田ボールをピックア
ップ中のヘッドと容器の側面図
FIG. 2 is a side view of a head and a container during picking up a solder ball according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半田ボールの供給部 3 半田ボール 6 可動テーブル 7 基板 11 ヘッド 14 移動テーブル 21 吸着孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Supply part of solder ball 3 Solder ball 6 Movable table 7 Substrate 11 Head 14 Moving table 21 Suction hole

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】供給部に備えられた半田ボールに対してヘ
ッドを下降・上昇させることによりこのヘッドの下面に
形成された吸着孔に半田ボールを真空吸着してピックア
ップし、次にこのヘッドをワークの上方へ移動させてそ
こで再度下降・上昇させることにより、ピックアップし
た半田ボールをワークに搭載するようにした半田ボール
の搭載方法であって、前記ヘッドの下面が前記供給部内
の半田ボールの上面のレベル以下に沈み込むまでヘッド
を下降させて前記吸着孔に半田ボールを真空吸着した
後、前記ヘッドを上昇させることにより半田ボールをピ
ックアップすることを特徴とする半田ボールの搭載方
法。
1. A head is lowered and raised with respect to a solder ball provided in a supply unit, so that the solder ball is vacuum-sucked into a suction hole formed in a lower surface of the head and picked up. A method of mounting a solder ball, wherein the solder ball is moved to an upper part of the work and then lowered and raised again, so that the picked-up solder ball is mounted on the work. A method of mounting a solder ball, comprising: lowering a head until it sinks below a level, vacuum sucking a solder ball into the suction hole, and picking up the solder ball by raising the head.
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